Die
Erfindung betrifft ein Lager für
in einem Reinraum zu behandelnde Produkte, vorzugsweise Glasscheiben
für Flüssigkristallbildschirme,
nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie ein Verfahren zur Reinhaltung
von Produkten in einem solchen Lager nach dem Oberbegriff des Anspruches
25.The
The invention relates to a bearing for
in a clean room to be treated products, preferably glass sheets
for liquid crystal screens,
according to the preamble of claim 1 and a method for keeping clean
of products in such a bearing according to the preamble of the claim
25th
Insbesondere
in der Produktion von Flüssigkristallbildschirmen
werden Lager in Form von Lagergestellen verwendet, die auch als
Stocker bezeichnet werden und in denen Träger gelagert werden. Sie enthalten
Glasscheiben, die zur Herstellung der Flüssigkristallbildschirme verwendet
werden und im Lager bei Reinluftbedingungen so lange gelagert werden
müssen,
bis sie Prozeßgeräten in einem
Reinraum zugeführt
werden. Die Träger
mit den Glasscheiben werden durch eine Transporteinrichtung zum
Beispiel zwischen verschiedenen Prozeßgeräten verschoben, so daß ein gesicherter
Prozeßablauf zwischen
verschiedenen Prozeßschritten
und während
ablaufbedingter Lagerphasen sichergestellt ist. Die Scheibengrößen wachsen
mit jeder neuen Prozeßgeneration.
Die Größe aktueller
Glasscheiben liegt beispielsweise bei ca. 1,5 m auf 1,85 m. Jeder Träger kann
28 solcher Glasscheiben aufnehmen. Im Lager werden die Träger an beiden
Längsseiten
des Lagers in Lagereinrichtungen in jeweils mehreren Reihen übereinander
gelagert. Die Lager können
erhebliche Ausmaße
erreichen, beispielsweise etwa 80 m lang, etwa 7 m breit und etwa
7 m hoch sein. In die Lager wird Reinluft mittels Filter-Ventilator-Einheiten eingebracht,
die oberhalb der Decke des Lagers angeordnet sind. Unterhalb der
Decke und oberhalb der Lagereinrichtungen befindet sich ein Druckraum,
in den die Reinluft von den Filter-Ventilator-Einheiten eingebracht
wird. Im Druckraum wird die Reinluft so verteilt, daß ein Teil
vertikal über
Lochbleche nach unten zwischen den Lagereinrichtungen zuströmt und ein
anderer Teil an beiden einander abgewandten Außenseiten der Lagervorrichtungen
durch Kanäle
nach unten strömt,
die durch Doppelwände
gebildet sind. Im Bereich zwischen den Lagereinrichtungen befindet
sich die Transporteinrichtung, die von der Reinluft somit ebenfalls
beaufschlagt wird. In den vertikalen Kanälen wird die Reinluft so umgelenkt,
daß sie
horizontal durch die Träger
strömt,
in denen die Glasscheiben ebenfalls horizontal gelagert sind. Die
gesamte, von den Filter-Ventilator-Einheiten zugeführte Reinluft
strömt
somit zum zentralen Tunnelbereich, von dem aus sie über Leckageflächen oder über Öffnungen
in den umgebenden Reinraum zu dort befindlichen Prozeßgeräten gelangt. Ein
weiterer Anteil der Reinluft strömt über einen
unterhalb des Lagers angeordneten Doppelboden in eine darunter liegende
Gebäudeebene,
die entweder ein dem Prozeßbereich
zugeordneter Reinraumbereich ist, der zur Aufstellung von Hilfseinrichtungen für den Prozeß dient,
oder aber ein durch Träger
gebildeter Hohlraum sein kann, der von einem darunter liegenden
weiteren Reinraumbereich abgeschottet ist.Especially
in the production of liquid crystal screens
Bearings are used in the form of storage racks, which are also called
Stocker be designated and in which carriers are stored. They contain
Glass panes used to make the liquid crystal panels
be stored in the warehouse under clean air conditions for so long
have to,
until they have process equipment in one
Clean room supplied
become. The carriers
with the glass sheets are by a transport device for
Example moved between different process devices, so that a secured
Process flow between
various process steps
and while
run-away storage phases is ensured. The slice sizes grow
with every new process generation.
The size of current
For example, glass panes are approximately 1.5 m to 1.85 m. Every wearer can
Record 28 such glass panes. In the warehouse, the carriers are at both
long sides
of the warehouse in storage facilities in each case in several rows one above the other
stored. The bearings can
considerable dimensions
reach, for example, about 80 m long, about 7 m wide and about
7 m high. Clean air is introduced into the bearings by means of filter-fan units,
which are arranged above the ceiling of the warehouse. Below the
Ceiling and above the storage facilities is a pressure room,
into which the clean air is introduced by the filter-fan units
becomes. In the pressure chamber, the clean air is distributed so that a part
vertically above
Perforated sheets flowed down between the storage facilities and a
other part on both opposite outer sides of the storage devices
through channels
flows down,
by double walls
are formed. Located in the area between the storage facilities
The transport device, the pure air thus also
is charged. In the vertical channels, the clean air is redirected so
that she
horizontally through the beams
flows,
in which the glass panes are also stored horizontally. The
entire clean air supplied by the filter-fan units
flows
thus to the central tunnel area, from which they leak over surfaces or through openings
in the surrounding clean room to there located process equipment. One
another portion of the clean air flows over one
arranged under the camp raised floor in an underlying
Building level,
either the process area
assigned clean room area, which serves to set up auxiliary equipment for the process,
or else by a carrier
formed cavity, that of an underlying cavity
another clean room area is sealed off.
Bei
einer anderen bekannten Ausführung wird
die Luftversorgung unabhängig
von der Reinraumdecke so gestaltet, daß der Tunnelbereich zwischen
den Lagereinrichtungen von an der Decke des Lagers angeordneten
Filter-Ventilator-Einheiten
versorgt wird und die horizontale Luftströmung durch die Träger durch
direkt auf der Außenseite
der Längswände des
Lagers angeordnete Filter-Ventilator-Einheiten erfolgt.at
another known embodiment
the air supply independently
from the clean room ceiling designed so that the tunnel area between
the storage facilities of arranged on the ceiling of the warehouse
Filter-fan units
is supplied and the horizontal air flow through the carrier through
directly on the outside
the longitudinal walls of the
Warehouse arranged filter-fan units takes place.
Es
ist schließlich
auch bekannt, für
die vertikale Luftversorgung in der Reinraumdecke angeordnete Filter-Ventilator-Einheiten
zu verwenden und für die
horizontale Luftversorgung weitere, an den Längsseitenwänden des Lagers angeordnete
Filter-Ventilator-Einheiten einzusetzen.It
is finally
also known for
the vertical air supply in the clean room ceiling arranged filter-fan units
to use and for the
horizontal air supply further, arranged on the longitudinal side walls of the warehouse
Use filter-fan units.
Die
Lager beanspruchen einen erheblichen Teil der gesamten Fläche. Der
Luftmengenbedarf für die
Reinluftversorgung ist entsprechend hoch. Die Luftversorgung kann
deshalb zu erheblichen Beeinträchtigungen
der Strömungsqualitäten in der
Umgebung des Lagers führen.
Ein großer
Teil der zur Versorgung des Lagers notwendigen Luftmenge muß über den
Doppelboden abgeführt
werden, im Extremfall sogar 100% der Luftmenge. Sie muß zusammen mit
der aus den weiteren Reinraumflächen
abgeführten
Luftmengen über
seitlich des Reinraumes oder in der Reinraumfläche angeordnete Rückluftschächte oder
Kanäle
wieder dem oberhalb des Reinraumes angeordneten Plenum zugeführt werden.
Wegen des erheblichen Luftanteiles der Lager wird die notwendige
Rückströmfläche dieser
Schächte
entsprechend durch diese bestimmt. Die Rückströmflächen reduzieren die für die Produktion
zur Verfügung
stehende Netto-Reinraumfläche
und verursachen somit Kosten. So muß das Gebäude beispielsweise für die notwendige
Reinraumfläche
wegen der Rückströmflächen entsprechend
groß gestaltet
werden.The
Bearings take up a significant portion of the total area. Of the
Air requirement for the
Clean air supply is correspondingly high. The air supply can
therefore to considerable impairments
the flow qualities in the
Environment of the warehouse.
A large
Part of the supply of air necessary to supply the camp must over the
Raised double bottom
in extreme cases even 100% of the air volume. She has to go along with
from the other clean room areas
dissipated
Air volumes over
side of the clean room or arranged in the clean room area return ducts or
channels
be fed back to the above the clean room arranged plenum.
Because of the considerable proportion of air in the camp, the necessary
Backflow surface of this
shafts
determined accordingly by this. The backflow surfaces reduce those for production
to disposal
standing net cleanroom area
and thus cause costs. So the building must, for example, for the necessary
Clean room space
due to the Rückströmflächen accordingly
designed large
become.
Oftmals
können
die großen
Umluftmengen wegen der begrenzten Querschnitte in der Rückluftebene
nicht komplett von der Reinraummitte bis zu den seitlichen Rückluftschächten geführt werden, sondern
es müssen
Teilströme
schon vorher aus der Rückströmebene unterhalb
des Doppelbodens über innerhalb
der Reinraumfläche
angeordnete zusätzliche
Rückluftschächte abgeführt werden.
Solche Anordnungen behindern die prozeßgerechte Anordnung der Prozeßgeräte und verursachen
zusätzliche Kosten.often
can
the big ones
Circulating air volumes because of the limited cross sections in the return air plane
not completely guided from the cleanroom center to the lateral return ducts, but
to have to
substreams
already before from the return flow level below
of the double floor over within
the cleanroom area
arranged additional
Return air ducts are discharged.
Such arrangements hinder the process-appropriate arrangement of the process equipment and cause
additional costs.
Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das gattungsgemäße Lager
und das gattungsgemäße Verfahren
so auszubilden, daß die
im Reinraum und in den für
die Rückführung notwendigen
Schächten
und Kanälen
zirkulierenden Luftmengen vermieden oder zumindest deutlich verringert
werden und damit eine erhebliche Verminderung der dafür notwendigen
Flächen
möglich
ist.Of the
Invention is based on the object, the generic stock
and the generic method
so that the
in the clean room and in the for
the return necessary
shafts
and channels
circulating air volumes avoided or at least significantly reduced
and thus a significant reduction in the necessary
surfaces
possible
is.
Diese
Aufgabe wird beim gattungsgemäßen Lager
erfindungsgemäß mit den
kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 und beim gattungsgemäßen Verfahren
erfindungsgemäß mit den
kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 25 gelöst.These
Task is the generic camp
according to the invention with the
characterizing features of claim 1 and the generic method
according to the invention with the
characterizing features of claim 25 solved.
Beim
erfindungsgemäßen Lager
befindet sich der Ventilator zum Ansaugen der über die Produkte strömenden Reinluft
im Bereich unterhalb der Decke des Lagers. Die den Produkten zuzuführende Reinluft
wird direkt aus dem nach unten strömenden Reinluftstrom angesaugt.
Der abgesaugte Reinluftanteil, der den Produkten zugeführt wird,
belastet das Umluftsystem der Reinraumanlage und die Strömungsverhältnisse
um das Lager im Reinraum nicht.At the
inventive bearing
the fan is located to suck in the clean air flowing over the products
in the area below the ceiling of the warehouse. The clean air to be supplied to the products
is sucked directly from the downward flowing clean air flow.
The extracted clean air fraction that is added to the products
loads the recirculation system of the cleanroom system and the flow conditions
not around the warehouse in the clean room.
Weitere
Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen, der
Beschreibung und den Zeichnungen.Further
Features of the invention will become apparent from the other claims, the
Description and the drawings.
Die
Erfindung wird anhand einiger in den Zeichnungen dargestellter Ausführungsformen
näher erläutert. Es
zeigenThe
The invention will be described with reference to some embodiments shown in the drawings
explained in more detail. It
demonstrate
1 in
schematischer Darstellung und in Seitenansicht einen Teil einen
ersten Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Lagers, 1 in a schematic representation and in side view of a part of a first embodiment of a bearing according to the invention,
2 bis 11 jeweils
in Darstellungen entsprechend 1 weitere
Ausführungsformen
von erfindungsgemäßen Lagern. 2 to 11 respectively in representations accordingly 1 further embodiments of inventions according to the invention.
Das
Lager gemäß 1,
von dem nur ein Teil dargestellt ist, weist eine Reinraumdecke 1 auf, die
in bekannter Weise ausgebildet ist. Sie ist als Rasterdecke ausgebildet
und hat einander kreuzende Tragschienen, auf denen Filter-Ventilator-Einheiten 2 sitzen.
Unterhalb der Reinraumdecke 1 befinden sich Lagereinrichtungen 3, 4,
sogenannte Stocker, in denen Träger 5, 6 angeordnet
sind. In der Lagereinrichtung 3 sind drei Träger 5 übereinander
angeordnet, während
die gegenüberliegende
Lagereinrichtung 4 nur einen Träger 6 aufnimmt. In
jedem Träger 5, 6 sind
Glasscheiben 7 mit geringem Ab stand übereinander gelagert, aus denen
Flüssigkristallbildschirme
(FPD) hergestellt werden. Die Glasscheiben 7 liegen in
den Trägern 5, 6 horizontal.
Die Lagereinrichtungen 3, 4 erstrecken sich quer
zur Zeichenebene und weisen dementsprechend eine Vielzahl hintereinander
angeordneter Träger 5, 6 auf.
Die Lagereinrichtungen 3, 4 können beispielsweise eine Länge von
etwa 80 m haben. Beispielhaft sind die Lagereinrichtungen 3, 4 etwa
7 m breit und etwa 7 m hoch. Die Anzahl und Position der Trägerebenen
kann basierend auf verfügbarer
Gebäudehöhe sowie
Speicherbedarf variiert werden.The warehouse according to 1 , of which only a part is shown, has a clean room ceiling 1 on, which is formed in a known manner. It is designed as a grid ceiling and has intersecting mounting rails on which filter fan units 2 to sit. Below the cleanroom ceiling 1 There are storage facilities 3 . 4 , so-called Stocker, in which carriers 5 . 6 are arranged. In the storage facility 3 are three carriers 5 arranged one above the other, while the opposite storage facility 4 only one carrier 6 receives. In every carrier 5 . 6 are glass panes 7 with low Ab stand superimposed, from which liquid crystal displays (FPD) are produced. The glass panes 7 lie in the carriers 5 . 6 horizontal. The storage facilities 3 . 4 extend transversely to the plane and accordingly have a plurality of consecutively arranged carrier 5 . 6 on. The storage facilities 3 . 4 For example, they can be about 80 meters long. Exemplary are the storage facilities 3 . 4 about 7 m wide and about 7 m high. The number and position of the support planes can be varied based on available building height and storage requirements.
Zwischen
den beiden Lagereinrichtungen 3, 4 befindet sich
eine Transporteinrichtung 8, mit der die Träger 5, 6 durch
einen Ausschleusbereich 9 (nicht dargestellten) Prozeßgeräten zugeführt werden,
die sich auf der von der Lagereinrichtung 3 abgewandten
Seite der Lagereinrichtung 4 befinden. Die Transporteinrichtung 8 ist
längs der
Lagereinrichtungen 3, 4 quer zur Zeichenebene
verfahrbar und weist ein in Höhenrichtung
und Querrichtung der Lagereinrichtungen 3, 4 verfahrbares
Transportelement 10 auf, mit dem die Träger 5, 6 der
Lagereinrichtung 3, 4 entnommen werden können.Between the two storage facilities 3 . 4 there is a transport device 8th with which the carrier 5 . 6 through a discharge area 9 (Not shown) are supplied to the process equipment, which is based on that of the storage facility 3 opposite side of the storage facility 4 are located. The transport device 8th is along the storage facilities 3 . 4 Can be moved transversely to the plane and has a height direction and transverse direction of the storage facilities 3 . 4 movable transport element 10 on, with which the carriers 5 . 6 the storage facility 3 . 4 can be removed.
Der
Ausschleusbereich 9 kann nur an einer Stelle der Lagereinrichtung 4 vorgesehen
sein, so daß die
Lagereinrichtung 4 vor und hinter dem Ausschleusbereich 9 ebenfalls
bis zum Boden 11 des Lagers reicht. Es ist auch möglich, über die
Länge der Lagereinrichtung 4 verteilt
mehrere Ausschleusbereiche 9 vorzusehen. Im Bereich zwischen
aufeinander folgenden Ausschleusbereichen 9 sind die Träger 6 entsprechend
den Trägern 5 der
Lagereinrichtung 3 übereinander
angeordnet. Der Anschleusbereich 9 kann auch bei der Lagereinrichtung 3 in
der beschriebenen Weise vorgesehen sein. Es ist ferner möglich, beide
Lagereinrichtungen 3, 4 mit Anschleusbereichen 9 zu
versehen.The discharge area 9 can only at one point of the storage facility 4 be provided so that the storage facility 4 in front of and behind the discharge area 9 also to the bottom 11 of the camp is enough. It is also possible over the length of the storage facility 4 distributes several discharge areas 9 provided. In the area between successive discharge areas 9 are the carriers 6 according to the vehicles 5 the storage facility 3 arranged one above the other. The Anschleusbereich 9 can also be used at the storage facility 3 be provided in the manner described. It is also possible, both storage facilities 3 . 4 with attachment areas 9 to provide.
Die
Filter-Ventilator-Einheiten 2 befinden sich oberhalb eines
Mittelbereiches 12, der seitlich von den Lagereinrichtungen 3, 4 begrenzt
ist. Entspre chend der Länge
des Mittelbereiches 12 sind auf der Reinraumdecke 1 mehrere
Filter-Ventilator-Einheiten 2 verteilt angeordnet. Ihre
Ventilatoren 13 saugen Reinluft aus dem Bereich oberhalb
der Reinraumdecke 1 an. Sie gelangt dann durch Filter 14 nach
unten in den Mittelbereich 12 (vergleiche Strömungspfeile).
Im Mittelbereich 12 strömt
die gefilterte Reinluft laminar nach unten zum Boden 11,
der als Doppelboden ausgebildet ist. Der größte Teil dieser nach unten
strömenden
Reinluft wird unterhalb des Lagers in bekannter Weise seitlich abgesaugt
und über
(nicht dargestellte) Rückführkanäle in den
Bereich oberhalb der Reinraumdecke 1 zu den Ventilatoren 2 zurückgeführt.The filter-fan units 2 are located above a central area 12 , the side of the storage facilities 3 . 4 is limited. Corresponding to the length of the middle area 12 are on the cleanroom ceiling 1 several filter-fan units 2 arranged distributed. Your fans 13 suck clean air from the area above the clean room ceiling 1 at. It then passes through filters 14 down to the middle area 12 (compare flow arrows). In the middle area 12 The filtered clean air flows laminar down to the ground 11 , which is designed as a raised floor. The largest part of this downwardly flowing clean air is sucked laterally below the bearing in a known manner and via (not shown) return ducts in the area above the clean room ceiling 1 to the fans 2 recycled.
Im
Bereich unterhalb der Lagereinrichtung 3 befinden sich
Ventilatoren 15, die einen Teil der im Mittelbereich 12 nach
unten strömenden
Reinluft in Pfeilrichtung 16 ansaugen. Quer zur Zeichenebene sind
mehrere solcher Ventilatoren 15 sowie nachgeschalteter
Filter 17 mit Abstand hintereinander angeordnet, so daß dieser
Teil der Reinluft über
die Länge der
Lagereinrichtung 3 gleichmäßig angesaugt wird. Die Gebläse 15 und
die Filter 17 befinden sich in einem horizontalen Kanal 18,
der an seinem vom Mittelbereich 12 abgewandten Ende in
einen senkrechten Kanal 19 anschließt, der auf der von der Lagereinrichtung 4 abgewandten
Seite der Träger 5 vorgesehen
ist und durch eine Doppelwand 20, 21 begrenzt
wird. Im Bereich der Träger 5 ist
die Wand 21 offen und bildet übereinander liegende Öffnungen 22, durch
die die im Kanal 19 nach oben strömende Reinluft horizontal zu
den Trägern 5 strömen kann. Die
Träger 5 sind
zum Kanal 19 hin offen, so daß die Reinluft zwischen den
horizontal mit Abstand übereinander
liegenden Glasscheiben 7 strömen kann. Auf diese Weise liegen
die Glasscheiben 7 während
ihrer Lagerung in einem kontinuierlich strömenden Reinluftstrom, so daß eine Verschmutzung
der Glasscheiben 7 während
der Lagerzeit ausgeschlossen ist. Nach Durchströmen der Träger 5 gelangt die
Reinluft wieder in den Mittelbereich 12 und vermischt sich dort
mit der von oben nach unten strömenden
Reinluft.In the area below the storage facility 3 There are fans 15 that are part of the mid-range 12 downwards flowing clean air in the direction of the arrow 16 suck. Cross to the drawing plane are several such fans 15 and downstream filter 17 arranged at a distance one behind the other, so that this part of the clean air over the length of the storage facility 3 is sucked in evenly. The fans 15 and the filters 17 are in a horizontal channel 18 at his from the center area 12 opposite end in a vertical channel 19 connects, on the from the storage facility 4 opposite side of the carrier 5 is provided and by a double wall 20 . 21 is limited. In the area of the carrier 5 is the wall 21 open and forms superimposed openings 22 through which the in the channel 19 upwardly flowing clean air horizontally to the carriers 5 can flow. The carriers 5 are to the channel 19 open, so that the clean air between the horizontally spaced glass panes 7 can flow. This is how the glass panes lie 7 during their storage in a continuously flowing clean air flow, so that contamination of the glass sheets 7 during storage is excluded. After flowing through the carrier 5 the clean air returns to the central area 12 and mixes there with the flowing from top to bottom clean air.
Die
Wand 21 kann auch entfallen. Dann strömt die Reinluft unmittelbar
zwischen die Glasscheiben 7.The wall 21 can also be omitted. Then the clean air flows directly between the glass panes 7 ,
Auch
die Lagereinrichtung 4 ist mit Ventilatoren 23 und
nachgeschalteten Filtern 24 versehen, die aus dem Mittelbereich 12 einen
Teil der nach unten strömenden
Reinluft ansaugen. Die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24 befinden
sich in einem horizontalen Kanal 25, der an dem von der
Lagereinrichtung 3 abgewandten Ende in einen vertikalen,
nach oben verlaufenden Kanal 26 übergeht. Er wird durch zwei vertikale,
mit Abstand hintereinander liegende Wände 27, 28 begrenzt.
Der Kanal 26 ist in Richtung auf die Träger 6 offen. Dadurch
strömt
die im Kanal 26 nach oben strömende Reinluft zum Träger 6.
Er ist zum Kanal 26 hin offen, so daß die Reinluft zwischen die
im Träger 6 gelagerten, übereinander
angeordneten Glasscheiben 7 strömen kann. Sie werden somit ebenfalls
während
der Lagerzeit von Reinluft umströmt,
so daß eine
Verschmutzung der Glasscheiben verhindert wird. Nach dem Durchtritt
durch die Träger 6 gelangt
die Reinluft in den Mittelbereich 12, in dem sie sich mit
der von den Ventilatoren 2 kommenden, nach unten strömenden Reinluft
vermischt.Also the storage facility 4 is with fans 23 and downstream filters 24 provided that from the middle area 12 suck in part of the downflowing clean air. The filter-fan units 23 . 24 are in a horizontal channel 25 which is attached to that of the storage facility 3 turned away end in a vertical, upwardly extending channel 26 passes. It is defined by two vertical walls spaced one behind the other 27 . 28 limited. The channel 26 is in the direction of the vehicles 6 open. As a result, the flows in the channel 26 upward flowing clean air to the carrier 6 , He is to the channel 26 open so that the clean air between the in the carrier 6 mounted, stacked glass sheets 7 can flow. They are thus also flows around during storage of clean air, so that contamination of the glass is prevented. After passing through the carrier 6 the clean air reaches the middle area 12 in which she deals with the of the fans 2 coming down flowing clean air mixed.
In
den Bereichen, in denen sich die Lagereinrichtung 6 bis
zum Boden 11 erstreckt, ist die Filter-Ventilator-Einheit 23, 24 in
gleicher Weise wie die Filter-Ventilator-Einheit 15, 17 der
Lagereinrichtung 3 im Bodenbereich vorgesehen.In the areas where the storage facility 6 to the ground 11 extends, is the filter-fan unit 23 . 24 in the same way as the filter-fan unit 15 . 17 the storage facility 3 provided in the floor area.
Die
Kanäle 18, 25; 19, 26 erstrecken
sich vorteilhaft über
die ganze Länge
der Lagereinrichtungen 3, 4. In den horizontalen
Kanälen 18, 25 sind
die Filter-Ventilator-Einheiten 15, 17; 23, 24 vorteilhaft
in gleichmäßigen Abständen nebeneinander
angeordnet, so daß die
Reinluft über
die gesamte Länge
der Lagereinrichtungen 3, 4 gleichmäßig angesaugt
werden kann. Dadurch ist auch sichergestellt, daß sämtliche Glasscheiben 7 der
Träger 5, 6 gleichmäßig von Reinluft
umströmt
werden.The channels 18 . 25 ; 19 . 26 extend advantageously over the entire length of the storage facilities 3 . 4 , In the horizontal channels 18 . 25 are the filter-fan units 15 . 17 ; 23 . 24 advantageously arranged at uniform intervals next to each other, so that the clean air over the entire length of the storage facilities 3 . 4 can be sucked in evenly. This also ensures that all glass panes 7 the carrier 5 . 6 are uniformly flowed around by clean air.
In
der beschriebenen Weise werden die Träger 5, 6 horizontal
mit Reinluft durchströmt,
die aus dem Abströmbereich
des Mittelbereiches 12 durch die Filterventilatoreinheiten 15, 17; 23, 24 angesaugt wird.
Dieser Anteil an Reinluft wird somit in einem internen Kreislauf
geführt
und belastet die Mengenbilanz der Reinraumumgebung nicht. Die Rückströmkanäle 18, 19; 25, 26 nehmen
nur wenig Raum in Anspruch. Die den Trägern 5, 6 zugeführte Luftmenge ist
gering.In the manner described, the carriers 5 . 6 flows through with clean air, which flows from the outflow area of the central area 12 through the filter fan units 15 . 17 ; 23 . 24 is sucked. This proportion of clean air is thus conducted in an internal circuit and does not burden the volume balance of the clean room environment. The return flow channels 18 . 19 ; 25 . 26 take up only little space. The carriers 5 . 6 supplied air volume is low.
Durch
den Ausschleusbereich 9 gelangt ein Teil der im Mittelbereich 12 nach
unten strömenden Reinluft
in den Bereich der (nicht dargestellten) Prozeßgeräte.Through the discharge area 9 a part of the middle reaches 12 downwardly flowing clean air in the range of (not shown) process equipment.
Im
Ausschleusbereich 9 sind in der unteren und der mittleren
Lagerebene der Lagereinrichtung 4 keine Träger 6 gelagert.
Die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24 sind
in diesem Falle direkt unterhalb der oberen Lagerebene der Lagereinrichtung 4 angeordnet.In the discharge area 9 are in the lower and middle storage levels of the storage facility 4 no carriers 6 stored. The filter-fan units 23 . 24 are in this case directly below the upper storage level of the storage facility 4 arranged.
Die
Ausführungsform
gemäß 2 unterscheidet
sich vom vorigen Ausführungsbeispiel
dadurch, daß in
der Reinraumdecke 1 Schwebstoff-Filter 14 angeordnet
sind, die über
Hauben 29 und Kanäle 30 an
ein (nicht dargestelltes) Luftverteilsystem angeschlossen sind.
Die Schwebstoff-Filter 14 erstrecken sich vorteilhaft über die
Breite des Mittelbereiches 12. Über die Länge des Mittelbereiches 12 ist eine
entsprechende Zahl von Schwebstoff-Filtern 14 hintereinander angeordnet.
Die Hauben 29 überdecken
die Schwebstoff-Filter 14. Dadurch wird zwischen den Schwebstoff-Filtern 14 und
einer Decke 31 der Hauben 29 ein Zuströmraum 32 für die Reinluft
gebildet. Von der Decke 31 stehen nach oben die Kanäle 30 ab, über die
die Reinluft vom Luftverteilsystem aus zugeführt wird. Im übrigen ist
die Ausführungsform
gleich ausgebildet wie das vorige Ausführungsbeispiel.The embodiment according to 2 differs from the previous embodiment in that in the clean room ceiling 1 HEPA Filters 14 are arranged over hoods 29 and channels 30 connected to a (not shown) air distribution system. The suspended solids filter 14 extend advantageously over the width of the central region 12 , About the length of the middle area 12 is a corresponding number of suspended solids filters 14 arranged one behind the other. The hoods 29 cover the suspended matter filters 14 , This will switch between the suspended solids filters 14 and a blanket 31 the hoods 29 an inflow room 32 formed for the clean air. From the ceiling 31 stand up the channels 30 via which the clean air is supplied from the air distribution system. Moreover, the embodiment is the same design as the previous embodiment.
3 zeigt
ein Ausführungsbeispiel,
bei dem die Reinluft vom Bodenbereich aus angesaugt wird. Im Bereich
der Reinraumdecke 1 befinden sich somit keine Filter-Ventilator-Einheiten.
Die Luftversorgung des Mittelbereiches 12 erfolgt durch
die aus den Lagereinrichtungen 3, 4 abströmende Luftmenge.
Dadurch bildet sich eine von oben nach unten gerichtete Luftströmung. Im
Bereich unterhalb der Lagereinrichtung 3 befinden sich
Filter-Ventilator-Einheiten 33,
die im horizontalen Kanal 18 angeordnet sind. Im Unterschied
zu den vorigen Ausführungsbeispielen
ist der Kanal 18 gegenüber
dem Mittelbereich 12 geschlossen. Die Filter-Ventilator-Einheiten 33 sind
so angeordnet, daß sie
die Reinluft von unten ansaugen. Dementsprechend ist der horizontale
Kanal 18 nach unten offen. Die angesaugte Reinluft strömt im vertikalen
Kanal 19 nach oben und tritt durch die Öffnungen 22 in der
Kanalwand horizontal nach außen.
Die in den Trägern 5 gelagerten
Glasscheiben 7 werden von der Reinluft horizontal umspült, die
anschließend
in den Mittelbereich 12 des Lagers gelangt. 3 shows an embodiment in which the clean air is sucked from the bottom area. In the area of the clean room ceiling 1 There are thus no filter-fan units. The air supply of the middle area 12 done by the from the storage facilities 3 . 4 outflowing air volume. As a result, an air flow directed from top to bottom forms. In the area below the storage facility 3 are Filter Fan On units 33 in the horizontal canal 18 are arranged. In contrast to the previous embodiments, the channel 18 opposite the middle section 12 closed. The filter-fan units 33 are arranged so that they suck the clean air from below. Accordingly, the horizontal channel 18 open at the bottom. The sucked clean air flows in the vertical channel 19 upwards and enters through the openings 22 in the duct wall horizontally outwards. The in the straps 5 stored glass panes 7 are lapped by the clean air horizontally, which then in the middle area 12 of the warehouse.
Der
horizontale Kanal 25 der Lagereinrichtung 4 ist
ebenfalls gegen den Mittelbereich 12 geschlossen und nach
unten offen. Die im Kanal 25 befindlichen Filter-Ventilator-Einheiten 34 saugen
die Reinluft von unten in den Kanal 25 an, die im vertikalen
Kanal 26 nach oben strömt
und von dort zwischen den Glasscheiben 7 der Träger 6 in
den Mittelbereich 12 strömt. Da der Kanal 25 nach
unten offen ist, wird ein Teil der durch den Ausschleusbereich 9 strömenden Reinluft
in den Kanal 25 angesaugt.The horizontal channel 25 the storage facility 4 is also against the middle range 12 closed and open at the bottom. The in the channel 25 located filter-fan units 34 suck the clean air from below into the canal 25 on, in the vertical channel 26 flows upwards and from there between the glass panes 7 the carrier 6 in the middle area 12 flows. Because the channel 25 is open to the bottom part of the through the discharge area 9 flowing clean air into the canal 25 sucked.
Wie
bei den vorhergehenden Ausführungsformen
wird auch bei diesem Ausführungsbeispiel die
die Glasscheiben 7 durchströmende Reinluft im Kreislauf
geführt.
Dieser abgesaugte, im Kreislauf geführte Reinluftanteil belastet
nicht das Umluftsystem der gesamten Reinraumanlage und die Strömungsverhältnisse
um die Lagereinrichtungen 3, 4 im Reinraum.As in the previous embodiments, the glass sheets also in this embodiment 7 flowing clean air circulated. This aspirated, recirculated clean air does not burden the recirculation system of the entire clean room system and the flow conditions around the storage facilities 3 . 4 in the clean room.
4 zeigt
das Ausführungsbeispiel
gemäß 3 mit
einer zusätzlichen
Handhabungseinrichtung 35, die zwischen der Lagereinrichtung 4 und
einem Prozeßgerät 36 angeordnet
ist. Auf der Handhabungseinrichtung 35 ist mindestens eine
Filter-Ventilator-Einheit 37 angeordnet, mit der ein Reinluft strom vertikal
nach unten und turbulenzarm als Verdrängungsströmung erzeugt wird. Diese Reinluft
durchströmt
die Handhabungseinrichtung 35 und gelangt über den
Ausschleusbereich 9 der Lagereinrichtung 4 wieder
in den Mittelbereich 12 zurück. Eine sonst vorhandene,
nach außen
gerichtete Abströmung
in den Reinraum wird damit verhindert. Im übrigen ist dieses Ausführungsbeispiel
gleich ausgebildet wie die Ausführungsform
nach 3. 4 shows the embodiment according to 3 with an additional handling device 35 between the storage facility 4 and a process device 36 is arranged. On the handling device 35 is at least one filter-fan unit 37 arranged, with a clean air flow vertically down and turbulence is generated as a displacement flow. This clean air flows through the handling device 35 and gets over the discharge area 9 the storage facility 4 back to the middle area 12 back. An otherwise existing, outward discharge into the clean room is thus prevented. Moreover, this embodiment is the same design as the embodiment according to 3 ,
Das
Lager gemäß 5 hat
die beiden Lagereinrichtungen 3, 4. Unterhalb
der Lagereinrichtung 3 befindet sich der horizontale Kanal 18,
der in Richtung auf den Mittelbereich 12 offen ist. Im
Kanal 18 sind die Filter-Ventilator-Einheiten 33 untergebracht,
die Reinluft aus dem Mittelbereich 12 ansaugen, die anschließend im
vertikalen Kanal 19 in der beschriebenen Weise nach oben
strömt.
Durch die Öffnungen 22 in
der Kanalwand 21 gelangt diese Reinluft zwischen die Glasscheiben 7 der
Träger 5. Nach Überströmen der
Glasscheiben 7 gelangt diese Reinluft wieder in den Mittelbereich 12.The warehouse according to 5 has the two storage facilities 3 . 4 , Below the storage facility 3 is the horizontal channel 18 pointing towards the center area 12 is open. In the channel 18 are the filter-fan units 33 housed, the clean air from the middle area 12 suck in, then in the vertical channel 19 flows upward in the manner described. Through the openings 22 in the canal wall 21 this clean air passes between the glass panes 7 the carrier 5 , After overflowing the glass panes 7 this clean air gets back into the middle area 12 ,
Die
Lagereinrichtung 4 hat den horizontalen Kanal 25,
in dem sich die Filter-Ventilator-Einheiten 34 befinden.
Der Kanal 25 ist gegen den Mittelbereich 12 geschlossen
und gegen den Reinraum 38 offen, in dem sich die Prozeßgeräte 36 (4)
befinden. Dementsprechend wird die Reinluft aus dem Reinraum 28 in
den Kanal 25 angesaugt, die in den vertikalen Kanal 26 gelangt
und von hier über
die Glasscheiben 7 der Träger 6 strömt. Wie
bei den vorigen Ausführungsbeispielen
befindet sich der horizontale Kanal 25 im Bereich oberhalb
des Ausschleusbereiches 9, über den die Träger 5, 6 mittels der
Transporteinrichtung 8 in den Reinraum 38 transportiert
werden.The storage facility 4 has the horizontal channel 25 in which are the filter-fan units 34 are located. The channel 25 is against the middle range 12 closed and against the clean room 38 open, in which the process equipment 36 ( 4 ) are located. Accordingly, the clean air from the clean room 28 in the channel 25 sucked into the vertical channel 26 and from here on the glass panes 7 the carrier 6 flows. As in the previous embodiments, the horizontal channel is located 25 in the area above the discharge area 9 about which the wearer 5 . 6 by means of the transport device 8th in the clean room 38 be transported.
Die
Reinluftversorgung des Mittelbereiches 12 erfolgt durch
die aus den Trägern 5, 6 abströmende Luftmenge.
Wie bei den Ausführungsformen
nach den 1 bis 3 strömt ein Teil
der Reinluft aus dem Mittelbereich 12 durch den Ausschleusbereich 9 nach
außen
in den Reinraum 38.The clean air supply of the middle area 12 done by the out of the carriers 5 . 6 outflowing air volume. As in the embodiments of the 1 to 3 Part of the clean air flows out of the middle area 12 through the discharge area 9 to the outside in the clean room 38 ,
Bei
der Ausführungsform
nach 6 wird die Reinluft im Bereich unterhalb der Lagereinrichtungen 3, 4 von
den Filter-Ventilator-Einheiten 33 angesaugt, die sich
in den horizontalen Kanälen 18, 39 befinden.
Im Unterschied zu den vorigen Ausführungsbeispielen findet keine
Abströmung
in den Rückluftbereich
unterhalb des Bodens 11 statt. Die Luftversorgung des Lagers
ist gegenüber
dem Reinraum 38 und dem Rückluftbereich voltständig abgeschlossen.
Lediglich über
den Ausschleusbereich 9 strömt die Reinluft aus dem Mittelbereich 12 in
den umgebenden Reinraum 38.In the embodiment according to 6 the clean air is in the area below the storage facilities 3 . 4 from the filter-fan units 33 sucked in, which is in the horizontal channels 18 . 39 are located. In contrast to the previous embodiments, there is no outflow into the return air area below the floor 11 instead of. The air supply of the warehouse is opposite the clean room 38 and the return air area completely terminated. Only over the discharge area 9 the clean air flows out of the middle area 12 in the surrounding clean room 38 ,
Die
von den Filter-Ventilator-Einheiten 33 angesaugte Reinluft
strömt
aus dem horizontalen Kanal 18 in den anschließenden vertikalen
Kanal 19, in dem sie nach oben strömt und über die Öffnungen 22 der Kanalwand 21 in
die Träger 5 strömt. Sie
strömt
an den horizontalen Glasscheiben 7 der Träger 5 entlang
und gelangt wieder in den Mittelbereich 12.The of the filter-fan units 33 sucked clean air flows out of the horizontal channel 18 in the subsequent vertical channel 19 in which it flows upwards and over the openings 22 the canal wall 21 in the carrier 5 flows. It flows on the horizontal glass panes 7 the carrier 5 along and returns to the middle area 12 ,
Die
Filter-Ventilator-Einheiten 34 der Lagereinrichtung 4 saugen
die Reinluft entsprechend der Ausführungsform gemäß 5 aus
dem Reinraum 38 an. Die Reinluft gelangt in den horizontalen
Kanal 25, von dem aus die Reinluft in den vertikalen Kanal 26 strömt. Sie
strömt
zwischen den Glasscheiben 7 der Träger 6 und gelangt
in den Mittelbereich 12.The filter-fan units 34 the storage facility 4 suck the clean air according to the embodiment according to 5 from the clean room 38 at. The clean air enters the horizontal channel 25 from which the clean air into the vertical channel 26 flows. It flows between the glass panes 7 the carrier 6 and gets into the middle area 12 ,
7 zeigt
eine Ausführungsform,
bei der die lüftungstechnischen
Komponenten in einem in der Rückluftebene
angeordneten, zu diesem abgeschotteten Bereich angeordnet sind.
So sind unterhalb der Lagereinrichtung 3 die Ventilatoren 15 angeordnet,
die die Reinluft ansaugen und mit denen größere Luftmengen gefördert werden können als
mit einzelnen Filter-Ventilator-Einheiten.
Die Ventilatoren 15 saugen die im Mittelbereich 12 nach
unten strömende
Reinluft an. Getrennt von den Ventilatoren 15 sind unterhalb
des Doppelbodens 11 horizontal die Schwebstoff-Filter 17 angeordnet,
durch welche die von den Ventilatoren 15 angesaugte Reinluft
hindurchtritt. Sie gelangt in den horizontalen Kanal 18 und
von dort in den vertikalen Kanal 19. Die Ventilatoren 15 und
die Schwebstoff-Filter 17 befinden sich unter halb des Doppelbodens 11 in
einem Bereich 40, der gegen die Rückluftebene 41 geschlossen
ist. 7 shows an embodiment in which the ventilation components are arranged in a arranged in the return air plane, this sealed-off area. So are below the storage facility 3 the fans 15 arranged, which suck in the clean air and with which grö ßere amounts of air can be promoted than with individual filter-fan units. The fans 15 suck those in the middle area 12 down flowing clean air. Separated from the fans 15 are below the double floor 11 horizontally the suspended matter filter 17 arranged by which the fans 15 sucked clean air passes. It enters the horizontal channel 18 and from there into the vertical channel 19 , The fans 15 and the suspended matter filters 17 are located under half of the double floor 11 in one area 40 who is against the return air level 41 closed is.
Im
Bereich unterhalb der Lagereinrichtung 4 und des Doppelbodens 11 befinden
sich horizontal angeordnete Filter-Ventilator-Einheiten 42,
die die Reinluft aus der Rückluftebene 41 ansaugen
und nach oben fördern.
Unterhalb der Träger 6 der
Lagereinrichtung 4 befinden sich die horizontal angeordneten
Filter-Ventilator-Einheiten 34, die die Reinluft aus dem
Reinraum 38 ansaugen, in dem sich die Prozeßgeräte 36 (4)
befinden. Die von den Filter-Ventilator-Einheiten angesaugte Reinluft
gelangt zunächst
in den horizontalen Kanal 25 und von dort in den vertikalen
Kanal 26. Die Reinluft strömt dann über die horizontal in den Trägern 6 angeordneten Glasscheiben
und gelangt in den Mittelbereich 12, in dem die Reinluft
nach unten strömt.In the area below the storage facility 4 and the double floor 11 are horizontally arranged filter-fan units 42 that the clean air from the return air level 41 suck in and promote upwards. Below the carrier 6 the storage facility 4 are the horizontally arranged filter-fan units 34 that clean air from the clean room 38 suck in, in which the process equipment 36 ( 4 ) are located. The clean air drawn in by the filter-fan units first enters the horizontal duct 25 and from there into the vertical channel 26 , The clean air then flows over the horizontal in the carriers 6 arranged glass sheets and enters the central area 12 , in which the clean air flows down.
Beim
Ausführungsbeispiel
nach 8 befindet sich unterhalb der Lagereinrichtung 3 oberhalb des
Doppelbodens 11 ein Plenum 43, das gegen den Mittelbereich 12 geschlossen
ist. In das Plenum 43 mündet
mindestens ein vertikaler Kanal 44, über den Reinluft in das Plenum 43 gefördert wird.
Das horizontal verlaufende Plenum 43 schließt an den
vertikalen Kanal 19 an, in dem die Reinluft nach oben strömt und über die Öffnungen 22 in
der Wand 21 in der beschriebenen Weise in die Träger 5 der
Lagereinrichtung 3 strömt.
Die in den Trägern 5 horizontal gelagerten
Glasscheiben 7 werden vom Reinluftstrom umspült, der
nach dem Durchtritt durch die Träger 5 in
den Mittelbereich 12 gelangt. Hier vermischt sich der Reinluftstrom
mit dem im Mittelbereich 12 nach unten strömenden restlichen
Teil der Reinluft.According to the embodiment 8th is located below the storage facility 3 above the double floor 11 a plenum 43 That's against the mid-range 12 closed is. In the plenum 43 at least one vertical channel opens 44 , about the clean air in the plenary 43 is encouraged. The horizontal plenum 43 closes to the vertical channel 19 on, in which the clean air flows upwards and over the openings 22 in the wall 21 in the manner described in the carrier 5 the storage facility 3 flows. The in the straps 5 horizontally mounted glass panes 7 are lapped by the clean air flow, after passing through the carrier 5 in the middle area 12 arrives. Here the pure air flow mixes with that in the middle area 12 down flowing remaining part of the clean air.
Der
Kanal 44 ist an einen horizontalen Kanal 45 angeschlossen,
der in Strömungsrichtung
hinter einem zentralen Lüftungsgerät 46 liegt.
Es hat einen Ventilator 47 und einen nachgeschalteten Schwebstoff-Filter 48.
Die vom Lüftungsgerät 46 angesaugte Reinluft
gelangt in den horizontalen Kanal 45. Ein Teil dieser Reinluft
strömt
in den Kanal 44 und von dort in das Ple num 43.
Ein anderer Teil der Reinluft strömt in einen weiteren vertikalen
Kanal 49, der sich bis zu einem Plenum 50 im Bereich
unterhalb der Lagerebene der Träger 6 der
Lagereinrichtung 4 befindet. An das Plenum 50 schließt der vertikale
Kanal 26 an, in dem die zugeführte Reinluft nach oben strömt und zwischen
den horizontal angeordneten Glasscheiben 7 durch die Träger 6 in
den Mittelbereich 12 strömt.The channel 44 is on a horizontal channel 45 connected in the flow direction behind a central ventilation unit 46 lies. It has a fan 47 and a downstream particulate filter 48 , The of the ventilation unit 46 sucked clean air enters the horizontal channel 45 , Part of this clean air flows into the channel 44 and from there to the Ple num 43 , Another part of the clean air flows into another vertical channel 49 that goes up to a plenary session 50 in the area below the storage level of the carrier 6 the storage facility 4 located. To the plenum 50 closes the vertical channel 26 in which the supplied clean air flows upwards and between the horizontally arranged glass panes 7 through the carriers 6 in the middle area 12 flows.
Ein
Teil der im Mittelbereich 12 nach unten strömenden Reinluft
tritt wie bei den vorigen Ausführungsbeispielen über den
Ausschleusbereich 9 in den Reinraum 38 aus.Part of the mid-range 12 downwardly flowing clean air occurs as in the previous embodiments on the discharge area 9 in the clean room 38 out.
Im
Unterschied zu den vorigen Ausführungsbeispielen
befinden sich unterhalb der Lagereinrichtungen 3, 4 keine
Filter-Ventilator-Einheiten oder Ventilatoren, sondern das jeweilige
Plenum 43, 50. Die Reinluft kann aus dem Lager
frei in die Rückluftebene
abströmen.
Mit dem Lüftungsgerät 46 wird
die Reinluft aus der Rückluftebene
angesaugt und in der beschriebenen Weise dem jeweiligen Plenum 43, 50 zugeführt.In contrast to the previous embodiments are located below the storage facilities 3 . 4 no filter-fan units or fans, but the plenum 43 . 50 , The clean air can flow freely from the bearing to the return air level. With the ventilation unit 46 the clean air is sucked from the return air plane and in the manner described the respective plenum 43 . 50 fed.
Beim
Ausführungsbeispiel
nach 9 sind unterhalb jeder Lagerebene der Lagereinrichtung 3 Filter-Ventilator-Einheiten 51 angeordnet,
die die jeweils darüber
angeordneten Träger 5 mit
Reinluft versorgen. Die Filter-Ventilator-Einheiten sitzen jeweils in dem horizontalen
Kanal 18, an den die vertikalen Kanäle 19 anschließen. In
ihnen strömt
die von den Filter-Ventilator-Einheiten 51 aus
dem Mittelbereich 12 angesaugte Reinluft nach oben und
strömt
zwischen den Glasplatten 7 der Träger 5 zurück in den Mittelbereich 12.According to the embodiment 9 are below each storage level of the storage facility 3 Filter-fan units 51 arranged, which are each arranged above the carrier 5 supply with clean air. The filter-fan units each sit in the horizontal channel 18 to which the vertical channels 19 connect. In them flows from the filter-fan units 51 from the middle area 12 sucked clean air upwards and flows between the glass plates 7 the carrier 5 back to the middle area 12 ,
Auf
der Decke 1 sitzen die Filter-Ventilator-Einheiten 2, über die
die Reinluft in den Mittelbereich 12 gelangt, in dem sie
nach unten strömt.On the ceiling 1 sit the filter-fan units 2 , about which the clean air in the middle area 12 passes, in which it flows down.
Im
Bereich unterhalb der Träger 6 der
Lagereinrichtung 4 befinden sich die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24 im
horizontalen Kanal 25. Die vom Ventila tor 23 aus
dem Mittelbereich 12 angesaugte Reinluft strömt über den
Kanal 25 in den vertikalen Kanal 26. Von hier
aus strömt
die Reinluft zwischen den horizontalen Glasscheiben 7 in
den Trägern 6 zurück in den
Mittelbereich 12. Ein Teil der im Mittelbereich 12 nach
unten strömenden
Reinluft gelangt über
den Ausschleusbereich 9 in den Reinraum 38.In the area below the girders 6 the storage facility 4 are the filter-fan units 23 . 24 in the horizontal channel 25 , The tor of the Ventila 23 from the middle area 12 sucked clean air flows over the channel 25 in the vertical channel 26 , From here, the clean air flows between the horizontal glass panes 7 in the straps 6 back to the middle area 12 , Part of the mid-range 12 down flowing clean air passes through the discharge area 9 in the clean room 38 ,
Auch
die Lagereinrichtung 6 kann in den Bereichen, in denen
mehrere Lagerebenen übereinander
vorgesehen sind, unterhalb jeder Lagerebene die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24 entsprechend
der Lagereinrichtung 3 aufweisen. Die horizontalen Kanäle 18 der
Lagereinrichtung 3 sind gegenüber der jeweils unteren Lagerebene
geschlossen.Also the storage facility 6 In the areas in which several storage levels are provided one above the other, below each storage level, the filter-fan units can be used 23 . 24 according to the storage facility 3 exhibit. The horizontal channels 18 the storage facility 3 are closed to the lower storage level.
Die
von den Ventilatoren 2 in den Mittelbereich 12 geförderte Reinluft
tritt durch den Doppelboden 11 nach unten aus und wird über das
Rückluftsystem
zurück
zu den Filter-Ventilator-Einheiten 2 gefördert.The one from the fans 2 in the middle area 12 conveyed clean air passes through the raised floor 11 down and out via the return air system back to the filter-fan units 2 promoted.
Die
Ausführungsform
gemäß 10 unterscheidet
sich vom vorigen Ausführungsbeispiel
lediglich dadurch, daß unterhalb
des horizontalen Kanals 25 der Lagereinrichtung 4 Filter-Ventilator-Einheiten 52 angeordnet
sind, die Reinluft aus dem Reinraum 38 ansaugen. Diese
angesaugte Reinluft wird dem Reinluftstrom im Mittelbereich 12 zugeführt. Auf
diese Weise wird der Mittelbereich 12 auf Überdruck
gehalten. Das Lüftungsgerät 52 befindet
sich oberhalb des Ausschleusbereiches 9 zu den im Reinraum 38 angeordneten
Prozeßgeräten 36 (4).The embodiment according to 10 differs from the previous embodiment single Lich in that below the horizontal channel 25 the storage facility 4 Filter-fan units 52 are arranged, the clean air from the clean room 38 suck. This sucked clean air is the clean air flow in the middle range 12 fed. In this way, the middle area 12 kept at overpressure. The ventilation unit 52 is located above the discharge area 9 to those in the clean room 38 arranged process devices 36 ( 4 ).
11 zeigt
ein Ausführungsbeispiel,
bei dem unterhalb der Träger 5 der
Lagereinrichtung 3 entsprechend dem Ausführungsbeispiel
nach den 9 und 10 jeweils
Filter-Ventilator-Einheiten 51 angeordnet sind. 11 shows an embodiment in which below the carrier 5 the storage facility 3 according to the embodiment of the 9 and 10 each filter-fan units 51 are arranged.
Unterhalb
der Träger 6 der
Lagereinrichtung 3 befinden sich im horizontalen Kanal 25 die
Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24, mit denen
ein Teil der Reinluft aus dem Reinluftstrom im Mittelbereich 12 abgesaugt
und in den vertika len Kanal 26 gefördert wird. Unterhalb des horizontalen
Kanals 25 und oberhalb des Ausschleusbereiches 9 befinden
sich entsprechend der Ausführungsform
nach 10 die Filter-Ventilator-Einheiten 52,
die Reinluft aus dem Reinraum 38 ansaugen und dem Mittelbereich 12 zuführen. Zusätzlich befinden
sich oberhalb der Träger 6 und
unterhalb der Decke 1 weitere Filter-Ventilator-Einheiten 53,
die wie die Filter-Ventilator-Einheiten 52 Reinluft aus
dem Reinraum 38 ansaugen und dem Mittelbereich 12 zuführen. Die
Reinluft wird in einen Bereich zwischen der Decke 1 und
einem Lochblech 54 eingebracht, das im Mittelbereich 12 angeordnet
und parallel zur Decke 1 im Mittelbereich 12 verläuft. Das
Lochblech 54 ist über
die Länge
des Mittelbereiches 12 vorgesehen und besteht vorteilhaft
aus einzelnen, aneinander gesetzten Lochblechelementen. Das Lochblech 54 stellt
sicher, daß die Reinluft über die
Länge und
Breite des Mittelbereiches 12 gleichmäßig zwischen die Lagereinrichtungen 3, 4 strömt. Durch
die zusätzlich
angesaugte Reinluft wird wie beim Ausführungsbeispiel nach 10 die
Reinluft im Mittelbereich 12 auf Überdruck gehalten. Ein Teil
der nach unten strömenden
Reinluft gelangt aus dem Mittelbereich 12 über den
Ausschleusbereich 9 in den Reinraum 38. Die im
Mittelbereich 12 nach unten strömende und nicht von den Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24, 51, 52 angesaugte Teil
der Reinluft gelangt nach unten in die Rückluftebene 41.Below the carrier 6 the storage facility 3 are in the horizontal channel 25 the filter-fan units 23 . 24 , with which a part of the clean air from the clean air flow in the middle range 12 sucked off and in the vertical channel 26 is encouraged. Below the horizontal channel 25 and above the discharge area 9 are according to the embodiment according to 10 the filter-fan units 52 , the clean air from the clean room 38 suck in and the middle area 12 respectively. In addition are located above the carrier 6 and below the ceiling 1 additional filter-fan units 53 which are like the filter fan units 52 Clean air from the clean room 38 suck in and the middle area 12 respectively. The clean air is in an area between the ceiling 1 and a perforated plate 54 introduced in the middle section 12 arranged and parallel to the ceiling 1 in the middle area 12 runs. The perforated plate 54 is about the length of the middle area 12 provided and advantageously consists of individual, juxtaposed perforated plate elements. The perforated plate 54 Ensures that the clean air is over the length and width of the mid-range 12 evenly between the storage facilities 3 . 4 flows. By additionally sucked clean air is as in the embodiment according to 10 the clean air in the middle area 12 kept at overpressure. Part of the downflowing clean air comes out of the middle area 12 over the discharge area 9 in the clean room 38 , The middle range 12 flowing down and not from the filter-fan units 23 . 24 . 51 . 52 sucked part of the clean air passes down into the return air plane 41 ,
Bei
sämtlichen
Ausführungsformen
wird die Reinluft aus dem Abströmbereich
des Lagers direkt zu den Lagereinrichtungen 3, 4 abgesaugt.
Die jeweiligen Ventilatoren sind unterhalb der Oberkante des Lagers
so angeordnet, daß sie
die Luft aus dem Abströmbereich 12 des
Lagers ansaugen. Die abgesaugte Reinluftanteil belastet das Umluftsystem
der Gesamtanlage und die Strömungsverhältnisse
um das Lager im Reinraum nicht. Die über die Glasscheiben 7 in
den Trägern 5, 6 geführte Reinluft
wird von unten nach oben geführt.In all embodiments, the clean air from the outflow area of the bearing is directly to the storage facilities 3 . 4 aspirated. The respective fans are arranged below the upper edge of the bearing so as to remove the air from the discharge area 12 of the camp. The aspirated clean air does not burden the air circulation system of the entire system and the flow conditions around the bearing in the clean room. The over the glass panes 7 in the straps 5 . 6 Guided clean air is guided from bottom to top.
Um
einen Überdruck
im Lager zu erreichen, ist vorteilhaft wenigstens ein (nicht dargestellter) Ventilator
vorgesehen, mit dem eine entsprechende Menge an Reinluft in das
Lager gefördert
wird.Around
an overpressure
To achieve in the camp, is advantageous at least one (not shown) fan
provided with a corresponding amount of clean air in the
Camp promoted
becomes.