DE2945983A1

DE2945983A1 - Verfahren und vorrichtung zum montieren eines elektronenrohrs

Info

Publication number: DE2945983A1
Application number: DE19792945983
Authority: DE
Inventors: Shuuji Asaba; Minoru Nemoto; Akira Ono; Kenji Ushimi
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1978-11-14
Filing date: 1979-11-14
Publication date: 1980-05-22
Also published as: JPS6340347B2; DE2945983C2; US4327275A; JPS5566825A

Description

Henkel, Kern, Feiler Er Hänzel Patentanwälte

.. Registered Representatives

•f before the

European Patent Office Tokyo Shibaura Denki Kabuuhiki Kaisha, Möhlstraße37 Kawasaki-shi, Japan D-8000 München 80

Tel.: 089/982085-87

Telex: 0529802 hnkld Telegramme: ellipsoid

14 . November 1979 ΜΛ-54Γ714-2

Verfahren und Vorrichtung zum Montieren eines Elektronenrohrs

Beschreibung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Montieren eines Elektronenrohrs bzw. einer Elektronenkanone für Kathodenstrahlröhren, insbesondere zum genauen Anschweißen von Bandleitern (strap conductors) an vorbestimmten Stellen eines eine Anzahl von Elektroden aufweisenden Elektronenrohrs mittels eines Laserstrahls.

Bei einem für eine Kathodenstrahlröhre vorgesehenen Elektronenrohr mit vergleichsweise einfacher Elektrodenkonstruktion, z.B. bei einem gewöhnlichen, mit zwei Potentialen arbeitenden (bi-potential) Elektronenrohr mit vier Gittern, werden normalerweise Spannungen über Bandleiter an die vier Gitter angelegt. Die Verbindung zwischen Gitter und Bandleiter erfolgt dabei durch Anklemmen des Bandleiters an einer am Gitter vorgesehenen Fahne und Anschweißen des Randleiters mittels Widerstandsschweißung.

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Bei diesem Widerstandsscliwp j ßen treten jedoch Spritzer auf, und es setzt sich Metallpulver an der Gitteroberfläche ab, wodurch die Durchbruch-Charakteristik des Elektronenrohrs verschlechtert wird. Außerdem kann durcli den beim Schweißen ausgeübten Druck das Gitter verformt werden. Weiterhin wird der Effektivdurchmesser des Elektronenrohrs durch die am Gitter vorgesehene, für das Anschweißen dienende Fahne verkleinert.

Die geschilderten, mit dem Widerstandsschweißen zusammenhängenden Nachteile treten besonders bei der Montage bzw. beim Zusammensetzen eines Elektronenrohrs mit kompliziertem Elektrodenaufbau und zahlreichen Stellen zutage, an denen Bandleiter angeschweißt werden sollen (vgl. Fig. 1 bis 3).

Das Elektronenrohr gemäß den Fig. 1 bis 3 umfaßt eine Kathode 1 mit einem nicht dargestellten Heizelement, sechs Gitter 2-7 und eine nicht dargestellte Konvergenzelektrode. Das erste Gitter 2 ist eine napfförmige Elektrode, das zweite Gitter 3 ist eine Plattenelektrode, das dritte Gitter 4 besteht aus zwei napfförmigen Elektroden 4a und 4b, das vierte Gitter 5 besteht aus drei plattenförmigen Elektroden 5a - 5c, das fünfte Gitter 6 umfaßt vier Elektroden, nämlich eine Napfelektrode 6a, eine Plattenelektrode 6b sowie zwei Napfelektroden 6c und 6d, die in der angegebenen Reihenfolge zusammengesetzt sind, und das sechste Gitter 7 besteht aus zwei Napfelektroden 7a und 7b. Die Kathode 1 und die sechs Gitter 2-7 sind in vorbestimmten Abständen durch isolierende Tragelemente 8, wie Glaswülste oder -leisten (bead glass), gehaltert. Eine Tragplatte 9 dient zur Halterung des Heizelements und zur Befestigung des Elektronen-

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rohrs am Röhrenfuß (stem).

Beim beschriebenen Elektronenrohr werden eine Spannung von etwa 25 kV über einen Bandleiter R-1, die nicht dargestellte Konvergenzelektrode und ein nicht dargestelltes Röhren-Abstandstück an das sechste Gitter 7, eine Spannung von etwa 7 kV über einen Bandleiter R-2 an fünftes und drittes Gitter 6 bzw. 4, eine Spannung von einigen hundert Volt über einen Bandleiter R-3 an viertes und zweites Gitter 5 bzw. 3 und eine Erd- oder Massespannung über einen Bandleiter R-4 an das erste Gitter 2 angelegt.

Das beschriebene Elektronenrohr mit kompliziertem Elektrodenaufbau enthält mehr Bandleiter für die elektrische Verbindung der Gitter als ein Elektronenrohr einfacheren Aufbaus, so daß eine größere Zahl von Stellen, an denen diese Bandleiter mit den Gittern verbunden sind, vorhanden sind; beispielsweise weist der Bandleiter R-1 zwei Anschlüsse an den Napfelektroden 7a und 7b auf, während der Bandleiter R-2 insgesamt sechs Anschlußpunkte aufweist, nämlich vier an den Napfelektroden 6a, 6c und 6d und an der Plattenelektrode 6b sowie zwei an den Napfelektroden 4a und 4b. Der Bandleiter R-3 weist insgesamt vier Anschlüsse auf, nämlich drei an den Plattenelektroden 5a - 5c und einen am zweiten Gitter 3, und der Bandleiter R-4 weist einen Anschluß am ersten Gitter 2 auf. Die Anbringung der einzelnen Bandleiter an den verschiedenen Umfangsrandbereichen der erwähnten Elektroden durch Widerstandsschweißen wirft technische Schwierigkeiten auf und ist - falls überhaupt - nur zeitraubend durchführbar. Das bisherige Schweißverfahren ist damit nicht nur kostenaufwendig, sondern auch Einschränkungen bezüglich der Fertigungsstückzahl unterworfen.

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Aufgabe der Erfindung ist damit insbesondere die Schaffung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zum Montieren eines Elektronenrohrs, wobei Bandleiter (strap conductors) einfach, in kurzer Zeit und ohne mechanische Verformung der zu schweißenden Teile bei der Montage des Elektronenrohrs an verschiedenen Stellen desselben anschweißbar sein sollen und eine Automatisierung der Montage ermöglicht werden soll.

Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren zum Montieren eines Elektronenrohrs erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die miteinander zu verschweißenden Teile des Elektronenrohrs und die optischen Achsen eines Schweiß-Laserstrahls sowie eines Lichtstrahls zur Ausrichtung bzw. Justierung der Schweißstelle relativ zueinander verschoben werden, wobei diese Strahlen in vorbestimmter Lagenbeziehung zueinander stehen, daß der Justier-Laserstrahl 26 auf einen zu schweißenden Teil gerichtet wird, daß das Licht des von einem Abschnitt des zu schweißenden Teils entsprechend einer Schweißstelle reflektierten Justier-Laserstrahls 26 abgegriffeni'aBgetastet wird, daß die Relativbewegung beim Abgreifen des reflektierten Lichts beendet wird und daß entsprechend dem Abgreifen des reflektierten Lichts die Schweißstelle mit dem Schweiß-Laserstrahl beaufschlagt wird, um die Teile miteinander zu verschweißen.

Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Vorderansicht eines Elektronenrohrs mit kompliziertem Elektrodenaufbau,

Fig. 2 eine Rückseitenansicht des Elektronenrohrs nach Fig. 1,

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Fig. 3 eine Aufsicht auf fias Elektronenrohr nach Flg. 1,

Fig. 4 eine perspektivische Darstellung einer beispielhaften Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durcliführung des erfindungsgemäßen Verfahrens,

Fig. 5 ein Schaltbild eines Verstärkers für die Vorrichtung nach Fig. 4,

Fig. 6 bis 8 schematische Darstellungen der Ausrichtung bzw. Justierung des Schweißpunkts,

Fig. 9 eine Aufsicht auf eine Anordnung zum Montieren eines Elektronenrohrs mit Hilfe von vier Vorrichtungen der Art gemäß Fig. 4 und

Fig. 10 eine schematische Darstellung eines optischen Systems zur Erzeugung von vier Laserstrahlen aus einem einzigen von einem Laserstrahlgenerator gelieferten Laserstrahl.

Im folgenden sind anhand von Fig. 4 ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Montieren bzw. Zusammensetzen und Schweißen eines Elektronenrohrs im einzelnen beschrieben.

Ein Halbfabrikat (Träger) 10 für das fertige Elektronenrohr, das den Elektrodenaufbau gemäß den Fig. 1 bis 3 besitzt, wobei jedoch die Bandleiter R-1, R-2, R-3 und R-4 noch nicht angebracht, wird auf einen nicht dargestellten Drehtisch aufgesetzt bzw. aufgespannt und dann in eine vorbestimmte Position gebracht. Sodann wird ein Bandleiter 23a von einer nicht dar-

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- r-

gestellten Spule abgezogen und in eine vorbestimnite Position relativ zum Träger 10 gebracht. Hierauf wird ein Laserstrahl 26 zur Justierung von einem Laserstrahlgenerator 34 ausgesandt, durch einen Spiegel 35 und einen weiteren, auf einem Tisch 33 montierten Spiegel 36 reflektiert und über eine ebenfalls am Tisch 33 montierte Linse 28 auf z.B. einen Teil 2b des ersten Gitters 2 geworfen, welcher einer Schweißstelle 22a entspricht. Hierbei wird der Tisch 33 durch einen Schrittschaltmotor 38 über eine Kugel-Schraubspindel 37 in lotrechter Richtung bewegt. Das reflektierte Licht des Laserstrahls 26 wird über eine Linse 29 auf eine Meßzelle 27 geworfen, und das von letzterer erzeugte Signal wird durch einen Verstärker 39 verstärkt und zur Verarbeitung usw. an einen Rechner 40 angekoppelt. Das Ausgangssignal des Rechners 40 wird einem Schrittschaltmotor-Regler zugeführt. Letzterer schaltet den Schrittschaltmotor 38 zur Beendigung der lotrechten Bewegung des Tisches 3 3 ab, wenn die Ausgangsspannung der Meßzelle 27 eine vorbestimmte Schwellenwertspannung erreicht, d.h. wenn der Laserstrahl 26 einwandfrei auf die Schweißstelle 22a am Umfangsrandbereich 2b des ersten Gitters 2 auftrifft. Sodann wird ein zum Schweißen dienender Laserstrahl 12f über eine offene Abschirmplatte 24a, ein Prisma 20a und eine am Tisch 33 montierte Linse 21a auf die Schweißstelle 22a des ersten Gitters 2 gerichtet, wodurch das Gitter 2 und der Bandleiter 23a miteinander verschweißt werden. Zur waagerechten Aufspreizung des Laserstrahls 26 zwecks Bildung eines breiten Laserstrahlbündels, um das Auftreten von Meßfehlern aufgrund von Oberflächenunregelmäßigkeiten am Randbereich 2b zu verhindern, ist ereine

findungsgemäßVzylindrische Linse zwischen dem Laserstrahlgenerator 34 und den zu schweißenden Elektroden vorgesehen.

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Um weiterhin Meßfehler beispielsweise aufgrund von Verschmutzung oder dergleichen des Spiegels zu vermeiden, kann die übertragung des Laserstrahls erfindungsgemäß über einen optischen Faserstrang anstelle der Spiegel. 3 5 und 36 erfolgen.

Nachstehend ist die Arbeitsweise der Vorrichtung gemäß Fig. 4 erläutert. Der Tisch 33 wird von einer Position unterhalb der Schweißstelle 22a allmählich hochgefahren. Dabei kann der zur Justierung dienende Laserstrahl 26 von den Randbereichen anderer Gitter reflektiert und auf die Meßzelle 27 geworfen werden, wobei jedoch das von der Meßzelle 27 abgegebene Signal mittels Verarbeitung durch den Rechner 4O als Signal von der richtigen Schweißstelle diskriminiert wird. Infolgedessen wird dem Schrittschaltmotor-Regler 4 1 weder ein Signal zum Abstellen des Schrittschaltmotors, noch ein Signal zum öffnen der Abschirmplatte 24a zugeführt. Wenn der Tisch 33 die richtige Position entsprechend der Schweißstelle 22a am ersten Gitter 2 erreicht, liefert der Rechner 40 ein Stopsignal zum Regler 41, um den Schrittschaltmotor abzustellen, während die Abschirmplatte 24a in die in strichpunktierten Linien eingezeichnete Stellung verdreht wird, sqtiaß sie den Schweiß-Laserstrahl durchlassen kann.

Auf ähnliche Weise kann der Bandleiter 23a nacheinander an den anderen Gittern angeschweißt werden. Das Anschweißen eines weiteren Bandleiters an den Gittern kann auf ähnliche Weise durchgeführt werden, beispielsweise durch Verdrehen des Trägers.

Wenn der Schweißvorgang an allen vorgesehenen Schweißstellen abgeschlossen ist, wird mittels des Schrittschaltmotors 38

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Λί

der Tisch 33 in eine der Unterseite des Trägers IO entsprechende Stelluny herabgefahren, worauf das fertig geschweißte Elektronenrohr abgenommen und der nächste Träger in die entsprechende Stellung gebracht wird.

Während bei der Vorrichtung gemäß Fig. 4 die Abschirmplatte 24a am Tisch 33 montiert ist, kann diese Abschirmplatte selbstverständlich auch in jeder beliebigen anderen Stellung angeordnet sein, in welcher sie den Schweiß-Laserstrahl 12f abzuschirmen vermag. In bestimmten Fällen kann die Abschirmplatte 24a auch weggelassen werden. Anstelle des Laserstrahls 26 für die Ausrichtung bzw. Justierung der Schweißstelle kann auch ein gewöhnlicher sichtbarer Lichtstrahl benutzt werden.

Fig. 5 ist ein Schaltbild der Meßzelle 27 und des Verstärkers gemäß Fig. 4. Im Schaltkreis gemäß Fig. 5 wird ein photoelektrischer Schalter als Meßzelle 27 benutzt, wobei das Ausgangssignal des photoelektrischen Schalters, das beim Auftreffen des von der Schweißstelle des Elektronenrohrs reflektierten Laserstrahls erzeugt wird, durch IC-Verstärker OP1 verstärkt und in einem Verstärker 0P2 einem Pegelvergleich mit einer Schwellenwertspannung unterzogen wird, während schließlich an einer Ausgangsklemme 31 ein vorbestimmtes Spannungssignal erhalten wird. Die Schaltung gemäß Fig. 5 verwendet außerdem eine Leuchtdiode als Anzeigelampe zur Bestätigung der richtigen Justierung.

In der Schaltung gemäß Fig. 5 besitzen Widerstände R₁ bis R^₁ Werte von 10 ΜΠ, 1 k/l, 220 Λ, 47 kSl, 47 kß, 100Ji, 100^ 1 kSl, 9,8 kil, 22OJlbzw. 220 S-, während Kondensatoren C₁ bis C₄ Werte von 10 pF, 0,1 μ F, O, 1 ytiF bzw. 0,1 ^F besitzen. Bei den Bauteilen 0P1 und 0P2 handelt es sich um die Komponenten TA75O5M

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bzw. ΤΛ7 5Ο4Μ der Firma Toshiba. Bei der dargestellten Schaltung beträgt die Ausgangsspannung im Betrieb der Meßzelle mit Spannunyen der in Fig. 5 angegebenen Größen 4V.

Im folgenden ist das Verfahren zur Bestimmung der Schweißstelle zwischen Bandleiter und Gitter anhand der Fig. 6 bis näher erläutert.

Die Fig. 6 und 7 veranschaulichen Fälle, in denen der Justier-Laserstrahl auf andere Punkte der Elektrode als die richtige Meß- bzw. Schweißstelle auftrifft. Bei dem in Fig. 6 veranschaulichten Beispiel wird der über die Linse 28 übertragene und auf die Umfangsrandflache 22e der Elektrode 22 auftreffende Justier-Laserstrahl 26 von dieser Fläche 22e in entgegengesetzter Richtung reflektiert. Dieser Laserstrahl wird somit nicht durch die Linse 29 und eine Lochblende 30 auf die Meßzelle 27 geworfen, so|baß die Justierung der Schweißstelle nicht möglich ist. Bei dem in Fig. 7 gezeigten Beispiel trifft der Laserstrahl 26 nicht auf die Umfangsrandflache 22e der Elektrode 22 auf, sojhaß - wie im Fall von Fig. 6 - die Justierung bzw. Bestimmung der Schweißstelle nicht möglich ist.

Zur eindeutigen Bestimmung der Schweißstelle muß der auf den Randbereich 22e auftreffende und von diesem reflektierte Laserstrahl 26 über die Linse 29 und die Lochblende 30 zur Meßzelle 27 übertragen und von dieser abgegriffen werden. Für die Bestimmung oder Festlegung der Schweißstelle wird der Meßgröße die Hälfte der Dicke der Elektrode 22 hinzuaddiert. Die Lochblende 30 dient zum Blockieren von Laserstrahlanteilen, die von anderen Abschnitten als dem Randbe-

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- w-

reich 221 reflektiert wurden, um das Auftreffen dieser
Laserstrahlanteile auf die Meßzelle 27 zu verhindern. Der Meßzelle 27 ist ein Filter 27a vorgeschaltet, das selektiv nur J lieh t einer bestimmten Wellenlänge, d.h. den Justier-Laserstrahl, durchlässt.

Bei dem in den Fig. 1 bis 3 dargestellten L'lek tronenrohr, das vier Bandleiter aufweist, können diese vier Bandleiter unter Verwendung von vier Vorrichtungen der Art gemäß Fig. gleichzeitig am Träger angeschweißt werden. Fig. 9 veranschaulicht die Anordnung der vier Montage- bzw. Schweißvorrichtungen I, II, III und IV. Bei dieser Anordnung können der Verstärker, der Rechner, der Schrittschaltmotor und dessen Regler für alle vier Vorrichtungen gemeinsam benutzt
werden. Die Zahl bzw. Numerierung der Schweißstellen der
Bandleiter 23a - 23d in bezug auf die Gitter ist in nachstehender Tabelle aufgeführt. In Fig. 9 ist der Zustand veranschaulicht, in welchem der Bandleiter 2 3a (R-4) und das erste Gitter (G-1) miteinander verschweißt werden; dabei
ist nur der Laserstrahl 12f in ausgezogenen Linien dargestellt, während die anderen Laserstrahlen 12d, 12h und 12j in gestrichelten Linien eingezeichnet sind, weil sie durch die betreffenden Abschirmplatten blockiert sind. Die Laserstrahlen 12f, 12d, 12h und 12j werden auf die noch zu beschreibende Weise aus einem einzigen Laserstrahl eines einzigen Laserstrahlgenerators gebildet. Wahlweise können jedoch vier getrennte Laserstrahlgeneratoren mit zweckmäßiger Ausgangsleistung verwendet werden.

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Tabelle

	Scliwei ßstul len-Zah L	G-1	G-2	G-3	G-4	C-5	2	Gesanit- zah 1
23a (R-4)	1					1
23b (R-3)		1		3		4
23c (R-2)			2		4	6
23d (R-D						2

Aus der obigen Tabelle geht hervor, daß insgesamt 13 Schweißpunkte bzw. -stellen vorhanden sind, die bei Anwendung der Vorrichtungsanordnung gemäß Fig. 9 in einem einzigen Arbeitsgang hergestellt werden können.

Im folgenden ist anhand von Fig. 10 eine Möglichkeit zur Bildung von vier getrennten Laserstrahlen aus einem Laserstrahl eines einzigen Laserstrahlgenerators zur Durchführung der Schweißvorgänge mittels der Anordnung gemäß Fig. 9 beschrieben .

Gemäß Fig. 1O wird ein von einem Laserstrahlgenerator 11 emittierter Laserstrahl 12 durch ein Prisma 13 um 9O° umgelenkt, worauf der umgelenkte Laserstrahl 12a durch einen halbdurchlässigen Spiegel 14 zu 50 % reflektiert und zu 50 % durchgelassen wird, softaß ein reflektierter Laserstrahl 12b und ein durchgelassener Laserstrahl 12c entstehen. Der Laserstrahl 12 wird somit durch den halbdurchlässigen Spiegel 14

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in zwei getrennte Laserstrahlen aufgeteilt. Der reflektierte Laserstrahl 12b wird weiterhin durch einen halbdurchlässigen Spiegel 15 aufgeteilt, der durch 50 %ige Reflexion einen Laserstrahl 12b und durch 50 ?.ige Durchlässigkeit einen Laserstrahl 12e liefert. Der Laserstrahl 12e wird sodann durch einen Spiegel 16 in Form eines Laserstrahls 12f um 90° umgelenkt. Der durch den halbdurchlässinen Spiegel 14 durchgelassene Laserstrahl 12c wird durch ein Prisma 17 um 90° gebeugt, sc|daß ein Laserstrahl 12g entsteht, der durch einen halbdurchlässigen Spiegel 18 zu 50 % reflektiert und zu 50 % durchgelassen wird, sddaß ein reflektierter Laserstrahl 12h und ein durchgelassener Laserstrahl 12i entstehen; dies bedeutet, daß der Laserstrahl 12c durch den halbdurchlässigen Spiegel 18 in zwei getrennte Laserstrahlen aufgeteilt wird. Der durchgelassene Laserstrahl 121 wird durch einen Spiegel unter Bildung eines Laserstrahls 12j um 90 umgelenkt. Der vom Laserstrahlgenerator 11 emittierte Laserstrahl wird auf diese Weise in vier Laserstrahlen 12f, 12d, 12h und 12j aufgeteilt.

Diese Laserteilstrahlen 12f, 12d, 12h und 12j werden jeweils durch Prismen 20a, 20b, 20c bzw. 2Od um 90° umgelenkt und durch Linsen 21a, 21b, 21c bzw. 21d auf die Berührungsstellen zwischen Elektroden 22a, 22b, 22c bzw. 22d sowie Bandleitern 23a, 23b, 23c bzw. 23d fokussiert.

Wenn dabei die betreffenden Elektroden und Bandleiter nicht miteinander verschweißt werden sollen, werden die Laserstrahlen 12f, 12d, 12h und 12j durch zugeordnete Blenden 24a - 24d blockiert. VJenn beispielsweise die Elektrode 22c und der

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Bandleiter 23c nicht miteinander verschweißt werden sollen, wird der Laserstrahl 12h mittels der Blende 24c blockiert.

Als Laserstrahlgenerator 11 wird vorzugsweise ein YAG-Laserstrahlgenerator verwendet, welcher einen Laserstrahl erzeugt, der auch nach Aufteilung in vier Einzelstrahlen eine für das Schweißen geeignete Leistung besitzt.

Da beim erfindungsgemäßen Verfahren anstelle des Widerstandsschweißens Laserstrahlen zum Anschweißen der Bandleiter an den Gittern angewandt werden, besteht ersichtlicherweise keine Möglichkeit für mechanische Verformungen in den Gittern, sojdaß ein Elektronenrohr mit ausgezeichneten Eigenschaften gewährleistet werden kann. Auch ein Elektronenrohr mit kompliziertem Aufbau kann auf diese Weise in sehr kurzer Zeit montiert werden. Da weiterhin eine Automation des Schweißvorgangs möglich ist, lassen sich Elektronenrohre bzw. -kanonen mit großer Zuverlässigkeit bei niedrigen Fertigungskosten herstellen.

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Claims

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Henkel, Kern, Feiler Er Hänzel Patentanwälte

Registered Repf-ontatives

before the

European Patent Ofiice

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Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaislia, U-8000 München 80

Kawasaki-sh i, Japan Tel: 089/982085 87

TpIpx 052980? hnkl d

. lelegramrne ellipsoid

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Verfahren und Vorrichtuno zum Montieren eines Ll ektronenrohrs

Patentansprüche

M J Verfahren zum Montieren eines L'lektronenrohrs, dadurch gekennzeichnet, daß die miteinander zu verschweißenden Teile des L'lek tronenrohrs und die optischen Achsen eines Schweiß-Laserstrahls sowie eines Lichtstrahls zur Ausrichtung bzw. Justierung der Schweißstelle relativ zueinander verschoben werden, wobei diese Strahlen in vorbestimmter Lagenbeziehung zueinander stehen, daß der Jus tier-LichtstrahL auf einen zu schweißenden Teil gerichtet wird, daß das Licht des von einem Abschnitt des zu schweißenden Teils

entsprechend einer Schweißstelle reflektierten Justierbzw.

Lichtstrahls abgegriffenVabgetastet wird, daß die Relativbewegung beim Abgreifen des reflektierten Lichts beendet wird und daß entsprechend dem Abgreifen des reflektierten Lichts die Schweißstelle mit dem Schweiß-Laserstrahl beaufschlagt wird, um die Teile miteinander zu verschweißen.

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ORIGINAL INSPECTED
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet., daß die miteinander zu verschweißenden Elektronenrohr teile Elektroden sind, die das Elektronenrohr bilden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die miteinander zu verschweißenden Teile Elektroden des Elektronenrohrs sowie Bandleiter (strap conductors) zur Spannungslegung an die Elektroden sind.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Schweißen an mehreren Schweißstellen unter mehrfacher Wiederholung der genannten Verfahrensschritte nacheinander durchgeführt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Schweißen der Elektroden und mehrerer Bandleiter unter Verwendung mehrerer Schweiß-Laserstrahlsätze und Justier-Lichtstrahlsätze durchgeführt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die (optischen) Achsen des Schweiß-Laserstrahls und des Justier-Lichtstrahls in bezug auf die Achse des Elektronenrohrs gemeinsam bewegt werden.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Justier-Lichtstrahl ein Laserstrahl verwendet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der der Schweißstelle entsprechende Bereich des zu schweißenden Teils ein Randbereich einer Umfangsrandflache der Elektrode ist.

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9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Laserstrahlgenerator zur Erzeugung eines Laserstrahls für das Schweißen von miteinander zu verschweißenden Elektronenrohrteilen, durch eine Lichtquelle zur Lieferung eines Lichtstrahls für die Bestimmung oder Justierung (positioning) einer Schweißstelle, durcli ein lichtempfindliches Element zum Abgreifen des von einem der zu schweißenden Teile an der Schweißstelle reflektierten Lichts des Justier-Lichtstrahls, durch eine Einrichtung zur Herbeiführung einer relativen Bewegung der in einer vorbestimmten Lagenbeziehung zueinander stehenden Achsen von Laserstrahl und Lichtstrahl gegenüber dem Elektronenrohr und durch eine Einrichtung zur Steuerung der Arbeitsweise der Bewegungseinrichtung nach Maßgabe eines vom lichtempfindlichen Element gelieferten Justiersignals .

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