DE2745703A1 - Verfahren, bei dem eine lichtabsorbierende, fuer elektronen durchlaessige schicht in einer bildverstaerkerroehre angeordnet wird - Google Patents

Verfahren, bei dem eine lichtabsorbierende, fuer elektronen durchlaessige schicht in einer bildverstaerkerroehre angeordnet wird

Info

Publication number
DE2745703A1
DE2745703A1 DE19772745703 DE2745703A DE2745703A1 DE 2745703 A1 DE2745703 A1 DE 2745703A1 DE 19772745703 DE19772745703 DE 19772745703 DE 2745703 A DE2745703 A DE 2745703A DE 2745703 A1 DE2745703 A1 DE 2745703A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
layer
tube
absorbing layer
electrones
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19772745703
Other languages
English (en)
Inventor
Johannes Jacobus Houtkamp
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Optische Industrie de Oude Delft NV
Original Assignee
Optische Industrie de Oude Delft NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Optische Industrie de Oude Delft NV filed Critical Optische Industrie de Oude Delft NV
Publication of DE2745703A1 publication Critical patent/DE2745703A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
    • H01J29/18—Luminescent screens
    • H01J29/30—Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines
    • H01J29/32—Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines with adjacent dots or lines of different luminescent material, e.g. for colour television
    • H01J29/327—Black matrix materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
    • H01J29/18—Luminescent screens
    • H01J29/28—Luminescent screens with protective, conductive or reflective layers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/50—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
    • H01J31/505—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output flat tubes, e.g. proximity focusing tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/22—Applying luminescent coatings
    • H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
    • H01J9/2278—Application of light absorbing material, e.g. between the luminescent areas

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Description

N.V. Optische Industrie "De Oude DeIft"
Delft, Niederlande
Verfahren, bei dem eine lichtabsorbierende, für Elektronen durchlässige Schicht in einer Bildverstärkerröhre angeordnet wird.
Bildverstärkerröhren umfassen, bekanntlich, eine Photokathode und eine im Abstand von dieser liegende Anode. Die Anode besteht normalerweise aus einem für Licht transparenten Substrat, das beispielsweise ein . Ausgangsfenster aus Glas oder ein faseroptisches System umfasst, auf welchem Substrat im Innern der Röhre eine Schicht aus Lumineszenzmaterial angeordnet ist. Auf dieser Schicht befindet sich normalerweise eine Aluminiumschicht. Diese Aluminiumschicht hat eine Anzahl Funktionen, unter denen der Schutz der Lumineszenzschicht gegen Alkalidämpfe während der Formung der Röhre und das Reflektieren von Licht, das beim Einfallen von Elektronen in die Lumineszenzschicht entsteht und gegen das Innere der Röhre gerichtet ist.
Es ist klar, dass die betreffende Aluminiumschicht auch Licht reflektiert, das über die Photokathode in die Röhre eindringt. Dieses Licht wird teilweise zur Photokathode zurückgeworfen und macht bei dieser Photokathode Photoelektronen frei, die störend wirken und die Bildqualität der Röhre vermindern.
809817/0700
Es ist bekannt, diesen Nachteil dadurch zu beseitigen, dass in einer Stickstoffatmosphäre, d.h. eine Atmosphäre, die ganz oder teilweise aus Stickstoff besteht, Aluminium bei einem verhältnismässig niedrigen Druck
— 1 -2
von ongefähr 10 -10 Torr aufgedampft wird. Bei einer solchen Aufdämpfung entsteht eine schwarze Aluminiumnitridschicht, die das durch die Kathode durchgelassene Licht grössenteils absorbiert.
Es hat sich herausgestellt, dass die Durchführung dieses Verfahrens schwierig ist und dass dieses Verfahren schlecht reproduzierbare Resultate ergibt. Ausserdem tritt bei diesem Verfahren eine Verunreinigung der die Anode der Röhre umgebenden Teile davon auf.
Die Erfindung bezweckt, diese Nachteile zu beseitigen. Dazu wird erfindungsgemäss zum Erzielen der lichtabsorbierenden Schicht ein Element mit niedrigem Atomgewicht oder eine Verbindung davon im Hochvakuum bis zu einer Dicke von etwa *\/h λ aufgedampft, wobei λ die durchschnittliche Wellenlänge des Lichts ist, das während der Betriebes der Röhre die Photokathode desselben trifft.
Es hat sich herausgestellt, dass von den obengenannten Elementen mit niedrigem Atomgewicht die Elemente Silizium und Bor sich bewähren. Ein Nebenvorteil der Verwendung dieser Elemente liegt darin, dass beide Elemente einen sehr niedrigen Dampfdruck aufweisen. Das bedeutet, dass bei der Herstellung der Röhre, bei der verhältnismässig hohe Temperaturen auftreten, z.B. in der Ordnung von 1+000C, keine Verschlechterung des Hochvakuums auftritt. Weiterhin hat es sich gezeigt, dass das erfindungsgemässe Verfahren es ermöglicht, die betreffende Schicht in einer einfachen, säubern und reproduzierbaren Weise anzubringen, welche Schicht infolge ihrer geringen Dicke und des niedrigen Atomgewichts ausserdem eine geringe Absorption von Elektronen aufweist.
Es wird darauf hingewiesen, dass die Schichtdicke nicht strikt gleich 1/U λ zu sein braucht, sondern einigermassen variiert werden kann, um eine optimale Anpassung an die Spektraltransmission der Photokathode zu erzielen.
809817/0700
Zum Erzielen guter Resultate wird es bevorzugt, dass das Hochvakuum einen Wert von ungefähr 10 bis 10~ Torr hat.
Weiter wird bemerkt, dass obgleich das erfindungsgemässe Verfahren auf jeden beliebigen Typus Bildverstärkerröhre Anwendung findet, die Vorteile an meisten bei einer Bildverstärkerröhre vomNahfokus-Typus hervortreten. Bei einer solchen Röhre befinden sich bekanntlich die Photokathode und Anode in geringem Abstand voneinander, wodurch die Gefahr, dass eine störende sekundäre Elektronenemission entsteht, wie oben erwähnt, grosser ist als bei Bildverstärkerröhren von einem anderen Typus,bei dem der genannte Abstand zwischen den Elektroden verhältnismässig gross ist.
809817/0700

Claims (5)

Ansprüche
1.)Verfahren, bei dem in einer Bildverstärkerröhre, mehr insbesondere vom Nahfokus-Typus, eine lichtabsorbierende, für Elektronen durchlässige Schicht auf der Deckschicht angeordnet wird, welche auf der aus einem Lumineszenzmaterial bestehenden Schicht der Anode der Röhre angebracht ist, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtabsorbierende Schicht aus einem Element mit niedrigem Atomgewicht oder einer Verbindung davon im Hochvakuum bis zu einer Dicke von ungefähr 1/1* λ aufgedampft wird, wobei λ die durchschnittliche Wellenlänge des Lichts ist, das während des Betriebes der Röhre die Photokathode davon trifft.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Element aus Silizium besteht.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Element aus Bor besteht.
k. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Hochvakuum einen Wert von ungefähr 10 - 10 Torr hat.
5. Bildverstärkerrohre,versehen mit einer lichtabsorbierenden Schicht, erhalten entsprechend dem Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
809817/0700
DE19772745703 1976-10-20 1977-10-11 Verfahren, bei dem eine lichtabsorbierende, fuer elektronen durchlaessige schicht in einer bildverstaerkerroehre angeordnet wird Ceased DE2745703A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7611593A NL7611593A (nl) 1976-10-20 1976-10-20 Werkwijze voor het in een beeldversterkerbuis aanbrengen van een lichtabsorberende, voor elek- tronen doorlaatbare laag.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2745703A1 true DE2745703A1 (de) 1978-04-27

Family

ID=19827084

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772745703 Ceased DE2745703A1 (de) 1976-10-20 1977-10-11 Verfahren, bei dem eine lichtabsorbierende, fuer elektronen durchlaessige schicht in einer bildverstaerkerroehre angeordnet wird

Country Status (6)

Country Link
US (2) US4201797A (de)
JP (2) JPS5350967A (de)
DE (1) DE2745703A1 (de)
FR (1) FR2368797A1 (de)
GB (1) GB1583178A (de)
NL (1) NL7611593A (de)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4540914A (en) * 1982-12-17 1985-09-10 Lockheed Missiles & Space Company, Inc. Absorbing graded nitride film for high contrast display devices
WO1988001824A1 (en) * 1986-08-26 1988-03-10 Tds Patent Management, Inc. Cathode ray tube with integral mirror optics for three-tube projection television systems having increased light output
KR910008076B1 (ko) * 1989-09-07 1991-10-07 삼성전관 주식회사 전자발광소자의 제조방법
US7498557B2 (en) 2005-09-08 2009-03-03 Applied Materials Israel Ltd. Cascaded image intensifier
US10197501B2 (en) 2011-12-12 2019-02-05 Kla-Tencor Corporation Electron-bombarded charge-coupled device and inspection systems using EBCCD detectors
US9496425B2 (en) 2012-04-10 2016-11-15 Kla-Tencor Corporation Back-illuminated sensor with boron layer
US9601299B2 (en) 2012-08-03 2017-03-21 Kla-Tencor Corporation Photocathode including silicon substrate with boron layer
US9426400B2 (en) 2012-12-10 2016-08-23 Kla-Tencor Corporation Method and apparatus for high speed acquisition of moving images using pulsed illumination
US9478402B2 (en) * 2013-04-01 2016-10-25 Kla-Tencor Corporation Photomultiplier tube, image sensor, and an inspection system using a PMT or image sensor
US9347890B2 (en) 2013-12-19 2016-05-24 Kla-Tencor Corporation Low-noise sensor and an inspection system using a low-noise sensor
US9748294B2 (en) 2014-01-10 2017-08-29 Hamamatsu Photonics K.K. Anti-reflection layer for back-illuminated sensor
US9410901B2 (en) 2014-03-17 2016-08-09 Kla-Tencor Corporation Image sensor, an inspection system and a method of inspecting an article
US9767986B2 (en) 2014-08-29 2017-09-19 Kla-Tencor Corporation Scanning electron microscope and methods of inspecting and reviewing samples
US9860466B2 (en) 2015-05-14 2018-01-02 Kla-Tencor Corporation Sensor with electrically controllable aperture for inspection and metrology systems
US10748730B2 (en) 2015-05-21 2020-08-18 Kla-Tencor Corporation Photocathode including field emitter array on a silicon substrate with boron layer
US10462391B2 (en) 2015-08-14 2019-10-29 Kla-Tencor Corporation Dark-field inspection using a low-noise sensor
US10778925B2 (en) 2016-04-06 2020-09-15 Kla-Tencor Corporation Multiple column per channel CCD sensor architecture for inspection and metrology
US10313622B2 (en) 2016-04-06 2019-06-04 Kla-Tencor Corporation Dual-column-parallel CCD sensor and inspection systems using a sensor
US11114489B2 (en) 2018-06-18 2021-09-07 Kla-Tencor Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor
US10943760B2 (en) 2018-10-12 2021-03-09 Kla Corporation Electron gun and electron microscope
US11114491B2 (en) 2018-12-12 2021-09-07 Kla Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor
US11848350B2 (en) 2020-04-08 2023-12-19 Kla Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor using a silicon on insulator wafer

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3254253A (en) * 1960-12-14 1966-05-31 Emi Ltd Photo-electrically sensitive devices
DE1289587B (de) * 1963-08-02 1969-02-20 Emi Ltd Elektronenentladungsvorrichtung fuer Bildverstaerker, Bildaufnahmeroehren und Photovervielfacher
DE2436622A1 (de) * 1974-07-30 1976-02-19 Licentia Gmbh Optoelektronische roehre, insbesondere bildverstaerkerroehre

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2303563A (en) * 1941-05-09 1942-12-01 Rca Corp Cathode ray tube and luminescent screen
US2960416A (en) * 1952-07-29 1960-11-15 Rauland Corp Method of manufacturing screens for electron-discharge devices
US3040201A (en) * 1960-03-03 1962-06-19 Westinghouse Electric Corp Method of processing electroluminescent phosphor and electroluminescent device
US3167677A (en) * 1960-12-16 1965-01-26 American Cyanamid Co Electroluminescent device
US3692576A (en) * 1969-01-12 1972-09-19 Victor Company Of Japan Electron scattering prevention film and method of manufacturing the same
JPS4979169A (de) * 1972-12-04 1974-07-31
US3984581A (en) * 1973-02-28 1976-10-05 Carl Zeiss-Stiftung Method for the production of anti-reflection coatings on optical elements made of transparent organic polymers
JPS5181556A (ja) * 1975-01-14 1976-07-16 Tokyo Shibaura Electric Co Imeejikan
US4155024A (en) * 1977-06-03 1979-05-15 Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. Image tube having output fluorescent screen coated with porous and solid aluminum layers
US4193011A (en) * 1978-05-17 1980-03-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Thin antireflection coating for electro-optical device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3254253A (en) * 1960-12-14 1966-05-31 Emi Ltd Photo-electrically sensitive devices
DE1289587B (de) * 1963-08-02 1969-02-20 Emi Ltd Elektronenentladungsvorrichtung fuer Bildverstaerker, Bildaufnahmeroehren und Photovervielfacher
DE2436622A1 (de) * 1974-07-30 1976-02-19 Licentia Gmbh Optoelektronische roehre, insbesondere bildverstaerkerroehre

Also Published As

Publication number Publication date
GB1583178A (en) 1981-01-21
FR2368797A1 (fr) 1978-05-19
JPS5350967A (en) 1978-05-09
US4275326A (en) 1981-06-23
JPS56134672U (de) 1981-10-13
NL7611593A (nl) 1978-04-24
US4201797A (en) 1980-05-06
FR2368797B1 (de) 1981-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2745703A1 (de) Verfahren, bei dem eine lichtabsorbierende, fuer elektronen durchlaessige schicht in einer bildverstaerkerroehre angeordnet wird
DE761008C (de) Anordnung zur Steuerung von Wellenstrahlung durch Wellen- oder Korpuskularstrahlung mit Hilfe eines Relais oder Relaisschirmes
DE2616837A1 (de) Strukturierter leuchtschirm fuer roentgenstrahlen
DE1467734B2 (de) Weiterbildung der Vorrichtung zur Um Wandlung von Licht in Warme, mit einer Metallbasis
DE3440173A1 (de) Projektions-kathodenstrahlroehre
DE2137327A1 (de) Filter zur Kontrasterhohung bei Sichtanzeigegeraten
DE2644977A1 (de) Elektrische reflektorlampe
DE2109903A1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Multi alkali Photokathode
DE3443604A1 (de) Vortestverfahren und geraet fuer einen wetterbestaendigkeitstest
DE3736185C2 (de) Photoelektrische Wandlerröhre
DE2813919A1 (de) Eingangs-bildschirm fuer roentgen- fluoreszenzvervielfacher
DE909378C (de) Fotoelektronen oder Sekundaerelektronen emittierende Oberflaeche
DE2304151B2 (de) Bildverstärkerkameraröhre
DE2049127C3 (de) Bildverstärker
DE3415831C2 (de)
DE3925776C2 (de)
DE2134110B2 (de) Eingangsschirm für elektronenoptischen Bildverstärker und Verfahren zur Herstellung einer verlaufenden Schicht des Eingangsschirms
DE2854213A1 (de) Verfahren zur herstellung von zu isolierscheiben verarbeitbaren, infrarotreflektierenden fensterscheiben und durch das verfahren hergestellte fensterscheiben sowie isolierscheiben
EP0033894B1 (de) Mehrstufiger Vakuum-Röntgenbildverstärker
DE3413175C2 (de)
DE10109242C1 (de) Schmalbandiger Spektralfilter und seine Verwendung
DE69720395T2 (de) Röntgenbildverstärkerröhre
DE3310303A1 (de) Bildverstaerkervorrichtung
DE646469C (de) Durch Licht gesteuerte Verstaerkerroehre mit Gluehkathode, Anode und als Steuerelektrode dienender photoelektrisch wirksamer Flaeche
DE4440448C2 (de) Röntgenstrahlungsquelle mit erhöhter Strahlungsausbeute

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8131 Rejection