DE2826891B2 - Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelement - Google Patents

Description

dadurch gekennzeichnet,

— daß die senkrecht zur Elastizitätsoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung verlaufenden Randabschnitte der breiten Endbereiche (4) der verschachtelten Kamm-Elektroden des wenigstens einen Interdigital-Wandlers (2) in wenigstens ein Randabschnittsteil-Paar (8, 8' in F i g. 3//8,8' in F i g. 51IV, 8"; 8', 8" in F i g. 6//81, 8Γ; 82,82'; 83,83' in F i g. 7) unterteilt sind, und

— daß die Randabschnittsteile in jedem Randabschnittsteil-Paar

— in der Elastizitätsoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung gegeneinander versetzt sind,

um(2n + 1) --^-

mit

η — 0 oder positiv ganzzahlig,
λ = Wellenlänge der Elastizitätsoberflächenwelle und

— untereinander gleich lang sind (F i g. 3; 5; 6; 7).

2. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

— daß der wenigstens eine Interdigital-Wandler (2) als Eingangs-Wandler dient (F i g. 3).

3. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

— daß der wenigstens eine Interdigital-Wandler (2) als Ausgangs- Wandler dient (F i g. 5).

4. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch π = 0.

Die Erfindung betrifft ein Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelement nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs I.

Kin Elastizitätsoberfiächenwellen-Bauelement ist ein elektronisches Bauelement mit einem Substrat aus einem piezoelektrischen Material und verschachtelten Kamm-Elektroden auf einer Fläche des Substrats, wobei eine Spannung entsprechend einem elektrischen Ein-

gangssignai an den Elektroden liegt, so daß der sich ergebende Elektrostriktionseffekt mechanische Kristallgitterspannungen im piezoelektrischen Material erzeugt, die sich in der Oberfläche des Materials ausbreiten.

Beispiele für derartige Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelemente in der Praxis sind Elastizitätsoberflächenwellen-Filter und Elastizitätsoberflächenwellen-Resonatoren.

Bei diesen Bauelementen jedoch tritt zwangsläufig das Problem auf, daß unterwünschte Reflexionswellen auf Grund der Eigenschaften des verwendeten piezoelektrischen Materials oder auf Grund der Wechselwirkung zwischen dem piezoelektrischen Material und den Elektroden erzeugt werden.

Zur Überwindung dieses Problems ist bereits zahlreicher Stand der Technik bekanntgeworden, der insbesondere vorsieht:

(vgl. DE-OS 25 32 357) Blindfinger,
(vgl. DE-OS 26 35 192) Metallbelegung,
(vgl. DE-OS 27 38 192) absorbierender Belag,
(vgl. DE-OS 26 18 210) (speziell bemessene)

Blindfinger,
(vgl. DE-OS 26 18 144) Metallbelegung.

Demgegenüber ist es Aufgabe der Erfindung, ein Elastbitätsoberflächenwellen-Bauelement nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 zu schaffen, bei dem — in zudem einfacher Weise — durch Reflexion von Elastizitätsoberflächenwellen an den senkrecht zur

Elastizitätsoberflächen wellen-Ausbreitungs richtung
verlaufenden Randabschnitten der breiten Endbereiche des Interdigital-Wandlers mit überlappungsgewichtetem Paar verschachtelter Kamm-Elektroden (entgegengesetzt zum jeweils anderen Wandler) bedingte Störsignale unterdrückt sind.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Lehre nach dem kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1.

Die Erfindung zeichnet sich also durch besondere Einfachheit aus, da sie den Aufbau des Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelements grundsätzlich unverändert läßt, nämlich mit nur einer geringfügigen geometrischen Variation der Randabschnitte der breiten Endbereiche im oben definierten Sinn auskommt, also diese Randabschnitte gewissermaßen geringfügig abstuft. Von der Erfindung nicht erfaßt wird der Gegenstand der JP-OS 54 389 aus dem Jahre 1976, also der Gegenstand der vorliegenden Fig. 1, bei dem ein einziges Randabschnitts-Paar aus gleichlangen, unversetzten Randabschnitten besteht.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Im folgenden wird das erfindungsgemäße Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelement anhand eines Filters als konkretes Beispiel näher erläutert.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung beispielsweise näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Draufsicht auf den Hauptteil eines bestehenden Elastizitätsoberflächen wellen-Filters,

Fig. 2 den Verlauf eines von dem in Fig. I dargestellten Elastizitätsoberflächenwellen-Filter gemessenen Impuls- oder Stoßsignals,

F i g. 3 eine Draufsicht auf den Hauptteil eines Elastizitätsoborflächenwellen-Fillers nach einem ersten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelements,

F i g. 4 den Verlauf eines mit dem in F i g. 3 dargestellten Elastizitätsoberflächenwellen-Filter gemessenen Impuls- oder Stoßsignals,

F i g. 5 eine Draufsicht des HaupttHes eines Elastizitätsoberflächenwellen-Filters nach einem zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelements,

F i g. 6 eine Draufsicht des Hauptteils eines Elastizitätsoberflächenwellen-Filters nach einem dritten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen ELstizitätsoberfidchenwellen-Bauelementsund

F i g. 7 eine Draufsicht des Hauptteils eines Elastizitätsoberflächenwellen-Filters nach einem vierten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelements.

Zum besseren Verständnis der Erfindung wird zunächst ein in Fig. 1 dargestelltes bestehendes herkömmliches Elastizitätsoberflächenweilen-Filter näher erläutert, um die dabei auftretenden Probleme zu erklären (vergleiche auch z.B. JP-OS 54 389/76). In Fig. 1, die schematisch den Hauptteil des Filters zeigt, d. h. einen Überlappungsgewichteten Interdigital-Wandler und dessen zugeordnete Teile, sind ein Interdigital-Wandler 1 mit regelmäßigen Überlappungslängen und ein Interdigital-Wandler 2 mit gewichteten Überlappungslängen vorgesehen, was für dieses Elastizitätsoberflächenwellen-Filter bezeichnend ist. Das Wichten der Überlappungslängen von verschachtelt :n Fingern 3 der Kamm-Elektroden ist erforderlich, um komplexe Frequenz- und Verzögerungszeit-Eigenschaften zu erhalten. Teile 4 der Kamm-Elektroden werden durch Zusammenfassen oder Integrieren der sich nicht überlappenden Teile der Finger jeder Kamm-Elektrode erhalten, wodurch die Herstellung erleichtert wird. Ein Substrat 7 aus einem piezoelektrischen Material dient als Medium für die Ausbreitung einer Elastizitätsoberflächenwelle: weiterhin sind vorgesehen äußere Randabschnitte 8 und 8' der Elektroden, Ausbreitungswege 10 und 10' für die vom Ende des Substrats reflektierten Ekistizitätsoberflächenwellen und Ausbreitungswege 11 und 1 Γ für die von den äußeren Randabschnitten 8 und 8' der Kamm-Elektroden reflektierten Elastizitätsoberflächenwellen.

In Fig. 1 verwendet das Elastizitätsoberwellen-Filter den überlagerungs- oder Überlappungsgewichtelen Interdigital-Wandler 2 als Eingangs-Wandler und den regelmäßig überlagerten oder überlappten Interdigital-Wandler 1 als Ausgangs-Wandler. Wenn bei dem Elastizitätsoberflächenwellen-F'ilter m\ diesem Aufbau ein Hauptsignal in den Eingangs-Wandler 2 eingespeist wird, erzeugt dieser eine (nicht dargestellte) Elastizitätsoberflächenwelle, die sich direkt zum Ausgangs-Wandler 1 ausbreitet, und weiterhin Elastizitätsoberflächenwellen 10 und 10', die sich anfänglich in der Richtung entgegengesetzt zum Ausgangs-Wandle.' 1 ausbreiten und dann vom ende des Substrats 7 reflektiert werden, um wieder zum Ausgangs-Wandler 1 zu laufen, sowie Elastizitätsoberflächenwellen 11 und 11', die sich anfänglich in der Richtung entgegengesetzt zum Wandler 1 Ausbreiten und dann von den Randabschnitten 8 und ft' der integrierten Teile oder Bereiche der Elektroden reflektiert werden, um wieder zum Ausgangs-WanUler 1 /u laufen. Die vom Ende des Substrates ^ reflektierten Oberflächenwellen 10 und 10' wurden bereits ausführlich untersucht. Es wurden zahlreiche Möglichkeiten entwickelt, um die Reflexionswcllen zu dämpfen. Bei einer dieser bereits entwickelten Möglichkeiten wird z. ti. ein hauptsächlich aus Harz bestehendes Material zur Absorption der Ultraschallwellen zwischen den Enden des Substrates 7 und dem Eingangs- sowie dem Ausgangs-Wandler 2 bzw. 1 vorgesehen. Mit dieser Möglichkeit können die vom -, Ende des Substrates 7 reflektierten Elastizitätsoberflächenwellen ausreichend gedämpft werden.

Bei genauerer Untersuchung der Reflexionsoberflächenwellen vom Ende des Substrates 7 haben die Erfinder jedoch erkannt, daß Störsignale vorliegen, die

ίο durch das herkömmliche Wissen nicht zu erklären sind und eine kürzere Verzögerungszeit als die Signale entsprechend den Reflexionsoberflächenwellen vom Ende des Substrates 7 haben. Die Störsignale, die den Reflexionsoberflächenwelien vom Ende des Substrates

r, 7 entsprechen und daher ausgeschlossen werden können, haben gewöhnlich eine Verzögerungszeit von 3 bis 5 μ5, die sich abhängig von den Abständen zwischen den Enden des Substrates und dem Eingangs- und dem Ausgangs-Wandler ändert, während die nicht zu

.'ο erklärenden Störsignale eine Verzögerungszeit kleiner als 2 ,us aufweisen. Wenn die Abstände sehr klein sind, nähern sich die erklärbaren und die nicht erklärbaren Störsignale in der Verzögerungszeit einander an, was sofort einzusehen ist.

>-, Fig. 2 zeigt eine Impuls- oder Sloßsignal-Aniwort des in F i g. 1 dargestellten Elastizitätsoberflächenwellen-Filters mit einem gewünschten Hauptsignal 5 und einem von den Erfindern ermitteltem nicht erklärbaren Störsignal 6. Bei der Untersuchung eines von den

κι Erfindern für Versuchzwecke hergestellten Elastizitätsoberflächenwellen-Filters zeigte das Störsignal 6 eine Verzögerungszeit von ca. 2 μ5 und eine Amplitude von ca. -3OdB bezüglich des Hauptsignals. Daraus folgt, daß das Störsignal beträchtlich die Filtereigenschaften

j-, stört oder verschlechtert und somit sehr nachteilhaft ist.

Im folgenden werden zunächst das Grundprinzip der

Erfindung und dann Ausführungsbeispiele von dieser anhand der Zeichnung und insbesondere anhand der F i g. 3 näher erläutert. Das Elastizitätsoberflächcnwel-

4i) len-Bauelement kann zwei oder mehr Interdigital-Wandler aufweisen, von denen jeder ein Paar verschachtelter Kamm-Elektroden auf einem piezoelektrischen Substrat hat, wobei wenigstens einer der Wandler ein überlappungsgewichtetes Paar von ver-

4-, schachtelten Kamm-Elektroden aufweist. Im einfachsten Fall hat ein Paar von Randabschnitten 8 und 8' der breiten Endbereiche der Kamm-Elektroden des überlappungsgewichteten Wandlers senkrecht zur Elastizitätsoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung dit gleiche

,ο Länge, und die Lage oder Stelle des Randabschnittes 8 eines breiten Endbereiches ist um λ/4 von der Lage oder Stelle des Randabschnittes 8' des anderen breiten Endbereiches in der Elastizitätsoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung verschieden, wobei die Differenz λ/4

-,-, einem Fall mit η = 0 entspricht. In diesem Fall ist die Differenz zwischen den Wegen, auf denen sich die Signale in Vorwärts- und in Rückwärts-Richtung in der Kamm-Elektrode aufgrund der Reflexion von den Endabschnitten 8 und 8' der breiten Endbereiche

^h" ausbreiten, gleich y· 2, d. h. einer halben Wellenlänge.

Da die Längen der Randabschnitte 8 und 8' im wesentlichen gleich zueinander sind, wird die Amplitude der von diesen reflektierten Signale gleich. Da weiterhin „■-, eine Phasendifferenz von 180° zwischen den Signalen vorliegt, wird das am Ausgangs-Wandler empfangene sich ergebende Signal auf Null verringert, d.h., die Störsignale verschwinden.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.

Fig. 3 zeigt schematisch in einer Draufsicht den Hauptteil oder -bereich eines Elastizitätsoberflächenwellen-Filters nach einem ersten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelements. In F i g. 3 werden einander entsprechende Teile mit den gleichen Bezugszeichen versehen wie in Fig. 1. Bei diesem Ai:sführungsbeispiel ist das Substrat des Elastizitätsoberflächenwellen-Filters eine Platte 7 aus Lithiumniobat LiNbOj mit zwei Hauptflächen von 3 mm χ 7 mm, durch das sich Schall mit einer Geschwindigkeit von ca. 3900 m/s bei Raumtemperatur ausbreitet, und die theoretische Mittenfrequenz des durch den Aufbau des Bauelements bestimmten Hauptsignals beträgt 57 MHz, so daß λ *== 69 μπι vorliegt.

Entsprechend sollte der überlappungsgewichtete Eingangs-Interdigital-Wandler 2 Kamm-Elektroden haben, wobei die Längen der Randabschnitte 8 und 8' von deren breiten Endbereiche gleich zueinander eingestellt sind und wobei weiterhin die Lage oder Stelle des

Randabschnittes 8 um-^-« 17 μιη von der Lage oder Stelle des Randabschnittes 8' in der Elastizitätsoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung verschieden eingestelltist.

Ein Elastizitätsoberflächenwellen-Filter mit einem derartigen Aufbau wurde auf übliche Weise hergestellt, und es wurde das oben erläuterte Impuls- oder Stoßsignal beobachtet, um dessen Kennlinie abzuschätzen. F i g. 4 zeigt das Meßergebnis für die Filter-Kennünie, wobei der Verlauf des Impuls- oder Stoßsignals dargestellt ist. Wie in Fig.4 gezeigt ist, wird das Störsignal 6. das in F i g. 2 auftritt, gedämpft, d. h. unter -4OdB bezüglich des Hauptsignals 5 unterdrückt. Das gedämpfte Signal wird als das Störsignal 6 erkannt, da die Verzögerungszeit des gedämpften Signals gleichbleibt, obwohl die Abmessungen des Substrates 7 <n der Elastizitätsoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung erhöht sind, um die Wege 10 und 10' der von den Enden des Substrates 7 reflektierten Oberflächenwellen, wie in Fig. 1, zu verlängern.

Der Vorgang der Dämpfung des Störsignals 6 wird im folgenden entsprechend dem Grundprinzip der Erfindung näher erläutert.

Der Hauptbereich oder Hauptteil der durch den Überlappungsgewichteten Eingangs-Wandler 2 erzeugten Elastizitätsoberflächenwelle pflanzt sieb "im Ausgangs-Wandler 1 mit regelmäßiger Überlappung fort und wird als ein Hauptsignal 5 durch den Wandler 1 empfangen. Jedoch breitet sich der übrige Bereich der erzeugten Elastizitätsoberflächenwelle in der zum Ausgangs-Wandler 1 entgegengesetzten Richtung aus. Die sich umgekehrt ausbreitenden Wellen werden von den Randabschnitten 8 und 8' der breiten Endbereiche der Kamm-Elektroden des Eingangs-Wandlers 2 teilweise reflektiert Die reflektierten Signale haben bei Empfang durch den Ausgangs-Wandler 1 nach Fortpflanzung auf den Wegen 11 und 11' die gleiche Amplitude und eine Phasendifferenz von 180° zueinander (vgl. oben), da das Signal auf dem Weg 8 um -j- · 2 weiter gelaufen ist als das Signal auf dem Weg 8'. Die empfangenen Signale löschen einander daher aus, um ein Null-Ausgangssignal zu erzeugen. Damit wird das Störsignal 6 ausgeschlossen, wie dies in F i g. 4 gezeigt ist

F i g. 5 zeigt in einer Draufsicht schematisch eir anderes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßer Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelements, bei dem eir überlappungsgewichleter lnierdigital-Wandler 2 wie , beim ersten Ausführungsbeispiel als Ausgangs-Wandler vorgesehen ist, während ein Interdigiud-Wandler 1 mil regelmäßiger Überlappung wie beim ersten Ausführungsbeispiel als Eingangs-Wandler dient.

Der überlappungsgcwichictc Aüsgangs-inierdigiiu!-

:n Wandler 2 hat gleiche Kamm-Elektroden mit gleicher breiten Endbereichen, und daher sind die Längen dei Randabschnitte 8 und 8' zueinander gleich, und derer Stellen oder Lagen in der Elastizitätsoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung des Wandlers 2 weichen um λ/Α

ι j voneinander ab. Das Substrat 7 ist eine Platte au: Lithiumniobat LiNbOj mit einer Hauptfläche vor 7 mm χ 3 mm. Bei diesem Aufbau breitet sich dei Hauptteil oder Hauptbereich der durch den Eingangs Wandler 1 erzeugten Elastizitätsoberflächenwelle aul

j» den Wegen 11 und 11' aus und wird vom Ausgangs-Wandler 2 als ein Hauptsignal aufgenommen. Dei übrige Bereich oder Teil der erzeugten Welle wird vor den Randabschnitten 8 und 8' der breiten Endbereiche der Kamm-Elektroden des Ausgangs-Wandlers 2

r> reflektiert, ur: Störsignale zu bilden. Die Störsignale, die die von den Randabschnitten 8 und 8' reflektierten Signale sind, haben die gleiche Amplitude und eine Phasendifferenz von 180° entsprechend der Wegdifferenz von 2 χ ⁼ T, so daß sie einander wiebeim erster

Ausführungsbeispiel auslöschen.

Wie ein Vergleich des zweiten Ausführungsbeispiels mit dem ersten Ausführungsbeispiel zeigt, sind die Lagen oder Stellen des Überlappungsgewichteten

r. Wandlers und des Wandlers mit regelmäßiger Überlappung bei diesen Ausführungsbeispielen vertauscht. Eine derartige alternative Auswahl der verschiedenen Wandler als Eingangs- und als Ausgangs-Bauelement hängt von der Verwendung des Filters ab. Zum Beispiel

κι kann die Impedanz des Wandlers einer der Faktoren sein, um zu bestimmen, welcher Aufbau wie in Fig. 3 oder 5 verwendet werden soll.

Bei den obigen Ausführungsbeispielen ist die Differenz zwischen den Lagen oder Stellen der

4-, Randabschnitte 8 und 8' auf λ/4 eingestellt; die gleiche Wirkung kann jedoch auch in einem Fall erzielt werden,

in dem die Differenz 3 -^. 5 -^, 7 -^... oder (2n + 1) -^-beträgt, wobei π positiv ganzzahlig ist. Wenr

'" insbesondere die Differenz gleich (2n ■+- 1) ■-£ eingestellt wird, ist die Differenz zwischen den Wegen, auf denen sich die Signale vorwärts und rückwärts wegen der Reflexion von den Randabschnitten 8 und 8' ausbreiten, gleich der doppelten Lagedifferenz (rückwärts und vorwärts), so daß gilt:

Was eine periodische Funktion mit einer Periode λ anbelangt so bildet im allgemeinen der Term ηλ keine Differenz, und der Term λ/2 spielt eine entscheidende Rolle. Wenn so die Lagedifferenz (2n + 1)-^-beträgt, wird die Wegdifferenz immer λ/2, so daß die Phasendifferenz zwischen den reflektierten Signalen 180" beträgt, um ein Null-Ausgangssignal zu erzeugen.

Bei den obigen Ausführungsbeispielen sind die Randabschnitte 8 und 8' der breiten Endbereiche der Kamm-Elektroden gerade mit gleicher Länge. Die geometrischen Formen der Randabschnitte können jedoch etwas geändert werden. Insbesondere haben die Randabschnitte der breiten Endbereiche eines Interdigital-Wandlers mit einem Überlappungsgewichteten Paar von verschachtelten Kamm-Elektroden eine Kombination von wenigstens einem Paar von Randabschnittsteilen, wobei die Randabschnitte senkrecht zur Elastizitätsoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung sind. In diesem Fall müssen zwei Anforderungen erfüllt sein. Zunächst müssen die Längen der Randabschnittsteile in jedem Paar der Randabschnittsleile gleich zueinander sein. Außerdem muß die Lagedifferenz zwischen den beiden Ranuabschniitsteilen in jedem Paar den Wert

(2n + 1)-^-haben, mit η = 0, 1, 2,... Sofern die beiden

obigen Forderungen erfüllt sind, haben ein vom einen Randabschnittsteil reflektiertes Signal und ein vom anderen Randabschnittsteil reflektiertes Signal die gleiche Amplitude und eine Phasendifferenz von 180°, so daß sie einander aufheben, um ein NuI!-Ausgangssignal zu erzeugen, wobei der eine Randabschnittsteil und der andere Randabschnittsteil ein Paar bilden (d. h., die gleiche Länge und die obige Lagebeziehung aufweisen). F i g. 6 zeigt schematisch in Draufsicht ein Elastizitätsoberflächenwellen-Filter nach einem dritten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelements, wobei das Filter die beiden oben erläuterten Forderungen erfüllt. Bei diesem dritten Ausführungsbeispiel (vgl. Fig.6) besteht einer der Randabschnitte aus Randabschnittsteilen 8" und 8'" mit jeweils einer Länge gleich der halben Länge des anderen Randabschnittes 8', wobei der Randabschnittsteil 8" der einen Hälfte des Randabschnittes 8' (um ein Randabschnittsteil-Paar zu bilden) und der Randabschnittsteil 8'" der anderen Hälfte des Randabschnittes 8' (um ein anderes Randabschnittsteil-Paar zu bilden) entspricht. Die Lagedifferenz zwischen dem Randabschnittsteil 8" und der einen Hälfte des Randabschnittes

8' beträgt-^-« 17μΐη, und die Lagedifferenz zwischen dem Randabschnittsteil 8'" und der anderen Hälfte des Randabschnitts 8'beträgt-^-· 3 = 51 μιτι. Daher löschen

die von jedem Randabschnittsteil-Paar, d. h. von den Randabschnittsteilen und von deren gleichwertigen Abschnitten, wie der beiden Hälften des Randabschnittes 8', reflektierten Signale einander aus, um am Ausgangs-Wandler kein Störsignal zu erzeugen.

Da der Randabschnitt 8' nicht physikalisch in Randabschnittsteile geteilt ist, müssen die Längen der Randabschnittsteile 8" und 8'" nicht notwendig gleich zueinander sein. Wenn andere einschränkende Bedingungen berücksichtigt werden, können die Längen geeignet eingestellt werden, um diese Bedingungen zu

ίο erfüllen. Auch in diesem Fall erzeugen die reflektierten Signale kein Ausgangssignal.

F i g. 7 zeigt schematisch in Draufsicht ein Elastizitätsoberflächenwellen-Filter nach einem vierten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelements, bei dem die beiden Randabschnitte 8 und 8' der breiten Endbereiche der Kamm-Elektroden des Überlappungsgewichteten Interdigital-Wandlers komplizierter in Randabschnittsteile unterteilt sind, um andere einschränkende Bedingungen zu erfüllen. Bei diesem Ausführungsbeispiel (vgl. F i g. 7) haben die Randabschnitte 8 und 8' drei Paare von Randabschnittsteilen 81, 81'; 82, 82' und 83, 83'. Die Randabschnittsteile 81, 82 und 83 haben jeweils gleiche Längen wie die Randabschnittsteile 81', 82' bzw. 83'. Die Lagedifferenzen zwischen diesen paarweisen Randabschnittsteilen betragen 17 μπι bzw. 17 μπι bzw. 51 μπι in der oben erläuterten Reihenfolge. Entsprechend haben die von den Randabschnittsteilen 81 und 81' reflektierten und sich auf den Wegen 12 und 12' ausbreitenden

jo Signale eine Phasendifferenz von 180° entsprechend der Wegdifferenz und löschen einander daher aus. Auf ähnliche Weise haben die von den paarweisen Randabschnittsteilen 82 und 82' oder 83 und 83' reflektierten Signale, die sich auf den Wegen 11 und 11' bzw. 13 und 13' ausbreiten, eine Phasendifferenz von 180° und löschen einander daher aus.

Folglich können die Störsignale allgemein beträchtlich unterdrückt werden, die durch die von den Randabschnitten reflektierten Wellen hervorgerufen werden.

Das erfindungsgemäße Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelement kann Störsignale beträchtlich unterdrücken, die aufgrund der Reflexion der Oberflächenwellen an den Randabschnitten der breiten Endbereiche der Kamm-Elektroden des Überlappungsgewichteten Interdigital-Wandlers hervorgerufen sind, so daß die Filtereigenschaften merklich verbessert sind.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:

1. Elastizitätsoberflächenwellen-Bauelement,

— aus einem Substrat aus einem piezoelektrischen Material als Träger für die Ausbreitung von Elastizitätsoberflächenwellen und

— aus mindestens einem Eingangs- und mindestens einem Ausgangs-Interdigital-Wandler, die jeweils zwei verschachtelte Kamm-Elektroden auf dem Substrat aufweisen,

— wobei wenigstens einer der Interdigital-Wandler zwei Überlappungsgewichtete verschachtelte Kamm-Elektroden besitzt,

— die außerhalb des Überlappungsbereiches zu einer geschlossenen leitenden Fläche als breitem Endbereich an demjenigen Ende zusammengefaßt sind, das

— je nachdem, ob der wenigstens eine Interdigital-Wandler als Eingangs- oder Ausgangs-Wandler dient, entgegengesetzt zum Ausgangs- bzw. Eingangs-Wandler liegt,