DE8700927U1

DE8700927U1 - Built-in cleanroom divider for ceiling or wall installation

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Publication number: DE8700927U1
Application number: DE8700927U
Authority: DE
Original assignee: Weiss Klimatechnik 6301 Reiskirchen De GmbH
Current assignee: Weiss Klimatechnik 6301 Reiskirchen De GmbH
Priority date: 1987-01-21
Filing date: 1987-01-21
Publication date: 1987-07-09

Description

Beschreibung W 531Description W 531

Einbaü-Reinräumteilef für Decken- oder WandaufbauBuilt-in clean room parts for ceiling or wall installation

Einbäü-Reinraümteiler für Decken- oder Wandaufbau mit zu einem Raster verbundenen Abschnitten eines Trägefstrahgs, sowie mit Schwebstoff-Filtern.Built-in clean room divider for ceiling or wall construction with sections of a support beam connected to form a grid, as well as with suspended matter filters.

Der Betrieb von. Datenverarbeitungsanlagen, die Herstellung von großintegrierten Microchips erfordert absolut staubfreie Reinräume, in denen die Luft in vorgeschriebener Weise konditioniert sein rauß_s Reinräume sind hinsichtlich der maximal in ihnen enthaltenen Konzentrationen an Schwebstoffteilchen in mehrere Klassen eingeteilt, von denen jede eine höchstzulässige Teilchenkonzentration definiert.The operation of data processing systems and the manufacture of large-scale integrated microchips requires absolutely dust-free clean rooms in which the air must be conditioned in a prescribed manner. _Clean rooms are divided into several classes with regard to the maximum concentration of suspended particles they contain, each of which defines a maximum permissible particle concentration.

Für die Versorgung eines Reimraumes mit Luft bestimmter Temperatur Und Feuchte sind Einrichtungen wie Gebläse, Heizvorrichtungen und Filter erforderlich, die nicht staubfrei betrieben werden können und daher außerhalb des Reinraums installiert werden müssen. Bekannte Zuluftdecken unterteilen daher einen bauseits vorhandenen Raum in einen Installationsraum, in welchem die genannten Einrichtungen untergebracht werden können, und einen Arbeitsraum, dem die in gewünschter Weise konditionierte Luft durch die Decke zugeführt wird (DE-PS 26 15 904). Diese Zuluftdecken haben den Nachteil, daß sich mit ihnen Reinräume höherer Klassen wegen mangelnder Schwebstoff freiheit nicht erzeugen lassen.To supply a clean room with air of a certain temperature and humidity, equipment such as fans, heaters and filters are required, which cannot be operated without dust and therefore must be installed outside the clean room. Known air supply ceilings therefore divide an existing room into an installation room in which the aforementioned equipment can be accommodated and a work room into which the air conditioned in the desired way is supplied through the ceiling (DE-PS 26 15 904). These air supply ceilings have the disadvantage that they cannot be used to create clean rooms of higher classes due to the lack of freedom from suspended matter.

Daneben kommt es häufig vor, daß nach dem Einbau einer Zuluftdecke in dem mit konditionierter Luft durch die Zuluftdecke versorgten Raum zusätzliche Einrichtungen wie Trennwände, Trennschürzen, zusätzliche Deckenleuchten, und dergleichen an Stellen erforderlich werden, bei denen an der eingebauten Zuluftdecke keine Befestigungsmöglichkeiten vorhanden sind. Es muß daher an der Zuluftdecke durch eine Veränderung des Rasters eine Möglichkeit zur Befestigung dieser Einrichtungen und der nachträglichen Verlegung von Versorgungsleitungen geschaffen werden. Bei bekannten Zuluftdecken erfordern diese Maßnahmen einen tiefgreifenden Eingriff in die gesamte Deckenkonstruktion .In addition, it often happens that after installing a supply air ceiling, additional equipment such as partition walls, partition aprons, additional ceiling lights and the like are required in the room supplied with conditioned air through the supply air ceiling in places where there are no fastening options on the installed supply air ceiling. A possibility for fastening these equipment and subsequently laying supply lines must therefore be created on the supply air ceiling by changing the grid. In the case of known supply air ceilings, these measures require extensive intervention in the entire ceiling construction.

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Mit der Erfindung soll daher ein Einbäü-Reinräumteiler für Deckenoder 'Wandaufbau in Reinräümen höherer Reinheitsklässen geschaffen werden, der eine einfache Montage sowie gegebenenfalls auch nachträgliche Befestigung von Zusatzeinrichtungen für den Reinraum ermöglicht .The invention is therefore intended to create a built-in cleanroom divider for ceiling or wall construction in cleanrooms of higher cleanliness classes, which enables simple assembly and, if necessary, subsequent attachment of additional equipment for the cleanroom.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt mit einem Einbau-Reinraumteiler, wie er in dem beigefügten Anspruch 1 definiert ist. Dadurch wird einerseits eine zuverlässige Abdichtung des Installationsraums vom Reinraum erreicht. Andererseits lassen sich auch nachträglich Zusatzeinrichtungen für den Reinraum besonders einfach von unten ohne Beeinträchtigung der Abdichtung von unten an den Trägerstrangabschnitten befestigen, wobei sich auch nachträglich nach Einbau des Teilers als Decke oder Wand das Raster vom Reinraum her von unten ohne Eingriff in die gesamte Teilerkonstruktion verändern läßt. Schließlich können Versorgungsleitungen innerhalb der Trägerstrangabschnitte verlegt werden, ohne daß dadurch die Schwebstoffreinheit des Reinraumes beeinträchtigt wird. Da die Versorgungsleitungen innerhalb der Trägerstrangabschnitte von außen leicht zugänglich sind, lassen sich Wartungs- und Reparaturarbeiten leicht ausführen.This problem is solved with a built-in clean room divider, as defined in the attached claim 1. On the one hand, this ensures that the installation space of the clean room is reliably sealed. On the other hand, additional equipment for the clean room can also be attached particularly easily from below to the support section from below without affecting the seal from below, and even after the divider has been installed as a ceiling or wall, the grid of the clean room can be changed from below without interfering with the entire divider structure. Finally, supply lines can be laid within the support section without affecting the cleanliness of the clean room. Since the supply lines within the support section are easily accessible from the outside, maintenance and repair work can be carried out easily.

Bevorzugte ilusführungsf ormen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Preferred embodiments of the invention are specified in the subclaims.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der in der beigefügten Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele im einzelnen beschrieben. Es zeigen:The invention is described in detail below using the embodiments shown in the accompanying drawing. They show:

Fig. 1 : einen Vertikalschnitt durch eine Reinraumdecke mit mehreren Filterkassetten und mehreren Abschnitten eines Trägerstrangs nach einem ersten Ausführungsbeispiel;Fig. 1: a vertical section through a clean room ceiling with several filter cassettes and several sections of a support strand according to a first embodiment;

Fig. 2 : einen ersten Ausschnitt in vergrößertem Maßstab aus der Decke nach Fig. 1;Fig. 2: a first section on an enlarged scale from the ceiling according to Fig. 1;

Fig. 3 : einen zweiten Ausschnitt in vergrößertem Maßstab der Decke nach Fig. 1;Fig. 3: a second section on an enlarged scale of the ceiling according to Fig. 1;

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Fig. 4 : einen dritten Ausschnitt in vergrößertem Maßstab der Decke nach Fig* I;Fig. 4: a third section on an enlarged scale of the ceiling according to Fig. I;

Fig. 5 : einen vierten Ausschnitt in vergrößertem Maßstab der Decke nach Fig. 1;Fig. 5: a fourth section on an enlarged scale of the ceiling according to Fig. 1;

Fig. 6-8: alternative Verwendungsmöglichkeiten der Trägerstrang-Abschnitte für die Decke nach Fig. 1;Fig. 6-8: alternative uses of the support strand sections for the ceiling according to Fig. 1;

i'ig. 9 : den Randabschluß der Decke nach Fig. 1; Fig. 10 : eine Stirnansicht des TrMgerstrangs;i'ig. 9 : the edge finish of the ceiling according to Fig. 1; Fig. 10 : a front view of the support strand;

Fig. 11 : eine schemati.sche AnsichtsdarsteUung dreier verbundener Abschnitte des Trägerstrangs± wobei ein sich quer zur Zeichenebene erstreckender Abschnitt geschnitten ist;Fig. 11: a schematic view of three connected sections of the carrier strand , with a section extending transversely to the plane of the drawing being cut;

Fig. 12 : eine Ansicht der drei Abschnitte aus Fig. 11 von unten;Fig. 12: a view of the three sections of Fig. 11 from below;

Fig. 13 : eine Schnittansicht eines Abschnittes gemäß Fig. 11 mit der Schnittlinie A-A; undFig. 13 : a sectional view of a section according to Fig. 11 with the section line A-A; and

Fig. 14 : eine der Fig. 4 ähnliche Aussc-hnittsdarstellung der Decke nach Fig. 1 mit einer anderen Ausfiihrungsform eines Trägerstrangabschnittes.Fig. 14: a detail view of the ceiling according to Fig. 1 similar to Fig. 4 with another embodiment of a carrier strand section.

Die im ganzen mit 1 bezeichnete Einbau-Reinraumdecke ist aus einem rechtwinkligen Raster aus aneinander unter rechten Winkeln befestigten Abschnitten 10 ... 20 eines Trägerstrangs aufgebaut, von denen in Fig. 1 die sich parallel erstreckenden Abschnitte 10 ... 14, in den Fig. 11 und 12 die sich quer zu diesen erstreckenden Abschnitte 16 und 17, in Fig. 9 ein Abschnitt 18 als Teil eines Decken-Randabschlusses sowie in Fig. 7,8 und 14 andere Ausführungsformen 15, 19,The built-in clean room ceiling, designated as a whole by 1, is made up of a rectangular grid of sections 10 ... 20 of a carrier strand attached to one another at right angles, of which in Fig. 1 the parallel sections 10 ... 14, in Figs. 11 and 12 the sections 16 and 17 extending transversely to these, in Fig. 9 a section 18 as part of a ceiling edge finish and in Figs. 7, 8 and 14 other embodiments 15, 19,

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20 angegeben sind. In einigen der rechtwinkligen von entsprechend aneinander befestigten Abschnitten seitlich umschlossenen Rasterfel-20. In some of the rectangular grid fields, which are laterally enclosed by correspondingly attached sections,

I der sind Filterkassetten 21 ... 30 von den Träger-Profilabschnitten | in noch zu beschreibender Weise gehalten. Andere Rasterfelder können g durch jeweils eine Blindkassette 9 verschlossen sein. Nach dem I, I the filter cassettes 21 ... 30 are held by the carrier profile sections | in a manner to be described. Other grid fields can be closed by a blind cassette 9. After the I,

Einbau ist die Decke 1 an der nicht dargestellten, bauseits vornan- 1Installation is the ceiling 1 at the not shown, on-site front 1

denen Rohdecke mit Seilen oder Stangen 31 ... 36 befestigt und zu den Wänden 8 mit Randabschliissen (Fig. 9) verbunden. Dadurch ergibt sich oberhalb der Einbaudecke 1 ein abgesperrter Installationsraum, Jwhich are attached to the soffit with ropes or rods 31 ... 36 and connected to the walls 8 with edge finishes (Fig. 9). This creates a closed installation space above the installation ceiling 1, J

I d<*r durch die Decke 1 und die Randabschlüsse gegenüber dem unterhalb i| I d<*r through the ceiling 1 and the edge finishes opposite the below i|

der Decke 1 zu schaffenden Reinraum absolut staubfrei abgeschlossen |the clean room to be created on ceiling 1 is completely dust-free |

ist. Sis. S

Als wesentliche Komponente der Erfindung wird zunächst die besondere Form des Trägerstrangs unter Bezugnahme auf die Fig. 10 bis 13 beschrieben. Der aus einem Leichtmetall-Strangprofil bestehende Trägerstrang 50 weist einen im Querschnitt quadratischen, nach unten offenen Kanal 52 auf, welcher von zwei gegenüberliegenden Seitenwändern 54, 56, einer durchgehenden Decke 58 größerer Wandstärke und zwei gegenüberliegenden, mit ihren freien Stirnflächen aufeinander zuweisenden Bodenleisten 62, 64 von jeweils etwa dergleichen Wandstärke wie die Decke 58 umschlossen ist. Die untere Öffnung des Kanals 52 wird durch einen sich in Längsrichtung des Trägerstrangs 50 erstreckende Längsschlitz 66 gebildet, dessen Breite durch den gegenseitigen Abstand der gegenüberliegenden freien Stirnflächen 63, 65 der Bodenleisten 62, 64 definiert ist. In jede der Stirnflächen 63, 65 ist je eine Längsnut 67, 69 derart eingelassen, daß die beiden mit ihren Öffnungen aufeinander zuweisenden Nuten 67, 69 in den Bodenleisten 62, 64 auf gleicher Hähe liegen und gleiche Tiefe haben.As an essential component of the invention, the special shape of the carrier strand is first described with reference to Figs. 10 to 13. The carrier strand 50, consisting of a light metal extruded profile, has a channel 52 that is square in cross-section and open at the bottom, which is enclosed by two opposite side walls 54, 56, a continuous ceiling 58 with a greater wall thickness and two opposite base strips 62, 64, each with approximately the same wall thickness as the ceiling 58, with their free end faces facing each other. The lower opening of the channel 52 is formed by a longitudinal slot 66 extending in the longitudinal direction of the carrier strand 50, the width of which is defined by the mutual distance between the opposite free end faces 63, 65 of the base strips 62, 64. A longitudinal groove 67, 69 is recessed into each of the end faces 63, 65 in such a way that the two grooves 67, 69 in the base strips 62, 64, with their openings facing each other, are at the same height and have the same depth.

Am Übergang der Seitenwände 54, 56 zur Decke 58 stehen aus jeder der beiden Seitenwände 54» 56 nach außen je eine Leiste 72, 74 parallel zur Dedke 58 Vor. Im einzelnen fluchten die Oberflächen 71, 73 der Leisten 72, 74 mit der äußeren Oberfläche 59 der Decke SO* DieAt the transition of the side walls 54, 56 to the ceiling 58, a strip 72, 74 protrudes from each of the two side walls 54» 56, parallel to the Dedke 58. In detail, the surfaces 71, 73 of the strips 72, 74 are flush with the outer surface 59 of the ceiling SO* The

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Stärke jeder der Leisten 72, 74 ist etwas geringer als die Stärke der Decke 58, jedoch größer als die Stärke der Seitenwände 54, 56. Am Übergang der nach unten weisenden Oberflächen 75, 77 der Leisten 72, 74 in die Außenflächen der Seitenwände 54, 56 sind die Leisten 72, 74 bei 76, 78 hinterschnitten, wobei die Unterflächen 75, 77 mit einer schrägen Phase am Hinterschnitt versehen sind. Die freien äußeren Seitenflächen jeder der Leisten 72, 74 können zur Aufnahme einer Dichtungsschnur 60, 61 (Fig. 6) entweder, wie dargestellt, gestuft, oder auch längsgeschlitzt sein.The thickness of each of the strips 72, 74 is slightly less than the thickness of the ceiling 58, but greater than the thickness of the side walls 54, 56. At the transition of the downward-facing surfaces 75, 77 of the strips 72, 74 into the outer surfaces of the side walls 54, 56, the strips 72, 74 are undercut at 76, 78, whereby the lower surfaces 75, 77 are provided with an oblique phase at the undercut. The free outer side surfaces of each of the strips 72, 74 can be either stepped, as shown, or also slotted lengthwise to accommodate a sealing cord 60, 61 (Fig. 6).

In der in Fig. 10 dargestellten Ausführungsform des Trägerstrangs erheben sich über die Oberfläche 59 zwei beabstandete Winkelleisten 80, 82, deren mit der Decke 58 verbundene Schenkel 84, 86 senkrecht auf dieser stehen und sich parallel zueinander sowie in Längsrichtung des Trägerstrangs 50 erstrecken und deren freie Schenkel 87, in gleicher Höhe aufeinander zuweisen und Abstand zwischen sich lassen.In the embodiment of the support strand shown in Fig. 10, two spaced-apart angle strips 80, 82 rise above the surface 59, the legs 84, 86 of which are connected to the ceiling 58 and are perpendicular to the ceiling and extend parallel to one another and in the longitudinal direction of the support strand 50, and the free legs 87 of which point towards one another at the same height and leave a gap between them.

Zum Aufbau eines Rasterfeldes werden zwei vom Trägerstrang 50 abgeschnittene Abschnitte 12, 16 unter Zuhilfenahme eines Verbinders 90 wie folgt aneinander befestigt: Zunächst werden von dem quer an dem Abschnitt 12 zu befestigenden Abschnitt 16 an dessen auf den Abschnitt 12 zuweisenden Ende die Winkelleisten 80, 82 über eine von der Stirnseite des Abschnitts 16 ausgehende Länge abgesschnitten, die derjenigen Strecke entspricht, um die die Leiste 74 über die Außenfläche der Seitenwand 56 nach außen vorsteht. Über die gleiche Länge wird die Stärke der Decke 58 des Abschnitts 16 von oben um ein Stück reduziert, das der Stärke der Leiste 74 gleicht. Dabei muß an der freien Stirnfläche des Abschnittes 16 ein erhabener Rand 57 von der Decke 58 von solcher Kontour stehenbleiben, daß der Rand 57 in den Hinterschnitt 78 eintauchen kann.To construct a grid field, two sections 12, 16 cut off from the carrier strand 50 are fastened to one another with the aid of a connector 90 as follows: First, the angle strips 80, 82 are cut off from the section 16 to be fastened transversely to the section 12 at its end facing the section 12 over a length starting from the front side of the section 16 that corresponds to the distance by which the strip 74 protrudes outwards beyond the outer surface of the side wall 56. Over the same length, the thickness of the ceiling 58 of the section 16 is reduced from above by an amount that is equal to the thickness of the strip 74. In this case, a raised edge 57 of the ceiling 58 of such a contour must remain on the free front surface of the section 16 that the edge 57 can dip into the undercut 78.

Eine rechtwinklige Lochscheibe 92 mit Innengewinde, die breiter ist als die Weite des Längsschlitzes 66» jedoch hinreichend schmal ist, Um in den gegenüberliegenden Längsnüten 67, 69 gegen VerdrehungA rectangular hole disk 92 with an internal thread, which is wider than the width of the longitudinal slot 66» but is sufficiently narrow, To prevent rotation in the opposite longitudinal grooves 67, 69

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gesichert geführt zu werden, wird in die Nuten 67, 69 des Abschnittes 16 eingeführt. Der Verbinder 90 weist zwei quer zu seiner Längsrichtung beabstandete, U-förmige Klauen 94, 96 auf, deren Nasen 95 in die Nut 69 des Abschnittes 12 eingreifen können, wobei der plattenförmige Teil 91 des Verbinders 90 sich unterhalb der Bodenleiste 64 des Abschnittes 12 und den Bodenleisten 62, 64 des Abschnittes erstreckt. Der plattenförmige Teil 91, der nicht breiter ist als der Kanal 52, ist mit einer Bohrung zur Aufnahme einer Gewindeschraube 93 versehen, die mit ihrem Außengewinde in das Innengewinder der Lochscheibe 92 eingreift. Aus der Außenseite des plattenförmigen Teils 91, welche in gleiche Richtung wie die Klauen 94, 96 weist, steht eine kleine Rippe 97 in einem Abstand von den Klauen 94, 96 vor, der größer ist als die Breite der Bodenleiste 64. Dadurch wird beim Anziehen der Schraube 93 der Abschnitt 16 fest an den Abschnitt 12 angezogen, wobei die Stirnfläche des Abschnitts 16 an der Außenfläche der Seitenwand 56 und die Unterfläche 77 der Leiste 74 auf dem verbleibenden Teil der Decke 58 des Abschnitts 16 flächig aufliegen und eine in die Außenkontour der Leiste 74 eingelegte Dichtungsschnur 60, 61 (Fig. 6) eine staubdichte Verbindung schafft.to be guided securely, is inserted into the grooves 67, 69 of section 16. The connector 90 has two U-shaped claws 94, 96 spaced transversely to its longitudinal direction, the lugs 95 of which can engage in the groove 69 of section 12, the plate-shaped part 91 of the connector 90 extending below the base strip 64 of section 12 and the base strips 62, 64 of the section. The plate-shaped part 91, which is not wider than the channel 52, is provided with a bore for receiving a threaded screw 93, which engages with its external thread in the internal thread of the perforated disk 92. A small rib 97 protrudes from the outside of the plate-shaped part 91, which points in the same direction as the claws 94, 96, at a distance from the claws 94, 96 that is greater than the width of the base strip 64. As a result, when the screw 93 is tightened, the section 16 is pulled firmly to the section 12, with the front surface of the section 16 resting flat on the outer surface of the side wall 56 and the lower surface 77 of the strip 74 resting flat on the remaining part of the cover 58 of the section 16, and a sealing cord 60, 61 (Fig. 6) inserted into the outer contour of the strip 74 creating a dust-tight connection.

Man erkennt aus den Fig. 11 und 12, daß aufgrund der Breite des Längsschlitzes 66 und der Stärke der Klauen 94, 96 gegenüber dem Abschnitt 16 ein weiterer Abschnitt 17 des Trägerstrangs 50 nach entsprechender Vorbereitung (Abschneiden der Winkelleisten 80, 82, Abtragen der Decke 58) verankert werden kann. Diese Art der rechtwinkligen Befestigung zweier Abschnitte aneinander hat den Vorteil, daß durch Lockern der Schraube 93 eine genaue und leichte Ausrichtung gegenüberliegender Abschnitte 16, 17 durch Verschieben längs des durchgehenden Abschnittes 12 möglich ist. Ferner ist vorteilhaft, daß der Verbinder 90 über die Unterseite der Bodenleisten 62, 64 praktisch nur um seine Stärke und damit nicht weiter nach unten vorsteht als eine den Längsschlitz 66 nach unten verschließende, in Fig. 8 dargestellte Vefschlußleiste 98« Es Werden somit keine Taschen gebildet, in welchen sich für den zu erzeugenden Reinraum Unerwünschte Teilchen absetzen können, It can be seen from Figs. 11 and 12 that, due to the width of the longitudinal slot 66 and the strength of the claws 94, 96 compared to section 16, a further section 17 of the support strand 50 can be anchored after appropriate preparation (cutting off the angle strips 80, 82, removing the ceiling 58). This type of right-angled fastening of two sections to one another has the advantage that by loosening the screw 93, an exact and easy alignment of opposite sections 16, 17 is possible by moving them along the continuous section 12. It is also advantageous that the connector 90 protrudes beyond the underside of the base strips 62, 64 practically only by its thickness and thus not further downwards than a closure strip 98 shown in Fig. 8 which closes the longitudinal slot 66 downwards. Thus, no pockets are formed in which undesirable particles for the clean room to be created can settle .

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- 7 - W 531 - 7 - W531

Die Fig. 2 bis 9 zeigen den weiteren Aufbau der Decke 1 unter Verwendung von Abschnitten des Trägerprofils 50. Jede Filterkassette 21... 30 ist von einem Rahmenprofil eingefaßt, an dessen oberen bzw. unteren Außenflächen die Leisten 72, 74 mit ihren Unterflächen 75, 77 anliegen. So zeigen die Figuren 2-6, 8, daß der jeweilige Abschnitt des Trägerstrangs 50 mit dem Kanal 52 zwischen den Rahmenprofilen 40, 41 (Fig. 2) der benachbarten Filterkassetten 21, 22 sich erstreckt, wobei die Leisten 72, 74 entweder gemäß Figuren 2—5 die Rahmenprofile an deren Oberseiten übergreifen oder an c? :xen Unterseiten unterfassen. Fig. 6, 8, 14. Bei der Benutzung der Trägerstrangabschnitte gemäß Figuren 2—5 reicht der Kanal 52 dabei von oben, d.h. vom Installationsraum her in den Zwischenraum zwischen benachbarten Filterkassetten, wobei die Winkelleisten 80, 82 in den Installationsraum ragen und dort besonderen Zwecken zur Verfügung stehen können. Bei der Verwendung der Trägerstrangabschnitte gemäß Figuren 6 und 8 erstreckt sich tier Kanal 52 vqn unten in den Zwischenraum zwischen benachbarten Filterkassetten, wobei die Winkelleisten dann in den Reinraum vorstehen. In allen Fällen ist eine Dichtungsschnur 60, 61 in eine Rinne eingelegt, die zwischen dem äußeren Profil (gestuft oder längsgenutet) der Stirnfläche der Leisten 72, 74 und dem Rahmenprofil der jeweiligen Filter- oder Blindkassette gelassen ist, so daß eine staubfreie Abdichtung zwischen Installationsraum und Reinraum gewährleistet bleibt.Figures 2 to 9 show the further construction of the ceiling 1 using sections of the support profile 50. Each filter cassette 21... 30 is enclosed by a frame profile, on whose upper and lower outer surfaces the strips 72, 74 rest with their lower surfaces 75, 77. Thus, Figures 2-6, 8 show that the respective section of the support strand 50 with the channel 52 extends between the frame profiles 40, 41 (Fig. 2) of the adjacent filter cassettes 21, 22, whereby the strips 72, 74 either overlap the frame profiles on their upper sides according to Figures 2-5 or grasp them on their lower sides. Fig. 6, 8, 14. When using the carrier strand sections according to Figures 2-5, the channel 52 extends from above, i.e. from the installation room, into the space between adjacent filter cassettes, whereby the angle strips 80, 82 protrude into the installation room and can be available there for special purposes. When using the carrier strand sections according to Figures 6 and 8, the channel 52 extends from below into the space between adjacent filter cassettes, whereby the angle strips then protrude into the clean room. In all cases, a sealing cord 60, 61 is inserted into a channel which is left between the outer profile (stepped or longitudinally grooved) of the front surface of the strips 72, 74 and the frame profile of the respective filter or blind cassette, so that a dust-free seal between the installation room and the clean room is ensured.

Für die Befestigung der Filterkassetten an den Trägerprofilabschnitten sieht die Erfindung mehrere Möglichkeiten vor. So zeigt Fig. 2 den Abschnitt 12 im Querschnitt, welcher mittels einer oder mehrerer Stangen 35 an der bauseitigcn Rohdecke aufgehängt ist. Die Stange 35 ist mit einem Schwingungsdämpfer 37 ausgerüstet, der Baukörperschwingungen von der Decke 1 fernhält. Am unteren Ende der Stange 35 ist eine Platte 38 vorgesehen, welche die freien Schenkel 87, 88 der Winkelleisten 80, 82 untergreift, wodurch der abschnitt 12 sicher und lösbar an der Rohdecke aufgehängt ist.The invention provides several options for fastening the filter cassettes to the support profile sections. Fig. 2 shows section 12 in cross section, which is suspended from the structural ceiling using one or more rods 35. The rod 35 is equipped with a vibration damper 37, which keeps building vibrations away from the ceiling 1. A plate 38 is provided at the lower end of the rod 35, which engages under the free legs 87, 88 of the angle strips 80, 82, whereby section 12 is securely and detachably suspended from the structural ceiling.

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- 8 - W 531- 8 - W531

Eine ffiit Innengewinde versehene Lochscheibe 49 ist drehfest in den Nuten 67» 69 gehalten und halt einen Gewindebolzen 42. Zwischen dem Kopf des Gewindebolzens 42 und der Basis 43 einer Ü-föfmigen Klammer 44 ist eine Druckfeder 45 eingespannt, wobei die Klammer 44 mit zwei gegenüberliegenden, nach außen weisenden Fingern 46, 47 das Rahmenprofil 40, 41 zweier gegenüberliegender Filterkassetten 21, 22 unterfaßt. Damit wird die Filterkassette 21 unter dem Druck der sich über dsn Gewindebolzen an; Abschnitt 12 abstützenden Feder 45 an ihrem Rahmenprofil 40 zwischen der Unterseite 75 der Leiste 72 und dem Finger 46 elastisch eingespannt. Es erweist sich als zweckmäßig, zwischen das Rahmenprofil 40 und den Finger 46 sowie zwischen Rahmenprofil 41 und Finger 47 je einen Dichtungsstreifen zwischenzulegen, so daß der Zwischenraum zwischen benachbarten Filterkassetten 21, 22 gegen den Reinraum abgedichtet ist.A perforated disk 49 with an internal thread is held in a rotationally fixed manner in the grooves 67» 69 and holds a threaded bolt 42. A compression spring 45 is clamped between the head of the threaded bolt 42 and the base 43 of an U-shaped clamp 44, whereby the clamp 44 grips the frame profile 40, 41 of two opposing filter cassettes 21, 22 with two opposing, outward-pointing fingers 46, 47. The filter cassette 21 is thus elastically clamped to its frame profile 40 between the underside 75 of the strip 72 and the finger 46 under the pressure of the spring 45 supported by the threaded bolt on section 12. It proves to be expedient to insert a sealing strip between the frame profile 40 and the finger 46 as well as between the frame profile 41 and the finger 47, so that the space between adjacent filter cassettes 21, 22 is sealed against the clean room.

Eine weitere Befestigungsart der Filterkassetten an den Trägerprofilabschnitten zeigt Fig. 3, gemäß der ein im Querschnitt U-förmiger Abschlußkanai 81 an den Bodenleisten 62, 64 des Abschnittes 13 mittels Gewindeschrauben 89 befestigt ist. Dazu ist in den Längsnuten 67, 69 wieder eine mit Innengewinde versehene Lochscheibe 49 gehalten, in welche das Außengewinde der Gewindeschraube 89 eingreift. Der Abschlußkanal 81 stützt sich auf dem Kopf der Gewindeschraube 89 ab, welche sich durch eine Bohrung in seiner Basis 79 erstreckt. Die beiden Schenkel 83, 85 liegen über Dichtstreifen an der Unterseite der Rahmenprofile 40, 41 der gegenüberliegenden Filterkassetten 22, 23 an. Dadurch wird unterhalb des Abschnittes 13 in dem Zwischenraum zwischen den benachbarten Filterkassetten 22, 23 ein gegenüber dem Reinraum abgedichteter Zwischenraum geschaffen, in welchem Versorgungsleitungen 51, 53 verlegt sein können. Eine Reinraumleuchte 102 kann an der Basis des Abschlußkanals 81 nach Wunsch befestigt sein.Another method of fastening the filter cassettes to the support profile sections is shown in Fig. 3, according to which a U-shaped cross-section closing channel 81 is fastened to the base strips 62, 64 of section 13 by means of threaded screws 89. For this purpose, a perforated disk 49 with an internal thread is held in the longitudinal grooves 67, 69, into which the external thread of the threaded screw 89 engages. The closing channel 81 is supported on the head of the threaded screw 89, which extends through a hole in its base 79. The two legs 83, 85 rest on the underside of the frame profiles 40, 41 of the opposite filter cassettes 22, 23 via sealing strips. This creates a space sealed from the clean room below section 13 in the space between the adjacent filter cassettes 22, 23, in which supply lines 51, 53 can be laid. A clean room light 102 can be attached to the base of the end channel 81 as desired.

Fig. 3 zeigt im oberen Teil die Befestigung von Hauben 4, 5, welche die Erweiterung von Zuluftkanälen für die Filterkassetten darstellen. Dazu drückt ein Bügel 55 seitliche Flansche 6, 7 der Hauben 4,Fig. 3 shows the upper part of the fastening of hoods 4, 5, which represent the extension of supply air ducts for the filter cassettes. For this purpose, a bracket 55 presses side flanges 6, 7 of the hoods 4,

- 9 - W- 9 - W

5 über zwischengelegte Dichtstreifen 100, 101 auf die Oberflächen 71 * 73 der Leisten 72, 74, wobei der Bügel 55 von einer Druckfeder 99 beaufschlagt ist, welcher sich über den Kopf einer Schraube 103 Und zugehörige Mutter 104 von unten an den freien Schenkeln 87, 88 abstützt*5 via interposed sealing strips 100, 101 onto the surfaces 71 * 73 of the strips 72, 74, whereby the bracket 55 is acted upon by a compression spring 99, which is supported from below on the free legs 87, 88 via the head of a screw 103 and the associated nut 104*

Gemäß Fig. 4 ist ein Sprinklerrohr 105, dessen Außendurchmesser
kleiner als die Weite des Kanals 52 ist, durch eine Bohrung in der Decke 58 und in den Bodenleisten 62, 64 durchgeführt und mündet in eine Sprinklerleitung 106 unterhalb des Abschlüßkanals 81. Das |According to Fig. 4, a sprinkler pipe 105 whose outer diameter
smaller than the width of the channel 52, through a hole in the ceiling 58 and in the floor strips 62, 64 and opens into a sprinkler line 106 below the final channel 81. The |

Sprinklerrohr 105 ist im Abschlußkanal 81 von einer mit Dichtungseinsätzen 107 versehenen Buchse 108 umfaßt, so daß auch hier zuver- | lässige Abdichtung am Sprinklerrohr 105 gegeben ist. |Sprinkler pipe 105 is enclosed in the end channel 81 by a bushing 108 provided with sealing inserts 107, so that here too a reliable seal is provided on the sprinkler pipe 105. |

Gemäß Fig. 5 ist eine Trennwand 110 über Dichtmanschetten 109, 114 an der Basis eines in den Reinraum hinein verlängerten Abschlußka- &igr;According to Fig. 5, a partition wall 110 is attached via sealing sleeves 109, 114 to the base of a termination cable which extends into the clean room.

nals 111 befestigt. Der Abschlußkanal 111 entspricht im übrigen dem Abschlußkanals 81 und ist wie dieser an dem Abschnitt 11 befestigt*nals 111. The end channel 111 corresponds to the end channel 81 and is attached to section 11 like it*

Fig. 6 zeigt eine andere Art des Deckenaufbaus. Hier werden die
Abschnitte, im dargestellten Beispiel der Abschnitt 15, mit dem
Kanal 52 nach oben weisend aneinander entsprechend den Fig. 11 und 12 befestigt. Auf die dann nach oben weisenden Unterflächen 75, 77 werden die benachbarten Filterkassetten 26 mit ihren Randprofilen 40, 41 aufgesetzt. In Verbindung mit den Dichtungsschnüren 60, 61 wird durch das Eigengev/icht der Filterkassetten ausreichende Abdichtung des Installationsraumes sowie des Zwischenraumes zwischen den benachbarten Filterkassetten zum Reinraum erreicht. An den dann in den Reinraum weisenden Winkelprofilen 80, 82 könnnen dann wie in Fig. 6 dargestellt Zusatzeinrichtungen, beispielsweise eine Trennschürze 112 über an den freien Schenkeln 87, 88 verschraubten
Winkeln 113 befestigt werden. Wie in Fig. 8 am Abschnitt 15 dargestellt wird der von den Winkelleisten 80, 82 umschlossene Raum bei nichtbenötigter Befestigungsmöglichkeit durch die Kunststoffleiste 98 abgeschlossen, welche mit die freien Schenkel 87, 88 hintergrei-Fig. 6 shows another type of ceiling construction. Here the
Sections, in the example shown section 15, with the
Channel 52 facing upwards, as shown in Fig. 11 and 12. The adjacent filter cassettes 26 with their edge profiles 40, 41 are placed on the lower surfaces 75, 77, which then face upwards. In conjunction with the sealing cords 60, 61, the inherent weight of the filter cassettes ensures sufficient sealing of the installation space and the space between the adjacent filter cassettes to the clean room. Additional devices, such as a separating apron 112, can then be attached to the angle profiles 80, 82, which then face into the clean room, as shown in Fig. 6, via screws 87, 88.
Angles 113 are attached. As shown in Fig. 8 at section 15, the space enclosed by the angle strips 80, 82 is closed off by the plastic strip 98 when the fastening option is not required, which engages behind the free legs 87, 88.

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£enden Spreizfedern 115 ausgerüstet ist. Eine den Abschnitt 15 an der bäiuseitigen Rohdecke haltende Tragstange 36 kann mittels einer in den Längsnüten 67, 69 eingefangenen Gewindescheibe am Abschnitt 15 befestigt werden. £ is equipped with spreading springs 115. A support rod 36 holding the section 15 to the structural ceiling can be fastened to the section 15 by means of a threaded disk caught in the longitudinal grooves 67, 69.

Eine andere Ausführungsform des Trägerstrangs 50 ist in Fig* 14 anhand des Abschnittes 20 dargestellt, welcher ähnlich wie die Abschnitte 15 (Fig. 6, 8) mit dem Kanal 52 nach oben weisend sich zwischen benachbarten Filterkassetten 26 erstreckt. Der Abschnitt 20 unterscheidet sich von den bisher beschriebenen Abschnitten dadurch, daß die Winkelleisten 80, 82 entfallen sind. Im übrigen gleicht der Abschnitt 20 der bisher beschriebenen Ausführungsform des Trägerstrangs. Ferner zeigt Fig. 14 den Anschluß einer Sprinklerleitung 116 an ein Sprinklerrohr 117, welches durch eine seinem Außendurchmesser entsprechende Bohrung in den Bodenleisten 62, 64 sowie in der ■Decke 58 dichtend durchgeführt ist. Die Sprinklerleitung 116 ist an einer Platte 118 befestigt, welche an der Decke 58 des Abschnittes 20 in nichtdargestellter Weise angeschraubt ist.Another embodiment of the support strand 50 is shown in Fig. 14 based on section 20, which, similar to sections 15 (Fig. 6, 8), extends with the channel 52 pointing upwards between adjacent filter cassettes 26. Section 20 differs from the previously described sections in that the angle strips 80, 82 have been omitted. Otherwise, section 20 is similar to the previously described embodiment of the support strand. Furthermore, Fig. 14 shows the connection of a sprinkler line 116 to a sprinkler pipe 117, which is sealed through a hole corresponding to its outer diameter in the base strips 62, 64 and in the ceiling 58. The sprinkler line 116 is attached to a plate 118, which is screwed to the ceiling 58 of section 20 in a manner not shown.

Fig. 7 zeigt eine weitere Ausführungsform eines Trägerstrangabschnittes 19. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der zuerst beschriebenen Form des Trägerstrangabschnittes dadurch, daß an die Stirnseiten der Leisten 72, 74 je eine Außenplatte 68, 70 angeformt oder angeschraubt ist, die sich parallel zur benachbarten Außenwand 54, 56 des Kanals 52 erstreckt. Dadurch ergeben sich zwischen den Außenplatten 68, 70 und den benachbarten Seitenwänden 54, 56 Taschen 38, 39, von denen jede mit Dichtmaterial gefüllt ist. In die Tasche 39 erstreckt sich eine Stützplatte 119, welche an der Unterseite des Rahmenprofils 41 der Filterkassette 28 befestigt ist und auf der Unterfläche 77 steht. Damit ruht die Filterkassette 28 mit Abstand auf der Leiste 74.Fig. 7 shows a further embodiment of a carrier strand section 19. This embodiment differs from the first described form of the carrier strand section in that an outer plate 68, 70 is molded or screwed onto the end faces of the strips 72, 74, which extends parallel to the adjacent outer wall 54, 56 of the channel 52. This results in pockets 38, 39 between the outer plates 68, 70 and the adjacent side walls 54, 56, each of which is filled with sealing material. A support plate 119 extends into the pocket 39, which is attached to the underside of the frame profile 41 of the filter cassette 28 and stands on the lower surface 77. The filter cassette 28 thus rests on the strip 74 at a distance.

Entsprechend ist an die Stirnseite des Rahmenprofils 40 der Filter— kassette 27 eine winkelig ausgeführte Stützplatte 120 befestigt, welche in die Tasche 38 sich exstreckt und auf der Unterfläche 75Accordingly, an angled support plate 120 is attached to the front side of the frame profile 40 of the filter cassette 27, which extends into the pocket 38 and on the lower surface 75

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aufsteht. Mit dieser Aüsführungsforni der Erfindung wird untef Beibehaltung der Abdichtung zwischen dem Installationsraum und dem Reinraum erreicht j daß benachbarte Filterkassetten 27, 28 auf Verschiedener Höhe relativ zum Abschnitt 19 befestigt sein können, so daß sich eine abgestufte Reinraumdecke ergibt*With this embodiment of the invention, while maintaining the seal between the installation space and the clean room, it is achieved that adjacent filter cassettes 27, 28 can be attached at different heights relative to section 19, so that a stepped clean room ceiling is obtained*

Schließlich zeigt Fig. 9 den Randabschluß der Reinraumdecke, in dem an der bauseitigen Seitenwand 8 ein Winkelprofil 122 befestigt ist, auf dessen freiem Schenkel der Abschlußkanal 81 einseitig aufruht. Die zwischen dem Abschnitt 18 und der Wand 8 fehlende Filterkassette wird ersetzt durch eine langgestreckte Platte 121, Welche den Abschlußkanal 81 mit der Leiste 72 verbindet. Zur Abdichtung ist von der Oberfläche 71 zur Wand 8 eine Gummibahn 123 ausgespannt, welche vorhandene Toleranzen ausgleicht und eine gute Abdichtung ergibt.Finally, Fig. 9 shows the edge finish of the clean room ceiling, in which an angle profile 122 is attached to the side wall 8 on the building site, on whose free leg the closing channel 81 rests on one side. The filter cassette missing between section 18 and wall 8 is replaced by an elongated plate 121, which connects the closing channel 81 to the strip 72. For sealing, a rubber strip 123 is stretched from the surface 71 to the wall 8, which compensates for existing tolerances and provides a good seal.

Die vorstehend beschriebene Reinraumdecke, bei der der vorstehend beschriebene Trägerstrang als tragendes Element eingesetzt wird, hat den Vorteil, daß die Tragrahmenabschnitte in zwei um 180° gedrehten Lagen eingesetzt werden können, wodurch die Möglichkeiten der Filterkassetteneinbringung und ihrer Befestigung variabel sind. Ferner ist der Trägerstrang selbst sehr schmal gehalten, so daß der Abstand benachbarter Filterkassetten klein bleibt und die unter diesen bzw. unter den Abschlüssen des Trägerstrangs entstehenden Verwirbelungen des dem Reinraum durch die Filterkassetten zugeführten weitgehend laminaren Luftstroms nicht die Arbeitshöhe im Reinraum erreichen können.The clean room ceiling described above, in which the support strand described above is used as a load-bearing element, has the advantage that the support frame sections can be used in two positions rotated by 180°, which means that the options for inserting and fastening filter cassettes are variable. Furthermore, the support strand itself is kept very narrow, so that the distance between adjacent filter cassettes remains small and the turbulences that arise under these or under the ends of the support strand of the largely laminar air flow fed into the clean room by the filter cassettes cannot reach the working height in the clean room.

Wie die Fig. 11 und 12 und die dazu gegebenen Erläuterungen zeigen, können die zum Abschnitt 12 quer liegenden Abschnitte 16 und 17 von unten an dem Abschnitt 12 befestigt werden. Dadurch ist es leicht möglich, ein eingebautes Raster nachträglich durch Einziehen von zusätzlichen Querstreben in Form von weiteren Trägerstrangabschnitten zu ändern, so daß das einmal eingebaute Raster Je nach Bedarf an beliebiger Stelle unterteilt werden kann. Vorteilhaft wirkt sich ferner aus, daß die Art der Verbindung von querliegenden Träger-As shown in Fig. 11 and 12 and the explanations given, the sections 16 and 17 lying transversely to section 12 can be attached to section 12 from below. This makes it easy to change an installed grid by inserting additional cross braces in the form of additional beam strand sections, so that the grid once installed can be divided at any point as required. Another advantage is that the type of connection of transverse beams

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- 12 - W 531- 12 - W531

strangabschnitten zu einem Haupt-Trägerstrangabschnitt (Abschnitt in Fig. 11) keine dauerelastischen Klebeverbindungen erforderlich sind, man kann vielmehr vollständig mit Trockendichtungen auskommen. Hervorzuheben ist ferner die Möglichkeit einer elastischen Einspannung der Filterkassette, was sich auf die Dauerhaftigkeit der Abdichtung zwischen Installationsraum und Reinraum günstig auswirkt. Ferner ist vorteilhaft, daß Zusatzeinrichtungen wie Trennwände, Trennschürzen, Reinraumleuchten und dergleichen für den Reinraum nachträglich an beliebiger Stelle an den Trägerstrang angebaut werden können, ohne daß dadurch die Qualität der Atmosphäre des Reinraums leidet. Ferner bietet der Trägerstrang eine einfache Möglichkeit, Versorgungsleitungen in von unten leicht zugreifbarer Weise in der Reinraumdecke zu verlegen. Ferner ist es möglich, den Kanal und/oder die verbundenen Zwischenräume zwischen benachbarten Filterkassetten an eine eigene Unterdruckquelle anzuschließen, welche das Eindringen von Staubteilchen in den Reinraum verhindert. Diese Möglichkeit wird erreicht durch das flächige Rahmenprofil der Filterkassetten, welches den Randbereich der Kassetten nach oben, unten, vorne, hinten sowie zur Seite hermetisch abschließt. Ferner ist hervorzuheben, daß die erwähnten Hauben in ihrer Größe auf eine Filterkassette nicht beschränkt zu bleiben brauchen, sondern wahlweise einen mehrere Filterkassetten enthaltenden Bereich übergreifen können. Dadurch ist eine exakte Volumenstromanpassung für unter- \ strand sections to a main carrier strand section (section in Fig. 11), no permanently elastic adhesive connections are required; instead, dry seals can be used entirely. Another advantage is the possibility of elastic clamping of the filter cassette, which has a positive effect on the durability of the seal between the installation room and the clean room. Another advantage is that additional equipment for the clean room such as partition walls, partition aprons, clean room lights and the like can be subsequently attached to the carrier strand at any point without the quality of the atmosphere in the clean room suffering as a result. The carrier strand also offers a simple way of laying supply lines in the clean room ceiling in a way that is easily accessible from below. It is also possible to connect the duct and/or the connected spaces between adjacent filter cassettes to a separate vacuum source, which prevents dust particles from entering the clean room. This is possible thanks to the flat frame profile of the filter cassettes, which hermetically seals the edge area of the cassettes at the top, bottom, front, back and sides. It should also be noted that the hoods mentioned do not have to be limited in size to one filter cassette, but can optionally cover an area containing several filter cassettes. This enables precise volume flow adjustment for different \

schiedliche Reinraumzonen mit wenig Aufwand möglich, so daß energie- |different clean room zones are possible with little effort, so that energy |

a sparende und damit kostengünstige Reinraumkonzepte einfach reali- \ a saving and therefore cost-effective clean room concepts can be easily implemented- \

sierbar sind. Schließlich können die verschiedenen Trägerabschnitte \ Finally, the various carrier sections \

nicht nur rechtwinklig sondern auch unter Winkeln bis zu etwa 20° oder 30° mit dem Verbinder 90 nach schrägem Anschnitt des zu befestigenden Abschnittes miteinander verbunden werden, so daß die Erfindung auch schräge Decken- oder Wandaufbauten erlaubt.not only at right angles but also at angles of up to about 20° or 30° with the connector 90 after cutting the section to be fastened at an angle, so that the invention also allows for inclined ceiling or wall structures.

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Claims

• · ■ I ■ · · B 1 &Lgr; ■! Claims W 531

1. Built-in clean room divider for ceiling or wall construction with sections of a support strand connected to form a grid, as well as with suspended matter filters, characterized in that the suspended matter filters designed as filter cassettes (21 ... 30) are held in several sections (10 ... 20) of a support strand (50) fastened at an angle to one another with a channel (52) that is rectangular in cross-section, from which a strip (72, 74) protrudes from each of the two opposite sides (54, 56) that rests on the frame profile (40, 41) of the filter cassettes.

2. Divider according to claim 1, characterized in that the surfaces (71, 73) of the strips (72, 74) are flush with the surface (59) of the ceiling (58) of the channel (52).

3. Divider according to claim 1 or 2, characterized in that the ceiling (58) of the channel (52) has a greater wall thickness than each of the strips (72, 74),

4. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that the strips have a stepped shoulder at the outer end.

5. Divider according to one of claims 1-3, characterized in that the strips are longitudinally grooved at the outer end.

6. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that each of the strips has an undercut (76, 78) at the transition to the channel.

7. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that the channel (52) is open to the outside on the side opposite its ceiling (58) through a longitudinal slot (66).

8. Divider according to claim 7, characterized in that a longitudinal groove (67, 69) is cut into each of the base gussets (62, 64) delimiting the longitudinal slot (66) on both sides.

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9. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that each of the strips (72, 74) grips the frame profile (40, 41) of two opposing filter cassettes (Fig. 6, 14).

10. Divider according to claim 9, characterized in that a clamp is provided which spans the frame profiles (40, 41).

1.1. Divider according to one of claims 1 to 8, characterized in that each of the strips overlaps the frame profile (40, 41) of two adjacent filter cassettes, a clamp (81, 111) being provided on the channel which grips the frame profiles.

12. Divider according to one of claims 10 or 11, characterized in that a spring element (45, 99) is provided between the clamp engaging over or under the frame profile and the channel, which allows elastic clamping of adjacent filter cassettes.

13. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that two spaced-apart angle strips (80, 82) rise above the ceiling (58) of the channel (52), the free legs (87, 88) of which face each other and leave a gap between them.

14. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that the frame profile (40, 41) hermetically seals the filter cassette at the edge.

15. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that the filter cassettes are held sealed at the sections by interposition of sealing elements (60, 61),

16« Divider according to one of the preceding claims, characterized in that holding elements (31 ... 36) for suspending the ceiling from a structural soffit are attached to the channel (52) and/or the angle strips (80, 82).

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17. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that additional devices for the clean room (partition wall 110, partition apron 112, sprinkler 106» 116) are attached to the channel and/or the angle strips.

18. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that two sections (12, 16) are fastened to one another by means of a claw (94) engaging in one of the longitudinal grooves (67, 69).

which are screwed from below to the other section (16) j

19. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that a pocket (38, 39) is formed on each of the two opposite side walls (54, 56) of the channel (52), into which the frame profiles (40, 41) of adjacent filter cassettes (27,

28) connected support plates (119, 120) of different lengths ]

and which are filled with sealant.

20. Divider according to one of the preceding claims, characterized in that at least some sections are connected by the connector (90)

are attached to each other at an angle of up to about 30°. ;