DE69127530T2 - Magnetdetektor auf der Grundlage des Mateucci-Effekts - Google Patents

Magnetdetektor auf der Grundlage des Mateucci-Effekts

Info

Publication number
DE69127530T2
DE69127530T2 DE69127530T DE69127530T DE69127530T2 DE 69127530 T2 DE69127530 T2 DE 69127530T2 DE 69127530 T DE69127530 T DE 69127530T DE 69127530 T DE69127530 T DE 69127530T DE 69127530 T2 DE69127530 T2 DE 69127530T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
magnetic
wire
coordinate
magnetic wire
magnetization
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69127530T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69127530D1 (de
Inventor
Mitsunari Kano
Jiro Kino
Yoshiharu Konishi
Toshihiko Matsuda
Kaneo Mohri
Junichi Oizumi
Morihiko Takashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP32296490A external-priority patent/JP2510781B2/ja
Priority claimed from JP32296590A external-priority patent/JP3009213B2/ja
Priority claimed from JP3008921A external-priority patent/JPH04252318A/ja
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of DE69127530D1 publication Critical patent/DE69127530D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69127530T2 publication Critical patent/DE69127530T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/20Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance
    • G01R33/24Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance for measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/046Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by electromagnetic means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/48Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means
    • G01D5/485Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means using magnetostrictive devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/10Plotting field distribution ; Measuring field distribution

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Magnetdetektor auf der Grundlage des Matteucci-Effekts nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Ein solcher Detektor ist aus dem IEEE-Aufsatz "Large Barkhausen and Matteucci Effects in ... Amorphous Wires" von Mohn, Humphrey et al. in IEEE Transactions on Magnetics, Bd. 26, Nr. 5, September 1990, Seiten 1789 - 1791 bekannt.
  • Wird das Innere eines einzelnen magnetischen Drahts mit einer Magnetisierung in Umfangsrichtung versehen und wird an den Draht in Querrichtung ein äußeres magnetisches Wechselfeld angelegt, so entsteht in dem Draht aufgrund des sogenannten Matteucci-Effekts eine Impulsspannung. Dieser Matteucci-Effekt ist bekannt, jedoch sind praktisch keine Anwendungstechniken bekannt.
  • Weiter ist im Hinblick auf ein Digitalisierungsgerät sowie eine Koordinaten-Eingabevorrichtung für die Eingabe handgeschriebener Buchstaben die JP-A-61-70628 als Beispiel bekannt, während eine Koordinaten-Eingabevorrichtung basierend auf dem vorstehend genannten Matteucci-Effect bisher nicht bekannt ist.
  • In der Zwischenzeit findet bei einem bekannten magnetischen Bildsensor zum Erfassen magnetischer Daten auf einer Mehrfachspur einer Magnetkarte oder dergleichen oder eines Magnetfeldes, das auf einem Magnetmaterialfilm gebildet worden ist, ein Mehrkanal-Magnetkopf mit Spalt, eine magnetische Widerstandselement-Anordnung, eine Hall-Effekt-Elementanordnung oder dergleichen Verwendung. Der magnetische Bildsensor des Standes der Technik weist daher insofern Mängel auf, als der magnetische Bildsensor teuer ist und der Anzahl der Mehrfachkanäle entprechende Erfassungskreise erforderlich sind, so daß die hierfür nötige Schaltung größer wird.
  • Der eingangs genannte IEEE-Aufsatz offenbart einen Detektor, der sich des Matteucci-Effekts bedient. In einem magnetischen Draht wird dadurch, daß man ihn entweder verdrillt oder Wechselstrom anlegt, ein zirkulierender Fluß erzeugt. Eine Matteucci-Spannung ist zwischen den Enden dieses magnetischen Drahts meßbar, wenn eine durch einen Wechselstrom erregte Magnetisierungsspule sich dem magnetischen Draht nähert.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Magnetdetektor auf der Grundlage des Matteucci-Effekts verfügbar zu machen, mit dem die Erfassung der Matteucci-Spannung problemlos möglich ist.
  • Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Abhängige Ansprüche sind auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung gerichtet.
  • Fig. 1 ist ein schematisches Blockdiagramm eines erfindungsgemäßen Signaldetektors, dessen Koordinaten- Eingabeeinrichtung zum großen Teil dem verwandten Stand der Technik entnommen ist.
  • Fig. 2 zeigt vom Konzept her ein Prinzip, wie eine Impulsspannung an einem magnetischen Draht entsteht, der in Umfangsrichtung magnetisiert ist.
  • Fig. 3A und 3B sind Wellenformen eines magnetischen Wechselfeldes und einer Impulsspannung, die jeweils nach dem vorstehenden Prinzip erzeugt worden sind.
  • Fig. 4 zeigt ein Konzept einer Koordinaten-Eingabevorrichtung.
  • Fig. 5 zeigt das Konzept der grundsätzlichen Anordnung einer weiteren Ausführungsform, um deren Koordinaten-Erfassungsfunktion darzulegen.
  • Fig. 6 ist ein Diagramm, das zeigt, wie die Magnetisierung eines magnetischen Drahts in Umfangsrichtung durch ein von außen angelegtes magnetisches Feld gedreht wird.
  • Fig. 7 ist ein Diagramm, aus dem hervorgeht, wie magnetische Materialien an einem Substrat befestigt werden.
  • Fig. 8 zeigt das Konzept eines hochempfindlichen Sensors zum Messen eines vertikalen Abstandes zwischen einem Elektromagneten und einem Magnetdrahtmuster.
  • Fig. 9 ist ein Blockdiagramm der allgemeinen Anordnung einer Koordinaten-Eingabevorrichtung des verwandten Standes der Technik.
  • Fig. 10 ist ein Querschnitt durch einen Koordinaten-Detektor, aus dem der Aufbau einer Anordnung von in X- und Y-Richtung angeordneten magnetischen Drähten hervorgeht.
  • Fig. 11 ist ein Kennlinien-Diagramm, aus dem die Relationen zwischen Matteucci-Effekt-Spannungen an nebeneinanderliegenden Drähten und Abständen von der jeweiligen Drahtmitte hervorgehen.
  • Fig. 12 ist ein Kennlinien-Diagramm, aus dem eine Relation zwischem dem Abstand und einem Verhältnis zwischen an den nebeneinanderliegenden Drähten erfaßten Spannungen hervorgeht.
  • Fig. 13 ist ein Flußdiagramm, das das Koordinatenberechnungsverfahren der Koordinaten-Eingabeeinrichtung zeigt.
  • Fig. 14 ist eine Anordnung eines magnetischen Bildsensors.
  • Fig 15 zeigt das Konzept einer Erfassungseinheit des magnetischen Bildsensors, und
  • Fig. 16 ist eine Impulsübersicht, die das Timing der Erregersignale und des A-B-Erfassungssignals in dem magnetischen Bildsensor zeigt.
  • Fig. 1 enthält einen Signalerfassungsabschnitt einer Koordinaten-Eingabevorrichtung, in dem ein magnetischer Draht 1 als Koordinaten-Detektor verwendet und an einen Koordinaten-Bezeichner durch den magnetischen Draht 1 ein magnetisches Wechselfeld angelegt wird, sowie einen Elektromagneten 2 für die Koordinatenbezeichnung (bzw. den Koordinaten- Bezeichner 2). Es ist ein Gleichstrom-Vormagnetisierungskreis 4 vorgesehen, um Gleichstrom durch den magnetischen Draht 1 zu dessen Magnetisierung in Umfangsrichtung zu leiten. Ist der Gleichstrom-Vormagnetisierungskreis 4 an den Draht 1 durch eine Verdrahtungsleitung angeschlossen, so bewirkt dies eine Verringerung der Impedanz des magnetischen Drahtes 1 an dessen beiden Enden, wodurch die Erzeugung von Impulsspannung in dem magnetischen Draht 1 verringert wird. Um eine solche Impedanzverringerung zu vermeiden, ist zumindest an einem Ende des magnetischen Drahtes 1 ein Wechselstromkreis 3 von hoher Impedanz vorgesehen. Die auf diese Weise in dem magnetischen Draht 1 entstandene Impulsspannung tritt an den beiden Enden P und Q des magnetischen Drahtes 1 auf. Die Impulsspannung wird durch einen Doppelfrequenzerfassungskreis 5 bezüglich ihrer 2f-Komponente erfaßt. Der Doppelfrequenzerfassungskreis 5 kann einen normalen Resonanzkreis, einen Filterkreis oder einen synchronen Erfassungskreis aufweisen. Ein Steuerkreis 6 liefert dabei einen Erregerstrom mit einer Grundfrequenz 1f an den Elektromagneten 2 für die Koordinatenbezeichnung sowie je nach Erfordernis ein Steuersignal mit einer Grundfrequenz 2f an den Doppelfrequenzerfassungskreis 5.
  • Fig. 2 zeigt ein Impulsspannungserzeugungsprinzip, um darzulegen, wie die Impulsspannung erzeugt wird, wenn der in Umfangsrichtung magnetisierte magnetische Draht 1 einem magnetischen Wechselfeld ausgesetzt wird. Die Magnetisierung des magnetischen Drahts 1 in Umfangsrichtung wird unter dem Einfluß des magnetischen Wechselfeldes des Koordinatenbezeichner-Elektromagneten 2 wiederholt einer partiellen Inversion sowie Umspeicherungsbewegungen unterworfen. Das magnetische Feld des Elektromagneten und die dann an dem magnetischen Draht erzeugte Impulsspannung sind in den Figuren 3A und 3B gezeigt. Im einzelnen variiert die Anzahl der bei der Magnetisierung auftretenden Inversionen je nach dem Gesamtwert des magnetischen Feldes, das von dem Elektromagneten und dem auf dem Erdmagnetismus beruhenden magnetischen Feld erzeugt wurde. Die Frequenzkomponenten der an dem magnetischen Draht erzeugten Spannung sind zusammengesetzte Werte der jeweiligen Frequenzkomponenten 1f, 2f, 3f, wobei f eine Frequenz bezeichnet, bei der der Elektromagnet erregt wird.
  • Unter diesen Frequenzkomponenten variiert die 1f-Komponente mit dem magnetischen Wechselfeld stark, während die 2f-Komponente weniger stark variiert, da diese von Impulsen abgeleitet wird, die dieselbe Wellenlänge aufweisen; siehe Fig. 3B. Aus diesem Grund ist es effektiv, die 2f-Komponente anhand der Impulsspannung in dem magnetischen Draht zu erfassen, so daß der Doppelfrequenzerfassungskreis 5 in Fig. 1 so angeordnet ist, daß er die 2f-Komponente erfaßt.
  • Im Hinblick auf eine Magnetisierung des magnetischen Drahts in Umfangsrichtung findet ein Verfahren Anwendung, in dem dem magnetischen Draht Gleichstrom zugeführt wird, um eine Magnetisierung durch ein magnetisches Feld auf der Grundlage der rechte-Hand-Regel wegen ihrer Einfachheit zu bewirken. Zu diesem Zweck wird der Gleichstrom-Vormagnetisierungskreis 4 verwendet. Durch diesen Kreis 4 ist die Stärke des vorstehend genanten Gleichstroms steuerbar. Weiter läßt sich durch Erhöhen des dem magnetischen Draht zugeführten Stroms der Einfluß des äußeren Magnetfeldes, wie des Erdmagnetismus, verringern.
  • Fig. 4 zeigt im Konzept eine Koordinaten-Eingabevorrichtung, bei der der Erfassungsbereich der Figur 1 in Form einer X-Y-Matrix vorgesehen ist. Eine Teilanmeldung wurde auf die Koordinaten-Eingabevorrichtung gerichtet. Diese Vorrichtung ist nicht Teil der vorliegenden Anmeldung (Patentes), eignet sich jedoch zum besseren Verständnis der Erfindung. Im einzelnen sind zur Erfassung einer Position des Koordinaten-Bezeichner-Elektromagneten 2 mehrere der magnetischen Drähte 1 in X- und Y-Richtung vorgesehen. Wenngleich in Fig. 4 lediglich ein Spannungsdetektor für den magnetischen Draht 1 in Y-Richtung gezeigt ist, ist in der Praxis auch ein Spannungsdetektor für die X-Richtung vorgesehen, der dieselbe Funktion wie der Spannungsdetektor für die Y-Richtung hat. Ein erfassungsseitiger Endkreis 7, der dieselbe Funktion wie der Wechselstromkreis 3 hoher Impedanz in Fig. 1 hat, weist dabei einen Signalmultiplexerkreis auf, um Impulssignale sequentiell von den jeweiligen magnetischen Drähten 1 für die Y-Richtung sowohl zu dem Erfassungskreis als auch zu dem Doppelfrequenzerfassungskreis zu leiten. Ein steuerseitiger Endkreis 8 umfaßt dabei gemäß Fig. 4 einen Gleichstrom-Vormagnetisierungskreis 4 und einen Wechselstromkreis 3 hoher Impedanz, der mit dem Kreis 4 dem Erfordernis entsprechend verbunden ist (Fig. 4). Ein Koordinatenerfassungssteuerkreis 9 wirkt so, daß er den Elektromagneten 2 für die Koordinatenbezeichnung als auch das Timing-Signal für die Steuerung der Funktion des Doppelfrequenzerfassungskreises sowie die Funktion des Multiplexerkreises erregt. Der Aufbau dieser Schaltungen wird nachstehend noch im einzelnen beschrieben.
  • Wie vorstehend erwähnt, erfaßt die Koordinaten-Eingabevorrichtung Spannungen, die (bei der Inversion der Magnetisierung der magnetischen Drähte in Umfangsrichtung) in einigen der in Umfangsrichtung magnetisierten Drähte auftreten, wenn der mit Wechselstrom erregte Koordinatenbezeichner sich diesem nähert. Eine solche Koordinaten-Eingabevorrichtung ist effektiv, da sie auf einem neuen Erfassungsprinzip beruht, demzufolge die magnetischen Drähte als Koordinatendetektoren für die Spannungserzeugung keine Wicklungen oder dergleichen benötigen. Jedoch sind aufgrund dessen, daß zwischen den beiden Enden des magnetischen Drahtes eine Spannung entsteht, wenn mehrere magnetische Drähte im Hinblick auf die Koordinatenerfassung als regelmäßige Anordnung vorgesehen sind, die beiden Enden des magnetischen Drahtes jeweils verhältnismäßig weit voneinander beabstandet. Aus diesem Grund ist eine Signalrückführleitung zur Verbindung der beiden Enden des magnetischen Drahtes erforderlich. Ist die Signalrückführleitung an einem äußeren Rahmenteil vorgesehen, so bewirkt die elektromagnetische Verbindung zwischen dem äußeren magnetischen Feld und einer Schleifenspule mit dem magnetischen Draht und der Rückführleitung die Erzeugung eines Kopplungssignals, zusätzlich zu dem ursprunglichen Koordinatenerfassungssignal, das durch die Inversion bei der Magnetisierung des magnetischen Drahtes erzeugt wurde. Ist der magnetische Draht dünn, so wird das Kopplungssignal aufgrund der Inversion bei der Magnetisierung des magnetischen Drahts in Umfangsrichtung größer als die Spannungskomponente, was zu einer Verringerung des S/N-Verhältnisses des Koordinatenerfassungssignals führt.
  • Um die elektromagnetische Kopplung der Schleifenspule des Koordinatendetektors und der Rückführleitung mit dem äußeren magnetischen Feld zu minimieren, wird in effektiver Weise ein Verfahren angewandt, das den Bereich der Schleifenspule klein ausbildet. Dies ermöglicht eine Reduzierung von Störungen in der Erfassungsspannung aufgrund der elektromagnetischen Kopplung. Weiter wird, wenn die Rückführleitung ebenfalls in Form des gleichen magnetischen Drahtes ausgebildet wird, das Magnetisierungsumkehrsignal zu den Spannungen hinzuaddiert, die von den magnetischen Drähten der hin- und herlaufenden Leitungswege auf der Grundlage des Erfassungsprinzips des in Umfangsrichtung magnetisierten magnetischen Drahtes erzeugt werden, wodurch die Erfassungsspannung erhalten werden kann, die dem Zweifachen der Erfassungsspannung entspricht, die erhalten wird, wenn der hinlaufende Leitungsweg in Form eines magnetischen Drahtes und die Rückführleitung in Form eines üblichen Leiters ausgebildet wird. Dieser Fall wird anhand einer Ausführungsform gemäß den Figuren 5 und 6 im einzelnen beschrieben.
  • Gemäß Fig. 5 wird der magnetische Draht 1 als hinlaufender Leitungsweg an einem festen Umkehrpunkt IR mit einem magnetischen Draht 1' als Rückführleitung verbunden. Der Gleichstrom-Vormagnetisierungskreis 4 wird für eine Magnetisierung an beiden Drähten in Umfangsrichtung verwendet. Der von einer Wechselstrom-Signalquelle 25 erregte Koordinaten-Bezeichner 2 legt an die beiden magnetischen Drähte ein magnetisches Wechselfeld an. Das Funktionsprinzip des Koordinatendetektors ist in Fig. 6 gezeigt, wo ein mit Pfeil bezeichneter Vormagnetisierungsstrom bewirkt, daß, wie in Fig. 6 gezeigt, eine solche Magnetisierung in Umfangsrichtung im Innern der magnetischen Drähte 1 und 1' der hin- und herlaufenden Leitungswege erfolgt. Bewirkt das durch den Koordinaten-Bezeichner 2 erzeugte magnetische Feld eine Drehung der Magnetisierungsrichtung der Drähte, so wird durch eine Veränderung in dem magnetischen Fluß des drehbaren Magnetisierungsteils eines jeden Drahtes mit Polantäten gemäß Fig. 6 eine Spannung erzeugt. Auf diese Weise werden die in den jeweiligen Drähten erzeugten Spannungen zusammenaddiert, so daß sich bei dieser Ausführungsform eine Erzeugungsspannung gegenüber dem Fall verdoppelt, in dem ein einziger magnetischer Draht verwendet wird. Nachdem sich der Umkehrweg 1R zwischen den magnetischen Drähten 1 und 1' der hin- und herlaufenden Leitungswege minimiert, um die Drähte so nah nebeneinander anzuordnen wie möglich, kann der Bereich einer Schleifenspule, die aus den beiden Drähten besteht, klein gehalten werden. Aus diesem Grund kann eine andere Spannung als die durch die Drehmagnetisierung erzeugte Erfassungsspannung, die durch elektromagnetische Kopplung erzeugt wird, auf ein niedriges Niveau heruntergedrückt werden.
  • Fig. 7 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei der magnetische Materialien 14, jeweils in Form eines dünnen magnetischen Drahtmusters, fest mit der Vorder- und Rückseite eines Substrats 13 verbunden bzw. auf dieses aufgebracht werden. Eine durchgehende Bohrung 15 in dem Substrat 13 dient der Verbindung zwischen den Mustern auf der Vorder- und Rückseite des Substrats. Sollen sehr dünne magnetische Muster ausgebildet werden, so kann dies dadurch geschehen, daß man jeweils auf die ganze Vorder- und Rückseite des Substrats einen magnetischen Film aufbringt und das Substrat anschließend ätzt, um die dünnen magnetischen Muster 14 an diesem zu verankern. Sollen diese magnetischen Muster sowohl in X- als auch in Y-Richtung vorgesehen werden, so kann dies dadurch geschehen, daß man das Substrat als Mehrfachschicht ausbildet.
  • Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei der das magnetische Material 41 als dünnes magnetisches Muster sich wiederholender magnetischer Linien ausgebildet ist, um zum Erhalt einer hohen Gesamterfassungsspannung und damit einer hohen Sensitivität die Erfassungsspannungen, die sich in den magnetischen Linien gebildet haben, aufzuaddieren. Bei einer solchen Anordnung kann ein berührungsloser Sensor geschaffen werden, der einen vertikalen Abstand von dem Koordinatenbezeichner 2 mit hoher Sensitivität erfaßt. Selbstverständlich kann dabei ein solches dünnes magnetisches Muster 14 sich wiederholender magnetischer Linien gemäß Fig. 8 bedarfsweise durch einen einzigen Draht ersetzt werden, um den berührungslosen Sensor zu bilden.
  • Der vorstehend erwähnte magnetische Draht bzw. das magnetische Material besteht vorzugsweise aus einem Material mit einem negativen magnetostriktiven Koeffizienten, beispielsweise aus einem amorphen Material.
  • Im folgenden ist eine eingehende Beschreibung der Koordinaten-Eingabevorrichtung unter Bezug auf ein Blockdiagramm der Figur 9 enthalten. In der Zeichnung bezieht sich das Bezugszeichen 18 auf eine Matrix wiederholte Umkehrschleifen aufweisender magnetischer Drähte, die in X- und Y-Richtung gleichmäßig voneinander beabstandet angeordnet sind. Ein Ende aller magnetischen Drähte ist über eine Leitung 19 mit dem Gleichstrom-Vormagnetisierungskreis 4 verbunden, der einen konstanten Strom liefert, während die anderen Enden aller magnetischen Drahte mit Kollektoren von Schalttransistoren von X- und Y-Decodern 20 und 21 verbunden sind. Darüber hinaus sind die Schalttransistoren an ihren Emittern mit einem gemeinsamen Schaltungsteil verbunden.
  • Ein Draht-Auswahlkreis 23 liefert an die Basen der Schalttransistoren der X- und Y-Decoder 20 und 21 ein Schaltsignal, um die Transistoren nacheinander sequentiell einzuschalten und um die Drähte zur Versorgung mit einem Vormagnetisierungsstrom nacheinander sequentiell einzuschalten.
  • Ein Koordinaten-Erfassungssteuerkreis 9 liefert an den Draht-Auswahlkreis 23 einen Zeitimpuls für die Drahtauswahl sowie an den Koordinatenbezeichner 2 einen Wechselstrom, um in diesem ein magnetisches Wechselfeld zu erzeugen.
  • Wird der Koordinatenbezeichner 2 an die Matrix 18 herangeführt und wird einem der magnetischen Drähte in der Nähe des Koordinatenbezeichners 2 über den Decoder der Vormagnetisierungsstrom zugeführt, so tritt in der Leitung 19 eine Impulsspannung gemäß Fig. 3B auf. Die Impulsspannung wird durch einen Widerstand/Kondensator-Kopplungskreis 25 einem Erfassungskreis 26 zur Erfassung zugeführt. Anschließend wird die Impulsspannung an einem Abtast- und Haltekreis 27 gehalten und abgetastet, an einem Wechselstrom/Gleichstrom- Wandler 28 in ein digitales Signal umgewandelt, in einer CPU 29 einer Signalverarbeitung unterworfen und anschließend als Koordinatendatum einem (nicht dargestellten) Primärrechner zugeführt.
  • Im einzelnen ist die Drahtmatrix so aufgebaut, daß, wie aus Fig. 10 ersichtlich, magnetische Drähte 1X und 1X' für die Erfassung der X-Richtung-Koordinate und magnetische Drähte 1Y und 1Y' zur Erfassung der Y-Richtung-Koordinate in regelmäßigen Abständen an einer Tafel 30 angeordnet sind, die die Funktion hat, einen Vertikalabstand zwischen dem Koordinatenbezeichner 2 und den magnetischen Drähten zu stabilisieren, als auch, die magnetischen Drähte unverrückbar an diesen zu befestigen. Die Drähte 1X, 1X' und 1Y, 1Y' sind dabei entweder ab- oder umgebogen, wie aus Fig. 5 bzw. 6 ersichtlich, und zwischen den jeweiligen Drähten ist ein Isolierelement 31 vorgesehen, um einen Kurzschluß der Erzeugungsspannung aufgrund der Drehmagnetisierung auszuschließen. Ferner ist ein weiteres Isolierelement 31 zwischen den Drähten der X- und Y-Richtung vorgesehen.
  • Bei der vorliegenden Koordinaten-Eingabevorrichtung ist eine Vielzahl magnetischer Drähte in X- und Y-Richtung vorgesehen, um Erfassungsausgabewerte zu erzeugen, die den Abstand zwischen dem Koordinatenbezeichner und den Drähten in der Nähe des Bezeichners angeben, so daß die Erfassungsausgabewerte der entsprechenden magnetischen Drähte, die hoch sind, wenn sie dem magnetischen Wechselfeld des Koordinatenbezeichners unterworfen werden, dazu verwendet werden, eine annäherungsweise Koordinatenberechnung durchzuführen. So kann, selbst wenn die Koordinatenerfassungseinrichtungen in X- und Y-Richtung in Abständen von beispielsweise 10 mm angeordnet sind, die Koordinanteneingabeeinrichtung eine Auflösung von 0,1 mm haben. Diese Berechnung erfolgt in der CPU 29 der Fig. 9.
  • Fig. 11 zeigt Spannungskennlinien VN-1, VN und VN+1 auf der Grundlage des Matteucci-Effektes, die an drei Drähten N-1, N und N+1 erfaßt wurden, wenn der Koordinatenbezeichner an Punkten positioniert ist, die sich jeweils in einem Abstand S von der Mitte dieser Drähte befinden. Bei dem gezeigten Beispiel ist der Abstand zwischen den Drähten auf 5 mm eingestellt.
  • Befindet sich der Koordinatenbezeichner zwischen den Drähten N und N+1, und mehr in der Nähe des Drahtes N, wie aus Fig. 11 hervorgeht, so werden jeweils Spannungen VN, VN+1 und VN-1 an den Drahten N, N+1 und N-1 erfaßt. In diesem Fall werden, nachdem die Spannung VN den größten Wert aufweist, und die Spannung VN+1 unter diesen Spannungen VN, VN+1 und VN-1 den nächstgrößten Wert aufweist, diese beiden Spannungen VN und VN+1 verwendet, und die kleinere Spannung VN+1 wird zum Erhalt eines Wertes VN+1/VN durch die größere Spannung VN geteilt. Der erhaltene Wert VN+1/VN entspricht einer solchen Kennlinie in bezug auf einen Abstand δ von der Drahtmitte, wie aus Fig. 12 hervorgeht. Im einzelnen wird der Wert VN+1/VN an dem Draht N (δ = 0) minimal und nimmt in dem Maße zu, wie sich die Position des Koordinatenbezeichners von dem Draht N nach rechts verschiebt, und wenn der Koordinatenbezeichner einen Punkt (δ = 2,5) zwischen den Drähten N und N+1 erreicht, so wird der Wert 1. Die Form der Kennlinie der Fig. 12 ist gegenüber jeder Drahtposition in Richtung nach links oder rechts identisch oder symmetrisch. Infolgedessen kann bei vorangehender Speicherung der Kennlinie in einem Speicher der CPU 29 die Position 8 des Koordinatenbezeichners zu dem Draht N, der die größte Erfassungsspannung erzeugt, auf der Grundlage des Verhältnisses (VN+1/VN) zwischen den Erfassungsspannungen des Drahtes N und des danebenliegenden Drahtes N+1 berechnet werden, die den größten bzw. den nächstgrößten Wert unter den Erfassungsspannungen der Drähte aufweisen. Anschließend kann auf der Grundlage der Position δ ein für den Koordinatenbezeichner stehender Koordinatenpunkt berechnet werden.
  • Der vorstehende Berechnungsvorgang wird nunmehr anhand des Flußdiagramms der Fig. 13 erläutert. Gemäß der Zeichnung wird zunächst aus einem Draht in einem Schritt 40 ein Erfassungssignal eingegeben, und in einem Schritt 41 wird beurteilt, ob das eingegebene Signal größer als ein vorbestimmter Wert ist oder nicht. Eine Entscheidung in Richtung NEIN in Schritt 41 bewirkt, daß die Steuerung zu einem Schritt 43 übergeht. Eine Entscheidung in Richtung JA in Schritt 41 bewirkt, daß die Steuerung zu einem Schritt 42 übergeht, in dem die Koordinatenwerte des Drahtes und die Größe des Erfassungssignals in dem Speicher gespeichert werden und die Steuerung zu Schritt 43 übergeht. In Schritt 43 wird beurteilt, ob die Erfassung aller Drähte abgeschlossen ist oder nicht. Eine Entscheidung zugunsten von NEIN in Schritt 43 bewirkt ein Zurückgehen der Steuerung zu Schritt 40, um das Erfassungsignal des nächsten Drahtes einzugeben. Eine Entscheidung zugunsten von JA bewirkt indes ein Übergehen der Steuerung zu einem Schritt 44, um Erfassungssignale VN-1, VN, VN+1 aufzufinden, die nach der Beurteilung vorbestimmte kontinuierliche Werte aufweisen. In einem nächsten Schritt 45 wird aus einem dieser Erfassungssignale, die beispielsweise einen maximalen Wert aufweisen, das Signal VN bestimmt.
  • Anschließend wird in einem nächsten Schritt 46 ein Vergleich gezogen zwischen den Erfassungssignalen Vn-1 und V N+1 der Drähte N-1 und N+1 neben dem Draht N, die das größte Erfassungssignal erzeugt haben. Erfüllt das Vergleichsergebnis eine Beziehung VN-1 > VN+1, so geht die Steuerung zu einem Schritt 47 über, um einen Wert VN-1/VN zu berechnen. In einem nächsten Schritt 48 wird ein Wert δ anhand einer (in dem Speicher gespeicherten) Tabelle ermittelt, der die in Fig. 12 gezeigte Kennlinie aufweist. In einem nächsten Schritt 49 wird der Wert δ von dem Koordinatenwert des Drahtes N abgezogen und anschließend ein Koordinatenpunkt, an dem sich der Koordinatenbezeichner befindet, berechnet.
  • Erfüllt das Vergleichsergebnis in Schritt 46 eine Beziehung VN+1 > VN-1, so geht die Steuerung zu einem Schritt 50 über, um einen Wert V N+1 /VN zu berechnen. In einem nächsten Schritt 51 wird der Wert & anhand der Tabelle gemäß dem berechneten Wert VN+1/VN ermittelt. Danach wird in einem Schritt 51 der Wert δ zu dem Koordinatenwert des Drahtes N hinzuaddiert, um einen Koordinatenpunkt zu ermitteln, der die Position des Koordinatenbezeichners angibt. In einem Schritt 53 ist die Koordinatenberechnung abgeschlossen.
  • Auch wenn die vorstehende Koordinatenberechnung im Zusammenhang mit einer einzigen Koordinatenachse erläutert worden ist, gilt die gleiche Erläuterung für die Koordinatenberechnung der anderen Koordinatenachse unter Verwendung eines ähnlichen Flußdiagramms.
  • Nachstehend ist noch eine weitere Ausführungsform erläutert. Bei der vorliegenden Ausführungsform wird bei Erzeugung einer Magnetisierung eines magnetischen Drahts mit einem magnetostriktiven Koeffizienten von Null oder einem negativen Wert in Umfangsrichtung und bei Anlegen eines magnetischen Erregerfeldes, das durch eine Erregerspule erzeugt worden ist, an den Draht in dem Augenblick eine Impulsspannung erzeugt, in dem die Magnetisierung in Umfangsrichtung umgekehrt wird. Zu diesem Zeitpunkt wird bei Vorliegen eines anderen äußeren magnetischen Feldes als des magnetischen Erregerfeldes die Impulsspannung zum Zeitpunkt der Magnetisierungsumkehr sowohl durch das magnetische Erregerfeld als auch durch das äußere magnetische Feld beeinflußt. Dadurch kann, wenn das magnetische Erregerfeld vorher auf einen vorbestimmten Wert eingestellt worden ist, die Intensität des äußeren magnetischen Feldes gemessen werden. Weiter kann in dem Fall, in dem mehrere Erregerspulen längs eines magnetischen Drahtes angeordnet sind, so daß der Schalter ein sequentielles Umschalten der Erregerspulen ermöglicht, ein äußeres magnetisches Feld in der Nähe einer zugeordneten Spule der Erregerspulen erfaßt werden, wodurch ein magnetischer Bildsensor verwirklicht werden kann.
  • Die Magnetisierung eines magnetischen Drahtes mit einem magnetostriktiven Koeffizienten, der Null oder ein negativer Wert ist, in Umfangsrichtung kann dadurch erfolgen, daß man den magnetischen Draht in geeigneter Weise mit einer Verdrehung versieht.
  • In dem Fall, in dem die Magnetisierung eines magnetischen Drahtes mit einem magnetostriktiven Koeffizienten, der Null oder ein negativer Wert ist, in Umfangsrichtung dadurch erfolgt, daß man den magnetischen Draht mit einer Verdrehung versieht, wenn das äußere magnetische Feld einen vorbestimmten Wert überschreitet, bewirkt dies eine Inversion der Magnetisierung, so daß in diesem Augenblick eine Spannung proportional zu -do/dt erzeugt wird, wobei o den magnetischen Fluß bezeichnet. Infolgedessen wird an den magnetischen Draht ein magnetisches Wechselfeld angelegt, und es wird im Augenblick der Magnetisierungsinversion an dem magnetischen Draht eine Impulsspannung erzeugt. Bei einer solchen Sachlage wird in dem Fall, in dem ein anderes magnetisches Feld als das durch die Erregerspule in der Nähe des magnetischen Drahtes erzeugte vorliegt, an den magnetischen Draht ein zusammengesetztes magnetisches Feld angelegt, so daß das zusammengesetzte magnetische Feld eine Inversion der Magnetisierung im Inneren des magnetischen Drahts bewirkt. Anders ausgedrückt wirkt das äußere magnetische Feld als Modulationssignal, wenn das magnetische Erregerfeld als Träger betrachtet wird, so daß eine getrennte Erfassung des äußeren magnetischen Feldes dadurch erfolgen kann, daß man das durch die Magnetisierungsinversion erzeugte Signal verarbeitet. Die Erfassung des äußeren magnetischen Feldes mit einer hohen Auflösung kann dadurch erfolgen, daß man den Bereich des magnetischen Erregerfeldes schmaler ausbildet Dies kann mit Hilfe eines Ferritkerns mit Wicklung geschehen.
  • Eine Anordnung eines magnetischen Bildsensors nach einer ersten Ausführungsform geht aus Fig. 14 hervor. Eine Ausscheidungsanmeldung war auf den Bildsensor gerichtet. Dieser Bildsensor ist nicht Teil der/des vorliegenden Anmeldung/Patentes, ist jedoch für das Verständnis der Anmeldung nützlich. Der magnetische Bildsensor umfaßt einen magnetischen Draht 1 als Detektor, eine oder mehrere Erregerspulen 55, um an den Draht 1 ein lokales magnetisches Erregerfeld anzulegen, einen Umschalter 56, um einen Erregerstrom durch Umschalten an eine der Erregerspulen anzulegen, und einen Oszillator 57, um den Schalter 56 mit Erregerstrom zu versorgen.
  • Eine Detektoreinheit des magnetischen Bildsensors der Fig 14 ist in Fig. 15 gezeigt, wo im Innern des magnetischen Drahtes 1 eine Magnetisierung in Umfangsrichtung erfolgt.
  • In diesem Fall verursacht das magnetische Erregerfeld der Erregerspule 55 eine Inversion der inneren Magnetisierungsrichtung, wodurch zwischen den Anschlüssen A und B des magnetischen Drahtes 1 eine Impulsspannung entsteht. Impulse treten in dem Erfassungssignal in einer vorbestimmten Phase des Erregerstroms, d.h. des magnetischen Erregerfeldes, auf. In einem solchen Fall verursacht das äußere magnetische Feld bei Vorliegen eines anderen äußeren Magnetfeldes als des magnetischen Erregerfeldes eine teilweise Richtungsumkehr der Magnetisierung im Inneren des magnetischen Drahtes 1. Dieser Teil des magnetischen Drahtes, der, wenn er einem magnetischen Erregerfeld unterworfen wird, trägt nicht zur Erzeugung der Impulsspannung zwischen den Anschlüssen A und B bei. Anders ausgedrückt wird die Größe des Erfassungssignals durch das äußere magnetische Feld moduliert. Die Impulsspannung wird an dem magnetischen Draht 1 nach dem oben erwähnten Prinzip erzeugt. Eine Steuerkreisschaltung 60 steuert den Schaltvorgang des Umschalters 56 sowie ferner eine ein magnetisches Bild erzeugende Schaltung 61, die die Größe der an dem Draht 1 erzeugten Impulsspannung erfaßt und ein magnetisches Bild erzeugt. Nur der Teil des magnetischen Drahtes 1, der durch das zugeordnete magnetische Erregerfeld der magnetischen Erregerfelder der Erregerspulen 55 erregt worden ist, wird durch das äußere magnetische Feld moduliert, so daß die anderen Teile, die nicht durch das magnetische Erregerfeld erregt worden sind, das Impulssignal überhaupt nicht beeinträchtigen. Aus diesem Grund kann die Auflösung eines magnetischen Bildsensors erhöht werden, wenn mehrere solcher Erregerspulen 55 an einem magnetischen Draht entlang angeordnet sind. Die Erregerspulen 55 können sowohl durch Ferritkernstäbe, die mit Wicklungen versehen sind, realisiert werden, als auch durch ein Muster (spiralförmig oder anders ausgebildet), das auf ein Substrat in Form von kupferbeschichteten Mehrfachlaminaten aufgebracht worden ist. Da die mehreren Erregerspulen 55 so angeordnet sind, daß sie sequentiell erregt werden, wird der Teil des Drahtes, der das äußere magnetische Feld erfassen kann, über die Länge des Drahtes bewegt, wodurch der magnetische Bildsensor realisiert werden kann. Da der die Konstruktion erregende Erregerspulenstrom unter einigen zehn mA liegt, kann ein normaler Analogschalter oder dergleichen als Umschalter 56 Verwendung finden.
  • In Fig. 16 sind Betriebssignale des magnetischen Bildsensors der Fig. 14 gezeigt. In Fig. 16 stehen Bezugsymbole C1 bis C4 für Erregersignale für die Erregerspulen C1 bis C4, die, wie gezeigt, sequentiell geschaltet werden.
  • Bei dem gezeigten Beispiel wird das Erfassungssignal in der Nähe der jeweiligen Erregerspulen einer Modulation durch das äußere magnetische Feld unterworfen und erscheint gemäß Fig. 16 als ein solches Erfassungssignal mit modulierter Amplitude in Form eines A-B-Erfassungssignals.
  • In dem Fall, in dem der magnetische Draht aus einem Material mit einem magnetostriktiven Koeffizienten Null oder einem negativen Wert besteht, stellt sich leicht die Tendenz einer Magnetisierung in Umfangsrichtung ein, und die Magnetisierung wird dadurch stabilisiert, daß man den Draht mit einer Verdrehung von etwa einer Windungib cm aus einer Verdrehungsaufbringeinrichtung 59 gemäß dem Pfeil C in Fig. 14 versieht. In diesem Zusammenhang kann anstelle der Verdrehung an dem Draht diesem ein Vormagnetisierungsstrom zugeführt werden, oder der Vormagnetisierungsstrom kann dem Draht zusätzlich zu der Verdrehung zugeführt werden.
  • Nach der vorliegenden Ausführungsform kann ein magnetischer Bildsensor verwirklicht werden, der eine breit gefächerte Erfassung mit der erforderlichen Auflösung ermöglicht, während gleichzeitig die Notwendigkeit genauer Wicklungsfunktionen, einer genauen Verarbeitung magnetischer Kerne sowie der Anwendung von Halbleitertechniken entfällt. Ferner kann der Aufbau der vorliegenden Erfindung gegenüber dem Stand der Technik extrem einfach gestaltet werden, wodurch sich die Kosten reduzieren. Schließlich ist die Erfindung aufgrund dessen, daß sie auf dem noch-Leseprinzip basiert, unabhängig von der Bewegungsgeschwindigkeit eines Erfassungsmediums anwendbar.

Claims (5)

1. Magnetdetektor auf der Grundlage des Matteucci-Effekts, mit:
zumindest einem magnetischen Draht (11 11, 14),
einer Einrichtung (4, 59), um den magnetischen Draht mit Magnetisierung in Umfangsrichtung zu versehen,
einer Einrichtung zum Erzeugen eines magnetischen Wechselfelds,
einer Einrichtung (5, 7, 19-21, 23, 25-27) zum Erfassen einer Spannung aufgrund des Matteucci-Effekts, die sich längs des magnetischen Drahts entwickelt, wenn der relative Abstand zwischen dem magnetischen Draht und der Wechselfelderzeugungseinrichtung klein wird, und
einer Einrichtung (5) zur Erfassung der Nähe zwischen dem magnetischen Draht und der Wechselfelderzeugungseinrichtung, wenn die durch die Erfassungseinrichtung erfaßte Spannung aufgrund des Matteucci-Effekts gleich oder größer als ein bestimmter Wert ist,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Einrichtung für die Magnetisierung in Umfangsrichtung eine Wechselspannungsschaltung (3) mit hoher Impedanz aufweist, die an zumindest einem Ende des magnetischen Drahts (1, 1', 14) vorgesehen ist, und
eine Einrichtung (4) vorgesehen ist, um über die Wechselstromschaltung (3) mit hoher Impedanz dem zumindest einen magnetischen Draht einen Gleichstrom zuzuführen.
2. Detektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Draht aus hin- und herlaufenden Leitungswegen (1, 1') besteht, die nahe beieinander angeordnet sind.
3. Detektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Draht aus mehreren (14) von hin- und herlaufenden Leitungswegen besteht, die nahe aneinander angeordnet sind.
4. Detektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetischen Drähte aus einem Material bestehen, das einen Magnetostriktivkoeffizienten hat, der Null oder ein negativer Wert ist.
5. Detektor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung für die Magnetisierung in Umfangsrichtung eine Einrichtung (59) aufweist, mit der die magnetische Leitung mit einer Verdrehung versehen wird.
DE69127530T 1990-11-28 1991-11-26 Magnetdetektor auf der Grundlage des Mateucci-Effekts Expired - Fee Related DE69127530T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32296490A JP2510781B2 (ja) 1990-11-28 1990-11-28 磁気イメ―ジセンサ
JP32296590A JP3009213B2 (ja) 1990-11-28 1990-11-28 座標入力装置
JP3008921A JPH04252318A (ja) 1991-01-29 1991-01-29 座標入力装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69127530D1 DE69127530D1 (de) 1997-10-09
DE69127530T2 true DE69127530T2 (de) 1998-02-12

Family

ID=27278252

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69127530T Expired - Fee Related DE69127530T2 (de) 1990-11-28 1991-11-26 Magnetdetektor auf der Grundlage des Mateucci-Effekts
DE69132528T Expired - Fee Related DE69132528T2 (de) 1990-11-28 1991-11-26 Koordinateneingabegerät basierend auf dem Mateucci-Effekt
DE69132101T Expired - Fee Related DE69132101T2 (de) 1990-11-28 1991-11-26 Magnetbildsensor basierend auf dem Mateucci Effekt

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69132528T Expired - Fee Related DE69132528T2 (de) 1990-11-28 1991-11-26 Koordinateneingabegerät basierend auf dem Mateucci-Effekt
DE69132101T Expired - Fee Related DE69132101T2 (de) 1990-11-28 1991-11-26 Magnetbildsensor basierend auf dem Mateucci Effekt

Country Status (4)

Country Link
US (2) US5298689A (de)
EP (3) EP0751398B1 (de)
KR (1) KR960006091B1 (de)
DE (3) DE69127530T2 (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05233147A (ja) * 1992-02-21 1993-09-10 Mitsubishi Electric Corp ディスプレイ一体型タブレット
BE1007126A3 (nl) * 1992-06-24 1995-04-04 Andre Albert Madelein Heerwegh Werkwijze en inrichting voor het lezen van driedimensionele informatie.
US5920307A (en) * 1995-02-21 1999-07-06 Lucent Technologies, Inc. System for directly sensing the orientation of a track ball
JP3091398B2 (ja) * 1995-09-14 2000-09-25 科学技術振興事業団 磁気−インピーダンス素子及びその製造方法
US6396005B2 (en) 1998-06-15 2002-05-28 Rodgers Technology Center, Inc. Method and apparatus for diminishing grid complexity in a tablet
US7907130B2 (en) * 2002-06-05 2011-03-15 Synaptics (Uk) Limited Signal transfer method and apparatus
JP4527752B2 (ja) * 2007-06-22 2010-08-18 日立オムロンターミナルソリューションズ株式会社 紙葉類識別装置及びそのセンサ部
EP2690450B1 (de) * 2012-07-27 2014-07-09 ABB Technology AG Vorrichtung zum Messen der Direktkomponente von Wechselstrom
DE102014200461B4 (de) 2014-01-14 2016-01-14 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Anordnung zum Messen einer Kraft oder eines Drehmomentes an einem Maschinenelement
DE102014214249B3 (de) * 2014-07-22 2015-09-10 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Maschinenelement und Anordnung zur Messung einer Kraft oder eines Momentes sowie Verfahren zur Herstellung des Maschinenelementes
DE102014219336B3 (de) 2014-09-24 2016-01-21 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren und Anordnung zur Messung einer Kraft oder eines Momentes mit mehreren Magnetfeldsensoren
DE102015206152B3 (de) 2015-04-07 2016-07-07 Schaeffler Technologies AG & Co. KG 1 - 12Anordnung und Verfahren zur berührungslosen Messung eines Momentes an einem Maschinenelement
CN107728866A (zh) * 2017-09-18 2018-02-23 安徽工程大学 一种计算机辅助拼装绘图系统

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2087205A5 (de) * 1970-05-11 1971-12-31 Dassault Electronique
US4374403A (en) * 1979-06-27 1983-02-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic recording and reproducing system
US4418242A (en) * 1980-03-04 1983-11-29 Fujitsu Limited Coordinate reading apparatus
JPS58117718A (ja) * 1981-12-30 1983-07-13 Aisin Seiki Co Ltd 電気パルス発生器
JPS6170628A (ja) 1984-09-13 1986-04-11 Hitachi Metals Ltd デ−タ−タブレツト用素子
DE3579144D1 (de) * 1984-12-28 1990-09-13 Wacom Co Ltd Vorrichtung zur ermittlung der position.
JPS6326720A (ja) * 1986-07-18 1988-02-04 Nippon Denki Shijiyou Kaihatsu Kk 周波数結合位置検出装置
DE3843087C2 (de) * 1987-12-21 2001-09-13 Tdk Corp Magnetfeldsensor
US4963703A (en) * 1989-07-18 1990-10-16 Numonics Corporation Coordinate determining device using spatial filters

Also Published As

Publication number Publication date
EP0488167B1 (de) 1997-09-03
DE69127530D1 (de) 1997-10-09
US5446377A (en) 1995-08-29
DE69132528D1 (de) 2001-03-08
EP0751398A1 (de) 1997-01-02
EP0751398B1 (de) 2001-01-31
EP0488167A2 (de) 1992-06-03
DE69132528T2 (de) 2001-06-13
EP0706057A3 (de) 1996-05-01
KR960006091B1 (ko) 1996-05-08
US5298689A (en) 1994-03-29
DE69132101D1 (de) 2000-05-11
EP0706057A2 (de) 1996-04-10
EP0488167A3 (de) 1994-03-02
DE69132101T2 (de) 2000-09-28
EP0706057B1 (de) 2000-04-05
KR920010310A (ko) 1992-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69229833T2 (de) Magnetometer ohne null-abweichungsdrift
EP1135694B1 (de) Vorrichtung zur hochauflösenden messung von magnetischen feldern
EP0061520B2 (de) Magnetkernloser Messwandler zum berührungslosen Messen eines Messstromes
DE19732616C2 (de) Magnetfeld-Messgerät zur Messung der Drehung eines sich drehenden Körpers
DE19933244C2 (de) Potentiometer mit Magnetowiderstandselementen
DE68924112T2 (de) Stromsensor.
DE2911733C2 (de)
DE69127530T2 (de) Magnetdetektor auf der Grundlage des Mateucci-Effekts
DE2656111A1 (de) Wirbelstrompruefgeraet
DE10111949A1 (de) Magnetische Detektorvorrichtung
DE19933243C2 (de) Codierer mit GMR-Elementen
EP1324063A2 (de) Magnetoresistiver Sensor
DE3732660A1 (de) Magnetresonanz-abbildungssystem
DE1297755B (de) Magnetfeldmessgeraet mit einer Sonde mit magnetfeldabhaengigem Widerstand
DE3040316A1 (de) Verfahren und schaltungsanordnung zur kontaktlosen messung von gleich- und wechselstroemen, insbesondere strom-augenblickswerten
DE19800774B4 (de) Verfahren und magnetische Maßverkörperung zur Generierung eines Referenzsignals sowie Herstellungsverfahren für eine solche magnetische Maßverkörperung
DE69127917T2 (de) Hochempfindliches Magnetometer
EP1302780B1 (de) Supraleitende NMR-Resonatoren mit makroskopisch homogener Verteilung des Supraleiters
DE2520031B2 (de) Vorrichtung zum bestimmen magnetischer zylinderdomaenen
DE2344508B2 (de) Verfahren und Magnetometer zum Messen eines Magnetfeldes
EP1387178B1 (de) SQUID Magnetometer
DE2247026B2 (de) Schaltvorrichtung zur magnetischen Prüfung von Werkstücken
DE3824267C2 (de)
DE19620014C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der magnetischen Kenngrößen dünner magnetischer Schichten
EP3557188A1 (de) Magnetisierte kolbenstange zur wegmessung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee