DE2856688A1

DE2856688A1 - Verfahren und vorrichtung zur korrektur von astigmatismus in einem rasterelektonenmikroskop

Info

Publication number: DE2856688A1
Application number: DE19782856688
Authority: DE
Inventors: Takao Namae; Teruo Someya
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1977-12-29
Filing date: 1978-12-29
Publication date: 1979-07-05
Also published as: FR2413779B1; FR2413779A1; US4214163A; JPS5492050A; GB2011656B; GB2011656A; DE2856688C2; JPS6134221B2

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Astigmatismus in einem Rasterelektronenmikroskop

Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren und einer Vorrichtung zur Korrektur von Astigmatismus in einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) oder einer ähnlichen Elektronenstrahlabtasteinrichtung.

Bei einer Vorrichtung zur Erzielung eines Rasterbildes, beispielsweise bei einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) und dgl., ist die Astigmatismuskorrektur des elektronenoptischen Systems (hauptsächlich der elektromagnetischen Linsen) von Bedeutung, um eine scharfe Fokussierung des Elektronenstrahls zu erzielen, mit dem eine zu untersuchende Probe bestrahlt wird. Die Astigmatismuskorrektur ist jedoch ziemlich schwierig. Bisher erfolgte die Astigmatismuskorrektur durch die Bedienungsperson in der Weise, daß abwechselnd der Bedienungsknopf für die Einstellung des Brennpunktes und der Bedienungsknopf für die Astigmatismus korrektur betätigt wurden, wobei das Rasterbild auf einer Braun' sehen Röhre beobachtet wurde. Diese Bedienung erfordert eine beträchtliche Geschicklichkeit und Erfahrung, um zu ausreichenden Ergebnissen zu kommen.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur automatischen Astigmatismuskorrektur zu schaffen, wodurch die Bedienbarkeit eines Rasterelektronenmikroskops oder einer ähnlichen Abtasteinrichtung erheblich erleichtert wird.

Diese Aufgabe wird durch die in den Ansprüchen 1, 2 und 5 angegebene Erfindung gelöst.

In den Unteransprüchen sind Weiterbildungen der Erfindung angegeben.

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-β -

Bei der Erfindung wird der Kreis kleinster Verwirrung des Elektronenstrahls auf der Probe gebildet ohne Betätigung eines Stigmators. Anschließend wird der Kreis kleinster Verwirrung mit Hilfe eines Stigmators minimiert. Auf diese Weise erzielt man bei einem Rasterelektronenmikroskop oder ähnlichem eine vollständige Korrektur des Linsenastigmatismus.

Bei der Erfindung erfolgt die automatische Fokussierung des Elektronenstrahls in der Elektronenstrahlabtasteinrichtung mit Hilfe einer Fokussierungseinrichtung, wie sie in der US-Patentschrift 39 37 959 bzw. der deutschen Offenlegungsschrift 24 61 202 beschrieben ist. Ferner besitzt die Vorrichtung eine Abtasteinrichtung sowie einen Astigmator. Die automatische Fokussierungseinrichtung sowie die Abtasteinrichtung werden in der Weise betätigt, daß der Elektronenstrahl auf der Probe einen kreisförmigen Querschnitt mit kleinster Ausdehnung, d. h. den Kreis kleinster Verwirrung, aufweist, ohne daß dabei der Stigmator betätigt wird. Anschließend wird der Stigmator in Betrieb gesetzt und der Kreis kleinster Verwirrung wird minimiert. Auf diese Weise ist der durch die Linsen verursachte Astigmatismus in der Vorrichtung vollständig korrigiert.

Die Figuren dienen zur weiteren Erläuterung der Erfindung. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Linsenastigmatismus in einem Rasterelektronenmikroskop;

Fig. 2a, 2b

und 2c schematische Darstellungen zur Erläuterung der Wechselwirkung zwischen dem Linsenastigmatismus und dem Stigmator;

Fig. 3 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels der Erfindung;

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Fig. 4 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Betriebs

des in der Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiels und

Fig. 5 eine schematische Darstellung eines Querschnitts eines

Elektronenstrahls, der durch Linsenastigmatismus beeinflußt ist.

Aus der Fig. 1 ist zu ersehen, daß der Hauptgrund des Astigmatismus darauf beruht, daß das elektronenoptische System in zwei senkrecht aufeinanderstehenden Ebenen unterschiedliche Brennweiten besitzt. Wenn man animmt, daß das Achsenkreuz der x- und y-Achsen in der Hauptebene der Linse liegt, ergibt sich ein Brennstrich C in der Brennebene für die x-Richtung und ein Brennstrich E für die Brennebene in y-Richtung. Zwischen den beiden Brennstrichen C und E liegt als Zerstreuungsfigur der Kreis kleinster Verwirrung D. Der Kreis D kleinster Verwirrung entspricht der optimalen Brennpunktlage bei korrigiertem Astigmatismus. Der Abstand AF zwischen den Brennstrichen C und E wird als astigmatische Differenz bezeichnet.

Im folgenden soll die Korrektur des Linsenastigmatismus durch Abweichung des Sektors AF von der x-Achse um einen Winkel φ mit Hilfe eines elektromagnetischen Achtpolstigmators (2 Paare) betrachtet werden. Ein derartiger Stigmator wird herkömmlicherweise als xy-Stigmator bezeichnet. In der Fig. 2 bedeutet S den Astigmatismuskorrekturvektor, weleher durch eine Vierpollinse (bezeichnet durch Q), welche auf den x- und y-Achsen angeordnet ist, erzeugt wird. S bedeutet einen Astigmatismuskorrekturvektor, der durch eine andere Vierpollinse (bezeichnet durch ^ )) erzeugt wird, die in gleichen Abständen zwischen den x- und y-Achsen angeordnet ist. Um die Beziehung zwischen den Vektoren deutlicher zu machen, sind in der Fig. 2b die Divergenzwinkel verdoppelt, wie es durch δF, S und S dargestellt ist.

χ y

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In der Fig. 2b ist AF aufgeteilt in x- und y-Komponenten, Δ F und AF Demzufolge kann Δ F wie folgt beschrieben werden.

=y ^AF _X ² +

AF =./ AF_x ² + AF ²

Der Durchmesser δ des Kreises kleinster Verwirrung ist proportional zur astigmatischen Differenz. Es gilt daher

6=k-F (1)

Dabei bedeutet k einen Koeffizienten, der abhängt vom Divergenzwinkel des Elektronenstrahls.

Der sich bei Betätigung des Stigmators ergebende Astigmatismusvektor Δ F' ist in Fig. 2c dargestellt. Die astigmatische Differenz AF' entspricht dem Betrag des Vektors AF* und kann wie folgt wiedergegeben werden.

Δ F' =/(aF_x - S/ + ( AF_y - S_y)² (2)

Aus Gleichung (1) ergibt sich, daß die Ausdehnung des Kreises kleinster Verwirrung δ' zu diesem Zeitpunkt wiedergegeben werden kann durch folgende Formel

I 22

δ* =k'/(AF-S) + ( AFy-Sy) (3)

V xx

Wenn man durch abwechselnde und unabhängige Betätigung voneinander die beiden Vierpollinsen, welche den Stigmator bilden, den Wert für 6» zu einem Minimum macht, ergibt sich, daß AF* —K). Wenn daher

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gewinnt man eine vollständige Korrektur des Linsenastigmatismus.

Die Gedankengänge, von denen die Erfindung ausgeht, sind im vorstehenden beschrieben. In der Praxis kommt bei der Korrektur des Linsenastigmatismus folgendes Verfahren zur Anwendung:

a) Nullsetzen des Kompensationsstroms des Stigmators;

b) Ändern des Linsenstromes, wobei die Linse noch unter dem Einfluß der astigmatischen Abweichung steht;

c) Formung des Elektronenstrahls, der die Probenoberfläche bestrahlt in der Weise, daß sich der Kreis kleinster Verwirrung einstellt;

d) Verriegelung des Linsenstroms bei der Bedingung des Kreises kleinster Verwirrung und

e) automatische Einstellung des KompensationsStroms in den Spulen der x- und y-Richtung, welche den Stigmator vom xy-Typ bilden, unabhängig voneinander (insbesondere durch Mittel, welche ähnlich sind den Fokussierungseinrichtungen in der US-Patentschrift 39 37 959 bzw. der deutschen Offenlegungsschrift 24 61 202), so daß die Ausdehnung des Kreises kleinster Verwirrung verringert wird.

Die Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines automatischen Stigmators, welcher bei der Erfindung zur Anwendung kommen kann. Ein Elektronenstrahl 1 wird von einer nicht näher dargestellten Elektronenquelle erzeugt und mit Hilfe einer Fokussierlinse (Kondensor- oder Objektivlinse) scharf auf eine Probe 3 fokussiert. Ablenkspulen 4X und 4Y lenken den fokussierten Elektronenstrahl 1 zweidimensional ab, so daß die Probe 3 abgetastet wird. Stigmatorspulen 5x und 5y dienen zur Korrektur des Astigmatismus in den x- und y-Richtungen. Die X- und Y-Richtungen der Ablenkspulen

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und die χ- und y-Richtungen der Stigmatorspulen sind frei und unabhängig voneinander bestimmt. Sekundärelektronen, rückgestreute Elektronen und dgl. (diese bedeuten Informationen von der zu untersuchenden Probe), welche bei der Bestrahlung durch den Elektronenstrahl von der Probe ausgesendet werden, werden durch einen Detektor 6 empfangen und das Detektorsignal wird an eine Wiedergabeeinrichtung 8 und an eine automatische Fokussierungsschaltung 9 über einen Verstärker 7 weitergegeben. Die automatische Fokussierungsschaltung 9 wird durch ein Startsignal "a" einer Zeitschaltung in Betrieb gesetzt. Wenn die Fokussierungsschaltung die Fokussierung durchgeführt hat, gibt diese ein Stoppsignal "b" an die Zeitschaltung 10, so daß der Betrieb der Fokussierungsschaltung 9 abgeschaltet wird. Während des Betriebs erzeugt die automatische Fokussierungsschaltung 9 ein Erregerstromanzeigesignal "d", das an eine Fokussierungslinsentreiberschaltungll über einen Schalter Sl und an Stigmatorspulen treib erschaltungen 12x und 12y über einen Schalter S2 und Speicherschaltungen 13x und 13y gelegt wird. Speicherschaltungen 14 und 15 empfangen das Erregerstromanzeigesignal "d." über Schalter S3 und S4, so daß der Wert des Signals "d" bis zur Beendigung des Fokus sie rungs Vorgangs in der automatischen Fokussierschaltung 9 gespeichert bleibt. Eine Schaltung 16 zur Mittelwertbildung ermittelt den Mittelwert "e" des in den Speicherschaltungen 14 und 15 gespeicherten Signals "d". Ein dem Mittelwert "e" entsprechendes Signal wird über den Schalter Sl an die Fokussierungslinsentreiberschaltung 11 geliefert, so daß ein Erregerstrom erzeugt wird, so daß durch die Fokussierungslinse 2 der Kreis kleinster Verwirrung erzielt wird. Eine Ablenkschaltung 17 liefert X- und Y-Ablenksignale an die Ablenkspulentreiberschaltungen 18X und 18Y über Schalter S5 und S6. Die Abtastschaltung 17 erzeugt außerdem ein Signal "f", das mit dem X-Abtastsignal synchronisiert ist. Dieses Signal iifit wird an fä_e Zeitschaltung 10 und die automatische Fokussierungsschaltung 9 geliefert. Demzufolge wird die Zeitschaltung 10 durch das Synchronsignal "f" und das Stoppsignal "b" in Betrieb gesetzt in der Weise, daß die Umschaltung der Schalter SI'—'S6 in Abhängigkeit einer

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bestimmten Folge gesteuert wird. Im folgenden wird im einzelnen der Betrieb der Zeitschaltung beim vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel in Verbindung mit der Fig. 4 beschrieben.

Wenn die Zeitschaltung eingeschaltet ist, wird zunächst ein Startsignal "a.." an die automatische Fokussierungsschaltung 9 gelegt. Sl befindet sich in der Stellung (T), die Schalter S5 und S6 befinden sich in ihren Stellungen MiJ . Der Elektronenstrahl 1 tastet in X-Richtung die Probe ab bzw. läuft in dieser Richtung über die Probe und der Erregerstrom, welcher durch die Fokussierungslinse 2 fließt, wird durch die automatische Fokussierungsschaltung 9 geändert. Diese Fokussierungsschaltung ist insbesondere so ausgebildet, wie es in der US-Patentschrift 39 37 bzw» der deutschen Offenlegungsschrift 24 61 202 beschrieben ist. Das bedeutet, daß bei Beendigung einer jeden Abtastung der Erregerstrom fortlaufend schrittweise geändert wird. Der Betrag der Änderung des Detektorsignals, welcher sich zusammen mit jeder Abtastung ergibt, wird gespeichert und als Umrechnungssignal bzw. Umwandlungssignal verwendet, das dem Querschnitt bzw. Durchmesser des Elektronenstrahls in X-Richtung entspricht. Paare dieser Umwandlungssignale werden fortlaufend verglichen, bis ein Signal maximaler Intensität erreicht wird. Zu diesem Zeitpunkt wird der Erregerstrom verriegelt bzw. festgelegt. Dabei wird der Erregerstrom an einem solchen Wert festgelegt bzw. verriegelt, an welchem der Durchmesser des Elektronenstrahls in der X-Richtung am geringsten ist.

Wenn der vorstehende Fokussierungsbetrieb durchgeführt ist, wird der Schalter S2 in seine StellungQy gebracht. Die Speicherschaltungen 13x und 13y werden durch einen von der Zeitschaltung 10 abgegebenen Löschimpuls C gelöscht. Da die Stigmatorspulen 5x und 5y noch außer Betrieb sind, hat auch die Astigmatismuskorrektur noch nicht stattgefunden. Wenn der Winkel zwischen der großen Ellipsenachse, welche

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aus dem Astigmatismus resultiert, und der Abtastrichtung X , wie aus Fig. 5 zu ersehen ist,β beträgt, erreicht das Umwandlungssignal eine maximale Intensität, wenn der Durchmesser der Ellipse in der Abtastrichtung X ein Minimum (Ä~Ä' in Fig. 5) wird. Das Detektorsignal hat dann die am meisten ausgeprägte Änderung. Wenn die automatische Fokussierungsschaltung 9 demgemäß den Erregerstrom für die Fokussierungslinse stufenweise ändert, ändert sich die Gestalt des Elektronenstrahls, wie in der Fig. 1 gezeigt, von F—->C—jG—#>-»H—>I. Der minimale Wert von AA* liegt irgendwo zwischen dem Brennstrich C und dem Kreis D mit kleinster Verwirrung, beispielsweise an der Stelle G. An dieser Stelle erzeugt die automatische Fokussierungsschaltung 9 ein Stoppsignal "b.." bei einem Erregerstrom L· . Dabei wird der Fokussierungsvorgang beendet.

Durch das Stoppsignal "b^" bringt die Zeitschaltung 10 den Schalter S3 in seine Stellung (T) für eine kurze Zeitdauer. Während dieser kurzen Zeitdauer wird ein Erregerstromanzeigesignal Kl mit dem gleichenWert wie I. von der Speicherschaltung 14 gespeichert. Außerdem wird dadurch, daß die Schalter S5 und S6 in ihre Stellungen (Ίϊ) gebracht werden, bewirkt, daß der Elektronenstrahl die Probe in der Y-Richtung abtastet. Sobald die Schalter S5 und S6 in diese Positionen gebracht sind, gibt die Zeitschaltung 10 ein Startsignal " a "an die automatische Fokussierungsschaltung 9 ab. Es erfolgt dadurch die Fokussierung des abtastenden Elektronenstrahls in der Y-Abtastrichtung. Die Fokussierungsfolge ist in der Y-Richtung die gleiche wie bei der X-Abtastrichtung, d. h. bei der Fokussierung in Y-Richtung erzeugt die automatische Fokussierungsschaltung 9 an der Position H in der Fig. 1 (Minimalwert von BB' in der Fig. 5) ein Stoppsignal b„ (bei einem Erregerstrom I„). Die Position H liegt irgendwo zwischen dem Brennstrich E und dem Kreis D mit kleinster Verwirrung. Dabei wird der Fokussierungsbetrieb beendet. Die Zeitschaltung 10 bringt in Abhängigkeit vom Stoppsignal b₂ den Schal-

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ter S4 in seine Stellung (T) für eine kurze Zeitdauer. Während dieser Zeitdauer wird ein Erreger Stromanzeigesignal K„ mit dem gleichen Wert wie I- durch die Speicherschaltung 15 gespeichert. Beim Einspeichern der Signale K.. und K«, in die Speicherschaltung 14 und 15 bringt die Zeitschaltung 10 den Schalter Sl in seine Stellung (T). Das Ausgangssignal e = ^Kl^{+ K}2 der Schaltung 16 für die Mittelwertbildung erreicht die Fo-

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kussierungslinsentreiberschaltung 11. Der Fokussierungslinsenerreger-

strom wird zu ¹I + *2 , so daß die Probe 3 vom Elektronenstrahl unter der Bedingung bestrahlt wird, bei welcher der Kreis mit kleinster Verwirrung D exakt zwischen G und H in der Fig. 1 liegt.

Indem man den Fokussierungslinsenstrom auf einen Wert von

hält, wird die Astigmatismuskorrektur durchgeführt. Dabei wird ein Startsignal "a„" an die automatische Fokussierungsschaltung 9 gesendet und die Zeitschaltung 10 bringt den Schalter S2 in seine Stellung (T). Der Elektronenstrahl tastet:die Probe in Y-Richtung ab und die Stigmatorspule 5y wird eingeschaltet. Die Fokussierungsschaltung 9 ändert, wie beim vorstehend beschriebenen Fokussierungsbetrieb, den Strom, der durch die Stigmatorspule 5y fließt. Die Stromänderung erfolgt fortlaufend und schrittweise jeweils bei Beendigung einer jeden Abtastung des Elektronenstrahls in Y-Richtung. Der Betrag der Änderung des Detektorsignals, welcher sich bei jeder Abtastung ergibt, wird gespeichert und als Wertsignal oder Umwandlungssignal für den Durchmesser des Elektronenstrahls in Y-Richtung verwendet. Paare derartiger Umwandlungssignale, welche den Durchmesser des Elektronenstrahls in Y-Richtung angeben, werden aufeinanderfolgend miteinander verglichen, bis ein Signal maximaler Intensität erhalten wird. Zu diesem Zeitpunkt wird der Erregerstrom I„, der durch die Stigmatorspule 5y fließt, festgehalten bzw. verriegelt. Dabei wird der Erregerstrom bei einem solchen Wert festgehalten, an welchem der Elektronenstrahldurchmesser in der Y-Richtung am kleinsten ist. Der Erregerstrom I wird durch die Speicher-Schaltung 13y selbst dann beibehalten, wenn der Schalter S2 umgeschal-

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tet wird. Der vorstehend beschriebene Betrieb entspricht der Verschiebung des Brennstriches E in Richtung auf den Kreis D mit kleinster Verwirrung in der Fig. 1. Bei diesem Betrieb wird der Durchmesser des Elektronenstrahls in Y-Abtastrichtung, welcher auf die Probe auftrifft, zu einem Minimum.

Nach Empfang des Stoppsignals "b^", welches die Beendigung der Einstellung des Stromes I_Q für die Stigmatorspule der x-Richtung anzeigt,

arbeitet die Zeitschaltung 10 so, daß die Einstellung der Stigmatorspule in x-Richtung gestartet wird, indem der Schalter S2 in seine Stellung(T) gebracht wird. Außerdem wird ein Startsignal "a." an die automatische Fokussierungsschaltung 9 gesendet. Die Fokussierungsschaltung 9 ermittelt und hält denErregerstrom L· in der gleichen Weise wie bei der Einstellung der Stigmatorspule in der Y-Richtung fest. Dieser Erregerstrom L· fließt durch die Stigmator spule 5x, so daß man in X-Richtung einen minimalen Durchmesser für den auf die Probe treffenden Elektronenstrahl erzielt. Sobald ein Stoppsignal "h." erzeugt wird, das die Beendigung der Einstellung des Stroms für die Stigmatorspule der x-Richtung anzeigt, wird der Querschnitt des Elektronenstrahls auf der Probe kreisförmig und dieser Kreis besitzt einen minimalen Durchmesser. Der Elektronenstrahl ist dann durch den Astigmatismus des Fokussierungslinsensystems nicht mehr beeinflußt. Sobald das Stoppsignal "b." eingegeben worden ist, bringt die Zeitschaltung 10 die Schalter S5 und S6 in ihre Stellungen (T), so daß der Elektronenstrahl die Probe zweidimensional abtastet. Auf diese Weise läßt sich ein Rasterbild mit hoher Qualität auf einem Wiedergabeschirm synchron mit der Elektronenstrahlabtastung erzielen.

In bevorzugter Weise können die Stigmatoreinstellungen in der x- und y-Richtung abwechselnd wiederholt werden.

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Ein anderes einfaches Vergleichsverfahren zur genauen Bestimmung des Fokussierungslinsenstroms zur Erzielung des Kreises mit kleinster Verwirrung für den Elektronenstrahl auf der Probe kann beispielsweise darin gesehen werden, daß anstelle der linearen Abtastung des Elektronenstrahls eine wiederholte kreisförmige Abtastung durchgeführt wird. Auch ist es möglich, den Fokussierungslinsenstrom manuell einzustellen, wobei das Rasterbild auf einem herkömmlichen Rasterbildwiedergabegerät beobachtet wird.

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Leerseite

Claims

LiedI₃ Nöth, Zeitlei _Kein

Patentanwälte IrCLl, iv,i. ;,.. . . ..... ,,--r-

8000 München 2 2 · Steiηsdο rf straße 21 - 2 2 · Telefon 08 9 / 29 84 6 2

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NIHON DENSHI KABUSHIKI KAISHA 1418 Nakagamicho, Akishimashi, Tokyo 196, Japan

Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Astigmatismus in einem Rasterelektronenmikroskop

Patentansprüche:

φ. Verfahren zur Korrektur eines Astigmatismus in einem Rasterelektronenmikroskop oder dgl., bei dem mit Hilfe eines Linsensystems ein auf eine Probe gerichteter Elektronenstrahl fokussiert wird, und mit Hilfe eines xy-Stigmators der Astigmatismus des Linsensystems korrigiert wird,

dadurch gekennzeichnet,

daß zur Automatisierung des Korrekturvorgangs

a) der Elektronenstrahl die Probe wiederholt abtastet,

b) der Erregerstrom durch die Stigmatorspulen in x- und y-Richtung aufeinanderfolgend geändert wird,

c) ein von der Probe abgegebenes Signal in ein Signal umgewandelt wird, welches den Elektronenstrahldurchmesser bei jeder Abtastung in

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Abtastrichtung angibt und

d) der Erregerstrom für die Stigmatorspulen in x- und x-Richtung fest eingestellt wird, sobald das umgewandelte Signal einen Maximalwert erreicht.
2. Verfahren zur Korrektur eines Astigmatismus in einem Rasterelektronenmikroskop oder dgl., bei dem mit Hilfe eines Linsensystems ein auf eine Probe gerichteter Elektronenstrahl fokussiert wird und mit Hilfe eines xy-Stigmators der Astigmatismus des F okussierungs linsen systems korrigiert wird,

dadurch gekennzeichnet,

daß zur Automatisierung des Korrekturvorgangs

a) bei einem ersten Verfahrens schritt das Fokussierungslinsensystem so eingestellt wird, daß der Elektronenstrahl, welcher auf die Probe auftriff^ einen Kreis kleinster Verwirrung als Zerstreuungsfigur bildet, wobei der Stigmator außer Betrieb bleibt, und

b) in einem zweiten Verfahrensschritt der Stigmator automatisch bei der im Verfahrensschritt a) gewonnenen und eingestellten Bedingung so eingestellt wird, daß der Elektronenstrahl den geringstmöglichen Durchmesser erhält.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß für den Verfahrensschritt b)

b-1) der Elektronenstrahl die Probe wiederholt abtastet,

b-2) der Erregerstrom durch die Stigmator spulen in x- und y-Richtung

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aufeinanderfolgend geändert wird,

b-3) das von der Probe abgegebene Signal in ein Signal umgewandelt wird, welches den Elektronenstrahldurchmesser bei jeder Abtastung in Abtastrichtung angibt und

b-4) der Erregerstrom, welcher durch die Stigmatorspulen in x- und y-Richtung fließt, festgelegt wird, sobald das umgewandelte Signal einen Maximalwert erreicht.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß für den Verfahrens schritt a)

a-1) der Elektronenstrahl die Probe in wenigstens zwei verschiedenen Richtungen abtastet,

a-2) das von der Probe abgegebene Signal in ein Signal umgewandelt wird, welches den Elektronenstrahldurchmesser bei jeder Abtastung in jeder der Abtastrichtungen angibt,

a-3) die Fokussierlinsenströme für die minimalen Durchmesser in den verschiedenen Abtastrichtungen in Abhängigkeit vom umgewandelten Signal bestimmt werden und

a-4) der Fokussierlinsenstrom für den Elektronenstrahl, welcher mit dem Kreis kleinster Verwirrung auf die Probenoberfläche trifft, nach dem Schritt a-3 ermittelt wird.
5. Vorrichtung zur Abtastung einer Probe mittels eines Elektronenstrahls mit einem Fokussierlinsensystem, welches den Elektronenstrahl auf eine Probe fokussiert, einem x-y-Stigmator zur Korrektur eines

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Astigmatismus des Fokussierlinsensystems und Ablenkmitteln zur wiederholten Abtastung der Probe durch den Elektronenstrahl,

gekennzeichnet durch

a) einen Wandler (6), der das bei der Abtastung der Probe (3) abgegebene Signal in ein den Elektronenstrahldurchmesser in Abtastrichtung bei jeder Abtastung angebendes Signal umwandelt und

b) eine automatische Einstelleinrichtung für den durch die Stigmatorspulen (5x, 5y) fließenden Erregerstrom bei der Bedingung, daß der Elektronenstrahl in Abhängigkeit vom umgewandelten Signal mit einem Kreis kleinster Verwirrung auf die Probenoberfläche trifft, so daß der Durchmesser des Elektronenstrahls, der die Probe bestrahlt, ein Minimum aufweist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zur automatischen Bestimmung des Wertes des Fokussierungs-Stroms für den Betriebszustand, bei welchem der Elektronenstrahl auf der Probenoberfläche einen Kreis kleinster Verwirrung bildet, in Abhängigkeit vom umgewandelten Signal.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur automatischen Bestimmung des Werts des Fokussierungsstromes der Stigmator abgeschaltet ist.

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