DE2937942A1 - Ultraschallwandler - Google Patents
UltraschallwandlerInfo
- Publication number
- DE2937942A1 DE2937942A1 DE19792937942 DE2937942A DE2937942A1 DE 2937942 A1 DE2937942 A1 DE 2937942A1 DE 19792937942 DE19792937942 DE 19792937942 DE 2937942 A DE2937942 A DE 2937942A DE 2937942 A1 DE2937942 A1 DE 2937942A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ultrasonic transducer
- transducer according
- elastic element
- cylindrical
- insulating base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 17
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 10
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 9
- 239000013464 silicone adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 238000005744 Teer Meer reaction Methods 0.000 claims 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000004568 cement Substances 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 48
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- PCLIRWBVOVZTOK-UHFFFAOYSA-M 2-(1-methylpyrrolidin-1-ium-1-yl)ethyl 2-hydroxy-2,2-diphenylacetate;iodide Chemical compound [I-].C=1C=CC=CC=1C(O)(C=1C=CC=CC=1)C(=O)OCC[N+]1(C)CCCC1 PCLIRWBVOVZTOK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 206010040007 Sense of oppression Diseases 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0603—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a piezoelectric bender, e.g. bimorph
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FP-0931
BESCHREIBUNG
Die Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler der im
Oberbegriff vpn Patentanspruch 1 genannten Art.
Derartige Ultraschallujandler werden als den Dopplereffekt
ausnutzende Annäherungs-Alarmgeber, zur Fernbedienung von
Fernsehempfängern u. dgl. verwendet. In einem solchen
Uandler befindet sich ein aus einem Zweielementen- Kristallschwinger,
an dem mittig auf einer oberfläche ein Zusatzresonator
aus Aluminium oder Kunstharz befestigt ist, bestehender zusammengesetzter Schwinger. Derartig aufgebaute
Ultraschallschwinger sind beispielsweise in der US-PS 3 675 053 aus dem Jahr 1972 und in der GB-PS
1 5Tt 967 aus dem Jahre 197Θ beschrieben. Die in der erstgenannten
Druckschrift beschriebene Ausführung besitzt eine einzige Spitze in seiner Frequenzcharakteristik und ist
dementsprechend schmalbandig, während die aus der letztgenannten
Schrift bekannte Ausführung zwei Hocker in seiner Frequenzcharakteristik und dementsprechend ein relativ/
breites ausnutzbares Frequenzband aufweist. Die Erfindung richtet sich auf einen Ultraschallwandler-Typ, wie er in
der letztgenannten GB-PS 1 51** 967 angegeben ist.
Ein Ausführungsbeispiel für einen solchen herkömmlichen
Ultraschallwandler ist in Fig. 1 der anliegenden Zeichnung dargestellt. Er enthält einen zusammengesetzten Wibrator
1, bestehend aus einem keramischen Zweielementen-Kristallschwinger 2 und einem aus Kunstharz hergestellten
und in der Mitte der einen Oberfläche des Kristallschwingers
2 auf demselben befestigten Resonator 3 aus Kunstharz. Durch Befestigung seines Kristallschwingers 2 aneinem
zylinderischen Träger kl, der integral an ein isolierendes
Basiselement k angeformt ist, wurde der zusammengesetzte Schwinger 1 mit dem Basiselement k verbunden.
030013/0932
TER MEER -MÜLLER ■ STEINMEISTER FP-Ü9 31
Durch das Basiselement k hindurchgehende äußere Anschlußstifte
91 und 92 sind über Uerbindungsdrähte 2a und 2b
elektrisch mit den entsprechenden Schichten des Zweielementen-Kristallschwingers
2 verbunden. In einem das Oasiselement h und den zusammengesetzten Schwinger 1 bedeckenden
Metallgehäuse 6 befindet sich oben eine Öffnung 61 als Ein- oder Austrittsöffnung für Ultraschallenergie,
welche der zusammengesetzte Schwinger 1 entweder aus der
Umgebung aufnimmt oder an diese abgibt. Diese Öffnung Π1
ist mit einer Abschirmplatte 7 überdeckt, welche sandwichartig
zuischen einem die Öffnung 61 umgebenden Hand 62 des Metallgehäuses 6 und einem Ririyelement 8 eingefaßt ist.
Dieses Kinyelement O liegt auf einer umlaufenden Sicke
im Metallgehäuse 6 auf. Die nach innen greifende Sicke kann
beispielsweise eingerollt oder durch einen Ziehprozeß eingeformt sein. Ferner ist unterseitig eine Abschirmplatte
durch eine Bördelung 6^ am Ende des Metallgehäuses 6 befestigt.
Das Metallgehäuse 6 soll gemeinsam mit der Abschirmplattn
b den zusainmcnyesKtzten Schwinger 1 elektrostatisch
abschirmen.
In Fig. 2 und 3 sind grafisch eine Impedanz -Charakteristik
beziehungsweise eine Empfindlichkeits-Charakteristik
für den bekannten Ul traschall wandler won Fig. 1 aufgetragen, wie diese Charakteristiken zeigen, hat der
bekannte Ultraschallwandler von Fig. 1 eine erste Resonanzstelle
sowie eine erste Empfindlichkeit in einem unteren, und eine zweite Resonanzstelle mit einer zweiten
Empfindlichkeit in einem höheren Frequenzbereich. Streut
man versuchsweise Pulver auf die Schallwandlerfläche des Zusatzresonators 3 aus Kunstharz, dann erkennt man, daß
die erste und die zweite Resonanzstelle auf unterschiedlichen Schwingungsarten basieren. So entsteht bei der ersten
Resonanzstelle eine von oben nach unten gehende "kolbenartige" Transversalschwingung, die das auf der
Schalluandlerflache verstreute Pulver auf der Gesamtfläche
030013/0932
COPY
TER MEER · MÖLLER · STEINMEISTER FP-O931
von oben nach unten vibrieren läßt. Dagegen tritt bei
der zweiten Resonanzstelle eine Biegeschwingung auf,
die zu einer Konzentration der Pulververteilung auf der SchallwBndlerflache entlang einer Schwingungsknoten-Kreislinie
führt. Auf jeden Fall ist, wie Fig. 3 zeigt, die Empfindlichkeit bei der ersten Resonanzstelle recht
niedrig im Gegensatz zu der Empfindlichkeit bei der
zweiten Resonanzstelle. In Fig. 3 ist del· für die
praktische Verwendung notwendige Empfindlichkeitspegel
^0 durch eine strich-punktierte Linie A angegeben.
IJie sich aus Fig. 3 ferner entnehmen läßt, übersteigt
der Empfindlichkeitspegel bei der ersten Resonanzstelle
kaum den Mindest-Empfindlichkeitspegel A, so daß dieser
Wandler kaum für den Einsatz in einem relativ niedrigen Frequenzbereich geeignet ist. Aufgrund seiner Empfindlichkeits-Charakteristik
wird der in Fig. 1 dargestellte bekannte Ultraschallwandler nur für das in Fig. 3 mit
D bezeichnete relativ enge Frequenzband im Bereich der zweiten Resonanzstelle geeignet sein. Die geringe Empfindlichkeit
bei der ersten Resonanzstelle hat folgenden
Grund:
Bei der bekannten Ausführung ist der zusammengesetzte
Schwinger 1 direkt auf dem zylindrischen Träger k1
des Basiselementes U befestigt. Dadurch wird die Trans-Versalschwingung
so stark unterdrückt, daß an der ersten Resonanza teile keine ausreichende E'-'pFindlichkät vorhanden
ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Ultraschallwandler
der eingangs genannten Art aufzuzeigen, •j0 welcher über ein breites Frequenzband hinweg eine hohe
Empfindlichkeit aufweist.
Die Lösung der gestellten Aufgebe ist im Patentanspruch
angegeben, vorteilhafte LJei terbildungen des Erf indungsgedankenB
sind in Unteransprüchen gekennzeichnet.
030013/0932
COPY
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FP-OCJ31
Ein wesentliches Merkmal des erf i nriungsgernäBen Ultraschallschuingers
bildet ein zwischen das isolierende üasiselement einerseits und den zusammengesetzten Schwinger andererseits
gelegtes elastisches Element, welches den Vurteil bietet,
daß es an der ersten R esa η anz stelle die Transversalschwingungen
nicht unterdrückt und aufgrund dessen zu einer wesentlich vergrößerten Empfindlichkeit an der ersten
Resonanzsteile Führt. In Verbindung mit der hohen Empfindlichkeit
an der Biegeschwingungen erzeugenden zweiten ^0 Hesonanzstelle besitzt somit der erf inriungscjemäße Ultraschallschwinger
nine hohe Empfindlichkeit über einen
sehr breiten Frequenzbereich hinweg.
Eine vorteilhafte LJe i terb ildung des Erfindungsgedankens
läßt sich dadurch erzielen, wenn an die Schalluandlerfläche
des Zusatzresanatars ein Ansatz angeformt ist,
welcher den Gütefaktor an der zweiten Resonanzsteile,
nämlich der Hiegeschwingungs-Resonanz, herabsetzt. Dadurch
uiird ein ausgeglichener Empfindlichkeitspegel über beide
Resonanzstellen hinweg erzielt.
Nach einer anderen Weiterbildung des Erfindungsgedankens
ist vorgesehen, dem isolierenden Oasiseletnent die Form
eines offenen zylindrischen Topfes zugeben, in dessen
Mitte ein zylindrisches Stützteil vom Boden zur Öffnung
aufragt, an dessen Ende der zusammengesetzte Schwinger
über das elastische Element befestigt ist. Ferner kann die Innenoberfläche der zylindrischen Wandung so abgestuft
sein, daß in Richtung auf die Topfüffnung ein vergrößerter
Innendurchmesser gebildet wird, welcher zu einer
Verbesserung der Ein- und Abstrahleigenschaften des Ultraschallwandleis
führt.
Nachstehend werden einige Merkmale der Erfindung aufweisende Ausführungsbeispiele unter Oezugnahme auf eine
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STElKlMEISTER FP-0931
Zeichnung, in der auch der Stand der Technik dargestellt
ist, näher erläutert.
Darin zeigen:
Darin zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch einen herkömmlichen Ultrascholluandler,
Fig. 1 und 2 grafische Darstellungen mit einer Impedanz- bzw. Empfindlichkeits-Charakteristik
der Ausführung von Fig. 1
Fig. '* einen Schnitt durch ein erstes Ausfüh
rungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Uandlers,
Fig. 5 einen kegelstumpffürmigen Zusatz-Ilesonator
aus Kunstharz in Persnektivdarstellung,
Fig. 6 einen quadratischen Zueielementen-
Kristallschuiinger in Perspektivriarstellung,
Fig. 7 ein ringförmiges elastisches Element für einen erfindungsgemäßen Wandler,
Fig. U und D grafische Darstellungen zur Impe
danz-Charakteristik bzw. zu einer van
(Jet Dicke des elastischen Elementes won Fig. 7 abhängigen Empfindlichkeita-Charakteristik,
Fig.io ein anderes Ausführungsbeispiel für ein
ringförmiges elastisches Element,
Fig.11 einen Schnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel
eines erfindungsgemäßen Idandlers,
Fig.12 eine Perspektivdarstellung eines zusätz
lichen Resonators aus dem Beispiel von Fig. 11,
Fig.13 einen Teilschnitt durch eine Grundplatte aus dem Dandier won Fig. 11,
Fig.ii* und 15 je eine grafische Darstellung
einer Impedanz- bzui. Empfindlitihkeits-Charakteristik
des Wandlers von Fig. 11,
Fig.16 bis 19 schematische Schnittansichten von
unterschiedlich dimensionierten Grundplatten- ^o Ausführungsbeispielen, und
Fig.2o bis 23 grafische Darstellungen verschiedener den Dimensionen von Fig. 16 bis 19
zugeordneter Empfindlichkeits-Charakteristiken.
03001 3/0932
- 1o -
Das in Fig. U geschnitten dargestellte Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers
ist ein zusammengesetzter Schwinger 1o mit einem zusätzlichen
Resonator 12 aus Kunstharz, der durch ein Klebemittel in der Mitte auf einer Oberfläche eines
quadratisch geformten piezoelektrischen Zweielementen-Kristallschwingers
11 befestigt ist, welcher seinerseits zwei zusammengefügte piezoelektrische Keramikplatten
aufweist, bei denen an äußeren Seitenelektroden im Bereich einer nicht dargestellten Knotenpunktlinie
Anschlußleitungen 111 und 112 angelötet sind. Der in Fig. 5 separat dargestellte zusätzliche Resonator 12
ist mit seiner kleineren, in Fig. 5 unten liegenden Zylinderfläche, an dem Kristallschwinger 11 befestigt,
und seine größere Oberfläche (großer Durchmesser)
dient als Schallwandleroberfläche. Der zusammengesetzte
Schwinger 1o ist über ein zwischengelegtea elastisches
ringförmiges Element 1o1 aus Silikongummi (Fig.7) auf einer isolierenden Grundplatte ^o hefestigt, an der
2g ferner durchgehende AnschluQstifte 91 und 92 fixiert
sind. Beispiels- bzw. vorzugsweise sind der Schwinger 1a, insbesondere der Kristallschwinger 11 mit dem elastischen
Element 1o1, und letzterer mit der Grundplatte *»o mit einem Silikonkleber zusammengefügt bzw. verbunden.
Eine Abschirmplatte 5 auf der äußeren Rückseite der Grundplatte
ka ist mit dem einen AnschluBstift 92 verlötet
und von dem anderen Stift 91 elektrisch isoliert. Der zusammengesetzte Schwinger 1o ist von einem zylindrischen
Metallgehäuse 6 umgeben, der an einem Ende abgedichtet
3d mit der Grundplatte ^o verbunden ist und am anderen Ende
eine Öffnung 61 aufweist, die mit einer Abschirmplatte 7 verschlossen ist.
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FP
Ueil nun bei dem i?iTindurigayemiii3en Auüführungsbuispiel
von Fig. U der zusammengesetzte Schwinger 1a durch
das elastische Element 1o1 unterstützt ist, kann sich die über seine Dicke wirksame Transversal- (bzw. Kolben-)
Schwingungsart seiner beiden Schwingungsarten besser
ausbilden. Dadurch hat dieser Schuinqer 1o, wie aus der Impedanz-Charakteristik van Fig. U und der Empfindlich
k e i ts-Charakteristik von Fig. 3 hervorgeht, im
unteren Frequenzbereich eine für die Praxis ausnutzbare
-J0 große Empfindlichkeit. Damit steht ein Ul traschal lwnndler
mit einer guten Empfindlichkeit über ein breites
Frequenzband zur Verfügung, was einer verbesserten Empfindlichkeit der 1. Resonanz einer Transversal-Schujingungsart
in Verbindung der 2. Resonanz einer Biegeschuiingungsart zu verdanken ist. In Fig. 3 ist
das Frequenzband mit C bezeichnet, in dessen Grenzen ein für die praktische Anwendung ausreichender Empfindlichkeitspegel
verfügbar ist. Vergleicht man Fig. 3 mit Fig. 3, dann ist. durch die Erfindung ausnutzbare
Frequenzband wesentlich bruiter nls heim herkümmlichun
Ultraschallwandler. In Fig. 3 wurden verschiedene Empfind lichkeitskurven 1, 2, 3 und U in Abhängigkeit von unterschiedlich
dicken ringförmigen elastischen Elementen 1n1 (Fig. 7) aufgenommen, welche den Abstand zwischen dem
Zueielementen-Hristallschwinger 11 und der isolierenden
Grundplatte ^o bestimmen. Die Empfindlichkeitskurven 1,
2, 3 und k gehören jeweils zu einem t = α,2 mm, o,b mm,
o,6 mm bzw. o,0 mm dicken Element 1o1. Zwar hat sich
bei diesem Vergleich das o,2 mm dicke elastische Element 1o1 als optimal erwiesen, jedoch kann sich dieser Uptimalwert
für die Dicke t in Abhängigkeit von den geometrischen Abmessungen des zusammengesetzten Schwingers 1o
durchaus ändern und sollte daher vorzugsweise durch Experimente bestimmt werden. Die zuvor beschriebenen
Empfindlichkeitskurven wurden bei abgenommenem Metallgehäuse
6 aufgenommen. liJenn das Gehäuse G gem. Fig. U
030013/0932
TER MEER · MÖLLER · STEINMEISTER FP-D931
- 12 -
daran befestigt ist, fällt die Empfindlichkeit etwas ab.
Durch günstige geometrische Gestaltung des Gehäuses oder der Grundplatte oder des zusätzlichen Resonators
kann die Empfindlichkeit noch verbessert werden. Daher
sollte man die Geometrie und Ausbildung des Gehäuses und dgl. jeweils im Hinblick auf die Anwendung in geeigneter
Ideise bestimmen.
Die Erfindung beschränkt sich keineswegs auf einen Silikongummi ring als Element 111; beispielsweise kann
der zusammengesetzte Schwinger direkt mit Hilfe eines
SiIikonklebers befestigt werden.
Alternativ zu dem ringförmigen Element 1o1 kann auch
ein geschlitztes ringförmiges SiIikongummi-Element 1o1
gemäß Fig. 1o v/erwendet werden. Es bietet beispielsweise
den Vorteil, daß die Lötverbindung zwischen dem Hristallschwinger
11 und der Anschlußleitung 112 in dem Ringausschnitt
1o1a untergebracht werden kann. Dadurch wird
eine Schräglage des Schwingers 1o vermieden und eine
gewünschte Richtcharakteristik aufrecht erhalten.
Ein in Fig. 11 dargestelltes zweites erfindungsgemäßes
Ausführungsbeispiel ist in mancher Hinsicht dem von Fig. *♦
ähnlich, so daß nachstehend im wesentlichen nur die abweichenden Einzelheiten erläutert werden. So besteht der
in Fig. 12 separat dargestellte zusätzliche Resonator aus einem kegelstumpfformigen Rumpfabschnitt 121 mit
einem integral angeformten und aus der Wanderoberflache
aufragenden Zylinderansatz 122. Die kleinere Rumpfabschnittfläche
ist auf dem Zweielementen-Kristallschujinger
11 befestigt. Die sich ebenfalls von der Ausführung in
, Fig. i» unterscheidende Grundplatte ko ist in Fig. 13
separat dargestellt. Von einem zylindrischen Boden
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FP-0931
- 13 -
ragt außen eine zylindrische Wandung ^dI und innen
ein zylindrisches Stützteil i*o3 auf, so daß zwischen
kai und ί»α1 eine Ringnut ka5 gebildet ist. An der
offenen Seite der Grundplatte ka ist das Stützteil i*o3
mit einen konzentrischen vorspringenden Absatz ko1*
mit reduziertem Außendurchmesser v/ersehen. Auch die zylindrische Außenwand '»o1 besitzt eine interne Endabstufung
mit vergrößertem Innendurchmesser, und ferner ist am offenen Ende der Umfangsuandung ko1] ein nach
außen und innen abgesetzter Vorsprung ί+α6 angeformt
sowie büdenseitig vorstehende Anschlußstifte 91, 92
eingebettet. Auf den Absatz ^a*+ ist ein ringförmiges
elastisches und beispielsweise aus Silikongummi bestehendes
Element 1o1 'mit Spalt (s. Fig. 1o) aufgepaßt und dadurch elastisch befestigt, kann ober auch angeklebt
sein. Da der Vorsprung kok niedriger als das elastische Element 1o1' dick ist, steht die äußere Oberfläche
des Elementes 1o1' etwas über die Oberseite des Vorsprungs
kok hinaus. Auf dem so positionierten elastisehen
Element 1o1' kann der zusammengesetzte Schwinger leicht montiert werden.
Alternativ könnte (nicht dargestellt) ein Rand um den
Vorsprung kok am Ende des Stützteils ka3 angeformt und
so eine Umfangsnut zur Aufnahme des elastischen Elementes 1o1' gebildet sein.
Vorzugsweise ist das elastische Element 1o1' mittels
eines Silikonklebers am Stützteil i+o3 befestigt und
ferner der zusammengesetzte Schwinger 1o mit der Gehäuseäffnung zugekehrtem Zylinderansatz 122 auf dem
elastischen Element 1o1' fixiert. Dabei ist der Schwinger 1o so positioniert, daß die Lütanschlußstelle der
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FPtO931
- 1t» -
Leitung 112 auf der Unterseite des Kristallschwingers
11 in dem Spalt 1o1 a (Fig. 1o) des Elementes 1α1·
liegt. Danach wird vorzugsweise der Spaltbereich 1o1 a
mit Silikonkleber vollständig ausgefüllt, so daß ein zwischen dem Zujeielementen-Schuiinger 11 und dem Stützteil
i«o3 vorhandener Spalt versiegelt ist. Vorzugsweise
ist die Leitung 111 am Stift 91, und die Leitung 112 am Stift 92 festgelötet, und die Lötstellen sind
mit einem Silikonkleber überdeckt.
-J0 Die aus Fig. 11 hervorgeht, ist die von dem Vorsprung
i*o6 am offenen Ende der zylindrischen Idandung Ua1]
eingefaßte Öffnung der Grundplatte ka mit einer deckeiförmigen Abschirmplatte 7 überdeckt, deren angeformter
Rand 71 sandwichartig zwischen dem Vorsprung ^o6 und
der Seitenwand des aufgesetzten Metallgehäuses 6 eingebettet
ist. Damit ist die Ahschirmplatte 7 auf einfache Weise fixiert, die beim Stand der Technik gem. Fig.
erforderlichen komplizierten Befestigungsmaßnahmen
entfallen.
Man beachte, daß der Durchmesser des Zylinderansatzes
122 des zusätzlichen Harz-Resonators 12 etwa gleich oder etwas kleiner als der Schwingungsknotenpunkt-Kreis
einer Biege9chwingungsart des Schwingers 1o ist, keineswegs größer. Gbwohl dieser Zylinderanaatz 122
aufgrund seiner Masse den Resonanz-Gütefaktor in. der
Biegeachwingungsart verschlechtert, hat er wenig
Einfluß auf eine Transversal-Schwingungsart, eben
weil sein Durchmesser gleich oder kleiner als der Durchmesser des Biegeschwingunga-Knotenpunktkreises ist.
Ganz allgemein wird das Gesamt-Schwingungsverhalten
trotz Schwächung der Biegeschwingungen etwa gleich
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FP-O931
_ 2937 9A
- 15 -
grüß wie bei einer Ausführung ohne Zylinderansatz
am zusätzlichen Resonator 12 sein, und außerdem wird durch Unterdrückung der Biegeschwingungen die
Transversalschwingungsart relativ verstärkt.
Statt als Integralansatz kann der Zylinderansatz 122
auch als separates Teil hergestellt und an dem Rumpfabschnitt 122 mit einem Klebemittel oder dgl. befestigt
sein. Ferner muß der ZyIindcransatz 122 nicht
kreisrund sein, er kann vielmehr halbkreisförmig,
^0 polygonal oder anders gestaltet sein. Die Masse des
Ansatzes 122 soll sorgfältig so bemessen sein, daß der Gütefaktor im zweiten Resonanzbereich einer
Biegeschwingungsart unterdrückt uird. Ein zu kleiner
Gütefaktor setzt die Empfindlichkeit des UJandlers herab.
^r1 Deshalb wird vorzugsweise die Masse des Ansatzes 122
so gewählt, daß die Empfindlichkeit über einer praktisch
verwertbaren Grenze liegt und eine Kolbenschwingungsart
wenig behindert wird.
Da auch bei der Ausführung in Fig. 11 der Schwinger
durch das ringförmige elastische Element 1o1· unterstützt ist, erhöht sich die Wirksamkeit der ersten
Resonanz in einer Transversal- (bzw. Kolben-) Schwingungsart, und daraus resultiert ein Ultraschallschwinger
mit guter Empfindlichkeit über ein breites Frequenzband.
Mit Hilfe des auf den Rumpfabschnitt 121 des aus Kunstharz hergestellten zusätzlichen Resonators 12
kann der Gütefaktor für die zweite Resonanz vermindert
werden.
In Fig. 1i* ist die Abhängigkeit der Impedanz, und in Fig.
^0 die Abhängigkeit der Empfindlichkeit von der Frequenz
030013/0932
TER MEER · MÖLLER · STEINMEISTER FP-O931
- 16 -
für einen erfindungsgemäßen Utraschallwandler aufgetragen,
und zwar gilt die durchgehende Linie für einen Wandler mit Ansatz 122, und die unterbrochene Linie für
einen Wandler ohne Ansatz 122 am zusätzlichen Resonator 12. Bei der unterbrochenen Linie ist der Gütefaktor
bei der zweiten Resonanz hoch,und wegen des fehlenden
Ansatzes 122, die Empfindlichkeit in diesem Bereich
relativ gering. Dagegen verursacht, wie die durchgehende Linie zeigt, der anwesende Zylinderansatz 122 am
zusätzlichen Resonator 12 in der ersten Resonanz einen großen und in der zweiten Resonanz einen kleinen Güter
faktor. Dies ist vermutlich darauf zurückzuführen, daß
infolge des geringeren Gütefaktors in der zweiten Resonanz der Gütefaktor der ersten Resonanz durch eine
Transversal-Schwingungsart vergrößert wird in Abhängigkeit
von der erwähnten Unterdrückung. GemHß Fig. 15 (durchgehende Linie) steigt in der zweiten Resonanz
die Empfindlichkeit mit einer Gütefaktor-Verminderunp.
Dagegen wird trotz Erhöhung des Gütefaktors In der ersten
Resonanz dort die Empfindlichkeit nicht vermindert. Dies ist vermutlich darauf zurückzuführen, daß die
erste Resonanz durch eine Transversal-Schwingungsart hervorgerufen ist.
Ferner kann durch eine AbsatzauBbildung an der Innenoberfläche
der Umfangswandung *io1 in der Nähe der
Öffnung der isolierenden Grundplatte ka der Wirkungsgrad
des Wandlers weiter verbessert werden. Solche abgesetzten Bereiche reflektieren Ultraschallwellen
in der Weise, daß ausgesandte Ultraschallwellen zur Öffnung 61 des Metallgehäuses 6, und ankommende Ultraschallwellen
in Richtung auf die Wandleroberfloche
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FP-O931
- 17 -
des zusätzlichen Resonators 12 gebündelt werden. Derartige Absätze sind schmierig in ein Metallgehäuse
gem. Fig. 1 einzuarbeiten, dagegen äußerst einfach herzustellen, wenn die Basis oder Grundplatte
aus einem Kunstharzmaterial hergestellt und als zylindrischer Topf mit Boden ausgebildet ist.
Nachstehend werden die durch Versuch ermittelten Einflüsse unterschiedlicher Grundplatten-Konfigurationen
auf die Empfindlichkeit eines LJundlers
Iq näher erläutert.
Bei dem Versuch uurden vier unterschiedlich geformte,
in den Figuren 16 bis 19 dargestellte Grundplatten Ua
weruendet, die jedoch sämtlich in das gleiche Metallgehäuse
6 passen. Die isolierende Grundplatte ^o von Fig. 16 hat eine angeformte ringförmige Einfassung
'♦al1, und in der Mitte von Absatz koh ist ein zusammengesetzter
Schwinger über ein elastisches Element zu befestigen, wodurch üblicherweise die Empfindlichkeit
erhöht wird. In Fig. 2o sind verschiedene Empfind-
2Q lichkeitskurven a, b, c und d für verschiedene von
1,o mm bis 1,6 mm reichende Hühenwerte h der Einfassung
'♦öl' aufgetragen. Die Versuche haben gezeigt, daß
trotz veränderter Höhe h der Einfassung ko'\1 die
Empfindlichkeit in dem Frequenzbereich um ko kHz
pe relativ gering bleibt. Über den gesamten Frequenzbereich
betrachtet, läßt sich erkennen, daß eine Höhe h = 1,2 mm noch die größte Empfindlichkeit mit
sich bringt. Die in Fig. 17 dargestellte Grundplatte Uo1 ist ähnlich gestaltet, jedoch wird jetzt im Versuch
ein Innendurchmesser d der ringförmigen Einfassung ^ο1· verändert und in Verbindung mit Fig.
030013/0932
- ia -
festgestellt, welchen Einfluß dieo auf die Empfindlichkeit
hat. Auch hier führt die Änderung des Innendurchmessers d kaum zu einer Verbesserung der Empfindlichkeit
im Frequenzbereich um Ua kHz, über das gesamte
Frequenzband hinweg wird jedoch die größte Empfindlichkeit erzeilt, wenn d = 13,5 mm groß ist.
Die in Fig. 18 und 19 dargestellten Grundplatten-Ausführungen
*4o' besitzen ein mittleres Stützteil ^ο3
mit Absatz UoU und bilden so ein bevorzugtes Ausführe,
rungsbeispiel der Erfindung. Bei der Ausführung von
Fig. 18 wurde versuchsweise die mit H bezeichnete Tiefe der Ringnut ^ο5 zwischen 1,5 mm (Kurve a)
und 3,5 mm (Kurve e) verändert. Uie sich aus Flg. 22,
ωα diese Kurven aufgetragen sind, entnehmen IBBt,
iijird jetzt eine Verbesserung im Frequenzbereich um
Ua kHz erzielt, wogegen mit zunehmender Tiefe H der
Ringnut **o5 die Empfindlichkeit im niedrigen Frequenzbereich
mehr oder weniger ansteigt. Bei dem Auaführungsbeispiel
von Fig. 19 wird der Innendurchmesser D des
2q umlaufenden Vorsprungs UaG zwischen 13,5 mm und 15,3 mm
verändert. Wie die zugehörige Fig. 23 zeigt, erhöh*
sich die Empfindlichkeit im Frequenzbereich um ^o kHz,
und ferner steigt die Empfindlichkeit im gesamten
Frequenzband an, je größer dieser Innendurchmesser d wird.
Aus diesen Versuchen geht einwandfrei hervor, daß eine topfformige zylindrische Grundplatten-Ausführung
gem. Fig. 18 und 19 zu einer Empfindlichkeitssteigerung über das gesamte Frequenzband führt, verglichen mit
Fig. 16 oder 17. Die vorstehend beschriebenen Versuche gestatten die Herstellung einer optimal gestalteten
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER F F -D1J 31
tapff iJrmiqen zylindrischen Πι undpin t; te für einnn
erfindungsgemäOcn Ultroschalluandler.
030013/09It
Claims (1)
11. Oktober 1978 -Japan - No. 139803/1978
PATENTANSPRÜCHE
Ultraschallwandler mit einem zusammengesetzten Schwinger aus einem piezoelektrischen Zweielementen-Kristallschwinger
und einem damit verbundenen zusätzlichen Resonator aus Kunstharz und mit einer Frequenzgangkennlinie, bei der in
einem unteren Frequenzbereich eine durch eine Transversalschwingung verursachte erste Resonanzstelle sowie in einem
oberen Frequenzbereich eine durch eine Biegeschwingung hervorgerufene zweite Resonanzstelle in Relation zu einer
bestimmten mittleren Frequenz vorhanden sind,
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FP-0931
gekennzeichnet durch
ein isolierendes Basiselement (40) zur Aufnahme des
zusammengesetzten Schwingers (10), und
- ein zwischen dem Zweielementen-Kristallschujinger (11)
und dem isolierenden Basiselement (.UO) angeordnetes elastisches Element (101) zum Angleichen der ersten
Resonanzstelle.
2. Ultraschalluandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Element (101) ringförmig gestaltet ist.
3. Ultraschallwandler nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß das ringförmige elastische Element (101) einen Spalt (101a) aufweist.
4. Ultraschallwandler nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß an dem isolierenden Basiselement (40)mindestens ein Anschlußelement (91, 92) angeordnet
und über eine Leitung (111; 112) mit dem Zmeielementen-Kristallschwinger
(11) elektrisch verbunden ist; und daß eine zwischen der Leitung und dem Zweielementen-Kristallschuiinger
gebildete elektrische Verbindungsstelle in dem Spalt (101a) des ringförmigen elastisehen
Elementes (1D1) angeordnet ist.
5. Ultraschallwandler nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Element durch ein Silikon-Klebemittel gebildet ist.
6. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1-4,
dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Element (101) aus Silikongummi besteht.
030013/0931
fp— TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER r v
7. Ultraschallwandler nach Anspruch 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet, daß das isolierende Basiselement (i»D) einen Vorsprung (**06) aufweist, der so geformt ist,
daß sein Außendurchmesser etwas kleiner als der Innendurchmesser, und seine Höhe etwas kleiner als die Dicke
des ringförmigen elastischen Elementes (101) ist; und daß das ringförmige elastische Element (101) auf den Vorsprung
C+06) aufgepaßt und danach der Zweielementen-Kristallschwinger
(11)des zusammengesetzten Schwingers (10) auf dem elastischen Element angebracht ist.
8. Ultraschallwandler nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß an die Schallwandlerfläche des aus Kunstharz hergestellten zusätzlichen Resonators
(12) ein Ansatz (122) angeformt ist.
9. Ultraschallwandler nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß der Ansatz (122) die Farm
einer zylindrischen Säule hat.
10. Ultraschallwandler nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser des zylindrischen
Ansatzes (122) so gewählt ist, daß er etwa der fundamentalen
Schwingungsknotenpunkt-Kreislinie der zweiten
Resonanzstelle des zusammengesetzten Schwingers (10)gleicht.
11. Ultraschallwandler nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das isolierende Basiselement
im wesentlichen die Form eines offenen zylindrischen
Topfes hat und der zusammengesetzte Schwinger (1G) über
das elastische Element (101) mit dem Bodenteil des Basiselementes verbunden ist.
12. Ultraschallwandler nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das topffürmigc zylindrische
030013/0932
TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER FP-0931
Basiselement (^D) eine Umfangswandung (i»Q1) aufweist,
deren Innendurchmesser zum offenen Ende hin durch einen Absatz (ί*0*Ο in der Weise vergrößert ist, daß von der
Uandleroberflache des zusammengesetzten Schuiingers (1G)
ausgehende oder auf diese auftreffende Ultraschallwellen
gebündelt werden.
13. Ultraschalluandler nach Anspruch 11 oder 12,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen einem vom Boden zur Öffnung des topfförmigen zylindrischen Basiselementes C+0)
aufstrebenden Stüteteil C+03) und der Umfangswandlung
CtOI) eine Ringnut iküS) gebildet ist, und daß der zusammengesetzte
Schwinger (1D) über das elastische Element (1G1) an dem freien Ende des zylindrischen Stützteile
(i»Q3) angebracht ist.
1*». UltraschBllschwinger nach Anspruch 11, 12 oder 13,
dadurch gekennzeichnet, daß in einem das topfförmige zylindrische isolierende Basiselement C+D) abdeckenden Metallgehäuse
(6) eine der Schallwandlerfläche des zusammengesetzten
Schwingers (1D) gegenüberliegende Öffnung (61) angeordnet und durch ein Abschirmelement (7) verschlossen
ist.
15. Ultraschallwandler nach Anspruch *\k,
dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (7) durch sanduiichartiges Einbringen zwischen dem Ende der Umfangswandlung
(i»D1) des isolierenden Basiselementes C+0) und
dan Metallgehäuse (6) befestigt ist.
030013/0932
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13052578U JPS5830386Y2 (ja) | 1978-09-21 | 1978-09-21 | 超音波送受波器 |
JP13052478U JPS5546368U (de) | 1978-09-21 | 1978-09-21 | |
JP13052678U JPS5830387Y2 (ja) | 1978-09-21 | 1978-09-21 | 超音波送受波器 |
JP13382078U JPS5551095U (de) | 1978-09-28 | 1978-09-28 | |
JP13980378U JPS5830388Y2 (ja) | 1978-10-11 | 1978-10-11 | 超音波送受波器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2937942A1 true DE2937942A1 (de) | 1980-03-27 |
DE2937942C2 DE2937942C2 (de) | 1982-04-01 |
Family
ID=27527247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2937942A Expired DE2937942C2 (de) | 1978-09-21 | 1979-09-20 | Ultraschallwandler |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4283649A (de) |
DE (1) | DE2937942C2 (de) |
GB (1) | GB2032223B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2468894A1 (fr) * | 1979-11-06 | 1981-05-08 | Nissan Motor | Detecteur de vibrations, par exemple pour moteur |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5642499A (en) * | 1979-05-15 | 1981-04-20 | Nippon Ceramic Kk | Ultrasonic-wave transducer |
US4475014A (en) * | 1982-09-13 | 1984-10-02 | Harman-Motive Inc. | Acoustical transducer |
US5185728A (en) * | 1990-10-31 | 1993-02-09 | Cyber Scientific | Omnidirectional ultrasonic transducer |
WO1997008761A1 (en) * | 1995-08-28 | 1997-03-06 | Accuweb, Inc. | Ultrasonic transducer units for web edge detection |
JP3596364B2 (ja) * | 1999-08-05 | 2004-12-02 | 松下電器産業株式会社 | 超音波送受波器および超音波流れ計測装置 |
US6771785B2 (en) * | 2001-10-09 | 2004-08-03 | Frank Joseph Pompei | Ultrasonic transducer for parametric array |
US7310031B2 (en) * | 2002-09-17 | 2007-12-18 | M/A-Com, Inc. | Dielectric resonators and circuits made therefrom |
US7057480B2 (en) * | 2002-09-17 | 2006-06-06 | M/A-Com, Inc. | Cross-coupled dielectric resonator circuit |
US20040257176A1 (en) * | 2003-05-07 | 2004-12-23 | Pance Kristi Dhimiter | Mounting mechanism for high performance dielectric resonator circuits |
US20050200437A1 (en) * | 2004-03-12 | 2005-09-15 | M/A-Com, Inc. | Method and mechanism for tuning dielectric resonator circuits |
US7088203B2 (en) * | 2004-04-27 | 2006-08-08 | M/A-Com, Inc. | Slotted dielectric resonators and circuits with slotted dielectric resonators |
US7388457B2 (en) | 2005-01-20 | 2008-06-17 | M/A-Com, Inc. | Dielectric resonator with variable diameter through hole and filter with such dielectric resonators |
WO2006098874A2 (en) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Mark Strickland | File sharing methods and systems |
US7750532B2 (en) * | 2005-03-21 | 2010-07-06 | Artificial Muscle, Inc. | Electroactive polymer actuated motors |
US8054566B2 (en) * | 2005-03-21 | 2011-11-08 | Bayer Materialscience Ag | Optical lens displacement systems |
US7521847B2 (en) * | 2005-03-21 | 2009-04-21 | Artificial Muscle, Inc. | High-performance electroactive polymer transducers |
US7626319B2 (en) * | 2005-03-21 | 2009-12-01 | Artificial Muscle, Inc. | Three-dimensional electroactive polymer actuated devices |
US7915789B2 (en) | 2005-03-21 | 2011-03-29 | Bayer Materialscience Ag | Electroactive polymer actuated lighting |
US7595580B2 (en) * | 2005-03-21 | 2009-09-29 | Artificial Muscle, Inc. | Electroactive polymer actuated devices |
US20070200457A1 (en) * | 2006-02-24 | 2007-08-30 | Heim Jonathan R | High-speed acrylic electroactive polymer transducers |
US7521840B2 (en) * | 2005-03-21 | 2009-04-21 | Artificial Muscle, Inc. | High-performance electroactive polymer transducers |
US7583164B2 (en) * | 2005-09-27 | 2009-09-01 | Kristi Dhimiter Pance | Dielectric resonators with axial gaps and circuits with such dielectric resonators |
US7352264B2 (en) * | 2005-10-24 | 2008-04-01 | M/A-Com, Inc. | Electronically tunable dielectric resonator circuits |
US7705694B2 (en) * | 2006-01-12 | 2010-04-27 | Cobham Defense Electronic Systems Corporation | Rotatable elliptical dielectric resonators and circuits with such dielectric resonators |
DE102006023165B4 (de) * | 2006-05-17 | 2008-02-14 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung eines akustischen Spiegels aus alternierend angeordneten Schichten hoher und niedriger akustischer Impedanz |
US7719391B2 (en) * | 2006-06-21 | 2010-05-18 | Cobham Defense Electronic Systems Corporation | Dielectric resonator circuits |
JP5241091B2 (ja) * | 2006-10-13 | 2013-07-17 | 日本電波工業株式会社 | 超音波探触子 |
US7492076B2 (en) * | 2006-12-29 | 2009-02-17 | Artificial Muscle, Inc. | Electroactive polymer transducers biased for increased output |
US20080272860A1 (en) * | 2007-05-01 | 2008-11-06 | M/A-Com, Inc. | Tunable Dielectric Resonator Circuit |
US7456712B1 (en) * | 2007-05-02 | 2008-11-25 | Cobham Defense Electronics Corporation | Cross coupling tuning apparatus for dielectric resonator circuit |
KR20100053536A (ko) | 2007-06-29 | 2010-05-20 | 아트피셜 머슬, 인코퍼레이션 | 감각적 피드백을 부여하는 전기활성 고분자 변환기 |
JP5433991B2 (ja) * | 2008-06-24 | 2014-03-05 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
JP5444670B2 (ja) * | 2008-09-18 | 2014-03-19 | パナソニック株式会社 | 音響再生装置 |
EP2239793A1 (de) | 2009-04-11 | 2010-10-13 | Bayer MaterialScience AG | Elektrisch schaltbarer Polymerfilmaufbau und dessen Verwendung |
US9553254B2 (en) | 2011-03-01 | 2017-01-24 | Parker-Hannifin Corporation | Automated manufacturing processes for producing deformable polymer devices and films |
KR20140019801A (ko) | 2011-03-22 | 2014-02-17 | 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 | 전기활성 중합체 작동기 렌티큘라 시스템 |
US8811636B2 (en) * | 2011-11-29 | 2014-08-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microspeaker with piezoelectric, metal and dielectric membrane |
WO2013142552A1 (en) | 2012-03-21 | 2013-09-26 | Bayer Materialscience Ag | Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices |
WO2013192143A1 (en) | 2012-06-18 | 2013-12-27 | Bayer Intellectual Property Gmbh | Stretch frame for stretching process |
US9590193B2 (en) | 2012-10-24 | 2017-03-07 | Parker-Hannifin Corporation | Polymer diode |
RU2584063C1 (ru) * | 2015-01-21 | 2016-05-20 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") | Ультразвуковой низкочастотный преобразователь |
WO2017089609A2 (de) | 2015-11-26 | 2017-06-01 | Elmos Semiconductor Aktiengesellschaft | Schwingelement für einen ultraschall-transducer mit mehrfachresonanz |
DE102015015901B3 (de) * | 2015-11-26 | 2017-06-01 | Elmos Semiconductor Aktiengesellschaft | Schwingelement für einen Ultraschall-Transducer mit einer auf einem Translationsgitter basierenden Mehrfachresonanz |
DE102015015900B3 (de) * | 2015-11-26 | 2017-06-29 | Elmos Semiconductor Aktiengesellschaft | Schwingelement für einen Ultraschall-Transducer mit Mehrfachresonanz |
KR102244601B1 (ko) * | 2019-05-29 | 2021-04-26 | 인하대학교 산학협력단 | 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 그 제조방법 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2547606A1 (de) * | 1974-11-08 | 1976-05-13 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrischer ultraschallumsetzer |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3675053A (en) * | 1969-05-26 | 1972-07-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic wave microphone |
-
1979
- 1979-09-13 US US06/075,275 patent/US4283649A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-09-20 DE DE2937942A patent/DE2937942C2/de not_active Expired
- 1979-09-21 GB GB7932768A patent/GB2032223B/en not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2547606A1 (de) * | 1974-11-08 | 1976-05-13 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrischer ultraschallumsetzer |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2468894A1 (fr) * | 1979-11-06 | 1981-05-08 | Nissan Motor | Detecteur de vibrations, par exemple pour moteur |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4283649A (en) | 1981-08-11 |
DE2937942C2 (de) | 1982-04-01 |
GB2032223A (en) | 1980-04-30 |
GB2032223B (en) | 1983-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2937942A1 (de) | Ultraschallwandler | |
DE2701200C2 (de) | ||
DE3710874C2 (de) | ||
DE19538696C2 (de) | Anordnung zur Überwachung eines vorbestimmten Füllstands einer Flüssigkeit in einem Behälter | |
DE2913957C3 (de) | Piezoelektrischer Lautsprecher | |
DE1110451B (de) | Elektromagnetischer UEbertrager fuer hochfrequente Druckwellen in Stroemungsmitteln | |
EP0769682A2 (de) | Anordnung zur Überwachung eines vorbestimmten Füllstands einer Flüssigkeit in einem Behälter | |
DE1270197B (de) | Verzoegerungsanordnung mit Dispersion fuer akustische Wellen | |
DE2148704A1 (de) | Schallerzeuger | |
DE2401132A1 (de) | Schalltrichter zur akustischen impedanztransformation | |
EP0802521A2 (de) | Sensor zum Senden und/oder Empfangen akustischer Signale | |
DE4231253A1 (de) | Membran fuer elektrodynamische wandler | |
DE2035629B2 (de) | Piezoelektroakustischer wandler | |
DE4436158A1 (de) | Piezoelektrischer Summer | |
EP0615471B1 (de) | Schall- oder ultraschallwandler | |
DE2505819A1 (de) | Oberflaechenwelleneinrichtung | |
EP0436809A2 (de) | Ultraschallwandler mit piezoelektrischen Wandlerelementen | |
DE3234060C2 (de) | Elektrostatischer Wandler | |
DE2427703C2 (de) | Elektro-mechanisches Filter | |
EP0655156B1 (de) | Ultraschallwandler | |
EP0678853B1 (de) | Ultraschallwandler mit asymmetrischer Strahlungscharakteristik | |
DE102015118437B4 (de) | Schichtanordnung für ein Volumenwellenbauelement | |
DE2109013C3 (de) | Elektroakustischer Wandler | |
DE4125088C1 (de) | ||
DE2038687A1 (de) | Akustischer Wandler |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
D2 | Grant after examination |