DE60217350T2 - Entfernung elektrischer ladung von einer dosis - Google Patents

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Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur schnellen Neutralisierung eines erzeugten elektrostatischen Feldes, gebildet durch eine Vielzahl von im Wesentlichen geladenen Teilchen, welche ein Medikationspulver umfassen, das auf einem definierten Zielbereich eines Substratelements in einem Vorgang zum Bilden einer vorabgemessenen Dosis, die zur Inhalation geeignet ist, abgelegt ist.
  • Hintergrund
  • Die Dosierung von Medikamenten wird heutzutage im Gesundheitsdienst in einer Anzahl von unterschiedlichen Arten ausgeführt. Bei der Gesundheitspflege besteht ein schnell wachsendes Interesse an der Möglichkeit, Medikamente mittels eines Inhalators als ein Pulver direkt in die Atemwege und Lungen eines Patienten zu dosieren, um eine wirksame, schnelle und anwenderfreundliche Verabreichung solcher Substanzen zu erhalten.
  • Ein Trockenpulverinhalator, DPI, stellt eine Vorrichtung dar, die zur Verabreichung von Pulver in die tiefen oder oberen Lungenatemwege durch orale Inhalation gedacht ist. Eine Ablagerung tief in der Lunge ist für eine systemische Abgabe von Medikamenten erwünscht, aber für eine lokale Behandlung der Atemwege ist das Ziel eine lokale Ablagerung, nicht tief in der Lunge. Unter tief in der Lunge sind die periphere Lunge und die Lungenbläschen zu verstehen, wo ein direkter Transport einer aktiven Substanz in das Blut stattfinden kann. Damit ein Teilchen die tiefe Lunge erreichen kann, sollte die aerodynamische Teilchengröße typischerweise geringer als 3 μm sein, und für eine lokale Abgabe in der Lunge typischerweise geringer als 5 μm. Größere Teilchengrößen bleiben leicht im Mund und Hals stecken, was die Wichtigkeit unterstreicht, die Teilchengrößenverteilung der Dosis innerhalb enger Grenzen zu halten, um sicherzustellen, dass ein hoher Prozentsatz der Dosis tatsächlich beim Inhalieren in der tiefen Lunge abgelagert wird, wenn das Ziel eine systemische Abgabe eines Medikaments ist. Außerdem muss die Einatmung in einer ruhigen Weise erfolgen, um die Luftgeschwindigkeit zu verringern und somit die Ablagerung im oberen Atemtrakt zu verringern.
  • Um die systemische Abgabe von Medikationspulvern in die tiefe Lunge durch Inhalation erfolgreich durchzuführen, müssen einige Kriterien erfüllt werden. Es ist z. B. sehr wichtig, eine hohe Dosierungsgenauigkeit bei jeder Verabreichung an den Anwender zu erhalten. Ein sehr hoher Grad an Deagglomeration des Medikationspulvers ist ebenfalls von großer Wichtigkeit. Dies ist bei den derzeitigen Trockenpulverinhalatoren ohne spezielle Anordnungen, wie z. B. einen sog. Zwischenstück, nicht möglich.
  • Pulver für Inhalatoren haben die Neigung, zu agglomerieren, mit anderen Worten zu klumpen oder kleinere oder größere Klumpen zu bilden, die dann deagglomieriert (getrennt) werden müssen. Deagglomeration wird als Aufbrechen von agglomeriertem Pulver durch Einleiten elektrischer, mechanischer oder aerodynamischer Energie definiert. Üblicherweise wird die Deagglomeration in zumindest zwei Stufen durchgeführt: Stufe eins geschieht im Vorgang der Ablagerung des Pulvers, während die Dosis aufgebaut wird, und Stufe zwei geschieht im Vorgang der Verteilung des Pulvers während des Einatmens des Patienten durch den DPI.
  • Der Begriff Elektropulver bezieht sich auf ein fein verteiltes Medikationspulver, das geregelte elektrische Eigenschaften aufweist, die für die Verabreichung mittels eines Inhalators geeignet sind. Solch ein Elektropulver bietet Möglichkeiten für eine bessere Dosierung aus dem Gerät unter Verwendung einer Technik zur elektrischen Feldsteuerung, wie in unserem US-Patent Nr. 6,089,227 sowie unseren schwedischen Patenten Nr. 9802648-7 und 9802649-5 offenbart, welche eine ausgezeichnete Dosierungsleistung bei der Inhalation bietet. Der Stand der Technik offenbart außerdem eine Anzahl von Lösungen zum Ablagern von Pulver zur Dosierung. Die internationale Anmeldung WO 00/22722 zeigt einen elektrostatischen Halter mit Sensorelektroden mit abgestimmter Oberfläche. Das US-Patent Nr. 6,063,194 offenbart eine Pulverablagerungsvorrichtung zum Ablagern von Körnern auf einem Substrat unter Verwendung eines elektrostatischen Halters mit einer oder mehreren Sammelzonen und einer optischen Erfassung zum Messen der Menge der abgelagerten Körner. US-Patent Nr. 5,714,007 und US-Patent Nr. 6,007,630 offenbaren eine Vorrichtung zum elektrostatischen Ablagern eines Medikationspulvers auf vorbestimmten Bereichen eines Substrats, wobei die Substrate verwendet werden, um Zäpfchen, Inhalationsstoffe, Tablettenkapseln und dergleichen herzustellen. Im US-Patent Nr. 5,699,649 und US-Patent Nr. 5,960,609 werden Abmessungs- und Verpackungsverfahren und Vorrichtungen für Arzneimittel und Heilmittel gezeigt, wobei die Verfahren eine elektrostatische Phototechnologie verwenden, um Mengen von feinen Pulvern im Mikrogrammbereich in Form einzelner Kapseln und Tabletten abzupacken.
  • Eine häufige Schwierigkeit, auf die man trifft, wenn eine elektrostatische Technik und/oder elektrische Felder in Kombination mit elektrostatischer Ladung der Pulverteilchen in einem Ablagerungsvorgang verwendet werden, ist die Neutralisierung des erzeugten elektrostatischen Feldes, das durch die Vielzahl der abgelagerten Teilchen und die Ladung des Substrats gebildet wird, wenn ein Isolator, wenn die Teilchen auf dem Substrat zum Bilden der Dosis abgelagert werden, verwendet wird. Wenn die Neutralisierung der Ladungen unvollständig ist oder zu lange dauert, wird dies die Ausbildung der Dosis nega tiv beeinflussen, indem die bereits abgelagerten geladenen Teilchen ein lokales, abstoßendes elektrisches Feld darstellen, das dazu neigt, neu angezogene Teilchen daran zu hindern, sich auf dem Zielbereich des Substrats abzusetzen, und Neuankömmlinge dazu zwingt, sich an den Randgebieten des Zielbereichs abzusetzen. Das abstoßende Feld nimmt an Stärke zu, je mehr Teilchen auf dem Zielbereich abgelagert werden. Schließlich ist das Feld so stark, dass eine weitere Ablagerung nicht möglich ist, sogar wenn die Nettofeldstärke in einiger Entfernung von dem Zielbereich eine Anziehungskraft auf die geladenen Teilchen ausübt.
  • In Fällen, in denen elektrostatische Halter verwendet werden, ist es, ungeachtet dessen, ob das Haltersubstrat, normalerweise aus einem dielektrischen Material, in dem Ablagerungsbereich oder den Ablagerungsbereichen vorgeladen ist, um das notwendige lokale elektrische Feld in dem Zielbereich/den Zielbereichen zu erzeugen, oder ein System von Elektroden verwendet wird, um die geladenen Teilchen anzuziehen, oder ob eine Kombination von Vorladung und Elektroden verwendet wird, immer schwierig, den Zielbereich mit der richtigen Anzahl von Teilchen zu füllen, da das abstoßende Feld mit jedem abgelagerten Teilchen stärker wird, was zu einer Verteilung der Teilchen über einen größeren Bereich als den vorgesehenen Zielbereich führt. Dies ist auch zutreffend, wenn die Zielbereiche, die Ablagerungsbereiche, aus Kügelchen sind, die von dem Halter durch z. B. elektrostatische Kraft während der Ablagerung von Teilchen auf die Kügelchen selbst eingefangen und gehalten werden. Es ist somit häufig nicht möglich, Dosen mit ausreichender Masse und geeigneter räumlicher Form auszubilden. Häufig erfordert das Halterprinzip auch Pulver mit vorbestimmter oder bekannter spezifischer Ladung (μC/g), um die Masse der Teilchen, die am Halter angezogen werden, vorauszusagen, was per se eine große Herausforderung darstellt.
  • Ferner erreichen die Vorrichtungen des Standes der Technik selten einen ausreichend hohen Grad an Deagglomeration, und eine exakte Dosis mit einer niedrigen relativen Standardabweichung (RSD) zwischen den Dosen wird nicht gut gesteuert. Dies ist teilweise Schwierigkeiten bei der Steuerung der Fließbandparameter während der Herstellung der Dosen, teilweise auch Schwächen bei der Konstruktion der Inhalatorvorrichtung geschuldet, welche es erschweren, die behördlichen Anforderungen zu erfüllen. Die Schwierigkeiten lassen vieles zu wünschen übrig, wenn es um Dosiskonformität und Wirkungsgrad der Ablagerung in der Lunge der Medikationssubstanz geht. Deshalb gibt es immer noch einen Bedarf für vorfabrizierte, hoch genaue und vorabgemessene Dosen, die in eine Inhalatorvorrichtung eingelegt werden, die dann eine wiederholte und genaue systemische oder lokale pulmonale Abgabe der Dosen, die durch Inhalation verabreicht werden, sicherstellt.
  • Zusammenfassung
  • Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur schnellen Neutralisierung eines erzeugten elektrostatischen Feldes, gebildet durch eine Vielzahl von im Wesentlichen geladenen Teilchen, die ein Medikationspulver enthalten, das auf einem definierten Zielbereich eines Substratelements im Laufe eines Dosis bildenden Vorgangs abgelegt wird, wird definiert.
  • Eine Ladungsquelle oder ein Ladungsgenerator, nicht zu verwechseln mit dem Teilchengenerator, ist so angeordnet, dass die ausgegebenen Ladungen, positiv oder negativ oder beides, in Richtung zum Zielbereich des Substratelements gerichtet sind, so dass das elektrische Feld, das von den sich ansammelnden Ladungen von einer Vielzahl von Teilchen erzeugt wird, durch die hinzugefügten Ladungen neutralisiert wird. Verschiedene Möglichkeiten, z. B. Koronaeffekt, Induktionseffekt oder Tribo-Effekt, können verwendet werden, um ausgleichende Ladun gen zu erzeugen, aber in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel hat es sich herausgestellt, dass eine Ionenquelle bei der Erreichung einer Neutralisierung der Dosisladung und des Substrats am effektivsten ist. Das gewählte Verfahren oder die gewählte Vorrichtung ist so ausgewählt, dass es/sie das Pulversubstrat nicht anderweitig beeinträchtigt, sondern nur die elektrischen Ladungen neutralisiert.
  • Die Quelle wird so angelegt, dass die Dosis und der Zielbereich den ausgegebenen Ladungen während des ganzen Dosis bildenden Vorgangs oder eines Teils davon ausgesetzt sind. Alternativ kann die Quelle außerhalb des Bereichs des Zielbereichs angeordnet sein, so dass das Substratelement mit dem Zielbereich oder sogar die Quelle selbst von einer Servovorrichtung neu positioniert werden, wenn eine Neutralisierung der angesammelten Ladung in der Dosis erforderlich ist. Für beste Ergebnisse ist es notwendig, eine Quelle mit geeigneter Stärke zu wählen und eine geeignete Siebung vorzusehen, um die Ladungen in Richtung zur Dosis oder, wenn der Zielbereich größer als der Bereich ist, in dem die Dosis ausgebildet wird, in Richtung zu dem Teil der Dosis, wo die Ablagerung stattfindet, zu richten.
  • Die Herstellung des elektrischen Kontakts mit der Elektrode hinter dem Zielbereich auf dem Substratelement ist manchmal wegen der physikalischen Anforderungen an das Substratelement durch die Servovorrichtung und das Steuersystem schwierig. Einschränkungen können hinsichtlich der annehmbaren Materialien, physikalischer Implementierungen usw. existieren, was es schwierig oder unmöglich macht, Standardverfahren zur Herstellung eines elektrischen Kontakts zu nutzen. Die vorliegende Erfindung bietet eine kontaktlose elektrische Verbindung unter Verwendung noch einer weiteren Ionenquelle, die hinter dem Substratelement liegt. Die Ionenquelle ionisiert das Gas, normalerweise Luft, zwischen der Elektrode und der Servovorrich tung, welche die Bewegungen des Substratelements steuert. Wenn eine Spannungsquelle angeordnet ist, welche den Ionenquellenträger mit einer geeigneten Spannung versorgt, dann wird die Spannung ebenfalls als ein Potenzial auf der Elektrode erscheinen, ohne einen zu starken Spannungsverlust. Auf diese Weise wird die Elektrode in den Schaltkreis integriert und arbeitet wie vorgesehen, um Pulverteilchen zum Zielbereich anzuziehen.
  • Ein Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung wird durch den unabhängigen Anspruch 1 dargelegt und weitere Ausführungsbeispiele des Verfahrens sind durch die abhängigen Ansprüche 2 bis 8 dargelegt. Eine Vorrichtung zum Entfernen von Ladungen wird durch den unabhängigen Anspruch 9 dargelegt und weitere Ausführungsbeispiele werden durch die abhängigen Ansprüche 10 bis 17 definiert.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die Erfindung und ihre weiteren Ziele und Vorteile werden besser verständlich, indem man auf die folgende genaue Beschreibung in Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen verweist, in denen:
  • 1 im Prinzip darstellt, wie die Ablagerung von geladenen Teilchen auf den Zielbereich des Substratelements wegen des zunehmenden abstoßenden elektrischen Feldes, das durch die angesammelte Ladung der Vielzahl von bereits abgelagerten Teilchen entsteht, mehr und mehr schwierig und unregelmäßig wird;
  • 2 im Prinzip ein erstes Ausführungsbeispiel einer Irisblende/Verschlussblende mit nur einer Elektrode darstellt, wobei gezeigt wird, wie geladene Teilchen vom Teilchengenerator zum Zielbereich des Substratelements übertragen werden;
  • 3 das gleiche Ausführungsbeispiel wie 2 zeigt, wobei aber die Übertragung von Teilchen durch ein abstoßend wirkendes elektrisches Feld von der Elektrode der Irisblende/Verschlussblende verhindert wird;
  • 4 im Prinzip ein zweites Ausführungsbeispiel einer Irisblende/Verschlussblende mit zwei Elektroden darstellt, wobei gezeigt wird, wie geladene Teilchen vom Teilchengenerator zum Zielbereich des Substratelements übertragen werden;
  • 5 ein typisches Ausführungsbeispiel einer Irisblende/Verschlussblende mit zwei Elektroden darstellt;
  • 6 im Prinzip ein drittes Ausführungsbeispiel einer Irisblende mit vier Elektroden darstellt, wobei gezeigt wird, wie geladene Teilchen vom Teilchengenerator zum Zielbereich des Substratelements übertragen werden, das während der Ausbildung der Dosis von einer Servovorrichtung bewegt werden kann;
  • 7 im Prinzip eine Seite einer typischen Irisblende darstellt, wobei eine zweite Elektrode gezeigt ist;
  • 8 im Prinzip eine Seite einer typischen Irisblende darstellt, wobei eine erste Elektrode gezeigt ist;
  • 9 im Prinzip eine Irisblende mit zwei Elektroden, eine Dosis, die auf dem Zielbereich des Substratelements ausgebildet wird, und zwei Ionenquellen zum Entfer nen der angesammelten Ladung in der gerade gebildeten Dosis darstellt;
  • 10 im Prinzip eine Irisblende mit zwei Elektroden, eine Dosis, die auf dem Zielbereich des Substratelements ausgebildet wird, eine Servoanordnung zum Bewegen des Substratelement in Bezug auf die Irisblende und zwei Ionenquellen zum Entfernen der angesammelten Ladung in der gerade gebildeten Dosis darstellt;
  • 11 wenn man sie zusammen mit 10 betrachtet, im Prinzip ein Substratelement in der Form einer sich drehenden Kassette mit mehr als einem Zielbereich darstellt, wobei Dosen auf den Zielbereichen ausgebildet werden, und eine Ionenquelle zum Entfernen der angesammelten Ladungen – eine nach der anderen – in der gerade gebildeten Dosis; und
  • 12 schematisch ein Substratelement, eine Irisblende, eine Dosis während des Ausbildens und eine Ionenquelle darstellt, die hinter dem Substratelement die dritte Spannungsquelle mit der dritten Elektrode ohne physikalischen Kontakt verbindet.
  • Beschreibung der Erfindung
  • Ein Verfahren und eine Vorrichtung mit einer Ladungsquelle werden offenbart, für eine schnelle Neutralisierung eines erzeugten elektrostatischen Feldes, gebildet durch eine Vielzahl von geladenen Teilchen eines Medikationspulvers, das auf einem definierten Zielbereich eines Substratelements im Verlauf eines Dosis bildenden Vorgangs abgelagert wird. Die räumliche Verteilung der Teilchen auf dem Zielbereich oder Dosisbett wird mittels einer elektrodynamischen Feldtechnik erreicht, die bei der Verteilung und Ablagerung von Teilchen in einem Dosis bildenden Vorgang eingesetzt wird. Der Begriff „elektrodynamische Feldtechnik" im Kontext dieses Dokuments bezieht sich auf das effektive elektrische Feld in vier Dimensionen, Raum und Zeit, entstehend aus im Hinblick auf Zeitablauf, Frequenz und Amplitude gut gesteuerten Potenzialen, die an einer Anzahl von Elektroden angelegt werden, die an geeigneten Positionen in dem Raum, der durch eine Dosisbildungsvorrichtung begrenzt wird, liegen. Der Begriff „quasistationäres elektrisches Feld" wird in diesem Kontext verwendet, um eine elektrisches Feld oder elektrische Felder zu beschreiben, die von Spannungsquelleneinrichtungen mit gesteuerter Impedanz, die alle Teil eines Steuersystems sind, gesteuert werden, wobei die angelegten Spannungen frei und einzeln wählbar in dem Niederfrequenz-Zeitbereich gesteuert werden können.
  • Um das Verständnis zu erleichtern, wo und wie Spannungen angelegt werden, wird für alle Spannungen angenommen, dass sie sich im gesamten Dokument auf das Erdungspotenzial beziehen. Natürlich kann das Erdungspotenzial gegen ein frei wählbares Potenzial ausgetauscht werden, wenn die Erfindung eingesetzt wird, und es wird für einen Fachmann auf dem Gebiet ersichtlich sein, dass jedes einzelne Potenzial oder jede einzelne Spannung sich auf ein anderes Potenzial oder eine Spannungsquelle beziehen kann, z. B. um ein Steuersystem zu vereinfachen oder zu verbessern, ohne vom Umfang der Erfindung, wie sie in den beigefügten Ansprüchen definiert ist, abzuweichen.
  • Ein Teilchengenerator ist vorgesehen, der entweder positiv und/oder negativ geladene Teilchen durch Korona-, Reibungs- oder Induktionsladung erzeugt. Die geladenen Teilchen werden vom Generator in eine gesteuerte Atmosphäre, normalerweise Luft, ausgegeben, wo sie in ein elektrisches Feld eintreten, das von geeignet angeordneten Elektroden mit geeigneten Potenzialen, geliefert von gesteuerten Spannungen aus geeigneten Spannungsquellen, erzeugt wird. Zumindest eine der Elektroden umfasst eine elektrische Irisblende/Verschlussblende. Die Irisblende/Verschlussblende weist zumindest eine Öffnung mit geeigneter Größe und Form auf, durch die Teilchen hindurchtreten können, und ist zwischen dem Teilchengenerator und dem Substrat angeordnet. In einem typischen Ausführungsbeispiel umfasst die Irisblende zwei Elektroden mit einem dünnen isolierenden Waferelement dazwischen, und eine einzelne Öffnung durch die Irisblende. Die Elektroden und das isolierende Waferelement sind typischerweise aus einer gedruckten Leiterplatte (PCB) mit einer Oberseite und einer Unterseite gefertigt. Die Elektrode (per Definition die oberseitige), die am nächsten zum Substratelement liegt, ist typischerweise kreisförmig und konzentrisch zur Öffnung, während die andere Elektrode (per Definition die unterseitige) am nächsten zum Teilchengenerator liegt und die untere Seite der PCB vollständig bedecken kann. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist das Substratelement umgedreht über dem Teilchengenerator angeordnet, so dass die elektrostatische Nettokraft, die auf die ausgegebenen geladenen Teilchen wirkt, nach oben gerichtet ist, wobei sie während des Ausbildens der Dosis der Schwerkraft entgegenwirkt. Auf diese Weise können keine großen oder schweren Teilchen durch Zufall nur unter dem Einfluss der Schwerkraft auf den Zielbereich gelangen. Die an den Elektroden der Irisblende steuert/geregelt, das nicht Teil der Erfindung ist. Die Potenziale werden vorzugsweise auf eine bestimmte Weise während des Verlaufs des Dosis-Formgebungsvorgangs variiert, so dass die Dosis die zugedachten Eigenschaften erhält. Während der Transfer der Teilchen vom Generator durch die Irisblende zum Zielbereich des Substratelements stattfindet, ist das Potenzial, das der oberen Elektrode der Irisblende zugeführt ist, typischerweise einige hundert Volt, positiv oder negativ, um geladene Teilchen anzuziehen. Die Elektrode an der Unterseite wird typischerweise mit einem Potenzial zwischen Null und einigen Duzend Volt versorgt, um die geladenen Teilchen leicht abzustoßen und beim Führen der Teilchen durch die Irisblende mitzuhelfen. Die von der Öffnung an der Oberseite der Irisblende austretenden Teilchen treten in das anziehende Feld ein, das von der Elektrode hinter dem Zielbereich des Substratelements ausstrahlt. Die anziehende Elektrode wird typischerweise mit einem Potenzial zwischen 500 und 2000 V versorgt. Die austretenden Teilchen bewegen sich deshalb weiterhin auf ihrem Pfad in der Richtung des Zielbereichs. Während des Dosis bildenden Vorgangs kann der Transfer der Teilchen durch das Steuersystem unterbrochen werden, was ein stark abstoßendes elektrisches Feld innerhalb der Irisblende verursachen kann, indem geeignete entgegengesetzte Potenziale zu den Elektroden zugeführt werden, so dass keine geladenen Teilchen durch die Öffnung der Irisblende hindurchtreten können.
  • Um die Einschränkungen des Standes der Technik hinsichtlich gesamter Dosismasse und eine schlechte räumliche Steuerung der Dosisanordnung zu beseitigen, ist es sehr wichtig, eine schnelle und effiziente Neutralisierung der Ladungen von den geladenen Pulverteilchen und von dem Zielbereich des Substrats, d. h. dem Dosisbett, zu erreichen, wodurch das abstoßende Feld von der Dosis während der Bildung eliminiert wird. Verschiedene Verfahren, z. B. Korona-, Induktions- und Tribo-Effekt, können verwendet werden, um ausgleichende Ladun gen zu erzeugen, aber in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird eine sehr schnelle Neutralisierung erreicht, indem z. B. eine Quelle mit positiv geladenen Heliumionen, so genannten Alphateilchen, nahe dem Substrat angeordnet wird, so dass die ausgegebenen Ionen in Richtung zur Dosis und dem Zielbereich des Substrats ausgerichtet sind. Die ausgegebenen Ionen ionisieren die Luft und die daraus entstehenden Sauerstoff- und Stickstoffionen mit sowohl positiver als auch negativer Ladung können zur Dosis und zum Substrat angezogen werden, wobei einige von ihnen auf die Dosis und das Substrat treffen und sich verbinden werden, wodurch die angesammelten Ladungen in dem Vorgang neutralisiert werden. Für beste Ergebnisse ist es natürlich notwendig, eine Ionenquelle mit geeigneter Stärke zu wählen und eine passende Siebung vorzusehen, um die Ladungen in Richtung zur Dosis oder, wenn der Zielbereich größer als der Bereich ist, in dem die Dosis ausgebildet wird, in Richtung zu dem Teil der Dosis, wo die Ablagerung stattfinden, zu richten.
  • Durch sofortige Neutralisierung der Teilchenladung, d. h. innerhalb eines Bruchteils einer Sekunde, sobald das Teilchen auf dem Substrat abgelagert ist, wird der negative Einfluss von der Teilchenladung auf die ankommenden Teilchen beseitigt. Die räumliche Ablagerung der Teilchen wird somit stark verbessert, wobei sich keine Teilchen außerhalb des Zielbereichs absetzen, da die Summe der Ladungen am Dosisbett und der Dosis, die insgesamt gebildet wird, ständig auf diese Weise entfernt wird, wodurch ein verzerrendes, abstoßendes elektrisches Feld nicht entstehen kann. In einem typischen Ausführungsbeispiel der Erfindung wird die angesammelte Ladung innerhalb der Dosis und des Dosisbetts während des Dosis bildenden Vorgangs, wie beschrieben, ständig entfernt. Wenn die Ionenquelle nicht angeordnet und ausgesiebt werden kann, um neutralisierende Ladungen direkt zur Dosis oder dem Zielbereich hinzuzufügen, kann die Dosis durch einen Servomechanismus innerhalb des Be reichs einer Ionenquelle gebracht werden, oder umgekehrt, so dass die angesammelte Ladung zumindest einmal und vorzugsweise zumindest mehrere Male während der Ausbildung der Dosis entfernt wird. Es ist auch typisch, dass das Substratelement die Ionenquelle passieren muss, um jegliche Restladung vom Zielbereich zu entfernen, bevor ein Dosis bildender Vorgang beginnt.
  • Das Elektropulver bildet eine aktive Trockenpulversubstanz oder Trockenpulver-Medikationsrezeptur mit einem Feinpartikelanteil (FPF) in der Größenordnung von 50 % oder mehr der Pulvermasse mit einer aerodynamischen Teilchengröße unter 5 μm und bietet elektrostatische Eigenschaften mit einer absoluten spezifischen Ladung pro Masseeinheit in der Größenordnung von 0,1 bis 25 μC/g nach der Ladung, und verfügt über eine Ladungsabfallraten-Konstante Q50 von mehr als 0,1 s, eine Klopfdichte von weniger als 0,8 g/ml und eine Wasseraktivität aw von weniger als 0,5.
  • Der Dosis bildende Vorgang wird am besten unter Bezugnahme auf 2 als ein darstellendes Beispiel verstanden. Der Teilchengenerator 110, nicht zu verwechseln mit der genannten Ionenquelle, gibt Teilchen 101 aus, die durch Korona-, Reibungs- oder Induktionsladung mit einer positiven oder negativen Ladung versehen sind, woraufhin die Teilchen in ein eingeprägtes erstes elektrisches Feld 120 eintreten. Die Art der Ladung der Teilchen hängt von den Pulvereigenschaften, dem Ladeverfahren und den Materialen in dem Generator ab, so dass die Mehrzahl der Teilchen entweder negativ oder positiv geladen ist, wenn sie vom Generator ausgegeben werden, um am Dosis bildenden Vorgang teilzunehmen. In der nachfolgenden Diskussion und in den Zeichnungen wird davon ausgegangen, dass die ausgegebenen Teilchen positiv geladen sind. Jedoch hängt dies von den Eigenschaften des Pulvers und dem Generator ab und es ist gleichfalls möglich, dass die Teilchen negativ geladen sind, wobei in diesem Fall die angelegten Potenziale ihre Polarität wechseln müssen, aber die Diskussion ist weiterhin gültig. Um den Dosis bildenden Vorgang im Hinblick auf Gesamtdosismasse und Dosisbildungszeit zu steuern, muss der Transfer der geladenen Teilchen vom Teilchengenerator zum Zielbereich des Substratelements gesteuert werden. Zu diesem Zweck wird ein erstes elektrisches Feld zwischen Masse 133 und einer ersten Elektrode 130, die mit einer ersten Spannungsquelle 135 mit einer Spannungsimpedanz 136 verbunden ist, angelegt. Die Elektrode ist vorzugsweise in kurzer Entfernung im Bereich von 0,5 bis 25 mm vom Substratelement 140 zwischen dem Teilchengenerator 110 und dem Substratelement 140 angeordnet. Die Stärke und Richtung des erzeugten elektrischen Feldes 120 kann eingestellt werden, indem das Potenzial der Elektrode innerhalb weiter Grenzen von einer negativen zu einer positiven Spannung, die von der Spannungsquelle festgelegt wird, eingestellt wird. Geladene Teilchen werden dabei entweder zur ersten Elektrode angezogen (siehe 2) oder von dieser abgestoßen (siehe 3), wobei die Elektrode zumindest eine Öffnung 150 mit geeigneter Größe und Form aufweist, durch welche die geladenen Teilchen hindurchtreten können. Solche Öffnungen können kreisförmig, elliptisch, rechteckig oder schmale Schlitze sein oder jede andere Form haben, um für den Dosis bildenden Vorgang zu passen. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel liegt/liegen die Öffnung bzw. die Öffnungen im Bereich von 50 bis 5000 μm als Hauptausmaß. Jedoch können Teilchen, die von der ersten Elektrode angezogen werden, leicht an dieser anhaften, was den Wirkungsgrad des Systems beeinträchtigt und eine häufige Reinigung erforderlich machen kann.
  • Um die Haftwirkung zu beseitigen und das Niveau der Steuerung des Transfers von Teilchen zum Zielbereich des Substratelements weiter zu verbessern, kann eine optionale zweite Elektrode 230, wie in 4 dargestellt, eingeführt werden. Sie sollte in einer Ebene parallel zur ersten Elektrode 130 angeordnet werden, zwischen der ersten Elektrode und dem Substrat in einer Entfernung zwischen 0,07 und 2,5 mm von der ersten Elektrode. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel, das in 5 dargestellt ist, sind die erste und die zweite Elektrode in ein isolierendes Waferelement 171 zwischen den Elektroden integriert. Die äußeren Flächen der Elektroden sind vorzugsweise mit einer isolierenden Beschichtung 172 mit einer Dicke von wenigen Mikron beschichtet, z. B. mit Parylen, um einen möglichen Kurzschluss der Elektroden durch anhaftende Teilchen zu verhindern. Die Dicke des Wafers liegt typischerweise im Bereich zwischen 0,07 bis 2 mm. Als ein erläuterndes Beispiel können die Elektroden und das Waferelement als eine gedruckte Leiterplatte bzw. Platine ausgebildet sein. Es gibt viele Arten, die im Handel erhältlich sind, z. B. in Bezug auf Anzahl der möglichen Leiterschichten, physikalischer Flexibilität und Dicke.
  • Das Waferelement 171 bildet eine physikalische Sperrschicht zwischen dem Teilchengenerator 110 und dem Substrat 140 mit dem Dosisbett, welches der Zielbereich 160 für die Ablagerung der geladenen Teilchen 102 ist. Der Abstand zwischen der/den oberen Elektrode(n) auf der Oberseite des Waferelements und dem Substrat liegt im Bereich zwischen 0,5 und 25 mm. Die einzige Möglichkeit für die Teilchen, das Dosisbett zu erreichen, ist somit, durch die verfügbaren Öffnungen der ersten und zweiten Elektrode und möglichen zusätzlichen Elektroden, soweit vorhanden, hindurchzutreten.
  • Ein weiteres drittes elektrisches Feld 320 ist zwischen Masse 133 und einer dritten Elektrode 330, die mit einer dritten Spannungsquelle 335 verbunden ist, eingerichtet. Es ist möglich, die dritte Spannungsquelle auf die Ausgabe der ersten oder zweiten Elektrode an Stelle von Masse zu beziehen, um die Steuerung des Ablagerungsvorgangs zu vereinfachen. Die dritte Elektrode liegt vorzugsweise in enger Nähe hinter dem Substratelement 140 und dem Dosisbett 160, so dass die elektri schen Feldlinien durch das Dosisbett in der Richtung des Teilchengenerators 110 verlaufen. Das Substratelement kann aus einem dielektrischen oder halbleitenden Material oder auch einem leitenden Material oder einer Kombination verschiedener solcher Materialien gefertigt sein. In dem Fall, wenn das Material in dem Dosisbett leitend ist, kann das Dosisbett die dritte Elektrode darstellen. Die Stärke und die Richtung eines daraus folgenden dritten elektrischen Felds 320 können durch Einstellen des Potentials der dritten Elektrode innerhalb weiter Grenzen von einer negativen zu einer positiven Spannung, wie es von der dritten Spannungsquelle festgelegt wird, wenn sie mit der Elektrode verbunden ist, eingestellt werden, so dass die geladenen Teilchen entweder in Richtung zur dritten Elektrode oder von dieser weg transportiert werden.
  • Geladene Teilchen 101, die vom Generator 110 ausgegeben werden, treten in das kombinierte elektrische Feld ein, das sich aus den jeweils an der ersten, der zweiten und der dritten Elektrode angelegten Potentialen ergibt. Die erste Elektrode allein wirkt als eine elektrische Irisblendenvorrichtung 170 und die Zugabe der optionalen zweiten Elektrode verbessert den Wirkungsgrad der Vorrichtung erheblich. Ein typisches Ausführungsbeispiel der elektrischen Irisblende ist in 7 und 8 dargestellt, welche jeweils die Oberseite und die Unterseite zeigen. Die zumindest eine Elektrode, welche die Irisblende bildet, überträgt geladene Pulverteilchen 101, die vom Generator ausgegeben werden, zum Zielbereich 160 auf dem Substratelement in einer gesteuerten geordneten Weise in Bezug auf Masse, Richtung und Geschwindigkeit, wie ein Tintenstrahldrucker. Nach Passieren der Irisblende 170 werden die Teilchen im dritten elektrischen Feld, das eine Wechselstromkomponente aufweisen kann, in der Richtung des Zielbereichs des Substratelements, d. h. dem Dosisbett 160, unter der anziehenden Feldkraft beschleunigt, die von dem dritten Feld verursacht wird, welches von der dritten Elektrode hinter dem Dosisbett aus strahlt. Das Bett kann feststehend sein oder sich während der Verteilung der Teilchen bewegen. Durch Anwendung eines Servomechanismus 190, der schematisch in 6 gezeigt ist, kann die Ablagerung der Teilchen so gesteuert werden, dass die räumliche Verteilung der Teilchen auf dem Dosisbettbereich beliebig gesteuert werden kann.
  • Um zu verhindern, dass Teilchen wegen des lokalen abstoßenden elektrischen Felds, das von den Ladungen der bereits abgelagerten Teilchen ausstrahlt, zufällig innerhalb oder sogar außerhalb des Zielbereichs abgelagert werden, muss das erzeugte elektrostatische Feld während des Dosis bildenden Vorgangs neutralisiert werden. In diesem Fall bauen sich keine signifikanten lokalen abstoßenden elektrischen Felder auf, welche das dritte elektrische Feld verzerren und seine Anziehungskraft schwächen könnten, was zu einer Verteilung der ankommenden geladenen Teilchen führt. Wenn Ladungen, die sich in der Dosis und im Dosisbett ansammeln, häufig neutralisiert werden, bewegen sich neue Teilchen automatisch vom Ausgang der Irisblende zum nächsten Punkt des Dosisbetts, so dass eine scharfe Abgrenzung zwischen der gebildeten Dosis und den umgebenden Bereichen des Substrats vorhanden ist.
  • Das Problem, das durch das erzeugte abstoßende Feld, verursacht durch die angesammelten geladenen Teilchen, repräsentiert wird, ist in 1 gezeigt. Im Wesentlichen geladene Pulverteilchen 101 (positiv oder negativ, positive Ladung ist in 1 angenommen) werden von einem elektrischen Feld 120 durch eine Irisblende 170 und dann von einem Feld 320 in Richtung zum Zielbereich 160 des Substratelements 140 transportiert, wo sich die Teilchen 102 ablagern, um die Dosis 180 zu bilden. Je mehr Teilchen sich ablagern, desto weniger freier Platz ist für neue Teilchen verfügbar. Die angesammelten geladenen Teilchen erzeugen ein lokales elektrisches Feld, welches eine Kraft 421 ausübt, welches wiederum Neuankömmlinge 102 ab stößt, was einige 103 dazu zwingt, sich außerhalb des Zielbereichs niederzulassen oder auf den Wänden der Dosisbildungsvorrichtung haften zu bleiben und dort verschwendet zu werden. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird Elektropulver verwendet, aber andere Medikationspulver können angewandt werden, was für die Fachleute auf dem Gebiet einfach erkennbar ist.
  • Ein Schlüsselelement der Erfindung ist schematisch in 9, 10 und 11 gezeigt, d. h. das Element, welches die angesammelte Ladung der Teilchen, die auf dem Dosisbett abgelagert sind, neutralisiert. Verschiedene Verfahren, z. B. Korona-, Induktions- und Tribo-Effekt, können verwendet werden, um Ladungen zu neutralisieren, aber in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel hat sich eine radioaktive Quelle 195 mit Alphateilchen (positiv geladenen Heliumatomen) als am wirksamsten herausgestellt. Diese Quellen sind im Handel einfach erhältlich, z. B. von NRD LLC, Grand Island, N.Y., und werden insbesondere verwendet, um elektrisch geladene Teile zu entladen. Die Alphateilchen sind einheitlich in alle Richtungen von z. B. einer punktförmigen Quelle verteilt und ionisieren die umgebende Luft, wodurch sowohl positive als auch negative Ionen erzeugt werden. Die neuen Ionen werden von entgegengesetzt geladenen Teilchen und anderen geladenen Objekten in der Nähe angezogen und verbinden sich, um reguläre Atome zu bilden, wobei sie die überschüssige Ladung der Objekte, mit denen sie kollidieren, nutzen. Der aktive Bereich von der Ionenquelle beträgt nur einige wenige Zentimeter. Es ist sehr einfach, die Alphateilchen innerhalb des aktiven Bereichs zu stoppen, indem man ihnen irgend ein festes Material, wie ein Blatt Papier, in den Weg stellt. Eine bevorzugte radioaktive punktförmige Quelle ist Modell P2042 NuclespotTM, das auf Polonium-210 basiert, aber andere Modelle sind verfügbar, um allen Arten von Anwendungen gerecht zu werden. Polonium-210 wird aktuell verwendet und verfügt über eine lange Erfahrung in allen Industriezweigen, in denen statische Elektrizität ein Problem darstellt. Die Strahlung beeinflusstt das Medikationspulver in keinster Weise, außer der Neutralisierung der Ladung, und hinterlässt keine Rückstände außer den Heliumatomen (Edelgas), die ein Ergebnis der Kollision der Alphateilchen mit Luftmolekülen, die zwei Elektronen von Sauerstoff- oder Stickstoffatomen aufnehmen, darstellen. Bei ihrem Versuch, sich zu verbinden, wird ein Strom von Ionen erzeugt, der geladene Objekte und Oberflächen innerhalb des aktiven Bereichs der radioaktiven punktförmigen Quelle schnell neutralisiert.
  • In einem in 9 dargestellten Ausführungsbeispiel ist es möglich, die Alphateilchen auszurichten, indem zumindest ein Richtungselement 196 so ausgelegt ist, dass es auf den Punkt auf dem Dosisbett deutet, wo die Pulverteilchen 102 abgelegt sind, so dass die Ladung der einzelnen Teilchen sofort nach der Ablagerung neutralisiert wird. In einem anderen Ausführungsbeispiel wird die Ionenquelle 195 außerhalb des Punktes, an dem die Dosis ausgebildet wird, angeordnet, wie in 10 gezeigt. Die vorher erwähnte Servovorrichtung 190 wird nun eingerichtet, um das Substrat 140 mit dem Dosisbett 160 nach einem nur teilweisen Dosis bildenden Vorgang zu entnehmen, bevor zu viele geladene Teilchen 102 abgelagert werden, um die angesammelten Ladungen vom Dosisbett und der Dosis 180 zu neutralisieren, indem die Dosis und das Substrat den von der Quelle ausgegebenen Ionen ausgesetzt werden. Noch ein weiteres Ausführungsbeispiel ist in 11 dargestellt, die eine typische Anordnung zeigt, in der das Substratelement eine Kassette 140 ist, die zumindest einen Zielbereich 160 für die Dosisbildung und eine Ionenquelle, die in Richtung zum Zielbereich ausgerichtet ist, trägt, wobei der Zielbereich die nächste Dosierung in einem wiederholten Ablauf von Dosis bildenden Vorgängen empfängt. Bei allen Ausführungsbeispielen ist es im Allgemeinen notwendig, Siebe 197 vorzusehen, welche Ladungen absorbieren, die ansonsten das Risiko einer Störung der gela denen Teilchen mit sich bringen, die in den elektrischen Feldern transportiert werden, die eingerichtet wurden, um den Transport, die Verteilung und die endgültige Ablagerung der Teilchen in dem Dosis bildenden Vorgang zu steuern.
  • In einem anderen Ausführungsbeispiel können physikalische Beschränkungen in einem Element, das ein oder mehrere Substratelemente, die für Dosen gedacht sind, trägt, vorhanden sein, was es schwierig oder unmöglich macht, eine Kontaktierung einer Elektrode hinter dem Substratelement anzuordnen, was nötig ist, um das dritte elektrische Feld, wie oben erläutert, zu erzeugen. In einem solchen Fall, schematisch in 12 gezeigt, kann vorteilhafterweise eine getrennte Ionenquelle 195 verwendet werden, die einen elektrischen Kontakt mit der dritten Elektrode 330 hinter dem Substratelement 140 ohne tatsächlichen physischen Kontakt herstellt. Die ausgegebenen Alphateilchen ionisieren die Luft, die als ein elektrischer Leiter zwischen der Ionenquelle und der dritten Elektrode, die elektrisch leitend sein muss, wirkt. Die Ionenquelle sollte eine geeignete Größe aufweisen und innerhalb ihres Arbeitsbereichs 0 bis 30 mm von der dritten Elektrode auf der Rückseite des Substratelements angeordnet sein. Wenn die Metallhülle der Ionenquelle mit der dritten Spannungsquelle 335 mit einer wirksamen internen Impedanz 336, die nun die Impedanz des Luftspalts einschließt, verbunden ist, wird ein Teil der angelegten Spannung auch als ein Potential an der dritten Elektrode vorhanden sein, so dass das dritte Feld vollständig gesteuert werden kann.
  • Es ist wichtig anzumerken, dass bei allen praktischen Ausführungsbeispielen der Erfindung die Ablagerung großer Mengen von Pulver kein Problem darstellt, vorausgesetzt, der negative Einfluss des erzeugten elektrostatischen Feldes aus den angesammelten geladenen Teilchen, welche die Dosis darstellen, und der gestreuten Ladungen des Substrats wird neutralisiert, in dem die Ladungen, wie in der vorangegangenen Beschreibung beschrieben, entfernt werden. Dann ist die Feldstärke von der dritten Elektrode ungefähr konstant im gesamten Substrat und der sich entwickelnden Dosis. Der Verteilungsvorgang und die Bildung der Dosis sind nicht empfindlich im Hinblick auf Veränderungen zwischen Teilchen in Gesamtladung oder spezifischer Ladung. Solange ein Teilchen eine Ladung des richtigen Typs aufweist und es schafft, den Aussiebungsvorgang in der Irisblende zu durchlaufen, wird es automatisch auf dem Dosisbett abgelagert werden, solange das Feld existiert. Vorausgesetzt, dass geeignete Messinstrumente verwendet werden, um die Dosis zu überwachen, während sie gebildet wird, ist es einfach, den beschriebenen Dosis bildenden Vorgang online zu steuern, unter Verwendung üblicher Prognose-, Optimalwertsteuerungs- oder Regelungsverfahren, wenn nötig in Kombination.
  • Was im Vorstehenden gesagt wurde, ist nur ein Beispiel, und viele Variationen der offenbarten Ausführungsbeispiele können für einen Durchschnittsfachmann auf dem Gebiet offensichtlich sein, ohne vom Umfang der Erfindung, wie sie in den beigefügten Ansprüchen definiert ist, abzuweichen.

Claims (17)

  1. Verfahren zur schnellen Neutralisierung eines erzeugten elektrostatischen Feldes, gebildet durch eine Vielzahl von im Wesentlichen geladenen Teilchen, welche ein Medikationspulver darstellen, das auf einem definierten Zielbereich eines Substratelements in einem Dosis bildenden Vorgang abgelegt ist, gekennzeichnet durch die Schritte Anlegen einer Vorrichtung mit einer Quelle (195) elektrischer Ladungen, welche positive oder negative oder beide Arten von Ladungen innerhalb eines Bereichs einer Dosis (180), die auf dem definierten Zielbereich des Substratelements (140) ausgebildet ist, ausgibt; Anordnen einer Übertragung von ausgleichenden elektrischen Ladungen zu einer Vielzahl von geladenen Teilchen, die auf dem Zielbereich (160) des Substratelements abgelegt sind, zum Zwecke des Ausgleichs der Ladung in zu bildenden Dosis und außerdem des Ausgleichs von Streuladungen auf der Substratoberfläche.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Schritte Steuern eines Elektrodenpotenzials ohne physikalisches Berühren der Elektrode, Einrichten eines elektrischen Kontakts über einen Luftspalt zwischen einer Elektrode (330) hinter einem Substratelement (140) und einer Spannungsquelle (335) durch Verwenden einer Quelle (195) elektrischer Ladungen zum Ausgeben ausreichender Ladungen in einen Luftspalt, um einen elektrischen Kontakt zwischen einer Elektrode (330) und einer Spannungsquelle (335) herzustellen, was zu einer Quellenimpedanz (336) von weniger als 1 GΩ führt; Verbinden eines gesteuerten Potenzials von der Spannungsquelle durch den Luftspalt zu der Elektrode (330), wodurch ein notwendiges elektrisches Feld erzeugt wird, das von der Elektrode zum Transport der geladenen Teilchen (102) zu dem Zielbereich (160) in dem Dosis bildenden Vorgang ausstrahlt.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch Anordnen einer Ionenquelle (195) als die Quelle der elektrisch neutralisierenden Ladungen und optional Ausstatten der Ionenquelle mit Richtungselementen (196) und Blenden (197).
  4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch Anordnen eines Korona-Ladungsgenerators (195) als die Quelle der elektrisch neutralisierenden Ladungen und optional Ausstatten der Quelle (195) mit Richtungselementen (196) und Blenden (197).
  5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch Anordnen eines Induktions-Ladungsgenerators (195) als die Quelle der elektrisch neutralisierenden Ladungen und optional Ausstatten der Quelle (195) mit Richtungselementen (196) und Blenden (197).
  6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch Anordnen eines Tribo-Ladungsgenerators (195) als die Quelle der elektrisch neutralisierenden Ladungen und optional Ausstatten der Quelle (195) mit Richtungselementen (196) und Blenden (197).
  7. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch Anordnen einer ständigen Übertragung von neutralisierenden Ladungen von einer Quelle der Ladungen (195), gerichtet in Richtung zu einer Vielzahl von geladenen Teilchen (102), die auf dem Zielbereich (160) des Substratelements (140) während eines Dosis bildenden Vorgangs abgelegt sind.
  8. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch Positionieren der Quelle (195) der neutralisierenden Ladungen außerhalb des Bereichs eines Dosis bildenden Bereichs, so dass das Substratelement (140) mit dem definierten Zielbereich (160) und die zu bildende Dosis (180) mittels einer Servovorrichtung (190) innerhalb eines Bereichs der ausgegebenen Ladungen gebracht werden kann, so dass die zu bildende Dosis (180) vorübergehend in eine Position gebracht wird, damit das angesammelte lokale elektrostatische Feld wenigstens einmal während der Bildung der Dosis neutralisiert wird.
  9. Vorrichtung zur schnellen Neutralisierung eines erzeugten elektrostatischen Feldes, gebildet durch eine Vielzahl von hauptsächlich geladenen Teilchen (102), welche ein Medikationspulver darstellen, das auf einem definierten Zielbereich (160) eines Substratelements (140) in einem Dosis bildenden Vorgang abgelegt ist, gekennzeichnet durch eine Quelle (195) elektrisch neutralisierender Ladungen, welche positive oder negative oder beide Arten von Ladungen innerhalb eines Arbeitsbereichs einer Medikationsdosis (180), die auf dem Zielbereich (160) des Substratelements (140) ausgebildet wird, ausgibt; eine mechanische Servovorrichtung (190) zum Übertragen der Ladungen von der Quelle (195) elektrischer Ladungen in die Vielzahl geladener Teilchen (102), die auf dem Zielbereich (160) des Substratelements (140) abgelegt sind, zum Zwecke der Neutralisierung der Ladung der Dosis (180) beim Ausbilden und von Streuladungen auf der Oberfläche des Substrats (140).
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch ein Elektrodenpotenzial, das ohne physikalischen Kontakt zur Elektrode gesteuert wird, eine mechanische Servovorrichtung (190) zum Übertragen der Ladungen von der Quelle (195) elektrischer Ladungen in die Vielzahl geladener Teilchen (102), die auf dem Zielbereich (160) des Substratelements (140) abgelegt sind, zum Zwecke der Neutralisierung der Ladung der Dosis (180) beim Ausbilden und von Streuladungen auf der Oberfläche des Substrats (140); eine Quelle (195) elektrischer Ladungen, welche ausreichende Ladungen in einen Luftspalt ausgibt, um einen elektrischen Kontakt zwischen einer Elektrode (330) und einer Spannungsquelle (335) herzustellen, was zu einer Impedanz von weniger als 1 GΩ führt; ein gesteuertes Potenzial, verbunden von der Spannungsquelle (335) durch den Luftspalt zu der Elektrode (330), wodurch ein notwendiges elektrisches Feld erzeugt wird, das von der Elektrode zum Transport der geladenen Teilchen (103) zu dem definierten Zielbereich (160) in dem Dosis bildenden Vorgang ausstrahlt.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannungsquelle (335) eine Impedanz von weniger als 100 MΩ aufweist.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Quelle der elektrisch neutralisierenden Ladungen eine Ionenquelle (195) ist, die optional mit Richtungselementen (196) und Blenden (197) ausgestattet ist.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Quelle der elektrisch neutralisierenden Ladungen (195) ein Korona- Ladungsgenerator ist, der optional mit Richtungselementen (196) und Blenden (197) ausgestattet ist.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Quelle der elektrisch neutralisierenden Ladungen (195) ein Induktions-Ladungsgenerator ist, der optional mit Richtungselementen (196) und Blenden (197) ausgestattet ist.
  15. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Quelle der elektrisch neutralisierenden Ladungen (195) ein Tribo-Ladungsgenerator ist, der optional mit Richtungselementen (196) und Blenden (197) ausgestattet ist.
  16. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Quelle der neutralisierenden Ladungen (195) ständig neutralisierende Ladungen überträgt, gerichtet in Richtung zur Vielzahl von geladenen Teilchen (102), die auf dem Zielbereich (160) des Substratelements (140) abgelegt sind.
  17. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Quelle der neutralisierenden Ladungen außerhalb des Bereichs des Dosis bildenden Bereichs liegt, aber an einer Position, an der das Substratelement (140) und die zu bildende Dosis mittels einer Servovorrichtung (190) innerhalb eines Bereichs der ausgegebenen neutralisierenden Ladungen gebracht werden können, so dass die zu bildende Dosis (180) vorübergehend in eine Position gebracht wird, damit das angesammelte lokale elektrostatische Feld wenigstens einmal während des Ausbildens der Dosis neutralisiert wird.
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