EP0291783B1 - Filter module for clean room ceilings, walls and the like - Google Patents

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Publication number
EP0291783B1
EP0291783B1 EP88107293A EP88107293A EP0291783B1 EP 0291783 B1 EP0291783 B1 EP 0291783B1 EP 88107293 A EP88107293 A EP 88107293A EP 88107293 A EP88107293 A EP 88107293A EP 0291783 B1 EP0291783 B1 EP 0291783B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
frame
ceiling
filter module
sealing
wall cavity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP88107293A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP0291783A3 (en
EP0291783A2 (en
Inventor
Klaus Dr.-Ing. Fitzner
Uwe Dr.Rer.Nat. Plitt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heinrich Nickel GmbH
Original Assignee
Heinrich Nickel GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE8707079U external-priority patent/DE8707079U1/de
Application filed by Heinrich Nickel GmbH filed Critical Heinrich Nickel GmbH
Priority to AT8888107293T priority Critical patent/ATE104874T1/en
Publication of EP0291783A2 publication Critical patent/EP0291783A2/en
Publication of EP0291783A3 publication Critical patent/EP0291783A3/en
Application granted granted Critical
Publication of EP0291783B1 publication Critical patent/EP0291783B1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/02—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation having means for ventilation or vapour discharge
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28—Arrangement or mounting of filters

Definitions

  • the innovation relates to a filter module for clean room ceilings and walls or the like, which is formed by a pressure chamber and a ceiling or wall cavity kept under negative pressure and contains a suspended matter filter, which by means of a comprehensive frame via clamping elements acting thereon and associated sealing elements for Ceiling or wall cavity is interchangeable against the pressure space.
  • the innovation also deals with such filter modules in which the pressure chamber consists of a pressure box provided with a connection piece, which can be inserted into the ceiling or wall cavity kept under negative pressure, the suspended particle filter using the extensive frame engaging on this Clamping elements and associated sealing elements for the ceiling or wall cavity can be fixed interchangeably against the pressure box.
  • Such filter modules are used to neutralize the risk of leakage in suspended matter filter ceilings or walls. They are designed and installed so that the direction of flow is reversed by a leak by maintaining a negative pressure in the ceiling or wall cavity that the occurrence of such leaks is irrelevant because the leakage air flows away from the clean room into the ceiling or wall cavity.
  • the innovation is therefore based on the task of creating filter modules of the initially specified type for clean room ceilings and walls or the like which leak with structurally simple means, which in the seal between the respective suspended matter filter and the associated contact surfaces of the ceiling or wall cavity occur, is irrelevant, but nevertheless ensures a simple exchange of the suspended matter filter with its frame, while at the same time a low-turbulence piston flow preventing the floating of suspended matter is to be secured as well as damage to the filter modules is indicated.
  • a further development measure according to the invention consists in that the two sealing areas, at least approximately on the same level, are provided on the one hand between the frame of the suspended matter filter and the pressure box and on the other hand between a contact surface of the ceiling cavity and a pressure frame captured by the tensioning elements, and that the pressure frame as a built-in frame is formed to accommodate the suspended matter filter and its frame over the entire height.
  • the entire suspended matter filter, including the frame supporting it, is thus encompassed by the mounting frame and, through its mediation, is kept in flow connection with the ceiling or wall cavity kept under vacuum.
  • an embodiment according to claim 4 which consists in the fact that the frame of the suspended matter filter is held in contact with the mounting frame by an additional third seal on its end face facing the space, has proven particularly useful.
  • the gap space that may be present between the frame of the suspended matter filter and the mounting frame receiving it is also kept in flow connection with the ceiling or wall cavity in this way.
  • Another design option for a filter module according to the invention consists in that the two sealing areas, at least approximately on the same level, are assigned on the one hand to the frame of the suspended matter filter and on the other hand to a contact surface of the ceiling or wall cavity and that the suspended matter filter and the ceiling or wall cavity enclosing sealing frame can be pressed simultaneously against both sealing areas by means of the clamping elements.
  • Such a configuration is particularly recommended if not only the height of the pressure box of the filter modules, but also their suspended matter filters with frames are to be accommodated within the ceiling cavity.
  • each sealing area is formed by an independent sealing element.
  • both sealing areas are formed on a common sealing element, which preferably has a channel profile, the space of the channel profile remaining free in the sealing system of the sealing areas being connected to the ceiling or wall cavity.
  • Another training option for a filter module according to the innovation consists in that both sealing areas are assigned to the mutually facing ends of the frame of the suspended matter filter, that the upper sealing area can be placed on the pressure box and the lower sealing area can be placed on a supporting surface of the ceiling cavity, and that the support surface of the ceiling cavity and the pressure box can be clamped against each other and against the sealing areas by the clamping elements.
  • an innovation feature according to claim 10 is also to be seen in the fact that the spacing area between the sealing areas is in constant communication with the ceiling or wall cavity through slots, holes or similar openings provided in a cover between the pressure box and the ceiling or wall cavity .
  • a filter module which is characterized in that the frame of the suspended matter filter is provided on its front end face with a collar which projects beyond its outer contour and which at least approximately rests on the pressure surface for the two forms the same level sealing areas, one sealing area in front of the end face of the frame abuts the collar and the pressure box, while the other sealing area is arranged between the part of the collar projecting beyond the frame and a contact surface of the ceiling cavity.
  • the collar has a stiffening or stabilizing bend on its outer boundary edge.
  • the spacing area between the sealing areas through the boundary edge of the cover of the ceiling or wall cavity can be in constant communication therewith.
  • the cover carrying the suspended matter filter should be underpinned by a distance from rectangular frames that are spanned with fabric sheets. This first of all ensures that the suspended matter filters are protected from mechanical damage by a cover. If, however, damage should occur when moving furniture, due to careless handling with ladders or the like, this will obviously show up, since the overvoltage of the suspended matter filter is first visibly damaged.
  • the fabric webs provided at a distance from the suspended matter filters cause a slight pressure build-up, which in turn ensures that the filtered air is filtered through a large number of fine particles Meshes with practically the same flow rate flow so that there is a laminar piston flow on the outlet side and, especially if the frames on their outlet side have only small cross-sections, cross currents and turbulence are prevented, which could keep contaminants that have entered the clean room in suspension.
  • It has proven to be effective to seal adjacent rectangular frames at their joints.
  • plastic and metal wire mesh with different weaves, with small wire thicknesses and mesh sizes have proven successful, which cause a noticeable pressure drop in the amount of filter air conveyed.
  • Figures 1 to 4 of the drawing show as an application example of the innovation a so-called clean room filter ceiling, which is attached in the usual way as a substructure via hanging rods 1 or the like to a (not shown) building ceiling.
  • the hanging bars 1 or the like act on the support rails 2 via vibration isolators 3, the support rails 2, for example.
  • a Z-shaped cross section can have. Close to the upper horizontal profile leg of the support rails 2, the hanging rods 1 or the like attack via their vibration isolators 3, while the lower horizontal leg of the same is used for the attachment of essentially flat, plate-shaped covers 4 to the ceiling substructure.
  • Each individual, plate-like cover 4 is provided with a cutout 5, behind which a pressure box 6 is seated, which is provided with a connecting piece 7 for the supply line 8 of the raw air.
  • the pressure box 6 lies overall behind the level of the cover 4, which delimits a ceiling cavity 9 at the bottom.
  • a suspended matter filter 10 which is enclosed over its entire height by a frame 11 made of rigid, pressure-tight material.
  • the suspended matter filter 10 is accommodated in a mounting frame 12, for example made of relatively thin sheet metal, the legs of which have an essentially Z-shaped profile cross section, as can essentially be seen in FIGS. 1 and 4.
  • the frame 11 of the suspended matter filter 10 rests with its lower flat end face 11a, while its upper flat end face 11b also has one flat but wide seal 14 is assigned, which is located after the cutout 5 on the underside of the cover 4.
  • the upper horizontal flange 12b of the mounting frame 12 is directed outwards parallel to the cover 4 and interacts with a again relatively thin but flat seal 15, which lies on the same plane as the seal 14, but is spaced from it all around such that a frame-like free space 16 remains between the two seals 14 and 15.
  • the seals 13, 14 and 15 can also have cross-sectional shapes other than those shown. For example, they can be provided with a round cross-section; but they can also have a tapered, e.g. Get trapezoidal cross-sectional shape.
  • the lower horizontal flange of the mounting rails 2 and also the cover 4 held thereby are penetrated from top to bottom by threaded bolts 17 which can also pass through assigned holes in the upper flange 12b of the mounting frame 12.
  • the mounting frame 12 can be clamped with its upper horizontal flange 12b against the seal 15 and via this against the cover 4 in a sealing manner via wing nuts 18, which cooperate with the threaded bolts 17 as clamping elements.
  • the seal 13 between the lower horizontal flange 12a and the frame 11 of the suspended matter filter 10 and also the seal 14 between the frame 11 of the suspended matter filter 10 and the cover 4 are also below via the mounting frame 12 sealing preload set.
  • the free space 16 between the two seals 14 and 15 is connected to the gap 19 which is enclosed between the outer peripheral surface of the frame 11 and the inner surface of the web 12c on the mounting frame 12.
  • the ceiling cavity 9 above the cover and around the pressure box 6 is constantly kept under negative pressure.
  • This negative pressure acts on the free space 16 in the space between the two seals 14 and 15 through the slits 20, holes or similar openings provided in the cover 4.
  • the raw air thereby entering the free space 16 and the gap 19 is leaked through the slots 20 or the like are sucked into the ceiling cavity 9 and therefore cannot get into the clean room. Only the clean air that has passed through the suspended matter filter 10 can therefore enter the clean room with the flow directed downward.
  • FIG. 4 also shows means which, on the one hand, cover the freely downwardly projecting surfaces of the suspended matter filters and thus protect them from damage, but on the other hand, in the case of strong effects, at least give a sensible indication that such damage has occurred or may have occurred.
  • these further installations ensure that the filtered clean air emerging from the suspended matter filters 10 is fed to the clean room from above without significant turbulence and moves from top to bottom as a practically uniform piston flow, avoiding turbulence.
  • the suspended matter filters 10 are braced by means of installation frames 12 against plate-like covers 4, which have a substantially larger base area than the outlet area of the suspended matter filters 12.
  • Adjacent plate-like covers can be connected to one another in that bent edge strips 30 of the same, preferably via seals, are braced against one another by means of screws 31.
  • the joint of the covers 4 is underpinned by brackets 33 or U-shaped strips, which are connected to the covers 4 by means of screws 32. Bores of the bracket 33 are penetrated by tension rods 34 screwed to them, which engage via a spacer tube 35 in a threaded sleeve 36 of a support plate 37.
  • Rectangular frames 38 are braced against the underside of the support plate 37, which consist of angle profiles 39 with an inwardly pointing horizontal and a downwardly pointing vertical leg, and the corners of which are stiffened by gusset plates 40.
  • the rectangular frames 38 are clamped against the support plate 37 from below.
  • the joints 44 of the rectangular frame 38 are sealed off from one another by seals, not shown in the figure, in particular when special profiles are used which have grooves provided for receiving such seals.
  • the downward-facing free surface of the rectangular frames is underpinned by a fabric web 41, which is expediently glued to the downward-facing end faces of the angle profiles 39 and, if appropriate, the gusset plates 40.
  • Tensions occurring in this way can be avoided by the profiles forming the rectangular frames 38 prior to clamping the fabric web 41 can be bent slightly outwards so that the elastic tension of the angular profiles which are deformed when glued on keeps the fabric web 41 under tension.
  • the type of filter module shown in FIG. 5 of the drawing differs from that according to FIGS. 1 to 4 essentially in that not only the pressure box 6, but also the upstream suspended particle filter 10 and the frame 11 containing it are laid behind the plane of the covers 4 of the ceiling substructure.
  • This filter module lacks the mounting frame 12 with the Z-shaped legs. Instead, an essentially flat sealing frame 21 is used there, which is pressed by means of clamping elements, which can consist of threaded bolts 17 and wing nuts 18.
  • the seal 14 in the filter module according to FIG. 5 has the same arrangement and design as in the filter module according to FIGS. 1 to 4, that is, it is there between the flange frame 22 delimiting the opening side of the pressure box 6 and the flat end face 11b facing it the suspended matter filter 10 surrounding frame 11 clamped.
  • the seal 13 also has the same installation position there as in the case of the exemplary embodiment according to FIG. 4, i.e. it is assigned to the downward, flat end face 11a of the frame 11.
  • seal 15 does not lie in the same plane with the seal 14, but rather in the same plane with the seal 13 on the underside of the cover 4 of the ceiling substructure. Both seals 13 and 15 cooperate here with the sealing frame 21, which can be clamped via the clamping elements 17, 18 and thereby closes the free space 16 between the two seals 13 and 15 to the clean room.
  • FIG. 6 A type of filter module similar to the exemplary embodiment according to FIGS. 1 to 4 is shown in FIG. 6.
  • the seal 23 has essentially a channel cross section with two parallel sealing webs 23a and 23b, one of which comes to rest on the flange frame 22 of the pressure box 6 and the other near the cutout 5 on the cover 4.
  • the channel part located between the two sealing webs 23a and 23b delimits the free space 16, which is in constant suction connection through the slot 20 between the flange frame 22 of the pressure box 6 and the cutout 5 of the cover 4 with the ceiling cavity 9.
  • raw air passing by at the sealing web 23a of the seal 23 as leakage air cannot get into the clean room, but rather is discharged from the free space 16 within the seal 23.
  • the filter module according to FIG. 6 does not only result in a structural simplification in that only one, namely a channel profile seal 23, is used instead of three seals. Rather, the installation frame 12 can also be saved here because the tensioning elements 17, 18, which each consist, for example, of a threaded bolt 17 and a wing nut 18, can interact with the simple flat tensioning frame 24, which is attached to the frame 11 of the suspended matter filter 10 attacks.
  • FIG. 7 of the drawing A design similar to the filter module according to FIG. 5 for a filter module is again shown in FIG. 7 of the drawing.
  • the suspended matter filter 10 with its frame 11 is also installed behind the cover 4 of the ceiling substructure.
  • the frame 11 of the suspended matter filter 10 is clamped directly between the cover 4 of the ceiling substructure and the flange frame 22 of the pressure box 6 via the clamping elements 17, 18, which can also consist of threaded bolts and wing nuts here, by means of the two seals 13 and 14 .
  • the untreated air possibly passing by the seal 14 reaches the ceiling cavity 9, which is kept under negative pressure, and therefore cannot penetrate into the clean room.
  • FIG. 8 shows an embodiment, which is modified in comparison to FIG. 4 and is structurally considerably simplified, for filter modules which are used in clean room filter ceilings.
  • the suspended matter filter 10 connects, which is surrounded by the frame 11 made of rigid, pressure-tight material.
  • the upper end face 11b of the frame 11 carries a collar 25 which, for example, consists of sheet metal and is angled at least on its outer edge for stiffening or stabilization.
  • the collar 25 is fastened, for example screwed, to the end face 11b of the frame 11. Its profile width is larger than the wall thickness of the frame 11, such that it projects beyond the outer contour of the frame 11 by a considerable amount, as can be clearly seen in FIG. 8.
  • the main plane of the collar 25 extends parallel to the plate-shaped cover 4 of the ceiling substructure. It forms the contact surface for two seals 14 and 15, which lie approximately on the same plane and are spaced apart from one another all around such that they delimit a frame-like free space 16 between them.
  • the seal 14 lies on the collar 25 in the region in front of the end face 11b of the frame 11, while the seal 15 comes to rest on the section of the collar 25 which projects beyond the outer contour of the frame 11.
  • Threaded bolts 17 and wing nuts 18 can be used as clamping elements, as shown in FIG. 4. These tensioning elements can be made effective either directly between the collar 25 of the frame 11 and the ceiling substructure, in a similar manner, as shown in FIG. 4. But you can also get an arrangement and training, as can be seen for example from Fig. 6 of the drawing.
  • the design of the filter module according to FIG. 8 is considerably simplified compared to that according to FIG. 4, because not only the mounting frame 12 but also the seal 13 provided between this and the lower end face 11a of the frame 11 can be saved.
  • a pressure chamber 26 is provided directly below the building ceiling, ie no special pressure box is arranged here. Overall, the ceiling or wall cavity 9 is upstream of this pressure chamber 26, as can be clearly seen in FIG. 9.
  • the ceiling or wall cavity 9 receives the frame 11 comprising the suspended matter filter 10 over its overall depth.
  • the frame 11 of the suspended matter filter 10 is held interchangeably by means of the sealing frame 21 via the tensioning elements 17, 18, the cover 4 forming the outer boundary of the ceiling or wall cavity 9 being parallel to the outer boundary surface of the frame 11 has angled boundary edge 27 which projects into the ceiling or wall cavity.
  • the pressure chamber 26 is delimited pressure-tight against the ceiling or wall cavity 9 by a cover 28. which also has an angled boundary edge 29 which projects into the pressure chamber 26.
  • the cover 28 for the pressure chamber 26 is dimensioned such that its boundary edge 29 overlaps the frame 11 of the same with the suspended matter filter 10 inserted in the ceiling or wall cavity 9, so that the boundary edge 29 is approximately at the same level with the Inner surface of the frame 11 comes to rest, as can be clearly seen in FIG. 9.
  • the seal 13 lies between the lower, flat end face 11a of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 and the sealing frame 21.
  • the seal 14 is provided between the upper, flat end face 11b of the frame 11 and the cover 28 of the pressure chamber 26.
  • the seal 15 is finally located between the cover 4 of the ceiling or wall cavity 9 and the sealing frame 21.
  • the space 16 delimited by the two seals 13 and 15 and the sealing frame 21 is constantly in contact with the ceiling or wall cavity 9 in through the spacing gap between the angled boundary edge 27 of the cover 4 and the outer boundary surface of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 Connection. Leakage air entering the free space 16 is therefore safely drawn off into the ceiling or wall cavity 9. Leakage air that passes the upper seal 14 is also in this ceiling or. Aspirated wall cavity 9, can not get past the suspended matter filter 10 in the clean room.
  • seals 13, 14 and 15 have a trapezoidal cross-sectional shape over part of their thickness.
  • the seals 13 and 14 each abut with their broad base surface on the flat end faces 11a and 11b of the frame 11, while their narrower head surface is in contact with the sealing frame 21 or the cover 28.
  • the seal 15 on the other hand, rests with its broad base surface on the sealing frame 21, while its narrower head surface is brought into contact with the cover 4.
  • the level of the suspended matter filter 10 is also underpinned in accordance with FIG. 9 while maintaining a distance from rectangular frames 38 which are formed from profile bars 39. which in turn carry a fine-mesh fabric web 41.
  • Rectangular frames 38 can adjoin one another directly and at the same height, as is shown on the right-hand side of FIG. 9, but they can also be offset in height and partially overlapping, for example to adapt to the room size.
  • the rectangular frames 38 are formed by triangular profiles 45, which have grooves 46 in their reinforced end regions for receiving seals.
  • the triangular profiles forming a rectangular frame are connected by a preferably cube-shaped corner body 47 which is equipped on two sides with plug-in projections 48 which fill the hollow profile of the triangular profiles 45 engage their ends.
  • This provides the clamping screws 42 each with a solid body, which in turn carries the profiles by means of the plug-in lugs.
  • corner bodies 47 can also be designed so that the passage of lines, for example electrical lines or water supply lines from sprinkler systems, is possible. It may be advisable to replace the outer edges of the corner bodies with vertically directed quarter-cylindrical recesses.
  • a filler plate 49 is provided, one side of which is bent in a U-shape and is connected to the support plate 37 by a tensioning screw 42.
  • a side strip 50 is folded, and at least the base surface of the filler plate 49 is perforated or provided with recesses and covered with a fabric web 41, preferably glued.
  • the filler plate 49 or its side strip 50 expediently does not completely adjoin the wall 52, so that a gap 54 remains between the side strip 50 and the wall 52. First of all, such a gap makes it easier to adapt to the cross-sectional area of the room.
  • a remaining, relatively small gap proves to be advantageous, since the clean air can pass through it at a higher speed than the fine-mesh fabric web 41.
  • a somewhat higher flow velocity is achieved along the walls of the clean room than in the other surface areas, so that the effect of damping the air flow is counteracted by the friction along the walls.
  • the lower region of the transparent mat 51 designed as a strip is placed behind the side strip 50 and optionally fastened there, while the upper region of the transparent mat 51 is connected to the glass wall 52 by means of an adhesive strip 53.
  • corresponding connections can also be achieved by means of screws, nails or the like, possibly with the aid of strips, for example those made of plastic.
  • a suspension on hanging rods 1 is shown, which hold the tension rods 34, which are hidden here by means of tension lock-like threaded sleeves 64, which in turn carry support plates 37 and, by means of support plates 58, sheet metal strips 59 at different heights.
  • the distances are expediently maintained by means of spacer tubes 56, 57 and 63, which are braced against one another via nuts 55.
  • the sheet metal strips 59 are essentially U-shaped, the yoke width being larger than the distance between the legs of the U-profile, so that in the yoke area, outwardly projecting strips are formed.
  • Sealing strips 60, 61 are applied to each of these strips, on which covers 4 and 28 are placed, which in turn, clamped by means of threaded bolts 17, clamp the frame 11 of the suspended matter filter 10 via seals.
  • 37 rectangular frames 38 are braced with support plates
  • triangular angle profiles 45 which are connected to one another by means of cube-shaped corner bodies 47 and their plug-in extensions 48. Only the lower surfaces of the triangular profiles 45 appear here as the point of disturbance in the region of the flow passing through the fabric webs 41. These can also be reduced in their effect by, in contrast to the illustration in FIG.
  • the frames being connected to the support plate 37 at a small, gap-forming distance, so that narrow clean air streams passing through the fabric webs 41 narrow , more intensive clean air flows are formed.
  • the less damped currents passing through the gaps can be adjusted on the one hand by the spacing of the frames.
  • it has proven to be advantageous to limit this gap by means of sealing strips inserted into profiled bars, which either directly against one another or if complete sealing is desired. connect to contact surfaces of the opposite frame.
  • seals that either, e.g.
  • knobs or vertically extending ribs by means of attached knobs or vertically extending ribs, only with these on support areas of the adjacent frame or an adjacent one Place the wall so that gaps remain between the supporting elevations of the sealing strips, the thickness of which corresponds to the increase in the knobs or ribs and is therefore structurally defined.

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Description

Die Neuerung betrifft ein Filtermodul für Reinraumdecken und -wände oder dergleichen, das von einem Druckraum und einem auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum gebildet ist und ein Schwebstoff-Filter enthält, das mittels eines umfassenden Rahmens über an diesem angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wandhohlraum austauschbar gegen den Druckraum festlegbar ist.The innovation relates to a filter module for clean room ceilings and walls or the like, which is formed by a pressure chamber and a ceiling or wall cavity kept under negative pressure and contains a suspended matter filter, which by means of a comprehensive frame via clamping elements acting thereon and associated sealing elements for Ceiling or wall cavity is interchangeable against the pressure space.

Dabei befaßt sich die Neuerung auch mit solchen Filtermodulen, bei denen der Druckraum aus einem mit einem Anschlußstutzen versehenen Druckkasten besteht, der in den auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum einsetzbar ist, wobei das Schwebstoff-Filter mittels des umfassenden Rahmens über an diesem angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wandhohlraum austauschbar gegen den Druckkasten festlegbar ist.The innovation also deals with such filter modules in which the pressure chamber consists of a pressure box provided with a connection piece, which can be inserted into the ceiling or wall cavity kept under negative pressure, the suspended particle filter using the extensive frame engaging on this Clamping elements and associated sealing elements for the ceiling or wall cavity can be fixed interchangeably against the pressure box.

Derartige Filtermodule werden zur Neutralisierung des Leckrisikos in Schwebstoff-Filterdecken bzw. -wänden benutzt. Sie sind so ausgebildet und eingebaut, daß durch die Aufrechterhaltung eines Unterdrucks im Decken- bzw. Wandhohlraum die Strömungsrichtung durch ein Leck umgekehrt wird, so daß das Auftreten solcher Lecks belanglos ist, weil die Leckluft vom Reinraum weg in den Decken- bzw. Wandhohlraum strömt.Such filter modules are used to neutralize the risk of leakage in suspended matter filter ceilings or walls. They are designed and installed so that the direction of flow is reversed by a leak by maintaining a negative pressure in the ceiling or wall cavity that the occurrence of such leaks is irrelevant because the leakage air flows away from the clean room into the ceiling or wall cavity.

Beim praktischen Einsatz derartiger Filtermodule für Filterdecken bzw. -wände ist zwischen dem Filtermodul und den zugehörigen Anlageflächen der Decken- bzw. Wandkonstruktion jeweils lediglich ein Dichtungsbereich vorgesehen, welcher zwischen der der Raumseite zugewendeten Stirnfläche am Rahmen des Schwebstoff-Filters und den Anlage- bzw. Stützflächen des Decken- bzw. Wandhohlraums liegt, wie das auch bei normalen Filterdecken bzw. -wänden üblich ist, bei denen lediglich Schwebstoff-Filter mit Umfassungsrahmen unmittelbar in den Decken- bzw. Wandhohlraum eingesetzt werden, also von diesem nicht durch besondere Druckräume abgeteilt sind.When such filter modules are used in practice for filter ceilings or walls, only one sealing area is provided between the filter module and the associated contact surfaces of the ceiling or wall construction, which is located between the end face facing the room side on the frame of the suspended matter filter and the contact or Supporting surfaces of the ceiling or wall cavity lie, as is also the case with normal filter ceilings or walls, in which only suspended matter filters with a surrounding frame are used directly in the ceiling or wall cavity, i.e. are not separated from it by special pressure spaces .

Die praktische Erfahrung hat jedoch gezeigt, daß die Filtermodule bekannter Art die an sie gestellten Anforderungen in den meisten Einsatzfällen nur unzureichend erfüllen können.However, practical experience has shown that the filter modules of a known type can only insufficiently meet the requirements placed on them in most applications.

Der Neuerung liegt daher die Aufgabe zugrunde, Filtermodule der anfangs spezifizierten Art für Reinraumdecken und -wände oder dergleichen zu schaffen, die mit baulich einfachen Mitteln Lecks, welche in der Abdichtung zwischen dem jeweiligen Schwebstoff-Filter und den zugehörigen Anlageflächen von Decken- bzw. Wandhohlraum auftreten, belanglos macht, trotzdem aber einen einfachen Austausch der Schwebstoff-Filter mit ihrem Rahmen gewährleistet, wobei gleichzeitig eine das Aufwirbeln von Schwebstoffen unterbindende turbulenzarme Kolbenströmung ebenso gesichert sein soll wie Beschädigungen der Filtermodule sinnfällig angezeigt werden.The innovation is therefore based on the task of creating filter modules of the initially specified type for clean room ceilings and walls or the like which leak with structurally simple means, which in the seal between the respective suspended matter filter and the associated contact surfaces of the ceiling or wall cavity occur, is irrelevant, but nevertheless ensures a simple exchange of the suspended matter filter with its frame, while at the same time a low-turbulence piston flow preventing the floating of suspended matter is to be secured as well as damage to the filter modules is indicated.

Die Lösung dieser Aufgabe besteht nach dem Kennzeichen des Anspruchs 1 erfindungsgemäß darin,

  • daß der Decken- bzw. Wandhohlraum dem Druckraum insgesamt vorgelagert ist und über seine Bautiefe den das Schwebstoff-Filter umfassenden Rahmen aufnimmt,
  • daß zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters, dem Druckraum und dem Decken- bzw. Wandhohlraum zwei oder drei jeweils einen Abstand voneinander aufweisende Dichtungsbereiche vorgesehen sind,
  • und daß die von den jeweils zusammenwirkenden Dichtungsbereichen außerhalb des Rahmens des Schwebstoff-Filters abgegrenzten Raumabschnitte lediglich in den Decken- bzw. Wandhohlraum hin offen sind.
According to the invention, this object is achieved by
  • that the ceiling or wall cavity is in front of the pressure chamber as a whole and accommodates the frame comprising the suspended matter filter via its structural depth,
  • that two or three sealing areas, each at a distance from one another, are provided between the frame of the suspended matter filter, the pressure chamber and the ceiling or wall cavity,
  • and that the space sections delimited by the respective cooperating sealing areas outside the frame of the suspended matter filter are only open into the ceiling or wall cavity.

Die gleiche Aufgabe wird bei Filtermodulen, die einen mit einem Anschlußstutzen versehenen Druckkasten aufweisen, welcher in einen auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum von unten bzw. vorne austauschbar eingesetzt werden können nach dem Kennzeichen des Anspruchs 2 dadurch gelöst,

  • daß zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters, dem Decken- bzw. Wandhohlraum und dem Druckkasten zwei oder drei jeweils einen Abstand voneinander aufweisende Dichtungsbereiche vorgesehen sind,
  • und daß die von den jeweils zusammenwirkenden Dichtungsbereichen außerhalb des Rahmens des Schwebstoff-Filter abgegrenzten Raumabschnitte lediglich in den Decken- bzw. Wandhohlraum hinein offen sind.
The same task is performed for filter modules which have a pressure box provided with a connecting piece, which can be used interchangeably from below or in the front in a ceiling or wall cavity kept under negative pressure, according to the identification of claim 2 solved by
  • that two or three sealing areas, each at a distance from one another, are provided between the frame of the suspended matter filter, the ceiling or wall cavity and the pressure box,
  • and that the space sections delimited by the respective interacting sealing areas outside the frame of the suspended matter filter are only open into the ceiling or wall cavity.

Es liegt auf der Hand, daß in beiden Fällen durch die dichtungsmäßige Eingrenzung des mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum korrespondierenden Abstandsbereiches eventuell auftretende Leckluft vom Unterdruck im Decken- bzw. Wandhohlraum schon abtransportiert wird, bevor sie in den eigentlichen Reinraum gelangen kann.It is obvious that in both cases the leakage air which may occur due to the sealing of the distance area corresponding to the ceiling or wall cavity is removed from the negative pressure in the ceiling or wall cavity before it can reach the actual clean room.

Durch DE-U-76 15 462 ist es für ein in einem Gehäuse angeordnetes Gebläse zum Abdichten von Luftfiltern sehr hoher Leistung schon bekannt, daß Luftfilter unter Zwischenschaltung einer Dichtung gegen einen Gehäuseflansch oder einen Dichtungsrahmen zu Drücken, wobei der Filter an einem Flansch anliegend eingebaut ist, der sich stromabwärts vom Filter befindet und wobei zwischen dem Ventilator und dem Filter ein Kasten angeordnet ist. Der Filter ist stromabwärts mit einer Dichtung gegenüber dem Gehäuseflansch oder Dichtungsrahmen und stromaufwärts mit einer zweiten Dichtung gegenüber dem Kasten abgedichtet, und zwar in der Weise, daß zwischen dem Kasten und dem Gehäuse ein Zwischenraum verbleibt, welcher mit der sich im Inneren des Gehäuses befindenden Saugseite des Gebläses in Verbindung steht.From DE-U-76 15 462 it is already known for a fan arranged in a housing for sealing air filters of very high performance that air filters are pressed against a housing flange or a sealing frame with the interposition of a seal, the filter being fitted against a flange is located downstream of the filter and a box is arranged between the fan and the filter. The filter is sealed downstream with a seal against the housing flange or sealing frame and upstream with a second seal against the box, in such a way that a space remains between the box and the housing, which is in contact with the suction side located inside the housing of the blower is connected.

Sinn und Zweck dieser Maßnahmen ist es, alle an der Druckseite eines Ventilators auftretenden Leckströme am Ort ihrer Entstehung so von stromabwärts nach stromaufwärts zu führen, daß weder die gefilterte Luft noch die umgebende Atmosphäre hierdurch verunreinigt werden kann.The purpose of these measures is to conduct all leakage currents occurring on the pressure side of a fan at the point of their origin from downstream to upstream in such a way that neither the filtered air nor the surrounding atmosphere can be contaminated thereby.

Abgesehen davon, daß dieser Stand der Technik keine Filtermodule für Reinraumdecken und -wände oder dergleichen betrifft, wird auch keine Bauform offenbart, die einen einfachen Austausch der Schwebstoff-Filter mit ihrem Rahmen gewährleistet.Apart from the fact that this prior art does not relate to filter modules for clean room ceilings and walls or the like, there is also no construction disclosed which ensures simple replacement of the suspended matter filter with its frame.

Eine neuerungsgemäße Weiterbildungsmaßnahme besteht nach Anspruch 3 darin, daß die beiden Dichtungsbereiche wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend einerseits zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und dem Druckkasten sowie andererseits zwischen einer Anlagefläche des Deckenhohlraums und einem von den Spannelementen erfaßten Andruckrahmen vorgesehen sind, und daß dabei der Andruckrahmen als ein das Schwebstoff-Filter und seinen Rahmen auf der ganzen Höhe aufnehmender Einbaurahmen ausgebildet ist. Das gesamte Schwebstoff-Filter einschließlich des dieses tragenden Rahmens wird hier also von dem Einbaurahmen umfaßt und unter dessen Vermittlung mit dem auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum in Strömungsverbindung gehalten.A further development measure according to the invention consists in that the two sealing areas, at least approximately on the same level, are provided on the one hand between the frame of the suspended matter filter and the pressure box and on the other hand between a contact surface of the ceiling cavity and a pressure frame captured by the tensioning elements, and that the pressure frame as a built-in frame is formed to accommodate the suspended matter filter and its frame over the entire height. The entire suspended matter filter, including the frame supporting it, is thus encompassed by the mounting frame and, through its mediation, is kept in flow connection with the ceiling or wall cavity kept under vacuum.

Besonders bewährt hat sich in diesem Falle eine Ausgestaltung nach Anspruch 4, die darin besteht, daß der Rahmen des Schwebstoff-Filters durch eine zusätzliche dritte Dichtung an seiner dem Raum zugewendeten Stirnfläche mit dem Einbaurahmen in Kontaktberührung gehalten ist. Auch der zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und dem ihn aufnehmenden Einbaurahmen gegebenenfalls vorhandene Spaltraum wird auf diese Art und Weise in Strömungsverbindung mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum gehalten.In this case, an embodiment according to claim 4, which consists in the fact that the frame of the suspended matter filter is held in contact with the mounting frame by an additional third seal on its end face facing the space, has proven particularly useful. The gap space that may be present between the frame of the suspended matter filter and the mounting frame receiving it is also kept in flow connection with the ceiling or wall cavity in this way.

Eine andere neuerungsgemäße Ausgestaltungsmöglichkeit für ein Filtermodul besteht nach Anspruch 5 darin, daß die beiden Dichtungsbereiche wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend einerseits dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und andererseits einer Anlagefläche des Decken- bzw. Wandhohlraums zugeordnet sind und daß ein das Schwebstoff-Filter sowie den Decken- bzw. Wandhohlraum unterfassender Dichtrahmen mittel der Spannelemente gleichzeitig gegen beide Dichtungsbereiche anpreßbar ist. Eine solche Ausgestaltung empfiehlt sich besonders dann, wenn nicht nur die Bauhöhe des Druckkastens der Filtermodule, sondern auch deren Schwebstoff-Filter mit Rahmen innerhalb des Deckenhohlraums untergebracht werden sollen.Another design option for a filter module according to the invention consists in that the two sealing areas, at least approximately on the same level, are assigned on the one hand to the frame of the suspended matter filter and on the other hand to a contact surface of the ceiling or wall cavity and that the suspended matter filter and the ceiling or wall cavity enclosing sealing frame can be pressed simultaneously against both sealing areas by means of the clamping elements. Such a configuration is particularly recommended if not only the height of the pressure box of the filter modules, but also their suspended matter filters with frames are to be accommodated within the ceiling cavity.

Auch hierbei ist es nach dem Vorschlag des Anspruchs 6 neuerungsgemäß zu empfehlen, daß der Rahmen des Schwebstoff-Filters durch eine zusätzliche dritte Dichtung mit dem Druckkasten in Berührung gehalten ist, um den erzielbaren Dichtungseffekt unter Vermeidung des Leckluftaustritts in den freien Raum noch weiter zu verbessern.Again, it is recommended according to the proposal of claim 6 according to the innovation that the frame of the particulate filter by an additional third seal with the Pressure box is kept in contact in order to improve the achievable sealing effect while avoiding the leakage of air into the free space.

In weiterer Ausgestaltung des Neuerungsgedankens ist nach Anspruch 7 vorgesehen, daß jeder Dichtungsbereich von einem selbständigen Dichtungselement gebildet ist.In a further embodiment of the innovative idea, it is provided according to claim 7 that each sealing area is formed by an independent sealing element.

In vielen Fällen erweist es sich aber als besonders vorteilhaft, wenn nach Anspruch 8 beide Dichtungsbereiche an einem gemeinsamen Dichtungselement ausgebildet sind, das vorzugsweise ein Rinnenprofil aufweist, wobei der bei Dichtungsanlage der Dichtungsbereiche freibleibende Raum des Rinnenprofils an den Decken- bzw. Wandhohlraum angeschlossen ist.In many cases, however, it proves to be particularly advantageous if, according to claim 8, both sealing areas are formed on a common sealing element, which preferably has a channel profile, the space of the channel profile remaining free in the sealing system of the sealing areas being connected to the ceiling or wall cavity.

Eine weitere Ausbildungsmöglichkeit für ein Filtermodul nach der Neuerung besteht gemäß Anspruch 9 darin, daß beide Dichtungsbereiche den voneinander abgewendeten Enden des Rahmens des Schwebstoff-Filters zugeordnet sind, daß der obere Dichtungsbereich am Druckkasten und der untere Dichtungsbereich an einer Stützfläche des Deckenhohlraums anlegbar, und daß dabei die Stützfläche des Deckenhohlraums und der Druckkasten durch die Spannelemente gegeneinander und gegen die Dichtungsbereiche verspannbar sind.Another training option for a filter module according to the innovation consists in that both sealing areas are assigned to the mutually facing ends of the frame of the suspended matter filter, that the upper sealing area can be placed on the pressure box and the lower sealing area can be placed on a supporting surface of the ceiling cavity, and that the support surface of the ceiling cavity and the pressure box can be clamped against each other and against the sealing areas by the clamping elements.

Schließlich ist ein Neuerungsmerkmal gemäß Anspruch 10 aber auch noch darin zu sehen, daß der Abstandsbereich zwischen den Dichtungsbereichen durch in einer Abdeckung zwischen Druckkasten und Decken- bzw. Wandhohlraum vorgesehene Schlitze, Löcher oder ähnliche Durchbrüche mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum in ständiger Verbindung steht.Finally, an innovation feature according to claim 10 is also to be seen in the fact that the spacing area between the sealing areas is in constant communication with the ceiling or wall cavity through slots, holes or similar openings provided in a cover between the pressure box and the ceiling or wall cavity .

Im Rahmen der Neuerung liegt nach Anspruch 11 aber auch eine Ausbildung für ein Filtermodul, welche dadurch gekennzeichnet ist, daß der Rahmen des Schwebstoff-Filters an seiner vorderen Stirnfläche mit einem seine Außenkontur überragenden Kragen versehen ist, der die Andruckfläche für die beiden wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegenden Dichtungsbereiche bildet, wobei der eine Dichtungsbereich vor der Stirnfläche des Rahmens am Kragen und am Druckkasten anliegt, während der anderen Dichtungsbereich zwischen dem den Rahmen überragenden Teil des Kragens und einer Anlagefläche des Deckenhohlraums angeordnet ist.Within the scope of the innovation, there is also a design for a filter module, which is characterized in that the frame of the suspended matter filter is provided on its front end face with a collar which projects beyond its outer contour and which at least approximately rests on the pressure surface for the two forms the same level sealing areas, one sealing area in front of the end face of the frame abuts the collar and the pressure box, while the other sealing area is arranged between the part of the collar projecting beyond the frame and a contact surface of the ceiling cavity.

In diesem Falle ist es nach Anspruch 12 auch noch empfehlenswert, daß der Kragen an seinem äußeren Begrenzungsrand eine Versteifungs- bzw. Stabilisierungsabwinkelung aufweist.In this case, it is also recommended according to claim 12 that the collar has a stiffening or stabilizing bend on its outer boundary edge.

Nach Anspruch 13 kann der Abstandsbereich zwischen den Dichtungsbereichen durch den Begrenzungsrand der Abdeckung des Decken- bzw. Wandhohlraums mit diesem in ständiger Verbindung stehen.According to claim 13, the spacing area between the sealing areas through the boundary edge of the cover of the ceiling or wall cavity can be in constant communication therewith.

Nach dem Anspruch 14 soll die die Schwebstoff-Filter tragende Abdeckung mit Abstand von Rechteck-Rahmen unterfangen sein, die mit Gewebebahnen überspannt sind. Hierdurch wird zunächst einmal erreicht, daß einerseits die Schwebstoff-Filter durch Abdeckung vor mechanischen Beschädigungen geschützt sind. Sollten aber beim Verrücken von Möbeln, durch unvorsichtige Handhbaung mit Leitern oder dergleichen trotzdem Beschädigungen auftreten, so zeigen sich diese sinnfällig an, da zunächst die Überspannung der Schwebstoff-Filter erkennbar beschädigt wird. Im wesentlichen aber bewirken die mit Abstand vor den Schwebstoff-Filtern vorgesehenen Gewebebahnen einen geringen Druckstau, der seinerseits dafür sorgt, daß die gefilterte Luft durch eine Vielzahl feiner Maschen mit praktisch gleichen Fördermengen strömt, so daß auf der Austrittsseite eine laminare Kolbenströmung vorliegt und, insbesondere wenn die Rahmen auf ihrer Austrittsseite nur geringe Querschnitte aufweisen, Querströmungen und Turbulenzen unterbunden werden, welche in den Reinraum gelangte Verunreinigungen in der Schwebe halten konnten. Hierbei hat es sich bewährt aneinander grenzende Rechteck-Rahmen an ihren Stoßstellen gegeneinander abzudichten. Um den vom Modul eingenommenen Raum praktisch vollständig zur Weitergabe der gebildeten Luft zu nutzen hat es sich bewährt, die Rechteck-Rahmen aus Winkel- oder Dreieckprofilen zu bilden und die nach unten auskragenden Profilschenkel mit der Gewebebahn zu verkleben. Bewährt haben sich insbesondere Kunststoff- und Metall-Drahtgewebe unterschiedlicher Bindungen, mit geringen Drahtstärken und Maschenweiten, welche bei den geförderten Filterluft-Mengen einen merkbaren Druckabfall bewirken.According to claim 14, the cover carrying the suspended matter filter should be underpinned by a distance from rectangular frames that are spanned with fabric sheets. This first of all ensures that the suspended matter filters are protected from mechanical damage by a cover. If, however, damage should occur when moving furniture, due to careless handling with ladders or the like, this will obviously show up, since the overvoltage of the suspended matter filter is first visibly damaged. In essence, however, the fabric webs provided at a distance from the suspended matter filters cause a slight pressure build-up, which in turn ensures that the filtered air is filtered through a large number of fine particles Meshes with practically the same flow rate flow so that there is a laminar piston flow on the outlet side and, especially if the frames on their outlet side have only small cross-sections, cross currents and turbulence are prevented, which could keep contaminants that have entered the clean room in suspension. It has proven to be effective to seal adjacent rectangular frames at their joints. In order to use the space occupied by the module practically completely to pass on the air formed, it has proven useful to form the rectangular frames from angular or triangular profiles and to glue the downwardly projecting profile legs to the fabric web. In particular, plastic and metal wire mesh with different weaves, with small wire thicknesses and mesh sizes, have proven successful, which cause a noticeable pressure drop in the amount of filter air conveyed.

In der Zeichnung ist der Gegenstand der Neuerung in Ausführungsbeispielen dargestellt. Es zeigen

Figur 1
in geschnittener Seitenansicht einen Ausschnitt aus einer Reinraumdecke,
Figur 2
eine Ansicht in Pfeilrichtung II der Fig. 1,
Figur 3
eine Teilansicht in Pfeilrichtung III der Fig. 1,
Figur 4
in größerem Maßstab und ausführlicher Darstellung den in Fig. 1 mit III gekennzeichenten Ausschnittbereich,
Figur 5
in schematisch vereinfachter Darstellung einen Vertikalschnitt durch einen Teilabschnitt eines Filtermoduls in abgewandelter Bauart,
Figur 6
in einer der Fig. 5 entsprechenden Darstellung eine weitere Abwandlungsmöglichkeit für ein Filtermodul und
Figur 7
wiederum in schematisch vereinfachter Vertikalschnitt-Darstellung eine noch andere Ausgestaltungsmöglichkeit für ein Filtermodul, während
Figur 8
eine gegenüber Fig. 4 abgewandelte Ausgestaltung für ein Filtermodul wiedergibt,
Figur 9
in einem der Fig. 1 ähnlichen Ausschnitt eine andere, besonders vorteilhafte Ausgestaltung für ein Filtermodul und
Figur 10
einen Schnitt entlang der Linie X-X in Fig. 9,
Figur 11
schematisch einen Wandanschluß das Filtermodul unterfangender Rechteckrahmen, und
Figur 12
ein von parallel verlaufenden Blechleisten getragenes Filtermodul.
In the drawing, the subject of the innovation is shown in exemplary embodiments. Show it
Figure 1
in a sectional side view a section of a clean room ceiling,
Figure 2
2 shows a view in the direction of arrow II in FIG. 1,
Figure 3
2 shows a partial view in the direction of arrow III in FIG. 1,
Figure 4
on a larger scale and in greater detail the cutout area marked III in FIG. 1,
Figure 5
in a schematically simplified representation, a vertical section through a partial section of a filter module in a modified design,
Figure 6
in a representation corresponding to FIG. 5, a further modification possibility for a filter module and
Figure 7
again in a schematically simplified vertical section representation, yet another design option for a filter module, while
Figure 8
4 shows an embodiment modified for a filter module,
Figure 9
in a section similar to FIG. 1, another, particularly advantageous embodiment for a filter module and
Figure 10
a section along the line XX in Fig. 9,
Figure 11
schematically a wall connection the filter module undertaking rectangular frame, and
Figure 12
a filter module supported by parallel metal strips.

Die Figuren 1 bis 4 der Zeichnung zeigen als Anwendungsbeispiel der Neuerung eine sogenannte Reinraum-Filterdecke, die in üblicher Weise als Unterkonstruktion über Hängestäbe 1 oder dergleichen an einer (nicht dargestellten) Gebäudedecke befestigt ist. Die Hängestäbe 1 oder dergleichen greifen dabei an Trägerschienen 2 über Schwingungsisolatoren 3 an, wobei die Trägerschienen 2 bspw. einen Z-förmigen Querschnitt aufweisen können. Dicht an dem oberen waagereohten Profilschenkel der Trägerschienen 2 greifen dabei die Hängestäbe 1 oder dergleichen über ihre Schwingungsisolatoren 3 an, während der untere waagerechte Schenkel derselben der Befestigung von im wesentlichen ebenen, plattenförmigen Abdeckungen 4 der Decken-Unterkonstruktion dienlich ist.Figures 1 to 4 of the drawing show as an application example of the innovation a so-called clean room filter ceiling, which is attached in the usual way as a substructure via hanging rods 1 or the like to a (not shown) building ceiling. The hanging bars 1 or the like act on the support rails 2 via vibration isolators 3, the support rails 2, for example. A Z-shaped cross section can have. Close to the upper horizontal profile leg of the support rails 2, the hanging rods 1 or the like attack via their vibration isolators 3, while the lower horizontal leg of the same is used for the attachment of essentially flat, plate-shaped covers 4 to the ceiling substructure.

Jede einzelne, plattenartige Abdeckung 4 ist dabei mit einem Ausschnitt 5 versehen, hinter dem ein Druckkasten 6 sitzt, der mit einem Anschlußstutzen 7 für die Zuleitung 8 der Rohluft versehen ist.Each individual, plate-like cover 4 is provided with a cutout 5, behind which a pressure box 6 is seated, which is provided with a connecting piece 7 for the supply line 8 of the raw air.

Der Druckkasten 6 liegt dabei insgesamt hinter der Ebene der Abdeckung 4, welche einen Deckenhohlraum 9 nach unten begrenzt.The pressure box 6 lies overall behind the level of the cover 4, which delimits a ceiling cavity 9 at the bottom.

Nach unten schließt sich an den Druckkasten 6 bzw. an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 ein Schwebstoff-Filter 10 an, welches auf seiner ganzen Höhe von einem Rahmen 11 aus starrem, druckdichten Material umfaßt ist.At the bottom adjoins the pressure box 6 or the cutout 5 of the cover 4, a suspended matter filter 10, which is enclosed over its entire height by a frame 11 made of rigid, pressure-tight material.

Mit dem Rahmen 11 ist das Schwebstoff-Filter 10 in einem Einbaurahmen 12, bspw. aus relativ dünnem Metallblech aufgenommen, dessen Schenkel einen im wesentlichen Z-förmigen Profilquerschnitt haben, wie das im wesentlichen den Fig. 1 und 4 entnommen werden kann.With the frame 11, the suspended matter filter 10 is accommodated in a mounting frame 12, for example made of relatively thin sheet metal, the legs of which have an essentially Z-shaped profile cross section, as can essentially be seen in FIGS. 1 and 4.

Auf dem unteren einwärts gerichteten Flansch 12a des Einbaurahmens 12 ruht unter Zwischenschaltung einer relativ flachen, aber breiten Dichtung 13 der Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 mit seiner unteren ebenen Stirnfläche 11a, während dessen oberer ebenen Stirnfläche 11b eine ebenfalls flache, aber breite Dichtung 14 zugeordnet ist, die sich im Anschluß an den Ausschnitt 5 an der Unterseite der Abdeckung 4 befindet.On the lower inward flange 12a of the mounting frame 12, with the interposition of a relatively flat but wide seal 13, the frame 11 of the suspended matter filter 10 rests with its lower flat end face 11a, while its upper flat end face 11b also has one flat but wide seal 14 is assigned, which is located after the cutout 5 on the underside of the cover 4.

Der obere waagerechte Flansch 12b des Einbaurahmens 12 ist parallel zur Abdeckung 4 nach auswärts gerichtet und wirkt mit einer wiederum relativ dünnen, aber flachen Dichtung 15 zusammen, welche auf gleicher Ebene mit der Dichtung 14 liegt, von dieser jedoch rundum einen solchen Abstand hat, daß zwischen den beiden Dichtungen 14 und 15 ein rahmenartiger Freiraum 16 bestehen bleibt.The upper horizontal flange 12b of the mounting frame 12 is directed outwards parallel to the cover 4 and interacts with a again relatively thin but flat seal 15, which lies on the same plane as the seal 14, but is spaced from it all around such that a frame-like free space 16 remains between the two seals 14 and 15.

Die Dichtungen 13, 14 und 15 können auch andere als die gezeichneten Querschnittsformen haben. So können sie bspw. mit Rundquerschnitt vorgesehen werden; sie können aber auch eine sich verjüngende, z.B. trapezartige Querschnittsgestalt erhalten.The seals 13, 14 and 15 can also have cross-sectional shapes other than those shown. For example, they can be provided with a round cross-section; but they can also have a tapered, e.g. Get trapezoidal cross-sectional shape.

Der untere waagerechte Flansch der Tragschienen 2 und auch die hiervon gehaltene Abdeckung 4 wird von oben nach unten von Gewindebolzen 17 durchsetzt, die auch zugeordnete Löcher im oberen Flansch 12b des Einbaurahmens 12 durchgreifen können. Über Flügelmuttern 18, die mit den Gewindebolzen 17 als Spannelemente zusammenwirken, kann der Einbaurahmen 12 mit seinem oberen waagerechten Flansch 12b gegen die Dichtung 15 und über diese gegen die Abdeckung 4 abdichtend verspannt werden. Durch das Anziehen der Spannelemente werden dabei über den Einbaurahmen 12 zugleich auch die Dichtung 13 zwischen dem unteren waagerechten Flansch 12a und dem Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 sowie auch die Dichtung 14 zwischen dem Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 und der Abdeckung 4 unter abdichtende Vorspannung gesetzt. Der Freiraum 16 zwischen den beiden Dichtungen 14 und 15 steht mit dem Spaltraum 19 in Verbindung welcher zwischen der äußeren Umfangsfläche des Rahmens 11 und der Innenfläche des Steges 12c am Einbaurahmen 12 eingeschlossen ist.The lower horizontal flange of the mounting rails 2 and also the cover 4 held thereby are penetrated from top to bottom by threaded bolts 17 which can also pass through assigned holes in the upper flange 12b of the mounting frame 12. The mounting frame 12 can be clamped with its upper horizontal flange 12b against the seal 15 and via this against the cover 4 in a sealing manner via wing nuts 18, which cooperate with the threaded bolts 17 as clamping elements. By tightening the tensioning elements, the seal 13 between the lower horizontal flange 12a and the frame 11 of the suspended matter filter 10 and also the seal 14 between the frame 11 of the suspended matter filter 10 and the cover 4 are also below via the mounting frame 12 sealing preload set. The free space 16 between the two seals 14 and 15 is connected to the gap 19 which is enclosed between the outer peripheral surface of the frame 11 and the inner surface of the web 12c on the mounting frame 12.

Der Deckenhohlraum 9 oberhalb der Abdeckung und um den Druckkasten 6 herum wird ständig unter einem Unterdruck gehalten. Dieser Unterdruck wirkt dabei durch in der Abdekkung 4 vorgesehene Schlitze 20, Löcher oder ähnliche Durchbrüche auf den Freiraum 16 im Abstandsbereich zwischen den beiden Dichtungen 14 und 15 ein. Für den Fall, daß sich im Bereich zwischen der Dichtung 14 , der Stirnfläche 11b des Rahmens 11 und der Abdeckung 4 bzw. dem Druckkasten aus irgendwelchen Gründen Lecks ausbilden sollten, wird die hierdurch als Leckluft in den Freiraum 16 und den Spaltraum 19 gelangende Rohluft durch die Schlitze 20 oder dergleichen in den Deckenhohlraum 9 abgesaugt und kann daher nicht in den Reinraum gelangen. Nur die durch das Schwebstoff-Filter 10 hindurchgegangene Reinluft kann daher mit nach abwärts gerichteter Strömung in den Reinraum eintreten.The ceiling cavity 9 above the cover and around the pressure box 6 is constantly kept under negative pressure. This negative pressure acts on the free space 16 in the space between the two seals 14 and 15 through the slits 20, holes or similar openings provided in the cover 4. In the event that leaks should develop in the area between the seal 14, the end face 11b of the frame 11 and the cover 4 or the pressure box for any reason, the raw air thereby entering the free space 16 and the gap 19 is leaked through the slots 20 or the like are sucked into the ceiling cavity 9 and therefore cannot get into the clean room. Only the clean air that has passed through the suspended matter filter 10 can therefore enter the clean room with the flow directed downward.

Insbesondere in der Fig. 4 sind noch Mittel aufgezeigt, welche einerseits die frei nach unten auskragenden Flächen der Schwebstoff-Filter abdecken und so vor Beschädigungen schützen, andererseits aber bei starken Einwirkungen zumindest sinnfällig anzeigen, daß solche Beschädigungen erfolgten oder stattgefunden haben können. Gleichzeitig wird durch diese weiteren Einbauten erreicht, daß die aus den Schwebstoff-Filtern 10 austretende gefilterte Reinluft ohne wesentliche Turbulenzen dem Reinraum von oben zugeführt wird und als praktisch gleichförmige Kolbenströmung unter Vermeidung von Turbulenzen sich von oben nach unten bewegt.In particular, FIG. 4 also shows means which, on the one hand, cover the freely downwardly projecting surfaces of the suspended matter filters and thus protect them from damage, but on the other hand, in the case of strong effects, at least give a sensible indication that such damage has occurred or may have occurred. At the same time, these further installations ensure that the filtered clean air emerging from the suspended matter filters 10 is fed to the clean room from above without significant turbulence and moves from top to bottom as a practically uniform piston flow, avoiding turbulence.

Wie bereits beschrieben sind die Schwebstoff-Filter 10 vermittels von Einbaurahmen 12 gegen plattenartige Abdeckungen 4 verspannt, die eine wesentlich größere Grundfläche aufweisen als die Austrittsfläche der Schwebstoff-Filter 12 beträgt. Benachbarte plattenartige Abdeckungen können hierbei miteinander verbunden werden, indem abgekantete Randstreifen 30 derselben, vorzugsweise über Dichtungen, vermittels von Schrauben 31 gegeneinander verspannt sind. Die Stoßstelle der Abdeckungen 4 wird von Bügeln 33 oder U-förmig profilierten Leisten unterfangen, die mit den Abdeckungen 4 vermittels von Schrauben 32 verbunden sind. Bohrungen der Bügel 33 werden von mit ihnen verschraubten Spannstäben 34 durchgriffen, die über ein Distanzrohr 35 in eine Gewindemuffe 36 einer Tragplatte 37 eingreifen. Gegen die Unterseite der Tragplatte 37 sind Rechteck-Rahmen 38 verspannt, die aus Winkelprofilen 39 mit einem nach innen weisenden horizontalen und einem nach unten weisenden vertikalen Schenkel bestehen, und deren Ecken durch Knotenbleche 40 ausgesteift sind. Vermittels von in weitere Gewindemuffen 43 der Tragplatte 37 eingreifenden Spannschrauben 42 sind die Rechteck-Rahmen 38 von unten gegen die Tragplatte 37 gespannt. Gegebenenfalls sind die Stoßstellen 44 der Rechteck-Rahmen 38 über in der Fig. nicht dargestellte Dichtungen gegeneinander abgedichtet, insbesondere, wenn Spezialprofile benutzt werden, welche zur Aufnahme solcher Dichtungen vorgesehene Nuten aufweisen.As already described, the suspended matter filters 10 are braced by means of installation frames 12 against plate-like covers 4, which have a substantially larger base area than the outlet area of the suspended matter filters 12. Adjacent plate-like covers can be connected to one another in that bent edge strips 30 of the same, preferably via seals, are braced against one another by means of screws 31. The joint of the covers 4 is underpinned by brackets 33 or U-shaped strips, which are connected to the covers 4 by means of screws 32. Bores of the bracket 33 are penetrated by tension rods 34 screwed to them, which engage via a spacer tube 35 in a threaded sleeve 36 of a support plate 37. Rectangular frames 38 are braced against the underside of the support plate 37, which consist of angle profiles 39 with an inwardly pointing horizontal and a downwardly pointing vertical leg, and the corners of which are stiffened by gusset plates 40. By means of clamping screws 42 engaging in further threaded sleeves 43 of the support plate 37, the rectangular frames 38 are clamped against the support plate 37 from below. Optionally, the joints 44 of the rectangular frame 38 are sealed off from one another by seals, not shown in the figure, in particular when special profiles are used which have grooves provided for receiving such seals.

Die nach unten weisende freie Fläche der Rechteck-Rahmen ist von einer Gewebebahn 41 unterfangen, die zweckmäßig mit den nach unten weisenden Stirnflächen der Winkelprofile 39 sowie gegebenenfalls den Knotenblechen 40 verklebt ist. Hierbei auftretende Verspannungen können vermieden werden, indem die die Rechteck-Rahmen 38 bildenden Profile vor dem Aufspannen der Gewebebahn 41 leicht nach außen durchgebogen werden, so daß die elastische Spannung der beim Aufkleben rückverformten Winkelprofile die Gewebebahn 41 gespannt erhält.The downward-facing free surface of the rectangular frames is underpinned by a fabric web 41, which is expediently glued to the downward-facing end faces of the angle profiles 39 and, if appropriate, the gusset plates 40. Tensions occurring in this way can be avoided by the profiles forming the rectangular frames 38 prior to clamping the fabric web 41 can be bent slightly outwards so that the elastic tension of the angular profiles which are deformed when glued on keeps the fabric web 41 under tension.

Aufgabengemäß wird hierbei nicht nur die an sich ungeschützte freie Austrittsfläche der Schwebstoff-Filter 10 vor Beschädigungen geschützt bzw. werden solche Beschädigungen sinnfällig angezeigt, indem in der glatten Spannfläche der Gewebebahnen Schäden erkennbar werden. Wesentlich ist hierbei auch, daß die Vielzahl kleiner Maschen der Gewebebahn 41 einen merklichen Strömungswiderstand darstellt, so daß die aus dem Schwebstoff-Filter 10 austretende gefilterte Luft zwischen der Austrittsfläche und der plattenartigen Abdekkung 4 einerseits und der Gewebebahn 41 andererseits einen geringen Druckstau erfährt, der seinerseits wiederum dafür sorgt, daß die auf ihrer Oberseite mit praktisch gleichförmigem Druck beaufschlagte Gewebebahn 41 durch ihre Maschen gleiche Luftströme hindurchläßt, so daß praktisch über die gesamte obere Raumfläche die gefilterte Reinluft mit konstanter Strömungsgeschwindigkeit sich nach unten bewegt und nur im Bereiche der Knotenbleche 40 und der unteren Stirnflächen der Winkelprofile 39 geringfügige Störstellen im Strömungsfeld auftreten, die schon in geringem Abstande unterhalb der Rechteckrahmen 38 sich ausgleichen. Die derart bewirkte turbulenzarme Strömung sorgt dafür, daß in den Reinraum gelangende Partikel nicht durch Querströmungen weitertransportiert und durch Turbulenzen wieder aufgewirbelt werden können, sondern vielmehr auf direktem Wege nach unten ausgeschieden werden.According to the task, not only the unprotected free exit surface of the suspended matter filter 10 is protected from damage, or such damage is indicated by the fact that damage can be seen in the smooth tensioning surface of the fabric webs. It is also important here that the large number of small meshes of the fabric web 41 represents a noticeable flow resistance, so that the filtered air emerging from the suspended matter filter 10 between the outlet surface and the plate-like cover 4 on the one hand and the fabric web 41 on the other hand experiences a slight pressure build-up which in turn, ensures that the fabric web 41, which is subjected to a practically uniform pressure on its upper side, passes the same air currents through its mesh, so that the filtered clean air moves downward at a constant flow rate practically over the entire upper surface area and only in the area of the gusset plates 40 and of the lower end faces of the angle profiles 39, minor impurities occur in the flow field, which compensate for one another even at a short distance below the rectangular frame 38. The low-turbulence flow caused in this way ensures that particles entering the clean room cannot be transported further by cross-flows and can be whirled up again by turbulence, but rather can be eliminated directly downwards.

Die in Fig. 5 der Zeichnung dargestellte Bauart eines Filtermoduls unterscheidet sich von derjenigen nach den Fig. 1 bis 4 im wesentlichen dadurch, daß nicht nur der Druckkasten 6, sondern auch das diesem vorgelagerte Schwebstoff-Filter 10 und der dieses enthaltende Rahmen 11 hinter die Ebene der Abdeckungen 4 der Decken-Unterkonstruktion verlegt sind.The type of filter module shown in FIG. 5 of the drawing differs from that according to FIGS. 1 to 4 essentially in that not only the pressure box 6, but also the upstream suspended particle filter 10 and the frame 11 containing it are laid behind the plane of the covers 4 of the ceiling substructure.

Es fehlt bei diesem Filtermodul der Einbaurahmen 12 mit den Z-förmig profilierten Schenkeln. Stattdessen wird dort ein im wesentlichen flacher Dichtrahmen 21 benutzt, der vermittels von Spannelementen, die aus Gewindebolzen 17 und Flügelmuttern 18 bestehen können, angepreßt ist.This filter module lacks the mounting frame 12 with the Z-shaped legs. Instead, an essentially flat sealing frame 21 is used there, which is pressed by means of clamping elements, which can consist of threaded bolts 17 and wing nuts 18.

Die Dichtung 14 beim Filtermodul nach Fig. 5 hat die gleiche Anordnung und Ausbildung wie beim Filtermodul nach den Fig. 1 bis 4, d.h., sie ist dort zwischen dem die Öffnungsseite des Druckkastens 6 begrenzenden Flanschrahmen 22 und der ihm zugewendeten, ebenen Stirnfläche 11b des das Schwebstoff-Filter 10 umgebenden Rahmens 11 eingespannt.The seal 14 in the filter module according to FIG. 5 has the same arrangement and design as in the filter module according to FIGS. 1 to 4, that is, it is there between the flange frame 22 delimiting the opening side of the pressure box 6 and the flat end face 11b facing it the suspended matter filter 10 surrounding frame 11 clamped.

Auch die Dichtung 13 hat dort die gleiche Einbaulage wie im Falle des Ausführungsbeispiels nach Fig. 4, d.h., sie ist der abwärts gerichteten, ebenen Stirnfläche 11a des Rahmens 11 zugeordnet.The seal 13 also has the same installation position there as in the case of the exemplary embodiment according to FIG. 4, i.e. it is assigned to the downward, flat end face 11a of the frame 11.

Die Dichtung 15 liegt nach Fig. 5 jedoch nicht in gleicher Ebene mit der Dichtung 14, sondern vielmehr in gleicher Ebene mit der Dichtung 13 an der Unterseite der Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion an. Beide Dichtungen 13 und 15 wirken hier mit dem Dichtrahmen 21 zusammen, welcher über die Spannelemente 17, 18 verspannbar ist und dabei den Freiraum 16 zwischen den beiden Dichtungen 13 und 15 zum Reinraum hin abschließt.5, however, the seal 15 does not lie in the same plane with the seal 14, but rather in the same plane with the seal 13 on the underside of the cover 4 of the ceiling substructure. Both seals 13 and 15 cooperate here with the sealing frame 21, which can be clamped via the clamping elements 17, 18 and thereby closes the free space 16 between the two seals 13 and 15 to the clean room.

Über Schlitze 20, die zwischen der Begrenzungskante des Ausschnittes 5 in der Abdeckung 4 sowie der äußeren Umfangsfläche des das Schwebstoff-Filter 10 umgebenden Rahmens 11 freibleiben, steht der Freiraum 16 ständig mit dem unter Unterdruck gehaltenen Hohlraum 9 in Verbindung.Via slots 20, which remain free between the boundary edge of the cutout 5 in the cover 4 and the outer circumferential surface of the frame 11 surrounding the suspended matter filter 10, the free space 16 is continuously connected to the cavity 9 which is kept under vacuum.

Eventuell am Dichtungselement 14 aus dem Druckkasten 6 vorbei gelangende Rohluft kann also nicht in den Reinraum eintreten, sondern wird spätestens aus dem Bereich des Freiraumes 16 zwischen den beiden Dichtungselementen 13 und 15 und dem Dichtrahmen 21 in den Deckenhohlraum 9 abgesaugt.Any untreated air possibly passing the sealing element 14 from the pressure box 6 cannot enter the clean room, but is sucked out at the latest from the area of the free space 16 between the two sealing elements 13 and 15 and the sealing frame 21 into the ceiling cavity 9.

Eine dem Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 bis 4 ähnliche Bauart eines Filtermoduls ist in Fig. 6 dargestellt.A type of filter module similar to the exemplary embodiment according to FIGS. 1 to 4 is shown in FIG. 6.

Bei diesem Filtermodul wird jedoch zwischen dem Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10, dem Druckkasten 6 und der Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion nur eine Dichtung eingebaut und mit Hilfe des Spannrahmens 24 und der Spannelemente 17/18 unter Vorspannung gesetzt.In this filter module, however, only a seal is installed between the frame 11 of the suspended matter filter 10, the pressure box 6 and the cover 4 of the ceiling substructure and is pretensioned with the aid of the tensioning frame 24 and the tensioning elements 17/18.

Die Dichtung 23 hat dabei im wesentlichen einen Rinnenquerschnitt mit zwei parallelen Dichtungsstegen 23a und 23b, von denen der eine am Flanschrahmen 22 des Druckkastens 6 und der andere nahe dem Ausschnitt 5 an der Abdeckung 4 zur Anlage kommt. Der zwischen den beiden Dichtungsstegen 23a und 23b befindliche Rinnenteil begrenzt dabei den Freiraum 16, welcher durch den Schlitz 20 zwischen dem Flanschrahmen 22 des Druckkastens 6 und dem Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 mit dem Deckenhohlraum 9 in ständiger Absaugverbindung steht. Auch hier kann am Dichtungssteg 23a der Dichtung 23 als Leckluft vorbeigelangende Rohluft nicht in den Reinraum gelangen, sondern sie wird vielmehr aus dem Freiraum 16 innerhalb der Dichtung 23 abgeführt.The seal 23 has essentially a channel cross section with two parallel sealing webs 23a and 23b, one of which comes to rest on the flange frame 22 of the pressure box 6 and the other near the cutout 5 on the cover 4. The channel part located between the two sealing webs 23a and 23b delimits the free space 16, which is in constant suction connection through the slot 20 between the flange frame 22 of the pressure box 6 and the cutout 5 of the cover 4 with the ceiling cavity 9. Here, too, raw air passing by at the sealing web 23a of the seal 23 as leakage air cannot get into the clean room, but rather is discharged from the free space 16 within the seal 23.

Gegenüber dem Filtermodul nach den Fig. 1 bis 4 ergibt sich beim Filtermodul nach Fig. 6 nicht nur dadurch eine bauliche Vereinfachung, daß anstelle dreier Dichtungen nur eine, nämlich eine Rinnenprofil-Dichtung 23, benutzt wird. Vielmehr kann hier auch der Einbaurahmen 12 eingespart werden, weil die Spannelemente 17, 18, die bspw. jeweils aus einem Gewindebolzen 17 und einer Flügelmutter 18 bestehen, mit dem einfachen flachen Spannrahmen 24 zusammenwirken können, der an den Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 angreift.Compared to the filter module according to FIGS. 1 to 4, the filter module according to FIG. 6 does not only result in a structural simplification in that only one, namely a channel profile seal 23, is used instead of three seals. Rather, the installation frame 12 can also be saved here because the tensioning elements 17, 18, which each consist, for example, of a threaded bolt 17 and a wing nut 18, can interact with the simple flat tensioning frame 24, which is attached to the frame 11 of the suspended matter filter 10 attacks.

Eine dem Filtermodul nach Fig. 5 ähnliche Bauart für ein Filtermodul ist wiederum in Fig. 7 der Zeichnung gezeigt. Auch hier ist außer dem Druckkasten 6 zusätzlich das Schwebstoff-Filter 10 mit seinem Rahmen 11 hinter die Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion zurückverlegt eingebaut.A design similar to the filter module according to FIG. 5 for a filter module is again shown in FIG. 7 of the drawing. Here too, in addition to the pressure box 6, the suspended matter filter 10 with its frame 11 is also installed behind the cover 4 of the ceiling substructure.

Unterschiedlich bei dem Filtermodul nach Fig. 7 ist jedoch gegenüber der Bauart nach Fig. 6, daß nur die beiden Dichtungen 13 und 14 vorgesehen sind, während die dritte Dichtung 15 sowie der Dichtrahmen 21 entfallen.7 is different from the design according to FIG. 6 in that only the two seals 13 and 14 are provided, while the third seal 15 and the sealing frame 21 are omitted.

Über die Spannelemente 17, 18, welche auch hier aus Gewindebolzen und Flügelmuttern bestehen können, wird der Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 mittels der beiden Dichtungen 13 und 14 unmittelbar zwischen der Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion sowie dem Flanschrahmen 22 des Druckkastens 6 festgespannt.The frame 11 of the suspended matter filter 10 is clamped directly between the cover 4 of the ceiling substructure and the flange frame 22 of the pressure box 6 via the clamping elements 17, 18, which can also consist of threaded bolts and wing nuts here, by means of the two seals 13 and 14 .

Insbesondere die an der Dichtung 14 möglicherweise als Leckluft vorbeitretende Rohluft gelangt hier unmittelbar in den auf Unterdruck gehaltenem Deckenhohlraum 9, kann also nicht in den Reinraum eindringen.In particular, the untreated air possibly passing by the seal 14 reaches the ceiling cavity 9, which is kept under negative pressure, and therefore cannot penetrate into the clean room.

Die Fig. 8 zeigt eine gegenüber Fig. 4 abgewandelte, baulich wesentlich vereinfachte Ausgestaltung für Filtermodule, die in Reinraum-Filterdecken Verwendung finden.FIG. 8 shows an embodiment, which is modified in comparison to FIG. 4 and is structurally considerably simplified, for filter modules which are used in clean room filter ceilings.

Hinter der plattenförmigen Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion liegt auch hier ein Druckkasten 6, der mit seiner Öffnung an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 anschließt. Umgeben ist der Druckkasten 6 oberhalb der Abdeckung 4 vom Deckenhohlraum 9.Behind the plate-shaped cover 4 of the ceiling substructure there is also a pressure box 6 which connects with its opening to the cutout 5 of the cover 4. The pressure box 6 is surrounded by the ceiling cavity 9 above the cover 4.

An den Druckkasten 6 bzw. an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 schließt sich das Schwebstoff-Filter 10 an, welches vom Rahmen 11 aus starrem, druckdichten Material umfaßt ist.At the pressure box 6 or at the cutout 5 of the cover 4, the suspended matter filter 10 connects, which is surrounded by the frame 11 made of rigid, pressure-tight material.

Die obere Stirnfläche 11b des Rahmens 11 trägt einen Kragen 25, der bspw. aus Blech besteht und mindestens an seinem äußeren Rand zur Versteifung bzw. Stabilisierung abgewinkelt ausgebildet ist. Der Kragen 25 ist an der Stirnfläche 11b des Rahmens 11 befestigt, bspw. festgeschraubt. Seine Profilbreite ist dabei größer bemessen als die Wanddicke des Rahmens 11, dergestalt, daß er die Außenkontur des Rahmens 11 um ein beträchtliches Maß überragt, wie das deutlich der Fig. 8 entnommen werden kann.The upper end face 11b of the frame 11 carries a collar 25 which, for example, consists of sheet metal and is angled at least on its outer edge for stiffening or stabilization. The collar 25 is fastened, for example screwed, to the end face 11b of the frame 11. Its profile width is larger than the wall thickness of the frame 11, such that it projects beyond the outer contour of the frame 11 by a considerable amount, as can be clearly seen in FIG. 8.

Die Hauptebene des Kragens 25 erstreckt sich parallel zur plattenförmigen Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion. Er bildet die Andruckfläche für zwei Dichtungen 14 und 15, welche etwa auf gleicher Ebene liegen und dabei rundum einen solchen Abstand voneinander haben, daß sie zwischen sich einen rahmenartigen Freiraum 16 begrenzen.The main plane of the collar 25 extends parallel to the plate-shaped cover 4 of the ceiling substructure. It forms the contact surface for two seals 14 and 15, which lie approximately on the same plane and are spaced apart from one another all around such that they delimit a frame-like free space 16 between them.

Die Dichtung 14 liegt dabei am Kragen 25 im Bereich vor der Stirnfläche 11b des Rahmens 11, während die Dichtung 15 auf dem die Außenkontur des Rahmens 11 überragenden Abschnitt des Kragens 25 zu liegen kommt.The seal 14 lies on the collar 25 in the region in front of the end face 11b of the frame 11, while the seal 15 comes to rest on the section of the collar 25 which projects beyond the outer contour of the frame 11.

Mit Hilfe des Kragens 25 werden die Dichtungen 14 und 15 gegen die Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion abdichtend verspannt. Hierbei können als Spannelemente Gewindebolzen 17 und Flügelmuttern 18 Verwendung finden, wie sie in Fig. 4 dargestellt sind. Diese Spannelemente können dabei entweder unmittelbar zwischen dem Kragen 25 des Rahmens 11 und der Decken-Unterkonstruktion wirksam gemacht werden, in ähnlicher Weise, wie das Fig. 4 zeigt. Sie können aber auch eine Anordnung und Ausbildung erhalten, wie das bspw. aus Fig. 6 der Zeichnung ersichtlich ist.With the help of the collar 25, the seals 14 and 15 are clamped in a sealing manner against the cover 4 of the ceiling substructure. Threaded bolts 17 and wing nuts 18 can be used as clamping elements, as shown in FIG. 4. These tensioning elements can be made effective either directly between the collar 25 of the frame 11 and the ceiling substructure, in a similar manner, as shown in FIG. 4. But you can also get an arrangement and training, as can be seen for example from Fig. 6 of the drawing.

Wesentlich ist in jedem Falle, daß der rahmenartige Freiraum 16 zwischen den Dichtungen 14 und 15 und dem Kragen 25 durch in der Abdeckung 4 vorgesehene Schlitze 20, Löcher oder ähnliche Durchbrüche mit dem Deckenhohlraum 9 oberhalb der Abdeckung 4 in Verbindung steht, welcher ständig unter einem Unterdruck gehalten ist.It is essential in any case that the frame-like free space 16 between the seals 14 and 15 and the collar 25 through slots 20 provided in the cover 4, holes or similar openings with the ceiling cavity 9 above the cover 4, which is constantly under one Negative pressure is maintained.

Die Bauart des Filtermoduls nach Fig. 8 ist gegenüber derjenigen nach Fig. 4 beträchtlich vereinfacht, weil demgegenüber nicht nur der Einbaurahmen 12, sondern auch die zwischen diesem und der unteren Stirnfläche 11a des Rahmens 11 vorgesehen Dichtung 13 eingespart werden können.The design of the filter module according to FIG. 8 is considerably simplified compared to that according to FIG. 4, because not only the mounting frame 12 but also the seal 13 provided between this and the lower end face 11a of the frame 11 can be saved.

Bei der Reinraum-Filterdecke nach den Fig. 9 und 10 ist unmittelbar unterhalb der Gebäudedecke ein Druckraum 26 vorgesehen, d.h., es ist hier kein besonderer Druckkasten angeordnet. Diesem Druckraum 26 ist der Decken- bzw. Wandhohlraum 9 insgesamt vorgelagert, wie das deutlich der Fig. 9 entnommen werden kann.In the clean room filter ceiling according to FIGS. 9 and 10, a pressure chamber 26 is provided directly below the building ceiling, ie no special pressure box is arranged here. Overall, the ceiling or wall cavity 9 is upstream of this pressure chamber 26, as can be clearly seen in FIG. 9.

Wichtig bei dieser Ausgestaltung eines Filtermoduls ist dabei, daß der Decken- bzw. Wandhohlraum 9 über seine Bautiefe den das Schwebstoff-Filter 10 umfassenden Rahmen 11 aufnimmt.It is important in this embodiment of a filter module that the ceiling or wall cavity 9 receives the frame 11 comprising the suspended matter filter 10 over its overall depth.

Innerhalb des von einem Unterdruck beaufschlagten Deckenhohlraums 9 ist der Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 mittels des Dichtrahmens 21 über die Spannelemente 17, 18 austauschbar gehalten, wobei die die äußere Begrenzung des Decken- bzw. Wandhohlraums 9 bildende Abdeckung 4 einen parallel zur äußeren Begrenzungsfläche des Rahmens 11 abgewinkelten Begrenzungsrand 27 hat, die in den Decken- bzw. Wandhohlraum hineinragt.Inside the ceiling cavity 9, which is acted upon by a vacuum, the frame 11 of the suspended matter filter 10 is held interchangeably by means of the sealing frame 21 via the tensioning elements 17, 18, the cover 4 forming the outer boundary of the ceiling or wall cavity 9 being parallel to the outer boundary surface of the frame 11 has angled boundary edge 27 which projects into the ceiling or wall cavity.

Der Druckraum 26 ist gegen den Decken- bzw. Wandhohlraum 9 durch eine Abdeckung 28 druckdicht abgegrenzt. welche ebenfalls einen abgewinkelten Begrenzungsrand 29 hat, der in den Druckraum 26 hineinragt.The pressure chamber 26 is delimited pressure-tight against the ceiling or wall cavity 9 by a cover 28. which also has an angled boundary edge 29 which projects into the pressure chamber 26.

Die Abdeckung 28 für den Druckraum 26 ist so bemessen, daß ihr Begrenzungsrand 29 bei in den Decken- bzw. Wandhohlraum 9 eingesetztem Schwebstoff-Filter 10 den Rahmen 11 desselben etwa um dessen Wanddicke übergreift, so daß der Begrenzungsrand 29 etwa auf gleicher Ebene mit der Innenfläche des Rahmens 11 zu liegen kommt, wie das die Fig. 9 deutlich erkennen läßt.The cover 28 for the pressure chamber 26 is dimensioned such that its boundary edge 29 overlaps the frame 11 of the same with the suspended matter filter 10 inserted in the ceiling or wall cavity 9, so that the boundary edge 29 is approximately at the same level with the Inner surface of the frame 11 comes to rest, as can be clearly seen in FIG. 9.

Die Anordnung der drei Dichtungen 13, 14 und 15 relativ zum Schwebstoff-Filter 10 bzw. zu dessen Rahmen 11 sowie zum Druckraum 26 und zum Decken- bzw. Wandhohlraum 9 entspricht im wesentlichen der Anordnung, wie sie bereits vorstehend in Verbindung mit Fig. 5 der Zeichnung erläutert worden ist.The arrangement of the three seals 13, 14 and 15 relative to the suspended matter filter 10 or to its frame 11 as well as to the pressure chamber 26 and to the ceiling or wall cavity 9 essentially corresponds to the arrangement as already described above in connection with FIG. 5 the drawing has been explained.

Die Dichtung 13 liegt zwischen der unteren, ebenen Stirnfläche 11a des das Schwebstoff-Filter 10 enthaltenden Rahmens 11 und dem Dichtrahmen 21. Die Dichtung 14 ist zwischen der oberen, ebenen Stirnfläche 11b des Rahmens 11 und der Abdeckung 28 des Druckraumes 26 vorgesehen. Die Dichtung 15 befindet sich schließlich zwischen der Abdeckung 4 des Decken- bzw. Wandhohlraums 9 und dem Dichtrahmen 21.The seal 13 lies between the lower, flat end face 11a of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 and the sealing frame 21. The seal 14 is provided between the upper, flat end face 11b of the frame 11 and the cover 28 of the pressure chamber 26. The seal 15 is finally located between the cover 4 of the ceiling or wall cavity 9 and the sealing frame 21.

Der von den beiden Dichtungen 13 und 15 und dem Dichtrahmen 21 eingegrenzte Freiraum 16 steht durch den Abstandsspalt zwischen dem abgewinkelten Begrenzungsrand 27 der Abdeckung 4 und der äußeren Begrenzungsfläche des das Schwebstoff-Filter 10 enthaltenden Rahmens 11 ständig mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum 9 in Verbindung. In den Freiraum 16 gelangende Leckluft wird daher sicher in den Decken- bzw. Wandhohlraum 9 abgezogen. Auch Leckluft, die an der oberen Dichtung 14 vorbeigeht, wird in diesem Decken-bzw. Wandhohlraum 9 abgesaugt, kann also nicht am Schwebstoff-Filter 10 vorbei in den Reinraum gelangen.The space 16 delimited by the two seals 13 and 15 and the sealing frame 21 is constantly in contact with the ceiling or wall cavity 9 in through the spacing gap between the angled boundary edge 27 of the cover 4 and the outer boundary surface of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 Connection. Leakage air entering the free space 16 is therefore safely drawn off into the ceiling or wall cavity 9. Leakage air that passes the upper seal 14 is also in this ceiling or. Aspirated wall cavity 9, can not get past the suspended matter filter 10 in the clean room.

Zu erwähnen ist noch, daß die Dichtungen 13, 14 und 15 eine sich über einen Teil ihrer Dicke trapezartig verjüngende Querschnittsgestalt haben. Die Dichtungen 13 und 14 liegen dabei jeweils mit ihrer breiten Basisfläche an den ebenen Stirnflächen 11a und 11b des Rahmens 11 an, während ihre schmalere Kopffläche mit dem Dichtrahmen 21 bzw. der Abdeckung 28 in Kontaktberührung steht.It should also be mentioned that the seals 13, 14 and 15 have a trapezoidal cross-sectional shape over part of their thickness. The seals 13 and 14 each abut with their broad base surface on the flat end faces 11a and 11b of the frame 11, while their narrower head surface is in contact with the sealing frame 21 or the cover 28.

Die Dichtung 15 ruht andererseits mit ihrer breiten Basisfläche auf dem Dichtrahmen 21, während ihre schmalere Kopffläche an der Abdeckung 4 zur Anlage gebracht ist.The seal 15, on the other hand, rests with its broad base surface on the sealing frame 21, while its narrower head surface is brought into contact with the cover 4.

Mit Hilfe der Spannelemente 17/18 werden alle drei Dichtungen 13, 14 und 15 gemeinsam unter Dichtungsvorspannung gesetzt und damit das Schwebstoff-Filter 10 über seinen Rahmen 11 innerhalb der Bautiefe des Decken- bzw. Wandhohlraums 9 austauschbar festgelegt.With the help of the tensioning elements 17/18, all three seals 13, 14 and 15 are placed together under prestressing of the gasket and thus the suspended matter filter 10 is fixed interchangeably via its frame 11 within the structural depth of the ceiling or wall cavity 9.

Um trotz der mit Abstand vorgesehenen Schwebstoff-Filter 10 eine innerhalb des Reinraumes gleichförmige, turbulenzarme Strömung zu erreichen, ist die Ebene der Schwebstoff-Filter 10 auch nach Fig. 9 unter Einhaltung eines Abstandes von Rechteckrahmen 38 unterfangen, die aus Profilstäben 39 gebildet sind, die ihrerseits eine feinmaschige Gewebebahn 41 tragen. Rechteckrahmen 38 können direkt und in gleicher Höhe aneinandergrenzen, wie dies rechtsseitig der Fig. 9 dargestellt ist, sie können aber auch, bspw. zur Anpassung an die Raumgröße, höhenversetzt und teilweise überlappend angeordnet sein. Bei der Anpassung an vorgegebene Raumgrößen hat es sich jedoch bewährt, auf Rechteckrahmen 38 gleicher Größen nicht zu verzichten und den eigentlichen Angleich durch zusätzliche Füllbleche 49 zu bewirken, wie dieses die Fig. 11 darstellt.In order to achieve a uniform, low-turbulence flow within the clean room despite the spaced-apart suspended matter filter 10, the level of the suspended matter filter 10 is also underpinned in accordance with FIG. 9 while maintaining a distance from rectangular frames 38 which are formed from profile bars 39. which in turn carry a fine-mesh fabric web 41. Rectangular frames 38 can adjoin one another directly and at the same height, as is shown on the right-hand side of FIG. 9, but they can also be offset in height and partially overlapping, for example to adapt to the room size. When adapting to predetermined room sizes, however, it has proven useful not to do without rectangular frames 38 of the same sizes and to effect the actual adjustment by means of additional filler plates 49, as shown in FIG. 11.

Nach dieser Figur werden die Rechteckrahmen 38 durch Dreieckprofile 45 gebildet, die in ihren verstärkten Endbereichen Nute 46 zur Aufnahme von Dichtungen aufweisen. Verbunden sind die einen Rechteckrahmen bildenden Dreieckprofile durch einen vorzugsweise würfelartig ausgebildeten Eckkörper 47, der an zwei Seiten mit Steckansätzen 48 ausgestattet ist, die das Hohlprofil der Dreieckprofile 45 füllend in deren Enden eingreifen. Damit bietet sich den Spannschrauben 42 jeweils ein fester Körper, der seinerseits die Profile vermittels der Steckansätze trägt.According to this figure, the rectangular frames 38 are formed by triangular profiles 45, which have grooves 46 in their reinforced end regions for receiving seals. The triangular profiles forming a rectangular frame are connected by a preferably cube-shaped corner body 47 which is equipped on two sides with plug-in projections 48 which fill the hollow profile of the triangular profiles 45 engage their ends. This provides the clamping screws 42 each with a solid body, which in turn carries the profiles by means of the plug-in lugs.

Diese Eckkörper 47 können auch so ausgebildet werden, daß das Durchführen von Leitungen, bspw. elektrischen Leitungen oder Wasserzuleitungen von Sprinkleranlagen, möglich ist. Es kann sich empfehlen, die jeweils äußeren Kanten der Eckkörper durch vertikal gerichtete viertelzylindrische Ausnehmungen zu ersetzen.These corner bodies 47 can also be designed so that the passage of lines, for example electrical lines or water supply lines from sprinkler systems, is possible. It may be advisable to replace the outer edges of the corner bodies with vertically directed quarter-cylindrical recesses.

Zur Überbrückung der zur benachbarten Wand, im Ausführungsbeispiel einer Glaswand 52, verbleibenden Distanz ist ein Füllblech 49 vorgesehen, dessen eine Seite U-förmig abgekantet und mit der Tragplatte 37 durch eine Spannschraube 42 verbunden ist. Am freien Ende des Füllbleches 49 ist ein Seitenstreifen 50 abgekantet, und mindestens die Grundfläche des Füllbleches 49 ist perforiert oder mit Ausnehmungen ausgestattet und mit einer Gewebebahn 41 überzogen, vorzugsweise verklebt. Zweckmäßig schließt das Füllblech 49 bzw. dessen Seitenstreifen 50 nicht völlig an die Wand 52 an, so daß zwischen dem Seitenstreifen 50 und der Wand 52 ein Spalt 54 verbleibt. Zunächst einmal erleichtert ein solcher Spalt die Anpassung an die Querschnittsfläche des Raumes. Ein verbleibender, relativ geringer Spalt erweist sich als vorteilhaft, da die Reinluft ihn mit größerer Geschwindigkeit durchsetzen kann als die feinmaschige Gewebebahn 41. Durch einen solchen Spalt wird damit entlang der Wände des Reinraumes eine etwas höhere Strömungsgeschwindigkeit erzielt als in den übrigen Flächenbereichen, so daß der Wirkung der Dämpfung der Luftströmung durch die Reibung entlang der Wände begegnet wird. Im Falle breiter ausgebildeter Spalte 54 jedoch hat es sich bewährt, den Spalt mit einer transparenten Matte zu überfangen, welche die den Spalt 54 durchsetzende Strömung auf eine Geschwindigkeit dämpft, die der der die Gewebebahn 41 durchsetzenden Strömung gleicht oder diese geringfügig überschreitet, um entlang der Wände des Reinraumes zunächst im oberen Bereiche etwas höhere Geschwindigkeiten zu erreichen. Im Ausführungsbeispiel ist der untere Bereich der als Streifen ausgeführten transparenten Matte 51 hinter dem Seitenstreifen 50 gelegt und gegebenenfalls dort befestigt, während der obere Bereich der transparenten Matte 51 mit der Glaswand 52 mittels eines Klebestreifens 53 verbunden ist. Im Falle aus anderem Material gebildeter Wände lassen sich auch entsprechende Verbindungen durch Schrauben, Nägel oder dergleichen, gegebenenfalls unter Zuhilfenahme von Leisten, bspw. solchen aus Kunststoff, erwirken.To bridge the remaining distance to the adjacent wall, in the exemplary embodiment of a glass wall 52, a filler plate 49 is provided, one side of which is bent in a U-shape and is connected to the support plate 37 by a tensioning screw 42. At the free end of the filler plate 49, a side strip 50 is folded, and at least the base surface of the filler plate 49 is perforated or provided with recesses and covered with a fabric web 41, preferably glued. The filler plate 49 or its side strip 50 expediently does not completely adjoin the wall 52, so that a gap 54 remains between the side strip 50 and the wall 52. First of all, such a gap makes it easier to adapt to the cross-sectional area of the room. A remaining, relatively small gap proves to be advantageous, since the clean air can pass through it at a higher speed than the fine-mesh fabric web 41. Through such a gap, a somewhat higher flow velocity is achieved along the walls of the clean room than in the other surface areas, so that the effect of damping the air flow is counteracted by the friction along the walls. In the case of wider gaps 54, however, it has proven useful to cover the gap with a transparent mat which penetrates the gap 54 Dampens the flow to a speed which is equal to or slightly exceeds the flow passing through the fabric web 41 in order to initially achieve somewhat higher speeds along the walls of the clean room in the upper regions. In the exemplary embodiment, the lower region of the transparent mat 51 designed as a strip is placed behind the side strip 50 and optionally fastened there, while the upper region of the transparent mat 51 is connected to the glass wall 52 by means of an adhesive strip 53. In the case of walls formed from a different material, corresponding connections can also be achieved by means of screws, nails or the like, possibly with the aid of strips, for example those made of plastic.

Bewährt hat es sich beim Aufbau des Filtermoduls, die Aufhängung desselben tunlichst zu vereinfachen. In Fig. 12 ist eine Aufhängung an Hängestäben 1 gezeigt, die vermittels von spannschloßartig wirkenden Gewindemuffen 64 hier verdeckte Spannstäbe 34 höhenverstellbar halten, die ihrerseits übereinander Tragplatten 37 und, vermittels von Stützplatten 58, in unterschiedlichen Höhen Blechleisten 59 tragen. Die Distanzen werden hierbei zweckmäßig vermittels von Distanzrohren 56, 57 und 63 gewahrt, die über Muttern 55 gegeneinander verspannt sind. Die Blechleisten 59 sind hierbei im wesentlichen U-förmig ausgebildet, wobei die Jochbreite höher bemessen ist als die Distanz der Schenkel des U-Profiles, so daß im Jochbereich jeweils nach außen auskragende Leisten gebildet werden. Auf diese Leisten sind jeweils Dichtungsstreifen 60, 61 aufgebracht, auf welche Abdeckungen 4 bzw. 28 abgelegt sind, die ihrerseits wiederum, vermittels von Gewindebolzen 17 verspannt, die Rahmen 11 der Schwebstoff-Filter 10 über Dichtungen verspannen. Auch hier werden mit Tragplatten 37 Rechteckrahmen 38 verspannt, die aus Dreieck-Winkelprofilen 45 bestehen, die vermittels von würfelförmigen Eckkörpern 47 und deren Steckansätzen 48 miteinander verbunden sind. Als Störungsstelle im Bereiche der die Gewebebahnen 41 durchsetzenden Strömung treten hier nur die unteren Flächen der Dreieckprofile 45 auf. Auch diese können noch in ihrer Auswirkung gemindert werden, indem, abweichend von der Darstellung der Fig. 12, die Rahmen mit einem geringen, einen Spalt bildenden Abstand mit der Tragplatte 37 verbunden sind, so daß zwischen den großflächigen, die Gewebebahnen 41 durchsetzenden Reinluftströmen schmale, intensivere Reinluftströme gebildet werden. Die weniger gedämpften, die Spalte durchsetzenden Strömungen können einerseits durch die Abstände der Rahmen eingestellt sein. Da jedoch stets die Gefahr der, wenn auch geringen, Durchbiegung der die Rechteckrahmen bildenden Stäbe besteht, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, diesen Spalt durch in Profilstäbe eingelegte Dichtungsstreifen zu begrenzen, die entweder, wenn eine völlige Abdichtung erwünscht wird, direkt aneinander bzw. an Auflageflächen des gegenüberliegenden Rahmens anschließen. Soll hier jedoch zur Verminderung des Strömungsschattens ein direkter Reinluftdurchsatz gesichert werden, so hat es sich bewährt, Dichtungen zu verwenden, die entweder, bspw. vermittels von aufgesetzten Noppen oder vertikal verlaufenden Rippen, sich nur mit diesen auf Auflagebereiche des angrenzenden Rahmens oder auch einer angrenzenden Wand auflegen, so daß zwischen den stützenden Erhebungen der Dichtleisten Spalte verbleiben, deren Stärke der Erhöhung der Noppen bzw. Rippen entspricht und damit konstruktiv definiert ist.When building the filter module, it has proven to be as easy as possible to simplify its mounting. In Fig. 12 a suspension on hanging rods 1 is shown, which hold the tension rods 34, which are hidden here by means of tension lock-like threaded sleeves 64, which in turn carry support plates 37 and, by means of support plates 58, sheet metal strips 59 at different heights. The distances are expediently maintained by means of spacer tubes 56, 57 and 63, which are braced against one another via nuts 55. The sheet metal strips 59 are essentially U-shaped, the yoke width being larger than the distance between the legs of the U-profile, so that in the yoke area, outwardly projecting strips are formed. Sealing strips 60, 61 are applied to each of these strips, on which covers 4 and 28 are placed, which in turn, clamped by means of threaded bolts 17, clamp the frame 11 of the suspended matter filter 10 via seals. Here, too, 37 rectangular frames 38 are braced with support plates There are triangular angle profiles 45, which are connected to one another by means of cube-shaped corner bodies 47 and their plug-in extensions 48. Only the lower surfaces of the triangular profiles 45 appear here as the point of disturbance in the region of the flow passing through the fabric webs 41. These can also be reduced in their effect by, in contrast to the illustration in FIG. 12, the frames being connected to the support plate 37 at a small, gap-forming distance, so that narrow clean air streams passing through the fabric webs 41 narrow , more intensive clean air flows are formed. The less damped currents passing through the gaps can be adjusted on the one hand by the spacing of the frames. However, since there is always the risk of, albeit slight, deflection of the bars forming the rectangular frames, it has proven to be advantageous to limit this gap by means of sealing strips inserted into profiled bars, which either directly against one another or if complete sealing is desired. connect to contact surfaces of the opposite frame. However, if a direct clean air throughput is to be ensured to reduce the flow shadow, it has proven to be useful to use seals that either, e.g. by means of attached knobs or vertically extending ribs, only with these on support areas of the adjacent frame or an adjacent one Place the wall so that gaps remain between the supporting elevations of the sealing strips, the thickness of which corresponds to the increase in the knobs or ribs and is therefore structurally defined.

Bewährt hat es sich noch, auf auskragende Jochstreifen der Blechleisten 49, zweckmäßig über Dichtungssstreifen 60, 61, abgestützte Abdeckungen 4, 28 durch Klammern bzw. Federn 62 zu sichern, welche auf die Schenkelenden der Blechleisten 59 aufgeklemmt sind. Bewährt hat es sich hierbei, auch die freien Enden der Schenkel nach innen ein- oder zweifach abzukanten, um einerseits die Belastbarkeit der Blechleisten 59 zu erhöhen und andererseits Verletzungen an scharfen Kanten derselben zu unterbinden.It has also proven useful to secure supported covers 4, 28 on cantilevered yoke strips of sheet metal strips 49, expediently via sealing strips 60, 61, by means of clips or springs 62, which rest on the leg ends of sheet metal strips 59 are pinched. It has proven useful here to also fold the free ends of the legs inwards once or twice, on the one hand to increase the load-bearing capacity of the metal strips 59 and on the other hand to prevent injuries on sharp edges thereof.

Claims (23)

  1. A filter module for clean-room ceilings and walls or the like,
       which is formed of a pressure space (6 or 26) and a ceiling or wall cavity (9) kept under reduced pressure, and contains a particulate filter (10) which by means of a frame (11) embracing it is fixed via clamping members (17/18) engaging the latter, so as to seal it against the pressure space (6 or 26) in the ceiling or wall cavity (9) and to make it exchangeable downwards or forwards,
    characterized in that
    - the ceiling or wall cavity (9) is extended wholly in front of the pressure space (6 or 26) and receives over its structural depth the frame (11) embracing the particulate filter (10),
    - between the frame (11) of the particulate filter (10), the pressure space (6 or 26) and the ceiling or wall cavity (9) two or three sealing regions (13, 14 or 14, 15 or 23a, 23b respectively or 13, 14, 15) are provided, exhibiting respective distances apart,
    - and the portions of space bounded outside the frame (11) of the particulate filter (10) by the respectively cooperating sealing regions (13, 14 or 14, 15 or 23a, 23b respectively or 13, 14, 15) are open solely into the ceiling or wall cavity (9).
  2. A filter module for clean-room ceilings and walls or the like,
       consisting of a pressure chest (6) which is provided with a connecting adapter (7) and may be inserted in a ceiling or wall cavity (9) kept under reduced pressure, and of a particulate filter (10) which by means of a frame (11) embracing it is fixed via clamping members (17, 18) engaging the latter as well as associated sealing elements, against the pressure chest (6) in the ceiling or wall cavity (9) so as to be exchangeable downwards or forwards,
    characterized in that
    - between the frame (11) of the particulate filter (10), the ceiling or wall cavity (9) and the pressure chest (6) two or three sealing regions (13, 14 or 14, 15 or 23a, 23b respectively or 13, 14, 15) are provided, exhibiting respective distances apart,
    - and the portions of space bounded outside the frame (11) of the particulate filter (10) by the respectively cooperating sealing regions (13, 14 or 14, 15 or 23a, 23b respectively or 13, 14, 15) are open solely into the ceiling or wall cavity (9).
  3. A filter module as in Claim 2,
       characterized in that
    the two sealing regions (14, 15) are designed to lie at least approximately on the same plane on the one side between the frame (11) of the particulate filter (10) and the pressure chest (6) and on the other side between a contact surface (4) of the ceiling or wall cavity (9) and a pressure frame (12) which may be seized by the clamping members (17, 18), and that moreover the pressure frame (12) is made as a built-in frame of a height to receive the whole particulate filter (10) and its frame (11).
  4. A filter module as in Claim 3,
       characterized in that
    the frame (11) of the particulate filter (10) is held (12a) in close contact with the built-in frame (12) by an additional third seal (13) at its endface (11a) next the clean-room.
  5. A filter module as in Claim 1 or Claim 2,
       characterized in that
    the two sealing regions (14, 15) lying at least approximately on the same plane are associated on the one side with the frame (11) of the particulate filter (10) and on the other side with a contact surface (4) of the ceiling or wall cavity (9),
    and that a sealing frame (21) holding up the particulate filter (10) and the ceiling or wall cavity (9) may at the same time be pressed by means of the clamping members (17, 18) against both sealing regions (13, 15).
  6. A filter module as in Claim 5,
       characterized in that
    the frame (11) of the particulate filter (10) is held in close contact with the pressure space or pressure chest (26, 6) by an additional - third - seal (14).
  7. A filter module as in one of the Claims 1 to 6,
       characterized in that
    each sealing region (13, 14, 15) is formed by an independent sealing element.
  8. A filter module as in one of the Claims 2, 3 and 5,
    characterized in that
    both sealing regions (23a, 23b) are made of a common sealing element which preferably exhibits a trough profile.
  9. A filter module as in Claim 1 or Claim 2,
       characterized in that
    the two sealing elements (13, 14) are associated with ends (11a and 11b) of the frame (11) of the particulate filter (10) which are remote from one another,
    that the upper sealing region (14) may be laid against the pressure space or chest (26, 6) and the lower sealing region (13) against a bearing area (4) of the ceiling or wall cavity (9), and that in doing so the bearing area (4) of the ceiling or wall cavity (9) and the pressure space or chest (26, 6) may be tightened against one aother and against the sealing regions (13, 14) by clamping members (17, 18).
  10. A filter module as in Claim 2,
       characterized in that
    the region in the interval (16) between the sealing regions (14, 15 or 13, 15 or 23a, 23b respectively) is permanently connected to the ceiling or wall cavity (9) through slots (20), holes or similar openings provided in a covering (4) between the pressure chest (6) and the ceiling or wall cavity (9).
  11. A filter module as in Claim 2,
       characterized in that
    the frame (11) of the particulate filter (10) is provided at its upper endface (11b) with a collar (25) projecting beyond its outer contour to form the area for applying pressure to the two sealing regions (14, 15) lying at least approximately on the same plane, so that the one sealing region (14) in front of the endface (11b) of the frame (11) rests against the collar (25) and against the pressure chest (6), whilst the other sealing region (15) is arranged between that portion of the collar (25) which projects beyond the frame (11) and a contact surface (4) of the ceiling or wall cavity (9).
  12. A filter module as in Claims 2 and 11,
       characterized in that
    the collar (25) exhibits at its outer boundary a stiffening or stabilizing bent down portion (26).
  13. A filter module as in Claim 1,
       characterized in that
    the region in the interval (16) between the sealing regions (14, 15) is permanently connected to the ceiling or wall cavity (9) through the boundary (27) of the covering (4) of the said cavity.
  14. A filter module as in Claims 1 to 13,
       characterized in that
    the coverings (4) carrying particulate filters (10) are concealed at a distance below by rectangular frames (38) over which sheets (41) of fabric are stretched.
  15. A filter module as in Claim 14,
       characterized in that
    adjoining rectangular frames (38) are sealed against one another at their joints (44).
  16. A filter module as in Claim 15,
       characterized in that
    seals and/or bearing areas supporting these are provided with supporting projections securing a predetermined gap.
  17. A filter module as in Claim 14 or 15,
       characterized in that
    the rectangular frames (38) are formed from angle or triangular profiles (39, 45) and the sides (39) of the profiles which project downwards are glued to the sheet (41) of fabric.
  18. A filter module as in one of the Claims 14 to 16,
       characterized in that
    the sheet of fabric (41) is a weave of plastics or metal wire.
  19. A filter module as in Claim 17 or 18,
       characterized in that
    triangular profiles (45) forming end regions of rectangular frames (38) are penetrated by plug-in extensions (48) from corner bodies (47).
  20. A filter module as in Claims 14 to 19,
       characterized in that
    filler plates (49) which are perforated and/or provided with recesses are connected to rectangular frames (38) and coated with a sheet of fabric (41).
  21. A filter module as in Claim 20,
       characterized in that
    filler plates (49) at the side of them next rectangular frames (38) exhibit a portion bent down in a U-shape the height of which corresponds with that of the rectangular frames, and that at their free end they are provided with a bent round sidestrip (50).
  22. A filter module as in one of the Claims 14 to 21,
       characterized in that
    rectangular frames (38) and/or filler plates (50) in each case enclose a gap (54) with the adjacent wall (52), and that if necessary a transparent mat (51) is arranged in front of the gap as a resistance to flow.
  23. A filter module as in one of the Claims 1 to 22,
       characterized in that
    the hanger rods (1) or strainrods (34) carry sheetmetal fillets (59) profiled in the shape of a U, the yoke length of which exceeds the distance between its arms, and the edge regions of coverings (4, 28) are laid via sealing strips (60, 61) against the overhanging ends of the said yokes.
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