EP0301129A2 - Filter wall/ceiling for installations of clean-room technology - Google Patents

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EP0301129A2
EP0301129A2 EP87113890A EP87113890A EP0301129A2 EP 0301129 A2 EP0301129 A2 EP 0301129A2 EP 87113890 A EP87113890 A EP 87113890A EP 87113890 A EP87113890 A EP 87113890A EP 0301129 A2 EP0301129 A2 EP 0301129A2
Authority
EP
European Patent Office
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profile
filter
sealing
circumferential
ceiling
Prior art date
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Application number
EP87113890A
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German (de)
French (fr)
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EP0301129A3 (en
EP0301129B1 (en
Inventor
Uwe Dr. Ing. Schmidt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kessler and Luch GmbH
Original Assignee
Kessler and Luch GmbH
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Publication date
Application filed by Kessler and Luch GmbH filed Critical Kessler and Luch GmbH
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Publication of EP0301129A2 publication Critical patent/EP0301129A2/en
Publication of EP0301129A3 publication Critical patent/EP0301129A3/en
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Publication of EP0301129B1 publication Critical patent/EP0301129B1/en
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    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/06—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation characterised by constructional features of the supporting construction, e.g. cross section or material of framework members
    • E04B9/064—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation characterised by constructional features of the supporting construction, e.g. cross section or material of framework members comprising extruded supporting beams
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/02—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation having means for ventilation or vapour discharge
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/22—Connection of slabs, panels, sheets or the like to the supporting construction
    • E04B9/24—Connection of slabs, panels, sheets or the like to the supporting construction with the slabs, panels, sheets or the like positioned on the upperside of, or held against the underside of the horizontal flanges of the supporting construction or accessory means connected thereto
    • E04B9/241—Connection of slabs, panels, sheets or the like to the supporting construction with the slabs, panels, sheets or the like positioned on the upperside of, or held against the underside of the horizontal flanges of the supporting construction or accessory means connected thereto with the slabs, panels, sheets or the like positioned on the upperside of the horizontal flanges of the supporting construction

Definitions

  • the invention relates to a filter wall / ceiling for clean room systems, with filter cells inserted into a framework composed of carrier profiles, each of the filter cells being provided with a circumferential filter cell frame, in each of which a filter pack with sealing compound is inserted, the carrier profiles of the framework being sealed are essentially designed as T-profiles, the flanges of which form the supports for the filter cells as sealing flanges and which are firmly attached to the standing or hanging bolts via their webs, which are in particular designed as hollow chamber profiles
  • the wall or ceiling of a clean room can be connected, tensioning means supported against the bolts being provided on the bolts, the free ends of which, acting on the filter cell frame, press the filter cells against the sealing flanges and sealing means being arranged between the sealing flanges and the cell filter frame.
  • the filter cells generally have a circumferential standing flange which plunges into a channel filled with liquid or elastic sealants at the edge of the profile sections and thus produces the tightness.
  • a hollow chamber is formed, into which air flows in and out in an uncontrolled manner, whereby this air from the air supply in the dead zone can now accumulate in the working area of the clean room, so that there is a certain probability of this due to the flow disturbance caused by the seal there is that disturbing particles get into the air flow.
  • the object of the invention is to further develop the construction in such a way that such cavities are avoided and the connection of the filter cells to the working area of the clean room is “bumpless”.
  • the formation of the filter cell frame from individual profile sections with a trough-shaped depression and projections arranged on both sides of it ensures that the filter pack with sealing compound is properly attached to the filter cell frame, so that lateral leakages are avoided.
  • the outside of the sealant side of the wall which extends at right angles to the side profile section and forms the trough-shaped depression forms the counter flange for the sealing flange of the support profile of the framework.
  • a circumferential sealing profile is arranged between the two, either on the sealing flange or on the part of the cell frame forming the counter flange. It goes without saying that this circumferential sealing profile can be fixed there.
  • the gap between the filter cell and the carrier profiles of the lattice work holding the filter cell is bridged and thus closed by the protrusion on the side of the sealant on the profile sections of the filter cell frame. Since this projection should at most be equal to the thickness of the sealing profile, it is also ensured that the sealing profile rests on both sides and thus seals. A slight undersize of this extension allows pressing the Sealing profile, the size of the undersize depending on the rigidity or the elastic deformability of the sealing material, so that the compression until the gap closes causes a sufficient deformation of the sealing profile for sealing.
  • air inlet and distribution hoods are used, the profile extensions on the clamping device side being provided with support strips for them.
  • the air distribution hood having a flange which is screwed to the web and which, for better sealing, may also have a sealing compound or sealing compound applied.
  • hood it is also possible to create different climatic zones within the working area of the clean room, or to comply with other ventilation conditions, whereby the hoods assigned to these special areas are supplied with correspondingly specially prepared air, which is supplied to the air inlet port of these hoods, for example via flexible pipes .
  • Coil springs are used to press the filter cells, which are provided on the studs or suspension bolts that are used to fasten the framework to the wall or ceiling of the clean room.
  • the bolts designed as threaded bolts have a nut with an abutment washer, which serves as an abutment for a helical spring, the other end of the helical spring acting on a tension bridge, which in turn presses on the standing edges of the extensions of the filter cells on the clamping means side.
  • This tension bridge ensures uniform force transmission into two filter cells lying next to one another, these tensioning means on the narrow and on the The long sides can be provided in different numbers.
  • Two clamping elements are generally sufficient for the narrow side of a filter cell. It goes without saying that for the filter cells arranged at the edge of the filter wall / ceiling, an appropriate relining must be provided for the tensioning bridge, so that the tensioning bridge also finds an abutment on both sides in this position.
  • guide and clamping inserts are provided on the webs of the support profiles in connection with the clamping means, the width of which corresponds to the distance between the outer surfaces of the extensions on the clamping means side of two adjacent filter cells. This prevents canting from the outset and ensures that the counter flange to the sealing flange of the carrier profile is correctly placed on the circumferential sealing profile (or vice versa!).
  • a bend provided at the free ends of the guiding and clamping insert facilitates the insertion of the filter cell if the guiding and clamping insert is designed as a spring insert made of corresponding spring steel, which protrudes somewhat further outwards in the idle state and is compressed to the distance dimension only when the filter cell is inserted becomes.
  • the circumferential sealing profile can be a round cord seal, but it is also advantageous to provide two round cord seals arranged at a distance from one another.
  • a U-profile can be provided, with a U open to the opposite flange. In the latter two cases, there is a circumferential space between the two round cord seals or between the two legs of the U, which can be used as a test groove.
  • test grooves are used for over Testing the tightness of a sealing seat, whereby the space of the circumferential groove is placed under positive or negative pressure and the change in pressure is observed as a measure of the leak. A connection to the outside enables this pressure monitoring.
  • the cross legs of the T-profile can have a slot in the area of the web on the sealant side for all or some of the support profiles of the framework, which opens the lowermost hollow chamber of the web to the outside.
  • the flow disturbances can be minimized if flow-guiding bodies on the outflow side are provided, for example as flashing hoods for fluorescent tubes. Slots that are not required can be provided with a cover in order to avoid cavities that are open towards the pure work area.
  • the insert can be provided with a profile pointing into the flow area, which triangular, oval, advantageously pointed-oval design fills the dead water areas of the frame profiles.
  • the length of these flow guide profiles reaching into the clean room area is advantageously kept in the range of three times the base width. This length corresponds to the length of the dead water area that forms behind the support profiles of the framework under the usual malfunction conditions in the clean room.
  • Figures 1 and 2 show a corner section of the ceiling in supervision, with Fig. 1 the air outlet side as the outflow side, and Fig. 2 the air inlet side as the inflow side.
  • a framework (10) with openings corresponding to the size of the filter cells (20) is formed from sections of the carrier profiles (11) which are joined together with connecting pieces (11.1) (two-armed for the corner connectors, three-armed for the edge connectors and four-armed for inner connectors) is.
  • the filter cells (20) are inserted into the rectangular spaces thus created.
  • the carrier profiles (11) are designed as T-profiles, the web (12) advantageously (Fig. 8) of the carrier profiles with continuous hollow chambers (12.1, 12.2 and 12.3) (Fig. 8) is provided and the flange (13) (Fig.
  • This flange (13) (Fig. 8) is provided with a slot (14) which continues in the connecting pieces (11.1) and which is used for attaching lighting fixtures, supply devices for electrical current, compressed air or other media.
  • stones provided with a threaded hole or a bolt are inserted into the lower hollow chamber (12.3) (Fig. 8) opened by the slot (14), which they can do, for example, by crossing the slots (14) in the four-armed connecting pieces (11.1) can be easily accomplished.
  • the framework (10) can be connected to studs or hanging bolts (16) with the wall or ceiling of the clean room supporting the framework (10), these bolts (16), the tensioning device provided with tensioning bridges (19) for tight insertion of the Filter cells (20) are provided.
  • the tensioning bridges (19) are each supported on two opposite filter cells (20), it goes without saying that in the case of marginal connecting bridges (19) this support must be produced by means of appropriate inserts (19.1).
  • the filter cells (20) - the filter cells are shown as pleated filters, the position of the pleats being shown by the parallel lines - their upstream side is freely accessible, forming the space between the filter wall / ceiling and the wall or ceiling of the clean room a pressure chamber for the supply air.
  • the filter cells are provided with air supply and distribution hoods (27) which can be connected to a ventilation center via the mares (28) (not shown in more detail).
  • the filter folds of the filter cells can be seen through the air inlet connection (28) of the hoods (27).
  • the filter cells can have different amounts of air per Unit of time and / or differently prepared air are supplied.
  • the outflow sides of the filter cells are, regardless of the design and the supply air routing on the inflow side, uniformly free and allow the supply air to escape over the entire filter surface.
  • FIGS 3 and 4 show a cross section through the filter wall / ceiling in the cutout
  • Fig. 3 shows the design of the filter wall / ceiling for free inflow
  • Fig. 4 shows the design of the filter wall / ceiling for an air supply via air supply and distribution hoods clarify.
  • the filter cells (20), which are tightened and sealed with the aid of a tensioning device provided on the T-shaped support profiles (11), are accommodated in the support structure assembled from support profiles (11), with the aid of the connecting pieces (11.1) (Fig. 1) will.
  • the T-shaped support profiles (11) consist of a web (12) which is designed as a hollow chamber profile and a flange (13), the parts of which face outwards form the sealing flange for sealing the filter cells (20) against the supporting structure.
  • the bolts (16) (16.1 for the cut carrier profiles, 16.2 for the carrier profiles running transversely thereto) are fastened to the webs (12), with the webs (12) being designed as hollow chamber profiles, the simple fastening possibility being provided in that the bolt (16 ) through a hole (15) (FIG. 8) provided in the end wall of the web (12) and fixed there with the two nuts (16.3 and 16.4).
  • the uppermost chamber (12.1) (Fig. 8) of the hollow chamber profile receives one of the two nuts.
  • a spring (17) provided on the bolt which can be tensioned between an abutment plate (18) and a tension bridge (19) with the aid of the nut (18.1), acts on the upstanding ends (22.3) of the surrounding frame via the tension bridge (19) (22) of the filter cell (20).
  • the one there force exerted on the extensions (22.3) on the clamping device side is transmitted and ultimately presses the sealing surface (22.5) (FIG. 6) of the filter cell (20) against the seals (32), which are shown here as a double-round cord seal.
  • a guide and clamping insert (26) ensures the correct alignment of the filter cells (20) used.
  • the filter cells (20) are assembled from side profile sections (22), the side profiles (22) having a circumferential trough-like depression (22.1) (FIG. 6), into which the filter pack (23) is inserted and with potting compound (24) ( Fig. 5) is cemented and sealed.
  • FIGS. 6 and 7 show a further development of the sealing arrangement in the region of the sealing flange (13) of the carrier profile (11) formed from the web (12) and sealing flange (13) (FIG. 3).
  • the trough-like depression (22.1) can be seen, which is molded into the side profiles (22) of the surrounding cell frame and into which the filter pack (23) (FIG. 5) is inserted and with sealing compound (24) (Fig. 5) is cemented in this position and sealed.
  • the (in the illustration lower) outside of this trough-like recess forms the counter surface (22.5) to the sealing flange (13) and interacts with it with the interposition of the seal (32), a double round cord seal or (33) a profile seal provided with two sealing tips. Due to the pressure that the spring (17) of the tensioning device transmits to the cell frame (22), the two base line rings of the double round line ring seal (32) or the two advantageously beveled sealing lips of the profile seal (33) are pressed together, thereby producing the seal. The space between the two sealing rings of the double round cord seal (32) or between the two sealing lips of the profile seal (33) can advantageously be used to check the sealing seat.
  • a line (35) is provided for pressure maintenance and monitoring, which is connected to the intermediate space via bores (34). This can be done in the simplest way - as shown in Fig. 6 - through the sealing flange (13).
  • the hollow chamber profile - advantageously an extruded light metal profile - is provided in the area of the sealing flange (13) with further chambers which take over the function of the connecting line (35).
  • the profile seal (33) is then applied directly to the sealing flange (13), the sealing flange (13) projecting by at least the thickness of the extensions (22.2) on the sealant side. This projection ensures that the cell frame (22) with its sealant-side extensions (22.2) is applied to the outer end of the sealing flange (13) without jolts.
  • the bore (34) goes from the inner space of the profile seal (33) to the continuous hollow chamber serving as a collecting channel (35), which is provided in the region of the hollow chamber (12.3) (lowest in the illustration in FIG. 7).
  • the function of this hollow chamber (12.3) is not hindered, the fastening stones that can be inserted into the hollow chamber (12.3) and are provided with threaded holes or with threaded bolts can still be inserted and as fastening elements use for suspended facilities.
  • Fig. 8 is finally again a cross section through the support profile with web (12) and sealing flange (13), the chamber (12.1), the outside of which is provided with the hole (15), for receiving the fastening means for the Carrier profiles on the wall or ceiling of a clean room is used and the chamber (12.3), which is open to the outside via the sealing flange (13) provided slot (14), serves to fasten additional means.
  • the chambers (12.2) arranged between serve essentially for stabilization, but they can also accommodate the connecting means for the connecting arms of the connecting pieces (11.1) (Fig. 1) and introduce the tensile forces transmitted with them into the carrier profile.
  • the guide and clamping inserts (26) are used to position the filter cells (20) (Fig. 1) inserted in the supporting structure (10) (Fig.
  • inserts can be designed as flow guide bodies, corresponding to FIG. 9. This training is in the Able to reduce the flow disturbances through the latticework of the support profiles (11) (Fig. 1) of the framework (10) (Fig.1) and to ensure an improvement in the homogeneity of the air distribution.
  • These inserts (36) are clipped into the slots (14) with gripping heads (36.1) and form a kind of "diffuser" for each filter cell and thus ensure the trouble-free expansion of the flow. It goes without saying that these inserts (36) can also be used for secondary tasks. If a leak-proof material is used to produce these inserts (36), lighting means, advantageously fluorescent tubes, can be accommodated in these inserts for general room lighting. The heat released by these illuminants can be dissipated to the outside through ventilation to which the hollow profiles of these inserts are connected.

Abstract

In order, in clean-air technology, to avoid cavities between filter cell and framework, in order to be able to design the connection of the filter cells to the working region of the clean room "smoothly", it is proposed, for a filter wall or ceiling with filter cells (20) inserted in a framework (10) assembled from support profiles (11), each of the filter cells (20) being provided with a circumferential filter cell frame (21) and the support profiles (11) of the framework (10) being designed essentially as T-profiles, the flanges (13) of which as sealing flanges form the bearings for the filter cells (20) and which by means of stud bolts or suspension bolts (16.2) can be rigidly connected to the wall or ceiling of a clean room, that the filter cell frames (21) are formed from side profile sections (22) which have trough-shaped recesses (22.1) to receive the filter pack (23) and which are provided on both sides of the trough-shaped recess (22.1) with continuations (22.2, 22.3), the profile continuation (21.2) of which on the sealing means-side interacts with the associated sealing flange (13) of the corresponding support profile (11) and the profile continuation (22.3) of which on the clamping means-side interacts with clamping means, the projecting length of the profile continuation (22.2) on the sealing means-side being at the most equal to the thickness of the sealing means which is designed as a circumferential sealing profile (32; 33), and the outer projecting length of the sealing flange (13) corresponding at least to the depth of the circumferential trough-shaped recess (22.1). <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Filterwand/-decke für rein­raumtechnische Anlagen, mit in ein aus Trägerprofilen zusammengefügtes Rahmenwerk eingesetzten Filterzellen, wobei jeder der Filterzellen mit einem umlaufenden Filter­zellenrahmen versehen ist, in den jeweils ein Filter­pack mit Vergubmasse abgedichtet eingefügt ist, wobei die Trägerprofile des Rahmenwerks im wesentlichen als T-Profile ausgebildet sind, deren Flanschen als Dicht­flansche die Auflager für die Filterzellen bilden und die über an deren insbesondere als Hohlkammerprofile ausgebildeten Stegen Steh- bzw. Hängebolzen fest mit Wand bzw. Decke eines Reinraumes verbindbar sind, wobei an den Bolzen gegen diese abgestützte Spannmittel vorgesehen sind, deren freie Enden auf den Filterzellen­rahmen wirkend die Filterzellen gegen die Dichtflanschen anpressen und wobei zwischen den Dichtflanschen und den Zellenfilterrahmen Dichtmittel angeordnet sind.The invention relates to a filter wall / ceiling for clean room systems, with filter cells inserted into a framework composed of carrier profiles, each of the filter cells being provided with a circumferential filter cell frame, in each of which a filter pack with sealing compound is inserted, the carrier profiles of the framework being sealed are essentially designed as T-profiles, the flanges of which form the supports for the filter cells as sealing flanges and which are firmly attached to the standing or hanging bolts via their webs, which are in particular designed as hollow chamber profiles The wall or ceiling of a clean room can be connected, tensioning means supported against the bolts being provided on the bolts, the free ends of which, acting on the filter cell frame, press the filter cells against the sealing flanges and sealing means being arranged between the sealing flanges and the cell filter frame.

In der Reinraumtechnik wird in vielen Fällen mit turbu­lenzarmer Verdrängungsströmung gearbeitet. Dabei wird der gesamte Querschnitt eines Raumes von der Luftströmung mit gleichförmiger Geschwindigkeitsverteilung durchsetzt. Unmittelbar vor Eintritt in den reinen Bereich des Rein­raumes wird die Luft in Filtern gereinigt, die in ein Rahmenwerk eingesetzt sind, das zuluftseitig den gesamten Raumquerschnitt überdeckt. Dieses Rahmenwerk kann vor eine Wand gesetzt sein, der Luftstrom durchsetzt dann den reinen Bereich als Querströmung horizontal, es kann auch unter der Decke vorgesehen sein, der Luftstrom durchsetzt dann den reinen Bereich als Fallströmung vertikal. Wesent­liche Voraussetzung für das Erreichen der für eine Fer­tigung in diesem reinen Raum notwendigen Luftqualität ist neben der entsprechenden Filterung die Gleichförmigkeit der Geschwindigkeitsverteilung. Dabei bilden die zwischen den Filterzellen liegenden Profilabschnitte des Filter­zellen tragenden Rahmenwerks ein wesentliches Problem, die Filterzellen im allgemeinen einen umlaufenden Stehflansch aufweisen, der in eine mit flüssigen oder elastischen Dichtmitteln gefüllte Rinne am Rand der Profilabschnitte eintaucht und so die Dichtheit herstellt. Bei dieser Konstruktion bildet sich eine Hohlkammer, in die Luft unkontrolliert ein- und ausströmt, wobei diese Luft aus dem Luftvorrat der strömungstoten Zone können sich nun im Arbeitsbereich des Reinraumes freigesetzte Teilchen anreichern, so daß über die dichtungsbedingte Strömungsstörung eine gewisse Wahrscheinlichkeit dafür besteht, daß störende Teilchen in den Luftstrom gelangen.In clean room technology, low-turbulence displacement flow is used in many cases. The entire cross section of a room is penetrated by the air flow with a uniform speed distribution. Immediately before entering the clean area of the clean room, the air is cleaned in filters that are installed in a framework that covers the entire cross-section of the room on the supply air side. This framework can be placed in front of a wall, the air flow then passes through the clean area horizontally as a cross flow, it can also be provided under the ceiling, the air flow then passes through the clean area as a downward flow vertically. The essential prerequisite for achieving the air quality required for production in this clean room is, in addition to the appropriate filtering, the uniformity of the speed distribution. The profile sections of the framework supporting the filter cells, which lie between the filter cells, form an essential problem, the filter cells generally have a circumferential standing flange which plunges into a channel filled with liquid or elastic sealants at the edge of the profile sections and thus produces the tightness. With this construction, a hollow chamber is formed, into which air flows in and out in an uncontrolled manner, whereby this air from the air supply in the dead zone can now accumulate in the working area of the clean room, so that there is a certain probability of this due to the flow disturbance caused by the seal there is that disturbing particles get into the air flow.

Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrun­de die Konstruktion so weiter zu bilden, daß derartige Hohlräume vermieden und der Anschluß der Filterzellen an den Arbeitsbereich des Reinraumes "stoßfrei" ausgebildet ist.Proceeding from this, the object of the invention is to further develop the construction in such a way that such cavities are avoided and the connection of the filter cells to the working area of the clean room is “bumpless”.

Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst; vorteilhafte Weiterbil­dungen und Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 12 beschrieben.This object is achieved by the features specified in the characterizing part of claim 1; Advantageous further developments and refinements are described in subclaims 2 to 12.

Die Ausbildung des Filterzellenrahmens aus einzelnen Profilabschnitten mit wannenförmiger Vertiefung und beid­seits davon angeordneten Fortsätzen stellt sicher, daß das Filterpack mit Vergußmasse einwandfrei am Filter­zellenrahmen befestigt ist, so daß seitliche Leckagen vermieden werden. Die dichtmittelseitige Außenseite der rechtwinklig zum Seitenprofilabschnitt verlaufenden, die wannenförmige Vertiefung bildenden Wand bildet dabei den Gegenflansch für den Dichtflansch des Trägerprofils des Rahmenwerks. Zwischen beiden ist ein umlaufendes Dicht­profil angeordnet, entweder auf dem Dichtflansch oder auf dem den Gegenflansch bildenden Teil des Zellenrahmens. Es versteht sich von selbst, daß dieses umlaufende Dichtungsprofil dort festgelegt sein kann. Durch den dichtmittelseitigen Überstand an den Profilabschnitten des Filterzellenrahmens wird der Spalt zwischen Filter­zelle und Trägerprofilen des die Filterzelle aufnehmen­den Gitterwerks überbrückt und damit geschlossen. Da dieser Überstand höchstens gleich der Dicke des Dichtprofils sein soll, wird da­rüber hinaus sichergestellt, daß das Dichtprofil beid­seits anliegt und somit abdichtet. Ein geringfügiges Untermaß dieses Fortsatzes erlaubt ein Anpressen des Dichtprofiles, wobei die Größe des Untermaßes von der Steifigkeit bzw. der elastischen Verformbarkeit des Dich­tungsmaterials abhängt, so daß das Zusammendrücken bis zum Schließen des Spaltes eine zur Abdichtung hinreichende Ver­formung des Dichtungsprofils bewirkt.The formation of the filter cell frame from individual profile sections with a trough-shaped depression and projections arranged on both sides of it ensures that the filter pack with sealing compound is properly attached to the filter cell frame, so that lateral leakages are avoided. The outside of the sealant side of the wall which extends at right angles to the side profile section and forms the trough-shaped depression forms the counter flange for the sealing flange of the support profile of the framework. A circumferential sealing profile is arranged between the two, either on the sealing flange or on the part of the cell frame forming the counter flange. It goes without saying that this circumferential sealing profile can be fixed there. The gap between the filter cell and the carrier profiles of the lattice work holding the filter cell is bridged and thus closed by the protrusion on the side of the sealant on the profile sections of the filter cell frame. Since this projection should at most be equal to the thickness of the sealing profile, it is also ensured that the sealing profile rests on both sides and thus seals. A slight undersize of this extension allows pressing the Sealing profile, the size of the undersize depending on the rigidity or the elastic deformability of the sealing material, so that the compression until the gap closes causes a sufficient deformation of the sealing profile for sealing.

Um die Luftzufuhr zu den einzelnen Filterzellen auch dann sicher zu stellen, wenn der Deckenraum selbst als Luftkammer benutzt werden kann, werden Lufteintritts- ­und Verteilungshauben benutzt, wobei die spannmittelsei­tigen Profilfortsätze mit Auflageleisten für diese versehen sind. Auf diese Weise gelingt es Filterzelle und Luftzuführungs- und Verteilungshaube zu einer Ein­heit zusammen zu fassen, wobei die Luftverteilungshaube einen Flansch aufweist, der mit dem Steg verschraubt wird und wobei zur besseren Abdichtung noch Verguß- oder Dichtmasse aufgebracht sein kann. Durch diese Haube ist es auch möglich innerhalb des Arbeitsbereichs des Rein­raumes unterschiedliche Klimazonen zu schaffen, oder andere lüftungstechnische Bedingungen einzuhalten, wobei die diesen Sonderbereichen zugeordneten Hauben mit dem­entsprechend besonders aufbereiteter Luft versorgt werden, die - etwa über flexible Rohre - den Luftein­trittsstutzen dieser Hauben zugeleitet wird.In order to ensure the air supply to the individual filter cells even when the ceiling space itself can be used as an air chamber, air inlet and distribution hoods are used, the profile extensions on the clamping device side being provided with support strips for them. In this way, it is possible to combine the filter cell and the air supply and distribution hood to form a unit, the air distribution hood having a flange which is screwed to the web and which, for better sealing, may also have a sealing compound or sealing compound applied. With this hood, it is also possible to create different climatic zones within the working area of the clean room, or to comply with other ventilation conditions, whereby the hoods assigned to these special areas are supplied with correspondingly specially prepared air, which is supplied to the air inlet port of these hoods, for example via flexible pipes .

Zum Anpressen der Filterzellen dienen Schraubenfedern, die auf den Steh- bzw. Hängebolzen die zur Befestigung des Rahmenwerks an der Wand bzw. der Decke des Reinraumes dienen vorgesehen sind. Die als Gewindebolzen ausge­führten Bolzen tragen eine Mutter mit Widerlagerscheibe, die einer Schraubenfeder als Widerlager dient, wobei das andere Ende der Schraubenfeder auf eine Spannbrücke wirkt, die ihrerseits auf die Stehkanten der spannmittel­seitigen Fortsätze der Filterzellen drückt. Durch diese Spannbrücke wird eine gleichmäßige Krafteinleitung in jeweils zwei nebeneinander liegende Filterzellen er­reicht, wobei diese Spannmittel auf den Schmal- und auf den Langseiten in unterschiedlicher Anzahl vorgesehen sein können im allgemeinen reichen für die Schmalseite einer Filterzelle zwei Spannelemente aus. Es versteht sich von selbst, daß für die am Rand der Filterwand/-decke angeordneten Filterzellen eine entsprechende Unterfüt­terung für die Spannbrücke vorzusehen ist, so daß die Spannbrücke auch in dieser Position beidseits ein Wider­lager findet.Coil springs are used to press the filter cells, which are provided on the studs or suspension bolts that are used to fasten the framework to the wall or ceiling of the clean room. The bolts designed as threaded bolts have a nut with an abutment washer, which serves as an abutment for a helical spring, the other end of the helical spring acting on a tension bridge, which in turn presses on the standing edges of the extensions of the filter cells on the clamping means side. This tension bridge ensures uniform force transmission into two filter cells lying next to one another, these tensioning means on the narrow and on the The long sides can be provided in different numbers. Two clamping elements are generally sufficient for the narrow side of a filter cell. It goes without saying that for the filter cells arranged at the edge of the filter wall / ceiling, an appropriate relining must be provided for the tensioning bridge, so that the tensioning bridge also finds an abutment on both sides in this position.

Zum sauberen Einbringen der Filterzelle ist es vorteil­haft, wenn an den Stegen der Trägerprofile in Verbindung mit den Spannmitteln Führungs- und Klemmeinsätze vorge­sehen sind, deren Breite dem Abstand der Außenflächen der spannmittelseitigen Fortsätze zweier benachbarten Filterzellen entspricht. Dadurch wird ein Verkanten von vornherein vermieden und ein einwandfreies Aufsetzen des Gegenflansches zum Dichtflansch des Trägerprofils auf das umlaufende Dichtprofil (oder umgekehrt !) sicherge­stellt. Eine an den freien Enden des Führungs- und Klemm­einsatzes vorgesehene Umbiegung erleichtert das Einführen der Filterzelle, wenn der Führungs- und Klemmeinsatz als Federeinsatz aus entsprechendem Federstahl ausgebildet ist, der im Ruhezustand etwas weiter nach außen übersteht und erst beim Einsetzen der Filterzelle auf das Abstandsmaß zusammengedrückt wird.For the clean insertion of the filter cell, it is advantageous if guide and clamping inserts are provided on the webs of the support profiles in connection with the clamping means, the width of which corresponds to the distance between the outer surfaces of the extensions on the clamping means side of two adjacent filter cells. This prevents canting from the outset and ensures that the counter flange to the sealing flange of the carrier profile is correctly placed on the circumferential sealing profile (or vice versa!). A bend provided at the free ends of the guiding and clamping insert facilitates the insertion of the filter cell if the guiding and clamping insert is designed as a spring insert made of corresponding spring steel, which protrudes somewhat further outwards in the idle state and is compressed to the distance dimension only when the filter cell is inserted becomes.

Das umlaufende Dichtprofil kann eine Rundschnurdichtung sein, es ist jedoch auch vorteilhaft zwei im Abstand voneinander angeordnete Rundschnurdichtungen vorzusehen. Alternativ dazu kann ein U-Profil vorgesehen sein, mit zum gegenüberliegenden Flansch offenem U. In beiden letzteren Fällen ist zwischen den beiden Rundschnurdich­tungen bzw. zwischen den beiden Schenkeln des U ein um­laufender Raum, der als Prüfrille genutzt werden kann.The circumferential sealing profile can be a round cord seal, but it is also advantageous to provide two round cord seals arranged at a distance from one another. Alternatively, a U-profile can be provided, with a U open to the opposite flange. In the latter two cases, there is a circumferential space between the two round cord seals or between the two legs of the U, which can be used as a test groove.

Derartige an sich bekannte Prüfrillen dienen zur Über­ prüfung der Dichtheit eines Dichtsitzes, wobei der Raum der umlaufenden Rille unter Über- oder Unterdruck gesetzt wird und die Veränderung des Druckes als Maß für die Un­dichtheit beobachtet wird. Eine Verbindung nach außen ermöglicht diese Drucküberwachung.Such known test grooves are used for over Testing the tightness of a sealing seat, whereby the space of the circumferential groove is placed under positive or negative pressure and the change in pressure is observed as a measure of the leak. A connection to the outside enables this pressure monitoring.

Um Beleuchtungseinrichtungen, Versorgungseinrichtungen o.dgl. im Arbeitsbereich des Reinraumes vorsehen zu können, können bei allen oder einigen Trägerprofilen des Rahmenwerks die Querschenkel des T-Profils im Bereich des Steges dichtmittelseitig einen Schlitz aufweisen, der die unterste Hohlkammer des Steges nach außen öffnet. Dadurch bildet sich eine "T-Nut", in die entsprechende, mit Gewindebolzen oder Gewindebohrungen versehene Mutter­steine eingeführt werden können zum Festschraub von Lichtleisten, Steckerleisten o.dgl.. Es versteht sich von selbst, daß derartige Anordnungen im Hinblick auf die von innen bedingten Strömungsstörungen bei der Organi­sation des Arbeitsablaufs im Arbeitsbereich des Rein­raumes berücksichtigt werden müssen. Die Strömungs­störungen können dabei minimiert werden, wenn abström­seitige Strömungsleitkörper vorgesehen sind, z.B. als Überfanghauben bei Leuchtstoffröhren. Nicht benötigte Schlitze können mit einer Abdeckung versehen sein, um zum reinen Arbeitsbereich hin offene Hohlräume zu ver­meiden. Auch hier kann der Einsatz mit einer in den Strömungsbereich weisenden Profilierung versehen sein, die dreieckförmig, oval, vorteilhaft spitz-oval ausge­bildet die Todwassergebiete der Rahmenprofile ausfüllt. Die in den Reinraumbereich hineinreichende Länge dieser Strömungsleitprofile wird dabei vorteilhaft im Bereich des Dreifachen der Basisbreite gehalten. Diese Länge ent­spricht bei den üblichen Störmungsbedinungen im reinen Raum der Länge der sich hinter den Trägerprofilen des Rahmenwerks ausbildenden Todwasserbereichs.To lighting equipment, utilities or the like. To be able to provide in the working area of the clean room, the cross legs of the T-profile can have a slot in the area of the web on the sealant side for all or some of the support profiles of the framework, which opens the lowermost hollow chamber of the web to the outside. This forms a "T-groove" into which corresponding nut blocks provided with threaded bolts or threaded bores can be inserted for screwing light strips, plug strips or the like. It goes without saying that such arrangements with regard to those caused from the inside Flow disturbances in the organization of the workflow in the work area of the clean room must be taken into account. The flow disturbances can be minimized if flow-guiding bodies on the outflow side are provided, for example as flashing hoods for fluorescent tubes. Slots that are not required can be provided with a cover in order to avoid cavities that are open towards the pure work area. Here, too, the insert can be provided with a profile pointing into the flow area, which triangular, oval, advantageously pointed-oval design fills the dead water areas of the frame profiles. The length of these flow guide profiles reaching into the clean room area is advantageously kept in the range of three times the base width. This length corresponds to the length of the dead water area that forms behind the support profiles of the framework under the usual malfunction conditions in the clean room.

Das Wesen der Neuerung wird anhand der Fig. 1 bis 9 beispielhaft näher erläutert dabei zeigen

  • Fig. 1: Ansicht der Filterwand/-decke von der Abström­seite (Eck-Abschnitt; schematisch),
  • Fig. 2: Ansicht der Filterwand/-decke von der Anström­seite (Eck-Abschnitt; schematisch),
  • Fig. 3: Querschnitt durch Filterwand/-decke (Aus­schnitt; schematisch),
  • Fig. 4: Querschnitt durch Filterwand/-decke, Filter­zellen mit Lufteintritts- und Verteilhauben (Ausschnitt; schematisch),
  • Fig. 5: Einzelheit Filterzellenbefestigung am Träger­profil (schematisch),
  • Fig. 6: Einzelheit Abdichtung Filterzelle gegen Dichtflansch des Trägerprofils mit Doppel­Rundschnurdichtung,
  • Fig. 7: Einzelheit wie Fig. 6 jedoch mit Profil­dichtung,
  • Fig. 8: Einzelheit Trägerprofil mit Führungs- und Klemmeinsatz (schematisch),
  • Fig. 9: Einzelheit Trägerprofil mit angesetztem Strömungsleitkörper.
The essence of the innovation will be illustrated by way of example with reference to FIGS. 1 to 9
  • 1: View of the filter wall / ceiling from the outflow side (corner section; schematic),
  • 2: View of the filter wall / ceiling from the upstream side (corner section; schematic),
  • 3: cross section through filter wall / ceiling (detail; schematic),
  • 4: cross section through filter wall / ceiling, filter cells with air inlet and distribution hoods (detail; schematic),
  • 5: Detail of filter cell attachment to the carrier profile (schematic),
  • Fig. 6: Detail of the sealing of the filter cell against the sealing flange of the carrier profile with double round cord seal,
  • 7: detail like FIG. 6 but with profile seal,
  • 8: detail of carrier profile with guide and clamping insert (schematic),
  • Fig. 9: Detail support profile with attached flow guide.

Die Figuren 1 und 2 zeigen einen Eckausschnitt der Decke in Aufsicht, wobei die Fig. 1 die Luftaustrittsseite als Abströmseite, und die Fig. 2 die Lufteintrittsseite als Anströmseite darstellen. Ein Rahmenwerk (10), mit der Größe der Filterzellen (20) entsprechenden Öffnungen, ist aus Abschnitten der Trägerprofile (11) gebildet, die mit Verbindungsstücken (11.1) (zweiarmig für die Eckverbinder, dreiarmig für die Randverbinder und vierarmig für innere Verbindungsstücke) zusammengefügt ist. In die so ent­standenen rechteckigen Räume sind die Filterzellen (20) eingefügt. Die Trägerprofile (11) werden als T-Profile ausgebildet, wobei vorteilhafterweise der Steg (12) (Fig. 8) der Trägerprofile mit durchgehenden Hohlkammern (12.1, 12.2 und 12.3) (Fig. 8) versehen ist und der Flansch (13) (Fig. 8) der Trägerprofile den Dichtflansch gegenüber der Filterzelle (20) bildet. Dieser Flansch (13) (Fig. 8) ist mit einem Schlitz (14) versehen, der sich in den Verbindungsstücken (11.1) fortsetzt und der zum Anhängen von Beleuchtungskörpern, Versorgungsein­richtungen für elektrischen Strom, Druckluft oder anderen Medien dient. Dazu werden mit einer Gewindebohrung oder mit einem Bolzen versehene Steine in die durch den Schlitz (14) geöffnete untere Hohlkammer (12.3) (Fig. 8) einge­führt, was sie z.B. über die Vierung der Schlitze (14) in den vierarmigen Verbindungsstücken (11.1) leicht bewerk­stelligen läßt. Das Rahmenwerk (10) ist an Steh- bzw. Hängebolzen (16) mit der das Rahmenwerk (10) tragenden Wand bzw. Decke des Reinraumes verbindbar, wobei diese Bolzen (16), die mit Spannbrücken (19) versehene Spann­vorrichtung zum dichten Einsetzen der Filterzellen (20) versehen sind. Die Spannbrücken (19) stützen sich dabei jeweils auf zwei gegenüberliegende Filterzellen (20) ab, es versteht sich von selbst, daß bei randständigen Verbindungs­brücken (19) diese Abstützung durch entsprechende Bei­lagen (19.1) hergestellt werden muß. Bei der oberen Reihe der Filterzellen (20) - die Filterzellen sind als Falten­filter dargestellt, wobei die Lage der Falten durch die paralellen Striche verdeutlicht ist - ist ihre Anström­seite frei zugängig, der Raum zwischen Filterwand/-decke und Wand bzw. Decke des Reinraumes bildet eine Druckkam­mer für die Zuluft. Bei der unteren Reihe in der Dar­stellung der Fig. 2, sind die Filterzellen mit Luftzu­führungs- und Verteilungshauben (27) versehen, die über die Stuten (28) mit einer Lüftungszentrale verbindbar sind (nicht näher dargestellt). Durch den Lufteintritts­stutzen (28) der Hauben (27) sind die Filterfalten der Filterzellen zu erkennen. Bei dieser Art der Luftzuführung können den Filterzellen unterschiedliche Luftmengen pro Zeiteinheit und/oder unterschiedlich aufbereitete Luft zugeführt werden. Die Abströmseiten der Filterzellen sind, unabhängig von der Gestaltung und der Zuluftführung auf der Zuströmseite,einheitlich frei und gestatten den Aus­tritt der Zuluft über die gesamte Filterfläche hinweg.Figures 1 and 2 show a corner section of the ceiling in supervision, with Fig. 1 the air outlet side as the outflow side, and Fig. 2 the air inlet side as the inflow side. A framework (10) with openings corresponding to the size of the filter cells (20) is formed from sections of the carrier profiles (11) which are joined together with connecting pieces (11.1) (two-armed for the corner connectors, three-armed for the edge connectors and four-armed for inner connectors) is. The filter cells (20) are inserted into the rectangular spaces thus created. The carrier profiles (11) are designed as T-profiles, the web (12) advantageously (Fig. 8) of the carrier profiles with continuous hollow chambers (12.1, 12.2 and 12.3) (Fig. 8) is provided and the flange (13) (Fig. 8) of the carrier profiles forms the sealing flange opposite the filter cell (20). This flange (13) (Fig. 8) is provided with a slot (14) which continues in the connecting pieces (11.1) and which is used for attaching lighting fixtures, supply devices for electrical current, compressed air or other media. For this purpose, stones provided with a threaded hole or a bolt are inserted into the lower hollow chamber (12.3) (Fig. 8) opened by the slot (14), which they can do, for example, by crossing the slots (14) in the four-armed connecting pieces (11.1) can be easily accomplished. The framework (10) can be connected to studs or hanging bolts (16) with the wall or ceiling of the clean room supporting the framework (10), these bolts (16), the tensioning device provided with tensioning bridges (19) for tight insertion of the Filter cells (20) are provided. The tensioning bridges (19) are each supported on two opposite filter cells (20), it goes without saying that in the case of marginal connecting bridges (19) this support must be produced by means of appropriate inserts (19.1). In the top row of filter cells (20) - the filter cells are shown as pleated filters, the position of the pleats being shown by the parallel lines - their upstream side is freely accessible, forming the space between the filter wall / ceiling and the wall or ceiling of the clean room a pressure chamber for the supply air. 2, the filter cells are provided with air supply and distribution hoods (27) which can be connected to a ventilation center via the mares (28) (not shown in more detail). The filter folds of the filter cells can be seen through the air inlet connection (28) of the hoods (27). With this type of air supply, the filter cells can have different amounts of air per Unit of time and / or differently prepared air are supplied. The outflow sides of the filter cells are, regardless of the design and the supply air routing on the inflow side, uniformly free and allow the supply air to escape over the entire filter surface.

Die Figuren 3 und 4 zeigen einen Querschnitt durch die Filterwand/-decke im Ausschnitt, wobei Fig. 3 die Aus­bildung der Filterwand/-decke für freie Einströmung und Fig. 4 die Ausbildung der Filterwand/-decke für eine Luft­zuführung über Luftzuführungs- und Verteilungshauben ver­deutlichen. In das aus Trägerprofilen (11), mit Hilfe der Verbindungsstücke (11.1) (Fig. 1) zusammengefügte Trag­werk, nimmt die Filterzellen (20) auf, die mit Hilfe einer an den T-förmig ausgebildeten Trägerprofilen (11) vorge­sehenen Spanneinrichtung angespannt und abgedichtet werden. Die T-förmigen Trägerprofile (11) bestehen aus einem Steg (12), der als Hohlkammer-Profil ausgebildet ist und einem Flansch (13), dessen nach außen gerichtete Teile den Dichtflansch zum Abdichten der Filterzellen (20) gegen das Tragwerk bilden. An den Stegen (12) sind die Bolzen (16) (16.1 für die geschnittenen Trägerprofile, 16.2 für die dazu querlaufenden Trägerprofile) befestigt, wobei bei Ausbildung der Stege (12) als Hohlkammerprofile die einfache Befestigungsmöglichkeit dadurch gegeben ist, daß der Bolzen (16) durch ein in der Stirnwand des Steges (12) vorgesehenes Loch (15) (Fig. 8) geführt und dort mit den beiden Muttern (16.3 und 16.4) festgelegt ist. Die oberste Kammer (12.1) (Fig. 8) des Hohlkammerprofils nimmt dabei eine der beiden Muttern auf. Eine auf dem Bolzen vorgesehene Feder (17) die zwischen einer Wider­lagerplatte (18) und einer Spannbrücke (19) mit Hilfe der Mutter (18.1) gespannt werden kann, wirkt über die Spann­brücke (19) auf die hochstehenden Enden (22.3) des um­laufenden Rahmens (22) der Filterzelle (20). Die dabei auf die spannmittelseitige Fortsätze (22.3) ausgeübte Kraft überträgt sich und drückt letztendlich die Dicht­fläche (22.5) (Fig. 6) der Filterzelle (20) gegen die Dichtungen (32), die hier als Doppel-Rundschnurdichtung ausgebildet dargestellt sind. Ein Führungs- und Klemmein­satz (26) sorgt für die ordnungsgemäße Ausrichtung der eingesetzten Filterzellen (20). Die Filterzellen (20) sind aus Seitenprofil-Abschnitten (22) zusammengefügt, wobei die Seitenprofile (22) eine umlaufende wannenartige Vertiefung (22.1) (Fig. 6) aufweisen, in die das Filter­pack (23) eingesetzt und mit Vergußmasse (24) (Fig. 5) eingekittet und eingedichtet ist. Es ist dabei vorteilhafte die Vergußmasse (24) so einzustellen, daß das Filtermedium des Filterpacks (23) etwa soweit eingetaucht bzw. luftun­durchlässig ist, daß der luftdurchlässige Bereich bündig mit der spannmittelseitigen Forts tze (22.3) des Profil­abschnitts liegt (in Fig. 5 als 24.1 gestrichelt ange­deutet). Auf der Dichtungsseite befindet sich eine dicht­mittelseitige Fortsätze (22.2) die wiederum mit dem Dichtflansch (13) des Rahmenwerks zusammenwirkt. Zwischen der Dichtfläche (22.5) (Fig. 6) und der Innenseite des Dichtflansches (13) sind Dichtungen angeordnet, die als einfache Rundschnurdichtung, als doppelte Rundschnur­dichtung (32) oder als Profildichtung (33) (Fig. 7) aus­gebildet sein können. Die Kraft der Feder (17), über­tragen durch die Spannbrücke (19) und die Seitenprofil­abschnitte (22) des Zellenrahmens wirken auf diese Dich­tungen, pressen sie zusammen, wobei die Länge des dicht­mittelseitigen Überstandes (22.2) die Stärke der Dichtung und ihre Kompressilibität so aufeinander abgestimmt sind, daß der dichtmittelseitige Fortsatz (22.2) des Zellen­rahmens bei gepresster Dichtung gerade auf dem Dicht­flansch (13) des Tragwerkes (10) aufsteht. Zur Zuführung besonders aufbereiteter Luft oder unterschiedlicher Luft­ menge pro Zeiteinheit, wird die Zuströmseite der Filter­zellen (22) mit einer Haube (27) abgedeckt, der Luft über die Stutzen (28) zugeführt werden kann. Dazu erhalten die umlaufenden Seitenprofilabschnitte (22) des Zellenrahmens Auflageleisten (22.4) auf die der umlaufende Flansch der Haube (27) aufgelegt und befestigt werden kann. Die Fig.5 zeigt diese Einzelheit der Befestigung nochmals vergrößert, wobei zur Befestigung der Haube (27) eine Verschraubung mit Hilfe der Schrauben (25.1) vorgesehen ist und zur Ab­dichtung eine Auflage von Dichtmasse (25.2).Figures 3 and 4 show a cross section through the filter wall / ceiling in the cutout, Fig. 3 shows the design of the filter wall / ceiling for free inflow and Fig. 4 shows the design of the filter wall / ceiling for an air supply via air supply and distribution hoods clarify. The filter cells (20), which are tightened and sealed with the aid of a tensioning device provided on the T-shaped support profiles (11), are accommodated in the support structure assembled from support profiles (11), with the aid of the connecting pieces (11.1) (Fig. 1) will. The T-shaped support profiles (11) consist of a web (12) which is designed as a hollow chamber profile and a flange (13), the parts of which face outwards form the sealing flange for sealing the filter cells (20) against the supporting structure. The bolts (16) (16.1 for the cut carrier profiles, 16.2 for the carrier profiles running transversely thereto) are fastened to the webs (12), with the webs (12) being designed as hollow chamber profiles, the simple fastening possibility being provided in that the bolt (16 ) through a hole (15) (FIG. 8) provided in the end wall of the web (12) and fixed there with the two nuts (16.3 and 16.4). The uppermost chamber (12.1) (Fig. 8) of the hollow chamber profile receives one of the two nuts. A spring (17) provided on the bolt, which can be tensioned between an abutment plate (18) and a tension bridge (19) with the aid of the nut (18.1), acts on the upstanding ends (22.3) of the surrounding frame via the tension bridge (19) (22) of the filter cell (20). The one there force exerted on the extensions (22.3) on the clamping device side is transmitted and ultimately presses the sealing surface (22.5) (FIG. 6) of the filter cell (20) against the seals (32), which are shown here as a double-round cord seal. A guide and clamping insert (26) ensures the correct alignment of the filter cells (20) used. The filter cells (20) are assembled from side profile sections (22), the side profiles (22) having a circumferential trough-like depression (22.1) (FIG. 6), into which the filter pack (23) is inserted and with potting compound (24) ( Fig. 5) is cemented and sealed. It is advantageous to set the potting compound (24) so that the filter medium of the filter pack (23) is immersed or airtight to such an extent that the air-permeable area is flush with the clamping means-side extensions (22.3) of the profile section (in Fig. 5 as 24.1 indicated by dashed lines). On the seal side there is an extension (22.2) on the sealant side, which in turn interacts with the sealing flange (13) of the framework. Seals are arranged between the sealing surface (22.5) (Fig. 6) and the inside of the sealing flange (13), which can be designed as a single round cord seal, a double round cord seal (32) or a profile seal (33) (Fig. 7). The force of the spring (17) transmitted through the tension bridge (19) and the side profile sections (22) of the cell frame act on these seals, compress them, the length of the sealant-side overhang (22.2), the strength of the seal and its compressibility are coordinated so that the sealant-side extension (22.2) of the cell frame just stands on the sealing flange (13) of the supporting structure (10) when the seal is pressed. For supplying specially treated air or different air quantity per unit of time, the inflow side of the filter cells (22) is covered with a hood (27), to which air can be supplied via the nozzles (28). For this purpose, the circumferential side profile sections (22) of the cell frame are provided with support strips (22.4) on which the circumferential flange of the hood (27) can be placed and fastened. 5 shows this detail of the attachment again enlarged, a screw connection using the screws (25.1) being provided for attaching the hood (27) and a layer of sealing compound (25.2) for sealing.

Die Figuren 6 und 7 zeigen eine weitergeführte Ausbildung der Dichtungsanordnung im Bereich des Dichtflansches (13) des aus Steg (12) und Dichtflansch (13) gebildeten Träger­profils (11) (Fig. 3). Hier ist auch ohne eingezeichnetem Filterpack (23) (Fig. 5) die wannenartige Vertiefung (22.1) zu erkennen, die in die Seitenprofile (22) des umlaufenden Zellenrahmens eingeformt ist und in die das Filterpack (23) (Fig. 5) eingelegt und mit Vergußmasse (24) (Fig. 5) in dieser Position eingekittet und abgedichtet wird. Die (in der Darstellung untere) Außenseite dieser wannen­artigen Vertiefung bildet die Gegenfläche (22.5) zum Dicht­flansch (13) und wirkt mit diesem unter Zwischenschaltung der Dichtung (32), einer doppelten Rundschnurdichtung oder (33) einer mit zwei Dichtspitzen versehenen Profil­dichtung zusammen. Durch den Druck den die Feder (17) der Spannvorrichtung auf den Zellenrahmen (22) überträgt, werden die zwei Grundschnurringe der Doppel-Rundschnur­ringdichtung (32) oder die beiden vorteilhafterweise dachförmig abgeschrägten Dichtlippen der Profildichtung (33) zusammengepresst, wodurch die Abdichtung hergestellt wird. Der Raum zwischen den beiden Dichtringen der Doppel­Rundschnurdichtung (32) bzw. zwischen den beiden Dicht­lippen der Profildichtung (33), kann vorteilhaft zur Über­prüfung des Dichtsitzes verwandt werden. Dazu wird dieser Raum unter Überdruck oder Unterdruck gesetzt und die Ver­änderung dieses Druckes überwacht. Neben dieser qualitati­ven Aussage zur Dichtheit ist auch eine quantitative Aus­sage möglich, in dem kontinuierlich Luft eingeblasen oder abgesaugt wird, so daß der sich in dem Zwischenraum ein­stellende Überdruck bzw. Unterdruck konstant gehalten wird. Die pro Zeiteinheit zugeführte bzw. abgesaugte Luft­menge ist dabei direkt ein Maß für die erreichte Dicht­heit. Für reinraumtechnische Belange ist dabei ein Ab­saugen vorzuziehen um Verunreinigungen durch aus dem Dicht­raum austretende Luft zu vermeiden. Zur Druckhaltung und Überwachung ist eine Leitung (35) vorgesehen, die über Bohrungen (34) mit dem Zwischenraum in Verbindung steht. Dies kann in einfachster Weise - wie in Fig. 6 dargestellt- ­durch den Dichtflansch (13) erfolgen. Eine andere Aus­führungsmöglichkeit ist dadurch gegeben, daß das Hohl­kammerprofil - vorteilhafterweise ein stranggepresstes Leichtmetallprofil - im Bereich des Dichtflansches (13) mit weiteren Kammern, die die Funktion der Verbindungs­leitung (35) übernehmen, versehen ist. Die Profildich­tung (33) wird dann direkt auf den Dichtflansch (13) auf­gebracht, wobei der Dichtflansch (13) um mindestens die Dicke der dichtmittelseitigen Fortsätze (22.2) über­steht. Durch diesen Überstand ist eine stossfreies An­legen des Zellenrahmens (22) mit seiner dichtmittelseiti­gen Fortsätze (22.2) an das äußere Ende des Dicht­flansches (13) gewährleistet. Vom inneren Zwischenraum der Profildichtung (33) geht die Bohrung (34) zu der als Sammelkanal (35) dienenden durchlaufenden Hohlkammer, die im Bereich der (in der Darstellung der Fig. 7 untersten) Hohlkammer (12.3) vorgesehen ist. Dabei wird die Funktion dieser Hohlkammer (12.3) nicht behindert, die in die Hohlkammer (12.3) einführbaren mit Gewindebohrungen oder mit Gewindebolzen versehenen Befestigungssteine, lassen sich nach wie vor einführen und als Befestigungselemente für untergehängte Einrichtungen benutzen.FIGS. 6 and 7 show a further development of the sealing arrangement in the region of the sealing flange (13) of the carrier profile (11) formed from the web (12) and sealing flange (13) (FIG. 3). Here, even without the filter pack (23) (FIG. 5) shown, the trough-like depression (22.1) can be seen, which is molded into the side profiles (22) of the surrounding cell frame and into which the filter pack (23) (FIG. 5) is inserted and with sealing compound (24) (Fig. 5) is cemented in this position and sealed. The (in the illustration lower) outside of this trough-like recess forms the counter surface (22.5) to the sealing flange (13) and interacts with it with the interposition of the seal (32), a double round cord seal or (33) a profile seal provided with two sealing tips. Due to the pressure that the spring (17) of the tensioning device transmits to the cell frame (22), the two base line rings of the double round line ring seal (32) or the two advantageously beveled sealing lips of the profile seal (33) are pressed together, thereby producing the seal. The space between the two sealing rings of the double round cord seal (32) or between the two sealing lips of the profile seal (33) can advantageously be used to check the sealing seat. To do this, this The room is pressurized or underpressure and the change in this pressure is monitored. In addition to this qualitative statement about the tightness, a quantitative statement is also possible in which air is continuously blown or sucked in, so that the overpressure or underpressure which arises in the intermediate space is kept constant. The amount of air supplied or extracted per unit of time is a direct measure of the tightness achieved. For clean room technology, suction should be preferred in order to avoid contamination by air escaping from the sealing room. A line (35) is provided for pressure maintenance and monitoring, which is connected to the intermediate space via bores (34). This can be done in the simplest way - as shown in Fig. 6 - through the sealing flange (13). Another possible embodiment is provided in that the hollow chamber profile - advantageously an extruded light metal profile - is provided in the area of the sealing flange (13) with further chambers which take over the function of the connecting line (35). The profile seal (33) is then applied directly to the sealing flange (13), the sealing flange (13) projecting by at least the thickness of the extensions (22.2) on the sealant side. This projection ensures that the cell frame (22) with its sealant-side extensions (22.2) is applied to the outer end of the sealing flange (13) without jolts. The bore (34) goes from the inner space of the profile seal (33) to the continuous hollow chamber serving as a collecting channel (35), which is provided in the region of the hollow chamber (12.3) (lowest in the illustration in FIG. 7). The function of this hollow chamber (12.3) is not hindered, the fastening stones that can be inserted into the hollow chamber (12.3) and are provided with threaded holes or with threaded bolts can still be inserted and as fastening elements use for suspended facilities.

In der Fig. 8 ist schließlich noch inmal ein Querschnitt durch das Trägerprofil mit Steg (12) und Dichtflansch (13) dargestellt, wobei die Kammer (12.1), deren Außenseite mit dem Loch (15) versehen ist, zur Aufnahme der Be­festigungsmittel für die Trägerprofile an Wand bzw. Decke eines Reinraumes dient und die Kammer (12.3), die über den Dichtflansch (13) vorgesehenen Schlitz (14) nach auben geöffnet ist, der Befestigung zusätzlicher Mittel dient. Die dazwischen angeordneten Kammern (12.2) dienen im wesentlichen der Stabilisierung, sie können jedoch auch die Verbindungsmittel zu den Anschlußarmen der Verbindungs­stücke (11.1) (Fig. 1) aufnehmen und die mit ihnen über­tragenen Zugkräfte in das Trägerprofil einleiten. Zur Positionierung der in das Tragwerk (10) (Fig. 1) einge­setzten Filterzellen (20) (Fig. 1) dienen die Führungs- ­und Klemmeinsätze (26),die ebenfalls mit einem Loch für den Steh-/Hängebolzen (16) (Fig. 5) versehen, auf diese Bolzen aufgesetzt werden und mit ihren nach außen ge­richteten Seitenteilen (26.1) die Filterzellen auf den für eine ordnungsgemäße Lage, auch im Hinblick auf die Dichtung am Dichtflansch (13) vorgesehene Position bringen. Es versteht sich von selbst, daß diese Führungs- ­und Klemmeinsätze federnd ausgebildet und vorteilhafter­weise aus Federstahl gefertigt sind, wobei zum erleichtern der Entnahme der Filterzellen die freien Enden der nach außen verweisenden Seitenteile (26.1) nach innen ge­richtete Abwinklungen (26.2) aufweisen. Die durch den Schlitz (14) zum Reinraum offene Kammer (12.3) des Steges (12) im Trägerprofil (11) (Fig. 1) wird zweckmäßiger­weise an den Stellen, an denen keine zusätzlichen Unter­bauten vorgesehen sind, mit Einsätzen verschloßen. Diese Einsätze können als Strömungsleitkörper, entsprechend Fig. 9, ausgebildet sein. Diese Ausbildung ist in der Lage, die Strömungsstörungen durch das Gitterwerk der Trägerprofile (11) (Fig. 1) des Rahmenwerks (10) (Fig.1) zu verringern und für eine Verbesserung der Homogenität der Luftverteilung Sorge zu tragen. Diese Einsätze (36) werden mit Hintergreifungsköpfen (36.1) in die Schlitze (14) eingeklipst und bilden für jede Filterzelle eine Art "Diffusor" und sorgen so für die störungsfreie Auf­weitung der Strömung. Es versteht sich von selbst, daß diese Einsätze (36) auch für Sekundäraufgaben herange­zogen werden können. Bei der Verwendung eines dichtdurch­lässigen Materials zum Herstellen dieser Einsätze (36) lassen sich Beleuchtungsmittel, vorteilhafterweise Leucht­stoffröhren, in diesen Einsätzen unterbringen, zur allge­meinen Raumbeleuchtung. Die von diesen Beleuchtungsmittel freigesetzte Wärme kann nach außen abgeführt werden durch eine Lüftung an die die Hohlprofile dieser Einsätze an­geschloßen sind.In Fig. 8 is finally again a cross section through the support profile with web (12) and sealing flange (13), the chamber (12.1), the outside of which is provided with the hole (15), for receiving the fastening means for the Carrier profiles on the wall or ceiling of a clean room is used and the chamber (12.3), which is open to the outside via the sealing flange (13) provided slot (14), serves to fasten additional means. The chambers (12.2) arranged between serve essentially for stabilization, but they can also accommodate the connecting means for the connecting arms of the connecting pieces (11.1) (Fig. 1) and introduce the tensile forces transmitted with them into the carrier profile. The guide and clamping inserts (26) are used to position the filter cells (20) (Fig. 1) inserted in the supporting structure (10) (Fig. 1), which also have a hole for the stud / hanging bolt (16) (Fig. 1) 5), are placed on these bolts and, with their outward-facing side parts (26.1), bring the filter cells to the position provided for a correct position, also with regard to the seal on the sealing flange (13). It goes without saying that these guide and clamping inserts are designed to be resilient and advantageously made of spring steel, the free ends of the outwardly pointing side parts (26.1) having inward bends (26.2) to facilitate removal of the filter cells. The chamber (12.3) of the web (12) in the carrier profile (11) (FIG. 1), which is open through the slot (14) to the clean room, is expediently closed with inserts at the points where no additional substructures are provided. These inserts can be designed as flow guide bodies, corresponding to FIG. 9. This training is in the Able to reduce the flow disturbances through the latticework of the support profiles (11) (Fig. 1) of the framework (10) (Fig.1) and to ensure an improvement in the homogeneity of the air distribution. These inserts (36) are clipped into the slots (14) with gripping heads (36.1) and form a kind of "diffuser" for each filter cell and thus ensure the trouble-free expansion of the flow. It goes without saying that these inserts (36) can also be used for secondary tasks. If a leak-proof material is used to produce these inserts (36), lighting means, advantageously fluorescent tubes, can be accommodated in these inserts for general room lighting. The heat released by these illuminants can be dissipated to the outside through ventilation to which the hollow profiles of these inserts are connected.

Claims (12)

1. Filterwand/-decke für reinraumtechnische Anlagen, mit in ein aus Trägerprofilen zusammengefügtes Rahmenwerk eingesetzten Filterzellen, wobei jede der Filterzellen mit einem umlaufenden Filterzellenrahmen versehen ist, in den jeweils ein Filterpack mit Vergußmasse abge­dichtet eingefügt ist, wobei die Trägerprofile des Rahmenwerks im wesentlichen als T-Profile ausgebildet sind, deren Flanschen als Dichtflansche die Auflager für die Filterzellen bilden und die über an deren insbesondere als Hohlkammerprofile ausgebildeten Ste­gen befestigte Steh- bzw. Hängebolzen fest mit Wand bzw. Decke eines Reinraumes verbindbar sind, wobei an den Bolzen gegen diese abgestützte Spannmittel vorge­sehen sind, deren freie Enden auf den Filterzellen­rahmen wirkend die Filterzellen gegen die Dicht­flanschen anpressen und wobei zwischen den Dichtflan­schen und den Filterzellenrahmen Dichtmittel ange­ordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Filter­zellenrahmen (21) aus Seitenprofilabschnitten (22) gebildet sind, die zur Aufnahme des Filterpacks (23) wannenförmige Vertiefungen (22.1) aufweisen und die beidseits der wannenförmigen Vertiefung (22.1) mit Fortsätzen (22.2, 22.3) versehen sind, von denen der dichtmittelseitige Profilfortsatz (22.2) mit dem zuge­ordneten Dichtflansch (13) des korrespondierenden Trägerprofils (11) und der spannmittelseitige Profil­ fortsatz (22.3) mit den Spannmitteln zusammenwirken, wo­bei der Überstand des dichtmittelseitigen Profilfortsat­zes (22.2) höchstens gleich der Dicke der als umlaufen­des Dichtprofil (32: 32, 33) ausgebildeten Dichtmittel ist, und wobei der äußere Überstand des Dichtflansches (13) mindestens der Tiefe der umlaufenden wannenförmigen Vertiefung (22.1) entspricht.1.Filter wall / ceiling for clean room systems, with filter cells inserted into a framework assembled from carrier profiles, each of the filter cells being provided with a circumferential filter cell frame, in each of which a filter pack with sealing compound is inserted, the carrier profiles of the framework being essentially as T profiles are formed, the flanges of which form the supports for the filter cells as sealing flanges and the studs or hanging bolts, which are fastened to their webs, in particular, formed as hollow chamber profiles, can be firmly connected to the wall or ceiling of a clean room, the bolts being supported against them Clamping means are provided, the free ends of which act on the filter cell frame and press the filter cells against the sealing flanges and wherein sealing means are arranged between the sealing flanges and the filter cell frame, characterized in that the filter cell frame (21) is formed from side profile sections (22) nd which have trough-shaped recesses (22.1) for receiving the filter pack (23) and which are provided on both sides of the trough-shaped recess (22.1) with extensions (22.2, 22.3), of which the profile extension (22.2) on the sealant side with the associated sealing flange (13) of the corresponding carrier profile (11) and the clamping device side profile Continuation (22.3) cooperate with the clamping means, the protrusion of the profile extension (22.2) on the sealant side is at most equal to the thickness of the sealant designed as a circumferential sealing profile (32: 32, 33), and the outer protrusion of the sealing flange (13) is at least the depth corresponds to the circumferential trough-shaped depression (22.1). 2. Filterwand/-decke nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­net, daß die Seitenprofilabschnitte (22) mindestens eines Filterzellenrahmens (21) im Bereich der spannmittelseiti­gen Profilfortsätze (22.3) mit Auflageleisten (22.4) versehen sind und auf den Auflageleisten eine Luftver­teilungshaube (27) mit Lufteintrittsstutzen (28) aufge­legt und abgedichtet mit diesen verbunden ist, wobei die Lufteintrittsstutzen (28) jeder der mit Luftverteilungs­hauben (27) versehenen Filterzellen (20) mit einer Lüftungszentrale verbindbar sind.2. Filter wall / ceiling according to claim 1, characterized in that the side profile sections (22) at least one filter cell frame (21) in the region of the clamping means-side profile extensions (22.3) are provided with support strips (22.4) and on the support strips an air distribution hood (27) with Air inlet connector (28) is placed on and connected to it in a sealed manner, the air inlet connector (28) of each of the filter cells (20) provided with air distribution hoods (27) being connectable to a ventilation center. 3. Filterwand/-decke nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­kennzeichnet, daß als Spannmittel auf den Steg- bzw. Hängebolzen (16) eine Schraubenfeder (17) angeordnet ist, deren eines Ende an einer Widerlagerscheibe (18), die mit einer Spannmutter (18.1) verstellbar ist anliegt und de­ren anderes Ende an einer Spannbrücke (19) anliegt, wobei die Spannbrücke (19) mit den Oberkanten der spannmittel­seitigen Profilfortsätze (22.3) zusammenwirken und wobei jeder Trägerprofilabschnitt (11) des Rahmenwerks (10) mindestens zwei derartige Spannmittel aufweist.3. Filter wall / ceiling according to claim 1 or 2, characterized in that a helical spring (17) is arranged as a clamping means on the web or hanging bolt (16), one end of which on a thrust washer (18) with a clamping nut (18.1) is adjustable and the other end of which rests on a tensioning bridge (19), the tensioning bridge (19) interacting with the upper edges of the profile extensions (22.3) on the tensioning means side and each support profile section (11) of the framework (10) having at least two such tensioning means having. 4. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­durch gekennzeichnet, daß am spannmittelseitigen Ende des Steges (12) vorzugsweise im Bereich der Befestigung der Steh- bzw. Hängebolzen (16) ein zentrierender, ein mit der /den Filterzelle/-n (20) zusammenwirkender, diese zentrierender Führungs- und Klemmeinsatz (26) angeordnet ist, wobei der Führungs- und Klemmeinsatz (26) abge­ winkelte Seitenteile (26.1) aufweist.4. Filter wall / ceiling according to one of claims 1 to 3, characterized in that at the clamping means-side end of the web (12), preferably in the area of the fastening of the standing or hanging bolts (16), a centering one with the filter cell / -n (20) cooperating, this centering guiding and clamping insert (26) is arranged, the guiding and clamping insert (26) being removed has angled side panels (26.1). 5. Filterwand/-decke nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­net, daß die abgewinkelten Seitenteile (26.1) der Führungs- und Klemmeinsätze (26) an ihren freien Enden nach innen gerichtete Umbiegungen (26.2) als Einführ­hilfen aufweist.5. Filter wall / ceiling according to claim 4, characterized in that the angled side parts (26.1) of the guide and clamping inserts (26) at their free ends have inward bends (26.2) as insertion aids. 6. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­durch gekennzeichnet, daß das umlaufende Dichtprofil eine Rundschnurdichtung (31) ist.6. Filter wall / ceiling according to one of claims 1 to 5, characterized in that the circumferential sealing profile is a round cord seal (31). 7. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­durch gekennzeichnet, daß als umlaufendes Dichtprofil zwei im Abstand voneinander angeordnete Rundschnurdich­tungen (32) vorgesehen sind.7. filter wall / ceiling according to one of claims 1 to 5, characterized in that two circumferential cord seals (32) are provided as a circumferential sealing profile. 8. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­durch gekennzeichnet, daß das umlaufende Dichtprofil von einer U-förmigen Profildichtung (33) gebildet ist, wobei die U-Schenkel nach außen gerichtet und ihre freien En­den vorzugsweise dachförmig abgeschrägt sind.8. Filter wall / ceiling according to one of claims 1 to 5, characterized in that the circumferential sealing profile is formed by a U-shaped profile seal (33), the U-legs directed outwards and their free ends are preferably chamfered in a roof shape. 9. Filterwand/-decke nach Anspruch 7 oder 8, dadurch ge­kennzeichnet,daß der Raum zwischen den beiden Rundschnur­dichtungen (32) oder zwischen den beiden freien U-Schen­keln der U-förmig ausgebildeten Profildichtung (33) eine umlaufende Prüfrille ebildet, die mit mindestens einem nach außen geführten Anschluß versehen ist.9. filter wall / ceiling according to claim 7 or 8, characterized in that the space between the two round cord seals (32) or between the two free U-legs of the U-shaped profile seal (33) forms a circumferential test groove which with at least an external connection is provided. 10. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da­durch gekennzeichnet, daß der Steg (12) mindestens eines der Profilabschnitte (11) des Rahmenwerks (10) dicht­mittelseitig einen Schlitz (14) aufweist, der mit der dichtmittelseitigen Hohlkammer (12.3) eine hinterschnit­tene Nut bildet, in die Gewindebolzen oder mit Gewinde­ bohrung versehene Mutternsteine als Verbinder für an­bringbare Versorgungs-, Beleuchtungs- o.dgl. Leisten einführbar sind.10. Filter wall / ceiling according to one of claims 1 to 9, characterized in that the web (12) at least one of the profile sections (11) of the framework (10) on the sealant side has a slot (14) which with the sealant-side hollow chamber (12.3 ) forms an undercut groove, in the threaded bolt or with thread bore nut nuts as a connector for attachable supply, lighting or the like. Lasts are insertable. 11. Filterwand/-decke nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­net, daß Profileinsätze vorgesehen sind, die in den Schlitz (14) einsetzbar sind.11. Filter wall / ceiling according to claim 10, characterized in that profile inserts are provided which can be used in the slot (14). 12. Filterwand/-decke nach Anspruch 11, dadurch gekenn­zeichnet, daß die Profilstücke mit einem vom Profilab­schnitt (11) abstehenden, vorzugsweise im Querschnitt ein spitzes Oval bildenden Strömungsleitkörper versehen sind, mit einer sich in Strömungsrichtung erstreckenden Tiefe von etwa dem 3-fachen seiner der Breite des Profil­abschnittes (11) entsprechenden Basisbreite.12. Filter wall / ceiling according to claim 11, characterized in that the profile pieces with a projecting from the profile section (11), preferably in cross-section forming a pointed oval flow guide body are provided, with a depth extending in the flow direction of about 3 times its size the width of the profile section (11) corresponding base width.
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