DE2917013C2

DE2917013C2 - Vorrichtung zum Messen des Profils eines metallischen Körpers

Info

Publication number: DE2917013C2
Application number: DE2917013A
Authority: DE
Inventors: Norihisa Yokohama Inazaki; Shigeo Tokio/Tokyo Kawabata
Original assignee: Nippon Kokan Ltd
Current assignee: JFE Engineering Corp
Priority date: 1978-04-27
Filing date: 1979-04-26
Publication date: 1985-07-04
Also published as: DE2917013A1; FR2424515A1; US4288747A; FR2424515B1; GB2020035A; JPS54158644U; GB2020035B

Description

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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen eines Profils nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Eine derartige Vorrichtung ist aus der US-PS 95 446 bekanni. bei der die in einer Reihe angeordneten elektrischen Meßfühler einzeln nacheinander in einem Abtastzyklus abgefragt und ihre Meßsignale einer Speichereinrichtung zugeführt werden, aus der dann ein Profilsignal abgeleitet wird. Hierbei sind jedoch die einzelnen Meßfühler alle gleichzeitig und dauernd in Betrieb, und nur ihre an sich laufend zur Verfugung stehenden Ausgangssignale werden zur Weiterverarbeitung periodisch abgefragt. Eine gegenseitige Beeinflussung der Meßfühler ist unter diesen Umständen nur dadurch vermeidbar, daß Induktionsmeßfühler verwendet werden, die aus je einer Spule mit einem feststehenden Kern bestehen, wobei jeder einzelnen Spule ein eigener beweglicher Anker zugeordnet ist. Sämtliche Anker sind auf einem aufblasbaren Polster angeordnet und werden von diesem gegen die Oberfläche des zu messenden Gegenstandes gedrückt Dadurch entsteht eine verhältnismäßig komplizierte Einrichtung, deren Genauigkeit von der AnpreSgenauigkeit der Anker gegen den zu messenden Gegenstand abhängt

Durch Verwendung von Wirbelstrommeßfühlern, wie es aus der US-PS 40 48 849 an sich bekannt ist könnte zwar auf einzelne Anker für jeden Meßfühler verzichtet werden, da hier die zur Abstandmessung verwendete Direktwirkung zwischen Meßfühler und zu messendem Gegenstand ausgenützt wird. Dabei wäre jedoch bei gleichzeitigem Betrieb benachbarter Meßfühler eine gegenseitige Beeinflussung derselben unvermeidlich, und eine Verfälschung des Meßergebnisses wäre nur mit Hilfe einer komplizierten Kompensationsschaltung zu verhindern. Dann würde allerdings bei Ausfall auch nur eines Meßfühlers die Kompensationskurve dieser Kompensationsschaltung hinfällig, und der Meßbetrieb müßte sofort unterbrochen werden.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Messen eines Profils mit Meßfühlern zu schaffen, für die keine eigenen Anker für jeden Meßfühler erforderlich sind, und die sich beim Betrieb auch bei enger Anordnung in einer Reihe nicht gegenseitig beeinflussen.

Diese Aufgabe wird erfindungsge.näß durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

Ausdrücklich ist darauf hinzuweisen, daß bei der Beschreibung der Meßvorrichtung gemäß der Erfindung mit dem Begriff i/Abtasteinrichtung« eine Einrichtung bezeichnet wird, durch die nacheinander jeder Meßfühler einzeln vom Oszillator erregt wird, wogegen der Abruf der an den Ausgängen der Meßfühler bzw. der entsprechenden Speichereinrichtungen anliegenden Meßsignale durch eine »Abfrageeinrichtung« erfolgt.

Mit der Vorrichtung gemäß der Erfindung kann die Größe der Meßspulen stark erhöht werden, da die Meßergebnisse der Meßspulen sich nicht gegenseitig beeinflussen, so daß es möglich wird, das iVofil von Gegenständen mit verhältnismäßig starken Unregelmäßigkeiten zu messen oder andererseits Größe und Gewicht der Meßspulen zu reduzieren, wodurch der Einbau der Vorrichtung erleichtert und diese in weitem Umfang für die Messung von Profilen an Gegenständen verschiedener Art brauchbar wird.

Anspruch 2 betrifft eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Anhand der Figu-en wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine schematische Dar ellung der Anordnung eines zu messenden Gegenstandes, einer Bezugslinie und von Meßfühlern im Verhältnis zueinander, zur Erklärung des Prinzips der Profilmessung gemäß der Erfindung.

F i g. 2 ein Blockschaltbild, aus dem der Aufbau einer Ausführungsform der Erfindung hervorgeht.

F 1 g. 3 ein Diagramm der an verschiedenen Punkten von F i g. 2 erzeugten Wellenformen, bei dom in der Abszisse die Zeit und in der Ordinate die Signalamplitude abgetragen ist.

In Fig. 1 bezeichnet die Bezugszahl 1 eine Bezugslinie, 2 einen zu messenden Gegenstand und 3 die Meßfühler. Die Bezugslinie 1 ist so eingestellt, daß sie die Lage für die Meßfühler 3 gegenüber dem zu messenden Gegenstand angibt, und im praktischen Einsatz kann die Bezugslinie 1 z. B. durch den Träger eines Gerüstes gebildet werden, der im wesentlichen parallel zur Oberfläche des Gegenstandes 2 verläuft, dessen Profil gemes-

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sen werden soll, oder, wenn der Gegenstand 2 aus einem Blech besteht, kann die Bezugslinie 1 ein Träger sein, der die Meßfühler trägt und in Richtung der Breite der Blechführung in der Rollen-Förderbahn verläuft.

In F i g. 1 wird der Gegenstand 2 von einem Blech gebildet, das im Querschnitt dargestellt ist, und es wird vorausgesetzt, daß das Blech auf einer Unterlage wie z. B. einem Rollgang aufliegt, der parallel zur Bezugslinie 1 verläuft

Eine Zahl von Meßfühlern 3 ist mit gleichen Abständen (d) in einer Reihe längs der Bezugslinie 1 fest angebracht, am die gesamte Breite des Gegenstandes 2 zu erfassen, und diese Meßfühler werden durch die Bezugszahlen 3-1, 3-2, 3-3, ..., 3-(n-\) und 3-n bezeichnet. Jeder Meßfühler für die Abstandsmessung umfaßt eine Meßspule einer Vorrichtung zur Abstandsmessung, wie sie in den vorgenannten US-PSen angegeben sind, und die Meßfühler 3-1 bis 3-/7 werden abwechslungsweise nacheinander vom Fühler 3-1 bis zum Fühler 3-n erregt, so daß sie wiederholt den Abstand zwischen der Bezugsiiiiie 1 und der Oberfläche des Gegenstandes 2 über die gesamte Breite des Gegenstands 2 abtasten. Die Abtastung vom Fühler 3-1 bis zum Fühler 1-n erfolgt in einem Abtast-Zyklus, und dieser Abtastvorgang wird wiederholt durchgeführt, so daß das Profil des Gegenstandes 2 kontinuierlich gemessen wird, selbst wenn der Gegenstand 2 in der Darstellungsebene von Fig.! bezüglich der Meßfühler von vorne nach hinten bewegt wird.

F i g. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung gemäß der Erfindung zum Messen des Querschnittsprofils des Gegenstandes 2 durch Abtastung über die oben genannte Reihe von Meßfühlern. Die Bezugszahl 4 bezeichnet einen Vergleichs-Oszillator zur Erzeugung eines Wechselstrom-Bezugssignals mit verbestimmter Frequenz und Amplitude, und 6-1, 6-2, .... 6-n sind Abstands-Meßschaitungen, die jeweils den Meßfühlern 3-1, 3-2,..., 3-n zugeordnet sind. Der Aufbau der einzelnen Abstands-Meßschaitungen ist ausführlich in den oben genanmen US-PSen angegeben und wird hier nicht beschrieben. Die Bezugszahl 5 bezeichnet einen Frequenzteiler, der einen Teil des Ausgangs vom Vergieichsoszillator 4 empfängt und die Frequenz des Wechelstrom-Bezugssignals teilt, um eine vorbestimmte verhältnismäßig niedrige Frequenz zu erzeugen. 7-1, 7-2, .... 7-n bezeichnen Speicherschakungen, von denen jede das Abstandssignal von einer entsprechenden

Abstands-Meßschaltung 6-1,6-2 6-n empfängt, 8-1,

8-2 8-n sind Schaltungen zur Erzeugung eines Profilsignals, von denen jede das Abstandssignal von der entsprechenden Speicherschaltung empfängt und damit eine Gruppe von Abstandssignalen an ihren Ausgängen

11-1, 11-2 11-n für jeden Abtastzyklus erzeugt. 9

bezeichnet eine Abtast-Steuerschaltung, die schrittweise die Meßfühler 3-1, 3-2 3-n einzeln nacheinander

erregt, um die Abtastung während der Hälfte der Periode des Signals vom Frequenzteiler 5 durchzuführen, 10 ist eine Abfrageschaltung, die im Anschluß an die entsprechende Abtastung einen Impuls an jede Speicherschaltung anlegt, um seinen Inhalt auf den neuesten Stand: zu bringen, so daß, wenn von einer der Abstands-Meßschaitungen ein Abstandssignal erzeugt wird, dieses in der zugeordneten Speicherschaltung anstelle des vorigen Speicherinhaltes gespeichert wird, und La, Lb 1,

Lb2 Lbn, Lc\,Lc2 Lcn. LdI, Ld2 Ldn,

Lei, Le 2,..., Len, Lf 1, Lf 2,..., Lfn, Lg sind Signalleitungen.

Wie in (a) von F i g. 3 gezeigt, überträgt der Oszillator 4 ein Wechselstrom-Bezugssignal mit vorbestimmter Frequenz und Amplitude auf den Frequenzteiler 5 und die Abstands-Meßschaitungen 6-1,6-2,..., 6-n über die

Signalleitungen La, LbI, Lb 2 Lbn. und in F i g. 3(a)

ist die Periode des Wechselstrom-Bezugssignales mit 7Ί bezeichnet. Das Wechselstrom-Bezugssignal, das an den Frequenzteiler 5 über die Signalleitung Lu angelegt wird, wird geteilt, um eine vorbestimmte, verhältnismäßig niedrige Frequenz zu erzeugen, und der entsprechende geteilte Ausgang wird an die Abtast-Steuerschaltung 9 und an die Abfrageschaltung 10 über die Signalleitung Lg angelegt. Wenn ciie Frequenz des Wechselstrom-Bezugssignals z. B. 50 kHz beträgt, wird das 50-kHz-Wechselstrom-Bezugssignal durch den Frequenzteiler 5 wie in Fig. 3(b) gezeigt, einer Frequenzteilung von z. B. '/ie unterworfen, wodurch ein Impuissignal von 3125Hz mit einem Tastverhältnis von 50% erzeugt wird. In diesem Fall beträgt die Penode Ti des Wechselstrom-Bezugssignals 0.02 ms, und folglich besitzt das entsprechende geteilte Ausga- rssignal eine Periode T2 von 0,32 ms.

Die Abtast-Steuerschaltung 9 erzeugt nacheinander in bestimmter Reihenfolge an ihren n-Ausgangsanschlüssen Impulssignale, von denen jedes die Hälfte der Periode ^es geteilten Ausgangs (oder Γ>/2) einnimmt, und die Abtast-Steuerschaltung 9 kann von einer gewöhnlichen Schaltung mit einem Schieberegister gebildet werden. Die Impulssignale werden an die Abstands-Meßschaitungen 6-1, 6-2,..., 6-n über db Signalleitun-

gen LcX, Lei Lcn angelegt, so daß die Impulssignale, von denen jedes eine Impulsbreite Till einnimmt.

nacheinander an den Signalleitungen Lc 1. Lc 2 Lcn

erzeugt werden, wie in F i g. 3 (c) und (d) gezeigt, und folglich die Impulssignale mit einer Impulsbreite Γ2/2 nacheinander in der entsprechenden Reihenfolge an die Abstands-Meßschaltung 6-1, 6-2,..., 6-n angelegt werden. In diesem Fall ergibt sich eine Impulsbreite T^l von 0,16 ms oder dem 8-fachen der Periode des Wechselstrom-Bezugssignals. Die Abstands-Meßschaitungen

6-1, 6-2 6-n sind so ausgelegt, daß jede Abstands-

Meß'_^haltung den zugeordneten Meßfühler während der Zeit in Betrieb setzt, in der ein Impulssignal von der Abtast-Steuerschaltung 9 an die Schaltung angelegt wird. d. h. die den Meßfühler darstellende Meßspule wird vom Stromkreis getrennt, wenn kein Impulssignal an der Abstands-Meßschaltung anliegt, oder es wird gleichzeitig die Vorspannung des Verstärkers in der Meßschaltung durch ein Impulssignal gesteuert, um den Verstärker nur dann in Betrieb zu setzen, wenn das Impulssignal anliegt, so daß nur diejenige Abstands-Meßschaltung, die das linpulssignal empfängt, den züge ordneten Meßfühler erreg' und dadurch ein Ausgangssigr>al ^flT die Abstandsmessung erzeugt, während die Erregung der den übrigen Abstands-Meßschaitungen zugeordneten Meßfühler verhindert wird Wenn demnach die Betriebszeit eines jeden Meßfühlers Γ₂/2 entspricht und die Zahl der Meßfühler η beträgt, mißt jeder Meßfühler seinen Abstand zur Oberfläche eines zu mes senden Gegenstandes während der Zeit 7V2 mit Wiederholungsabständen von π Till ohne jegliche induktive Störung der übrigen Fühler. Die Abfragefrerjuenz

eines jeden Fühlers wird —=- , so daß bei Verwendung

von 20 Meßfühlern die. Abfragefrequenz 312,5 Hz und die Betriebszeit jeder Meßspuie 0,16 ms beträgt.

Die Abstands-Meßschaitungen 6-1, 6-2 6-n sind

jeweils so ausgelegt, daß sie ein Abstandssignal erzeugen, wenn ihnen ein Impulssignal zugeführt wird, und

die entsprechenden Abstandssignale werden jeweils in einer der entsprechenden Speicherschaltungen 7-1, 7-2,

..., 7-n über die Signalleitungen Lei, Le2 Le/7

gespeichert. Die Speicherschaltungen 7-1, 7-2 7-/7

sind jeweils so ausgelegt, daß sie ihren Speicherinhalt auf den neuesten Stand bringen, wenn ein Abfrageimpuls von der Abfrageschaltung 10 über eine der entsprechenden Signalleitungen Ld 1, Ld2 ..., Lan angelegt wird, und der frühere Speicherinhalt wird gehalten bis der nächste Abfrageimpuls eintrifft.

Wie in F ι g. 3(e) und (f) gezeigt, enthält das Abstandssignal von jeder Abstands-Meßschaltung in der Eingangsphase der Funktionszeit einen Fehler aufgrund des Einschwingverhaltens, und es vergeht eine bestimmte Zeit, bevor sich der Betrieb stabilisiert hat und ein genaues Abstandssignal erzeugt wird. Demzufolge ist die Abfrageschaltung 10 so ausgelegt, wie z. B. in F ι g. 3(g) und (h) gezeigt, daß ihre Abfrageimpulse jeweils nach Ablauf einer vorbestimmten Verzögerungszeit nach dem Einschwingen der ansteigenden Flanke eines Ausgangsimpuls-Signals der Abtast-Steuerschalt jng 9 oder zu Beginn der vierten Periode des Wechselstrom-Bezugssignals erzeugt werden. Diese Abfrageimpulse werden in bestimmter Reihenfolge an den /7-Ausgangsanschlüssen der Abfrageschaltung 10 synchron oder in einer bestimmten Beziehung mit dem Betrieb der Abtast-Steuerschaltung 9 erzeugt, d. h., wie in F ι g. 3(c) und (g) gezeigt, ein Abfrageimpuls wird an die Signalleitung Ld 1 angelegt, während ein Impulssignal an der Signalleitui.j; Lc 1 erzeugt wird, und ein Abfrageirnpuls wird an die Signalleitung Ld2 abgegeben, während ein Impulssignal an der Signalleitung Lc 2 erzeugt wird, wie in F ί g. 3(d) und (h) gezeigt. In gleicher Weise 'vird ein Abfrageimpuls an jede der übrigen Signalleitungcn bis zur Signalleitung Ldn in bestimmter Reihenfolge abgegeben und der gesamte Vorgang wiederholt.

Wenn toigiici. der in F i g. 3(g) gezeigte Abirageimpuls an die Speicherschaltung 7-1 angelegt wird, so wird das von der Abstands-Meßschaltung 6-1 erzeugte Absiandssignal mit der Amplitude Ai. wie in Fig. 3(e) gezeigt, in der Speicherschaltung 7-1 anstelle des Abstands-Meßsignals gespeichert, das darin während der abgelaufenen Zeit η 7V2 gespeichert war, und demzufolge erzeugt die Speicherschaltung 7-1 laufend das Ausgangssignal mit der Amplitude A, wie in Fig. 3(i) gezeigt, bis der nächste Abfrageimpuls durch die Signal-Ieitung Ld \ nach Ablauf einer weiteren Zeit π Tj/2 angelegt wird. In gleicher Weise wird, wenn ein Abfrageinpuls auf der Signalleitung Ld2 eintrifft, wie in F i g. 3(h) gezeigt, das von der Abstands-Meßschaltung 6-2 erzeugte Abstandssignal (Amplitude A2), wie in F1 g. 3 (f) gezeigt, in der Speicherschaltung 7-2 gespeichert und folglich erzeugt die Speicherschaltung 7-2 laufend ein Ausgangssignal mit der Amplitude A2, wie in F 1 g. 3 (j) gezeigt, bis der nächste Abfrageimpuls auf der Signalleitung Ld2 nach Ablauf einer weiteren Zeit η Tj/2 eintrifft Auf diese Weise haben zu dem Zeitpunkt, zu dem die Speicherschaltung 7-n einen Abfrageimpuls über die Signalleitung Ldn erhalten hat, die Speicherschaltungen 7-1,7-2. ..,7-n jeweils ein Abstandssigna! für jede Abtastzyklus-Periode (n T₂/2) erzeugt das dem Abstand zwischen dem zugeordneten Meßfühler und dem zu messenden Gegenstand entspricht Zu diesem Zeitpunk· lesen die das Profilsignal erzeugenden Schaltungen S-ί, 8-2, ..., 8-rt die entsprechenden Abstandssignale aas den Speicherschahungen und erzeugen Profilausgangssignale an ihren Ausgangsanschlüssen 11-1,11-2,..., 11-/7. Das am Ausgangsanschluß 11-1 erzeugte Profil-Ausgangssignal entspricht also dem Abstand zwischen der Bezugslinie 1 und der Oberfläche des zu messenden Gegenstandes an der Stelle des Meßfühlers 3-1, und in gleicher Weise entspricht jedes der an den Ausgangsanschlüssen 11-1, 11-2,..., 1 \-n erzeugten Ausgangssignale dem Abstand zwischen der Bezugslinie 1 und der Oberfläche des Gegenstandes an der Stelle der Meßfühler 3-1,3-2,.... 3-/7. Da der Zwischenraum zwischen den Meßfühlern einen festen Wert d besitzt, können die an den Ausgangsanschlüssen 11-1,

11-2 11·π erzeugten Profil-Ausgangssignale

schließlich z. B. durch ein — nicht gezeigtes — schreibendes Meßgerät in eine Profil-Information des Gegenstandes in festgelegten Abständen «/umgewandelt werden. Bei der bisher beschriebenen Ausführungsform ist die Bezugslinie 1 zwar als gerade Linie parallel zur Transportebene des zu messenden Gegenstandes dargestellt, doch kann die Bezugslinie, die als Grundlage für die Anordnung der Meßfühler verwendet wird, die Form einer beliebigen Kurve in einer zweidimensional len Ebene parallel zur Transportebene einnehmen, oder die Meßfühler können nach einem dreidimensionalen Muster angeordnet werden, und gewöhnlich werden die Meßfühler parallel zum normalen Profil des zu messenden Gegenstandes angeordnet.

Wei»erhin sind zwar bei der in F i g. 2 gezeigten Ausführunpsform die Abstands-Meßschaltungen in der gleichen Zahl vorhanden wie die Meßfühler, doch ist es möglich, eine gemeinsame Abstands-Meßschaltung zu verwenden, so daß eine Zahl von Meßfühlern in einer festgelegten Reihenfolge einzeln aufgrund eines Impulssignals von der Abtast-Steuerschaltung mit der gemeinsamen Abstands-Meßschaltung verbunden wird.
Während bei der beschriebenen Ausführungsform al-Ie Meßfühler der Reihe nach einzeln in jedem Abtastzyklus ihre Abtastung vornehmen, können auch mehrere Meßfühler, die in soiehen Abständen voneinander angeordnet sind, daß sie keine gegenseitige induktive Beeinflussung hervorrufen, in mehreren Gruppen zusammengefaßt werden, so daß die einer gemeinsamen Gruppe angehörenden Meßfühler gleichzeitig die Abtastung vornehmen, wodurch die für jeden Abtastzyklus erforderliche Abtastzeit in Abhängigkeit von der Gruppenzahl reduziert wird.

Die in der Vorrichtung gemäß der Erfindung verwendeten Abstands-Meßschaltungen sind nicht auf die in den oben genannten US-PSen angegebenen Arten beschränkt, und es kann jede Art von Wirbelstrom-Meßschaltung verwendet werden. Doch sollten vom Standpunkt der Linearität der Meß-Kennlinien die in d η erwähnten US-PSen angegebenen Arten vorzugsweise verwendet werden, wenngleich die Erfindung nicht darauf beschränkt ist
Somit ist es mit der Vorrichtung gemäß der Erfindung möglich, die Mängel des bisherigen Stands der Technik in folgenden Fällen zu beseitigen:

(i) Wenn die Bewegung der Meßvorrichtung zeitlich beschränkt ist.

{ii) Wenn das Querschnittsprofil eines zu messenden Gegenstandes sich bei der Anordnung von F i g. 1 im zeitlichen Verlauf ändert

(iii) Wenn der Gegenstand in F i g. 1 von einer Seite zur anderen bewegt wird.

(iv) Wenn der Gegenstand in Fig.! senkrecht zur Zeichnungsebene bewegt wird.

(v) Wenn die Bedingungen von (ii), (iii) und (iv) gleichzeitig auftreten.

(vi) Wenn zwei beliebige Bedingungen von (ii), (iii) und (iv) gleichzeitig auftreten.

Was die Wirksamkeit des Abtastverfahrens bei einer Periode von π T-^Il in Fällen betrifft, bei denen die Pe- =■ riode der Abstandsänderung zwischen dem Gegenstand und den Fühlern abnimmt, z. B. aufgrund einer Erhöhung £«r Transportgeschwindigkeit des Gegenstands, so kann "dieses Problem dadurch gelöst werden, daß die Abfragung mit einer Abfragefrequenz / durchgeführt wird, die so gewählt wird, daß sie folgendei' Gleichung nach dem Shannon'schen Lehrsatz genügt:

^f>Tf;

worin Td die Periode der Abstandsänderung darstellt MnH /_ 21 η Ti.

Wenn z.B. T₂/2=16(^s und n=20, so mißt jede Meßspule nacheinander den Abstand mit einer Frequenz von 312,5Hz, was einer kontinuierlichen Messunggleichkommt.

H ierzu 3 Blatt Zeichnungen

35

40

45

50

55

60

65

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Messen eines Profils, bestehend aus einer Anordnung zur Abstandsmessung mit einer Anzahl von Meßfühlern, die in einer Reihe längs einer vorbestimmten Bezugslinie bezüglich eines leitenden zu messenden Gegenstandes angeordnet sind, wobei jeder Meßfühler aus einer Meßspule besteht und die Anordnung zur Abstandsmessung einen Oszillator zur Erregung jeder Meßspule durch ein Bezugs-Wechselstromsignal mit vorbestimmter Frequenz und Amplitude, eine Abstandsmeßschaltung zur Feststellung einer Impedanzänderung in jeder der Meßspulen entsprechend dem Abstand zwischen der Meßspule und dem zu messenden Gegenstand, sowie eine Speichereinrichtung und eine Einrichtung zum Erzeugen eines Profilsignals enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfühler in an sich bekannter Weise als Wirbelstrom-MeBfühler (3) ausgebildet und direkt oder über die zugehörigen Abstandsmeßschaltungen (6) mit einer Abtaststeuerschaltung (9) dergestalt verbunden sind, daß in jedem Zeitpunkt jeweils nur einer der Meßfühler (3) an den Oszillator (4) angeschlossen ist, und daß sii eine Abfragesteuerschaltung (10) enthält, die bei Erregung jedes Meßfühlers (3-1, 3-2 oder 3-n) mit der Abtastperiode ein Aktualisierungssignal (Ld i. Ld2 oder Ldn) auf die jeweilige Speichereinrichtung (7-1, 7-2 oder 7-n) gibt, wobei die Speichereinrichtung (7-1, 7-2 oder 7-n) auf das Aktualrierungv,ignal zur Aktualisierung ihres Speicherinhplts durch ein Meßsignal von dem jeweils erregten Meßfür ;r mit einer vorbestimmten Zeitverzögerung bezüglich des Anfangs-Zeitpunktes von dessen Erregung anspricht.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abfragesteuerschaltung (10) ein endgültiges Aktualisierungssignal bei Erregung eines letzten Meßfühlers am Ende jedes Abtastzyklus erzeugt, wobei die Einrichtung zur Erzeugung eines Profilsignals (8-1, 8-2, .... 8-n) auf das endgültige Aktualisierungssignal anspricht, um den Speicherinhalt der Speichereinrichtung (7-1, 7-2, .... 7-n) zu lesen und jedesmal bei Beendigung des Abtastzyklus das entsprechende Profilsignal zu erzeugen.