DE2916078C2

DE2916078C2 - Temperaturmeßgerät

Info

Publication number: DE2916078C2
Application number: DE2916078A
Authority: DE
Inventors: Yasuo Yokohama Ebata
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1978-04-20
Filing date: 1979-04-20
Publication date: 1982-05-06
Also published as: US4249418A; AU4618679A; JPS54138480A; FR2423762A1; GB2019567A; DE2916078A1; AU522670B2; GB2019567B; FR2423762B1

Description

Die Erfindung betrifft ein Temperaturmeßgerät, mit einem temperaturabhängigen Oszillator mit einem Oberflächenschwinger, dessen Schwingungsfrequenz von seiner Temperatur abhängt, und einem Festfrequenzoszillator, mit einer Mischstufe zur Erzeugung einer Differenzfrequenz aus den Schwingungsfrequenzen der beiden Oszillatoren, wobei die Differenzfre quenz ein Maß für die Temperatur ist.

Ein Temperaturmeßgerät dieser Art ist beispielsweise aus »Handbuch der technischen Temperaturmessung«. Vieweg-Verlag 1976, S. 174 bekannt, wo ein Quarzkristallthermometer beschrieben ist. Eine Mischstufe liefert dabei ein Differenzsignal zwischen einem ersten Ausgangssignal eines ersten Oszillators mit einem ersten Quarzkristallschwingelement, dessen Schwingungsfrequenz von der Temperatur abhängig ist, und einem /weiten Ausgangssignal eines zweiten Oszillators mit einem zweiten Quarzkristallschwingelement, dessen Schwingungsfrequenz auch dann konstant ist, wenn Temperaturänderungen auftreten. Das von der Mischstufe gelieferte Signal einer Differenzfrequenz wird mit einem Zähler gezählt und als Ausgangssignal für die Temperatur des ersten Quarzkristallschwingelementes in digitaler Form zur Anzeige gebracht.

Bei der Herstellung von Temperaturfühlern ist es im allgemeinen wünschenswert, das Schwingelement in einem Gehäuse unterzubringen, damit ein temperaturmäßiges Altern des Schwingelementes verhindert wird, jedoch ist es in derartigen Fällen schwierig, das Quarzkristallschwingelement an der Innenwand eines Gehäuses zu befestigen, und zwar deswegen, weil die Grundplatte selbst schwingt. Soll daher die Umgebungstemperatur um das Schwingelement überwacht werden, erweist es sich als wünschenswert, daß das Schwingelement so rasch wie möglich auf die Umgebungstemperatur anspricht. Daraus ergibt sich das Erfordernis, daß das Schwingelement in sehr gutem Kontakt mit der Innenwand des Gehäuses steht, das aus Material guter Wärmeleitfähigkeit besteht. Damit erreicht man dann eine direkte Änderung der Temperatur des Schwingelementes aufgrund der Wärmeleitung.

Bei akustischen Oberfiächenwellen handelt es sich um

ίο einen Effekt, der nur an der Oberfläche der Grundplatte auftritt, so daß die Grundplatte selbst nicht schwingt. Die akustischen Oberflächenwellen sind dabei hochfrequente Wellen, die jedoch mechanische Schwingungen darstellen, so daß die Schwingelemente nachstehend als

is Oberflächenschwinger bezeichnet sind. Darunter sind Schwinger für akustische Oberflächenwellen zu verstehen.

Während also bei akustischen Oberflächenwellen die Grundplatte des Oberflächenschwingers selbst nicht schwingt, hat ein Gehäuse die Eigenschaft, daß Änderungen der umgebungstemperatur zu einer Ausdehnung oder einem Zusammenziehen des Gehäuses führen. Wenn nun die Grundplatte des Oberflächenschwingers direkt an der Innenwand des Gehäuses befestigt ist, so ist diese Grundplatte Belastungen und Beanspruchungen ausgesetzt und das Temperaturverhalten des Oberflächenschwingers ändert sich aufgrund einer derartigen Beanspruchung.

Wird ein Quarzoszillator verwendet, so ist dieser im Gehäuse von einem Träger gehalten, wobei sich die Quarzbasis hinsichtlich ihrer Temperatur aufgrund der Wärmeströmung von Luft oder Gas in dem Gehäuse ändert. Das bedeutet jedoch, daß eine relativ lange Zeit erforderlich ist, bis der Oszillator auf Umgebungstempe-

raturen oder ihre Änderungen anspricht. Ein solches langsames Ansprechverhalten hinsichtlich der Temperatur ist jedoch unbrauchbar, wenn es z. B. darum geht, für die Steuerung von Klimaanlagen zu sorgen.

Z. B. ist es für die Steuerung oder Einstellung von Raumtemperaturen zweckmäßig, die in der Mitte eines Raumes herrschende Temperatur abzutasten und die Raumtemperatur in Abhängigkeit von der gemessenen Temperatur einzustellen. Dabei ist es zweckmäßig, die Frequenz des entsprechenden Oszillators vom jeweiligen Meßpunkt am Ort der Steuerung, z. B. bei einer Klimaanlage zur Verfügung zu haben, welche häufig in der Ecke eines Raumes oder an einem anderen Ort angeordnet ist. damit man die Raumtemperatur steuern kann.

Das eingangs genannte Temperaturmeßgerät ermöglicht lediglich die Temperaturmessung und digitale Anzeige der Temperatur eines Schwingers unter Verwendung der Frequenz eines Oszillators, während die im Zusammenhang mit der Steuerung einer Klimaanlage auftretenden Probleme unberücksichtigt sind.

Aus der US-PS 38 86 504 sind zwar Oberflächenschwinger für akustische Oberflächenwellen an sich bekannt und im Hinblick auf ihren Aufbau und ihre Wirkungsweise beschrieben. Ausführungen darüber, wie ein Temperaturmeßgerät ausgebildet sein müßte, das zur Steuerung einer Klimaanlage geeignet ist, lassen sich jedoch der genannten Literaturstelle nicht entnehmen.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Temperaturmeßgerät der eingangs genannten Art zu schaffen, das ein verbessertes Ansprechverhalten gegenüber Temperaturänderungen aufweist.

Die erfindungsgemäße Lösung besteht darin, ein Temperaturmeßgerät der eingangs genannten Art so auszubilden, daß der Oberflächenschwinger eine Grundplatte aus Lithiumniobat aufweist und mit einer flexiblen Klebemittelschicht auf eine Platte guter Wärmeleitfähigkeit aufgeklebt ist, daß der temperaturabhängige Oszillator die Ausgangsfrequenz des Oberflächenschwingers über eine Sendeantenne überträgt, und daß die Mischstufe die Ausgangsfrequenz der Sendeantenne über eine Empfangsantenne sowie die Ausgangsfrequenz des Festfrequenzoszillators zur Bildung der Differenzfrequenz zwischen den beiden Ausgangsfrequenzen erhält.

Das erfindungsgemäße Temperaturmeßgerät stellt in vorteilhafter Weise eine einfache und gleichzeitig wirkungsvolle Vorrichtung dar, die auch zur Massenherstellung geeignet ist und auf drahtlosem Wege eine rasche Übermittlung von Temperaturmeßwerten ermöglicht. Da die Grundplatte des Oberflächenschwingers mit der flexiblen Klebemittelschirht aufgeklebt ist, treten keine schädlichen Einwirkungen und Beanspruchungen des Oberflächenschwingers auf, wenn Temperaturänderungen beim Gehäuse erfolgen. Wegen der Übertragung der Temperaturmeßwerte mit Sendeantenne und Empfängerantenne kann ein Temperaturmeßgerät dieser Art auch nachträglich installiert werden, ohne daß zu diesem Zweck Verbindungskabel erforderlich sind. Die Grundplatte aus Lithiumniobat für den Oberflächenschwinger bietet den Vorteil, daß eine große Änderung der Ausgangsfrequenz bei Temperaturänderungen des Substratmaterials auftreten.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn der temperaturabhängige Oszillator des erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerätes mit einer Einrichtung für intermittierenden Betrieb versehen ist, da sich dann ein geringer Energieverbrauch des Oszillators erzielen läßt.

Wenn das Temperaturmeßgerät in weiterer Ausgestaltung ein digitales Ausgangssignal als Steuersignal für eine Einrichtung zur Temperatursteuerung liefert, so ist die Anordnung besonders gut zur Steuerung von Klimaanlagen geeignet, bei denen der Oberflächenschwinger unmittelbar auf die Umgebungstsmperatur anspricht.

Das erfindungsgemäße Temperaturmeßgerät wird nachstehend anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegender. Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines Oberflächenschwingers für akustische Oberflächenwellen zum Einsatz bei einem erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerät,

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie H-Il Fig. 1,

Fig.3 ein Schaltbild eines Ausführungsbeispiels des Sendeteiles des erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerätes mit einem Oberflächenschwinger nach F i g. 1,

Fig.4A ein Ersatzschaltbild der Schaltung gemäß Fig.3,

Fig.4B eine Teildarstellung einer abgewandelten Ausführungsform der Schaltung gemäß F i g. 3,

Fig.5 eine graphische Darstellung zur Erläuterung des Zusammenhanges zwischen der Temperatur der Grundplatte des Oberflächenschwingers und der Änderungsgeschwindigkeit der Frequenz des Oszillators gemäß Fig. 3,

Fi g. 6 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels des Empfangsteiles des erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerätes, und in

Fig.7 ein Blockschaltbild einer anderen Ausführungsform des Sendeteiles des erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerätes.

Der in Fig. I dargestellte Oberflächenschwinger !

für akustische Oberflächenwellen umfaßt eine V-Schnitt-, Z-Ausbreitung-Grundplatte (piezoelektrische Grundplatte) 2 aus Lithiumniobat, einen auf der einen Fläche dieser Grundplatte 2 und in ihrer Mitte angeordneten Kammelektrodenwandler 3, etwa 200 auf

ίο beiden Seiten des Wandlers 3 angeordnete reflektierende Streifen 4 sowie Anschlüsse oder Klemmen 5, die jeweils mit einer von zwei Elektroden des Wandlers 3 verbunden sind. Die Elektroden des Wandlers 3 und die reflektierenden Streifen 4 sind durch Aufdampfen eines dünnen Aluminiumfilms auf die Oberfläche der Grundplatte 2 und anschließendes Photoätzen dieses Films hergestellt Die Dicke des Aluminiumfilms beträgt 20 μιτι und die Linienbreite sowie der Abstand zwischen den Elektroden des Wandlers 3 und den reflektierenden Streifen 4 betragen jeweils etwa 1". <im. Der Oberflächenschwinger 1 kann in Form von ciw?. 50 Einheiten auf einer Grundplatte 2 mit einem Durchmesser von etwa 5 cm nach dem üblichen Fertigungsverfahren für integrierte Schaltkreise hergestellt werden. Die etwa 50 Einheiten werden sodann durch Schneiden voneinander getrennt. Die Fläche der Grundplatte 2 einer Elementeinheit beträgt 1,5 χ 10 mm bei einer Dicke von 0,5 mm. Der beschriebene Oberflächenschwinger 1 besitzt dieselbe Resonanzkennlinie wie ein Quarzschwinger.

Gemäß der US-PS 28 86 504 kann dieser Oberflächenschwinger für akustische Oberflächenwellen als Filter oder als Oszillatorbauteil benutzt werden. Es ist jedoch darauf hinzuweisen, daß zwischen dem Quarzschwinger und dem Oberflächenschwinger für akustische Oberflächenwellen die folgenden erheblichen Unterschiede bestehen: beim Quarzschwinger schwingt dessen gesamte Platte mechanisch, während beim Oberflächenschwinger die Erzeugung und Ausbreitung der m*.•chanischen Schwingung zentral auf einem Abschnitt erfolgt, der äußerst dicht an der Oberfläche der Grundplatte liej^;. Weiterhin ist der Schwingfrequenzgarig in keiner Weise von der Form der Grundplaite abhängig. Schließlich sind es Form und Anordnung dei Elektroden des Wandlers 3 sowie der reflektierenden Streifen 4.

welche den Frequenzgang bestimmen: insbesondere werden die Resonanzfrequenzen hauptsächlich durch die Breite sowie die gegenseitigen Abstände der Elektroden des Wandlers und der reflektierenden Streifen 4 bestimmt. Aus diesen Gründen kann die

so Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen mit Resonanzfrequenzen in einem Bereich von über 30MHz, d.h. im VHF- oder UHF-Bereich, ohne weiteres auf Massenfertigungsbasis hergestellt werden.

Wie erwähnt, kann die Form der Grundplatte 2 ziemlich frei gewählt werden, so daß ihrt Dicke sehr klein sein kann. Da außerdem auch die Form der Rückseite der Grundplatte 2 frei gewählt werden kann, eignet sich die Grundplatte 2 für die Herstellung eines Temperaturmeßgt.räts, dessen Ansprechzeit auf atmosphärische Temperaturänderung sehr kurz ist, indem die Grundplatte 2 unmittelbar mit einer Metallplatte mit großem Wärmeübertragungsvermögen verbunden, beispielsweise verklebt wird.

Die piezoelektrische K-Schnitt-, Z-Ausbreitung-Grundplatte 2 aus Lithiumniobat bietet die folgenden Vorteile: die Änderungsgröße des Frequenzgangs entsprechend der Temperatur der Grundplatte 2 ist groß. Bei einer Abweichung des K-Schnittwinkels im

Bereich von ±5° und einer Abweichung des /?-Ausbreitungsrichtungswinkels im Bereich von ±0,5" beträgt die Abweichung der akustischen Oberflächenwellengeschwindigkeit nur etwa ±0.3 m/s. Diese Abweichung von ±0.3 m/s entspricht einer Temperature¹ nderiing von ±rC der Grundplatte 2. Dies bedeutet, daß die erwähnten Abweichungen die Massenfertigung des Oberflächenschwingers für akustische Obcrflächenwellen nicht verhindern, daß die charakteristischen bzw. Kennlinienabweichungen zwischen einzelnen derartigen Vorrichtungen ziemlich klein sind und daß die so gefertigten Vorrichtungen für akustische Oberflächenwellen für TemperaturmeBgeräte geeignet sind.

Gemäß F i g. I ist der Oberflächenschwinger I mit einer 0.4 mm dicken und 12 χ 15 mm großen Eisenplntte 6 beispielsweise mittels einer flexiblen Klebmittelschicht 7. z. B. aus Epoxyharz (vgl. F-* i g. 2) verklebt. An dieser F.isenplatte 6 ist eine nicht dargestellte Abdekkung angebracht. Die Klemmen 5 sind mit der Eiscnplatte 6 über Isolierelemente verbunden. Durch diese Konstruktion wird eine Änderung der Resonanzfrequenz des Oberflächenschwingers I aufgrund einer Verwerfung oder Verformung der Grundplatte 2 des Oberflächenschwingers 1 verhindert, die durch ein Werfen oder sonstiges Verformen der F.isenplatte 6 aufgrund thermischer Ausdehnung oder anderer Ursachen hervorgerufen wird, weil die Verformung der Eisenplatte 6 von der flexiblen Klebmittelschicht 7 aufgenommen wird.

Im Übertragungs- bzw. Sendeteil gemäß F i g. 3 ist ein im Handel erhältlicher linearer integrierter Schaltkreis vorgesehen, der einen temperaturabhängigen Oszillator 8 bildet und der externe Anschlußklemmen 1.·»—7a. einen Vorspannungsstabilisator 9. Widerstände R 1 bis R 4 und Transistoren Tn und To aufweist. Der Minuspol einer Stromquelle 10(Batterie von 1.5 V) liegt an Masse, während ihr Pluspol über die Klemme 7a und den Widerstand RA an den Kollektor des Transistors Tn. unmittelbar an den Kollektor des Transistors Tn. über der. Widerstand R 2 an die Eingangsklcmme des Stabilisators sowie über die Widerstände R 2 und R 1 an die Basis des Transistors Tn angeschlossen ist. Die Emitter der Transistoren Tn und Tr; sind über den Widerstand R3 zusammengeschaltet, und der Ausgang des Vorspannungs-Stabilisators 9 liegt an der Basis des Transistors Tr;. Die Klemmen 2a bis 6a sind in der angegebenen Reihenfolge mit der Basis des Transistors Tr₁. dem Emitter des Transistors Tr₁. dem Emitter des Transistors Tr₂. der Basis des Transistors Tn bzw. dem Kollektor des Transistors Tr₂ verbunden. Die eine Klemme 5 des Oberflächenschwingers 1 für akustische Oberflächenwellen liegt an Masse, während ihre andere Klemme 5 über den Verzweigungspunkt 13 mit der Klemme 2a und außerdem über einen Kondensator Ci mit der Klemme 3a verbunden ist. Das eine Ende eines Kondensators Cj liegt an Masse, und sein anderes Ende ist mit der Klemme 3a sowie über einen Kondensator G mit der Klemme 5a verbunden. Die Klemme 4a liegt an Masse. Die Klemme 6a liegt über einen Kondensator Ci an einer Sendeantenne IZ die ein gewöhnlicher elektrischer Leiter sein kann. Bei der dargestellten Ausführungsform ist der Oberflächenschwinger 1 für eine Resonanzfrequenz von 74,80MHz bei 25"C ausgelegt

Fig.4A ist ein Ersatzschaltbild für den Oszillatorbzw. Schwingerteil in der Schaltung gemäß F i g. 3. In F i g. 4.A besteht das elektrische Äquivalent für den Oberflächenschwinger 1 aus einem Reihenresonanz

kreis mit ilen !.lementen .··. Cc und Lo einerseits souie einem elektrostatischen Kondensator O zwischen den Elektroden des Kammelektrodenwandlers 3 andererseits.

Der Reihenresonanzkreis und der Kondensator O sind parallelgeschaltet. Die Impedanz von einem Ver/weigiingspunkt 13 aus in Richtung des integrierten Schaltkreises 8 gesehen, ist durch eine Reihenschaltung zwischen einem Kondensator Cx und einem negativen Widerstand —R dargestellt. Die Größe von Cv bestimmt sich hauptsächlich durch die Werte der Kapazitäten der Kondensatoren C₁ und C₂ sowie die Charakteristik oder Kennlinie des Transistors Tn gemäß Fig. }. Wenn die Bedingung zutrifft, daß der negative Widerstand +— R+ größer ist als der Widerstandswert r. bleibt die Schwingung erhalten. Bei der dargestellten Aiisführiingsform ist die Schwingfrc quen/ des Oszillators auf 75,00 MHz bei 25"C festgelegt. Dieser Schwingungsausgang wird durch den Transistor Ir₁ verstärkt und das verstärkte Signal wird /ur Übertragung an die Sendeantenne 12 angelegt. Die von der Stromquelle 10 im schwingenden Zustand geliefer ten Stromstärken liegen im Bereich von etwa 1 bis 1.5 mA. Die Sendeantenne 12 strahlt elektrische Leistung von 75 MHz bei etwa 1 mW ab. Im praktischen Einsatz der Erfindung ist es wünschenswert, den Oszillator 8 mittels Batterie zu speisen und seinen Stromverbrauch möglichst zu reduzieren. Zu diesem Zwec¹· ist es vorteilhaft, den Oszillator 8 intermittierend zu betreiben und somit auch die Temperatur intermittierend zu messen. Hierfür kann der Oszillator 8 gemäß F i g. 4B in der Weise periodisch betrieben werden, daß durch das Ausgangssignal eines Zeitgebers 146 periodisch ein Schalter 14a geschlossen wird, der zwischen der Stromquelle 10 und der Klemme 7a angeordnet ist.

Der Empfangsteil ist in F i g. 6 veranschaulicht. Die von der Sendeantenne 12 ausgestrahlte Funk- bzw. I lochfrequenzwelle wird von einer Empfangsantenne 15 abgenommen. Das eine Frequenz von 75 MHz besitzende Ausgangssignal der Empfangsantenne 15 wird von einem Bandpaßfilter 16 mit einer Mittenfrequenz von 75 MHz und einer Bandbreite von ±2 MHz abgenommen und dann durch einen im Handel erhältlichen Hochfrequenzverstärker 17 verstärkt. Die Ausgangssignale von einem Kristallschwinger 19 mit einer Frequenz von 75.167 MHz und vom Verstärker 17 werden als Eingangssignal einer Mischstufe 18 eingegeben, und das Ausgangssignal als Frequenzunterschied zwischen beiden Eingangssignalen wird von einem Tiefpaßfilter 20 abgenommen und dann durch einen Verstärker 21 verstärkt. Die Ausgangsfrequenz des Verstärkers 21 wird durch einen handelsOblichen Zähler 22 gezählt. Das Ausgangssignal des Zänlers 22 wird einer vorbestimmten Datenverarbeitung in einer Datenverarbeitungseinrichtung unterworfen, von der ein Temperaturanzeige- oder Steuersignal abgenommen wird. F i g. 6 veranschaulicht den Fall, in welchem das Temperaturmeßgerät in einer Klimaanlage angeordnet ist. die durch einen Mikrorechner bzw. Mikroprozessor 23 gesteuert wird, wobei sich das Temperaturmeßgerät in der Ecke eines Raums befindet. Fig.6 zeigt insbesondere den Fall, in welchem ein Signal 26 aus 4 Bits vom Zähler 22 dem Mikrorechner 23 eingegeben wird, der als Ausgangssignale ein Temperaturanzeigesignal 24 (welches die Temperatur der Grundplatte 2 des in der Mitte des Raums befindlichen Oberflächenschwingers 1 für akustische Oberflächenwellen wiedergibt) und ein Temperatur-Steuersignal 25

liefert (durch welches die Temperatur der Grundplatte 2 indirekt derart geregelt wird. daß die Temperatur in der Mitte des Raums auf einer vorbestimmten Größe gehalten wird). Dabei kann ein üblicher Mikrorechner 23 verwendet werden.

F i g. 5 zeigt eine Kennlinie 27, die durch Auftragen der Temperatur des Temperaturmeßgeräts (d. h. der Temperatur der Grundplatte 2 des Oberflächenschwingers \ gemäß Fig. 1) auf der Abszisse und der Freuenzänderungsgröße PPM auf der Ordinate erhalten wird. Die Frequenzinderungsgröße werden durch Normierung der durch den Empfangsteil (Fig. 6) gegenüber 75MHz ermittelten Frequenzunterschiede erhalten. Bei der Messung zur Ermittlung dieser Kennlinie wurde der Oszillator in einem Thermostatgehäuse angeordnet, während der Empfangsteil 2 m von diesem Gehäuse entfernt angeordnet wurde. Die Temperatur des Temperaturmeßgerätes wurde vom EmpfaMgsteil etwa 2 min nach dem Umsetzen des Ί emperaturmeügerats aus dem Thermostatgehäuse von 35°C zu einer Stelle mit einer Raumtemperatur von 25° C mit 26° C wiedergegeben. Dies bedeutet, daß nach 2 min. eine Meßgenauigkeit von etwa 90% erreicht wurde. Es hat sich gezeigt, daß die Ansprechzeit auf Temperaturänderungen praktischen Anforderungen genügt.

Obgleich vorstehend die Anwendung des Temperaturmeßgeräts auf eine Klimaanlage beschrieben ist, kann mit Hilfe des neuartigen Temperaturmeßgeräts die Temperatur an einem vorbestimmten Teil eines sich bewegenden oder rotierenden Körpers auf drahtlosem Wege an einer von diesem Körper entfernten Stelle gemessen werden. Der Sendeteil des Temperaturmeßgeräts kann durch einen an sich bekannten Oszillator gebildet werden, in welchem eine Regelschleife durch eine mit akustischen Oberflächenwellen arbeitende Verzögerungsleitung und einen Verstärker hergestellt ist, sowie mittels des Oberflächenschwingers 1 gemäß Fig. I. Wie beispielsweise im Blockschaltbild gemäß F i g. 7 veranschaulicht, kann die Anordnung so getroffen sein, daß das Ausgangssignal eines ersten Kammelektrodenwandlers 13a der mit akustischer Oberflächenwelle arbeitenden Verzögerungsleitung Ha an einen Verstärker 28 angelegt wird, dessen Ausgangssignal sodann der Sendeantenne 12 eingespeist wird, wobei eine Rückkopplung über einen iwciicii KdiuiVicickifO-denwandler i3b und den ersten Kammelektrodenwandler 13a zum Verstärker 28 vorgesehen ist. Die genannte Verzögerungsleitung kann dadurch gebildet werden, daß die beiden Kammelektrodenwandler 13a und 136 an den gegenüberliegenden Enden einer Grundplatte 11a angeordnet werden.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1.Temperaturmeßgerät, mit einem temperaturabhängigen Oszillator mit einem Oberflächenschwinger, dessen Schwingungsfrequenz von seiner Temperatur abhängt, und einem Festfrequenzoszillator, mit einer Mischstufe zur Erzeugung einer Differenzfrequenz aus den Schwingungsfrequenzen der beiden Oszillatoren, wobei die Differenzfrequenz ein Maß für die Temperatur ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Oberflächenschwinger (1, Wa) eine Grundplatte (2) aus Lithiumniobat aufweist und mit einer flexiblen Klebemittelschicht (7) auf eine Platte (6) guter Wärmeleitfähigkeit aufgeklebt ist; daß der temperaturabhängige Oszillator (8) die Ausgangsfrequenz des Oberflächenschwingers (1, Ma) über eine Sendeantenne (12) überträgt; und daß die Mischstufe (18) die Ausgangsfrequenz der Sendeantenne (12) über eine Empfangsantenne (15) sowie die Ausgangsfrequenz des Festfrequenzosziliaiors (19) zur Bildung der Differenzfrequenz zwischen den beiden Ausgangsfrequenzen erhält.

2. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der temperaturabhängige Oszillator (8) mit einer Einrichtung (14a, \4b) für intermittierenden Betrieb verschen ist.

3. Temperaturme3gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Temperaturmeßgerät ein digitales Ausgangssignal (24, 25) als Steuersignal (25) für eine Einrichtung zur Temperatursteuerung -iefert.