DE2927647A1 - Oberflaechenmessgeraet - Google Patents

Oberflaechenmessgeraet

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DE2927647A1
DE2927647A1 DE19792927647 DE2927647A DE2927647A1 DE 2927647 A1 DE2927647 A1 DE 2927647A1 DE 19792927647 DE19792927647 DE 19792927647 DE 2927647 A DE2927647 A DE 2927647A DE 2927647 A1 DE2927647 A1 DE 2927647A1
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DE
Germany
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pass filter
speed
frequency
actuator
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Ceased
Application number
DE19792927647
Other languages
English (en)
Inventor
Kurt Kreiensen
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Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Original Assignee
Hommelwerke GmbH
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Publication date
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Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/34Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Oberflächenmeßgerät
  • Die Erfindung betrifft ein Oberfächenmeßgerät von der im Oberbegriff des Anspruchs 1 qenannten Art.
  • Bei derartigen Oberflächenmeßgeräten ist es bekannt, zur Trennung der Oberflächenfeingestalt (Rauhheit) von der Grobgestalt (Makroform) Filter vorzusehen, die das Frequenzgemisch des der abgetasteten Oberflächengestalt entsprechenden Signals aufzuteilen. Hierzu dient beispielsweise ein Hochpaßfilter, das nur die der Oberflächenfeingestalt entsprechenden Signale durchläßt, so daß diese in einem nachfolgenden Schreibgerät aufgezeichnet werden. Das Hochpaßfilter hat eine bestimmte Grenzfrequenz, und die Abtastgeschwindigkeit ist konstant, so daß die Trennung von Oberflächenfeingestalt und Grobgestalt in vorbestimmter Weise erfolgt.
  • In der Praxis ist es häufig erwünscht, die Abtastgeschwindigkeit zu verändern. Bei sehr langsamer Abtastgeschwindigkeit werden die Feinheiten der Oberflächengestalt besser erfaßt. Schnellere Abtastgeschwindigkeiten verringern dagegen in vorteilhafter Weise die Meßzeit. Aus diesem Grunde ist die Abtastgeschwindigkeit bei bekannten Geräten einstellbar.
  • Um bei unterschiedlichen Abtastgeschwindigkeiten die Grenzfrequenz oder Grenzwellenlänge, in der Praxis meistens Cut-off genannt, gleichzuhalten, ist es bei bekannten Geräten erforderlich, für jede neueingestellte Abtastgeschwindigkeit eine neuen Grenzfrequenz des Hochpaßfilters zu berechnen und dann entsprechend einzustellen. Dies stellt nicht nur einen erhöhten Aufwand dar, sondern führt auch zu Ungenauigkeiten bei der Einstellung.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Oberflächenmeßgerät der betreffenden Art zu schaffen, bei dem mit einem möglichst geringen Aufwand die Gefahr von Einstellfehlern der Grenzwellenlänge bzw. des Cut-offs verringert oder ausgeschlossen ist.
  • Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß die durch das andere Stellglied einstellbaren Stufen des Hochpaßfilters so bemessen sind, daß die durch die einzelnen Einstellschritte bewirkten Änderungen der Grenzfrequenz den durch die einzelnen Einstellschritte des einen Stellgliedes bewirkten Änderungen der Bewegungsgeschwindigkeit der Tastspitze proportional sind. Durch die Anpassung der einstellbaren Stufen des Hochpaßfilters and die Stufen der Verstellung der Geschwindigkeit der Abtastspitze des Längenmeßtasters kann von der Bedienungsperson eine genaue Zuordnung einzelner Stufen crfolgen, so daß keine Rechenarbeit mehr erforderlich ist und außerdem die Gefahr von Fehleinstellungen vermieden ist. Wird z.B. die Geschwindigkeit um den Faktor 3 durch Verstellung des entsprechenden Stellgliedes auf die nächsthöhere Stufe erhöht, so braucht erfindungsgemäß das andere Einstellglied für die Einstellung der Grenzfrequenz bzw. des Cut-offs ebenfalls nur um eine Stufe verstellt zu werden, um entsprechend die Grenzfrequenz des Hochpaßfilters auf den dreifachen Wert zu erhöhen.
  • Im Ergebnis bleibt dann die Grenzwellenlänge bzw. der Cut-off der abgetasteten Wellenform konstant. Durch einfaches Hin- und Herschalten verschiedener Stufen kann dann z.B. ganz einfach der Einfluß der Abtastgeschwindigkeit bei konstantem Cut-off auf die zur Aufzeichnung z.B. auf einem Schreibgerät zur Verfügung stehende Meßspannung festgestellt und damit z.B. bei die einer bestimmten Werkstückart/maximal zulässige Abtastgeschwindigkeit bestimmt werden, bei der noch keine Meßfehler durch die Abtastgeschwindigkeit auftreten.
  • Eine zweckmäßige Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß das andere Stellglied für die Einstellung der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters ein Stufenschalter ist, mit dem entweder der Wert des Kondensators oder der Wert des Widerstandes des RC-Gliedes stufenweise änderbar ist. Grundsätzlich wäre es zwar möglich, die Änderung der Grenzfrequenz des RC-Hochpaßfilters durch gleichzeitige Änderunge von Kondensator und Widerstand zu bewirken, jedoch bedeutet das einen erhöhten Schaltungs- und Materialaufwand, der nach der Lehre der Erfindung vermieden wird, nach der entweder nur der Wert des Kondensators oder nur der des Widerstandes verändert wird.
  • Hierdurch wird außerdem eine andere Weiterbildung der Erfindung ermöglicht bzw. vereinfacht, gemäß der ein weiterer Stufenschalter vorgesehen ist, mit dem zur Änderung der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters relativ zur Geschwindigkeit der Tastspitze und unabhängig von dieser Geschwindigkeit bei stufenweiser Änderung des Wertes des Kondensators zum Zwecke der Änderung der Grenzfrequenz in Abhängigkeit von der Geschwindigkeit der Abtastspitze der Widerstand des RC-Gliedes vorzugsweise stufenweise änderbar ist.Bei dieser Ausführungsform wird also das eine Element des RC-Gliedes, z.B. der Kondensator, zur Änderung der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters und damit zur Konstanthaltung des Cut-offs bei Änderung der Abtastgeschwindigkeit verändeft,während mit dem anderen Glied, in diesem Beispiel dann dem Widerstand, der Cut-off abhängig von der Abtastgeschwindigkeit, also relativ dazu, änderbar ist.
  • Da bei der Erfindung die Verstellung der Abtastgeschwindigkeit und der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters zum Zwecke der Konstanthaltung des Cutt-offs in genau gleichen und angepaßten Stufen erfolgt, ist es gemäß einer Weiterbildung der Erfindung möglich, die Stellglieder für die Verstellung von Geschwindigkeit und Grenzfrequem mechanisch miteinander zu koppeln. Das bedeutet im Falle von Stufenschaltern, daß sie auf einer Achse angeordnet sind. In einem solchen Falle ist am gemeinsamen Betätigungsknopf überhaupt kein Hinweis mehr auf die Änderung der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters vorzusehen. Es genügen ganz einfach Geschwindigkeitsangaben an den einzelnen Stufen und für die Bedienungsperson die Kenntnis, die sie sogar später wieder vergessen kann, daß bei dem erfindungsgemäßen Gerät die Verändt? l-ung der Abtastgeschwindigkeit keine Änderung des Cut-offs bewirkt. änderung der Die/einzelnen Stufen des Kondensators oder des Widerstandes des RC-Gliedes zum Zwecke der Änderung der Grenzfrequenz des durch sie gebildeten Hochpaßfilters kann mittels eines einfachen Stufenschalters erfolgen, wobei dann die an die einzelnen Stufen angeschalteten Widerstände sich in der gewünschten Weise unterscheiden. Es ist aber auch möglich, einen Schalter zu verwenden, bei dem von Stufe zu Stufe jeweils zu einem Grundwert der ersten Stufe die ZusAzwerte der jeweiligen Stufen hinzugeschaltet werden. Hat z.B. der Kondensator der ersten Stufe den Wert 1 und sollen sich die Stufen um den Faktor 2 unterscheiden, so braucht in der zweiten Stufe nur ein zusätzlider Kondensator mit ebenfalls dem Wert 1 hinzugeschaltet zu werden. In der dritten Stufe wäre es dann erforderlich, einen Kondensator mit dem Wert 2 hinzuzuschalten, in der nächstfolgenden Stufe mit dem Wert 4 usw., so daß eine binäre Abstufung der einzelnen Werte vorliegt. In einem solchen Fall ist es auch zweckmäßig, die Einschaltung der einzelnen Stufen durch elektronische Schalter zu bewirken.
  • Anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels soll die Erfindung näher erläutert werden.
  • Eine schematisch dargestellte Meßeinrichtung zur Oberflächenmessung weist einen Tisch 1 auf, auf dem ein Werkstück 2 liegt, dessen Oberfläche 3 von einer Tastspitze 4 eines Längenmeßtasters 5 abgetastet wird, der an einem schematisch dargestellten Wagen 6 befestigt ist, der in Richtung eines Doppelpfeiles 7 durch eine Spindel 8 bewegt wird, die durch einen Motor 9 angetrieben ist. Die Tastspitze 4 wird somit linienförmig über die Oberfläche 3 des Werkstückes 2 bewegt, und in dieser Tastspur wird die Oberflächenkontur des Werkstückes sowohl hinsichtlich der Feingestalt als auch hinsichtlich der Grobgestalt abgetastet.
  • Von dem Längenmeßtaster 5 wird ein der Oberflächenkontur entsprechendes Signal über eine Leitung 10 in einem Verstärker 11 geliefert, dessen Ausgangssignal über eine Leitung 12 an eine Schaltbahn 13 eines speziellen Stufenschalters gelangt, die bei Bewegung in Richtung eines Doppelpfeiles 14 mit festen Kontakten 15 in Berührung kommt, so daß stufenweise Kontakte 15 zu- bzw. abgeschaltet werden. Auf diese Weise wird in der ersten Stufe der Kondensator 16 angeschaltet, in der zweiten Stufe die Kondensatoren 16 und 17, in der dritten Stufe die Kondensatoren 16, 17, 18 usw., Der Kondensator 16 hat den Wert 1, der Kondensator 17 den Wert 1, der Kondensator 18 den Wert 2, der Kondensator 19 den Wert 4 usw., sie unterscheiden sich also von Stufe zu Stufe um den Faktor 2. Das bedeutet, daß mit jeder Schaltstellung die insgesamt an die Leitung 12 angeschaltete Kapazität sich um den Faktor 2 ändert.
  • Die Kondensatoren 16-21 bilden zusammen mit in Reihe geschalteten Widerständen 23-29 ein RC-Hochpaßfilter, dessen Ausgang 30 mit einem Schreibgerät 31 verbunden ist, aus dem, schematisch dargestellt, ein Papierstreifen 32 herauskommt, aut dem die Oberfächenkontur des Werkstückes 2 unter Berücksichtigung der Wirkung des RC-Hochpaßfilters als Kurve 33 aufgezcichnet ist.
  • Die Verbindungspunkte zwischen den Widerständen 23 und 29 sind an feste Kontakte 34 eines speziellen Stufenschalters angeschlossen, die stufenweise mit einer in Richtung eines Doppelpfeiles 35 beweglichen Kontaktbahn 36 in Verbindung bringbar sind. Dieser Stufenschalter entspricht in der Bauart also dem mit den Teilen 13 und 15. Die Widerstände 23-29 unterscheiden sich in gleicher Weise von Stufe zu Stufe wie die Kondensatoren 16 und 22, so daß hierfür das gleiche Stufenprinzip angewendet ist. Durch Bewegung der Kontaktbahn 36 in Richtung des Doppelpfeiles 35 läßt sich ebenso wie durch die Bewegung der Kontaktbahn 13 die Grenzfrequenz des Hochpaßfilters ändern, unabhängig von anderen Teilen und damit anders als mit der Kontaktbahn 13, was nachfolgend näher beschrieben wird.
  • Die Kontaktbahn 13 ist über eine durch eine gestrichelte Linie angedeutete gemeinsame Achse 37 mit einer beweglichen Kontaktbahn 38 eines weiteren Stufenschalters verbunden, die damit in Richtung eines Doppelpfeiles 39 bewegbar ist. Durch eine Bewegung kommt die Kontaktbahn 38 mit festen Kontakten 40 in Verbindung, an denen Widerstände 41-47 liegen, die mit einer Speisequelle 48 für den Motor 9 verbunden sind. Die Widerstände 41-47 unterscheiden sich so voneinander, daß sich bei Bewegung der Kontaktbahn 38 der Speisestrom für den Motor 9, im Falle eines Gleichstrommotors z.B. der Speisestrom für die Feldwicklung, so ändert, daß eine stufenweise Änderung der Drehgeschwindigkeit des Motors 9 und damit der Bewegung der Tastspitze 4 auf der Oberfläche 3 erfolgt. Um der Lehre der Erfindung zu genügen, sind bei diesem Ausführungsbeispiel, bei dem sich der jeweilige Anschaltwert der Kondensatoren 16-22 bei Verstellung der beweglichen Kontaktbahn 13 von Stufe zu Stufe um den Faktor 2 ändert, die Widerstände 41-47 so abgestuft, daß sich die Geschwindigkeit des Motors 9 von Stufe zu Stufe ebenfalls um den Faktor 2 ändert. Unter dieser Bedingung bleibt bei Verstellung der Achse 37 die Grenzwellenlänge für die Abtastwellenform und damit der Cut-off konstant.
  • Durch eine Verstellung der Kontaktbahn 36 ist in einfacher Weise die Änderung der Grenzfrequenz des Hochpaßfilter.s unabhängig von der Abtastgeschwindigkeit und damit die Änderung des Cut-offs, also der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters,relativ zur Abtastgeschwindigkeit möglich.
  • Leerseite

Claims (5)

  1. Patentansprüche: 1. Oberflächenmeßgerät, mit einem Längenmeßtaster, der quer zur Bewegungsrichtung seiner Tastspitze beweglich gehalten und von einem Motor mit durch ein Stellglied stufenweise einstellbaren Geschwindigkeiten bewegbar ist, und mit einem RC-Hochpaßfilter, dessen Grenzfrequenz mittels eines anderen Stellgliedes stufenweise einstellbar ist und durch das die von dem Längenmeßtaster abgegebene, der Form der Oberfläche eines abgetasteten Werkstückes entsprechende Meßspannung geleitet ist, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die durch das andere Stellglied (13) einstellbaren Stufen des Hochpaßfilters so bemessen sind, daß die durch die einzelnen Einstellschritte bewirkten Änderungen der Grenzfrequenz den durch die einzelnen Einstellschritte des einen Stellgliedes (38) bewirkten Änderungen der Bewegungsgeschwindigkeit der Tastspitze (4) proportional sind.
  2. 2. Oberflächenmeßgerät nach Anspruch 1, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t, daß das andere Stellglied (13) für die Einstellung der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters ein Stufenschalter (13, 15) ist, mit dem entweder der Wert des Kondensators (16-22) oder der Wert des Widerstandes (23-29) des RC-Gliedes stufenweise änderbar ist.
  3. 3. Oberflächenmeßgerät nach Anspruch 2, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t, daß der Stufenschalter (13, 15) so ausgebildet ist, daß er bei Schaltung auf eine höhere Stufe die davorliegenden Stufen eingeschaltet läßt und daß sich die Werte der an die einzelnen Stufen angeschalteten Kondensatoren (16-22) oder Widerstände (23-29) von Stufe zu Stufe um den Faktor 2 unterscheiden.
  4. 4. Oberflächenmeßgerät nach Anspruch 1, d a d u r c h g e -k t n n z e i c h n e t, daß das eine Stellglied (38) zur Einsciung der Geschwindigkeit der Tastspitze (4) mechanisch mit dem anderen Stellglied (13) zur Einstellung der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters gekoppelt ist.
  5. 5. Oberflächenmeßgerät nach Anspruch 2, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t, daß ein weiterer Stufenschalter (34, 36) vorgesehen ist, mit dem zur Änderung der Grenzfrequenz des Hochpaßfilters relativ zur Geschwindigkeit der Tastspitze (4) und unabhängig von dieser Geschwindigkeit bei stufenweiser Änderung des Wertes des Kondensators (16-22) zum Zwecke der Änderung der Grenzfrequenz in Abhängigkeit von der Geschwindigkeit der Abtastspitze (4) der Widerstand (23-29) des RC-Gliedes vorzugsweise stufenweise änderbar ist.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1528487A (en) * 1974-10-31 1978-10-11 Nippon Kokan Kk Method of and apparatus for measuring the contour of metal strips
DE2731883A1 (de) * 1977-07-14 1979-02-01 Perthen Gmbh Dr Ing Filterschaltung, insbesondere zur trennung zweier frequenzspektren im ausgangssignal des messtasters eines oberflaechen-messgeraetes

Patent Citations (2)

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