DE8707079U1 - Filter module for clean room ceilings and walls etc. - Google Patents

Filter module for clean room ceilings and walls etc.

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DE8707079U1
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    • F24F13/28Arrangement or mounting of filters

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Description

PATENTANWÄLTE HEMMERlCM'' MÜLLER" 1QRO^SE%f#OLÄ.MEIER · MEYPATENT ATTORNEYS HEMMERlCM''MÜLLER" 1 QRO^SE%f # OLÄ.MEIER · MEY

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Heinrich Nickel ÖrabH, Siegstraße 28-34, 5240 BetzdorfHeinrich Nickel ÖrabH, Siegstrasse 28-34, 5240 Betzdorf

Filtermodul für Reinraumdecken
und -'wände oder dergleichen
Filter module for cleanroom ceilings
and walls or the like

'de Neuerung betrifft ein Filtermodul für Reinraumdecken und -wände oder dergleichen, das von einem Difückraum und einem auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wändhohlraum gebildet ist und ein Shwebstoff-Filter enthält, das mittels eines umfassenden Rahmens über an diesem angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wandhohlraum austauschbar gegen den Druckraum festlegbar ist.The innovation relates to a filter module for clean room ceilings and walls or the like, which is formed by a pressure chamber and a ceiling or wall cavity kept at negative pressure and contains a suspended matter filter which can be interchangeably fixed to the pressure chamber by means of a surrounding frame via clamping elements engaging thereon and associated sealing elements for the ceiling or wall cavity.

Dabei befaßt sich die Neuerung auch mit solchen Filtermodulen, bei denen der Druckraum aus einem mit einem Anschluß-Stutzen versehenen Druckkasten besteht, der in den auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum einsetzbar ist, wobei das Schwebstoff'-Filter mittels des umfassenden Rahmens über an diesem angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wandhohlraura austauschbar gegen den Druckkasten festlegbar ist.The innovation also concerns filter modules in which the pressure chamber consists of a pressure box provided with a connection nozzle, which can be inserted into the ceiling or wall cavity kept at negative pressure, whereby the suspended matter filter can be fixed to the pressure box by means of the surrounding frame via clamping elements acting on it and associated sealing elements for the ceiling or wall cavity.

Derartige Filtermodule werden zur Neutralisierung des Leckrisikos in Schwebstoff-Filterdecken bzw. -wänden benutzt. Sie sind so ausgebildet und eingebaut, daß durch die Aufrechterhaltung eines Unterdrucks im Decken- bzw. Wandhohlraum die Strömungsrichtung durch ein Leck umgekehrt wird, so daß das Auftreten solcher Lecks belanglos ist, weil die Leckluft vom Reinraum weg in den Decken- bzw. Wandhohlraum strömt.Such filter modules are used to neutralize the risk of leaks in suspended matter filter ceilings or walls. They are designed and installed in such a way that by maintaining a negative pressure in the ceiling or wall cavity the flow direction through a leak is reversed so that the occurrence of such leaks is irrelevant because the leakage air flows away from the clean room into the ceiling or wall cavity.

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Beim praktischen Einsatz derartiger Filtermodule für Filter- |When using such filter modules for filter |

decken bzw. -wände ist zwischen dem Filtermodul und den |ceilings or walls is between the filter module and the |

zugehörigen Anlageflächen der Decken- bzw. Wandkonstruktion |.associated contact surfaces of the ceiling or wall construction |.

jeweils lediglich ein Dichtungsbereich vorgesehen, welcher |only one sealing area is provided, which |

zwischen der der Raumseite zugewendeten Stirnfläche am Rah- |between the front surface facing the room side on the frame |

men des Schwebstoff-Filters und den Anlage- bzw. Stützflächen des Decken- bzw. Wandhohlraums liegt, wie das auch bei normalen Filterdecken bzw. -wänden üblich ist, bei denen lediglich Schwebstoff-Filter mit Umfassungsrahmen unmittel- i bar in den Decken- bzw. Wandhohlraum eingesetzt werden, also von diesem nicht durch besondere Druckräume abgeteilt sind.the suspended matter filter and the contact or support surfaces of the ceiling or wall cavity, as is usual with normal filter ceilings or walls, where only suspended matter filters with surrounding frames are installed directly in the ceiling or wall cavity, i.e. are not separated from it by special pressure chambers.

Die praktische Erfahrung hat jedoch gezeigt, daß die Filtermodule bekannter Art die an sie gestellten Anforderungen in den meisten Einsatzfällen nur unzureichend erfüllen können.However, practical experience has shown that the filter modules of the known type can only inadequately meet the requirements placed on them in most applications.

Der Neuerung liegt daher die Aufgabe zugrunde, Filtermodule | der anfangs spezifizierten Art für Reinraumdecken und -wände f oder dergleichen zu schaffen, die mit baulich einfachen Mitteln Lecks, welche in der Abdichtung zwischen dem jeweiligen Schwebstoff-Filter und den zugehörigen Anlageflächen von Decken- bzw. Wandhohlraum auftreten, belanglos macht, trotzdem aber einen einfachen Austausch der Schwebstoff-Filter mit ihrem Rahmen gewährleistet. Die Lösung dieser Aufgabe besteht nach dem Kennzeichen des Anspruchs 1 darin, daß der Decken- bzw. Wandhohlrauni dem Druckraum insgesamt vorgelagert ist und über seine Bautiefe den das Schwebstoff-Filter umfassenden Rahmen aufnimmt, daß mindestens zwei Abstand voneinander aufweisende Dichtungsbereiche zwischen dem Rahmen des Sehwebstoff-Filters und dem Druckraum ausgebildet sind, und daß der von diesen Dichtungsbereichen eingegrenzte Abstandsbereich lediglich in den Decken- bzw. Wändhdhliiaüm hinein offen ist.The innovation is therefore based on the task of creating filter modules of the type initially specified for clean room ceilings and walls f or the like, which, with simple construction means, make leaks that occur in the seal between the respective suspended matter filter and the associated contact surfaces of the ceiling or wall cavity irrelevant, but nevertheless ensure that the suspended matter filters and their frames can be easily replaced. The solution to this problem, according to the characterizing part of claim 1, consists in the fact that the ceiling or wall cavity is positioned in front of the pressure chamber as a whole and accommodates the frame surrounding the suspended matter filter via its construction depth, that at least two sealing areas spaced apart from one another are formed between the frame of the suspended matter filter and the pressure chamber, and that the spacing area delimited by these sealing areas is only open into the ceiling or wall cavity.

PATENTANWÄLTE HEMMER ICH·" MÖLLER*-.'GBGSSE '.PÖlLmEIER · MEY ~ 8 PATENT ATTORNEYS HEMMER ICH·"MÖLLER*-.'GBGSSE'.PÖLmEIER · MEY ~ 8

Die gleiche Aufgabe wird bei Filtermodulen, die einen mit einem Anschlußstutzen versehenen Druckkasten aufweisen, der in einen auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum einsetzbar ist, nach dem Kennzeichen des Anspruchs 2 dadurch gelöst, daß mindestens zwei Abstand voneinander aufweisende Dichtungsbereiche zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und dem Druckkasten ausgebildet sind, und daß der von diesen Dichtungsbereichen eingegrenzte Abstandsbereich lediglich in den Decken- bzw. Wandhohlraum hinein offen ist.The same task is solved in filter modules that have a pressure box provided with a connection piece that can be inserted into a ceiling or wall cavity kept under negative pressure, according to the characterizing part of claim 2, in that at least two sealing areas spaced apart from one another are formed between the frame of the suspended matter filter and the pressure box, and that the spacing area delimited by these sealing areas is only open into the ceiling or wall cavity.

Es liegt auf der Hand, daß in beiden Fällen durch die dichtungsmäßige Eingrenzung des mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum korrespondierenden Abstandsbereiches eventuell auftretende Leckluft vom Unterdruck im Decken- bzw. Wandhohlraum schon abtransportiert wird, bevor sie in den eigentlichen Reinraum gelangen kann.It is obvious that in both cases, by sealing the distance area corresponding to the ceiling or wall cavity, any leakage air that may occur is transported away by the negative pressure in the ceiling or wall cavity before it can reach the actual clean room.

Eine neuerungsgemäße Weiterbildungsmaßnahme besteht nach Anspruch 3 darin, daß die beiden Dichtungsbereiche wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend einerseits zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und dem Druckkasten sowie andererseits zwischen einer Anlagefläche des Deckenhohlraums und einem von den Spannelementen erfaßten Andruckrahmen vorgesehen sind, und daß dabei der Andruckrahmen als ein das Schwebstoff-Filter und seinen Rahmen auf der ganzen Höhe aufnehmender Einbaurahmen ausgebildet ist» De».«? gesamte Schwebstoff-Filter einschließlich des dieses tragenden Rahmens wird hier also von dem Einbaurahmen umfaßt und unter dessen Vermittlung mit dem auf Unterdruck gehaltenen Deckenbzw. Wandhohlraum in Strömungsverbindung gehalten.An innovative further development measure according to claim 3 consists in the fact that the two sealing areas are provided at least approximately on the same level, on the one hand between the frame of the suspended matter filter and the pressure box, and on the other hand between a contact surface of the ceiling cavity and a pressure frame gripped by the clamping elements, and that the pressure frame is designed as an installation frame that accommodates the suspended matter filter and its frame over the entire height. The entire suspended matter filter, including the frame that supports it, is therefore enclosed by the installation frame and, through the latter, is kept in flow connection with the ceiling or wall cavity kept at a negative pressure.

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Besonders bewährt hat sich in diesem Falle eine Ausgestaltung nach Anspruch 4, die darin besteht, daß der Rahmen des Schwebstoff-Filters durch eine zusätzliche dritte Dichtung an seiner dem Raum zugewendeten Stirnfläche mit dem Einbaurahmen in Kontaktberührung gehalten ist. Auch der zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und dem ihn aufnehmenden Einbaurahmen gegebenenfalls vorhandene Spaltraum wird auf diese Art und Weise in Strömungsverbindung mit dem Deckenbzw. Wandhohlraum gehalten.In this case, a design according to claim 4 has proven particularly useful, which consists in the frame of the suspended matter filter being held in contact with the installation frame by an additional third seal on its front surface facing the room. The gap that may exist between the frame of the suspended matter filter and the installation frame that accommodates it is also held in flow connection with the ceiling or wall cavity in this way.

Eine andere neuerungsgemäße Ausgestaltungsmöglichkeit für ein Filtermodul besteht nach Anspruch 5 darin, daß die beiden Dichtungsbereiche wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend einerseits dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und andererseits einer Anlagefläche des Decken- bzw. Wandhohl raums zugeordnet sind und daß ein das Schwebstoff-Filter sowie den Decken- bzw. Wandhohlraum unterfassender Dichtrahmen mittel der Spannelemente gleichzeitig gegen beide Dichtungsbereiche anpreßbar ist. Eine solche Ausgestaltung empfiehlt sich besonders dann, wenn nicht nur die Bauhöhe des Druckkastens der Filtermodule, sondern auch deren Schwebstoff-Filter mit Rahmen innerhalb des Deckenhohlrauros untergebracht werden sollen.Another innovative design option for a filter module is, according to claim 5, that the two sealing areas are at least approximately on the same level, on the one hand, assigned to the frame of the suspended matter filter and on the other hand to a contact surface of the ceiling or wall cavity, and that a sealing frame that encloses the suspended matter filter and the ceiling or wall cavity can be pressed against both sealing areas at the same time by means of the clamping elements. Such a design is particularly recommended when not only the construction height of the pressure box of the filter modules, but also their suspended matter filters with frames are to be accommodated within the ceiling cavity.

Auch hierbei ist es nach dem Vorschlag des Anspruchs 6 neuerungsgemäß zu empfehlen, daß der Rahmen des Schwebstoff-Filters durch eine zusätzliche dritte Dichtung mit dem Druckkasten in Berührung gehalten ist, um den erzielbaren Dichtungseffekt unter Vermeidung des Leckluftaustritts in den freien Raum noch weiter zu verbessern.Here too, according to the proposal of claim 6, it is recommended that the frame of the suspended matter filter is kept in contact with the pressure box by an additional third seal in order to further improve the achievable sealing effect while preventing leakage of air into the free space.

In weiterer Ausgestaltung des Neuerungsgedankens ist nach Anspruch 7 vorgesehen,! daß jeder Dichtungsbereich von einem selbständigen Dichtungselement gebildet ist.In a further embodiment of the innovative concept, according to claim 7, each sealing area is formed by an independent sealing element.

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In vielen Fällen erweist es sich aber als besonders vorteilhaft, wenn nach Anspruch 8 beide Dichtungsbereiche an einem gemeinsamen Dichtungselement ausgebildet sind, das vorzugsweise ein Rinnenprofil aufweist, wobei der bei Dichtungsanlage der Dichtungsbereiche freibleibende Raum des Rinnenprofils an den Decken- bzw. Wandhohlraum angeschlossen ist.In many cases, however, it proves to be particularly advantageous if, according to claim 8, both sealing areas are formed on a common sealing element, which preferably has a channel profile, wherein the space of the channel profile remaining free when the sealing areas are sealed is connected to the ceiling or wall cavity.

Eine weitere Ausbildungsmoglichkeit für ein Filtermodul nach der Neuerung besteht gemäß Anspruch 9 darin, daP beide Dichtungsbereiche den voneinander abgewendeten Enden am Rahmen des Schwebstoff-Filters zugeordnet sind, daß der obere &Ogr;&idiagr;&sgr;&eegr;-A further possible design for a filter module according to the innovation is, according to claim 9, that both sealing areas are assigned to the ends facing away from each other on the frame of the suspended matter filter, that the upper Ωδιδι-

&bull;J tungsbereich am Druckkasten und der untere Dichtungsbereich&bull;J sealing area on the pressure box and the lower sealing area

''I an einer Stützfläche des Deckenhohlraums anlegbar, und daß ''I can be placed on a supporting surface of the ceiling cavity, and that

* dabei die Stützfläche des Deckenhohlraums und dar Druckka-* the support surface of the ceiling cavity and the pressure chamber

;i sten durch die Spannelemente gegeneinander und gegen die ; i st through the clamping elements against each other and against the

Dichtungsbereiche verspannbar sind.Sealing areas can be clamped.

Schließlich ist ein Neuerungsmerkmal gemäß Anspruch 10 aberFinally, an innovation feature according to claim 10 is

S auch noch darin zu sehen, daß der Abstandsbereich zwischenS can also be seen in the fact that the distance range between

den Dichtungsbereichen durch in einer Abdeckung zwischenthe sealing areas by a cover between

\ Druckkasten und Decken- bzw. Wandhohlraum vorgesehene \ Pressure box and ceiling or wall cavity provided

&igr; Schlitze, Löcher oder ähnliche Durchbrüche mit dem Decken- &igr; Slots, holes or similar openings with the ceiling

, bzw. Wandhohlraum in ständiger Verbindung steht., or wall cavity is in constant connection.

Im Rahmen der Neuerung liegt nach Anspruch lI aber auch eine Ausbildung für ein Filtermodul, welche dadurch gekennzeichnet ist, daß der Rahmen des Schwebstoff-Filters an seiner vorderen Stirnfläche mit einem seine Außenkontur überragenden Kragen versehen ist, der die Andruckfläche für die beiden wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegenden Dichtungsbereiche bildet, wobei der eine Dichtungsbereich vor der Stirnfläche des Rahmens am Kragen und am DruckkastenHowever, the scope of the innovation also includes, according to claim lI, a design for a filter module, which is characterized in that the frame of the suspended matter filter is provided on its front face with a collar that projects beyond its outer contour, which forms the pressure surface for the two sealing areas that are at least approximately on the same level, with one sealing area in front of the face of the frame on the collar and on the pressure box

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anliegt, Während der anderen Dichtungsbereich zwischen derii den Rahmen überragenden Teil des Kragens und einer Anläge·^ fläche des Deckenhohlraums angeordnet ist.While the other sealing area is arranged between the part of the collar that protrudes beyond the frame and a contact surface of the ceiling cavity.

In diesem Falle ist es nach Anspruch 12 auch noch empfehlenswert, daß de* Kragen an Seinem äußeren Begrenzungsrand eine Versteifung^- bzw. Stabilisierungsabwinkelüng aufweist.In this case, according to claim 12, it is also recommended that the collar has a stiffening or stabilizing bend on its outer edge.

Nach Anspruch 13 kann der Äbstsndäbsrsish swisshes den Dish- |According to claim 13, the Swiss branch can use the dish- |

tungsbereichen durch den Begrenzüngsrand der Abdeckung des |areas through the boundary edge of the cover of the |

Decken- bzw. Wandhohlraums mit diesem in ständiger Verbin^ |Ceiling or wall cavity in constant connection with this^ |

dung stehen. &iacgr;dung. &iacgr;

In der Zeichnung ist der Gegenstand der Neuerung in Ausfüh- h rungsbeispielen dargestellt» Es zeigenIn the drawing, the subject of the innovation is shown in examples of implementation.

Figur 5 in schematisch vereinfachter Darstellung einen tikalschnitt durch einen Teilabschnitt eines FiI-termoduls in abgewandelter Bauart,Figure 5 shows a simplified schematic representation of a vertical section through a section of a filter module in a modified design,

Figur 6 in einer der Fig. 5 entsprechenden Darstellung eine weitere Abwandlungsmöglichkeit für ein Filtermodul undFigure 6 shows a further possible modification for a filter module in a representation corresponding to Figure 5 and

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Figur 1 in geschnittener Seitenansicht einen Ausschnitt aus | einer Reinraumdecke, |Figure 1 shows a sectioned side view of a section of | a cleanroom ceiling, |

Figur 2 eine Ansicht in Pfeilrichtung II der Fig. 1, |Figure 2 is a view in the direction of arrow II of Fig. 1, |

Figur 3 eine Teilansicht in Pfeilrichtung III der Fig. 1,Figure 3 is a partial view in the direction of arrow III of Fig. 1,

Figur 4 in größerem Maßstab und ausführlicher Darstellung den in Fig. 1 mit III gekennzeichenten Ausschnittbereich, i Figure 4 shows on a larger scale and in more detail the section marked III in Fig. 1, i

&igr;*&lgr; &igr;*&lgr;

PATENTANWÄLTE HEMMERIGH · MÜLLER · GRÖSSe^ VeLLMet^R-^MEY^·' *PATENT ATTORNEYS HEMMERIGH · MÜLLER · SIZE^ VeLLMet^R-^MEY^·' *

FigUr 7 wiederum iri schematisch vereinfachter Vertikälschnitt-Darsteilung eine noöh andere AüsgestaltüngsmÖgÜchkeit für ein Filtermodul, währendFigure 7 again shows a schematically simplified vertical section representation another possible design for a filter module, while

FigUE 8 eine gegenüber Fig. 4 abgewandelte Ausgestaltung für ein Filtermodul wiedergibt,FigUE 8 shows a modified design compared to Fig. 4 for a filter module,

Figur S in sinsis des Fig; 1 ähnlichen Ausschnitt eine andere/ besonders vorteilhafte Ausgestaltung für ein Filtermodul undFigure S in sinsis of Fig; 1 similar detail another/ particularly advantageous embodiment for a filter module and

Figur 10 einen Schnitt entlang der Linie X-X in Fig. 9*Figure 10 a section along the line X-X in Fig. 9*

Die Figuren 1 bis 4 der Zeichnung zeigen als Anwendungsbeispiel der Neuerung eine sogenannte Reinraum-Filterdecke/ die in üblicher Weise als Unterkonstfuktion über Hängestäbe 1 oder dergleichen an einer (nicht dargestellten) Gebäudedecke befestigt ist. Die Hängestäbe 1 oder dergleichen greifen dabei an Trägerschienen 2 über Schwingungsisolatoren 3 an, wobei die Trägerschienen 2 bspw. einen Z-förmigen Querschnitt aufweisen können. Dicht an dem oberen waagerechten Profilschenkel der Trägerschienen 2 greifen dabei die Hängestäbe 1 oder dergleichen über ihre Schwingungsisolatoiren 3 an, während der untere waagerechte Schenkel derselben der Befestigung von im wesentlichen ebenen, plattenförmigen Abdeckungen der Decken-Unterkonstruktion dienlich ist.Figures 1 to 4 of the drawing show, as an example of the application of the innovation, a so-called clean room filter ceiling, which is attached in the usual way as a substructure via hanging rods 1 or the like to a building ceiling (not shown). The hanging rods 1 or the like engage with support rails 2 via vibration isolators 3, whereby the support rails 2 can have a Z-shaped cross-section, for example. The hanging rods 1 or the like engage close to the upper horizontal profile leg of the support rails 2 via their vibration isolators 3, while the lower horizontal leg of the same is used to attach essentially flat, plate-shaped covers to the ceiling substructure.

Jede einzelne, plattenartige Abdeckung 4 ist dabei mit einem Ausschnitt 5 versehen, hinter dem ein Druckkästeri 6 sitzt, der mit einem Anschlußstutzen 7 für die Zuleitung 8 der Rohluft versehen ist.Each individual plate-like cover 4 is provided with a cutout 5, behind which a pressure box 6 is located, which is provided with a connection piece 7 for the supply line 8 of the raw air.

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PATENTANWÄLTE HEMMERICH · MÖLLER · GROSSEt* *POL*LM£SßftPATENT ATTORNEYS HEMMERICH · MÖLLER · GROSSEt* *POL*LM£Sßft

Der Druckkasten 6 liegt dabei insgesamt hinter der Ebene der Abdeckung 4, Welche einen Deckenhohlraüin 9 nach Unten begrenzt. The pressure box 6 is located entirely behind the level of the cover 4, which delimits a ceiling cavity 9 at the bottom.

Mach unten schließt sich an den Druckkasten 6 bzw* an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 ein Schwebstoff-Filter 10 an, welches auf seiner ganzen Höhe von einem Rahmen 11 aus starrem, druckdichten Material umfaßt ist.At the bottom, a suspended matter filter 10 is connected to the pressure box 6 or to the cutout 5 of the cover 4, which is surrounded over its entire height by a frame 11 made of rigid, pressure-tight material.

Mit dem Rahmen 11 ist das Schwebstoff-Filter 10 in einem Einbaurahmen 12, bspw. aus relativ dünnem Metallblech aufgenommen, dessen Schenkel einen im wesentlichen Z-förmigen Profilquerschnitt haben, wie das im wesentlichen den Fig. 1 und 4 entnommen werden kann.The suspended matter filter 10 is housed in a frame 11 in a mounting frame 12, for example made of relatively thin sheet metal, the legs of which have a substantially Z-shaped profile cross-section, as can essentially be seen in Figs. 1 and 4.

Auf dem unteren einwärts gerichteten Flansch 12a des Einbaürahmens 12 ruht unter Zwischenschaltung einer relativ flachen, aber breiten Dichtung 13 der Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 mit seiner unteren ebenen Stirnfläche 11a, während dessen obere ebene Stirnfläche 11b einer ebenfalls flachen, aber breiten Dichtung 14 zugeordnet ist, die sich im Anschluß an den Ausschnitt 5 an der Unterseite der Abdeckung 4 befindet.The frame 11 of the suspended matter filter 10 rests with its lower flat front surface 11a on the lower inward-facing flange 12a of the installation frame 12, with a relatively flat but wide seal 13 in between, while its upper flat front surface 11b is assigned to a seal 14 which is also flat but wide and which is located adjacent to the cutout 5 on the underside of the cover 4.

Der obere waagerechte Flansch 12b des Einbaurahmens 12 ist parallel zur Abdeckung 4 nach auswärts gerichtet und wirkt mit einer wiederum relativ dünnen aber flachen Dichtung 15 zusammen, welche auf gleicher Ebene mit der Dichtung 14 liegt, von dieser jedoch rundum einen, solchen Abstand hat, daß zwischen den beiden Dichtungen 14 und 15 ein rahmenartiger Freiraum 16 bestehen bleibt.The upper horizontal flange 12b of the installation frame 12 is directed outwards parallel to the cover 4 and interacts with a relatively thin but flat seal 15, which is on the same level as the seal 14, but is spaced from it all around such that a frame-like free space 16 remains between the two seals 14 and 15.

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Die Dichtungen 13, 14 und 15 können auch andere als die gezeichneten Qüerschnittsformen haben. So können sie bspw* mit Rundquerschnitt vorgesehen Werden; sie können abeE auch eine sich Verjüngende, z.B. trapezaftige Querschnittsgestalt erhalten.The seals 13, 14 and 15 can also have cross-sectional shapes other than those shown. For example, they can be provided with a round cross-section; however, they can also have a tapered, e.g. trapezoidal, cross-sectional shape.

Der untere waagerechte Plansch der Tragschienen 2 und auch die hiervon gehaltene Abdeckung 4 wird von oben nach unten von Gewindebolzen 17 durchsetzt, die auch zugeordnete Löcher Am oberen Plansch 12b des Eiribäurahmens 12 durchgreifen können. Über Flügelmuttern 18, die mit den Gewindebolzen 17 als Spannelemente zusammenwirken, kann der Einbaurahmen 12 in seinem oberen waagerechten Flansch 12b gegen die Dichtung 15 und über diese gegen die Abdeckung 4 abdichtend verspannt werden. Ducch das Anziehen der Spannelemente werden dabei P über den Einbaurahmen 12 zugleich auch die Dichtung 13 zwi-The lower horizontal flange of the support rails 2 and also the cover 4 held by them are penetrated from top to bottom by threaded bolts 17, which can also reach through associated holes on the upper flange 12b of the frame 12. The installation frame 12 can be clamped in its upper horizontal flange 12b against the seal 15 and via this against the cover 4 using wing nuts 18, which work together with the threaded bolts 17 as clamping elements. By tightening the clamping elements, the seal 13 between the installation frame 12 and the frame 12 is also clamped.

* sehen dem unteren waagerechten Flansch 12a und dem Rahmen 11* see the lower horizontal flange 12a and the frame 11

des Schwebstoff-Filters 10 sowie auch die Dichtung 14 zwischen dem Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 und der Abdeckung 4 unter abdichtende Vorspannung gesetzt. Der Freiraum 16 zwischen den beiden Dichtungen 14. und 15 steht mit dem Spaltraum 19 in Verbindung, welcher zwischen der äußeren ümfangsfläche des Rahmens 11 und der Innenfläche des Steges &ngr; 12c am Einbaurahmen 12 eingeschlossen ist.of the suspended matter filter 10 as well as the seal 14 between the frame 11 of the suspended matter filter 10 and the cover 4 are placed under sealing prestress. The free space 16 between the two seals 14 and 15 is connected to the gap 19, which is enclosed between the outer peripheral surface of the frame 11 and the inner surface of the web 12c on the installation frame 12.

Der Deckenhohlraum 9 oberhalb der Abdeckung und um den Druckkasten 6 herum wird ständig unter einem Unterdruck gehalten. Dieser unterdruck wirkt dabei durch in der Äbdekkung 4 vorgesehene Schlitze 20, Löcher oder ähnliche Durchbrüche auf den Freiraum 16 im Abstandsbereich zwischen den beiden Dichtungen 14 und 15 ein. Für den Fall, daß sich im Bereich zwischen der Dichtung 14 , der Stirnfläche 11b des Rahmens 11 und der Abdeckung 4 bzw* dem Druckkasten aus irgendwelchen Gründen Lecks ausbilden sollten, wird dieThe ceiling cavity 9 above the cover and around the pressure box 6 is constantly kept under a negative pressure. This negative pressure acts on the free space 16 in the distance area between the two seals 14 and 15 through slots 20, holes or similar openings provided in the cover 4. In the event that leaks should develop in the area between the seal 14, the front surface 11b of the frame 11 and the cover 4 or the pressure box for any reason, the

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s hierdurch als Leckluft in den Freiraum 16 und den Spaltraum &iacgr;s thereby as leakage air into the free space 16 and the gap space &iacgr;

19 gelangende Rohluft durch die Schlitze 20 oder dergleichen f19 passing through the slots 20 or the like f

in den Deckenhohlraum 9 abgesaugt und kann daher nicht in §into the ceiling cavity 9 and therefore cannot be used in §

den Reinraum gelangen. Nur die durch das Schwebstoff-Filter |enter the clean room. Only the particles that pass through the suspended matter filter |

10 hindurchgegangene Reinluft kann daher mit nach abwärts ? gerichteter Strömung in den Reinraum eintreten.Clean air that has passed through 10 can therefore enter the clean room with a downward flow.

Die in Fig. 5 der Zeichnung dargestellte Bauart eines FiI-termoduls unterscheidet sich von derjenigen nach den Fig. 1 8? bis 4 im wesentlichen dadurch, daß nicht nur der Druckkasten f 6 , sondern auch das diesem vorgelagerte Schwebstoff-Filter | 10 und der dieses enthaltende Rahmen 11 hinter die Ebene der Abdeckungen 4 der Decken-ünterkonstruktion verlegt sind.The design of a filter module shown in Fig. 5 of the drawing differs from that shown in Figs. 18? to 4 essentially in that not only the pressure box f 6 , but also the suspended matter filter | 10 located in front of it and the frame 11 containing it are laid behind the level of the covers 4 of the ceiling substructure.

Es fehlt bei diesem Filtermodul der Einbaurahmen 12 mit den Z-förmig profilierten Schenkeln. Stattdessen wirkt dort mit den Spannelementen, die aus Gewindebolzen 17 und Flügelmut- ■ tern 18 bestehen können, ein im wesentlichen flacher Dicht- 5 rahmen 21 zusammen.This filter module lacks the installation frame 12 with the Z-shaped profiled legs. Instead, an essentially flat sealing frame 21 works together with the clamping elements, which can consist of threaded bolts 17 and wing nuts 18.

Die Dichtung 14 beim Filtermodul nach Fig. 5 hat die gleiche Anordnuns und Ausbildung wie beim Filtermodul nach den Fig. 1 bis 4, d.h. sie ist dort zwischen dem die Öffnungsseice ? des Druckkastens 6 begrenzenden Flanschrahmen 22 und der ihm . zugewendeten, ebenen Stirnfläche 11b des das Schwebstoff-Filter 10 umgebenden Rahmens 11 eingespannt.The seal 14 in the filter module according to Fig. 5 has the same arrangement and design as in the filter module according to Figs. 1 to 4, i.e. it is clamped there between the flange frame 22 delimiting the opening side ? of the pressure box 6 and the flat end face 11b of the frame 11 surrounding the suspended matter filter 10, facing it.

Auch die Dichtung 13 hat dort die gleiche Einbaulage wie im Falle des Ausführungsbeispiels nach Fig. 4, d.h. sie ist der abwärts gerichteten, ebenen Stirnfläche 11a des Rahmens 11 zugeordnet.The seal 13 also has the same installation position as in the case of the embodiment according to Fig. 4, i.e. it is assigned to the downward-facing, flat front surface 11a of the frame 11.

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Die Dichtung 15 liegt nach Fig. 5 jedoch nicht in gleicher Ebene mit der Dichtung 14, sondern vielmehr in gleicher Ebene mit der Dichtung 13 an der Unterseite der Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion an. Beide Dichtungen 13 und 15 wirken hier mit dem Dichtrahmen 21 zusammen, welcher über die Spannelemente 17/18 verspannbar ist und dabei den Freiraum 16 zwischen den beiden Dichtungen 13 und 15 zum Reinraum hin abschließt.However, according to Fig. 5, the seal 15 is not in the same plane as the seal 14, but rather in the same plane as the seal 13 on the underside of the cover 4 of the ceiling substructure. Both seals 13 and 15 work together here with the sealing frame 21, which can be clamped using the clamping elements 17/18 and thereby closes off the free space 16 between the two seals 13 and 15 towards the clean room.

Über Schlitze 20, die zwischen der Begrenzungskante des Ausschnittes 5 in der Abdeckung 4 sowie der äußeren Umfangsfläche des das Schwebstoff-Filter 10 umgebenden Rahmens 11 freibleiben, steht der Freiraum 16 ständig mit dem unter unter Druck gehaltenen Hohlraum 9 in Verbindung.The free space 16 is constantly connected to the cavity 9 kept under pressure via slots 20 which remain free between the boundary edge of the cutout 5 in the cover 4 and the outer peripheral surface of the frame 11 surrounding the suspended matter filter 10.

Eventuell am Dichtungselement 14 aus dem Druckkasten 6 vorbei gelangende Rohluft kann also nicht in den Reinraum eintreten, sondern wird spätestens aus dem Bereich des Freiraumes 16 zwischen den beiden Dichtungselementen 13 und 15 und dem Dichtraum 21 in den Deckenhohlraum 9 abgesaugt.Any untreated air that may pass the sealing element 14 from the pressure box 6 cannot enter the clean room, but is sucked out at the latest from the area of the free space 16 between the two sealing elements 13 and 15 and the sealing space 21 into the ceiling cavity 9.

Eine dem Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 bis 4 ähnliche Bauart eines Filtermoduls ist in Fig. 6 dargestellt.A design of a filter module similar to the embodiment according to Figs. 1 to 4 is shown in Fig. 6.

S Bei diesem Filtermodul wird jedoch zwischen dem Rahmen. 11 des Schwebstoff-Filters 10/ dem Druckkasten 6 und der Ab- j deckung 4 der Decken-Unterkonstruktion nur eine Dichtung eingebaut und mit Hilfe der Spannelemente 17/18 unter Vorspannung gesetzt.S With this filter module, however, only one seal is installed between the frame 11 of the suspended matter filter 10/ the pressure box 6 and the cover 4 of the ceiling substructure and is pre-tensioned using the tensioning elements 17/18.

Die Dichtung 23 hat dabei im wesentlichen einen Rinnenquerschnitt mit zwei parallelen Dichtungsstegen 23a und 23b, von denen der eine am Flanschrahmen 22 des Druckkastens 6 und dec andere nahe dem Ausschnitt 5 an der Abdeckung 4 zurThe seal 23 essentially has a channel cross-section with two parallel sealing webs 23a and 23b, one of which is attached to the flange frame 22 of the pressure box 6 and the other near the cutout 5 on the cover 4 for

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Anlage kommt. Der zwischen den beiden Dichtungsstegen 23a und 23b befindliche Rinnenteil begrenzt dabei den Freiraum 16r welcher durch den Schlitz 20 zwischen dem Flanschranmen 22 des Druckkastens 6 und dem Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 mit dem Deckenhohlraum 9 in ständiger Absaugverbindung steht. Auch hier kann am Dichtungssteg 23a der Dichtung 23 als Leckluft vorbeigelangende Rohluft nicht in den Reinraum gelangen, sondern sie wird vielmehr aus dem Freiraum 16 innerhalb der Dichtung 23 abgeführt.The channel part located between the two sealing webs 23a and 23b delimits the free space 16r which is in constant suction connection with the ceiling cavity 9 through the slot 20 between the flange frame 22 of the pressure box 6 and the cutout 5 of the cover 4. Here too, raw air passing the sealing web 23a of the seal 23 as leakage air cannot get into the clean room, but rather it is discharged from the free space 16 within the seal 23.

Gegenüber dem Filtermodul nach den Fig. 1 bis 4 ergibt sich beim Filtermodul nach Fig. 6 nicht nur dadurch eine bauliche Vereinfachung, weil anstelle dreier Dichtungen nur eine, nämlich eine Rinnenprofil-Dichtung 23 benutzt wird. Vielmehr kann hier auch der Einbaurahmen 12 eingespart werden, weil die Spannelemente 17/18, die bspw. jeweils aus einem Gewindebolzen 17 und einer Flügelmutter 18 bestehen, mit einem einfachen flachen Spannrahmen 24 zusammenwirken können, der am Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 angreift.Compared to the filter module according to Fig. 1 to 4, the filter module according to Fig. 6 is not only structurally simpler because only one seal, namely a channel profile seal 23, is used instead of three. Rather, the installation frame 12 can also be dispensed with here because the clamping elements 17/18, which each consist of a threaded bolt 17 and a wing nut 18, for example, can work together with a simple flat clamping frame 24 that engages the frame 11 of the suspended matter filter 10.

Eine dem Filtermodul nach Fig. 5 ähnliche Bauart für ein Filtermodul ist wiederum in Fig. 7 der Zeichnung gezeigt. Auch hier ist außer dem Druckkasten 6 zusätzlich das Schwebstoff-Filter 10 mit seinem Rahmen 11 hinter die Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion, zurückverlegt eingebaut.A design for a filter module similar to the filter module in Fig. 5 is again shown in Fig. 7 of the drawing. Here too, in addition to the pressure box 6, the suspended matter filter 10 with its frame 11 is installed behind the cover 4 of the ceiling substructure, relocated.

Unterschiedlich bei dem Filtermodul nach Fig. 7 ist jedoch gegenüber der Bauart nach Fig. 6, daß nur die beiden Dichtungen 13 und 14 vorgesehen sind, während die dritte Dichtung 15 sowie der Dichtrahmen 21 wegfällt.However, the filter module according to Fig. 7 differs from the design according to Fig. 6 in that only the two seals 13 and 14 are provided, while the third seal 15 and the sealing frame 21 are omitted.

Über die Spannelemente 17/18, welche auch hier aus Gewindebolzen und Flügelmuttern bestehen können, wird der Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 mittels der beiden Dichtungen 13The frame 11 of the suspended matter filter 10 is secured by means of the two seals 13 via the clamping elements 17/18, which here can also consist of threaded bolts and wing nuts.

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und 14 unmittelbar zwischen der Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion sowie dem Flanschrahmen 22 des Druckkastens 6 festgespannt.and 14 are clamped directly between the cover 4 of the ceiling substructure and the flange frame 22 of the pressure box 6.

Insbesondere die an der Dichtung 14 möglicherweise als Leckluft vorbeitretende Rohluft gelangt hier unmittelbar in den auf einem Unterdruck gehaltenen Deckenhohlraum 9, kann also nicht in den Reinraum eindringen.In particular, the raw air that may possibly leak past the seal 14 enters directly into the ceiling cavity 9, which is kept at a negative pressure, and therefore cannot penetrate into the clean room.

Die Fig. 8 zeigt eine gegenüber Fig. 4 abgewandei.ee- bauliett wesentlich vereinfachte Ausgestaltung für Filtermodule die in Reinraum-Filterdecken Verwendung finden.Fig. 8 shows a modified and significantly simplified design compared to Fig. 4 for filter modules used in clean room filter ceilings.

Hinter der plattenförmigen Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion liegt auch hier ein Druckkasten 6, der «nit seiner Öffnung an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 anschließt. Umgeben ist der Druckkasten 6 unterhalb der Abdeckung 4 vom Deckenhohlraum 9.Behind the plate-shaped cover 4 of the ceiling substructure, there is also a pressure box 6, which connects with its opening to the cutout 5 of the cover 4. The pressure box 6 is surrounded by the ceiling cavity 9 below the cover 4.

An den Druckkasten 6 bzw. an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 schließt sich das Schwebstoff-Filter 10 an, welches vom Rahmen 11 aus starrem, druckdichten Material umfaßt ist.The pressure box 6 or the cutout 5 of the cover 4 is connected to the suspended matter filter 10, which is surrounded by the frame 11 made of rigid, pressure-tight material.

Die obere Stirnfläche 11b des Rahmens 11 trägt einen Kragen 25, der bspw. aus Blech besteht und mindestens an seinem äußeren Begrenzungsrand eine Versteifungs- bzw. Stabilisierungsabv/inkelung 26 aufweist. Der Kragen 25 ist an der Stirnfläche lib des Rahmens 11 befestigt, bspw. festgeschraubt. Seine Profilbreite ist dabei größer bemefesen als die Wanddicke des Rahmens 11, dergestalt, daß et die Außfinkontur des Rahmens 11 um ein beträchtliches Maß überragt, wie das deutlich der Fig. 8 entnommen werden kann«The upper front surface 11b of the frame 11 carries a collar 25, which is made of sheet metal, for example, and has a stiffening or stabilizing bend 26 at least on its outer boundary edge. The collar 25 is attached to the front surface 11b of the frame 11, for example screwed. Its profile width is larger than the wall thickness of the frame 11, such that it projects beyond the outer contour of the frame 11 by a considerable amount, as can be clearly seen from Fig. 8.

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Die Häuptebene des Kragens 25 erstreckt sich parallel zur plattenförmigen Abdeckung 4 der Decken-Unterkönstruktion. Ef bildet die Ändrückflache für zwei Dichtungen 14 Und 15, welche etwa auf gleicher Ebene liegen und dabei rundum einen solchen Abstand voneinander haben, daß sie zwischen sich einen rahmenartigen Freiraüfti 16 begrenzen.The main plane of the collar 25 extends parallel to the plate-shaped cover 4 of the ceiling substructure. Ef forms the pressure surface for two seals 14 and 15, which are approximately on the same plane and are spaced apart from each other all around such that they define a frame-like clearance 16 between them.

Die Dichtung 14 liegt dabei am Kragen 25 im Bereich vor der Stirnfläche 11b des Rahmens 11^ während die Dichtung 15 auf dem die Außenkontur des Rahmens 11 überragenden Abschnitt des Kragens 25 zu liegen kommt.The seal 14 lies on the collar 25 in the area in front of the front surface 11b of the frame 11^, while the seal 15 lies on the section of the collar 25 that projects beyond the outer contour of the frame 11.

Mit Hilfe des Kragens 25 werden die Dichtungen 14 und 15 \ With the help of the collar 25, the seals 14 and 15 \

gegen die Abdeckung 4 der Decken-Unterkönstruktion abdich- Iagainst the cover 4 of the ceiling substructure I

tend verspannt. Hierbei können als Spannelemente Gewindebol- jtend to be clamped. Threaded bolts can be used as clamping elements j

zen 17 und Flügelmuttern 18 Verwendung finden, wie sie in tzen 17 and wing nuts 18 are used, as shown in t

Fig. 4 dargestellt sind. Diese Spannelemente können dabei I Fig. 4. These clamping elements can be I

entweder unmittelbar zwischen dem Kragen 2 5 des Rahmens 11 ) either directly between the collar 2 5 of the frame 11 )

und der Decken-Unterkönstruktion wirksam gemacht werden, in ) and the ceiling substructure are made effective in )

t ähnlicher Weise, wie das Fig. 4 zeigt. Sie können aber auch | eine Anordnung und Ausbildung erhalten, wie das bspw. aus | t in a similar way, as shown in Fig. 4. However, they can also be arranged and designed as shown, for example, in |

Yt Fig. 6 der Zeichnung ersichtlich ist. &iacgr; Yt Fig. 6 of the drawing can be seen. &iacgr;

Wesentlich ist in jedem Falle, daß der rahmenartige Frei-raum 16 zwischen den Dichtungen 14 und 15 und dem Kragen 25 durch in der Abdeckung 4 vorgesehene Schlitze 20, Löcher oder ähnliche Durchbrüche mit dem Deckenhohlraum 9 oberhalb der Abdeckung 4 in Verbindung steht, welcher ständig unter einem Unterdruck gehalten ist.In any case, it is essential that the frame-like free space 16 between the seals 14 and 15 and the collar 25 is connected to the ceiling cavity 9 above the cover 4 through slots 20, holes or similar openings provided in the cover 4, which is constantly kept under negative pressure.

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Die Bauart des Filtefmoduls nach Pig. 8 ist gegenüber demjenigen nach Fig. 4 beträchtlich vereinfacht* weil demgegenüber nicht nur der Einbaurahmen 12, sondern auch die zwischen diesem und d&r unteren Stirnfläche 11a des Rahmens 11 vorgesehen Dichtung 13 eingespart werden kann.The design of the filter module according to Fig. 8 is considerably simplified compared to that according to Fig. 4* because not only the mounting frame 12 but also the seal 13 provided between it and the lower end face 11a of the frame 11 can be dispensed with.

Bei der Reinraum-Filterdecke nach den Fig. 8 und 9 ist unmittelbar unterhalb der Gebäudedecke der Druckraum 6 vorgesehen, d.h., es ist hier kein besonderer Druckkastsn vorgesehen. Diesem Druckraum 6 ist der Decken- bzw. Wandhohlraum 9 insgesamt vorgelagert, wie das deutlich der Fig. 9 entnommen werden kann.In the clean room filter ceiling according to Fig. 8 and 9, the pressure chamber 6 is provided directly below the building ceiling, i.e. no special pressure box is provided here. The ceiling or wall cavity 9 is located in front of this pressure chamber 6, as can be clearly seen in Fig. 9.

Wichtig bei dieser Ausgestaltung eines Filtermoduls ist dabei, daß der Decken- bzw. Wandhohlraum 9 über seine Bautiefe den das Schwebstoff-Filter 10 umfassenden Rahmen 11 aufnimmt.What is important in this design of a filter module is that the ceiling or wall cavity 9 accommodates the frame 11 containing the suspended matter filter 10 over its construction depth.

Innerhalb des von einem Unterdruck beaufschlagten Deckenhohlraums 9 ist der Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 mittels des Dichtrahmens 21 über die Spannelemente 17/18 austauschbar gehalten, wobei die die äußere Begrenzung des Decken- bzw. Wandhohlraums 9 bildende Abdeckung 4 einen parallel zur äußeren Begrenzungsfläche des Rahmens 11 abgewinkelten Begrenzungsrand 27 hat, die in den Decken- bzw. Wandhohlraum hineinragt.Within the ceiling cavity 9, which is subjected to a negative pressure, the frame 11 of the suspended matter filter 10 is held in an exchangeable manner by means of the sealing frame 21 via the clamping elements 17/18, whereby the cover 4 forming the outer boundary of the ceiling or wall cavity 9 has a boundary edge 27 which is angled parallel to the outer boundary surface of the frame 11 and which protrudes into the ceiling or wall cavity.

Der Druckraum 6 ist gegen dan Decken- bzw. Wandhohlraum 9 durch eine Abdeckung 28 druckdicht abgegrenzt* welche ebenfalls einen abgewinkelten Begrenzungsrand 29 hat, der in den Druckraum 6 hineinragt.The pressure chamber 6 is pressure-tightly separated from the ceiling or wall cavity 9 by a cover 28* which also has an angled boundary edge 29 that protrudes into the pressure chamber 6.

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Die Abdeckung 28 für den Druckraum 6 ist so bemessen, daß ihr Segrenzungsrand 29 bei in den Decken- bzw. Wandhohlraum 9 eingesetztem Schwebstoff-Filter 10 den Rahmen 11 desselben &bull;twa um dessen Wanddicke übergreift, so daß der Begrenzungsrand 23 etwa auf gleicher Ebene mit der Innenfläche des Rahmens 11 zu liegen kommt, wie das die Fig. 9 deutlich erkennen läßt.The cover 28 for the pressure chamber 6 is dimensioned such that when the suspended matter filter 10 is inserted into the ceiling or wall cavity 9, its boundary edge 29 overlaps the frame 11 of the same by approximately the thickness of its wall, so that the boundary edge 23 comes to lie approximately on the same level as the inner surface of the frame 11, as can be clearly seen in Fig. 9.

Die Anordnung der drei Dichtungen 13, 14 und 15 relativ zum Schwebstöff-Filter 10 bzw. zu dessen Rahmen 11 sowie zum Druckraum 6 und zum Decken- bzw. Wandhohlraum 9 entspricht im wesentlichen der Anordnung, wie sie bereits vorstehend in Verbindung mit Fig. 5 der Zeichnung erläutert worden ist.The arrangement of the three seals 13, 14 and 15 relative to the suspended matter filter 10 or to its frame 11 as well as to the pressure chamber 6 and to the ceiling or wall cavity 9 essentially corresponds to the arrangement as already explained above in connection with Fig. 5 of the drawing.

Die Dichtung 13 liegt zwischen der unteren, ebenen Stirnfläche 11a des das Schwebstoff-Filter 10 enthaltenden Rahmens 11 und dem Dichtrahmen 21. Die Dichtung 14 ist zwischen der oberen, ebenen Stirnfläche 11b des Rahmens 11 und der Abdeckung 28 des Druckraums 6 vorgesehen. Die Dichtung 15 befindet sich schließlich zwischen der Abdeckung 4 des Dek- \^ bzw. Wandhohlraums 9 und dem Dichtrahmen 21.The seal 13 is located between the lower, flat face 11a of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 and the sealing frame 21. The seal 14 is provided between the upper, flat face 11b of the frame 11 and the cover 28 of the pressure chamber 6. Finally, the seal 15 is located between the cover 4 of the ceiling or wall cavity 9 and the sealing frame 21.

Der von den beiden Dichtungen 13 und 15 und dem Dichtrahmen 21 eingegrenzte Freiraum 16 steht durch den Abstandsspalt zwischen dem abgewinkelten Begrenzungsrand 27 der Abdeckung 4 und der äußeren Begrenzungsfläche des das Schwebstoff-Filter 10 enthaltenden Rahmens 11 ständig mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum. 9 in Verbindung. In den Freiraum 16 gelangende Leckluft wird daher sicher in den Decken- bzw. Wandhohlraum 9 abgezogen. Auch Leckluft, die an der oberen Dichtung 14 vorbeigeht, wird in diesem Decken-bzw. Wandhohlraum 9 abgesaugt, kann also nicht airr Schwebstoff-Filter 10 vorbei in den Reinraum gelangen.The free space 16 delimited by the two seals 13 and 15 and the sealing frame 21 is constantly connected to the ceiling or wall cavity 9 through the gap between the angled boundary edge 27 of the cover 4 and the outer boundary surface of the frame 11 containing the suspended matter filter 10. Leakage air that enters the free space 16 is therefore safely drawn off into the ceiling or wall cavity 9. Leakage air that passes the upper seal 14 is also drawn off in this ceiling or wall cavity 9, and therefore cannot get past the suspended matter filter 10 into the clean room.

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ZU erwähnen ist noch, daß die Dichtungen 13, 14 'and 15 eine eich über einen Teil ihrer Dicke trapezartig verjüngende Querschnittsgestalt haben. Die Dichtungen 13 und 14 liegen dabei jeweils mit ihrer breiten Basisfläche an den ebenen Stirnflächen 11a und 11b des Rahmens 11 an, während ihre schmalere Kopffläche mit dem Dichttahmen 21 bzw. der Abdekkung 28 in Kontaktberührung steht.It should also be mentioned that the seals 13, 14 and 15 have a cross-sectional shape that tapers trapezoidally over part of their thickness. The seals 13 and 14 each rest with their broad base surface on the flat end faces 11a and 11b of the frame 11, while their narrower head surface is in contact with the sealing frame 21 or the cover 28.

Öle Dichtung 15 ruht andererseits mit ihrer breiten Basisfläche auf dem Dichtrahmen 21, während ihre schmalere Köpffläche an der Abdeckung 4 zur Anlage gebrachtOil seal 15, on the other hand, rests with its broad base surface on the sealing frame 21, while its narrower head surface is brought into contact with the cover 4.

Mit Hilfe der Spannelemente 17/18 werden alle drei Dichtungen 13, 14 und 15 gemeinsam unter Dichtungsvorspannung gesetzt und damit das Schwebstcff-Filtef 10 über seinen Rahmen Il innerhalb der Bautiefe des Decken- bzw. WäridhöhlraUms 9 austauschbar festgelegt.With the help of the tensioning elements 17/18, all three seals 13, 14 and 15 are jointly pre-stressed and the floating filter 10 is thus interchangeably fixed via its frame II within the construction depth of the ceiling or thermal cavity 9.

Claims (13)

1. Filtermodul für Reinraumdecken und -wände oder dergleichen, das von (»inern Druckraum und einem auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum gebildet ist und ein Schwebstoff-Filter enthält, das mittels eines dieses umfassenden Rahmens über daran angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Kandhohlraum austauschbar gegen den Druckraum festlegbar1. Filter module for clean room ceilings and walls or the like, which is formed by a pressure chamber and a ceiling or wall cavity maintained at negative pressure and contains a suspended matter filter which can be fixed to the pressure chamber by means of a frame surrounding it via clamping elements engaging thereon and associated sealing elements to the ceiling or wall cavity in an exchangeable manner ist,is, dadurch gekennzeichnet»characterized" daß der Decken-- bzw. Wandhohlraum (9) dem Druckraum (6) insgesamt vorgelagert ist und über seine Bautiefe den das Schwebstoff-Filter (10) umfassenden Rahmen (11) aufnimmt, daß mindestens zwei Abstand voneinander aufweisende Dichtungsbereiche (14, 15; 13, 15; 23a, 23b; 13, 14) zwischen dem Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) und dem Druckraum (6) aasgebildet sind,that the ceiling or wall cavity (9) is positioned in front of the pressure chamber (6) and accommodates the frame (11) surrounding the suspended matter filter (10) over its construction depth, that at least two sealing areas (14, 15; 13, 15; 23a, 23b; 13, 14) spaced apart from one another are formed between the frame (11) of the suspended matter filter (10) and the pressure chamber (6), und daß der von diesen Dichtungsbereichen eingegrenzte Abstandsbereich (16) lediglich in den Decken- bzw, Wandhohlraum (9) hinein offen ist (20).and that the spacing area (16) delimited by these sealing areas is only open (20) into the ceiling or wall cavity (9). 2. Filtermodul für Reinraumdecken und -wände oder dergleichen, bestehend aus einem mit einem Anschlußstutzen versehenen Druckkasten, der in einen auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum einsetzbar ist, und aus einem Schwebstoff-Filter/ das mittels eines es Umfassen-2. Filter module for clean room ceilings and walls or the like, consisting of a pressure box provided with a connection piece, which can be inserted into a ceiling or wall cavity kept at negative pressure, and of a suspended matter filter/ which is connected to the air by means of a PATENTANWÄLTE HEMMERICWPATENT ATTORNEYS HEMMERICW MEYMEY den Rahmens über an diesem angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wandhohlraum austauschbar gegen den Druckkasten festlegbar ist,the frame can be fixed to the pressure box using clamping elements that engage with it and associated sealing elements for the ceiling or wall cavity, dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens zwei Abstand voneinander aufweisende Dichtungsbereiche (14p, 15; 13, 15; 23a, 23b; 13, 14) zwischen dem Rahmen (11) des Schwebstoff-Pilters (10) und dem Druckkasten (6) ausgebildet sind,
characterized,
that at least two spaced-apart sealing areas (14p, 15; 13, 15; 23a, 23b; 13, 14) are formed between the frame (11) of the suspended matter filter (10) and the pressure box (6),
und daß der von diesen Dichtungsbereichen eingegrenzte Abstandsbereich (16) lediglich in den Decken- bzw. Wandhohlraum (9) hinein offen ist (20).and that the distance area (16) delimited by these sealing areas is only open (20) into the ceiling or wall cavity (9).
3. Filtermodul nach Anspruch 2,3. Filter module according to claim 2, dadurch gekennzeichnet,characterized, daß die beiden Dichtungsbereiche (14, 15) wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend einerseits zwischen dem Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) und dem Druckkasten (6) sowie andererseits zwischen einer Anlagefläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) und einem von den Spannelementen (17/18) erfaßbaren Andruckrahmen (12) vorgesehen sind,that the two sealing areas (14, 15) are provided at least approximately on the same level, on the one hand between the frame (11) of the suspended matter filter (10) and the pressure box (6) and on the other hand between a contact surface (4) of the ceiling or wall cavity (9) and a pressure frame (12) that can be gripped by the clamping elements (17/18), und daß dabei der Andruckrahmen (12) als ein das Schwabstoff-Filter (10) und seinen Rahmen (11) auf der ganzen Höhe aufnehmender Einbaurahmen ausgebildet ist (Fig. 1 bis 4) .and that the pressure frame (12) is designed as a mounting frame that accommodates the sponge filter (10) and its frame (11) over the entire height (Fig. 1 to 4). 4. Filtermodul nach Anspruch 3,4. Filter module according to claim 3, dadurch gekennzeichnet,characterized, daß der Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) durch eine zusätzliche, dritte Dichtung (13) an aeiner dom Reinraum zugewendeten Stirnfläche (lla) mit dem Einbaurahmen (12) in Kontaktberührung gehalten ist (12a; Fig. 1 bis 4).that the frame (11) of the suspended matter filter (10) is held in contact with the installation frame (12) by an additional, third seal (13) on an end face (11a) facing the clean room (12a; Fig. 1 to 4). till it till it 44** · * 4444 4·44** · * 4444 4· ItI » # 4 4 « VItI » # 4 4 « V lit 4 &Phi; P- lit 4 Φ P- 44·44· f I · 4 · &iacgr; 4 >··f I · 4 · &iacgr; 4 >·· J ** ·· .4H .tllllcJ ** ·· .4H .tllllc ti*»ti*» «till f «till f II PATENTANWÄLTE HEMMERlCH-^MUllER^kOQSSE '-.SOLUv)EI ER - unw PATENT ATTORNEYS HEMMERlCH-^MUllER^kOQSSE '-.SOLUv)EI ER - and Filtefmödul nach Anspruch 1 oder Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet
daß die beiden Dichtungsbereiche (13, 15) wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend/ einerseits deffl Rahmen (11) des Schwebstöff-^Filters (10) und andererseits einer Anlagefläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) zugeordnet sind,
Filter module according to claim 1 or claim 2,
characterized
that the two sealing areas (13, 15) are at least approximately on the same level and are assigned on the one hand to the frame (11) of the suspended matter filter (10) and on the other hand to a contact surface (4) of the ceiling or wall cavity (9),
und daß ein das Schwebstoff-Filter (10) sowie den Becken- bzw. Wandhohlraum (9) unterfassender Dichträhmen (21) mittels der Spannelemente (17/18) gleichzeitig gegen beide Dichtungsbereiche (13, 15) anpreßbar ist (Fig. and that a sealing frame (21) which encloses the suspended matter filter (10) and the basin or wall cavity (9) can be pressed against both sealing areas (13, 15) simultaneously by means of the clamping elements (17/18) (Fig.
5 und 9)*5 and 9)* 6. Filtermodul nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
6. Filter module according to claim 5,
characterized,
daß der Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) durch eine zusätzliche - dritte - Dichtung (14) mit dem Druckraum bzw. Druckkästen (6) in Kontaktberührung gehalten ist (Fig. 5 und 9).that the frame (11) of the suspended matter filter (10) is held in contact with the pressure chamber or pressure boxes (6) by an additional - third - seal (14) (Fig. 5 and 9).
7. Filtermodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
7. Filter module according to one of claims 1 to 6,
characterized,
daß jeder Dichtungsbereich (13, 14, 15) von einem selbständigen Dichtungselement gebildet ist (Fig. 4, 5, 7, 8 und 9).that each sealing area (13, 14, 15) is formed by an independent sealing element (Fig. 4, 5, 7, 8 and 9).
8. Filtermodul nach einem der Ansprüche 2, 3 und 5,
dadurch gekennzeichnete
8. Filter module according to one of claims 2, 3 and 5,
characterized by
daß beide Dichtungsbereiche (23a, 23b) an einem gemeinsamen Dichtungselement (23) ausgebildet sind, das vorzugsweise ein Rinnenprofil aufweist (Fig. 6).that both sealing areas (23a, 23b) are formed on a common sealing element (23), which preferably has a groove profile (Fig. 6). · · "44· · "44 PATENTANWÄLTE HEMMERICH'^'MÖLLER* "GRCESE f«PÖLtMElER · MEVPATENT ATTORNEYS HEMMERICH'^'MÖLLER* "GRCESE f «PÖLtMElER · MEV
9. Filtermodul nach Anspruch 1 oder Artspruch 2, 9. Filter module according to claim 1 or claim 2, dadurch gekennzeichnet, jj characterized by, jj daß beide DichfeUngselemente (13, 14) den voneinander abgewendeten Einden (Ha und lib) am Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) zugeordnet sind,
daß der öbefe Dichtungsbereich (14) am Druckraüm bzw. Druckkasten (6) und der untere Dichtungsbereich (13) an einer Stützfläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) anlegbar ist, und daß dabei die Stützfläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) und der Druckräum bzw. Druckkasten (6) durch die Spannelemente (17/18) gegeneinander und gegen die Dichtungsbereiche (13, 14) verspannbar sind.
that both sealing elements (13, 14) are assigned to the opposite ends (Ha and lib) on the frame (11) of the suspended matter filter (10),
that the upper sealing area (14) can be placed on the pressure chamber or pressure box (6) and the lower sealing area (13) on a support surface (4) of the ceiling or wall cavity (9), and that the support surface (4) of the ceiling or wall cavity (9) and the pressure chamber or pressure box (6) can be clamped against each other and against the sealing areas (13, 14) by the clamping elements (17/18).
10. Filtermodul nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
10. Filter module according to claim 2,
characterized,
daß der Abstandsbereich (16) zwischen den Dichtungsbereichen (14/ 15 bzw. 13, 15 bzw. 23a, 23b) durch in einer Abdeckung (4) zwischen Druckkasten (6) und Decken- bzw. Wandhohlraum (9) vorgesehene Schlitze (20), Löcher oder ähnliche Durchbrüche mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum (9) in ständiger Verbindung steht.that the spacing area (16) between the sealing areas (14/15 or 13, 15 or 23a, 23b) is in constant communication with the ceiling or wall cavity (9) through slots (20), holes or similar openings provided in a cover (4) between the pressure box (6) and the ceiling or wall cavity (9).
11. Filtermodul nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
11. Filter module according to claim 2,
characterized,
daß der Rahmen (11) des Schwebstoffilters (10) an seiner oberen Stirnfläche (Hb) mit einem seine Außenkontur überragenden Kragen (25) versehen ist, der die Andruckfläche für die beiden wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegenden Dichtungsbereiche (14, 15) bildet, wobei der eine Dichtüngsbereich (14) vor der Stirnfläche (Hb) des Rahmens (11) am Kragen (25) und am Druckkasten (6)that the frame (11) of the suspended matter filter (10) is provided on its upper end face (Hb) with a collar (25) projecting beyond its outer contour, which forms the pressure surface for the two sealing areas (14, 15) lying at least approximately on the same plane, whereby one sealing area (14) in front of the end face (Hb) of the frame (11) is on the collar (25) and on the pressure box (6) PATENTANWÄLTE HEMMER ICH*PATENT ATTORNEYS HEMMER I* Il Uli Il I < <·Il Uli Il I < <· &bull;Möller -.oro£se -',ROLtMEiEn · mey&bull;Möller -.oro£se -',ROLtMEiEn · mey anliegt/ Während der andere Dichtungsbereich (15) zwifchen dem den Rahmen (11) überragenden Teilabschnitt dös Kragens (25) und einer Anlagefläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlräüms (9) angeordnet ist.While the other sealing area (15) is arranged between the section of the collar (25) projecting beyond the frame (11) and a contact surface (4) of the ceiling or wall cavity (9).
12. Filtermodul nach den Ansprüchen 2 Und 11,
dadurch gekennzeichnet.
12. Filter module according to claims 2 and 11,
characterized.
daß der Kragen (25) an seinem äußeren Begrenzungsränd eine Versteifungs&mdash; dzw. staDxxxöx«tunyoat/wxiirwc:xuiiy \»>w/ aufweist.that the collar (25) has a stiffening or reinforcement strip on its outer boundary edge.
13. Fiitefmodui nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
13. Fiitefmodului according to claim 1,
characterized,
daß der Abstandsbereich (16) zwischen den Dichtungsberei^· chen (14, 15) durch den Begrenzungsrand (27) der Abdekkung (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) mit diesem in ständiger Verbindung steht.that the spacing area (16) between the sealing areas (14, 15) is in constant connection with the ceiling or wall cavity (9) through the boundary edge (27) of the cover (4).
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE9208787U1 (en) * 1992-07-01 1992-10-22 Fa. Rud. Otto Meyer, 2000 Hamburg Kit for converting an OR perforated ceiling into an OR laminar ceiling

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE9208787U1 (en) * 1992-07-01 1992-10-22 Fa. Rud. Otto Meyer, 2000 Hamburg Kit for converting an OR perforated ceiling into an OR laminar ceiling

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