DE285794T1 - Verfahren und vorrichtung zum aufbringen ultraduenner schichten auf ein substrat. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum aufbringen ultraduenner schichten auf ein substrat.

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Semyon Needham Ma 02192 Us Kisler
William J. Belmont Ma 02178 Us Timson
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    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
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    • B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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