DE2035629B2 - Piezoelektroakustischer wandler - Google Patents
Piezoelektroakustischer wandlerInfo
- Publication number
- DE2035629B2 DE2035629B2 DE19702035629 DE2035629A DE2035629B2 DE 2035629 B2 DE2035629 B2 DE 2035629B2 DE 19702035629 DE19702035629 DE 19702035629 DE 2035629 A DE2035629 A DE 2035629A DE 2035629 B2 DE2035629 B2 DE 2035629B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- piezoelectric
- membrane
- mechanical
- layers
- transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 claims description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 12
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 10
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 2
- 241001605695 Pareronia Species 0.000 claims 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229920006333 epoxy cement Polymers 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49005—Acoustic transducer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
ν·
einer Metallfolie oder einem anderen feuchtigkeit- ausgesetzt werden, so daß man einen piezoelcktro-
;ili>iL-nenden und abhallenden Material mit einem akustischen Wandler üroßer Leistung und uuier An-
nirdngen Elastizitätsmodul bestehen. Diese Schutz- sprechempfindlichkeirerhält.
.-Jnchien haben hier lediglich die Aufgabe. Feucluig- Bei einer vorteilhaften AusführungslOim ist vor-
k,ii von den piezoelektrischen Planen lern zu hai- 5 uesehen, daß die Abstüizteile bzw. Abstandsieil dea
u-ii. ied.ich bieten sie keinen echten mechanischen einen Anschliißpol und die Metallscheiben den ande-
Si-I,.,ι,-. i:.;ruber hinaus sind auch hier zwei piezo- reu AnschliiBpol zum Anlegen der Erreuerspannung
e.J irische Platten mechanisch gegeneinander ab- bilden.
■ : -Mi/t. so (.IaLi dadurch zwangsläufig die Anspruch- Im folgenden wird die Erfindung an Hand eines
οv;:-;mdlichkeit cneser Wandler'.orriehumn herab- ία Ausi'ühruiiüsbeispiels inner Hinweis auf die Zeieh-
: .; -ι wird (I iSA.-Patentschrift 2 S77 362)Λ nung näher erläutert. Es zeigt
uidi hat man bereits vorgeschlagen, die Wandler- F i g. 1 eine Schnittdarstellung eines piczoelektrisch-
o!. wienie eines piezoelektrischen Wandlers mit akustischen Wandlers nach der vorliegenden Er-
:■j-ui/sehiehtcn zu bedecken, die aus dicken Metall- findung,
r.1..;:eii bestehen, die die Aufgabe haben, die Stoß- 15 Fi si. 2 eine Ansicht in aiiseinandergezogener Dar-
i,...-L:ie oder Aulschlagcnergie bei der Anregung stellung der Teile der Fig. 1.
ck r Platten über die gesamte Fläche der Platten In Fig. 1 ist ein Wandler 10 gezeigt, und hierbei
gl^chmäKiger zu verteilen (britische Patentschrift sind zwei Scheibenelemente i?ite an Seite liegend an-
7-" sVl>- . . geordnet. Ein solches Element besteht aus einer
1 .hheßhch ist auch ein Verfahren /um Herstellen 20 Scheibe aus keramischem piezoelektrischem Material
vvn doppclblattförmigen Elementen in Form von 12. und dieses Material weist eine dünne Schicht aus
c! ,ilen Streifen aus einem polarisierten Materia! mit e;nem sehr gut leitendem Material wie z.B. Silber
p., .!elektrischen oder clektrostriktiven Eigenschaften oder Kupfer auf, das an jede Fläche aufplattiert ist.
b.k.mnt, wobei die dünnen Streifen an gegenüber- Jede solche Fläche stellt somit eine Elektrode dar
luf ,nden Flächen eines dünnen metallenen Träger- 25 und wird an eine Wechselstromquelle angeschlossen.
te", s gebunden werden und die dünnen Streifen pola- Die nach innen weisende Fläche ist an ein Abstütz-
rl -:erl werden, bevor sie an das Trägerteil befestigt teil aus Metall gebunden, und dieses besteht aus zwei
werden. Der hierbei erhaltene Wandler besteh' aus parallel verlaufenden Platten 14 und 16, die vermit-
zu ei Streifen, die zwischen sich eine Beilage aus tels eines radial nachgiebigen Abstandsringes 18 in
Messing einschließen, wobei diese Anordnung mit 30 Lage gehalten sind, so daß ein Luftspalt oder
llii'e von Silberzement aneinandergebundcn ist und scheibenförmiger Raum 20 geschaffen wird. Die
dieser Zement auch zwischen die Schichten der Bei- Platten 14 und 16 weisen typisch im wesentlichen die
lage eingeführt wird. Die zwei Wandlerelemente sind gleiche Dicke wie die Scheibe 12 auf. Die Platte 16
daher auch hier mechanisch gegeneinander abgestützt, ist an eine zweite keramische Scheibe 22 gebunden,
so daß diese bekannte Anordnung ebenfalls eine ver- 35 die mit der Scheibe 12 identisch ist. Dünne Metall-
mindertc Ansprechcmpfindliehkeit aufweist (bri- scheiben 24 und 26, die gewöhnlich von 0,00254 bis
tische Patentschrift 1 097 013). 0,05 cm Dicke aufweisen, was von dem Durchmesser
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe be- des Wandlers abhängig ist und ebenso von dessen
steht darin, einen piezoclektroakustischen Wandler gewünschtem Frequenzbereich, sind an die äußeren
<!er eingangs definierten Art weiter zu verbessern, 40 Flächen der keramischen Scheiben 12 und 22 ge-
insbesondere hinsichtlich einer größeren erzielbaren bundcn. Elektrische Leiter 21, 23, 25 sind wie gezeigt
Leistung bei bestmöglichem Wirkungsgrad. angeschlossen, so daß man einen Wechselstrom an
Diese Aufgabe wird dadurch gel« >st, daß erfindungs- die sich gegenüberliegenden Flächen der keramischen
gemäß in an sich bekannter Weise zwei scheiben- Scheiben anlegen kann.
förmige piezoelektrische Wandlerelemente sich 45 Die Teile der Fig. 1 sind in auseinandergezogefliichig
gegenüberliegend angeordnet sind, und zwi- ner Darstellung in Fig. 2 gezeigt. Die Teile 14,16
fellen den zueinander weisenden Flächen dieser EL- und 18 sind getrennt gezeigt. Diese Teile sind normentc
durch scheibenförmige Abstützteile und einem nialerweise so miteinander verbunden oder aneinan-Abstandstcil
ein scheibenförmiger Raum gcbildc» dcrgebunden, daß ein flaches zylindrisches Teil gewird,
wobei die voneinander abliegenden Flächen die- 50 schaffen wird, welches im Zentrum einen Luftraum
scr Elemente an dünne Metallscheibcn gebunden aufweist. Der Wandler arbeitet, indem er sich eintind,
welche die die mechanische Festigkeit er- beult oder nach Art einer »Ölkanne« abgelenkt oder
liöhendc Schicht größerer Zugfestigkeit bilden. Da verbogen wird, wobei sich jedes der getrennten
hierbei die einzelnen Wandlerclementc nicht mecha- Wandlcrrlcmente zur gleichen Zeit nach außen und
Misch starr ancinaiidergehiinden sind, sondern einen 55 nach innen bewegt. Eine nach außen gerichtete Ab-Luftspalt
zwischen sich einschließen, führt jedes ein- lenkung versetzt die Außenfläche in Spannung, und
zchic Wandlcrclcmcnt für sich zu einer guten mccha- ohne die dünnen Mctallschichten 24 und 26 sind die
nischcn Transformation, wobei die ganze Anordnung Wandler in ihrer Leistung beschränkt, und zwar auf
dennoch eine große Anspiecliempfindlichkcit auf- Grund der mangelnden Zugfestigkeit der keramischen
weist und daher kein Kompromiß zwischen hoher 60 Scheiben. Ir;dem man die dünnen Metallscheibcn 24
Leistung und guter Ansprecliempiindlichkeit gc- und 26 an die Keramikscheiben bindet, wie dies geschlossen
zu vvcrd ή braucht. zeigt ist, ergibt sich, daß die zulässige Ablenkung
Dadurch, daß die freiliegenden, einer Biegung aus- und damit die Leistungskapazität vergrößert werden
gesetzten Flächen der piezoelektrischen Wandler- kann, und zwar bis etwa auf das Vierfache. Sowohl
elemente an eine dünne Metallschcibc gebunden 65 die vorgespannten als auch die nicht vorgespannten
sind, die die Ausbildung von Haarrissen in der Ober- Teile 24 und 26 wurden hierbei verwendet und waren
fläche der Wandlerclementc verhindern, können die in beiden Fällen zufriedenstellend. Es scheint, daß
Wandlcrelemenle relativ großen Auslenkamplitudcn die Vorspannung dieser Scheiben keinen Vorteil mit
sich bringt. Die Bindung kann vermittels der Anwendung eines festen Epoxy-Zementes vorgesehen
werden. Der Zement darf nicht zu dick oder steif sein, da dieses zu einem Bruch der Verbindung während
des Betriebes führen kann und dadurch der gesamte Wandler versteift werden würde, wodurch seine
Frequenz angehoben werden würde und seine Bandbreite damit reduziert werden würde.
Es ist offensichtlich, daß die !.ehre der vorliegenden
Erfindung sowohl auf sendende als auch empfangende Wandler anwendbar ist. Demnach kann eir
Hmpfangswandler, der in der zuvor beschriebener Weise ausgeführt ist, größeren akustischen Kräftcr
ausgesetzt werden, woraus sich eine größere Ab lenkung und ein größerer Spannungsausgang dci
nach der Erfindung aufgebauten Elemente ergibt.
Claims (2)
1. Piezoelektroakustischer Wandler mit wenig- Durch diese bekannte Ausbildung und Anordnung
stens einem auf mindestens einer Seite und einer 5 des piezoelektrischen Wandlerelementes wird der erdie
mechanische Festigkeit erhöhenden Schicht zielbare Wirkungsgrad verbessert, oder mit anderen
größerer Zugfestigkeit versehenen piezoclektri- Worten, es wird die Ansprechempfindlichkeit eines
sehen Wandlereiement, das derart polarisiert ist, derartigen elektroakustisehen Wandlers erhöht.
daß bei Erregung desselben wenigstens eine sei- Bei vielen Anwendungsfällen, wie beispielsweise
ner zwei sich gegenüberliegenden Flächen Zug- io bei der LJntervvasserschallortung wird jedoch bei
spannungen aufgesetzt wird, dadurch ge- einer derartigen Einrichtung eine erhöhte Anfordekennzeichnet,
daß in an sieh bekannter π.ng hinsichtlich der Leistung gestellt, d. h., der dort
Weis..- zwei scheibenförmige piezoelektrische verwendete clektroakustische Wandler muß crößere
Wandlerelemente (12. 22) sich flächig gegenüber- Energiememien verarbeiteten können, ohne dabei
liegend angeordnet sind, und zwischen den zu- 15 -Schaden zu leiden, und zwar in Verbindung mit einem
einiiiiderwei.scnden Flächen dieser Elemente (12, guten Wirkungsgrad bzw. einer guten Anspreeh-22) durch scheibenförmige Abstützteile (14, 16) empfindlichkeit. Diese Forderungen lassen sich je-
und einem A!">~--tandsteil (18) ein scheibenförmi- doch mit Hilfe der bekannten Konstruktion nicht erger Raum (20) gebildet wird, wobei die von- füllen (deutsche Auslegeschrifi 1 127 950).
einander abliegenden Flächen dieser Elemente 20 Ebenso ist ein piezoelektrischer Biegeschwinger in
(12. 22) an dünne Metallscluiben (24, 26) ge- Form von zwei piezoelektrischen Schichten, z. B. kebtinden sind, welche die die mechanische Festig- ramischen Platten od. dgl., bekanntgeworden, der mit
keit erhöhende Schicht größerer Zugfestigkeit elektrischen Belegungen auf den Schichtaußenseiten
bilden. und zwischen den Schichten versehen ist. Die Schich-
2. Wandler nach Anspruch 1, dadurch ge- 25 ten sind derart polarisiert und führen zu einem solkennzeichnet, daß die Abstützteilc (14.16) bzw. chen elektrischen Feldlinienverlauf beim Betrieb des
Abstandsteil (18) den einen Anschlußpol (25), Schwingers, daß die Richtung der Polarisation und
und die Metallst heiben (24, 26) den anderen An- der elektrischen Feldlinien in Teilen der Schichten
schlußpo! (21, 23) zum Anlegen der Erreger- parallel, und in anderen Teilen der Schichten antispannung bilden. 30 parallel zueinander verlaufen. Durch diese bekannte
Konstruktion wird das Problem gelöst, die Schwierig-
keifen zu umgehen, die das Anschließen der Mittelelektrode bereitet, besonders dann, wenn die Platten
Die Erfindung betrifft einen piezoelektroakusti- des Schwingers, wie dies z. B. für niedrige Frequenschen Wandler mit wenigstens einem auf mindestens 35 zen erforderlich ist, sehr dünn sind und dementspreeiner Seite und einer die mechanische Festigkeit er- chend auch die Mittelelektrode sehi dünn sein muß.
höhenden Schicht größerer Zugfestigkeit versehenen Dieser bekannte piezoelektrische Biegeschwinger ist
piezoelektrischen Wandlereiement, das derart polari- jedoch ebenfalls nicht zum Verarbeiten von größesiert ist. daß bei Erregung desselben wenigstens eine ren elektrischen Energiemengen bzw. akustischen
seiner zwei sich gegenüberliegenden Flächen Zug- 40 Energiemengen geeignet, da die zwei piezoelektrispannung ausgesetzt wird. sehen Schichten immer mechanisch flächig anein-
Es ist bereits ein elektroakustischer Wander be- ander befestigt sind, sich also gegenseitig abstützen,
kanntgeworden, dessen Membran gleichzeitig aku- so daß die Ansprechempfindichkeit dieses bekannten
Itisch-mechanisches Wandlcrglied und mechanisch- Biegeschwingers ebenfalls nachteilig beeinflußt wird,
elektrisches Wandlerglicd ist, wobei das Wandlerglied 45 da der hierfür maßgebende frei schwingende Queraus einem Material z. B. einem fcrroelektrischcn oder schnitt oder Querschnittsfläche der piezoelektrischen
piezoelektrischen Material besteht, dessen elektrische Schichten relativ groß ist (deutsche Patentschrift
Eigenschaften von seiner inneren mechanischen 1 Κις667).
Spannung abhängig sind, oder umgekehrt, welche Mit Hilfe einer weiteren bekannten piezoelektri-
Mcmbran beiderseits mit elektrisch leitenden Be- 50 sehen Patcntaflofdnung soll das Problem gelöst werlegungen versehen ist. Die Membran hat eine schwach den. die extrem dünnen Platten vor einem Bruch bei
gekrümmte oder gebogene Form, und der Umfanps- Biegung derselben zu schützen, ohne dabei die von
rand der Membran ist rundherum oder an einigen Kante zu Kante gerichtete Vibration der Platte son-
Punkfcrt so befestigt, daß die Länge des Umfanpes derlich zu beeinflussen. Hierbei handelt es sich also
dieses Membranrandes .sich bei Schwingungen der 55 um einen piezoelektrischen Wandler, der von Kante
Membran nicht ändert. Dieser bekannten Aitsiüh- zu Kante schwingt oder vibriert, und zum Schütze
rungsform liegt die Erkenntnis zugrunde, daß bei der dünnen Platte wird zumindest, auf einer Seite dcrciner schwach gewölbten Membran eine wesentliche selben eine nachgiebige Schicht befestigt, deren Dicke
Herabtransformation des mechanischen Widerstandes wenigstens Vernal so groß ist wie die Dicke der piczotind damit eine gute Anpassung an das Luft-Schall- 60 elektrischen Platte und darüber hinaus einen wcsentfelcl möglich ist. Unter Hcrabtransformation wird ver- lieh geringeren Elastizitätsmodul aufweist. Auch diese
standen, daß schon ein verhältnismäßig kleiner, auf bekannte piezoelektrische Plattenanordnung kann
die Membran wirkender Druck eine verhältnismäßig nicht zum Verarbeiten von größeren Energiemengen
große innere Spannung in ihr erzeugt, oder um verwendet werden bzw. wird die Ansprcchcmpfindgekehrt. daß schon eine verhältnismäßig geringe 65 lichkcit durch die relativ große Dicke der Schutzinnere Spannung des Mcmbranmatcrials eine ver- schicht herabgesetzt (USA.-Patentschrift 2 901 644).
hältnismäßig große Schnelle der Membranbewegung Es ist auch bekannt, Elektroden mit Schutzschich-
bcwirkt. Bei vorgegebenen mechanisch-elastischen ten zu bedecken, wobei diese .Schutzschichten aus
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US84486169A | 1969-07-25 | 1969-07-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2035629A1 DE2035629A1 (de) | 1971-03-04 |
DE2035629B2 true DE2035629B2 (de) | 1972-02-24 |
Family
ID=25293811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19702035629 Pending DE2035629B2 (de) | 1969-07-25 | 1970-07-17 | Piezoelektroakustischer wandler |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3631383A (de) |
JP (1) | JPS5142918B1 (de) |
DE (1) | DE2035629B2 (de) |
FR (1) | FR2061592B1 (de) |
GB (1) | GB1283134A (de) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5315212U (de) * | 1976-07-19 | 1978-02-08 | ||
JPS5319916U (de) * | 1976-07-29 | 1978-02-20 | ||
JPS5319918U (de) * | 1976-07-29 | 1978-02-20 | ||
JPS5364416U (de) * | 1976-11-01 | 1978-05-31 | ||
JPS5393827U (de) * | 1976-12-28 | 1978-07-31 | ||
JPS53102529A (en) * | 1977-02-21 | 1978-09-06 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Tail gate of luggage box for freight truck |
JPS6048112B2 (ja) * | 1979-05-02 | 1985-10-25 | ソニー株式会社 | 電気・機械変換素子 |
US4709361A (en) * | 1986-10-30 | 1987-11-24 | Allied Corporation | Flexural disk transducer |
US5632841A (en) * | 1995-04-04 | 1997-05-27 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Thin layer composite unimorph ferroelectric driver and sensor |
US6098460A (en) * | 1995-10-09 | 2000-08-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor and shock detecting device using the same |
DE19644161C2 (de) * | 1995-11-07 | 1998-11-12 | Daimler Benz Aerospace Ag | Piezoelektrischer Aktuator |
WO2000030554A1 (en) | 1998-11-20 | 2000-06-02 | Jones Joie P | Methods for selectively dissolving and removing materials using ultra-high frequency ultrasound |
US6579405B1 (en) * | 2000-11-27 | 2003-06-17 | Xerox Corporation | Method and apparatus for assembling an ultrasonic transducer |
EP1263060B1 (de) * | 2001-05-11 | 2008-05-07 | Caterpillar Inc. | Verfahren zur Herstellung eines flachen mehrschichtigen Biegewandlers sowie entsprechender Biegewandler |
GB0115858D0 (en) * | 2001-06-28 | 2001-08-22 | Pbt Ip Ltd | Piezo-electric device and method of construction thereof |
CN114526419B (zh) * | 2022-01-12 | 2022-11-25 | 山东大学 | 一种单自由度偏摆平台 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3094636A (en) * | 1956-06-15 | 1963-06-18 | Bendix Corp | Underwater transducer |
US3202962A (en) * | 1959-09-03 | 1965-08-24 | Honeywell Inc | Transducer |
NL120979C (de) * | 1960-02-06 | |||
US3255431A (en) * | 1960-10-06 | 1966-06-07 | Gulton Ind Inc | Hydrophone |
FR1299378A (fr) * | 1961-09-05 | 1962-07-20 | Gulton Ind | Appareil pour détecter des ondes sonores |
US3249912A (en) * | 1962-08-08 | 1966-05-03 | Gen Dynamics Corp | Electromechanical transducer |
-
1969
- 1969-07-25 US US844861A patent/US3631383A/en not_active Expired - Lifetime
-
1970
- 1970-06-25 FR FR7023559A patent/FR2061592B1/fr not_active Expired
- 1970-06-29 GB GB31328/70A patent/GB1283134A/en not_active Expired
- 1970-07-17 DE DE19702035629 patent/DE2035629B2/de active Pending
- 1970-07-23 JP JP45064242A patent/JPS5142918B1/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2061592A1 (de) | 1971-06-25 |
FR2061592B1 (de) | 1974-05-24 |
GB1283134A (en) | 1972-07-26 |
US3631383A (en) | 1971-12-28 |
JPS5142918B1 (de) | 1976-11-18 |
DE2035629A1 (de) | 1971-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2035629B2 (de) | Piezoelektroakustischer wandler | |
DE3214789C2 (de) | ||
DE1275627B (de) | Piezoelektrischer Einbaukoerper | |
DE2913957C3 (de) | Piezoelektrischer Lautsprecher | |
DE1491498A1 (de) | Piezoelektrischer Filter | |
DE1200890B (de) | Biegungsschwinger aus scheibenfoermigem elektrostriktivem Material | |
DE1416447A1 (de) | Frequenzselektiver Verstaerker | |
DE1487304A1 (de) | Elektromechanischer akustischer UEbertrager | |
DE1462179B2 (de) | Energieumwandler zur Umformung mechanischer Drücke | |
DE1184803B (de) | Elektro-akustischer Wandler | |
DE2936887A1 (de) | Piezoelektrische stimmgabel | |
DE1280357B (de) | Frequenzselektive Resonanzanordnung mit einem Festkoerper und einem darauf befestigten piezoelektrischen Resonator | |
DE2046901A1 (de) | Piezoelektrischer Wandler und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3540610A1 (de) | Ultraschallpruefkopf | |
DE2255432C3 (de) | Piezoelektrischer Resonator | |
DE1447995B2 (de) | Elektromechanischer Wandler mit einem Piezo-Wi'1 er Standselement | |
DE1541975C3 (de) | Elektromechanisches Bandfilter | |
DE2038687A1 (de) | Akustischer Wandler | |
DE1541933A1 (de) | Resonator sowie Vorrichtung und Verfahren zur Veraenderung dessen Frequenz | |
DE2547606A1 (de) | Piezoelektrischer ultraschallumsetzer | |
DE501213C (de) | Elektrostatischer Lautsprecher | |
DE754162C (de) | Piezoelektrischer Schwingungserzeuger | |
DE1951282C (de) | Elektromechanischer Wandler | |
DE1922551C3 (de) | Elektromechanisches Filter mit wenigstens drei parallel zueinander angeordneten, mechanisch gekoppelten Biegeresonatoren | |
DE1541958C (de) | Mechanisches Filter für elektrische Schwingungen |