DE2831670A1 - Vorrichtung und verfahren zur interpolation - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur interpolation

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DE2831670A1
DE2831670A1 DE19782831670 DE2831670A DE2831670A1 DE 2831670 A1 DE2831670 A1 DE 2831670A1 DE 19782831670 DE19782831670 DE 19782831670 DE 2831670 A DE2831670 A DE 2831670A DE 2831670 A1 DE2831670 A1 DE 2831670A1
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DE19782831670
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Detlef Dipl Ing Heydenbluth
Klaus Dipl Ing Irrgang
Gerd Dr Sc Techn Jaeger
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Nagema VEB
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Nagema VEB
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24404Interpolation using high frequency signals

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Description

  • Vorrichtung und Verfahren zur Interpolation Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Interpolation in periodischen Verteilungen, z.B. interferentiellen, die in optischen Meßvorrichtungen zur Messung der Größen Weg, Winkel, Brechzahl sowie der daraus ableitbaren Größen Grafit, Druck, Geschwindigkeit, Härte, Mischungsverhältnisse, Konzentration usvi. auftreten.
  • Ein besonderes Anwendungsgebiet ergibt sich für interferentielle Messungen, wenn eine sehr hohe Auflösung gefordert wird.
  • Interpolations einrichtungen und -v erfahr en dienen der Unterteilung der Primärsignalperiode in äquidistante Abstände.
  • Für diese Unterteilung benötigen die bekanntesten Interpolationseinrichtungen zwei Primärsignale U1 Bin x und U2 cos. x. Die interpolierten Analogsignale werden an den Nulldurchgängen getriggert, wodurch sich die äquidistante Unterteilung ergibt. Interpolationsfehler treten auf, uenn eine Verschiebung der Nulldurchgänge auftritt, ohne daß eine Meßgrößenänderung vorliegt. Solche Interpolationsfehler können durch Veränderungen der Primärsignalparameter Amplitude, Phase, Gleichenteil und Spektrum hervorgerufen werden.
  • Zur Charakterisierung der bekannten technischen Lösungen werden zuei Beispiele angeführt.
  • Der Netz'verkinterpolator ( Johannsen, TH.: Zum Verhalten der Signalperioden eines Theodoliten mit elektrooptischer Ereisteilablesung, Universität Bonn, 1967) nutzt die Überlagerung der Primärsignalspannungen U1 und U2 und deren Negationen in geeigneten Widerstandsnetzwerken aus, um daraus Nulldurchgänge und somit Interpolationspunkte zu gewinnen.
  • Dieser Interpolator ist geeignet für kleine Interpolationsfaktoren, Veränderungen der Amplitude, der Phase und des Gleichanteiles rufen Interpolationsfehler hervor.
  • Weiter ist ein Kathodenstrahlinterpolator bekannt, mit dem höhere Int erpolationsfaktoren erzielt werden können (2rötscher, 0.: Über Fragen der digitalen Wegmessung mit fotoelektrischen Wegmeßgeräten hoher Auflösung, Optik 28, Heft 8, 1968/69; Trötscher, 0.: Einrichtung zur Interpolation, Auslegeschrift 1266989, BRD).
  • Hier liegt das Prinzip zugrunde, daß zwei um 900 verschobene Primärs ignale ein Dr ehf eld mit festgelegt er Drehrichtung bilden. Die Signalspannungen werden auf die Ablenkplatten einer Kathodenstrahlröhre gegeben und der volle Umlauf des Elektronenstrahles entspricht einer stark vergrößerten Rasterperiode. Verwendet man anstelle des Leuchtschirmes leitende Rasterscheiben, so erhält man interpolierte Ausgangssignale.
  • Die Leistungsfähigkeit einer solchen Anordnung wird begrenzt durch die Geometrie der Röhre, durch die Justierfehler der Rasterscheiben sowie durch die Genauigkeit von Kathoden-, Gitter- und Anodensystem, Veränderungen der Amplitude, der Phase und des Gleichanteiles rufen auch hier - im Unterschied zur Erfindung - Interpolationsfehler hervor, Ziel der Erfindung ist es, in Abhängigkeit zu einer Meßgröße sich ändernde periodische Intensitätsverteilungen mit einem hohen Interpolationsgrad ( > 100) zu interpolieren, wobei der gerätetechnische Aufwand unabhängig von der Höhe des Interpolationsgrades und die Funktionstüchtigkeit unabhängig von der Art der periodischen Verteilung ist.
  • Die Vorrichtung funktioniert fehlerfrei, auch wenn sich der Differenzwert zwischen maximaler und minimaler Intensität ( bei interferentiellen Verteilungen der Differenzwert zwischen maximaler und minimaler Bestrahlungsstärke) sowie der absolute Wert der Intensität ( bei interferentiellen Verteilungen der absolute Wert der Bestrahlungsstärke) der periodischen Verteilungen ändert Obwohl die Grobwerte ( Grobimpulse) und die interpolierten Feinwerte (Feinimpulse) in getrennten Systemen separat gebildet werden erfolgt durch eine entsprechende logische Verknüpfung, -auch bei relativ großen Lageunsicherheiten der Grobimpulse (Schaltunsicherheiten der Schaltflanken) eine fehlerfreie Addition der Grob- und FeinimpulseO Neben der Möglichkeit der zielung eines hohen Interpolat ionsgrades, kann jeder beliebige Int erpolat ionsgrad in einfacher Weise eingestellt werden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Interpolationseinrichtung zu schaffen, die auf der Grundlage sich in fester Abhangigkeit zu einer Meßgröße ändernder Intensitätsverteilungen mit einem hohen Interpolationsgrad bei vergleichsweise gerätetechnisch geringem Auf wand und hoher Betriebssicherheit interpoliert0 Solche periodischen Intensitätsverteilungen treten z.Bç in interferentiellen Meßeinrichtungen aufo So kann mittels einer Interferometeranordnung, die Interferenzen gleicher Dicke ausnutzt, eine Längenmessung durchgeführt werden~.
  • Schließen beide Interferometerspiegel einen kleinen Winkel miteinander ein und ändert ein Spiegel seine Lage in Lichtrichtung parallel zu sich selbst, dann entstehen solche periodischen Intensitätsverteilungen. Hierbei ist die Änderung der Interferenzordnungszahl ein genaues Maß für den Meßwert0 Der Abstand zwischen zwei benachbarten Maxima- bzw. Minima entspricht einer Ordnung. Um die Meßwertänderung bestimmen zu können, müssen also die zugeordnete Anzahl der ganzen Ordnungen und die Bruchteile bestimmt werden.
  • Die Anzahl der ganzen Ordnungen stellt in diesem Fall den Grobwert und die verbleibenden Bruchteile stellen den Feinwert dar. Damit ist in diesem Fall der Grobwert ein ganzzahliges Vielfaches einer Ordnung. Natürlich kann die Zuordnung auch so gewählt werden, daß der Grobwert einem ganzzahligen Vielfachen eines beliebigen Ordnungswertes entspricht0 Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß geeignete Abtastelemente, z.B. fotoelektrische Empfänger, die die Intensitätsverteilungen abtasten, zu Beginn der Messung und nßch bzw. während der Messung die Abtastelemente und das Bild der Intensitätsverteilung relativ zueinander so bewegt werden, daß die Abtastelemente in definierten Lagen bezüglich definierter äquidistanter Bezugspunkte der Intensitätsverteilung positioniert werden.
  • Solche definierten äquidistanten Bezugspunkte können die Maxima und Minima selbst sein oder beliebige Stellen, die in festem Abstand zu diesen gewählt werden0 Die Abtastelemente dienen einmal in Verbindung mit einem Zähler, der als Grobzähler bezeichnet werden soll, zur Ermittlung des Grobwertes und zum anderen zur Nachlaufsteuerung. Mittels dieser Steuerung werden die Abtastelemente in definierten Lagen bezüglich der äquidistanten Bezugspunkte gebracht. Diese Lagen sollen als Nachlaufstellen bezeichnet werden0 Der Relativweg, der während des Nachlaufvorganges zwischen den Abtastelementen und dem Bild der Intensitätsverteilung zurückgelegt wird, kann mittels bekannter Längen- bzw. Winkelmeßgeräte gemessen werden, und liefert so ein genaues Maß für den Feinwerk, Mißt man den Relativweg, z.B. inkremental, so werden die dem Feinwert entsprechenden Impulse, im folgenden Feinimpulse genannt, in einem weiteren Zähler, dem sogenannten Feinzähler , registriert.
  • Ein eindeutiger Zusammenhang zwischen Grobwert (Grobimpulsen) und Feinwert (Feinimpulsen)- auch bei fehlerhaft er Lage der Schaltflanken- sowie ein funktionssicheres Arbeiten in einem beliebigen Meßbereich wird folgendermaßün erreicht: Es wird angenommen, daß sich zwischen zwei benachbarten Nachlaufstellen eine beliebige von Null verschiedene feste Anzahl von Grobimpulsen befindet Die Anzahl der Feinimpulse fGX die einem Grob impuls entsprechen, ergibt sich aus der Division der Anzahl der Feinimpulse fN, die dem Abstand zweier benachbarter Nachlaufstellen zugeordnet sind, durch die Anzahl der Grobimpulse x, die zwischen zwei benachbarten Nachlaufstellen vorhanden sind, d.h.
  • fG ~ x Bei der Dimensionierung der zur Erzeugung der Grobimpulse und Nachlaufstellen verantwortlichen Einrichtungen ist die Forderung zu beachten, daß sich das Toleranzfeld der Lage der Grob impulse, das sich durch die Schaltflankenunsicherheit ergibt, und das Toleranzfeld, das aus der Nachlaufunsicherheit an den definierten Nachlaufstellen resultiert, nicht überdecken.
  • Die Grob- und Feinimpulse werden richtungsabhängig gezählt.
  • Das Vorzeichen, mit denen die Feinimpulse zu den Grobimpulsen zur Bildung des Meßergebnisses addiert werden müssen, ergibt sich aus folgender Festlegung: Wird bei bezüglich des Bildausschnittes feststehender Intensitätsverteilung das Nachlaufsystem so gesteuert, daß positive Grobimpulse entstehen, so sind alle in dieser Steuerrichtung auftretenden Feinimpulse negativ zu zählen und umgekehrt. Da somit nach bzw. während einer Meßgrößenänderung, wenn eine der benachbarten Nachlaufstellen angefahren ist, entweder die Summe der Grobimpulse innerhalb des Nachlaufbereiches Null ergibt und der Nachlaufwert (Anzahl der Feinimpulse) angezeigt wird oder von der Summe aller Grob impuls e, die den dem Abstand zweier benachbarter Nachlaufstellen zugeordneten Wert repräsentiert, der Nachlaufwert substrahiert wird, erfolgt eine fehlerfreie Anz eigeXe Hierbei ist es gleichgültig, zu welcher der benachbarten Nachlaufstellen der Nachlauf erfolgt. Bezüglich der Nachlaufzeiten günstige Verhältnisse erhält man, wenn annähernd in der Mitte zwischen zwei benachbarten Nachlaufstellen die Entscheidung getroffen wird, die linke bzw. die rechte Nachlaufstelle anzufahren0 Bei entsprechend langsamen Änderungen der Meßgröße kann der Fall eintreten, daß beispielsweise der mechanische Teil der Nachlauf einrichtung, der alle Abtastelemente trägt, synchron mit der Wanderungsbewegung der Intensitätsverteilung läuft, Da aber der Bildausschnitt der Intensitätsverteilung flächen mäßig begrenzt ist, werden die Abtastelemente aus dem Bildausschnitt herauswandern. In diesem Fall wäre der Meßbereich durch die Größe des Bildausschnittes begrenzt, Der Meßbereich kann nun beliebig erweitert werden, wenn man Begrenzungskontakte anbringt, die bewirken, daß der mechanische Teil der Nachlaufeinrichtung, der die Abtastelemente trägt, etwa zur Mitte des Bildausschnittes zurückgefahren wird.
  • Während des Zurücklaufens ist die Nachlaufsteuerung blockiert.
  • Nach dem Zurückfahren wird die Begrenzungssteuerung ausgeschaltet und der Nachlaufmechanismus wieder in Gang gesetzt. Hierbei kommt es nicht auf eine genaue Lage der Kontaktstellen an. Dieser Eingriff von außen, der eine örtliche Verlagerung der Abtastelemente nach oder während einer Meßuertveränderung bewirkt, ist ohne Einfluß auf die richtige Anzeige des Meßwertes, da während dieses Steuervorganges auch die Werte im Feinzähler mit umgekehrten Vorzeichen wie die im Grobzähler registriert werden und so der Einfluß der Steuerung bei der Bildung der MeBergebnisse eliminiert wird.
  • Die Erfindung wird an einem nachstehenden Ausführungsbeispiel naher erläutert. Die zugehörige Zeichnung zeigt: Fig. 1: Prinzipielle Anordnung zur Durchführung des Verfahrens Fig. 2: Signalfolgen Nach Fig. 1 tasten die vier Empfänger 1, die paarweise in Differenz geschaltet sind, das Interferenzbild 2 ab. Die Lage der vier Empfänger zeigt auch Fig. 2 aO Mit Hilfe des Motors 11, des Getriebes 12, der Gewindespindel 13 und des drehgesicherten Mutterstückes 14, in dem die Empfänger 1 fest angeordnet sind, können die Empfänger 1 translatorisch bewegt werden. Fig. 2 b zeigt die von den Empfängern 1 gelieferten und durch die Verstärker 3 verstärkten Spannungen U1 und U2. Die in Fig. 2 b dargestellten Spannungsverläufe ergeben sich bei Auswanderung des Interferenzbi&des 2 bei einer Änderung der Meßgröße. Die Spannungsverläufe werden gemäß Fig. 1 mittels der Trigger 4 und 5 in Rechtecksignale umgeformt. Der Trigger 4 liefert die zur Grobzählung dienenden Signalfolgen ( Fig. 2 c). Dabei werden jeweils die ganzen Perioden nur an den negativen Schaltflanken des Signals x2 gezählt. Die Anzahl der so im Grobzähler 8 gezählten Impulse repräsentiert den Grobwert. Der Trigger 5, bestehend aus zwei Komparatorstufen, wandelt das Signal U2 in die Signalfolgen x3 und X4 um ( Fig. 2 e). Entsprechend Fig. 2 f sind die Nachlaufstellen durch den Zustand x1 . x3 . x4 = L gekennzeichnet. Um den Nachlaufbereich des Mutterstückes 14 zu begrenzen, sind an den Enden des Bereiches die Kontakte 16 und 17 angebracht. Wird der Seitenkontakt 16 oder 17 betätigt, so steuert die Begrenzungslogik 6 mit dem Signalwert x5 = L das Mutterstück 14 in Richtung Nachlaufbereichsmitte, Das Ausgangssignal der Begrenzungslogik 6 nimmt den Wert Null an und die Begrenzungslogik 6 tritt außer Kraft, wenn sich das Mutterstück 14 in der Bereichsmitte befindet, doho wenn der Kontakt 18 betätigt wird. Im Schaltungsteil Nachlauflogik 7 werden die Signale xl ..0 x6 zu den Signalen xL und XR, wobei xL Linkslauf des Mutterstückes 14 und Rechtslauf des Mutterstückes 14 bedeutet, in folgender Weise gemäß Fig. 2 d, e, f verknüpft: xL = x6 V x5 x2 v v x5 x3 x1 x = x5 v x6 x2 x1 v x6 x4 x1 Für x1 . x3 . x4 = L bleibt das Mutterstück 14 an der Nachlaufstelle stehen.
  • Die Ausgangssignale der Nachlauflogik 7 steuern mittels der Motorsteuerung 10 den Motor 11o Die Motordrehung wird mit Hilfe des Getriebes 12 und der Gewindespindel 13 auf das drehgesicherte Mutterstück 14, das sich translatorisch bewegt, übertragen0 Um den Betrag der translatorischen Bewegung zu erfassen, der als Nachlaufweg praktisch den Feinwert darstellt, werden die Drehbewegungen der Gewindespindel mit dem Inkremental-Geber-Rotatorisch 15 in die Feinimpulse umgewandelt0 Die Feinimpulse werden vorzeichenrichtig im Feinzähler 9 registriert.

Claims (1)

  1. Patentansprüche 3 Verfahren zur Interpolation unter Verwendung von interferometrischen Anordnungen, foteelektrischen 1npfängern, Verstärkern, Trigger, Logikschaltungen, Zählern, digital en Längen- bzw-, Winkelmeßsystemen und Antr i ebsm echan ismen, dadurch gekennzeichnet, daß geeignete Abtastelemente (1) die periodische Intensitätsverteilung (2) abtasten, daß zu Beginn der Messung und nach bzw. während der Messung Abtastelemente (1) und Intensitätsverteilung (2) relativ zueinander durch Schaltungen, wie Verstärker (3), Trigger (5) Nachlauflogik (7) und Motoransteuerung (10), Motor (11), Getriebe (12), Gewindespindel (13) und Mutterstück (14) so bewegt werden daß die Abtastelemente (1) in definierte Lagen zu definierten äquidistanten Bezugspunkten der Intensitätsverteilung positioniert werden, die Abtastelemente (1) in Verbindung mit Verstärker (3) und Trigger (4) und dem Grobzähler (8) die Grobuerte ermitteln, wobei jedem Grobimpuls eine bestimmte Anzahl von Feinimpulsen entspricht und die Feinimpulse durch die digitale Messung des NachlauSweges der Abtastelemente (1) ZU einem benachbarten Bezugspunkt mittels eines digitalen Meßsystems (15) gewonnen werden wobei die Grob- und Feinimpulse richtungsabhängig gezählt werden und daß bei einer bestimmten Steuerrichtung des Nachlaufsystems Grob- und Feinimpulse in dieser Richtung mit umgekehrten Vorzeichen zur Bildung des Meßergebnisses addiert werden, daß ferner im Bildausschnitt der periodischen Intensitätsverteilung (2) Begrenzungskontakte (16; 17) angeordnet sind, daß die Begrenzungslogik (6) die Abtastelemente (1) in die Mitte des Bildausschnittes steUert und daß der Kontakt (18) die Begrenzungslogik ausschaltet0 2o Vorrichtung zur Durchfuhrung des Verfahrens nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß den fotoelektrischen Empfängern (1), Verstärker (3), Trigger (4), Grobzähler (8) und Nachlauflogik (7) nachgeschaltet sind, daß ein Trigger (5) an den Verstärker (3) angeschlossen ist, der Trigger (5) mit der Nachlauflogik (7) verbunden ist, daß die Kontakte (16; 17; 18) mit der Begrenzungslogik (6) und die Begrenzungslogik (6) mit der Nachlauflogik (7) verbunden sind, daß der Nachlauflogik (7) die Motorsteuerung (10) folgt, daß die Motorsteuerung (10) mit dem Motor (11) verbunden ist, daß an dem Motor (11) ein Getriebe (12) angeschlossen ist sowie eine Spindel (13) und ein Mutterstück (14) angeordnet sind und daß einem digitalen Längen- bzwO Winkelmeßsystem ein Feinzähler (9) nachgeschaltet isto
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2562657A1 (fr) * 1984-04-04 1985-10-11 Mauser Werke Oberndorf Dispositif de mesure des longueurs

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2562657A1 (fr) * 1984-04-04 1985-10-11 Mauser Werke Oberndorf Dispositif de mesure des longueurs

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