EP0291783A2 - Filter module for clean room ceilings, walls and the like - Google Patents

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EP0291783A2
EP0291783A2 EP88107293A EP88107293A EP0291783A2 EP 0291783 A2 EP0291783 A2 EP 0291783A2 EP 88107293 A EP88107293 A EP 88107293A EP 88107293 A EP88107293 A EP 88107293A EP 0291783 A2 EP0291783 A2 EP 0291783A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
frame
ceiling
filter module
sealing
filter
Prior art date
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Application number
EP88107293A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP0291783A3 (en
EP0291783B1 (en
Inventor
Klaus Dr.-Ing. Fitzner
Uwe Dr.Rer.Nat. Plitt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heinrich Nickel GmbH
Original Assignee
Heinrich Nickel GmbH
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Publication date
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Application filed by Heinrich Nickel GmbH filed Critical Heinrich Nickel GmbH
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Publication of EP0291783A2 publication Critical patent/EP0291783A2/en
Publication of EP0291783A3 publication Critical patent/EP0291783A3/en
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    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/02—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation having means for ventilation or vapour discharge
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28—Arrangement or mounting of filters

Definitions

  • the innovation relates to a filter module for clean room ceilings and walls or the like, which is formed by a pressure chamber and a ceiling or wall cavity kept under negative pressure and contains a suspended matter filter, which by means of a comprehensive frame via clamping elements acting thereon and associated sealing elements for Ceiling or wall cavity is interchangeable against the pressure space.
  • the innovation also deals with filter modules in which the pressure chamber consists of a pressure box provided with a connection piece, which can be inserted into the ceiling or wall cavity, which is kept under vacuum, the suspended matter filter using the extensive frame engaging with it Clamping elements and associated sealing elements for the ceiling or wall cavity can be fixed interchangeably against the pressure box.
  • Filter modules of this type are used to neutralize the risk of leakage in suspended matter filter ceilings or walls. They are designed and installed so that the direction of flow is reversed by a leak by maintaining a negative pressure in the ceiling or wall cavity that the occurrence of such leaks is irrelevant because the leakage air flows away from the clean room into the ceiling or wall cavity.
  • the innovation is therefore based on the task of creating filter modules of the initially specified type for clean room ceilings and walls or the like, which leak with structurally simple means, which in the seal between the respective suspended matter filter and the associated contact surfaces of the ceiling or wall cavity occur, irrelevant, but nevertheless ensures a simple exchange of the suspended matter filter with its frame, while at the same time a low-turbulence piston flow preventing the floating of suspended matter is to be secured as well as damage to the filter modules is indicated.
  • the ceiling or wall cavity is in front of the pressure space as a whole and accommodates the frame comprising the suspended matter filter via its structural depth, that at least two spaced sealing areas between the frame of the suspended matter -Filters and the pressure chamber are formed, and that the distance region delimited by these sealing areas is only open into the ceiling or wall cavity.
  • filter modules which have a pressure box provided with a connecting piece, which can be inserted into a ceiling or wall cavity kept under negative pressure, according to the characterizing part of claim 2, in that at least two spaced sealing areas between the frame of the HEPA filter and the pressure box are formed, and that the spacing area delimited by these sealing areas is only open into the ceiling or wall cavity.
  • a further development measure according to the invention consists in that the two sealing areas, at least approximately on the same level, are provided on the one hand between the frame of the suspended matter filter and the pressure box and on the other hand between a contact surface of the ceiling cavity and a pressure frame captured by the tensioning elements, and that the pressure frame as a mounting frame is formed which accommodates the suspended matter filter and its frame over the entire height.
  • the entire suspended matter filter, including the frame that supports it, is here encompassed by the mounting frame and, through its mediation, is kept in flow connection with the ceiling or wall cavity, which is kept under vacuum.
  • an embodiment according to claim 4 which consists in the fact that the frame of the suspended matter filter is held in contact with the mounting frame by an additional third seal on its end face facing the room, has proven particularly useful.
  • the gap space possibly present between the frame of the suspended matter filter and the mounting frame receiving it is also in this way in flow connection with the ceiling or Wall cavity kept.
  • Another design option for a filter module according to the invention consists in that the two sealing areas, at least approximately on the same level, are assigned on the one hand to the frame of the suspended matter filter and on the other hand to a contact surface of the ceiling or wall cavity and that the suspended matter filter and the ceiling or wall cavity enclosing sealing frame can be pressed simultaneously against both sealing areas by means of the clamping elements.
  • Such a configuration is particularly recommended if not only the overall height of the pressure box of the filter modules, but also their suspended matter filters with frames are to be accommodated within the ceiling cavity.
  • the frame of the suspended matter filter has an additional third seal with the Pressure box is kept in contact in order to further improve the achievable sealing effect while avoiding leakage of air into the free space.
  • each sealing area is formed by an independent sealing element.
  • both sealing areas are formed on a common sealing element, which preferably has a channel profile, the space of the channel profile remaining free in the sealing system of the sealing areas being connected to the ceiling or wall cavity.
  • Another training option for a filter module according to the innovation consists in that both sealing areas are assigned to the mutually facing ends of the frame of the suspended matter filter, that the upper sealing area can be placed on the pressure box and the lower sealing area can be placed on a supporting surface of the ceiling cavity, and that the support surface of the ceiling cavity and the pressure box can be clamped against each other and against the sealing areas by the clamping elements.
  • an innovation feature according to claim 10 is also to be seen in the fact that the spacing area between the sealing areas is in constant communication with the ceiling or wall cavity through slots, holes or similar openings provided in a cover between the pressure box and the ceiling or wall cavity .
  • a filter module which is characterized in that the frame of the suspended matter filter is provided on its front end face with a collar which projects beyond its outer contour and which at least approximately rests on the pressure surface for the two forms the same level sealing areas, one sealing area in front of the end face of the frame abuts the collar and the pressure box, while the other sealing area is arranged between the part of the collar projecting beyond the frame and an abutment surface of the ceiling cavity.
  • the collar has a stiffening or stabilizing bend on its outer boundary edge.
  • the spacing area between the sealing areas through the boundary edge of the cover of the ceiling or wall cavity can be in constant communication therewith.
  • the cover carrying the suspended matter filter should be underpinned by a distance from rectangular frames that are spanned with fabric sheets. This first of all ensures that the suspended matter filters are protected from mechanical damage by a cover. If, however, damage should occur when moving furniture, due to careless handling with ladders or the like, this is evident, since the overvoltage of the suspended matter filter is first visibly damaged.
  • the fabric webs provided at a distance from the suspended matter filters cause a slight pressure build-up, which in turn ensures that the filtered air is filtered through a large number of fine particles Meshes with practically the same flow rate flow so that there is a laminar piston flow on the outlet side and, especially if the frames have only small cross sections on their outlet side, cross currents and turbulence are prevented, which could keep contaminants that have entered the clean room in suspension.
  • It has proven to be effective to seal adjacent rectangular frames at their joints.
  • plastic and metal wire meshes with different weaves, with small wire thicknesses and mesh sizes, which have a noticeable pressure drop in the amount of filter air conveyed have proven particularly useful.
  • Figures 1 to 4 of the drawing show as an application example of the innovation a so-called clean room filter ceiling, which is attached in the usual way as a substructure on hanging rods 1 or the like to a (not shown) building ceiling.
  • the hanging rods 1 or the like act on support rails 2 via vibration isolators 3, the support rails 2, for example.
  • a Z-shaped cross can have cut. Close to the upper horizontal profile leg of the support rails 2, the hanging rods 1 or the like attack via their vibration isolators 3, while the lower horizontal leg of the same is used to fasten substantially flat, plate-shaped covers 4 to the ceiling substructure.
  • Each individual, plate-like cover 4 is provided with a cutout 5, behind which a pressure box 6 is seated, which is provided with a connecting piece 7 for the supply line 8 of the raw air.
  • the pressure box 6 lies overall behind the level of the cover 4, which delimits a ceiling cavity 9 at the bottom.
  • a suspended matter filter 10 which is enclosed over its entire height by a frame 11 made of rigid, pressure-tight material.
  • the suspended matter filter 10 is accommodated in a mounting frame 12, for example made of relatively thin sheet metal, the legs of which have an essentially Z-shaped profile cross-section, as can essentially be seen in FIGS. 1 and 4.
  • the frame 11 of the suspended matter filter 10 rests with its lower flat end face 11a, while its upper flat end face 11b also has one flat but wide seal 14 is assigned, which is located after the cutout 5 on the underside of the cover 4.
  • the upper horizontal flange 12b of the mounting frame 12 is directed outward parallel to the cover 4 and interacts with a again relatively thin but flat seal 15, which lies on the same plane as the seal 14, but is spaced apart from it all around such that a frame-like free space 16 remains between the two seals 14 and 15.
  • the seals 13, 14 and 15 can also have cross-sectional shapes other than those shown. For example, they can be provided with a round cross-section; but they can also have a tapered, e.g. Get trapezoidal cross-sectional shape.
  • the lower horizontal flange of the mounting rails 2 and also the cover 4 held thereby are penetrated from top to bottom by threaded bolts 17, which can also pass through assigned holes in the upper flange 12b of the mounting frame 12.
  • the mounting frame 12 can be clamped with its upper horizontal flange 12b against the seal 15 and via this against the cover 4 in a sealing manner via wing nuts 18, which cooperate with the threaded bolts 17 as clamping elements.
  • the seal 13 between the lower horizontal flange 12a and the frame 11 of the suspended matter filter 10 and also the seal 14 between the frame 11 of the suspended matter filter 10 and the cover 4 are also below via the mounting frame 12 sealing preload set.
  • the free space 16 between the two seals 14 and 15 is connected to the gap 19 which is enclosed between the outer circumferential surface of the frame 11 and the inner surface of the web 12c on the mounting frame 12.
  • the ceiling cavity 9 above the cover and around the pressure box 6 is constantly kept under negative pressure.
  • This negative pressure acts on the free space 16 in the spacing area between the two seals 14 and 15 through slots 20, holes or similar openings provided in the cover 4.
  • the raw air thereby entering the free space 16 and the gap 19 is leaked through the slots 20 or the like are sucked into the ceiling cavity 9 and therefore cannot get into the clean room. Only the clean air that has passed through the suspended matter filter 10 can therefore enter the clean room with the flow directed downward.
  • FIG. 4 also shows means which, on the one hand, cover the freely downwardly projecting surfaces of the suspended matter filters and thus protect them from damage, but on the other hand, in the case of strong impacts, at least give a sensible indication that such damage has occurred or may have occurred.
  • these further installations ensure that the filtered clean air emerging from the suspended matter filters 10 is fed to the clean room from above without substantial turbulence and moves from top to bottom as a practically uniform piston flow, avoiding turbulence.
  • the suspended matter filters 10 are braced by means of installation frames 12 against plate-like covers 4 which have a substantially larger base area than the outlet area of the suspended matter filters 12.
  • Adjacent plate-like covers can be connected to one another in that bent edge strips 30 of the same, preferably via seals, are braced against one another by means of screws 31.
  • the joint of the covers 4 is underpinned by brackets 33 or U-shaped strips, which are connected to the covers 4 by means of screws 32. Bores of the bracket 33 are penetrated by tension rods 34 screwed to them, which engage in a threaded sleeve 36 of a support plate 37 via a spacer tube 35.
  • Rectangular frames 38 are braced against the underside of the support plate 37, which consist of angle profiles 39 with an inwardly pointing horizontal and a downwardly pointing vertical leg, and the corners of which are stiffened by gusset plates 40.
  • the rectangular frames 38 are clamped against the support plate 37 from below.
  • the joints 44 of the rectangular frame 38 are sealed off from one another by seals, not shown in the figure, in particular when special profiles are used which have grooves provided for receiving such seals.
  • the downward-facing free surface of the rectangular frame is underpinned by a fabric web 41, which is expediently glued to the downward-facing end faces of the angle profiles 39 and, if appropriate, the gusset plates 40.
  • Tensions occurring in this way can be avoided by the profiles forming the rectangular frames 38 before the clamping the fabric web 41 can be bent slightly outwards, so that the elastic tension of the angular profiles that are deformed when glued on maintains the fabric web 41 under tension.
  • FIG. 5 of the drawing differs from that of FIGS. 1 to 4 essentially in that not only the pressure box 6, but also the upstream suspended particle filter 10 and the frame 11 containing it are laid behind the plane of the covers 4 of the ceiling substructure.
  • This filter module lacks the mounting frame 12 with the Z-shaped legs. Instead, an essentially flat sealing frame 21 is used there, which is pressed by means of clamping elements, which can consist of threaded bolts 17 and wing nuts 18.
  • the seal 14 in the filter module according to FIG. 5 has the same arrangement and design as in the filter module according to FIGS. 1 to 4, that is, it is there between the flange frame 22 delimiting the opening side of the pressure box 6 and the flat end face 11b facing it the suspended matter filter 10 surrounding frame 11 clamped.
  • seal 15 does not lie in the same plane with the seal 14, but rather in the same plane with the seal 13 on the underside of the cover 4 of the ceiling substructure. Both seals 13 and 15 cooperate here with the sealing frame 21, which can be clamped via the clamping elements 17/18 and thereby closes the free space 16 between the two seals 13 and 15 to the clean room.
  • the free space 16 is in constant communication with the cavity 9 which is kept under vacuum.
  • FIG. 6 A type of filter module similar to the embodiment of FIGS. 1 to 4 is shown in FIG. 6.
  • the seal 23 has essentially a channel cross section with two parallel sealing webs 23a and 23b, one of which comes to rest on the flange frame 22 of the pressure box 6 and the other near the cutout 5 on the cover 4.
  • the channel part located between the two sealing webs 23a and 23b delimits the free space 16, which is in constant suction connection through the slot 20 between the flange frame 22 of the pressure box 6 and the cutout 5 of the cover 4 with the ceiling cavity 9.
  • raw air passing by at the sealing web 23a of the seal 23 as leakage air cannot get into the clean room, but rather is discharged from the free space 16 within the seal 23.
  • the filter module according to FIG. 6 does not only result in a structural simplification in that only one, namely a channel profile seal 23, is used instead of three seals. Rather, the installation frame 12 can also be saved here because the tensioning elements 17/18, which each consist, for example, of a threaded bolt 17 and a wing nut 18, can interact with the simple flat tensioning frame 24, which is attached to the frame 11 of the suspended matter filter 10 attacks.
  • FIG. 7 of the drawing A design similar to the filter module according to FIG. 5 for a filter module is again shown in FIG. 7 of the drawing.
  • the suspended matter filter 10 with its frame 11 is also installed behind the cover 4 of the ceiling substructure.
  • the frame 11 of the suspended matter filter 10 is clamped directly between the cover 4 of the ceiling substructure and the flange frame 22 of the pressure box 6 via the clamping elements 17/18, which can also consist of threaded bolts and wing nuts here, by means of the two seals 13 and 14 .
  • the untreated air possibly passing the seal 14 passes here directly into the ceiling cavity 9, which is kept under negative pressure, and therefore cannot penetrate into the clean room.
  • FIG. 8 shows an embodiment, which is modified in comparison to FIG. 4 and is structurally significantly simplified, for filter modules which are used in clean room filter ceilings.
  • the suspended matter filter 10 connects, which is surrounded by the frame 11 made of rigid, pressure-tight material.
  • the upper end face 11b of the frame 11 carries a collar 25 which, for example, consists of sheet metal and is angled at least on its outer edge for stiffening or stabilization.
  • the collar 25 is fastened, for example screwed, to the end face 11b of the frame 11. Its profile width is larger than the wall thickness of the frame 11, such that it projects beyond the outer contour of the frame 11 by a considerable amount, as can be clearly seen in FIG. 8.
  • the main plane of the collar 25 extends parallel to the plate-shaped cover 4 of the ceiling substructure. It forms the pressure surface for two seals 14 and 15, which lie approximately on the same plane and are spaced apart from one another all around such that they delimit a frame-like free space 16 between them.
  • the seal 14 lies on the collar 25 in the region in front of the end face 11b of the frame 11, while the seal 15 comes to rest on the section of the collar 25 which projects beyond the outer contour of the frame 11.
  • the design of the filter module according to FIG. 8 is considerably simplified compared to that according to FIG. 4, because, in contrast, not only the mounting frame 12 but also the seal 13 provided between this and the lower end face 11a of the frame 11 can be saved.
  • a pressure chamber 26 is provided immediately below the building ceiling, ie there is no special pressure box here arranges. Overall, the ceiling or wall cavity 9 is upstream of this pressure chamber 26, as can be clearly seen in FIG. 9.
  • the ceiling or wall cavity 9 accommodates the frame 11 comprising the suspended matter filter 10 over its overall depth.
  • the frame 11 of the suspended matter filter 10 is held interchangeably by means of the sealing frame 21 via the tensioning elements 17/18, the cover 4 forming the outer boundary of the ceiling or wall cavity 9 being parallel to the outer boundary surface of the frame 11 has angled boundary edge 27 which projects into the ceiling or wall cavity.
  • the pressure chamber 26 is delimited pressure-tight against the ceiling or wall cavity 9 by a cover 28. which also has an angled boundary edge 29 which projects into the pressure chamber 26.
  • the cover 28 for the pressure chamber 26 is dimensioned such that its boundary edge 29 overlaps the frame 11 of the same when the suspended matter filter 10 is inserted into the ceiling or wall cavity 9, so that the boundary edge 29 is approximately at the same level with the Inner surface of the frame 11 comes to rest, as can be clearly seen in FIG. 9.
  • the seal 13 lies between the lower, flat end face 11a of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 and the sealing frame 21.
  • the seal 14 is provided between the upper, flat end face 11b of the frame 11 and the cover 28 of the pressure chamber 26.
  • the seal 15 is finally located between the cover 4 of the ceiling or wall cavity 9 and the sealing frame 21.
  • the space 16 delimited by the two seals 13 and 15 and the sealing frame 21 is constantly in contact with the ceiling or wall cavity 9 in through the spacing gap between the angled boundary edge 27 of the cover 4 and the outer boundary surface of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 Connection. Leakage air entering the free space 16 is therefore safely drawn off into the ceiling or wall cavity 9. Leakage air that passes the upper seal 14 is also in this ceiling or. Aspirated wall cavity 9, can not get past the suspended matter filter 10 in the clean room.
  • seals 13, 14 and 15 have a trapezoidal cross-sectional shape over part of their thickness.
  • the seals 13 and 14 each rest with their broad base surface on the flat end faces 11a and 11b of the frame 11, while their narrower head surface is in contact with the sealing frame 21 or the cover 28.
  • the seal 15 on the other hand, rests with its broad base surface on the sealing frame 21, while its narrower head surface is brought into contact with the cover 4.
  • the level of the suspended matter filter 10 is also underpinned in accordance with FIG. 9 while maintaining a distance from rectangular frames 38 which are formed from profile bars 39. which in turn carry a fine-mesh fabric web 41.
  • Rectangular frames 38 can adjoin one another directly and at the same height, as is shown on the right-hand side of FIG. 9, but they can also be offset in height and partially overlapping, for example to adapt to the room size.
  • the rectangular frames 38 are formed by triangular profiles 45, which have grooves 46 in their reinforced end regions for receiving seals.
  • the triangular profiles forming a rectangular frame are connected by a preferably cube-shaped corner body 47, which is equipped on two sides with plug-in lugs 48 which fill the hollow profile of the triangular profiles 45 engage their ends.
  • This provides the clamping screws 42 each with a solid body, which in turn carries the profiles by means of the plug-in lugs.
  • corner bodies 47 can also be designed so that the passage of lines, for example electrical lines or water supply lines from sprinkler systems, is possible. It may be advisable to replace the outer edges of the corner bodies with vertically directed quarter-cylindrical recesses.
  • a filler plate 49 is provided, one side of which is bent in a U-shape and is connected to the support plate 37 by means of a clamping screw 42.
  • a side strip 50 is folded, and at least the base area of the filler plate 49 is perforated or provided with recesses and covered with a fabric web 41, preferably glued.
  • the filler plate 49 or its side strip 50 expediently does not completely adjoin the wall 52, so that a gap 54 remains between the side strip 50 and the wall 52. First of all, such a gap makes it easier to adapt to the cross-sectional area of the room.
  • a remaining, relatively small gap proves to be advantageous, since the clean air can pass through it at a higher speed than the fine-mesh fabric web 41.
  • a gap of this type thus achieves a somewhat higher flow velocity along the walls of the clean room than in the other surface areas, so that the effect of damping the air flow is counteracted by the friction along the walls.
  • the lower region of the transparent mat 51 designed as a strip is placed behind the side strip 50 and optionally fastened there, while the upper region of the transparent mat 51 is connected to the glass wall 52 by means of an adhesive strip 53.
  • corresponding connections can also be achieved by means of screws, nails or the like, optionally with the aid of strips, for example those made of plastic.
  • a suspension on hanging rods 1 is shown, which by means of tension lock-like threaded sleeves 64 hold hidden tension rods 34 adjustable in height, which in turn carry support plates 37 and, by means of support plates 58, sheet metal strips 59 at different heights.
  • the distances are expediently maintained by means of spacer tubes 56, 57 and 63, which are braced against one another via nuts 55.
  • the sheet metal strips 59 are essentially U-shaped, the yoke width being larger than the distance between the legs of the U-profile, so that in the yoke area, outwardly projecting strips are formed.
  • Sealing strips 60, 61 are applied to each of these strips, on which covers 4 and 28 are placed, which in turn, clamped by means of threaded bolts 17, clamp the frame 11 of the suspended matter filter 10 via seals.
  • 37 rectangular frames 38 are braced with support plates, which are made of
  • triangular angle profiles 45 which are connected to one another by means of cube-shaped corner bodies 47 and their plug-in extensions 48. Only the lower surfaces of the triangular profiles 45 appear here as the point of disturbance in the region of the flow passing through the fabric webs 41. These can also be reduced in their effect by, in contrast to the illustration in FIG.
  • the frames being connected to the support plate 37 at a small, gap-forming distance, so that narrow air streams passing through the fabric webs 41 narrow , more intensive clean air flows are formed.
  • the less damped currents passing through the gaps can be adjusted on the one hand by the spacing of the frames.
  • it has proven to be advantageous to limit this gap by means of sealing strips inserted into profiled bars, which either directly against one another or if complete sealing is desired. connect to contact surfaces of the opposite frame.
  • seals that either, e.g.
  • knobs or vertically extending ribs by means of attached knobs or vertically extending ribs, only with these on support areas of the adjacent frame or an adjacent one Place the wall so that gaps remain between the supporting elevations of the sealing strips, the thickness of which corresponds to the increase in the knobs or ribs and is therefore structurally defined.

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Abstract

The filter module is formed either by a pressure chamber 26 and, located in front of it, a ceiling or wall cavity 9 kept under a reduced pressure, or by a pressure box which is provided with a connection branch and can be inserted into a ceiling or wall cavity held under a reduced pressure. Both variants contain a high efficiency particulate filter 10 which can be exchangeably fixed via tensioning and sealing elements 17/18 and 21 against the pressure chamber 26 or the pressure box. At least two sealing regions 13 and 15 are located here between the frame 11 of the high efficiency particulate filter 10 and the pressure chamber 26 or the pressure box which, between them, confine a spacing region which is only open into the ceiling or wall cavity 9. This has the effect that, if leaks occur, the leakage air flows away from the clean room into the ceiling or wall cavity 9. The filtered clean air flows at constant flow velocity into the room through the fabric sheets 41 fixed underneath the rectangular frame 38, without particulate matter being whirled up. <IMAGE>

Description

Die Neuerung betrifft ein Filtermodul für Reinraumdecken und -wände oder dergleichen, das von einem Druckraum und einem auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum gebildet ist und ein Schwebstoff-Filter enthält, das mittels eines umfassenden Rahmens über an diesem angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wand­hohlraum austauschbar gegen den Druckraum festlegbar ist.The innovation relates to a filter module for clean room ceilings and walls or the like, which is formed by a pressure chamber and a ceiling or wall cavity kept under negative pressure and contains a suspended matter filter, which by means of a comprehensive frame via clamping elements acting thereon and associated sealing elements for Ceiling or wall cavity is interchangeable against the pressure space.

Dabei befaßt sich die Neuerung auch mit solchen Filtermo­dulen, bei denen der Druckraum aus einem mit einem Anschluß­stutzen versehenen Druckkasten besteht, der in den auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum einsetzbar ist, wobei das Schwebstoff-Filter mittels des umfassenden Rahmens über an diesem angreifende Spannelemente sowie zuge­hörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wandhohlraum aus­tauschbar gegen den Druckkasten festlegbar ist.The innovation also deals with filter modules in which the pressure chamber consists of a pressure box provided with a connection piece, which can be inserted into the ceiling or wall cavity, which is kept under vacuum, the suspended matter filter using the extensive frame engaging with it Clamping elements and associated sealing elements for the ceiling or wall cavity can be fixed interchangeably against the pressure box.

Derartige Filtermodule werden zur Neutralisierung des Leck­risikos in Schwebstoff-Filterdecken bzw. -wänden benutzt. Sie sind so ausgebildet und eingebaut, daß durch die Auf­rechterhaltung eines Unterdrucks im Decken- bzw. Wandhohl­raum die Strömungsrichtung durch ein Leck umgekehrt wird, so daß das Auftreten solcher Lecks belanglos ist, weil die Leckluft vom Reinraum weg in den Decken- bzw. Wandhohlraum strömt.Filter modules of this type are used to neutralize the risk of leakage in suspended matter filter ceilings or walls. They are designed and installed so that the direction of flow is reversed by a leak by maintaining a negative pressure in the ceiling or wall cavity that the occurrence of such leaks is irrelevant because the leakage air flows away from the clean room into the ceiling or wall cavity.

Beim praktischen Einsatz derartiger Filtermodule für Filter­decken bzw. -wände ist zwischen dem Filtermodul und den zugehörigen Anlageflächen der Decken- bzw. Wandkonstruktion jeweils lediglich ein Dichtungsbereich vorgesehen, welcher zwischen der der Raumseite zugewendeten Stirnfläche am Rah­men des Schwebstoff-Filters und den Anlage- bzw. Stützflä­chen des Decken- bzw. Wandhohlraums liegt, wie das auch bei normalen Filterdecken bzw. -wänden üblich ist, bei denen lediglich Schwebstoff-Filter mit Umfassungsrahmen unmittel­bar in den Decken- bzw. Wandhohlraum eingesetzt werden, also von diesem nicht durch besondere Druckräume abgeteilt sind.When such filter modules for filter ceilings or walls are used in practice, only one sealing area is provided between the filter module and the associated contact surfaces of the ceiling or wall construction, which is located between the end face facing the room side on the frame of the suspended matter filter and the contact or Supporting surfaces of the ceiling or wall cavity lie, as is also the case with normal filter ceilings or walls, in which only suspended matter filters with a surrounding frame are used directly in the ceiling or wall cavity, i.e. are not separated from the latter by special pressure spaces .

Die praktische Erfahrung hat jedoch gezeigt, daß die Filter­module bekannter Art die an sie gestellten Anforderungen in den meisten Einsatzfällen nur unzureichend erfüllen können.Practical experience has shown, however, that the filter modules of a known type can only insufficiently meet the requirements placed on them in most applications.

Der Neuerung liegt daher die Aufgabe zugrunde, Filtermodule der anfangs spezifizierten Art für Reinraumdecken und -wände oder dergleichen zu schaffen, die mit baulich einfachen Mitteln Lecks, welche in der Abdichtung zwischen dem jewei­ligen Schwebstoff-Filter und den zugehörigen Anlageflächen von Decken- bzw. Wandhohlraum auftreten, belanglos macht, trotzdem aber einen einfachen Austausch der Schwebstoff-Fil­ter mit ihrem Rahmen gewährleistet, wobei gleichzeitig eine das Aufwirbeln von Schwebstoffen unterbindende turbulenzarme Kolbenströmung ebenso gesichert sein soll wie Beschädigungen der Filtermodule sinnfällig angezeigt werden.The innovation is therefore based on the task of creating filter modules of the initially specified type for clean room ceilings and walls or the like, which leak with structurally simple means, which in the seal between the respective suspended matter filter and the associated contact surfaces of the ceiling or wall cavity occur, irrelevant, but nevertheless ensures a simple exchange of the suspended matter filter with its frame, while at the same time a low-turbulence piston flow preventing the floating of suspended matter is to be secured as well as damage to the filter modules is indicated.

Die Lösung dieser Aufgabe besteht nach dem Kennzeichen des Anspruchs 1 darin, daß der Decken- bzw. Wandhohlraum dem Druckraum insgesamt vorgelagert ist und über seine Bautiefe den das Schwebstoff-Filter umfassenden Rahmen aufnimmt, daß mindestens zwei Abstand voneinander aufweisende Dichtungsbe­reiche zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und dem Druckraum ausgebildet sind, und daß der von diesen Dich­tungsbereichen eingegrenzte Abstandsbereich lediglich in den Decken- bzw. Wandhohlraum hinein offen ist.The solution to this problem according to the characterizing part of claim 1 is that the ceiling or wall cavity is in front of the pressure space as a whole and accommodates the frame comprising the suspended matter filter via its structural depth, that at least two spaced sealing areas between the frame of the suspended matter -Filters and the pressure chamber are formed, and that the distance region delimited by these sealing areas is only open into the ceiling or wall cavity.

Die gleiche Aufgabe wird bei Filtermodulen, die einen mit einem Anschlußstutzen versehenen Druckkasten aufweisen, der in einen auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum einsetzbar ist, nach dem Kennzeichen des Anspruchs 2 dadurch gelöst, daß mindestens zwei Abstand voneinander aufweisende Dichtungsbereiche zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Fil­ters und dem Druckkasten ausgebildet sind, und daß der von diesen Dichtungsbereichen eingegrenzte Abstandsbereich le­diglich in den Decken- bzw. Wandhohlraum hinein offen ist.The same object is achieved with filter modules which have a pressure box provided with a connecting piece, which can be inserted into a ceiling or wall cavity kept under negative pressure, according to the characterizing part of claim 2, in that at least two spaced sealing areas between the frame of the HEPA filter and the pressure box are formed, and that the spacing area delimited by these sealing areas is only open into the ceiling or wall cavity.

Es liegt auf der Hand, daß in beiden Fällen durch die dich­tungsmäßige Eingrenzung des mit dem Decken- bzw. Wandhohl­raum korrespondierenden Abstandsbereiches eventuell auftre­tende Leckluft vom Unterdruck im Decken- bzw. Wandhohlraum schon abtransportiert wird, bevor sie in den eigentlichen Reinraum gelangen kann.It is obvious that in both cases the leakage air which may occur due to the sealing of the distance area corresponding to the ceiling or wall cavity is removed from the negative pressure in the ceiling or wall cavity before it can reach the actual clean room.

Eine neuerungsgemäße Weiterbildungsmaßnahme besteht nach Anspruch 3 darin, daß die beiden Dichtungsbereiche wenig­stens annähernd auf gleicher Ebene liegend einerseits zwi­schen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und dem Druckkasten sowie andererseits zwischen einer Anlagefläche des Decken­hohlraums und einem von den Spannelementen erfaßten Andruck­rahmen vorgesehen sind, und daß dabei der Andruckrahmen als ein das Schwebstoff-Filter und seinen Rahmen auf der ganzen Höhe aufnehmender Einbaurahmen ausgebildet ist. Das gesamte Schwebstoff-Filter einschließlich des dieses tragenden Rah­mens wird hier also von dem Einbaurahmen umfaßt und unter dessen Vermittlung mit dem auf Unterdruck gehaltenen Decken- ­bzw. Wandhohlraum in Strömungsverbindung gehalten.A further development measure according to the invention consists in that the two sealing areas, at least approximately on the same level, are provided on the one hand between the frame of the suspended matter filter and the pressure box and on the other hand between a contact surface of the ceiling cavity and a pressure frame captured by the tensioning elements, and that the pressure frame as a mounting frame is formed which accommodates the suspended matter filter and its frame over the entire height. The entire suspended matter filter, including the frame that supports it, is here encompassed by the mounting frame and, through its mediation, is kept in flow connection with the ceiling or wall cavity, which is kept under vacuum.

Besonders bewährt hat sich in diesem Falle eine Ausgestal­tung nach Anspruch 4, die darin besteht, daß der Rahmen des Schwebstoff-Filters durch eine zusätzliche dritte Dichtung an seiner dem Raum zugewendeten Stirnfläche mit dem Einbau­rahmen in Kontaktberührung gehalten ist. Auch der zwischen dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und dem ihn aufnehmenden Einbaurahmen gegebenenfalls vorhandene Spaltraum wird auf diese Art und Weise in Strömungsverbindung mit dem Decken- ­bzw. Wandhohlraum gehalten.In this case, an embodiment according to claim 4, which consists in the fact that the frame of the suspended matter filter is held in contact with the mounting frame by an additional third seal on its end face facing the room, has proven particularly useful. The gap space possibly present between the frame of the suspended matter filter and the mounting frame receiving it is also in this way in flow connection with the ceiling or Wall cavity kept.

Eine andere neuerungsgemäße Ausgestaltungsmöglichkeit für ein Filtermodul besteht nach Anspruch 5 darin, daß die bei­den Dichtungsbereiche wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend einerseits dem Rahmen des Schwebstoff-Filters und andererseits einer Anlagefläche des Decken- bzw. Wand­hohlraums zugeordnet sind und daß ein das Schwebstoff-Filter sowie den Decken- bzw. Wandhohlraum unterfassender Dichtrah­men mittel der Spannelemente gleichzeitig gegen beide Dich­tungsbereiche anpreßbar ist. Eine solche Ausgestaltung emp­fiehlt sich besonders dann, wenn nicht nur die Bauhöhe des Druckkastens der Filtermodule, sondern auch deren Schweb­stoff-Filter mit Rahmen innerhalb des Deckenhohlraums un­tergebracht werden sollen.Another design option for a filter module according to the invention consists in that the two sealing areas, at least approximately on the same level, are assigned on the one hand to the frame of the suspended matter filter and on the other hand to a contact surface of the ceiling or wall cavity and that the suspended matter filter and the ceiling or wall cavity enclosing sealing frame can be pressed simultaneously against both sealing areas by means of the clamping elements. Such a configuration is particularly recommended if not only the overall height of the pressure box of the filter modules, but also their suspended matter filters with frames are to be accommodated within the ceiling cavity.

Auch hierbei ist es nach dem Vorschlag des Anspruchs 6 neu­erungsgemäß zu empfehlen, daß der Rahmen des Schwebstoff-­Filters durch eine zusätzliche dritte Dichtung mit dem Druckkasten in Berührung gehalten ist, um den erzielbaren Dichtungseffekt unter Vermeidung des Leckluftaustritts in den freien Raum noch weiter zu verbessern.Here, too, it is recommended according to the proposal of claim 6, according to the innovation, that the frame of the suspended matter filter has an additional third seal with the Pressure box is kept in contact in order to further improve the achievable sealing effect while avoiding leakage of air into the free space.

In weiterer Ausgestaltung des Neuerungsgedankens ist nach Anspruch 7 vorgesehen, daß jeder Dichtungsbereich von einem selbständigen Dichtungselement gebildet ist.In a further embodiment of the idea of innovation it is provided according to claim 7 that each sealing area is formed by an independent sealing element.

In vielen Fällen erweist es sich aber als besonders vorteil­haft, wenn nach Anspruch 8 beide Dichtungsbereiche an einem gemeinsamen Dichtungselement ausgebildet sind, das vorzugs­weise ein Rinnenprofil aufweist, wobei der bei Dichtungsan­lage der Dichtungsbereiche freibleibende Raum des Rinnenpro­fils an den Decken- bzw. Wandhohlraum angeschlossen ist.In many cases, however, it proves to be particularly advantageous if, according to claim 8, both sealing areas are formed on a common sealing element, which preferably has a channel profile, the space of the channel profile remaining free in the sealing system of the sealing areas being connected to the ceiling or wall cavity.

Eine weitere Ausbildungsmöglichkeit für ein Filtermodul nach der Neuerung besteht gemäß Anspruch 9 darin, daß beide Dich­tungsbereiche den voneinander abgewendeten Enden des Rahmens des Schwebstoff-Filters zugeordnet sind, daß der obere Dich­tungsbereich am Druckkasten und der untere Dichtungsbereich an einer Stützfläche des Deckenhohlraums anlegbar, und daß dabei die Stützfläche des Deckenhohlraums und der Druckka­sten durch die Spannelemente gegeneinander und gegen die Dichtungsbereiche verspannbar sind.Another training option for a filter module according to the innovation consists in that both sealing areas are assigned to the mutually facing ends of the frame of the suspended matter filter, that the upper sealing area can be placed on the pressure box and the lower sealing area can be placed on a supporting surface of the ceiling cavity, and that the support surface of the ceiling cavity and the pressure box can be clamped against each other and against the sealing areas by the clamping elements.

Schließlich ist ein Neuerungsmerkmal gemäß Anspruch 10 aber auch noch darin zu sehen, daß der Abstandsbereich zwischen den Dichtungsbereichen durch in einer Abdeckung zwischen Druckkasten und Decken- bzw. Wandhohlraum vorgesehene Schlitze, Löcher oder ähnliche Durchbrüche mit dem Decken- ­bzw. Wandhohlraum in ständiger Verbindung steht.Finally, an innovation feature according to claim 10 is also to be seen in the fact that the spacing area between the sealing areas is in constant communication with the ceiling or wall cavity through slots, holes or similar openings provided in a cover between the pressure box and the ceiling or wall cavity .

Im Rahmen der Neuerung liegt nach Anspruch 11 aber auch eine Ausbildung für ein Filtermodul, welche dadurch gekennzeich­net ist, daß der Rahmen des Schwebstoff-Filters an seiner vorderen Stirnfläche mit einem seine Außenkontur überragen­den Kragen versehen ist, der die Andruckfläche für die bei­den wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegenden Dich­tungsbereiche bildet, wobei der eine Dichtungsbereich vor der Stirnfläche des Rahmens am Kragen und am Druckkasten anliegt, während der anderen Dichtungsbereich zwischen dem den Rahmen überragenden Teil des Kragens und einer Anlage­fläche des Deckenhohlraums angeordnet ist.Within the scope of the innovation, there is also a design for a filter module, which is characterized in that the frame of the suspended matter filter is provided on its front end face with a collar which projects beyond its outer contour and which at least approximately rests on the pressure surface for the two forms the same level sealing areas, one sealing area in front of the end face of the frame abuts the collar and the pressure box, while the other sealing area is arranged between the part of the collar projecting beyond the frame and an abutment surface of the ceiling cavity.

In diesem Falle ist es nach Anspruch 12 auch noch empfeh­lenswert, daß der Kragen an seinem äußeren Begrenzungsrand eine Versteifungs- bzw. Stabilisierungsabwinkelung aufweist.In this case, it is also recommended according to claim 12 that the collar has a stiffening or stabilizing bend on its outer boundary edge.

Nach Anspruch 13 kann der Abstandsbereich zwischen den Dich­tungsbereichen durch den Begrenzungsrand der Abdeckung des Decken- bzw. Wandhohlraums mit diesem in ständiger Verbin­dung stehen.According to claim 13, the spacing area between the sealing areas through the boundary edge of the cover of the ceiling or wall cavity can be in constant communication therewith.

Nach dem Anspruch 14 soll die die Schwebstoff-Filter tragen­de Abdeckung mit Abstand von Rechteck-Rahmen unterfangen sein, die mit Gewebebahnen überspannt sind. Hierdurch wird zunächst einmal erreicht, daß einerseits die Schwebstoff-­Filter durch Abdeckung vor mechanischen Beschädigungen ge­schützt sind. Sollten aber beim Verrücken von Möbeln, durch unvorsichtige Handhbaung mit Leitern oder dergleichen trotz­dem Beschädigungen auftreten, so zeigen sich diese sinnfäl­lig an, da zunächst die Überspannung der Schwebstoff-Filter erkennbar beschädigt wird. Im wesentlichen aber bewirken die mit Abstand vor den Schwebstoff-Filtern vorgesehenen Gewebe­bahnen einen geringen Druckstau, der seinerseits dafür sorgt, daß die gefilterte Luft durch eine Vielzahl feiner Maschen mit praktisch gleichen Fördermengen strömt, so daß auf der Austrittsseite eine laminare Kolbenströmung vorliegt und, insbesondere wenn die Rahmen auf ihrer Austrittsseite nur geringe Querschnitte aufweisen, Querströmungen und Tur­bulenzen unterbunden werden, welche in den Reinraum gelangte Verunreinigungen in der Schwebe halten konnten. Hierbei hat es sich bewährt aneinander grenzende Rechteck-Rahmen an ihren Stoßstellen gegeneinander abzudichten. Um den vom Modul eingenommenen Raum praktisch vollständig zur Weiterga­be der gebildeten Luft zu nutzen hat es sich bewährt, die Rechteck-Rahmen aus Winkel- oder Dreieckprofilen zu bilden und die nach unten auskragenden Profilschenkel mit der Gewe­bebahn zu verkleben. Bewährt haben sich insbesondere Kunst­stoff- und Metall-Drahtgewebe unterschiedlicher Bindungen, mit geringen Drahtstärken und Maschenweiten, welche bei den geförderten Filterluft-Mengen einen merkbaren Druckabfall bewirken.According to claim 14, the cover carrying the suspended matter filter should be underpinned by a distance from rectangular frames that are spanned with fabric sheets. This first of all ensures that the suspended matter filters are protected from mechanical damage by a cover. If, however, damage should occur when moving furniture, due to careless handling with ladders or the like, this is evident, since the overvoltage of the suspended matter filter is first visibly damaged. In essence, however, the fabric webs provided at a distance from the suspended matter filters cause a slight pressure build-up, which in turn ensures that the filtered air is filtered through a large number of fine particles Meshes with practically the same flow rate flow so that there is a laminar piston flow on the outlet side and, especially if the frames have only small cross sections on their outlet side, cross currents and turbulence are prevented, which could keep contaminants that have entered the clean room in suspension. It has proven to be effective to seal adjacent rectangular frames at their joints. In order to use the space occupied by the module practically completely to pass on the air formed, it has proven useful to form the rectangular frames from angular or triangular profiles and to glue the downwardly projecting profile legs to the fabric web. Plastic and metal wire meshes with different weaves, with small wire thicknesses and mesh sizes, which have a noticeable pressure drop in the amount of filter air conveyed, have proven particularly useful.

In der Zeichnung ist der Gegenstand der Neuerung in Ausfüh­rungsbeispielen dargestellt. Es zeigen

  • Figur 1 in geschnittener Seitenansicht einen Ausschnitt aus einer Reinraumdecke,
  • Figur 2 eine Ansicht in Pfeilrichtung II der Fig. 1,
  • Figur 3 eine Teilansicht in Pfeilrichtung III der Fig. 1,
  • Figur 4 in größerem Maßstab und ausführlicher Darstellung den in Fig. 1 mit III gekennzeichenten Ausschnitt­bereich,
  • Figur 5 in schematisch vereinfachter Darstellung einen Ver­tikalschnitt durch einen Teilabschnitt eines Fil­termoduls in abgewandelter Bauart,
  • Figur 6 in einer der Fig. 5 entsprechenden Darstellung eine weitere Abwandlungsmöglichkeit für ein Filtermodul und
  • Figur 7 wiederum in schematisch vereinfachter Vertikal­schnitt-Darstellung eine noch andere Ausgestal­tungsmöglichkeit für ein Filtermodul, während
  • Figur 8 eine gegenüber Fig. 4 abgewandelte Ausgestaltung für ein Filtermodul wiedergibt,
  • Figur 9 in einem der Fig. 1 ähnlichen Ausschnitt eine an­dere, besonders vorteilhafte Ausgestaltung für ein Filtermodul und
  • Figur 10 einen Schnitt entlang der Linie X-X in Fig. 9,
  • Figur 11 schematisch einen Wandanschluß das Filtermodul unterfangender Rechteckrahmen, und
  • Figur 12 ein von parallel verlaufenden Blechleisten getra­genes Filtermodul.
In the drawing, the subject of the innovation is shown in exemplary embodiments. Show it
  • FIG. 1 shows a section of a clean room ceiling in a sectional side view,
  • FIG. 2 shows a view in the direction of arrow II in FIG. 1,
  • FIG. 3 shows a partial view in the direction of arrow III of FIG. 1,
  • FIG. 4, on a larger scale and in detail, the cutout area marked III in FIG. 1,
  • FIG. 5 shows a schematically simplified illustration of a vertical section through a partial section of a filter module in a modified design,
  • 6 in a representation corresponding to FIG. 5 shows a further modification possibility for a filter module and
  • FIG. 7, in turn, in a schematically simplified vertical section, shows yet another design option for a filter module, while
  • FIG. 8 shows an embodiment modified for a filter module compared to FIG. 4,
  • FIG. 9 shows a different, particularly advantageous embodiment for a filter module and in a detail similar to FIG. 1
  • FIG. 10 shows a section along the line XX in FIG. 9,
  • Figure 11 schematically shows a wall connection under the filter module rectangular frame, and
  • 12 shows a filter module carried by parallel metal strips.

Die Figuren 1 bis 4 der Zeichnung zeigen als Anwendungsbei­spiel der Neuerung eine sogenannte Reinraum-Filterdecke, die in üblicher Weise als Unterkonstruktion über Hängestäbe 1 oder dergleichen an einer (nicht dargestellten) Gebäudedecke befestigt ist. Die Hängestäbe 1 oder dergleichen greifen dabei an Trägerschienen 2 über Schwingungsisolatoren 3 an, wobei die Trägerschienen 2 bspw. einen Z-förmigen Quer­ schnitt aufweisen können. Dicht an dem oberen waagereohten Profilschenkel der Trägerschienen 2 greifen dabei die Hänge­stäbe 1 oder dergleichen über ihre Schwingungsisolatoren 3 an, während der untere waagerechte Schenkel derselben der Befestigung von im wesentlichen ebenen, plattenförmigen Abdeckungen 4 der Decken-Unterkonstruktion dienlich ist.Figures 1 to 4 of the drawing show as an application example of the innovation a so-called clean room filter ceiling, which is attached in the usual way as a substructure on hanging rods 1 or the like to a (not shown) building ceiling. The hanging rods 1 or the like act on support rails 2 via vibration isolators 3, the support rails 2, for example. A Z-shaped cross can have cut. Close to the upper horizontal profile leg of the support rails 2, the hanging rods 1 or the like attack via their vibration isolators 3, while the lower horizontal leg of the same is used to fasten substantially flat, plate-shaped covers 4 to the ceiling substructure.

Jede einzelne, plattenartige Abdeckung 4 ist dabei mit einem Ausschnitt 5 versehen, hinter dem ein Druckkasten 6 sitzt, der mit einem Anschlußstutzen 7 für die Zuleitung 8 der Roh­luft versehen ist.Each individual, plate-like cover 4 is provided with a cutout 5, behind which a pressure box 6 is seated, which is provided with a connecting piece 7 for the supply line 8 of the raw air.

Der Druckkasten 6 liegt dabei insgesamt hinter der Ebene der Abdeckung 4, welche einen Deckenhohlraum 9 nach unten be­grenzt.The pressure box 6 lies overall behind the level of the cover 4, which delimits a ceiling cavity 9 at the bottom.

Nach unten schließt sich an den Druckkasten 6 bzw. an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 ein Schwebstoff-Filter 10 an, welches auf seiner ganzen Höhe von einem Rahmen 11 aus star­rem, druckdichten Material umfaßt ist.At the bottom adjoins the pressure box 6 or at the cutout 5 of the cover 4, a suspended matter filter 10, which is enclosed over its entire height by a frame 11 made of rigid, pressure-tight material.

Mit dem Rahmen 11 ist das Schwebstoff-Filter 10 in einem Einbaurahmen 12, bspw. aus relativ dünnem Metallblech aufge­nommen, dessen Schenkel einen im wesentlichen Z-förmigen Profilquerschnitt haben, wie das im wesentlichen den Fig. 1 und 4 entnommen werden kann.With the frame 11, the suspended matter filter 10 is accommodated in a mounting frame 12, for example made of relatively thin sheet metal, the legs of which have an essentially Z-shaped profile cross-section, as can essentially be seen in FIGS. 1 and 4.

Auf dem unteren einwärts gerichteten Flansch 12a des Ein­baurahmens 12 ruht unter Zwischenschaltung einer relativ flachen, aber breiten Dichtung 13 der Rahmen 11 des Schweb­stoff-Filters 10 mit seiner unteren ebenen Stirnfläche 11a, während dessen oberer ebenen Stirnfläche 11b eine ebenfalls flache, aber breite Dichtung 14 zugeordnet ist, die sich im Anschluß an den Ausschnitt 5 an der Unterseite der Abdeckung 4 befindet.On the lower inward flange 12a of the mounting frame 12, with the interposition of a relatively flat but wide seal 13, the frame 11 of the suspended matter filter 10 rests with its lower flat end face 11a, while its upper flat end face 11b also has one flat but wide seal 14 is assigned, which is located after the cutout 5 on the underside of the cover 4.

Der obere waagerechte Flansch 12b des Einbaurahmens 12 ist parallel zur Abdeckung 4 nach auswärts gerichtet und wirkt mit einer wiederum relativ dünnen, aber flachen Dichtung 15 zusammen, welche auf gleicher Ebene mit der Dichtung 14 liegt, von dieser jedoch rundum einen solchen Abstand hat, daß zwischen den beiden Dichtungen 14 und 15 ein rahmenarti­ger Freiraum 16 bestehen bleibt.The upper horizontal flange 12b of the mounting frame 12 is directed outward parallel to the cover 4 and interacts with a again relatively thin but flat seal 15, which lies on the same plane as the seal 14, but is spaced apart from it all around such that a frame-like free space 16 remains between the two seals 14 and 15.

Die Dichtungen 13, 14 und 15 können auch andere als die gezeichneten Querschnittsformen haben. So können sie bspw. mit Rundquerschnitt vorgesehen werden; sie können aber auch eine sich verjüngende, z.B. trapezartige Querschnittsgestalt erhalten.The seals 13, 14 and 15 can also have cross-sectional shapes other than those shown. For example, they can be provided with a round cross-section; but they can also have a tapered, e.g. Get trapezoidal cross-sectional shape.

Der untere waagerechte Flansch der Tragschienen 2 und auch die hiervon gehaltene Abdeckung 4 wird von oben nach unten von Gewindebolzen 17 durchsetzt, die auch zugeordnete Löcher im oberen Flansch 12b des Einbaurahmens 12 durchgreifen können. Über Flügelmuttern 18, die mit den Gewindebolzen 17 als Spannelemente zusammenwirken, kann der Einbaurahmen 12 mit seinem oberen waagerechten Flansch 12b gegen die Dich­tung 15 und über diese gegen die Abdeckung 4 abdichtend verspannt werden. Durch das Anziehen der Spannelemente wer­den dabei über den Einbaurahmen 12 zugleich auch die Dich­tung 13 zwischen dem unteren waagerechten Flansch 12a und dem Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 sowie auch die Dichtung 14 zwischen dem Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 und der Abdeckung 4 unter abdichtende Vorspannung ge­setzt. Der Freiraum 16 zwischen den beiden Dichtungen 14 und 15 steht mit dem Spaltraum 19 in Verbindung welcher zwi­schen der äußeren Umfangsfläche des Rahmens 11 und der In­nenfläche des Steges 12c am Einbaurahmen 12 eingeschlossen ist.The lower horizontal flange of the mounting rails 2 and also the cover 4 held thereby are penetrated from top to bottom by threaded bolts 17, which can also pass through assigned holes in the upper flange 12b of the mounting frame 12. The mounting frame 12 can be clamped with its upper horizontal flange 12b against the seal 15 and via this against the cover 4 in a sealing manner via wing nuts 18, which cooperate with the threaded bolts 17 as clamping elements. By tightening the tensioning elements, the seal 13 between the lower horizontal flange 12a and the frame 11 of the suspended matter filter 10 and also the seal 14 between the frame 11 of the suspended matter filter 10 and the cover 4 are also below via the mounting frame 12 sealing preload set. The free space 16 between the two seals 14 and 15 is connected to the gap 19 which is enclosed between the outer circumferential surface of the frame 11 and the inner surface of the web 12c on the mounting frame 12.

Der Deckenhohlraum 9 oberhalb der Abdeckung und um den Druckkasten 6 herum wird ständig unter einem Unterdruck gehalten. Dieser Unterdruck wirkt dabei durch in der Abdek­kung 4 vorgesehene Schlitze 20, Löcher oder ähnliche Durch­brüche auf den Freiraum 16 im Abstandsbereich zwischen den beiden Dichtungen 14 und 15 ein. Für den Fall, daß sich im Bereich zwischen der Dichtung 14 , der Stirnfläche 11b des Rahmens 11 und der Abdeckung 4 bzw. dem Druckkasten aus irgendwelchen Gründen Lecks ausbilden sollten, wird die hierdurch als Leckluft in den Freiraum 16 und den Spaltraum 19 gelangende Rohluft durch die Schlitze 20 oder dergleichen in den Deckenhohlraum 9 abgesaugt und kann daher nicht in den Reinraum gelangen. Nur die durch das Schwebstoff-Filter 10 hindurchgegangene Reinluft kann daher mit nach abwärts gerichteter Strömung in den Reinraum eintreten.The ceiling cavity 9 above the cover and around the pressure box 6 is constantly kept under negative pressure. This negative pressure acts on the free space 16 in the spacing area between the two seals 14 and 15 through slots 20, holes or similar openings provided in the cover 4. In the event that leaks should develop in the area between the seal 14, the end face 11b of the frame 11 and the cover 4 or the pressure box for any reason, the raw air thereby entering the free space 16 and the gap 19 is leaked through the slots 20 or the like are sucked into the ceiling cavity 9 and therefore cannot get into the clean room. Only the clean air that has passed through the suspended matter filter 10 can therefore enter the clean room with the flow directed downward.

Insbesondere in der Fig. 4 sind noch Mittel aufgezeigt, welche einerseits die frei nach unten auskragenden Flächen der Schwebstoff-Filter abdecken und so vor Beschädigungen schützen, andererseits aber bei starken Einwirkungen zumin­dest sinnfällig anzeigen, daß solche Beschädigungen erfolg­ten oder stattgefunden haben können. Gleichzeitig wird durch diese weiteren Einbauten erreicht, daß die aus den Schweb­stoff-Filtern 10 austretende gefilterte Reinluft ohne we­sentliche Turbulenzen dem Reinraum von oben zugeführt wird und als praktisch gleichförmige Kolbenströmung unter Vermei­dung von Turbulenzen sich von oben nach unten bewegt.In particular, FIG. 4 also shows means which, on the one hand, cover the freely downwardly projecting surfaces of the suspended matter filters and thus protect them from damage, but on the other hand, in the case of strong impacts, at least give a sensible indication that such damage has occurred or may have occurred. At the same time, these further installations ensure that the filtered clean air emerging from the suspended matter filters 10 is fed to the clean room from above without substantial turbulence and moves from top to bottom as a practically uniform piston flow, avoiding turbulence.

Wie bereits beschrieben sind die Schwebstoff-Filter 10 ver­mittels von Einbaurahmen 12 gegen plattenartige Abdeckungen 4 verspannt, die eine wesentlich größere Grundfläche aufwei­sen als die Austrittsfläche der Schwebstoff-Filter 12 be­trägt. Benachbarte plattenartige Abdeckungen können hierbei miteinander verbunden werden, indem abgekantete Randstreifen 30 derselben, vorzugsweise über Dichtungen, vermittels von Schrauben 31 gegeneinander verspannt sind. Die Stoßstelle der Abdeckungen 4 wird von Bügeln 33 oder U-förmig profi­lierten Leisten unterfangen, die mit den Abdeckungen 4 ver­mittels von Schrauben 32 verbunden sind. Bohrungen der Bügel 33 werden von mit ihnen verschraubten Spannstäben 34 durch­griffen, die über ein Distanzrohr 35 in eine Gewindemuffe 36 einer Tragplatte 37 eingreifen. Gegen die Unterseite der Tragplatte 37 sind Rechteck-Rahmen 38 verspannt, die aus Winkelprofilen 39 mit einem nach innen weisenden horizonta­len und einem nach unten weisenden vertikalen Schenkel be­stehen, und deren Ecken durch Knotenbleche 40 ausgesteift sind. Vermittels von in weitere Gewindemuffen 43 der Trag­platte 37 eingreifenden Spannschrauben 42 sind die Recht­eck-Rahmen 38 von unten gegen die Tragplatte 37 gespannt. Gegebenenfalls sind die Stoßstellen 44 der Rechteck-Rahmen 38 über in der Fig. nicht dargestellte Dichtungen gegenein­ander abgedichtet, insbesondere, wenn Spezialprofile benutzt werden, welche zur Aufnahme solcher Dichtungen vorgesehene Nuten aufweisen.As already described, the suspended matter filters 10 are braced by means of installation frames 12 against plate-like covers 4 which have a substantially larger base area than the outlet area of the suspended matter filters 12. Adjacent plate-like covers can be connected to one another in that bent edge strips 30 of the same, preferably via seals, are braced against one another by means of screws 31. The joint of the covers 4 is underpinned by brackets 33 or U-shaped strips, which are connected to the covers 4 by means of screws 32. Bores of the bracket 33 are penetrated by tension rods 34 screwed to them, which engage in a threaded sleeve 36 of a support plate 37 via a spacer tube 35. Rectangular frames 38 are braced against the underside of the support plate 37, which consist of angle profiles 39 with an inwardly pointing horizontal and a downwardly pointing vertical leg, and the corners of which are stiffened by gusset plates 40. By means of clamping screws 42 engaging in further threaded sleeves 43 of the support plate 37, the rectangular frames 38 are clamped against the support plate 37 from below. Optionally, the joints 44 of the rectangular frame 38 are sealed off from one another by seals, not shown in the figure, in particular when special profiles are used which have grooves provided for receiving such seals.

Die nach unten weisende freie Fläche der Rechteck-Rahmen ist von einer Gewebebahn 41 unterfangen, die zweckmäßig mit den nach unten weisenden Stirnflächen der Winkelprofile 39 sowie gegebenenfalls den Knotenblechen 40 verklebt ist. Hierbei auftretende Verspannungen können vermieden werden, indem die die Rechteck-Rahmen 38 bildenden Profile vor dem Aufspannen der Gewebebahn 41 leicht nach außen durchgebogen werden, so daß die elastische Spannung der beim Aufkleben rückverform­ten Winkelprofile die Gewebebahn 41 gespannt erhält.The downward-facing free surface of the rectangular frame is underpinned by a fabric web 41, which is expediently glued to the downward-facing end faces of the angle profiles 39 and, if appropriate, the gusset plates 40. Tensions occurring in this way can be avoided by the profiles forming the rectangular frames 38 before the clamping the fabric web 41 can be bent slightly outwards, so that the elastic tension of the angular profiles that are deformed when glued on maintains the fabric web 41 under tension.

Aufgabengemäß wird hierbei nicht nur die an sich ungeschütz­te freie Austrittsfläche der Schwebstoff-Filter 10 vor Be­schädigungen geschützt bzw. werden solche Beschädigungen sinnfällig angezeigt, indem in der glatten Spannfläche der Gewebebahnen Schäden erkennbar werden. Wesentlich ist hier­bei auch, daß die Vielzahl kleiner Maschen der Gewebebahn 41 einen merklichen Strömungswiderstand darstellt, so daß die aus dem Schwebstoff-Filter 10 austretende gefilterte Luft zwischen der Austrittsfläche und der plattenartigen Abdek­kung 4 einerseits und der Gewebebahn 41 andererseits einen geringen Druckstau erfährt, der seinerseits wiederum dafür sorgt, daß die auf ihrer Oberseite mit praktisch gleichför­migem Druck beaufschlagte Gewebebahn 41 durch ihre Maschen gleiche Luftströme hindurchläßt, so daß praktisch über die gesamte obere Raumfläche die gefilterte Reinluft mit kon­stanter Strömungsgeschwindigkeit sich nach unten bewegt und nur im Bereiche der Knotenbleche 40 und der unteren Stirn­flächen der Winkelprofile 39 geringfügige Störstellen im Strömungsfeld auftreten, die schon in geringem Abstande unterhalb der Rechteckrahmen 38 sich ausgleichen. Die derart bewirkte turbulenzarme Strömung sorgt dafür, daß in den Reinraum gelangende Partikel nicht durch Querströmungen weitertransportiert und durch Turbulenzen wieder aufgewir­belt werden können, sondern vielmehr auf direktem Wege nach unten ausgeschieden werden.According to the task, not only the unprotected free exit surface of the suspended matter filter 10 is protected from damage, or such damage is indicated by the fact that damage can be seen in the smooth clamping surface of the fabric webs. It is also important here that the large number of small meshes of the fabric web 41 represents a noticeable flow resistance, so that the filtered air emerging from the suspended matter filter 10 between the outlet surface and the plate-like cover 4 on the one hand and the fabric web 41 on the other hand experiences a slight pressure build-up which in turn, ensures that the fabric web 41, which is subjected to a practically uniform pressure on its upper side, allows the same air flows through its meshes, so that the filtered clean air moves downward at a constant flow rate practically over the entire upper surface area and only in the area of the gusset plates 40 and of the lower end faces of the angle profiles 39, minor impurities occur in the flow field, which compensate for one another even at a short distance below the rectangular frame 38. The low-turbulence flow caused in this way ensures that particles entering the clean room cannot be transported further by cross-flows and can be whirled up again by turbulence, but rather are discharged directly downwards.

Die in Fig. 5 der Zeichnung dargestellte Bauart eines Fil­termoduls unterscheidet sich von derjenigen nach den Fig. 1 bis 4 im wesentlichen dadurch, daß nicht nur der Druckkasten 6, sondern auch das diesem vorgelagerte Schwebstoff-Filter 10 und der dieses enthaltende Rahmen 11 hinter die Ebene der Abdeckungen 4 der Decken-Unterkonstruktion verlegt sind.The type of filter module shown in FIG. 5 of the drawing differs from that of FIGS. 1 to 4 essentially in that not only the pressure box 6, but also the upstream suspended particle filter 10 and the frame 11 containing it are laid behind the plane of the covers 4 of the ceiling substructure.

Es fehlt bei diesem Filtermodul der Einbaurahmen 12 mit den Z-förmig profilierten Schenkeln. Stattdessen wird dort ein im wesentlichen flacher Dichtrahmen 21 benutzt, der vermit­tels von Spannelementen, die aus Gewindebolzen 17 und Flü­gelmuttern 18 bestehen können, angepreßt ist.This filter module lacks the mounting frame 12 with the Z-shaped legs. Instead, an essentially flat sealing frame 21 is used there, which is pressed by means of clamping elements, which can consist of threaded bolts 17 and wing nuts 18.

Die Dichtung 14 beim Filtermodul nach Fig. 5 hat die gleiche Anordnung und Ausbildung wie beim Filtermodul nach den Fig. 1 bis 4, d.h., sie ist dort zwischen dem die Öffnungsseite des Druckkastens 6 begrenzenden Flanschrahmen 22 und der ihm zugewendeten, ebenen Stirnfläche 11b des das Schwebstoff-­Filter 10 umgebenden Rahmens 11 eingespannt.The seal 14 in the filter module according to FIG. 5 has the same arrangement and design as in the filter module according to FIGS. 1 to 4, that is, it is there between the flange frame 22 delimiting the opening side of the pressure box 6 and the flat end face 11b facing it the suspended matter filter 10 surrounding frame 11 clamped.

Auch die Dichtung 13 hat dort die gleiche Einbaulage wie im Falle des Ausführungsbeispiels nach Fig. 4, d.h., sie ist der abwärts gerichteten, ebenen Stirnfläche 11a des Rahmens 11 zugeordnet.The seal 13 there also has the same installation position as in the case of the exemplary embodiment according to FIG. 4, i.e. it is assigned to the downward, flat end face 11a of the frame 11.

Die Dichtung 15 liegt nach Fig. 5 jedoch nicht in gleicher Ebene mit der Dichtung 14, sondern vielmehr in gleicher Ebene mit der Dichtung 13 an der Unterseite der Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion an. Beide Dichtungen 13 und 15 wirken hier mit dem Dichtrahmen 21 zusammen, welcher über die Spannelemente 17/18 verspannbar ist und dabei den Frei­raum 16 zwischen den beiden Dichtungen 13 und 15 zum Rein­raum hin abschließt.5, however, the seal 15 does not lie in the same plane with the seal 14, but rather in the same plane with the seal 13 on the underside of the cover 4 of the ceiling substructure. Both seals 13 and 15 cooperate here with the sealing frame 21, which can be clamped via the clamping elements 17/18 and thereby closes the free space 16 between the two seals 13 and 15 to the clean room.

Über Schlitze 20, die zwischen der Begrenzungskante des Ausschnittes 5 in der Abdeckung 4 sowie der äußeren Umfangs­fläche des das Schwebstoff-Filter 10 umgebenden Rahmens 11 freibleiben, steht der Freiraum 16 ständig mit dem unter Unterdruck gehaltenen Hohlraum 9 in Verbindung.Via slots 20, which remain free between the boundary edge of the cutout 5 in the cover 4 and the outer circumferential surface of the frame 11 surrounding the suspended matter filter 10, the free space 16 is in constant communication with the cavity 9 which is kept under vacuum.

Eventuell am Dichtungselement 14 aus dem Druckkasten 6 vor­bei gelangende Rohluft kann also nicht in den Reinraum ein­treten, sondern wird spätestens aus dem Bereich des Freirau­mes 16 zwischen den beiden Dichtungselementen 13 und 15 und dem Dichtrahmen 21 in den Deckenhohlraum 9 abgesaugt.Any untreated air possibly passing the sealing element 14 from the pressure box 6 cannot enter the clean room, but is sucked out at the latest from the area of the free space 16 between the two sealing elements 13 and 15 and the sealing frame 21 into the ceiling cavity 9.

Eine dem Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 bis 4 ähnliche Bauart eines Filtermoduls ist in Fig. 6 dargestellt.A type of filter module similar to the embodiment of FIGS. 1 to 4 is shown in FIG. 6.

Bei diesem Filtermodul wird jedoch zwischen dem Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10, dem Druckkasten 6 und der Ab­deckung 4 der Decken-Unterkonstruktion nur eine Dichtung eingebaut und mit Hilfe des Spannrahmens 24 und der Spanne­lemente 17/18 unter Vorspannung gesetzt.In this filter module, however, only one seal is installed between the frame 11 of the suspended matter filter 10, the pressure box 6 and the cover 4 of the ceiling substructure and is pretensioned with the aid of the tensioning frame 24 and the tensioning elements 17/18.

Die Dichtung 23 hat dabei im wesentlichen einen Rinnenquer­schnitt mit zwei parallelen Dichtungsstegen 23a und 23b, von denen der eine am Flanschrahmen 22 des Druckkastens 6 und der andere nahe dem Ausschnitt 5 an der Abdeckung 4 zur Anlage kommt. Der zwischen den beiden Dichtungsstegen 23a und 23b befindliche Rinnenteil begrenzt dabei den Freiraum 16, welcher durch den Schlitz 20 zwischen dem Flanschrahmen 22 des Druckkastens 6 und dem Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 mit dem Deckenhohlraum 9 in ständiger Absaugverbindung steht. Auch hier kann am Dichtungssteg 23a der Dichtung 23 als Leckluft vorbeigelangende Rohluft nicht in den Reinraum gelangen, sondern sie wird vielmehr aus dem Freiraum 16 innerhalb der Dichtung 23 abgeführt.The seal 23 has essentially a channel cross section with two parallel sealing webs 23a and 23b, one of which comes to rest on the flange frame 22 of the pressure box 6 and the other near the cutout 5 on the cover 4. The channel part located between the two sealing webs 23a and 23b delimits the free space 16, which is in constant suction connection through the slot 20 between the flange frame 22 of the pressure box 6 and the cutout 5 of the cover 4 with the ceiling cavity 9. Here, too, raw air passing by at the sealing web 23a of the seal 23 as leakage air cannot get into the clean room, but rather is discharged from the free space 16 within the seal 23.

Gegenüber dem Filtermodul nach den Fig. 1 bis 4 ergibt sich beim Filtermodul nach Fig. 6 nicht nur dadurch eine bauliche Vereinfachung, daß anstelle dreier Dichtungen nur eine, nämlich eine Rinnenprofil-Dichtung 23, benutzt wird. Viel­mehr kann hier auch der Einbaurahmen 12 eingespart werden, weil die Spannelemente 17/18, die bspw. jeweils aus einem Gewindebolzen 17 und einer Flügelmutter 18 bestehen, mit dem einfachen flachen Spannrahmen 24 zusammenwirken können, der an den Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 angreift.Compared to the filter module according to FIGS. 1 to 4, the filter module according to FIG. 6 does not only result in a structural simplification in that only one, namely a channel profile seal 23, is used instead of three seals. Rather, the installation frame 12 can also be saved here because the tensioning elements 17/18, which each consist, for example, of a threaded bolt 17 and a wing nut 18, can interact with the simple flat tensioning frame 24, which is attached to the frame 11 of the suspended matter filter 10 attacks.

Eine dem Filtermodul nach Fig. 5 ähnliche Bauart für ein Filtermodul ist wiederum in Fig. 7 der Zeichnung gezeigt. Auch hier ist außer dem Druckkasten 6 zusätzlich das Schweb­stoff-Filter 10 mit seinem Rahmen 11 hinter die Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion zurückverlegt eingebaut.A design similar to the filter module according to FIG. 5 for a filter module is again shown in FIG. 7 of the drawing. Here too, in addition to the pressure box 6, the suspended matter filter 10 with its frame 11 is also installed behind the cover 4 of the ceiling substructure.

Unterschiedlich bei dem Filtermodul nach Fig. 7 ist jedoch gegenüber der Bauart nach Fig. 6, daß nur die beiden Dich­tungen 13 und 14 vorgesehen sind, während die dritte Dich­tung 15 sowie der Dichtrahmen 21 entfallen.7 is different from the design according to FIG. 6 in that only the two seals 13 and 14 are provided, while the third seal 15 and the sealing frame 21 are omitted.

Über die Spannelemente 17/18, welche auch hier aus Gewinde­bolzen und Flügelmuttern bestehen können, wird der Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 mittels der beiden Dichtungen 13 und 14 unmittelbar zwischen der Abdeckung 4 der Decken-Un­terkonstruktion sowie dem Flanschrahmen 22 des Druckkastens 6 festgespannt.The frame 11 of the suspended matter filter 10 is clamped directly between the cover 4 of the ceiling substructure and the flange frame 22 of the pressure box 6 via the clamping elements 17/18, which can also consist of threaded bolts and wing nuts here, by means of the two seals 13 and 14 .

Insbesondere die an der Dichtung 14 möglicherweise als Leck­luft vorbeitretende Rohluft gelangt hier unmittelbar in den auf Unterdruck gehaltenem Deckenhohlraum 9, kann also nicht in den Reinraum eindringen.In particular, the untreated air possibly passing the seal 14 passes here directly into the ceiling cavity 9, which is kept under negative pressure, and therefore cannot penetrate into the clean room.

Die Fig. 8 zeigt eine gegenüber Fig. 4 abgewandelte, baulich wesentlich vereinfachte Ausgestaltung für Filtermodule, die in Reinraum-Filterdecken Verwendung finden.FIG. 8 shows an embodiment, which is modified in comparison to FIG. 4 and is structurally significantly simplified, for filter modules which are used in clean room filter ceilings.

Hinter der plattenförmigen Abdeckung 4 der Decken-Unterkon­struktion liegt auch hier ein Druckkasten 6, der mit seiner Öffnung an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 anschließt. Umgeben ist der Druckkasten 6 oberhalb der Abdeckung 4 vom Deckenhohlraum 9.Behind the plate-shaped cover 4 of the ceiling substructure there is also a pressure box 6 which connects with its opening to the cutout 5 of the cover 4. The pressure box 6 is surrounded by the ceiling cavity 9 above the cover 4.

An den Druckkasten 6 bzw. an den Ausschnitt 5 der Abdeckung 4 schließt sich das Schwebstoff-Filter 10 an, welches vom Rahmen 11 aus starrem, druckdichten Material umfaßt ist.At the pressure box 6 or at the cutout 5 of the cover 4, the suspended matter filter 10 connects, which is surrounded by the frame 11 made of rigid, pressure-tight material.

Die obere Stirnfläche 11b des Rahmens 11 trägt einen Kragen 25, der bspw. aus Blech besteht und mindestens an seinem äußeren Rand zur Versteifung bzw. Stabilisierung abgewinkelt ausgebildet ist. Der Kragen 25 ist an der Stirnfläche 11b des Rahmens 11 befestigt, bspw. festgeschraubt. Seine Pro­filbreite ist dabei größer bemessen als die Wanddicke des Rahmens 11, dergestalt, daß er die Außenkontur des Rahmens 11 um ein beträchtliches Maß überragt, wie das deutlich der Fig. 8 entnommen werden kann.The upper end face 11b of the frame 11 carries a collar 25 which, for example, consists of sheet metal and is angled at least on its outer edge for stiffening or stabilization. The collar 25 is fastened, for example screwed, to the end face 11b of the frame 11. Its profile width is larger than the wall thickness of the frame 11, such that it projects beyond the outer contour of the frame 11 by a considerable amount, as can be clearly seen in FIG. 8.

Die Hauptebene des Kragens 25 erstreckt sich parallel zur plattenförmigen Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion. Er bildet die Andruckfläche für zwei Dichtungen 14 und 15, welche etwa auf gleicher Ebene liegen und dabei rundum einen solchen Abstand voneinander haben, daß sie zwischen sich einen rahmenartigen Freiraum 16 begrenzen.The main plane of the collar 25 extends parallel to the plate-shaped cover 4 of the ceiling substructure. It forms the pressure surface for two seals 14 and 15, which lie approximately on the same plane and are spaced apart from one another all around such that they delimit a frame-like free space 16 between them.

Die Dichtung 14 liegt dabei am Kragen 25 im Bereich vor der Stirnfläche 11b des Rahmens 11, während die Dichtung 15 auf dem die Außenkontur des Rahmens 11 überragenden Abschnitt des Kragens 25 zu liegen kommt.The seal 14 lies on the collar 25 in the region in front of the end face 11b of the frame 11, while the seal 15 comes to rest on the section of the collar 25 which projects beyond the outer contour of the frame 11.

Mit Hilfe des Kragens 25 werden die Dichtungen 14 und 15 gegen die Abdeckung 4 der Decken-Unterkonstruktion abdich­tend verspannt. Hierbei können als Spannelemente Gewindebol­zen 17 und Flügelmuttern 18 Verwendung finden, wie sie in Fig. 4 dargestellt sind. Diese Spannelemente können dabei entweder unmittelbar zwischen dem Kragen 25 des Rahmens 11 und der Decken-Unterkonstruktion wirksam gemacht werden, in ähnlicher Weise, wie das Fig. 4 zeigt. Sie können aber auch eine Anordnung und Ausbildung erhalten, wie das bspw. aus Fig. 6 der Zeichnung ersichtlich ist.With the help of the collar 25, the seals 14 and 15 are clamped in a sealing manner against the cover 4 of the ceiling substructure. Here, threaded bolts 17 and wing nuts 18 can be used as clamping elements, as shown in FIG. 4. These tensioning elements can either be made effective directly between the collar 25 of the frame 11 and the ceiling substructure, in a similar manner, as shown in FIG. 4. But you can also get an arrangement and training, as can be seen, for example, from Fig. 6 of the drawing.

Wesentlich ist in jedem Falle, daß der rahmenartige Freiraum 16 zwischen den Dichtungen 14 und 15 und dem Kragen 25 durch in der Abdeckung 4 vorgesehene Schlitze 20, Löcher oder ähnliche Durchbrüche mit dem Deckenhohlraum 9 oberhalb der Abdeckung 4 in Verbindung steht, welcher ständig unter einem Unterdruck gehalten ist.It is essential in any case that the frame-like free space 16 between the seals 14 and 15 and the collar 25 through slots 20 provided in the cover 4, holes or similar openings with the ceiling cavity 9 above the cover 4, which is constantly under one Negative pressure is maintained.

Die Bauart des Filtermoduls nach Fig. 8 ist gegenüber derje­nigen nach Fig. 4 beträchtlich vereinfacht, weil demgegen­über nicht nur der Einbaurahmen 12, sondern auch die zwi­schen diesem und der unteren Stirnfläche 11a des Rahmens 11 vorgesehen Dichtung 13 eingespart werden können.The design of the filter module according to FIG. 8 is considerably simplified compared to that according to FIG. 4, because, in contrast, not only the mounting frame 12 but also the seal 13 provided between this and the lower end face 11a of the frame 11 can be saved.

Bei der Reinraum-Filterdecke nach den Fig. 9 und 10 ist un­mittelbar unterhalb der Gebäudedecke ein Druckraum 26 vorge­sehen, d.h., es ist hier kein besonderer Druckkasten ange­ ordnet. Diesem Druckraum 26 ist der Decken- bzw. Wandhohl­raum 9 insgesamt vorgelagert, wie das deutlich der Fig. 9 entnommen werden kann.In the clean room filter ceiling according to FIGS. 9 and 10, a pressure chamber 26 is provided immediately below the building ceiling, ie there is no special pressure box here arranges. Overall, the ceiling or wall cavity 9 is upstream of this pressure chamber 26, as can be clearly seen in FIG. 9.

Wichtig bei dieser Ausgestaltung eines Filtermoduls ist dabei, daß der Decken- bzw. Wandhohlraum 9 über seine Bau­tiefe den das Schwebstoff-Filter 10 umfassenden Rahmen 11 aufnimmt.It is important in this embodiment of a filter module that the ceiling or wall cavity 9 accommodates the frame 11 comprising the suspended matter filter 10 over its overall depth.

Innerhalb des von einem Unterdruck beaufschlagten Decken­hohlraums 9 ist der Rahmen 11 des Schwebstoff-Filters 10 mittels des Dichtrahmens 21 über die Spannelemente 17/18 austauschbar gehalten, wobei die die äußere Begrenzung des Decken- bzw. Wandhohlraums 9 bildende Abdeckung 4 einen parallel zur äußeren Begrenzungsfläche des Rahmens 11 abge­winkelten Begrenzungsrand 27 hat, die in den Decken- bzw. Wandhohlraum hineinragt.Within the ceiling cavity 9, which is acted upon by a vacuum, the frame 11 of the suspended matter filter 10 is held interchangeably by means of the sealing frame 21 via the tensioning elements 17/18, the cover 4 forming the outer boundary of the ceiling or wall cavity 9 being parallel to the outer boundary surface of the frame 11 has angled boundary edge 27 which projects into the ceiling or wall cavity.

Der Druckraum 26 ist gegen den Decken- bzw. Wandhohlraum 9 durch eine Abdeckung 28 druckdicht abgegrenzt. welche eben­falls einen abgewinkelten Begrenzungsrand 29 hat, der in den Druckraum 26 hineinragt.The pressure chamber 26 is delimited pressure-tight against the ceiling or wall cavity 9 by a cover 28. which also has an angled boundary edge 29 which projects into the pressure chamber 26.

Die Abdeckung 28 für den Druckraum 26 ist so bemessen, daß ihr Begrenzungsrand 29 bei in den Decken- bzw. Wandhohlraum 9 eingesetztem Schwebstoff-Filter 10 den Rahmen 11 desselben etwa um dessen Wanddicke übergreift, so daß der Begrenzungs­rand 29 etwa auf gleicher Ebene mit der Innenfläche des Rahmens 11 zu liegen kommt, wie das die Fig. 9 deutlich erkennen läßt.The cover 28 for the pressure chamber 26 is dimensioned such that its boundary edge 29 overlaps the frame 11 of the same when the suspended matter filter 10 is inserted into the ceiling or wall cavity 9, so that the boundary edge 29 is approximately at the same level with the Inner surface of the frame 11 comes to rest, as can be clearly seen in FIG. 9.

Die Anordnung der drei Dichtungen 13, 14 und 15 relativ zum Schwebstoff-Filter 10 bzw. zu dessen Rahmen 11 sowie zum Druckraum 26 und zum Decken- bzw. Wandhohlraum 9 entspricht im wesentlichen der Anordnung, wie sie bereits vorstehend in Verbindung mit Fig. 5 der Zeichnung erläutert worden ist.The arrangement of the three seals 13, 14 and 15 relative to the suspended matter filter 10 or to its frame 11 as well as to the pressure chamber 26 and to the ceiling or wall cavity 9 essentially corresponds to the arrangement as already described above in connection with FIG. 5 the drawing has been explained.

Die Dichtung 13 liegt zwischen der unteren, ebenen Stirn­fläche 11a des das Schwebstoff-Filter 10 enthaltenden Rah­mens 11 und dem Dichtrahmen 21. Die Dichtung 14 ist zwischen der oberen, ebenen Stirnfläche 11b des Rahmens 11 und der Abdeckung 28 des Druckraumes 26 vorgesehen. Die Dichtung 15 befindet sich schließlich zwischen der Abdeckung 4 des Dek­ken- bzw. Wandhohlraums 9 und dem Dichtrahmen 21.The seal 13 lies between the lower, flat end face 11a of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 and the sealing frame 21. The seal 14 is provided between the upper, flat end face 11b of the frame 11 and the cover 28 of the pressure chamber 26. The seal 15 is finally located between the cover 4 of the ceiling or wall cavity 9 and the sealing frame 21.

Der von den beiden Dichtungen 13 und 15 und dem Dichtrahmen 21 eingegrenzte Freiraum 16 steht durch den Abstandsspalt zwischen dem abgewinkelten Begrenzungsrand 27 der Abdeckung 4 und der äußeren Begrenzungsfläche des das Schwebstoff-Fil­ter 10 enthaltenden Rahmens 11 ständig mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum 9 in Verbindung. In den Freiraum 16 gelangende Leckluft wird daher sicher in den Decken- bzw. Wandhohlraum 9 abgezogen. Auch Leckluft, die an der oberen Dichtung 14 vorbeigeht, wird in diesem Decken-bzw. Wandhohlraum 9 abge­saugt, kann also nicht am Schwebstoff-Filter 10 vorbei in den Reinraum gelangen.The space 16 delimited by the two seals 13 and 15 and the sealing frame 21 is constantly in contact with the ceiling or wall cavity 9 in through the spacing gap between the angled boundary edge 27 of the cover 4 and the outer boundary surface of the frame 11 containing the suspended matter filter 10 Connection. Leakage air entering the free space 16 is therefore safely drawn off into the ceiling or wall cavity 9. Leakage air that passes the upper seal 14 is also in this ceiling or. Aspirated wall cavity 9, can not get past the suspended matter filter 10 in the clean room.

Zu erwähnen ist noch, daß die Dichtungen 13, 14 und 15 eine sich über einen Teil ihrer Dicke trapezartig verjüngende Querschnittsgestalt haben. Die Dichtungen 13 und 14 liegen dabei jeweils mit ihrer breiten Basisfläche an den ebenen Stirnflächen 11a und 11b des Rahmens 11 an, während ihre schmalere Kopffläche mit dem Dichtrahmen 21 bzw. der Abdek­kung 28 in Kontaktberührung steht.It should also be mentioned that the seals 13, 14 and 15 have a trapezoidal cross-sectional shape over part of their thickness. The seals 13 and 14 each rest with their broad base surface on the flat end faces 11a and 11b of the frame 11, while their narrower head surface is in contact with the sealing frame 21 or the cover 28.

Die Dichtung 15 ruht andererseits mit ihrer breiten Basis­fläche auf dem Dichtrahmen 21, während ihre schmalere Kopf­fläche an der Abdeckung 4 zur Anlage gebracht ist.The seal 15, on the other hand, rests with its broad base surface on the sealing frame 21, while its narrower head surface is brought into contact with the cover 4.

Mit Hilfe der Spannelemente 17/18 werden alle drei Dichtun­gen 13, 14 und 15 gemeinsam unter Dichtungsvorspannung ge­setzt und damit das Schwebstoff-Filter 10 über seinen Rahmen 11 innerhalb der Bautiefe des Decken- bzw. Wandhohlraums 9 austauschbar festgelegt.With the help of the tensioning elements 17/18, all three seals 13, 14 and 15 are placed together under prestressing of the gasket and thus the suspended matter filter 10 is fixed interchangeably via its frame 11 within the structural depth of the ceiling or wall cavity 9.

Um trotz der mit Abstand vorgesehenen Schwebstoff-Filter 10 eine innerhalb des Reinraumes gleichförmige, turbulenzarme Strömung zu erreichen, ist die Ebene der Schwebstoff-Filter 10 auch nach Fig. 9 unter Einhaltung eines Abstandes von Rechteckrahmen 38 unterfangen, die aus Profilstäben 39 ge­bildet sind, die ihrerseits eine feinmaschige Gewebebahn 41 tragen. Rechteckrahmen 38 können direkt und in gleicher Höhe aneinandergrenzen, wie dies rechtsseitig der Fig. 9 darge­stellt ist, sie können aber auch, bspw. zur Anpassung an die Raumgröße, höhenversetzt und teilweise überlappend angeord­net sein. Bei der Anpassung an vorgegebene Raumgrößen hat es sich jedoch bewährt, auf Rechteckrahmen 38 gleicher Größen nicht zu verzichten und den eigentlichen Angleich durch zusätzliche Füllbleche 49 zu bewirken, wie dieses die Fig. 11 darstellt.In order to achieve a uniform, low-turbulence flow within the clean room despite the spaced-apart suspended matter filter 10, the level of the suspended matter filter 10 is also underpinned in accordance with FIG. 9 while maintaining a distance from rectangular frames 38 which are formed from profile bars 39. which in turn carry a fine-mesh fabric web 41. Rectangular frames 38 can adjoin one another directly and at the same height, as is shown on the right-hand side of FIG. 9, but they can also be offset in height and partially overlapping, for example to adapt to the room size. When adapting to predetermined room sizes, however, it has proven useful not to do without rectangular frames 38 of the same sizes and to effect the actual adjustment by means of additional filler plates 49, as shown in FIG. 11.

Nach dieser Figur werden die Rechteckrahmen 38 durch Drei­eckprofile 45 gebildet, die in ihren verstärkten Endberei­chen Nute 46 zur Aufnahme von Dichtungen aufweisen. Verbun­den sind die einen Rechteckrahmen bildenden Dreieckprofile durch einen vorzugsweise würfelartig ausgebildeten Eckkörper 47, der an zwei Seiten mit Steckansätzen 48 ausgestattet ist, die das Hohlprofil der Dreieckprofile 45 füllend in deren Enden eingreifen. Damit bietet sich den Spannschrauben 42 jeweils ein fester Körper, der seinerseits die Profile vermittels der Steckansätze trägt.According to this figure, the rectangular frames 38 are formed by triangular profiles 45, which have grooves 46 in their reinforced end regions for receiving seals. The triangular profiles forming a rectangular frame are connected by a preferably cube-shaped corner body 47, which is equipped on two sides with plug-in lugs 48 which fill the hollow profile of the triangular profiles 45 engage their ends. This provides the clamping screws 42 each with a solid body, which in turn carries the profiles by means of the plug-in lugs.

Diese Eckkörper 47 können auch so ausgebildet werden, daß das Durchführen von Leitungen, bspw. elektrischen Leitungen oder Wasserzuleitungen von Sprinkleranlagen, möglich ist. Es kann sich empfehlen, die jeweils äußeren Kanten der Eckkör­per durch vertikal gerichtete viertelzylindrische Ausneh­mungen zu ersetzen.These corner bodies 47 can also be designed so that the passage of lines, for example electrical lines or water supply lines from sprinkler systems, is possible. It may be advisable to replace the outer edges of the corner bodies with vertically directed quarter-cylindrical recesses.

Zur Überbrückung der zur benachbarten Wand, im Ausführungs­beispiel einer Glaswand 52, verbleibenden Distanz ist ein Füllblech 49 vorgesehen, dessen eine Seite U-förmig abge­kantet und mit der Tragplatte 37 durch eine Spannschraube 42 verbunden ist. Am freien Ende des Füllbleches 49 ist ein Seitenstreifen 50 abgekantet, und mindestens die Grundfläche des Füllbleches 49 ist perforiert oder mit Ausnehmungen ausgestattet und mit einer Gewebebahn 41 überzogen, vorzugs­weise verklebt. Zweckmäßig schließt das Füllblech 49 bzw. dessen Seitenstreifen 50 nicht völlig an die Wand 52 an, so daß zwischen dem Seitenstreifen 50 und der Wand 52 ein Spalt 54 verbleibt. Zunächst einmal erleichtert ein solcher Spalt die Anpassung an die Querschnittsfläche des Raumes. Ein verbleibender, relativ geringer Spalt erweist sich als vor­teilhaft, da die Reinluft ihn mit größerer Geschwindigkeit durchsetzen kann als die feinmaschige Gewebebahn 41. Durch einen solchen Spalt wird damit entlang der Wände des Rein­raumes eine etwas höhere Strömungsgeschwindigkeit erzielt als in den übrigen Flächenbereichen, so daß der Wirkung der Dämpfung der Luftströmung durch die Reibung entlang der Wände begegnet wird. Im Falle breiter ausgebildeter Spalte 54 jedoch hat es sich bewährt, den Spalt mit einer transpa­renten Matte zu überfangen, welche die den Spalt 54 durch­ setzende Strömung auf eine Geschwindigkeit dämpft, die der der die Gewebebahn 41 durchsetzenden Strömung gleicht oder diese geringfügig überschreitet, um entlang der Wände des Reinraumes zunächst im oberen Bereiche etwas höhere Ge­schwindigkeiten zu erreichen. Im Ausführungsbeispiel ist der untere Bereich der als Streifen ausgeführten transparenten Matte 51 hinter dem Seitenstreifen 50 gelegt und gegebenen­falls dort befestigt, während der obere Bereich der trans­parenten Matte 51 mit der Glaswand 52 mittels eines Klebe­streifens 53 verbunden ist. Im Falle aus anderem Material gebildeter Wände lassen sich auch entsprechende Verbindungen durch Schrauben, Nägel oder dergleichen, gegebenenfalls unter Zuhilfenahme von Leisten, bspw. solchen aus Kunst­stoff, erwirken.To bridge the distance to the adjacent wall, in the exemplary embodiment of a glass wall 52, a filler plate 49 is provided, one side of which is bent in a U-shape and is connected to the support plate 37 by means of a clamping screw 42. At the free end of the filler plate 49, a side strip 50 is folded, and at least the base area of the filler plate 49 is perforated or provided with recesses and covered with a fabric web 41, preferably glued. The filler plate 49 or its side strip 50 expediently does not completely adjoin the wall 52, so that a gap 54 remains between the side strip 50 and the wall 52. First of all, such a gap makes it easier to adapt to the cross-sectional area of the room. A remaining, relatively small gap proves to be advantageous, since the clean air can pass through it at a higher speed than the fine-mesh fabric web 41. A gap of this type thus achieves a somewhat higher flow velocity along the walls of the clean room than in the other surface areas, so that the effect of damping the air flow is counteracted by the friction along the walls. In the case of wider gaps 54, however, it has proven useful to cover the gap with a transparent mat which passes through the gap 54 dampening flow to a speed which is equal to or slightly exceeds the flow passing through the fabric web 41 in order to initially achieve somewhat higher speeds along the walls of the clean room in the upper regions. In the exemplary embodiment, the lower region of the transparent mat 51 designed as a strip is placed behind the side strip 50 and optionally fastened there, while the upper region of the transparent mat 51 is connected to the glass wall 52 by means of an adhesive strip 53. In the case of walls formed from a different material, corresponding connections can also be achieved by means of screws, nails or the like, optionally with the aid of strips, for example those made of plastic.

Bewährt hat es sich beim Aufbau des Filtermoduls, die Auf­hängung desselben tunlichst zu vereinfachen. In Fig. 12 ist eine Aufhängung an Hängestäben 1 gezeigt, die vermittels von spannschloßartig wirkenden Gewindemuffen 64 hier verdeckte Spannstäbe 34 höhenverstellbar halten, die ihrerseits über­einander Tragplatten 37 und, vermittels von Stützplatten 58, in unterschiedlichen Höhen Blechleisten 59 tragen. Die Di­stanzen werden hierbei zweckmäßig vermittels von Distanz­rohren 56, 57 und 63 gewahrt, die über Muttern 55 gegenein­ander verspannt sind. Die Blechleisten 59 sind hierbei im wesentlichen U-förmig ausgebildet, wobei die Jochbreite höher bemessen ist als die Distanz der Schenkel des U-Pro­files, so daß im Jochbereich jeweils nach außen auskragende Leisten gebildet werden. Auf diese Leisten sind jeweils Dichtungsstreifen 60, 61 aufgebracht, auf welche Abdeckungen 4 bzw. 28 abgelegt sind, die ihrerseits wiederum, vermittels von Gewindebolzen 17 verspannt, die Rahmen 11 der Schweb­stoff-Filter 10 über Dichtungen verspannen. Auch hier werden mit Tragplatten 37 Rechteckrahmen 38 verspannt, die aus Dreieck-Winkelprofilen 45 bestehen, die vermittels von wür­felförmigen Eckkörpern 47 und deren Steckansätzen 48 mit­einander verbunden sind. Als Störungsstelle im Bereiche der die Gewebebahnen 41 durchsetzenden Strömung treten hier nur die unteren Flächen der Dreieckprofile 45 auf. Auch diese können noch in ihrer Auswirkung gemindert werden, indem, abweichend von der Darstellung der Fig. 12, die Rahmen mit einem geringen, einen Spalt bildenden Abstand mit der Trag­platte 37 verbunden sind, so daß zwischen den großflächigen, die Gewebebahnen 41 durchsetzenden Reinluftströmen schmale, intensivere Reinluftströme gebildet werden. Die weniger gedämpften, die Spalte durchsetzenden Strömungen können einerseits durch die Abstände der Rahmen eingestellt sein. Da jedoch stets die Gefahr der, wenn auch geringen, Durch­biegung der die Rechteckrahmen bildenden Stäbe besteht, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, diesen Spalt durch in Profilstäbe eingelegte Dichtungsstreifen zu begrenzen, die entweder, wenn eine völlige Abdichtung erwünscht wird, di­rekt aneinander bzw. an Auflageflächen des gegenüberlie­genden Rahmens anschließen. Soll hier jedoch zur Verminde­rung des Strömungsschattens ein direkter Reinluftdurchsatz gesichert werden, so hat es sich bewährt, Dichtungen zu verwenden, die entweder, bspw. vermittels von aufgesetzten Noppen oder vertikal verlaufenden Rippen, sich nur mit die­sen auf Auflagebereiche des angrenzenden Rahmens oder auch einer angrenzenden Wand auflegen, so daß zwischen den stüt­zenden Erhebungen der Dichtleisten Spalte verbleiben, deren Stärke der Erhöhung der Noppen bzw. Rippen entspricht und damit konstruktiv definiert ist.When building the filter module, it has proven useful to simplify the mounting of the filter module as much as possible. In Fig. 12 a suspension on hanging rods 1 is shown, which by means of tension lock-like threaded sleeves 64 hold hidden tension rods 34 adjustable in height, which in turn carry support plates 37 and, by means of support plates 58, sheet metal strips 59 at different heights. The distances are expediently maintained by means of spacer tubes 56, 57 and 63, which are braced against one another via nuts 55. The sheet metal strips 59 are essentially U-shaped, the yoke width being larger than the distance between the legs of the U-profile, so that in the yoke area, outwardly projecting strips are formed. Sealing strips 60, 61 are applied to each of these strips, on which covers 4 and 28 are placed, which in turn, clamped by means of threaded bolts 17, clamp the frame 11 of the suspended matter filter 10 via seals. Here, too, 37 rectangular frames 38 are braced with support plates, which are made of There are triangular angle profiles 45, which are connected to one another by means of cube-shaped corner bodies 47 and their plug-in extensions 48. Only the lower surfaces of the triangular profiles 45 appear here as the point of disturbance in the region of the flow passing through the fabric webs 41. These can also be reduced in their effect by, in contrast to the illustration in FIG. 12, the frames being connected to the support plate 37 at a small, gap-forming distance, so that narrow air streams passing through the fabric webs 41 narrow , more intensive clean air flows are formed. The less damped currents passing through the gaps can be adjusted on the one hand by the spacing of the frames. However, since there is always the risk of, albeit slight, deflection of the bars forming the rectangular frames, it has proven to be advantageous to limit this gap by means of sealing strips inserted into profiled bars, which either directly against one another or if complete sealing is desired. connect to contact surfaces of the opposite frame. However, if a direct clean air throughput is to be ensured here to reduce the flow shadow, it has proven to be useful to use seals that either, e.g. by means of attached knobs or vertically extending ribs, only with these on support areas of the adjacent frame or an adjacent one Place the wall so that gaps remain between the supporting elevations of the sealing strips, the thickness of which corresponds to the increase in the knobs or ribs and is therefore structurally defined.

Bewährt hat es sich noch, auf auskragende Jochstreifen der Blechleisten 49, zweckmäßig über Dichtungssstreifen 60, 61, abgestützte Abdeckungen 4, 28 durch Klammern bzw. Federn 62 zu sichern, welche auf die Schenkelenden der Blechleisten 59 aufgeklemmt sind. Bewährt hat es sich hierbei, auch die freien Enden der Schenkel nach innen ein- oder zweifach abzukanten, um einerseits die Belastbarkeit der Blechleisten 59 zu erhöhen und andererseits Verletzungen an scharfen Kanten derselben zu unterbinden.It has also proven useful to secure supported covers 4, 28 on cantilevered yoke strips of sheet metal strips 49, expediently via sealing strips 60, 61, by means of clamps or springs 62 which rest on the leg ends of sheet metal strips 59 are pinched. It has proven useful here to also fold the free ends of the legs inwards once or twice, on the one hand to increase the load-bearing capacity of the metal strips 59 and on the other hand to prevent injuries on sharp edges thereof.

Claims (23)

1. Filtermodul für Reinraumdecken und -wände oder derglei­chen, das von einem Druckraum und einem auf Unterdruck gehaltenen Decken- bzw. Wandhohlraum gebildet ist und ein Schwebstoff-Filter enthält, das mittels eines dieses umfassenden Rahmens über daran angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wandhohlraum austauschbar gegen den Druckraum festlegbar ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Decken- bzw. Wandhohlraum (9) dem Druckraum (26) insgesamt vorgelagert ist und über seine Bautiefe den das Schwebstoff-Filter (10) umfassenden Rahmen (11) aufnimmt,
daß mindestens zwei Abstand voneinander aufweisende Dich­tungsbereiche (14, 15; 13, 15; 23a, 23b; 13, 14) zwischen dem Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) und dem Druckraum (6) ausgebildet sind,
und daß der von diesen Dichtungsbereichen eingegrenzte Abstandsbereich (16) lediglich in den Decken- bzw. Wand­hohlraum (9) hinein offen ist (20).1. Filter module for clean room ceilings and walls or the like, which is formed by a pressure chamber and a ceiling or wall cavity kept under negative pressure and contains a suspended matter filter which, by means of a frame comprising this, acts on tensioning elements acting thereon and associated sealing elements for ceiling or interchangeable wall cavity against the pressure chamber,
characterized,
that the ceiling or wall cavity (9) is in front of the pressure chamber (26) as a whole and accommodates the frame (11) comprising the suspended matter filter (10) over its overall depth,
that at least two spaced sealing areas (14, 15; 13, 15; 23a, 23b; 13, 14) are formed between the frame (11) of the suspended matter filter (10) and the pressure chamber (6),
and that the spacing area (16) delimited by these sealing areas is only open (20) into the ceiling or wall cavity (9). 2. Filtermodul für Reinraumdecken und -wände oder derglei­chen, bestehend aus einem mit einem Anschlußstutzen ver­sehenen Druckkasten, der in einen auf Unterdruck gehal­tenen Decken- bzw. Wandhohlraum einsetzbar ist, und aus einem Schwebstoff-Filter, das mittels eines es umfassen­ den Rahmens über an diesen angreifende Spannelemente sowie zugehörige Dichtungselemente zum Decken- bzw. Wand­hohlraum austauschbar gegen den Druckkasten festlegbar ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens zwei Abstand voneinander aufweisende Dich­tungsbereiche (14, 15; 13, 15; 23a, 23b; 13, 14) zwischen dem Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) und dem Druckkasten (6) ausgebildet sind,
und daß der von diesen Dichtungsbereichen eingegrenzte Abstandsbereich (16) lediglich in den Decken- bzw. Wand­hohlraum (9) hinein offen ist (20).2. Filter module for clean room ceilings and walls or the like, consisting of a pressure box provided with a connecting piece, which can be inserted into a ceiling or wall cavity kept at negative pressure, and of a suspended matter filter, which comprise it by means of a filter the frame can be fixed interchangeably against the pressure box via tensioning elements acting on it as well as associated sealing elements to the ceiling or wall cavity,
characterized,
that at least two spaced sealing areas (14, 15; 13, 15; 23a, 23b; 13, 14) are formed between the frame (11) of the suspended matter filter (10) and the pressure box (6),
and that the spacing area (16) delimited by these sealing areas is only open (20) into the ceiling or wall cavity (9). 3. Filtermodul nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden Dichtungsbereiche (14, 15) wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend einerseits zwischen dem Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) und dem Druckkasten (6) sowie andererseits zwischen einer Anlage­fläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) und einem von den Spannelementen (17/18) erfaßbaren Andruckrahmen (12) vorgesehen sind,
und daß dabei der Andruckrahmen (12) als ein das Schweb­stoff-Filter (10) und seinen Rahmen (11) auf der ganzen Höhe aufnehmender Einbaurahmen ausgebildet ist (Fig. 1 bis 4).3. Filter module according to claim 2,
characterized,
that the two sealing areas (14, 15) lie at least approximately on the same level on the one hand between the frame (11) of the suspended matter filter (10) and the pressure box (6) and on the other hand between an abutment surface (4) of the ceiling or wall cavity ( 9) and a pressure frame (12) which can be grasped by the tensioning elements (17/18) are provided,
and in that the pressure frame (12) is designed as a mounting frame which receives the suspended matter filter (10) and its frame (11) over the entire height (FIGS. 1 to 4). 4. Filtermodul nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) durch eine zusätzliche, dritte Dichtung (13) an seiner dem Reinraum zugewendeten Stirnfläche (11a) mit dem Einbau­rahmen (12) in Kontaktberührung gehalten ist (12a; Fig. 1 bis 4).4. Filter module according to claim 3,
characterized,
that the frame (11) of the suspended matter filter (10) is held in contact with the mounting frame (12) by an additional, third seal (13) on its end face (11a) facing the clean room (12a; FIGS. 1 to 4) . 5. Filtermodul nach Anspruch 1 oder Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden Dichtungsbereiche (13, 15) wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegend, einerseits dem Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) und andererseits einer Anlagefläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) zugeordnet sind,
und daß ein das Schwebstoff-Filter (10) sowie den Decken- ­bzw. Wandhohlraum (9) unterfassender Dichtrahmen (21) mittels der Spannelemente (17/18) gleichzeitig gegen beide Dichtungsbereiche (13, 15) anpreßbar ist (Fig. 5 und 9).5. Filter module according to claim 1 or claim 2,
characterized,
that the two sealing areas (13, 15) are at least approximately on the same level, on the one hand assigned to the frame (11) of the suspended matter filter (10) and on the other hand to a contact surface (4) of the ceiling or wall cavity (9),
and that a sealing frame (21) enclosing the suspended matter filter (10) and the ceiling or wall cavity (9) can be pressed simultaneously against both sealing areas (13, 15) by means of the clamping elements (17/18) (FIGS. 5 and 9 ). 6. Filtermodul nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Rahmen (11) des Schwebstoff-Filters (10) durch eine zusätzliche - dritte - Dichtung (14) mit dem Druck­raum bzw. Druckkasten (26, 6) in Kontaktberührung gehal­ten ist (Fig. 5 und 9).6. Filter module according to claim 5,
characterized,
that the frame (11) of the particulate filter (10) is held in contact with the pressure chamber or pressure box (26, 6) by an additional - third - seal (14) (FIGS. 5 and 9). 7. Filtermodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß jeder Dichtungsbereich (13, 14, 15) von einem selb­ständigen Dichtungselement gebildet ist (Fig. 4, 5, 7, 8 und 9).7. Filter module according to one of claims 1 to 6,
characterized,
that each sealing area (13, 14, 15) is formed by an independent sealing element (Fig. 4, 5, 7, 8 and 9). 8. Filtermodul nach einem der Ansprüche 2, 3 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß beide Dichtungsbereiche (23a, 23b) an einem gemein­samen Dichtungselement (23) ausgebildet sind, das vor­zugsweise ein Rinnenprofil aufweist (Fig. 6).8. Filter module according to one of claims 2, 3 and 5,
characterized,
that both sealing areas (23a, 23b) are formed on a common sealing element (23), which preferably has a channel profile (Fig. 6). 9. Filtermodul nach Anspruch 1 oder Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß beide Dichtungselemente (13, 14) den voneinander abgewendeten Enden (11a und 11b) des Rahmens (11) des Schwebstoff-Filters (10) zugeordnet sind,
daß der obere Dichtungsbereich (14) am Druckraum bzw. Druckkasten (26, 6) und der untere Dichtungsbereich (13) an einer Stützfläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) anlegbar ist, und daß dabei die Stützfläche (4) des Dekken- bzw. Wandhohlraums (9) und der Druckraum bzw. Druckkasten (26, 6) durch Spannelemente (17/18) gegenein­ander und gegen die Dichtungsbereiche (13, 14) verspann­bar sind.9. Filter module according to claim 1 or claim 2,
characterized,
that both sealing elements (13, 14) are assigned to the mutually facing ends (11a and 11b) of the frame (11) of the suspended matter filter (10),
that the upper sealing area (14) on the pressure chamber or pressure box (26, 6) and the lower sealing area (13) on a support surface (4) of the ceiling or wall cavity (9) can be applied, and that the support surface (4) the ceiling or wall cavity (9) and the pressure chamber or pressure box (26, 6) can be clamped against one another and against the sealing regions (13, 14) by means of clamping elements (17/18). 10. Filtermodul nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstandsbereich (16) zwischen den Dichtungsbe­reichen (14, 15 bzw. 13, 15 bzw. 23a, 23b) durch in einer Abdeckung (4) zwischen Druckkasten (6) und Decken- bzw. Wandhohlraum (9) vorgesehene Schlitze (20), Löcher oder ähnliche Durchbrüche mit dem Decken- bzw. Wandhohlraum (9) in ständiger Verbindung steht.10. Filter module according to claim 2,
characterized,
that the spacing area (16) between the sealing areas (14, 15 or 13, 15 or 23a, 23b) is provided by slots (20) provided in a cover (4) between the pressure box (6) and the ceiling or wall cavity (9) , Holes or similar openings with the ceiling or wall cavity (9) is in constant communication. 11. Filtermodul nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Rahmen (11) des Schwebstoffilters (10) an seiner oberen Stirnfläche (11b) mit einem seine Außenkontur überragenden Kragen (25) versehen ist, der die Andruck­fläche für die beiden wenigstens annähernd auf gleicher Ebene liegenden Dichtungsbereiche (14, 15) bildet, wobei der eine Dichtungsbereich (14) vor der Stirnfläche (11b) des Rahmens (11) am Kragen (25) und am Druckkasten (6) anliegt, während der andere Dichtungsbereich (15) zwi­ schen dem den Rahmen (11) überragenden Teilabschnitt des Kragens (25) und einer Anlagefläche (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) angeordnet ist.11. Filter module according to claim 2,
characterized,
that the frame (11) of the suspended matter filter (10) is provided on its upper end face (11b) with a collar (25) projecting beyond its outer contour, which forms the contact surface for the two sealing areas (14, 15) which are at least approximately on the same level, one sealing area (14) in front of the end face (11b) of the frame (11) on the collar (25) and on the pressure box (6), while the other sealing area (15) between The portion of the collar (25) projecting beyond the frame (11) and a contact surface (4) of the ceiling or wall cavity (9) is arranged. 12. Filtermodul nach den Ansprüchen 2 und 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Kragen (25) an seinem äußeren Begrenzungsrand eine Versteifungs- bzw. Stabilisierungsabwinkelung (26) aufweist.12. Filter module according to claims 2 and 11,
characterized,
that the collar (25) has a stiffening or stabilization bend (26) on its outer boundary edge. 13. Filtermodul nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstandsbereich (16) zwischen den Dichtungsberei­chen (14, 15) durch den Begrenzungsrand (27) der Abdek­kung (4) des Decken- bzw. Wandhohlraums (9) mit diesem in ständiger Verbindung steht.13. Filter module according to claim 1,
characterized,
that the spacing area (16) between the sealing areas (14, 15) through the boundary edge (27) of the cover (4) of the ceiling or wall cavity (9) is in constant communication therewith. 14. Filtermodul nach Ansprüchen 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Schwebstoff-Filter (10) tragende Abdeckungen (4) mit Abstand von Rechteck-Rahmen (38) unterfangen sind, die mit Gewebebahnen (41) überspannt sind.14. Filter module according to claims 1 to 13,
characterized,
that the suspended matter filter (10) carrying covers (4) are underpinned by a distance from the rectangular frame (38), which are spanned with fabric sheets (41). 15. Filtermodul nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß aneinander grenzende Rechteck-Rahmen (38) an ihren Stoßstellen (44) gegeneinander abgedichtet sind.15. Filter module according to claim 14,
characterized,
that adjacent rectangle frames (38) are sealed against each other at their joints (44). 16. Filtermodul nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß Dichtungen und/oder diese abstützende Auflageflächen mit einen vorgegebenen Spalt sichernden stützenden Vor­sprüngen versehen sind.16. Filter module according to claim 15,
characterized,
that seals and / or supporting surfaces supporting them are provided with supporting projections which secure a predetermined gap. 17. Filtermodul nach Anspruch 14 oder 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Rechteck-Rahmen (38) aus Winkel- oder Dreieck-­Profilen (39, 45) gebildet sind und die nach unten aus­kragenden Profilschenkel (39) mit der Gewebebahn (41) verklebt sind.17. Filter module according to claim 14 or 15,
characterized,
that the rectangular frames (38) are formed from angle or triangle profiles (39, 45) and the downwardly projecting profile legs (39) are glued to the fabric web (41). 18. Filtermodul nach einem der Ansprüche 14 bis 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Gewebebahn (41) ein Kunststoff- oder Metall-­Drahtgewebe ist.18. Filter module according to one of claims 14 to 16,
characterized,
that the fabric web (41) is a plastic or metal wire mesh. 19. Filtermodul nach Anspruch 17 oder 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß Endbereiche von Rechteckrahmen (38) bildenden Drei­eckprofilen (45) von Steckansätzen (48) von Eckkörpern (47) durchgriffen sind.19. Filter module according to claim 17 or 18,
characterized,
that end areas of rectangular frames (38) forming triangular profiles (45) of plug-in lugs (48) of corner bodies (47) are penetrated. 20. Filtermodul nach Ansprüchen 14 bis 19,
dadurch gekennzeichnet,
daß an Rechteckrahmen (38) perforierte und/oder mit Aus­nehmungen versehene Füllbleche (49) anschließen, die mit einer Gewebebahn (41) überzogen sind.20. Filter module according to claims 14 to 19,
characterized,
that connect to rectangular frames (38) perforated and / or provided with cutouts filler plates (49) which are covered with a fabric sheet (41). 21. Filtermodul nach Anspruch 20,
dadurch gekennzeichnet,
daß Füllbleche (49) an ihrer Rechteckrahmen (38) zuge­wandten Seite eine U-förmige Abkantung aufweisen, deren Höhe der der Rechteckrahmen entspricht, und daß sie an ihrem freien Ende mit einem abgekanteten Seitenstreifen (50) versehen sind.21. Filter module according to claim 20,
characterized,
that filler plates (49) on their side facing the rectangular frame (38) have a U-shaped bend, the height of which corresponds to that of the rectangular frame, and that they are provided at their free end with a folded side strip (50). 22. Filtermodul nach einem der Ansprüche 14 bis 21,
dadurch gekennzeichnet,
daß Rechteckrahmen (38) und/oder Füllbleche (50) jeweils mit der benachbarten Wand (52) einen Spalt (54) ein­schließen, und daß gegebenenfalls dem Spalt eine trans­parente Matte (51) als Strömungswiderstand vorgeordnet ist.22. Filter module according to one of claims 14 to 21,
characterized,
that rectangular frames (38) and / or filler plates (50) each enclose a gap (54) with the adjacent wall (52), and that the gap is optionally preceded by a transparent mat (51) as flow resistance. 23. Filtermodul nach einem der Ansprüche 1 bis 22,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Hängestäbe (1) bzw. Spannstäbe (34) U-förmig profilierte Blechleisten (59) tragen, deren Jochlänge die Distanz ihrer Schenkel überschreiten, und auf deren aus­kragenden Jochenden über Dichtungsstreifen (60, 61) die Randbereiche von Abdeckungen (4, 28) aufgelegt sind.23. Filter module according to one of claims 1 to 22,
characterized,
that the hanging rods (1) or tensioning rods (34) have U-shaped profiled sheet metal strips (59), the yoke length of which exceeds the distance between their legs, and on the cantilevered yoke ends via sealing strips (60, 61) the edge areas of covers (4, 28 ) are on the hook.
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