DE2745288A1 - Farbbild-abtastanordnung sowie verfahren zur herstellung derselben - Google Patents
Farbbild-abtastanordnung sowie verfahren zur herstellung derselbenInfo
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 115
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 42
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 33
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 29
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 25
- -1 saturated bicyclic hydrocarbon Chemical class 0.000 claims description 22
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 claims description 19
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 10
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 9
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 9
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 8
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 8
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 5
- 125000002619 bicyclic group Chemical group 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 4
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 2
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 76
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 22
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 22
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 22
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 22
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 6
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 6
- 239000001046 green dye Substances 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001864 baryta Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001045 blue dye Substances 0.000 description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000007859 condensation product Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 3
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N phenylbenzene Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 239000001044 red dye Substances 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 3
- 238000010023 transfer printing Methods 0.000 description 3
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 3
- NQMUGNMMFTYOHK-UHFFFAOYSA-N 1-methoxynaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(OC)=CC=CC2=C1 NQMUGNMMFTYOHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 1-naphthylamine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=CC2=C1 RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWBBPBRQALCEIZ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethylphenol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1C QWBBPBRQALCEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VXSCPERJHPWROZ-UHFFFAOYSA-N 2,4,5-trimethylphenol Chemical compound CC1=CC(C)=C(O)C=C1C VXSCPERJHPWROZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NXXYKOUNUYWIHA-UHFFFAOYSA-N 2,6-Dimethylphenol Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1O NXXYKOUNUYWIHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 2-naphthol Chemical compound C1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FDQQNNZKEJIHMS-UHFFFAOYSA-N 3,4,5-trimethylphenol Chemical compound CC1=CC(O)=CC(C)=C1C FDQQNNZKEJIHMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N 3,4-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1C YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TUAMRELNJMMDMT-UHFFFAOYSA-N 3,5-xylenol Chemical compound CC1=CC(C)=CC(O)=C1 TUAMRELNJMMDMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical class C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N Acetamide Chemical compound CC(N)=O DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HPEUJPJOZXNMSJ-UHFFFAOYSA-N Methyl stearate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC HPEUJPJOZXNMSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CIUQDSCDWFSTQR-UHFFFAOYSA-N [C]1=CC=CC=C1 Chemical compound [C]1=CC=CC=C1 CIUQDSCDWFSTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N acridine Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 150000005840 aryl radicals Chemical class 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052601 baryte Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010428 baryte Substances 0.000 description 2
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 2
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- SQNZJJAZBFDUTD-UHFFFAOYSA-N durene Chemical compound CC1=CC(C)=C(C)C=C1C SQNZJJAZBFDUTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 2
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 2
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N hexadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N isophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GPSDUZXPYCFOSQ-UHFFFAOYSA-N m-toluic acid Chemical compound CC1=CC=CC(C(O)=O)=C1 GPSDUZXPYCFOSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N nonanedioic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCC(O)=O BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N phenanthrene Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N pimelic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCC(O)=O WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- TYFQFVWCELRYAO-UHFFFAOYSA-N suberic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCC(O)=O TYFQFVWCELRYAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KZNICNPSHKQLFF-UHFFFAOYSA-N succinimide Chemical compound O=C1CCC(=O)N1 KZNICNPSHKQLFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- JNELGWHKGNBSMD-UHFFFAOYSA-N xanthone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3OC2=C1 JNELGWHKGNBSMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPRYUXCVCCNUFE-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-trimethylphenol Chemical compound CC1=CC(C)=C(O)C(C)=C1 BPRYUXCVCCNUFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 2-Methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCHZICNRHXRCHY-UHFFFAOYSA-N 2h-oxazine Chemical compound N1OC=CC=C1 BCHZICNRHXRCHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBWZNZOIVJUVRB-UHFFFAOYSA-N 4-[3-(4-hydroxyphenyl)-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl]phenol Chemical class C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)C(C2)CCC2C1 RBWZNZOIVJUVRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQMVDDYXNYUIFY-UHFFFAOYSA-N 4-[3-bicyclo[2.2.1]heptanyl-(4-hydroxyphenyl)methyl]phenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C(C=1C=CC(O)=CC=1)C1C(C2)CCC2C1 RQMVDDYXNYUIFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100495842 Caenorhabditis elegans cht-3 gene Proteins 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 description 1
- 229930091371 Fructose Natural products 0.000 description 1
- 239000005715 Fructose Substances 0.000 description 1
- RFSUNEUAIZKAJO-ARQDHWQXSA-N Fructose Chemical compound OC[C@H]1O[C@](O)(CO)[C@@H](O)[C@@H]1O RFSUNEUAIZKAJO-ARQDHWQXSA-N 0.000 description 1
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021314 Palmitic acid Nutrition 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 108010076504 Protein Sorting Signals Proteins 0.000 description 1
- 101100091149 Rattus norvegicus Rnf39 gene Proteins 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- CWRYPZZKDGJXCA-UHFFFAOYSA-N acenaphthene Chemical compound C1=CC(CC2)=C3C2=CC=CC3=C1 CWRYPZZKDGJXCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOSWYUNQBRPBDN-UHFFFAOYSA-P ammonium dichromate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O JOSWYUNQBRPBDN-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 1
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 1
- WXLFIFHRGFOVCD-UHFFFAOYSA-L azophloxine Chemical compound [Na+].[Na+].OC1=C2C(NC(=O)C)=CC(S([O-])(=O)=O)=CC2=CC(S([O-])(=O)=O)=C1N=NC1=CC=CC=C1 WXLFIFHRGFOVCD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 235000015278 beef Nutrition 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005586 carbonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- INSRQEMEVAMETL-UHFFFAOYSA-N decane-1,1-diol Chemical compound CCCCCCCCCC(O)O INSRQEMEVAMETL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000003298 dental enamel Anatomy 0.000 description 1
- 125000001142 dicarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- CAMHHLOGFDZBBG-UHFFFAOYSA-N epoxidized methyl oleate Natural products CCCCCCCCC1OC1CCCCCCCC(=O)OC CAMHHLOGFDZBBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- ORTFAQDWJHRMNX-UHFFFAOYSA-N hydroxidooxidocarbon(.) Chemical compound O[C]=O ORTFAQDWJHRMNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 208000013397 idiopathic acute eosinophilic pneumonia Diseases 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- RSAZYXZUJROYKR-UHFFFAOYSA-N indophenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1N=C1C=CC(=O)C=C1 RSAZYXZUJROYKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 235000020094 liqueur Nutrition 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- DDIZAANNODHTRB-UHFFFAOYSA-N methyl p-anisate Chemical compound COC(=O)C1=CC=C(OC)C=C1 DDIZAANNODHTRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N n-Pentadecanoic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)O)=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RXOHFPCZGPKIRD-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,6-dicarboxylic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C=CC2=CC(C(=O)O)=CC=C21 RXOHFPCZGPKIRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVBGVZZKJNLNJU-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=CC2=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C21 KVBGVZZKJNLNJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 1
- UMRZSTCPUPJPOJ-KNVOCYPGSA-N norbornane Chemical group C1C[C@H]2CC[C@@H]1C2 UMRZSTCPUPJPOJ-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 1
- 150000002847 norbornane derivatives Chemical class 0.000 description 1
- ZWLPBLYKEWSWPD-UHFFFAOYSA-N o-toluic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1C(O)=O ZWLPBLYKEWSWPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000003415 peat Substances 0.000 description 1
- 230000008447 perception Effects 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- IZMJMCDDWKSTTK-UHFFFAOYSA-N quinoline yellow Chemical compound C1=CC=CC2=NC(C3C(C4=CC=CC=C4C3=O)=O)=CC=C21 IZMJMCDDWKSTTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012739 red 2G Nutrition 0.000 description 1
- 239000004180 red 2G Substances 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000001235 sensitizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000011877 solvent mixture Substances 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 230000003335 steric effect Effects 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229960002317 succinimide Drugs 0.000 description 1
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 description 1
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 1
- SEEPANYCNGTZFQ-UHFFFAOYSA-N sulfadiazine Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)NC1=NC=CC=N1 SEEPANYCNGTZFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 229920001059 synthetic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003760 tallow Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010981 turquoise Substances 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
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Description
Die Erfindung betrifft eine Farbbild-Abtastanordnung vom sogenannten
Solid-State-Typ, die eine ebene Anordnung von Halbleiter-Photosensoren
vom Typ für Ladungs-handlung aufweist, wobei den Sensoren in Mikroausrichtung (oder in Feinausrichtung) eine ebene Anordnung
von Melirf arben-Filterelementen zugeordnet ist, und die in
besonders vorteilhafter Weise für die Anwendung bei Solid-State
Video-Kameras geeignet ist. Des weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung derartiger Farbbild-Abtastanordnungen.
tine trotz guter Empfindlichkeit verläßliche Kamera, die ganz in
der Solid-State-Technik ausgeführt ist, kann für eine sehr große Anzahl von Verwendungszwecken vorteilhafte Anwendung finden, beispielsweise
für das Fernsehen, für Kartenleser, Faksimile-Rekorder, Bildtelefone und die automatische Zeichenerkennung. Zusätzlich zu
den Problemen, die sich bei nicht in der Solid-State-Technik ausgeführten Kameras auf Grund deren Größe und Gewicht, deren Neigung
zu Bilddrift und Fluchtungsfehlern sowie der kurzen Röhren-Lebensdauer
ergeben, leiden Farbkameras auch unter der Komplizierung, die sich auf Grund der Notwendigkeit ergibt, gesonderte ElektronenstrahIbündel
auszurichten und die Auswirkungen des Nachhinkens des
Fl rkt ronenstrahlbi'inclels ^erim', zu halten. Nach einer verhältnismäßig
einfachen Farbkamera guten Wirkungsgrades, die diese Probleme überwindet, wird daher noch gesucht.
Farb-Photosensoreinrichtungen, die Solid-State-Bildsensoren verschiedener
Typen benutzen, beispielsweise Ladungs-gekoppelte Bauteile,
als CCDs bekannt, und Ladungs-gekoppelte Bildabtaster, als CCIs bekannt, wurdentere its für Video-Kameras vorgeschlagen und angewendet.
Um eine Komplizierte Optik zu vermeiden sowie Problemen
der Bilddeckung aus den Wege zu gehen, ist es äußerst wünschensv;crt,
daß die Fnrh-Bildabtastung an einem einzigen Abbildungsort
stattfindet, beispielsweise auf einer einzigen, ebenen, photosensitiven
Anordnung. Bei einer solchen "an einem einzigen Ort" stattfindenden
Farbbildabtastung ergeben sich jedoch Schwierigkeiten
auf Grund der Tatsache, daß zumindest drei verschiedene Arten von Farbinformationen gewonnen werden müssen, um ein Farbbild in der
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Bei einem bekannten Verfahren, eine Farbbild-Abtastanordnung für
eine Abtastung "an einem einzigen Ort" zu schaffen, wird eine einzige Bildsensoranordnung, die in einem breiten Wellenlängenband
empfindlich ist, und eine damit zusammenarbeitende Filterscheibe benutzt, die eine Reihe von Farbfiltern in wiederholter Folge
durch das Bild-Strahlenbündel hindurchbewegt. Das Einfügen der Filter in den Strahlengang ist mit der Bildabtastung synchronisiert,
wobei typischerweise so verfahren wird, daß sich ein Filter während einer ganzen Bildfeldabtastung im Strahlengang befindet. Einrichtungen, die auf diese Weise arbeiten, bezeichnet man als Einrichtungen, die ein Bildfolge-Farbsignal erzeugen. Ein Problem
bei diesem Verfahren besteht darin, daß das erzeugte Signal die gewonnene Farbinformation des Bildes in einer zeitlichen Anordnung
enthält, die von der zeitlichen Anordnung beispielsweise beim NTSC-Videosignal gemäß der üblichen US-amerikanischen Fernsehnorm
vollständig verschieden ist (eine Beschreibung des Videosignals gemäß der US-amerikanischen NTSC-Fernsehnorm findet sich in Kapitel 16 des Buches "Television Transmission", of Transmission Systems for Coaaunications, überarbeitete dritte Ausgabe, überarbeitet
von Mitgliedern der Technischen Abteilung der Bell Telephone Laboratories, 1964, Bell Telephone Laboratories, Inc., USA). Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß ein Teil der Farbinformation des
Bildes (beispielsweise die blaue Bildinformation, wenn ein Blaufilter eingefügt ist) einen zu ausführlichen Informationsgehalt besitzt, was in Anbetracht der Wahrnehmungscharakteristik des menschlichen Auges eine Vergeudung an Sensorkapazität bedeutet.
Bei anderen bekannten Verfahren, bei denen die Farbbildabtastung
"an einem einzigen Ort" stattfindet, verwendet man Farbfilterstreifen, die eine einzige Bildsensoreinrichtung überdecken, Bei einer
dieser Sensoreinrichtungen werden Filtergitter benutzt, die im Winkel zueinander versetzt, übereinander angeordnet sind (vergl.
US-PS 3 378 633). Auf Grund der Bildabtastung erzeugen derartige Sensoreinrichtungen ein zusammengesetztes Signal, in dem die Farbinformation in Form modulierter Trägersignale dargestellt ist. Der-
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artige Hinrichtungen können so ausgelegt sein, daß sie Signale
in der NTSC-Norm erzeugen, oder man kann, wenn es gewünscht wird,
die Farbinformation des Rildes durch Frequenzbereich-Techniken
abtrennen. Es hat sich jedoch in der Praxis als schwierig erwiesen, derartige Sensoreinrichtungen wirtschaftlich herzustellen,
insbesondere, wenn eine detaillierte Bud information (hohes Auflösungsvermögen)
erforderlich ist.
Es ist des weiteren bekannt, Filterstreifen, die eine sich wiederholende
Folge von drei oder mehreren Bändern des Spektrums durchlassen, bei der Farbbildabtastung zu verwenden. Bei einer solchen
Anordnung sind die Filter üblicherweise in einer Richtung ausgerichtet und das Abtasten des Bildes wird senkrecht zu dieser Richtung
ausgeführt. Längs der Filterstreifen werden daher einzelne Abtastflachen gebildet. Bei dieser Anordnung erfolgt, wie ersichtlich
ist, die Abtastung für eine gegebene Farbe nicht gleichmäßig in beiden Pichtunyen, nie resultierenden Abtastmuster neigen außerdrn
dazu, cine uherproport i orale Infomat ions.iiengc für diejenigen
Farbsektoren der Grundfarben zu liefern, für die das Auge ein
geringes Auflösungsvermögen hat, beispielsweise also unnötig viel
an "Blau"-Inforniation relativ zu "Grün"-Information zu liefern.
Ein weiterer Versuch der Farbbildabtastung ist das "Punkf'-Abtastsysteni,
das beispielsweise aus der US-PS 2 683 769 bekannt ist. Bei
diesem System werden im wesentlichen Sensorelemente selektiver Spektralempfindlichkeit benutzt, die in Dreiergruppen (rote, grüne
bzw. blaue Sensorlemerite) angeordnet sind. Aus der US-PS 2 755 334
ist des weiteren die wiederholte Anordnung von Vierergruppen (rotgrün-blau-bzw.
weiß-empfindliche Sengorelemente) bekannt. Diese für
die Farbbildabtastung bekanntgewordenen Systeme haben jedoch keine praktische Bedeutung erlangt, zu» Teil wegen der hohen Herstellungs
kosten für die Vielzahl einzelner Sensorelemente, die erforderlich ist, um eine Bildinformation angemessener Auflösung zu liefern.
Eine Vielzahl der Probleme, die bei den bekanntgewordenen Systemen,
die aufgeführt wurden, auftreten, werden durch das aus der US-PS 3 971 065 bekanntgewordene Verfahren behoben. Bei diesem Verfahren
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wird die Bildabtastung mittels einer einzelnen Bildsensoranordnung
bewirkt, die aus individuellen Luminanz-empfindlichen und Chrominanz-empfindlichen
Sensorelementen (d.h. die helle Information bzw. die Farbinformation liefernde Elemente) zusammengesetzt ist,
wobei die Sensorelemente entsprechend dem Sensortyp (d.h. je nachdem, welche Art von Empfindlichkeit sie besitzen) zu sich wiederholenden
Sensormustern zusammengesetzt sind, wobei Jas Muster der Luminanz-kennzeichnenden Sensorelemente die größte Häufigkeit im
Auftreten der Sensorelemente zeigt und somit die höchste Frequenz bei der Bildabtastung ergibt unbeachtet, in welcher ^ichtun^, man
über die Sensoranordnung fortschreitet.
Um eine Anordnung von Sensorelementen geiaäß dem bekannten Verfahren
herzustellen, wird vorzugsweise eine Bildsensoranordnung in Solid-State-Technik mit einer Spektral-Kmpfindlichkeit großer Bandbreite
ausgebildet und mit einem Filtermosaik bedeckt. Filter, die in dem grünen Spektralbereich selektiv durchlässig sind, werden
vorzugsweise dazu benutzt, um die Luininanz-empfindlichen Sensorelemente
zu bilden. Filter, die in dem roten und in dem blauen Spektralbereich durchlässig sind, bilden vorzugsweise die Chrominanz-kennzeichnenden
Sensorelemente. Soweit im vorliegenden Zusammenhan;» der Ausdruck "Luminanz" für sich allein oder in zusammengesetzten
Ausdrücken verwendet wird, soll damit in weitesten Sinne der Farbvektor bezeichnet werden, der am stärksten zur Gewinnung
der Luminanz-Information beiträgt. Entsprechend bezieht sich der Ausdruck "Chrominanz" auf die übrigen, nicht die Luminanz kennzeichnenden
Farbvektoren, die für die Definition eines Hildes als Basis dienen.
Es sind des weiteren Verfahren zum Herstellen eines mehrfarbigen Filtermosaiks bekannt, beispielsweise aus der US-PS 3 839 039,
in der ein mehrfarbiges Filter beschrieben wird, das aus einer Mehrzahl monochromer Filterstreifen, die miteinander ein Laminat
bilden, zusammengesetzt ist, wobei jeder monochrome Filterstreifen
durch ein Verfahren hergestellt ist, bei dem ein Substrat mit einer photoempfindlichen Oberfläche durch eine Streifenmaske belichtet
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wird, das Lichtbild in ein metallisches Bild umgewandelt wird,
auf dem metallischen Bild g Ie ichf örmig eine dichroische Schicht
gebildet wird und die dichroische Schicht zusammen mit der metallischen Schicht entfernt wird. Aus der US-PS 3 771 857 ist ein
weiteres Mehrfarben-Streifenfilter bekannt, das aus einer Mehrzahl
von Lagen streifenförmiger einfarbiger Filter besteht, die
nacheinander, übereinander ausgebildet werden. Die US-Patentschriften
.3 62.3 794 und 7> 61Π 04 1 beschrieben des weiteren Mehrfarbige
Tilter aus einen Laminat einfarbiger Filtergitter, v/obe i das Laminat
Photoresist-Cii ttermus ter aufweist, die riit einem Farbstoffträger-Fil
terr.iater ia I mit bevorzugter Absorption in verschiedenen
Hereichen des sichtbaren Spektrums gefüllt sind.
Aus den beschriebenen Patcntsciiriften ist zu entnehmen, daß mehrfarbige
Filter ge.näß dem Stande der Technik mehrere Lagen einfarbiger
Filtergruppen, die in Aufeinanderfolge übereinandergestapelt
sind, aufweisen, um mehrfarbige Filterreihen zu bekommen.
Hs ist jedoch wünschenswert, daß jedes Element des Filtermosaiks
so cn; vie i.'ö'.lic!. der Oberfläche des darunterliegenden photoempf
indl icher. Sciisorelenentes oder der Scnsorelemente der Anordnung
benachbart angeordnet ist. Dies wird in äußerst erwünschter Weise dadurch erreicht, daß man ein verhältnismäßig einlagiges, mehrfarbiges
FiI tcri.iosa ik herstellt, das auf die Oberfläche des Bildsensors
aufgelegt wird. I:in einlagiges mehrfarbiges Filtermosaik
verringert lie Gefahr ganz wesentlich, daß Lichtstrahler, die in
einem iVinkel zur optischen Achse durch ein Filterelement hindurchfallen,
ein photoempfindliches Sensorelement beaufschlagen, das
unter einem benachbarten Filterelement angeordnet ist. Außerdem
kann eine größere Auflösung erreicht werden, wenn die Anforderungen, die an die Fokaltiefe der Optik gestellt werden müssen, geringer
s ind.
!)ie vorliegende F.rfindung ermöglicht die Herstellung einer einlagigen
mehrfarbigen Filteranordnung unter Anwendung eines Wärmeübertragungsverfahrens,
bei dem Farbstoffe in eine Farbstoff-Empfangsschicht
diffundieren, die an eine photosensitive Solid-State-An-
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Der Wärmeübertragungsdruck ist bekanntlich ein Verfahren, bei dem
Farbstoffe durch Erhitzen und Diffusion von einer Vorlage oder einem Träger, primär einer Papierbahn, auf ein Empfangssubstrat
übertragen werden. Dies bekannte Verfahren wird beispielsweise im großen Umfange zum Aufdrucken von Mustern auf Textilprodukte
angewandt. Beschrieben wird das Verfahren beispielsweise in den US-PS 3 632 291, 3 707 346, 3 829 286, 3 940 246 und 3 969 071,
den CA-PS 954 301 und 860 888 sowie der DT-PS 2 500 316. Das Verfahren eignet sich des weiteren beispielsweise zur Herstellung
von Farbkopien von Dokumenten, wie es beispielsweise aus den US-PS 3 508 492 und 3 502 871, den GB-PS 1 275 067, 1 278 325,
1 281 859, 1 154 162 und 1 381 225 sowie der Zeitschrift Research Disclosure Nr. 14223 vom Februar 1976 bekannt ist.
Keiner dieser Literaturstellen läßt sich jedoch entnehmen, daß
das Wärmeübertragungsverfahren auch zur Herstellung von Farbfilteranordnungen geeignet sein könnte, die sich in Mikroausrichtung
mit einem darunterliegenden Solid-State-Photosensor befinden, unter
Ausbildung einer geeigneten Solid-State-Farbbild-Abtastanordnung.
Vielmehr war zu erwarten, daß sich durch Diffusion von Farbstoffen
bei erhöhten Temperaturen keine Bilder herstellen lassen würden, die ausreichend scharfe Begrenzungen auf Mikrometerbasis haben,
die zur Herstellung von Farbbild-Abtastanordnungen auf Solid-State-Basis geeignet sind.
Gegenstand der Erfindung ist eine Farbbild-Abtastanordnung mit
einer ebenen Anordnung von Halbleiter-Photosensoren vom Ladungshandling-Typ mit gegenüber Strahlungsenergie empfindlichen Abtastbereichen und einer darüber befindlichen ebenen Anordnung von
Strahlung abfangenden Filterelementsätzen in Mikroausrichtung (oder in Peinausrichtung) mit den Abtastbereichen der Photosensoren, bei der ein Filterelementsatz eine gttoeteaw Strahlungsabsorption und Durchlässigkeits-(Transmissions)-Charakteristika, die
von denen eines anderen Filterelementsatzes verschieden sind, aufweist, die dadurch gekennzeichnet ist, daß die ebene Anordnung von
Filterelementsätzen eine transparente, polymere Farbstoff-Empfangs-
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schicht aufweist, in der die Filterelemente liegen, wobei die
Filterelemente durch mindestens einen Wärme-übertragbaren, bei Einwirkung von Wärme diffundierbaren Farbstoff begrenzt sind,
der Strahlung mindestens eines Teiles des Spektrums absorbiert und Strahlung mindestens eines anderen Teiles des Spektrums
durchläßt.
Gegenstand der Erfindung ist des weiteren ein Verfahren zur Herstellung
einer derartigen Farbbild-Abtastanordnung.
Eine Farbbild-Abtastanordnung nach der Erfindung weist somit Mittel
zum Abtasten von Strahlung auf, mit einer ebenen Anordnung von halbleitenden Photosensoren vom Ladungs-handling-Typ und
darüber angeordnet FiIterelcmenten für die Steuerung des Zutrittes
von Strahlung zu den Abtastclementcn. Die Filtermittel oder der
Filterteil weist eine transparente, polymere Farbstoff-Empfangsschicht
für die Aufnahme eines Wärme-übertragbaren Farbstoffes auf und eine Vielzahl von Strahlung abfangenden Filterelementen,
die in der Farbstoff-Empfangsschicht liegen. Die Filterelemente
befinden sich dabei in Mikroausrichtung mit dem Abtastbereich oder
den Abtastbcreichen der Photosensoren. Der Filterbereich eines jeden Strahlung abfangenden Filterelements enthält dabei mindestens
einen durch Wärme übertragbaren Farbstoff, der in die Farbstoffempfangsschicht
durch Verdampfen und Diffusion übertragen worden ist. Der durch Wärme übertragbare Farbstoff absorbiert Strahlung
mindestens eines Teiles des Spektrums und läßt Strahlung mindestens eines anderen Teiles des Spektrums durch.
Besonders vorteilhafte Farbbild-Abtastanordnungen nach der Erfindung
weisen Photosensoren auf, die mindestens eine Dimension aufweisen, die geringer ist als etwa 100 Mikrometer. Als besonders
vorteilhaft haben sich dabei Abtastanordnungen mit Photosensoren erwiesen, die einen Strahlungs-Abtastbereich von kleiner als etwa
A "J
10~ cm aufweisen.
Die Filterelemente lassen sich dadurch herstellen, daß man eine transparente polymere Farbstoff-Empfangsschicht auf den Abtastteil
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aufbringt und danach durch Einwirkung von Wärme übertragbare
Farbstoffe unter Ausbildung der Filterelemente zuführt oder durch Bildung der Filterelemente in einem Film mit einer Wärueübertragungs-Farbstoff-Empfangsschicht
und Auflaminieren des Filmes auf das Abtastteil oder die Abtastglieder.
Erfindungsgemäß läßt sich eine Vielzahl von Strahlung abfangenden
Filterelementsätzen in der Wärmeübertragungs-Farbstoff-Empfangsschicht
erzeugen durch:
A. Auftragen einer Photoresistschicht, die für den verwendeten, durch Wärme übertragbaren Farbstoff impermeabel ist, auf die
Farbstoff-Empfangsschicht;
B. Belichten der Photoresistschicht mit einer Vorlage, die einen Filterelementsatz darstellt und Entwickeln der Photoresistschicht
unter Erzeugung von Fensterbezirken in der Photoresistschicht, entsprechend der Vorlage;
C. Erhitzen und Wärmeübertragen des Farbstoffes durch die Fensterbereiche
in die Farbstoffempfangsschicht und
D. Entfernung der verbliebenen Anteile der Photoresistschicht unter Erzeugung eines ersten Satzes von gefärbten Filterelementen
in ebener Anordnung in der Farbstoff-Empfan^sschicht.
In vorteilhafter Weise werden die Verfahrensstufen A bis D mindestens
einmal wiederholt unter Erzeugung eines weiteren Satzes von gefärbten Filterelementen in der Farbstoffempfangsschicht in
einer Zwischenlage bezüglich des ersten Satzes fin an interlaid pattern), wobei eine jede Wialcrholun;1, der Verfahrensstufen zu einem
zusätzlichen Satz von gefärbten Fi iterelementen führt, der sich in einer Zwischenlage bezüglich der zunächst hergestellten
Sätze befindet, wobei ein Filtersatz eine ganäLnsane Licht-absorption
und Durchlässigkeitscharakteristika aufv/eist, die von denen eines
anderen Filtersatzes verschieden sind.
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Nach dem Verfahren der f.rfindung lassen sich Filterelemente mit
scharfen 1-i ldgrtvizcn auf der Mikrometerskala erzeugen, so daß
sich die Filterelemente in Mikroausrichtung mit den Kanten der
Photoscnsorei: auf Photosensoren vom Sol id-State-Typ aufbringen lassen. I-ine 1U Kro-Aus r i chtun \ oder Feinausrichtung der Filterelemente
und der P'iotosensoren ist wichtig für die Erzielung einer guten Farbwiedergabc.
Farbhild-Abtastanordnungen ge"iäP>
der Hrfindung weisen ein zusammengesetztes Mosaik von Filterelementen aus mindestens zwei Sätzen
von Strahlung abfangenden F.ir-richtungen auf, wobei ein Satz eine gerne
te ame Strahlungsabsorption und Ourchlässigkeitscharakterstika
aufweist, die von denen eines inderen Satzes verschieden sind. Demzufolge sprechen die Photosensoren, die unterhalb eines Satzes
von abfangenden Filterelementen liegen, auf Strahlung des gleichen
Bereiches des Spektrums an und Photosensoren, die unterhalb der Filterelemente eines anderen Satzes der abfangenden Mittel liegen,
sprechen auf Licht eines anderen Rereiches des Spektrums an.
Die erf indungsgemrißc Farbbild-Abtastanordnung läßt sich herstellen
durch Aufbringen des Filterteiles auf den Abtastteil derart, daß die Filterelemente des Filtcrteiles sich in Mikroausrichtung
mit den darunterliegenden Photosensoren des Abtastteiles befinden.
Im allgemeinen ist es wünschenswert, wenn das Filterteil oder wenn
flie Fi 1 tereinr icht iing an der Sensoreinrichtung oder dem Sensorteil
anliegt. In bestimmten Fallen, bei denen das Filterteil oder die Filtereinrichtuni', auf einer dünnen durchsichtigen oder transparenten
Fi lint rägersch iclit (beispielsweise als Substrat dienend) ausgebildet
ist, kann das Filterteil oder die Filtereinrichtung jedoch
auch von der Sensoreinrichtung oder dem Sensorteil durch die dünne Filmschicht getrennt sein, wenn die Filtereinrichtung oder das
Filterteil auf ti ic Sensoreinrichtung oder das Sensorteil aufgelegt
ist. Mit anderen Worten gesagt, kann die dünne Filmträgerschicht bei diesen Ausführungsformen als integraler Teil der Filtereinrichtung
oder des Filterteiles angesehen werden. Auch bei diesen Ausführungsformen ist vorzugsweise das Filterteil oder die Filter-
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einrichtung in der Weise auf den Sensorteil oder der Sensoreinrichtung
aufgelegt, daß die Filter engstmöglich an der Sensoreinrichtung oder dem Sensorteil anliegen und sich das durchsichtige
Substrat der Filtereinrichtung an der Außenseite des Sandwichs befindet.
Die Zeichnungen sollen die Erfindung näher erläutern. Iin einzelnen
sind dargestellt in:
Fig. 1A eine schematisiert gezeichnete Draufsicht auf ein Mehrfarben-Filtermosaik
bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 1B eine auseinandergezogen und perspektivisch gezeichnete
Darstellung der Anordnung gemäß Fig. 1Λ;
Fig. 2A einen abgebrochen gezeichneten Teilquerschnitt einer Reihe von Sensorelementen eines Ausführungsbeispiels
der Farbbild-Abtastanordnung mit eincM ebenen Filtermosaik,
hergestellt gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2B einen der Fig. 2A entsprechenden Schnitt einer Reihe
von Sensorelementen, die der in Fig. 2A gezeigten Reihe benachbart ist;
Fig. 3 eine schematisiert und teils abgebrochen und perspektivisch
gezeichnete Darstellung von Teilen eines Kamerasystems mit einer erfindun^sgemäßen Farbbild-Abtastanordnung
und
Fig. 4A bis 4F schematisiert gezeichnete Darstellungen einer Folge
von Verfahrensschritten zum Erzeugen eines Farbmusters in einer Filteranordnung gemäß der Erfindung.
Die Erfindung ermöglicht somit die Herstellung einer Farbbild-Abtastanordnung,
die eine Filtereinrichtung oder ein Filterteil aufweist, die bzw. das aus einer Vielzahl von Strahlung abfangenden
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Gliedern gebildet ist, die eine ebene Anordnung von Filterelementen
darstellen, dir auf einer Anordnung von Photosensorer vom
Solid-State aufliegend angeordnet sinl. Bei den für die vorliegende
lirf i ndurr; geeigneten Photosensoren handelt es sich um Sensoren
für Ladungs-hnndling, beispielsweise um Ladungs-gekoppelte Bauteile
(auch bekannt als Lndungs-gekoppclte Bildabtaster, Ladungsübertragungsbnutei
1 e , Ladungsübertragungsbildabtaster und dergleichen),
um Bauteile vom Ladungsinjektortyp, um Auffänger-F.lektrodengruppen
(bucket brigade devices), um Diodengruppierungen und um Kombinationen solcher Bauteile. Die Filterelemente befinden
sich dabei mit den strahlungsempf i ndli chen Flächer der/flarunter-1
legenden Photosensoren in Feinausrichtung. Soweit irr, vorliegenden
Zusammenhang die Ausdrücke "Feinausrichtung" oder "Mikroausrichtung"
benutzt verdcn, beziehen sich diese Ausdrücke auf definierte Flächen, von deren zumindest eine Abmessung weniger als
etwa 100 Mikron beträgt, beispielsweise auf die FiIterberciche
und Sensorberciehe, vie sic hier beschrieben werden, die gegenseitig
so ausgerichtet sind, daß Filterbereich und darunterliegender
Sensorbereich oder die darunterliegenden Sensorbereiche im
Mikromcter-^eRbereich gegenseitig ausgerichtet sind, so daß die
zueinander ausgerichteter Bereiche ii.i wesentlichen deckungsgleich
zueinander sind und die Crcnzbereiche im wesentlichen aufeinanderliegend
angeordnet, sind. Beispielsweise kann ein einziges Filterelement,
das mindestens ei tie Abmessung mit einer Größe von weniger als etwa 100 Mikron besitzt, über einen Sensorbereich oder einer
Gruppe von Sensorbereichen gemäß den jeweiligen Ausführungsbeispielen
liegen.
Die Filtcreiiirichtung oder das Filterteil weist Sätze aus gefärbten
Filterelementen auf, wobei ein jeder Satz eine gemeinsame
oder übliche Lichtabsorption und Durchlässigkeits-f/Transmissions) Charakteristika
aufweist, die durch Diffusion eines durch Wärme übertragbaren Farbstoffes in eine transparente polymere Farbstoff-Empfangsschicht
erzeugt wurden. Die Filtereinrichtungen oder das Filterteil weist mindestens zwei verschiedene Sätze von Licht abfangenden
Iiinrichtungen auf. Vorzugsweise enthalten die Filterelemente eines jeden Satzes der Licht abfangenden Einrichtungen einen
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Wärme-übertragbaren Farbstoff oder Wärme-übertragbare Farbstoffe
mit einer Strahlungsabsorption und Durchlässigkeit für einen verschiedenen
Bereich des Spektrums, gegenüber einem jedem anderen Satz.
Die Filterelemente einer Farbbild-Abtastanordnung nach der F.rfindung
weisen sehr scharfe Kanten auf. Demzufolge überlappen sich die Farbstoffe von zv/ei benachbarten Filterelementen nicht
oder höchstens nur sehr wenig. Hierdurch wird eine maximale Durchlässigkeit
für Licht mit der gewünschten Wellenlänge zum Abtastbereich
oder den Abtastbereichen der Photosensoren ermöglicht, die in Mikro- oder Feinausrichtung unter den Filterelementen angeordnet
sind. Die Schärfe der Kanten oder der Grenzen eines Filterelementes wird bestimmt durch Vergleichen der Dimensionen eines
gefärbten Bereiches mit den gewünschten Dimensionen. Erstreckt sich beispielsweise der gefärbte Bereich um 10 Mikrometer über die
gewünschte Grenzlinie, so beträgt die Kantenschärfe des Bereiches
10 Mikrometer.
Die Wichtigkeit der Kantenschärfe der Filterelemente oder die
Möglichkeit der Herstellung von !leihen von Filterelementen mit
den entsprechenden gefärbten Bezirken, die auf bestimmte gewünschte
Dimensionen beschränkt sind, ergibt sich ohne weiteres, wenn man die sehr kleine Größe der Alltastbereiche der Photosensorer in einer
Farbbild-Abtastanordnun« in Betracht zieht und die entsprechend geringe Größe der darauf angeordneten Filterelemente.
In einer Literaturstelle ist angegeben, daß eine Farbbild-Abtastanordnung
aus mehr als 10 000 Photosensoren in einer Fläche von 3 χ 5 mm bestehen soll (vergl. Tompsett und Mitarbeiter in einer
Arbeit mit der Überschrift "Charge-Coup Ii ng In proves its linage,
Challenging Video Camera Tubes", veröffentlicht in der Zeitschrift
"Electronics·; 13. Jan. 19 7 Λ, Seiten 162-169).
Vorteilhafte Farbbild-Abtastanordnungen gemäß der Erfindung weisen
Photosensoren auf, deren Sensorflächen oder Abtas tf llichcn mindestens
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eine Atimessung oder 'Hmension aufweisen, die weniger als etwa
100 Mikrometer beträgt, wobei vorzugsweise Sensorflächen oder
Abtast flächen mit einer Ciröße von weniger als etwa 10 4 cm" und
insbesondere Sensor- oder Abtast flächen von weniger als etwa 2, S χ 10 cn;" verwendet werden.
Bei einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist
jede Sensor- oder A.btast fläche rechteckig mit Abmessungen von
30 χ 40 Mikrometer. Mie Sensor- oder Abtastflächen sind bei dieser
Ausgestaltung der Erfindung durch Sicherheitsbänder voneinander
getrennt, deren Breite etwa J Mikrometer oder weniger beträgt. Eine
hohe Kanten- oder Randschärfe der Filterelemente und eine Mikro-
oder Feinausrichtung eines jeden Filtereleinentes bezüglich des
darunterliegenden Photosensors oder zu den darunterliegenden Photosensoren
ist infolgedessen wichtig.
Als besonders vorteilhaft haben sich Farbbild-Abtastvorrichtungen
gemäß der Erfindung erwiesen, die Filterelemente mit einer Kantenoder
Randschärfe von weniger als etwa 4 Mikrometer und insbesondere weniger als etwa 2 Mikrometer aufweisen.
Vorteilhaft kann es des v/eiteren sein,renn sich die gefärbten Wezirko
von einander benachbarten oder aneinander angrenzenden Filterelementen
um etwa Ί Mikrometer überlappen, d.h. um ungefähr die
Größe der Sichcrhcitsbänder zwischen einander benachbarten Abtastodor
Sensor flächen.
Ein Beispiel einer dreifarbigen Filteranordnung i! mit einer ebenen
Anordnung von Fi1tereleuentcn ist in den Fig. 1Λ und 1B dargestellt.
7> Sätze 2, ] und 6 von Filterelementen bilden ein zusammengesetztes
,-!osaik, das die drei färb ige! 1Fi 1 teranordnung 8 bildet. Jeder Satz
von Filterelementen 2, 4 und (, weist gemeinsam Lichtabsorptionsund
Durclilässigke i tscha rak ter is t ika auf, wobei sich diese Charakteristiken
von denjenigen der anderen Sätze Unterscheiden. Bei einer besonders vorteilhaften Farbbild-Abtastanordnung gemäß der
Erfindung ist die I·' i 1 teranordnung 8 derart über einer Anordung von
Photosensoren angeordnet, daß ein jedes einzelne Filterelement C
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in Feinausrichtung auf einem einzelnen Photosensor ausgerichtet
ist. Bei dieser Anordnung ergibt sich, daß ein RiId bezüglich
sämtlicher drei Grundfarbsektoren abgetastet werden kann, indem
man geeignete Farbstoffe für die Anwendung in den drei Sätzen von Farbmustern 2, 4 und 6 der Filteranordnung 8 auswählt.
Wie durch die Fig. 2A ιιηΛ 2B dargestellt, verwendet eine bevorzugte
Farbbild-Abtastanordnung ge;näß der Erfindung eine Solid-State-Sensoranordnung
20 aus einzelnen Ladungs-gekoppelten Photosensoren (ein Photosensor 22 erstreckt sich beispielsweise zwischen
den gestrichelten Linien der Fig. 2Λ). Eine Filteranordnur.g 8,
bei der Filterelemente C.., C~ und C, der Fig. IA und 11? nunmehr
mit G, R bzw. B bezeichnet sind, ist über der Sensoranordnung angeordnet. Die Filteranordnung 8 weist einzelne Filterelemente
24 auf, die einzeln in Feinausrichtun" auf einzelne Photosensoren (z.B. Photosensor 22) der Sensoranordnung 20 ausgerichtet sind,
um eine Farbbild-Abtastanordnung gemüß der I'.rfindunc . zu schaffen,
r.inzelne Filterelemente 24 der Filteranordnung 8 sind vom selektiv
durchlässigen Typ und in einem solchen Muster angeordnet, wie es
oben unter Bezug auf Fig. 1Λ und 1B beschrieben wurde. Die Bezugszeichen G, R und B auf den einzelnen Filterelenenten 24 geben an,
daß selektive Durchlässigkeit für grünes, rotes und blaues Licht bei den einzelner. Filterelementen gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgcTiiilßen Farbbild-Abtastanordnung
gegeben ist. Tin bevorzugtes Ausf ührungsbei spi el einer Farbbild-Abtastanordnung
geuiiiß der Erfindung weist eine Anordnung λόπ Farbbild-Abtastelencnten
26 auf, von denen jedes ein einzelnes Filterelement 24 kombiniert mit einem einzelnen Photosensor aufweist,
beispielsweise dem Photosensor 22, wobei diese Kombination selektiv
für einen besonderen Spektralbereich empfindlich ist.
Die Filteranordnung 8 weist eine transparente polymere Wn'rmeübertragungs-Farbstoffempfangsschicht
auf, in die verdampfte, Wärmeübertragbare Farbstoffe diffundiert sind, unter Erzeugung der Filterelemente
2, 4 und 6 einer einzelnen Filterfläche 24.
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Hie Farbstof f-Finpf angsschi cht kann aus irgendeinem geeigneten
Polymer aufgebaut sein oder ein solches enthalten, das die durch Wärme übertragenen Farbstoffe aufzunehmen vermag. Zur Herstellung
der Schichten können beispielsweise die verschiedensten synthetischen Polymeren verwendet werden, die sich als Substrate für die
Wärmeübertragung von Farbstoffen auf Textilien in der Textilindustrie als geeignet erwiesen haben, und die beispielsweise in
den US-PS 3 632 291, 3 707 346, 3 829 286 und 3 940 246 beschrieben
werden.
Als besonders vorteilhafte Polymere für die Herstellung der Farbstoffenipfangsschichter
haben sich amorphe, in Lösungsmitteln lösliche, aromatische Polyester erwiesen, die wiederkehrende Einheiten
aufweisen, die sich aus den Kondensationsprodukten eines Dioles und einer Carbonsäure oder einer Dicarbonsäure ableiten. Besonders
vorteilhaft sind dabei solche Polyester, die zu mindestens 30 MoI-I, aus wiederlehrenden llinheiten aufgebaut sind, die einen gesättigten
gem-bivalente» Rest mit einer gesättigten polycyclischen
drei -diiners i oralen Struktur aufweisen, die ein gesättigtes bicyclisches
!'i n;, 1J i o.I nit einer Prncl.enbi ndung (saturated hi cyclic
atonic bridge hydrogen ring member) aufweist. .Hc Carbonsäure kann
ζ . P). dir Ko!; I cnsii ire sein.
Werden derartige Polyester zur Herstellung der crfindungsgemäßen
Farbbild-Abtast iinordniirig verwendet, so lassen sicli extrem scharfe
Hi ldberei ehe oder Hi 1 df lachen init Kanten- oder Randschärfen von
4 likroiietein oder darunter herstellen. Frfindungsgemäß verwendbare
Polyester des beschriebenen Typs sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
sind beispielsweise aus der US-PS 3 317- 466 bekannt.
Als besonders vorteilhaft hat sich die Verwendung von solchen Polyestern dieser Klasse erwiesen, welche Tg-Temperaturen von mindestens
etwa 2000C aufweisen.
Derartige Polyester weisen wiederkehrende Einheiten aus den Kondensationsprodukten
eines aromatischen Diols der folgenden allgemeinen Formel :
HO-AR-X-AR-OH I
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auf oder wiederkehrende Einheiten aus den Kondensationsprodukten
oder Kondensationsresten von aromatischen Dicarbonsäuren der folgenden allgemeinen Formel:
worin bedeuten:
X einen gesättigten gem-bivalenten Rest mit einer gesättigten
polycyclischen drei-dimensionalen Struktur, die ein gesättigtes bicyclisches Kohlenwasserstoffringglied mit Brückenbindung einschließt.
Typisch für derartige drei-dimensionale polycyclische Strukturen,
die einen gem-bivalenten Rest aufweisen, ist der Norbornanring. In üblicher Weise läßt sich ein solcher Ring durch die folgende
Formel darstellen:
Die drei-dimensionale Natur des Ringes erjibt sich aus der folgenden Darstellung:
Innerhalb des gem-bivalenten Bindegliedes oder verbindenden Reste
kann das einzelne Kohlenstoffatom, an das beispielsweise die beiden
Phenolkerne eines aromatischen Diols oder einer Dicarbonsäure gebunden sein können, ein Kohlenstoffatom innerhalb der polycyclischen
Struktur sein und das Kohlenstoffatom kann einen Rest der vorliegenden Formel bilden:
-CH
die an die polycyclischo Struktur gebunden ist. Im Falle des
4,4'- (2-Norbornyliden)diphenols beispielsweise sind die phenolischen
Reste direkt an ein Kohlenstoffato;,t der polycyclischen
Struktur gebunden:
Im Falle des 4,4'-(2-Norbornylmethylen)diphenols beispielsweise
trägt eine Methylidyngruppe, die an die polycyclische Struktur
gebunden ist, die phenolischen Gruppen:
Gegebenenfalls künden zusätzliche gesättigte Ringe in der polycyclischen
Struktur zusätzlich zu dem Licyclischen Glied vorhanden sein, das die P>rückenbindun;T aufweist. Diese können ankonden-
oder
siert sein/durch eine spiro-glci ehe Bindung in die polycyclische
Struktur eingeführt sein (spiro-union linkage) . Atombrückenbindungen
können des weiteren auch in den zusätzlichen Ringgliedern der polycyclischen Struktur auftreten. Gegebenenfalls können die
einzelnen Ringglieder der polycyclischen Struktur substituiert
sein, z.B. durch Alkylreste, Ilalogenatome und/oder aromatische
Reste, wobei diese Substituenten auch in den Bindegliedern oder Binderesten auftreten können.
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Gegebenenfalls kann die Atombrückenbindung innerhalb der polycyclischen
Struktur aucli mehr als nur eir Kohlenstoffatom aufweisen,
beispielsweise zwei Kohlenstoffatom, wie z.H. im Falle
des Bicyclo/2.2.27octans der folgenden Formel:
Gegebenenfalls kann in einem Ringglied der polycyclischen Struktur
auch mehr als nur eine Rrückenbindung vorhanden sein, wie beispielsweise
im Falle des Tricyclo^2.2.1.0"*^7hcptans der folgenden
Formeln:
(Adamantan)
!He AtoiMbrückcnMnduns kann des weiteren auch anstelle eines Kohlenstof
f atoms ein Sauerstoffatom oder ein St icJ'stof fatori aufweisen,
wie beispielsweise im Falle des y-Cxabicyclu^. 2. lyheptans
der folgenden Formel:
Die einzelnen Ringe der polycyclischen Struktur können beispielsweise
durch Alkyl- und/oder Arylreste substituiert sein und/oder Halogenatome. Dies bedeutet, daß beispielsweise ein substituierter
Norbornanrest der folgenden Formel vorliegen kann:
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R.
in dem R, R1 und R2 stehen können jeweils für ein Wasserstoffoder
Halogenatom oder einen Alkylrest mit vorzugsweise 1 bis 4 C-Atomen oder einen Aryl rest.
Gegebenenfalls können auch zwei Substituenten an einem Kohlenstoffatom
sitzen. Weisen die Ringe Substituenten auf, so ist selbstverständlich, daß diese sich in Positionen befinden, in
denen sie die Rildung eines Diols oder einer Dicarbonsäure nicht
stören. Beispielsweise lassen sich auf Grund sterischer liffekte bestimmte Bisphenole nicht erhalten, beispielsweise solche von
Norbornandcrivaten mit zwei Alkyl- oder Halogensubstituenten in
den 3- oder 7-Positioncn.
Wie bereits dargelegt , können ar das hicyclische, eine Prücken-Mndurv;
auiVeisende Ringglicd der polycycli sehen Struktur zusätzlich
gesättigte Rin^e ankondensi ert sein. Bei diesen Ringen kann
es sich um Kohlenwasserstoffringe oder heterocyclische Ringe handeln,
hie beispielsweise im Falle des IIexahydro-4,7-methanoindans
der foli'eiiden Formel:
oder im FaIIe des Octahydro-4,7-methanoisobenzofurans der folgenden
Formel:
Schließlich ist es auch möglich, daß die ankondensierten Ringe
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ebenfalls Brückenbindungen aufweisen, wie beispielsweise im Falle
des Decahydro-1,4,5,8-dimethanonaphthalins der folgenden Formel:
oder des Dodecahydro-4,9,5,8-dimethano-1-cyclopenta(b)naphthaline
der folgenden Formel:
Gegebenenfalls können des weiteren zusätzliche gesättigte Ringe in die polycyclische Struktur durch eine Spirobindung eingeführt
werden, wie xii beispielsweise im Falle des Spiro^cyclonropan-1,7·■
norboraans7 der folgenden Formel:
Die Diole und Dicarbonsäuren, die durch die allgemeinen Formeln I
und II dargestellt sind, können jeden beliebigen aromatischen Rest aufweisen, solange diese die Herstellung der Verbindung nicht
sterisch behindern. Dies bedeutet, daß sowohl substituierte als auch nicht substituierte aromatische Reste vorliegen können. liin
besonders vorteilhafter aromatischer 'lest ist der Phenyl rest, vorzugsweise
ein Phenylrest einer der beiden folgenden Formeln:
COOH
"809815/08*2
27A5288
worin 1J ein Wasserstoff- oder Halogenatom oder einen Alkylrcst
mit vorzugsweise 1 bis 1 C-Atomen darstellt. Gegebenenfalls können
zusätzlich gesiittigte oder ungesättigte Ringe an den Benzolring
ankondensiert sein, wobei der funktionelle Hydroxy- oder Carboxyrest
sich in irgendeiner geeigneten Position befinden kann.
Weisen uürxlestens 30 · der wiederkehrenden Einheiten eines erfindungsgcnäß
verwendbaren Polyesters Kondensationsreste aus einer Carbonsäure oder iUcarhonsäure unJ einen Diol mit einem gesättigten
gem-bivalenten Bindeglied X, wie angegeben, auf, so leiten sich
die übrigen wiederkehrenden F.inheiten vorzugsweise von einer Carbonsäure
oder i)icarborsäure und einem Diol ab, wozu auch Bisphenole
der folgender Foruel gehören:
wor in boden ten:
" einen Hest der bereits angegebenen Formel und
Z einen SuIfonylrest; einen Alkylidenrest, vorzugsweise einen
Isopropylidenrest; oder einen Cycloalkyliuenrest, beispielsweise
einen Cyclopentylidcn-, Cyclohexyliden-, 2-Norbornyliden-,
n-I:liioreryl ii'en- oder einen 2 (51!) -Renzo/~c_7furanon-5-yli
den res t.
Im Falle eines weiteren, besonders vorteilhaften Polyesters, wenn
mindestens 30 % der wiederkehrenden Einheiten desselben aus Carbonsäure-
(Kohlensäure-) Res ten oder Dicarbonsäureresten aufgebaut sind und Diolrestai ini t einen aromatischen Rest mit einem gem-bivalenten
Bindeglied X, wie oben beschrieben, bestehen mindestens etwa 30 Mol-$ der Säurekomponente aus Terephthalsäure, Isophthalsäure
oder einer Mischung hiervon. Der Rest der Säurekomponente,
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d.h. bis zu 70 MoI-I, kann aus Carbonsäure (Kohlensäure) oder
anderen Dicarbonsäuren bestehen. Besonders vorteilhafte Dicarbonsäuren
zur Herstellung der Polyester sind beispielsweise 4,4'-SuIfonylbisbenzoat;
1,2,3,4-Tetrahydro-2,6-naphtha Iindicarboxylat;
4,4'-Isopropylidenbisbenzoat; 2,6-NaphthaIindicarboxylat und
1,1, 3-Tri:nethyl-3-phenylindan-5,4 '-dicarboxylat.
Besonders vorteilhafte Polyester dieses Typs sind beispielsweise: PoIy/?,4'-isopropylidendiphenylen-co-4,4'-hexahydro-4, 7-methanolndan-5-ylidendiphenylen
(Molverhältnis 50:50) Terephthal-co-isophthalat (Molverhältnis 5O:5O7 sowie Poly(4,4'-hexahydro-4,7-methanoindan-5-ylidendiphenylenterephthalat);
Poly/4",4'-(2-norbornyliden)-diphenylencarbonat7
sowie Poly(4,4'-hexahydro-4,7-methanoindan-5-ylidendiphenylcncarbonat).
Zur Herstellung der erfindungsgemäßen Farbbild-Abtastanordnung
lassen sich Farbstoffe der verschiedensten Klassen vorwenden, beispielsweise
Azo-, Anthrachinon-, Indophenol-, Ir:doanil i η-, Pcrinon-, Chinophthalon-, Acridin-, Xanthon-, Diazin- und Oxazinfarbstoffe,
die durch Diffusion in dir. Farbstoff-F.nipfan^sschichtcn überführt
werden können. Geeignete Farbstoffe sind im Hniidol erhältlich,
genannt seien beispielsweise die im folgenden :uif geführten Farbstoffe,
Hersteller Eastman Kodak Company, Pochester, New York, USA:
Eastman Fast Yellow 8GLF Eastonc Red n.
F;astman Brilliant Red FFBI, Eastone Yellow 6GN
Eastman Blue (ΊΒΝ Eastone 0r;in."c 2Π
Eastman Polyester Orange 2RE Eastono "nirje 3R
Eastman Polyester Yellow GEW Eastonc ()rar;;e GRK
Eastman Polyester Dark Orange RL Eastman Red 901
F.astman Polyester Pink RL Eastman Polyester Blue 4UL
Eastman Polyester Yellow 5GLS F.astman Polyester Red B-LSW
Eastman Polyester Red 2G Eastman Turquoise 4G
Eastman Polyester Blue GP Eastman Polyester Blue BN-LSW
Eastman Polyester Blue PL
Eastone Yellow R-GFD
Eastone Red B
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Wie bereits dargelegt, läßt, sich erfindungsgemäß die Filteranordnung
8 (vergl. Fir;. 1Λ) durch Diffusion von Wärme-Übertragbaren
Farbstoffen in die Farbstoffempfangsschicht herstellen.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird die
Filteranordnun« 8 hergestellt durch Auftragen einer Farbstoff-Lmpfangsschicht
auf ein I'albl eiter-Photosensor-Substrat.
Gegebenenfalls kann es vorteilhaft sein, vor dem Auftragen der
Farbstoff-Umpfan^sschicht auf das Halbleitersubstrat auf dieses
eine Schicht aus Kieselsäure aufzubringen. Auch kann es vorteilhaft
sein, vor dem Auftragen der Farbstoff-Empfangsschicht auf das Substrat eine Haftschicht aufzutragen, um die Haftung der
Farbstoff-Empfangsschicht auf dem Substrat zu verbessern.
In Fig. 4Λ ist beispielsweise ein Halbleiter-Photosensorsubstrat
mit einer hierauf aufgebrachten llaftscliicht 2 und einer hierauf
aufgebrachten Fn rbr. tof f-Empf an^ssclii cht 3 dargestellt.
Bei der Erzen/jung einer Fnrbstof f-Empf anjjsschicht auf einer HaIblciterplattc
bei spiel swei se lint es sich als vorteilhaft erwiesen,
die beschichtete Platte bei erhöhten Temperaturen zu trocknen oder
auszuhärten, und zwar solange, bis praktisch sämtliches Lösungsmittel,
das zur Herstellung der Beschichtungsmassc verwendet wurde,
entfernt ist. Die i;i liinzclfalle optimale Temperatur und Dauer
Jes Trocknung- oder Härtungsprozesses kann je nach der Zusammensetzung
der Schicht verschieden sein. Beispielsweise hat sich ein zweistündiges Erhitzen auf etwa 2000C als vorteilhaft erwiesen,
wenn zur l'rzeugung der Farbstoff-Empfangsschicht ein Polyester,
wie Poly(4,4'-hexahydro-4,7-methanoindan-5-ylidendiphenylenterephthalat)
verwendet wird. Wird die aufgetragene Schicht nicht richtig getrocknet, so kann die Photoresistschicht, die später aufgetragen
wird, in ihrer Wirksamkeit beeinträchtigt werden.
Nach Auftrocknen der Farbstoff-Empfangsschicht 3 wird hierauf eine
Photoresistschicht 4 aufgebracht, die sich aus Fig. 4B ergibt.
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Die Funktion der Photoresistschicht besteht darin zu verhindern, daß Farbstoff in die Farbstoffempfangsschicht in Bezirken diffundiert,
die durch die Resistschicht geschützt sind. Dies bedeutet, daß die Photoresistschicht eine Sperre bezüglich der Diffusion
des Farbstoffes darstellt, mindestens unter den Bedingungen der Übertragung. Als besonders vorteilhaft haben sich beispielsweise
Photoresistschichten auf Gelatinebasis erwiesen.
Ein Beispiel für eine geeignete Resistmasse zur Erzeugung einer
Photoresistschicht ist beispielstveise das im Handel erhältliche
Photoresistprodukt KOPR-TOP, Hersteller Chemco Photoproducts, Inc.,
USA. Das Photoresistprodukt wird erhalten durch Vermischen von KOPR-TOP-F.namel, einer Gelatine enthaltenden Lösung mit KOPR-TOP-Sensibilisierungsmittel,
einer Ammoniumdichromat enthaltenden Lösung mit einem pH-Wert von 1.
Die Resistschicht wird dann unter Verwendung einer Maske, die das gewünschte Farbstoffmuster aufweist, beispielsweise das Muster 2
der Fig. IB belichtet. Wie in Fig. 4C dargestellt, weist die Resistschicht
nach der Belichtung entsprechend belichtete Abschnitte 4' und nicht-belichtete Abschnitte 4" auf.
Die Resistschicht wird dann entwickelt, wobei Pens torf IMchen oder
Fensterbezirke 4'" in der Resistschicht 4 entsprechend der Vorlage
anfallen. Verwiesen wird in diesem Zusammenhang auf Fig. 4Π.
Nunmehr wird Wärme-übertragbarer Farbstoff erhitzt und durch Diffusion
in die Farbstoff-Empfangsschicht übertragen, und zwar durch
die Fensterbezirke oder Fensterflächen 4fM , unter Anfärbiing der
Farbstoff-Empfangsschicht, wie es in Fi^. 4L angedeutet ist.
Ein Verfahren, nach dem die Übertragung erfolgen kann, besteht darin, zunächst eine Lösung des Wärme-übertragbaren Farbstoffes
auf ein Zwischen- oder Trägersubstrat aufzutragen. Beispielsweise läßt sich hierzu ein Papiersubstrat verwenden, obgleich auch die
verschiedensten anderen Substrate geeignet sind, wie sie normaler-
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weise für den Wärme-Obertragungsdruck verwendet werden. Das Trägerpapier
wird dann mit der mit dem Farbstoff beschichteten Seite
in Kontakt mit der entwickelten lies istschicht gebracht. Darauf
wird die Temperatur auf Obertragungstemperatur erhöht, d.h. eine
Temperatur, bei .!er der Farbstoff einen ausreichenden Dampfdruck
aufweist, so dal.' Fa rbs tof fdiinpf c in die Farbstoff-Empfangsschicht
diffundieren können. Can ζ allgemein hat sich gezeigt, daß, wenn
die gewünschte Farbs to f fwicnge in die Fmpfangsschicht in etwa 5
his 120 Sekunden, vorzugsweise ir etwa 20 bis 60 Sekunden übertragen
werden kann, die Obcrtragungsgeschwindigkei t zufriedenstellend
ist. Jedoch kam: die Obertragungszeit auch größer sein.
Gegebenenfalls kirn ein Farbstoff auch mit einem thermischen Lösungsmittel
(oder festen Lösungsmittel) vermischt werden. Als
thermische Lösungsmittel sind dabei die verschiedensten Stoffe
geeignet, die bei Rauinte lperatur fest sind, bei erhöhten Temperaturen
jedoch schmelzen und den betreffenden Farbstoff zu lösen vermögen. Hine Mischung aus einem Farbstoff und einem solchen
thermischen Lösungsmittel, das schmilzt und den Farbstoff löst,
erlaubt die V'ärmeübertragiing des Farbstoffes bei einer geringeren
Temperatur als der Temperatur, die angewandt werden muß, wenn
der Farbstoff al loin ohne thermisches Lösungsmittel verwendet
wird. Fs ist nicht bekannt, oh in diesen Falle der Farbstoff in Form einer Flüssigkeit oder eines Dampfes übertragen wird.
Beispiele für geeignete thermische Lösungsmittel, die sich zur
Durchführung des erfindungsgcmäucn Verfahrens eignen, sind beispielsweise
aromatische Kohlenwasserstoffe, wie beispielsweise
Naphthalin und seine Derivate, Diphenyl und seine Derivate, Stilben, Duren und Phcnanthren, Phenole, z.B. 2,3-Dimethylphenol ,
2 ,6-Dimcthylphenol, 3,4-Dimethylphenol, 3,5-Dimethylphenol , 2,4,6-Trimethylphenol,
2 ,4 ,5-Trimethylphenol, 3,4,5-Trimethylphenol ,
Brenzkatechin, Resorzin, Ilomobrenzkatechin, Pyrogallol, ot-Naphthol
und ß-Naphthol, aromatische Amine, wie z.B. a-Naphthylamin und
Triphcnylainin , Carbonsäuren, z.B. o-Toluolsäure , m-Toluolsäure,
Malonsäure, Glutarsäure, Pimelinsäure, Azelainsäure und Maleinsäure,
Sulfonsäuren, wie beispielsweise Benzolsulfonsäure, p-
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BAD ORIGINAL
Toluolsulfonsäure, Naphthalin- -sulfonsäure und Naphthalin-ßsulfonsäure,
Fettsäuren, wie beispielsweise Rindertalg, Stearinsäure und Palmitinsiiure sowie Metallsalze dieser Fettsäuren,
anionische, kationische und nicht-ionogcne sowie amphotäre oberflächenaktive Verbindungen, Zucker, wie beispielstveise Fruktose, sowie Polyäthylenglykole und chloriertes Paraffin. Als besonders vorteilhafte thermische Lösungsmittel haben sich beispielsweise Acetamid, 1,1-Decandiol, Succinimid, Suberinsäure, Acenaphthen, Methylanisat, Benzophenon, Methylstearat, Methoxynaphthalin und Biphenyl erwiesen.
anionische, kationische und nicht-ionogcne sowie amphotäre oberflächenaktive Verbindungen, Zucker, wie beispielstveise Fruktose, sowie Polyäthylenglykole und chloriertes Paraffin. Als besonders vorteilhafte thermische Lösungsmittel haben sich beispielsweise Acetamid, 1,1-Decandiol, Succinimid, Suberinsäure, Acenaphthen, Methylanisat, Benzophenon, Methylstearat, Methoxynaphthalin und Biphenyl erwiesen.
Nachdem der Farbstoff durch Diffusion in die Empfangsschicht
übertragen worden ist, wird die verbliebene Resistschicht von
der Empfangsschicht abgestreift, wobei eine Empfangsschicht mit gefärbten Bezirken entsprechend der für die Exponierung benutzten Maske hinterbleibt, wie es in Fig. 4F annedeutet ist.
übertragen worden ist, wird die verbliebene Resistschicht von
der Empfangsschicht abgestreift, wobei eine Empfangsschicht mit gefärbten Bezirken entsprechend der für die Exponierung benutzten Maske hinterbleibt, wie es in Fig. 4F annedeutet ist.
In der Farbstoff-Empfangsschicht können dam durch Wiederholuno,
der beschriebenen Verfahrensstufe unter Verwendung einer frischen Photoresistschicht, einer anderen Maske und eines anderen Farbstoffes weitere gefärbte Bezirke erzeugt werden. Wird das beschriebene Verfahren dreimal durchgeführt, und zwar urter Verwendung eines roten, eines blauen und eines grünen Farbstoffes, wobei die Farbstoffe nach einem verschiedenen Muster übertragen werden, so wird eine Drei-Farb-Filteranordnun.q 8 mit einem zusammengesetzten Mosaik aus roten, blauem und grünem Farbstoff erzeugt
der beschriebenen Verfahrensstufe unter Verwendung einer frischen Photoresistschicht, einer anderen Maske und eines anderen Farbstoffes weitere gefärbte Bezirke erzeugt werden. Wird das beschriebene Verfahren dreimal durchgeführt, und zwar urter Verwendung eines roten, eines blauen und eines grünen Farbstoffes, wobei die Farbstoffe nach einem verschiedenen Muster übertragen werden, so wird eine Drei-Farb-Filteranordnun.q 8 mit einem zusammengesetzten Mosaik aus roten, blauem und grünem Farbstoff erzeugt
Wird die Farbstoff-fimpfargsschicht direkt auf die Anordnung von
Halbleiter-Photosensoren vom Ladungs-handling-Typ aufgetragen,
so führt die beschriebene Verfahrensweise zu einer Farbbild-Abtastanordnung gemäß der Erfindung. Liegt andererseits die Farbstoff-Empfangsschicht in Form eines Filmträgers vor oder ist
sie auf ein anderes Substrat aufgetragen, so muß das in der beschriebenen Weise hergestellte Mehrfarbfilter auf eine Anordnung von Photosensoren aufgetragen werden, um eine Farbbild-Abtastanordnung nach der Erfindung zu erhalten.
so führt die beschriebene Verfahrensweise zu einer Farbbild-Abtastanordnung gemäß der Erfindung. Liegt andererseits die Farbstoff-Empfangsschicht in Form eines Filmträgers vor oder ist
sie auf ein anderes Substrat aufgetragen, so muß das in der beschriebenen Weise hergestellte Mehrfarbfilter auf eine Anordnung von Photosensoren aufgetragen werden, um eine Farbbild-Abtastanordnung nach der Erfindung zu erhalten.
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Cemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
werden Mehrfarbfilter durch Verdampfen und Diffusion von Wärmeübertragbaren
Farbstoffen in die Farbstoff-Empfangsschicht bei
einer Temperatur unterhalb der Tg-Temperatur des Polymeren durchgeführt,
das zum Aufbau der Farbstoff-Empfangsschicht verwendet
wurde. Unter diesen Bedingungen werden gefärbte Filterbezirke oder Filterflachen mit extrem scharfen R'Indern oder Kanten erhalten.
Besonders vorteilhafte Farbbild-Abtastanordnungen nach der Erfindung
sind solche mit Filtern, die selektiv grünes, rotes und blaues Licht zu entsprechenden Abschnitten der Photosensoren
durchlassen. Derartige Farbbild-Abtastanordnungen lassen sich herstellen durcli Diffusion von grünen, roten und blauen Farbstoffen
in eine Farbstoff-Empfangsschicht, in einem geeigneten Muster oder gemäß einer geeigneten Vorlage nach den beschriebenen Verfahrens
stufen.
Alternativ lassen sich die Farbbild-Abtastanordnungen nach der
Erfindung jedoch auch unter Verwendung von subtraktiven, primären Farbstoffen herstellen, d.h. gelben, purpurroten und blaugrünen
Farbstoffen. In jedem Filterelement liegt dann eine geeignete
Kombination von zwei dieser Farbstoffe unter Erzeugung eines grünen,
roten oder blauen Filters vor. Das beschriebene Verfahren zur Herstellung der Farbfilter erfordert dann, daß zwei Farbstoffe
durch Diffusion in die Farbstoff-Empfangsschicht übertragen werden,
unter Erzeugung eines Satzes von Filterelementen während einer jeden MasMerungs-Exponierungsfolge. Alternativ kann auch
ein einzelner substral;tivcr primärer Farbstoff durch Diffusion
in die Farbstoff-Empfangsschicht übertragen werden, und zwar für zwei der drei Sätze der Filterschicht während einer jeden Maskierungs-Exponierungsfolge.
Zwei zusätzliche Verfahrensfolgen vervollständigen dann das Drei-Farbfilter. Schließlich können auch
die verschiedensten Kombinationen dieser Methoden angewandt werden, je nach den Charakteristika der Farbstoffe, die im Einzelfalle
verwendet werden.
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In Fig. 3 ist eine Farbbild-Abtastanordnung 30 gemäß der Erfindung
in Anwendung bei einem vereinfacht dargestellten Kamerasystem
dargestellt. Die Bildinformation einer einzelnen Reihe von Photosensoren, beispielsweise von einer Reihe 32, wird auf
ein Schieberegister 34 (das im allgemeinen auf dem Bildsensor Chip ausgebildet ist) übertragen, und zwar in Abhängigkeit von
Taktsignalen von einem Abfragegerät, beispielsweise einem Taktgeber 36 für die Zeilenabtastung. Dies wird in an sich bekannter
Weise durchgeführt. Einrichtungen zum Durchführen dieser Operation werden in der technischen und Patentliteratur beschrieben,
die sich auf Bauteile für Ladungs-handling bezieht, beispielsweise auf CCD- und CID-Anordnungen. Es ist auch allgemein bekannt, da»
Ausgangssignal des Schieberegisters mittels einer Signalübersetzerschaltung 38 weiterzuverarbeiten. Bei Verwendung von Farbbild-Abtastanordnungen
gemäß der Erfindung ist jedoch die Farbinformation für die einzelnen Grundfarbvektoren in verschachtelter Form
vorhanden, da die Spektralempfindlichkeiten der Elemente der Farbsensoranordnung
untereinander vermischt sind. Dementsprechend ist ein Farbschalter-Netzwerk 40 vorgesehen, um die Bildsignalfolge
90 aufzuteilen, daß sie eine geeignete Form hat, d.h. beispielsweise
parallele Videosignale für Grün, Rot und Blau zu bilden.
In einer solchen Form werden die Signale in üblicher Weise ur.ter
Verwendung der Umsetzer-Matrix 42 in eine NTSC-Norm umgesetzt. Dies ist besonders vorteilhaft, wenn die Anzahl von "cihcn der
Sensoranorc'nuiiß der Anzahl von sichtbaren Zeilen in einer Rasterplatte
(field scan) (ungefähr 250) oder der Anzahl von sichtbaren Zeilen in einem Abtastfeld oder Bildaiisschnitt (frame) (ungefähr
SOO) entspricht, das aus zusammengesetzten Feldern odor Halbbildern
besteht.
Die folgenden Heispiele sollen die Erfindung niiher veranschaulichen.
Beispiel 1: Herstellung eines Farbfilters mit einem Film als Farbstoff
-Empfangs schicht.
2 g des roten Farbstoffes Eastman Brilliant Red FFBL (Hersteller
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Eastman Kodak Company, Rochester, New York) wurden in 100 ml
ι) i c Ii Io met ha η unter F.inrühren des Farbstoffes in das Lösungsmittel
unter Verwendung eines Magr.etrührers gelost. Die Rührdauer
betrug 2 Stunden bei Raumtemperatur. Die erhaltene Farbstoff
lösung wurde dann mit der Hand in einer Schichtstärke von
etwa 150 Mikron, naß gemessen, auf einen barytierten Papierträger
aufgetragen. Bei dem barytierten Papierträger handelte es sich
um einen Papierträger, der mit einer Schicht aus BaSO. beschichtet
worden war, wie er üblicherweise in der photographischen
Technik verwendet wird. Ein soldier Papierträger wurde in diesem
Beispiel der Einfachheit halber verwendet. Verwendbar sind jedoch auch alle anderen Träger, solange diese praktisch gleichförmige
gefärbte Flächen oder Bezirke liefern, d.h. bei denen als Folge der Übertragung kein Muster hinterbleibt. Typische geeignete Träger
sind solche, die üblicherweise bein. Wärme-Übertragungsdruck verwendet werden.
Die aufgetragene Farbstoff schicht wurde dann über iNacht bei Raumtemperatur
an der Luft getrocknet.
Zur Urzeugung der Photorcsistschicht oder Blockierungsschicht
lassen sich, wie bereits dargelegt, übliche qnervernetzbare CeIatine-Photores
ist lösungen verwenden.
Geeignete Photoresist lösungen auf Gelatinebasis sind beispielsweise
iiii Handel unter der Handelsbezeichnung KOPR-TOP, Hersteller
Chemco Photoproducts Company, USA, erhältlich. Eine quervernetzbare
Photorcsistmasse auf Gelatinebasis wurde hergestellt durch
Vermischen von 27,6 r,ü (27,6 g) von KOPR-TOP Enamel mit 3 ml
(3,45 g) KOPR-TOP-Scnsibilisierungsmittel. Mit der Beschichtungsmasse
lvurde dann ein Poly (äthylenterephthalat) -Filmschichtträger von quadratischem Format mit einer Kantenlänge von 5 cm spinnbeschichtet,
unter Verwendung einer üblichen Beschichtungsvorrichtung (Headway Research spin-coater) bei 2000 Umdrehungen pro
Minute, bei einer Beschichtungsdauer von 50 Sekunden.
Der beschichtete Träger wurde dann 4 Minuten lang unter Verwendung
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einer in einem Abstand von 0,30 m aufgestellten Wolfrainlampe
durch eine neutral dichte Maske (Qualitron neutral density mask) belichtet.
Anschließend wurde der exponierte Prüfling entwickelt, indem er ungefähr 20 Sekunden lang mit Wasser von Raumtemperatur abgespült
wurde. Auf diese Weise wurden Fensterflächen in der Photoresistschicht
erhalten, durch welche Farbstoff diffundieren gelassen wurde.
Der entwickelte Prüfling wurde dann durch 50 Sekunden langes Aufblasen
von Luft auf der Beschichtungsvorrichtung getrocknet. Nach dem Trocknen wurde der Prüfling in Kontakt mit einem 5 cm großen
Träger, der mit dem Farbstoff Eastman Brilliant Red FFBL beschichtet worden war, gebracht, wobei die beschichteten Seiten aufeinander
zu liegen kamen, worauf auf 170°C erhitzt wurde. Die barytierte Papierträgerscite befand sich dabei mit dem Heizblock in Kontakt.
Die Erhi tzungsdauer betrug 30 Sel.unden. Reim Frhitzen sublimierte
der Farbstoff von» PapiertrM^er durch die Rczirko, aus
denen die Gelatine durch den Entwicklungsprozeß entfernt worden
war und gelangte in den Filmträger. Auf diese Weise wurde eine qualitativ ausgezeichnete Farbstoffreproduktion der Maske ir dem
Schichtträger erzeugt.
Die quervernetzten Gelatine-Bezirke auf dem Schichtträger wurden dann durch Abspülen mit Wasser und Abquetschen entfernt. Die Dichte
der gefärbten Bezirke gegenüber blauem Licht betrug 1,f>, die eine
Messung in einen Densitometer vom Typ Macbeth TD-504 ergab.
Das in Beispiel 1 beschriebene Verfahren wurde unter Verwendung des Farbstoffes liastman Blue CBN wiederholt. Die Dichte der gefärbten
Bezirke gegenüber rotem Licht betrug 1,5.
Herstellung einer Dreifarbfilteranordnung.
Die üreifarbfilteranordnung wurde nach der in Beispiel 1 angegebenen
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Methode hergestellt.
Zunächst wurde ein quadratischer Abschnitt eines Polyesterschichtträgers
mit einer Kantenlänge von 5 cm aus PoIy^?,4'-isopropylidendiphenylcn-co-4,4;-hexahydro-4,T-methanoindan-S-ylidendiphenylen
(Molverhältnis 50:50) Terephthalat-co-isophthalat (Mol-Verhältnis
5O:5O}7» im folgenden als TICG-Träger bezeichnet, nach dem Spinn-Bcschichtungsverfaliren
mit einer quervernetzbaren Gelatinelösung des beschriebenen Typs beschichtet, exponiert, entwickelt und getrocknet.
Auf einen barytioten PapiertrMger wurde als Farbstoff Eastman
Brilliant Red FFBL aufgetragen, der dann, wie in Beispiel 1 beschrieben, durch 30 Sekunden langes Erhitzen auf 17O0C übertragen
wurde. Nach erfolgter Farbstoffübertragung wurden die quervernetzten
Gelatinebezirke des TIGG-Trägers durch Abspülen mit Wasser
und Abquetschen entfernt.
Mer Prüfling wurde dann von neuem mit quervernetzbarer Gelatine
beschichtet, unter Verwendung einer anderen Maske exponiert, entwickelt und getrocknet. Nunmehr wurde der Farbstoff Eastman Blue
CBN, der auf einen barytierten Papierträger aufgetragen worden war, durch 30 Sekunden langes Frhitzen auf 1600C übertragen. Nach
erfolgter Obertragung wurden die quervernetzten Gelatinebezirke entfernt.
Der TIGG-Trägcr wurde nun ein drittes Mal mit quervernetzbarer
Gelatine des beschriebenen Typs beschichtet, unter Verwendung
einer dritten Maske exponiert, entwickelt und getrocknet. Gleichzeitig wurde ein grüner Farbstoff hergestellt durch Lösen von
1 g Eastman Blue GBN und 1 g Eastman Fast Yellow 8GLF in 100 ml Dichlormcthan. Die Lösung wurde auf einen barytierten Papierträger
aufgetragen. Die Obertragung des erzeugten grünen Farbstoffes erfolgte durch 40 Sekunden langes Erhitzen auf 155°C. Nach erfolgter
Farbstoffübertragung wurden die quervernetzten Gelatinebezirke wieder entfernt.
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Auf diese Weise wurde eine Dreifarbfilteranordnung erhalten, die unter Verwendung eines Mikroskops und durchgehendem Licht bei
einer 50-fachen Vergrößerung betrachtet wurde. Es zeigte sich, daß eine Dreifarbfilteranordnung ausgezeichneter Qualität vorlag,
und zwar mit Bildbezirken mit Dimensionen von 3Ou bis 4Ou. Von
den gefärbten Bildbezirken wurden Schnitte angefertigt und photographiert. Die erhaltenen Photomikrographien ergaben, daß die
Dicke der roten Bezirke ungefähr 1,5 u betrug und daß die Dicke der blauen und grünen Bezirke bei ungefähr 1 u lag.
Beispiel 4: Herstellung eines Farbfilters auf einer Quarz-Scheibe.
3 g Poly(4,4 ·-hexahydro-4,7-methanoindan-S-ylidendiphenylenterephthalat),
als T-GK bezeichnet, wurden in einer Mischung von 20 ml Dichlormethan und 35 ml Toluol durch 4-stündiges Verrühren des
Polymeren in dem Lösungsmittelgemisch unter Verwendung eines Magnetrührers bei Raumtemperatur gelöst. Die erhaltene Lösung wurde
nach dem Spinn-Beschichtungsverfahren auf eine Quarzscheibe eres
Durchmessers von 25 mm mit einer Haftschicht aus Poly (methylacrylat-co-vinyEdenchlorid-co-itaconsäure)
aufgetragen, lie Beschichtungsdauer
betrug 50 Sekunden bei 1000 Umdrehungen pro Minute.
Die aufgetragene Schicht des Polymeren wurde in einem Laborofen 4 Stunden lang bei 1200C getrocknet.
Auf die getrocknete Scheibe.wurde Jann nach dem in Beispiel 1 beschriebenen
Verfahren eine Resistschiclit aus qucrvernetzbarer
Gelatine aufgetragen. Die Schicht wurde Jann, wie in Beispiel 1 beschrieben, durch eine Maske belichtet, entwickelt und getrocknet.
Die Platte wurde dann in Kontakt iiiit einem barytierten Panierträger
gebracht, auf dem als Farbstoff Eastman Brilliant Red FFBL aufgetragen worden war. Die Übertragung des Farbstoffes erfolgte durch
40 Sekunden langes Erhitzen auf 175°C durch die Bereiche der Platte, aus denen die Gelatine bei der Entwicklung ausgewaschen worden
war. Mach der Farbstoffübertragung wurden die quervernetzten Gelatinebezirke entfernt. Auf diese Weise wurde eine qualitativ hoch-
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wertige Farbreproduktion der Maske in dem T-dK-Polymeren erzeugt,
nine Untersuchung des hergestellten Farbfilters unter Verwendung
eines Interferenz-Mikroskopes ergab, daß die T-GK-Schicht ungefähr
0,5 π dick war. Die Dichte der gefärbten Bezirke gegenüber blauem Licht wurde unter Verwendung eines Dcnsitometers vom
Typ Macbeth TI)-50t ermittelt. Sie lag bei 2,6.
2 g des Farbstoffes Eastman Polyester Rlue BN-LSW wurden in 15 ml
üichlormethan durch zweistündiges Verrühren des Farbstoffes bei
Raumtemperatur in dem Lösungsmittel unter Verwendung eines Hagnetrührers
gelöst. Daraufhin wurde ein 5,08 χ 5,08 cm großes Kopierpapierstück
ungefähr 3 Minuten lang in die erhaltene Farbstofflösung gebracht, um Lösung aufzusaugen. Anschließend wurde das
Papier 1 Stunde lang an der Luft getrocknet.
Ein Abschnitt eines Filmschichtträgers aus Poly(4,4'-hexahydro-4
, 7-methanoindan-5-yl idendiphenylenterephth.ilat) wurde nach den
Spinn-Beschichtungsverfahren mit einer Resistschicht aus quervernetzharer
(lelatine beschichtet. Verwendet wurde eine übliche Spinn-Beschichtungsvorrichtung vor.i Typ Headway "esearch spincoater
bei einer Reschichtungsdauer von 50 Sekunden und 2000 Umdrehungen
pro Minute. Der beschichtete Abschnitt wurde dann mittels einer 100 Watt WoI f ramlninne durch eine Vorlage belichtet. Die
Belichtungsdauer betrug 4 Minuten, wobei die 'VoIf ram lampe sich in
einem Abstand von der Probe von 0,30 m befand. Der exponierte Prüfling wurde dann entwickelt, indem er 20 Sekunden lang mit Wasser
von Raumtemperatur abgespült wurde. Anschließend wurde der Prüfling getrocknet, indem 50 Sekunden lang auf den Prüfling auf
der Spinn-Reschichtungsvorrichtung bei Raumtemperatur Luft aufgeblasen
wurde.
Nach dem Trocknen wurde der besclnchtete Prüfling in Kontakt mit
einem Farbnapier des beschriebenen Typs gebracht, wobei die Resistschicht
mit der Farbstoffschicht in Kontakt kam. Die Kombination
aus Träger mit Uesistschicht und Farbpapier wurde auf einem
Heizblock 30 Sekunden lang auf 22O°C erhitzt. Der Farbstoff sub-
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limierte dabei aus dem Papier durch die Bezirke, aus denen die
Gelatine abgelöst worden war in den PolyestertrMger.
Anschließend wurden die quervernetzten Gelatinebezirke durch Abspülen mit Wasser und Abquetschen entfernt.
Die auf den Polyesterträger erzeugten Bilder wurden mikroskopisch bei durchgehende« Licht und einer 50-fachen Vergrößerung untersucht.
Es ergab sich eine Reproduktion der Testvorlage von ausgezeichneter Qualität. Die Auflösung lag bei mindestens 90 Reihen/
mm, entsprechend dem Maximum der Testvorlage.
Beispiel 6: Herstellung eines Drei-Farbfilters auf einer Quarzscheibe.
Iline Schicht aus Poly(4,4'-hexahydro-4,7-methanoindan-S-ylidendiphenylenterephthalat)
(T-GK-Polymer) wurde in der in Beispiel 4
beschriebenen Weise auf eine Quarzscheibe (oder Si 1 iciumplatte')
eines Durchmessers von 2,54 cm aufgetragen, wobei im vorliegender Falle jedoch die Scheibe zunächst mit SiO- behandelt fpacivated)
wurde. Nach Beschichten der Polyesterschicht mit einer quervernetzbaren Gelatineschicht, Exponieren und Entwickeln, wie im Reispiel
1 beschrieben, wurde die Platte in Kontakt mit einem Farbblatt des beschriebenen Typs mit dem roten Farbstoff Eastman lied
901 (hergestellt, wie in Beispiel 1 beschrieben) 30 Sekunden lang
auf 2000C erhitzt. Die verbliebenen quervernetzten GeIa tincbezirke
wurden durch 30 Minuten langes Waschen in einer dreiuolarcn CaCl?-
^ bei $0°C und schwachem Reiben der Oberfläche entfernt.
line zweite Resistschicht aus quervernctzbarer Gelatine wurde
aufgetragen, durch eine zweite Maske belichtet und entwickelt. Diesmal
wurde ein Farbblatt mit dem blauen Farbstoff l.astr.an Polyester
Blue 4RL in Kontakt mit der Scheibe gebracht und 30 Sekunden lang auf 2000C erhitzt. Anschließend wurde die verbliebene quervernetzte
Gelatine wiederum entfernt.
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Nunmehr wurde eine dritte Gelatine-Resistschicht aufgetragen,
durch eine dritte Maske belichtet und entwickelt. Anschließend wurde eine Farbblatt mit einem grünen Farbstoff, bestehend aus
einer Mischung ai'S Eastman Blue GRN und Eastone Yellow R-GFD in
Kontakt mit der Scheibe gebracht und 30 Sekunden lang auf 180°C erhitzt. Die verbliebene Resistschicht wurde dann durch Verwendung
einer CaCl2-Lösung entfernt.
Auf diese Weise wurde eine Quarzscheibe mit einem integrierten Dreifarbfilter ausgezeichneter Qualität mit drei Mustern von
Filterbezirken erhalten, wobei jeder Filterbezirk eine Größe von 30 χ 40 Mikrometern hatte.
Die drei Farbfilteranordnungen (CFA) von Beispiel 6 wurden an
eine Fairchild-Ladungskupplungs-Bauteil-(CCD)-202-Anordnung in
Feinausrichtung unter Ausbildung eines CCD-CFA-Bauteiles gebunden.
Die zusammengesetzte Anordnung wurde mit monochromatischem Licht gleichförmig beleuchtet und mit einer Halbbildfrequenz von 30
Bildern pro Sekunde abgetastet. Das resultierende Videosignal wurde unter Verwendung einer Klemmschaltung zur Synchronisierung
verstärkt. Eine bestimmte Spalte von CCD-Elementen wurde ausgewählt und die Lage dieser Spalte wurde der Spaltenanzeigerlogik
eines Computers eingegeben. Die Spaltenanzeigerlogi|e bewirkt, daß
der Signalpegel des aufzufangenden Bildelementes in der ausgewählten
Spalte für jede horizontale Zeile einmal in ein 12-Bit-Digitalwort
umgesetzt wird und als Eingangssignal für den Computer zur Verfügung gestellt wird. Fehlerkennzeichnungskarten, die vom Computer
abtastbar sind und die das Fehlen des Bereitschaftszustandes (data ready) und des Halbbildes signalisieren, sind vorhanden.
Man kann ein einzelnes, vorausbestimmtes Sensoelement wiederholt
abfragen oder Abfrageimpulse einer Gruppe von Sensorelementen aus werten. Die mittlere Abweichung und die Normalabweichung der Gruppe
ausgewählter Signalpegel werden berechnet und ausgedruckt.
Das interne Störgeräusch im SensoreleAent und das Störgeräusch des
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Anordnuhgsmusters der Sensorelemente der CCD-Anordnung allein
und das Störgeräusch des Anordnungsmusters jedes der drei Farbkanäle
in der SFA-DDC-Kombination wurden gemessen und als Funktion der mittleren Anzahl der Photoelektronen aufgezeichnet. Die
Daten für das Störgeräusch des Anordnungsmusters basieren auf einer rechteckigen Gruppe von 1000 Sensorelementen, die ίτη zentralen
Bereich der Sensoranordnung gelegen ist, bestehend aus drei Teilmengen: 500 Grün und 250 Rot und 250 Blau. Die Störgeräusche
für jeden der drei zusammengesetzten FarbkanSle wurden von den entsprechenden Teilmengen-(subset) datenberechnet. Die
Störgeräuschdaten für die CCD-Anordnung allein wurden unter Verwendung von monochromatischem Licht von 550 nm ermittelt, wohingegen
die roten, grünen und blauen Kanaldaten bei 6 50, 550 und 480 nm ermittelt wurden. Im Falle der CCD-Anordnung allein stieg
das Störgeräusch von einem Dunkelpegel von 2000 Geräuschelektronen auf etwa 8000 nahe der CCD-Sättigung an. Dieser Gerüuschanstieg
ist das Ergebnis von effektiven Quantenwirkungsfluktuationen von
Element zu Element innerhalb der CCD-Anordnung.
Die Störgeräuschpegel der drei Farbkanäle der zusammengesetzten Anordnung erreichten jedoch einen maximalen Wert von etwa 30 000
Elektronen. Bei der Berechnung der effektiven RMS-Obertragungsfluktuationen
der CFA-Anordnung können infolgedessen die Tmpfindlichkeitsfluktuationen
von der CCD-Anordnung allein vernachläßi3t werden.
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Leerseite . fr*-
Claims (1)
- Reg. Nr. 125 456 PATENTANWÄLTEH.Bartels EASTMAN KODAK COMPANY, 343 State Street, Dipl.-Chem. Dr. BrandesRochester, Staat New York, Vereinigte Staaten von Amerika8 München 22, ThierschstraBe 8Tel (089) 293297Farbbild-Abtastanordnung sowie Verfahren iSSSSSzur Herstellung derselben wompatent manchenPostscheckkonto Stuttgart 7211 (BLZ 60010070) Deutsche Bank AG, 14/28630 (BLZ 60070070)Bürozeit: 8-12 Uhr, 13-16.30 Uhr außer samstags6. Oktober 1977 25/93PATENTANSPRÜCHEC\J Farbbild-Abtastanordnung mit einer ebenen Anordnung von Halbleiter-Photosensoren vom Ladungs-handling-Typ mit gegenüber Strahlungsenergie empfindlichen Abtastbereichen und einer darüber befindlichen ebenen Anordnung von Strahlung abfangenden Filterelementsätzen in Mikroausrichtung (oder in Feinausrichtung) mit den Abtastbereichen der Photosensoren, bei der ein Filterelementsatz eine gemeinsame Strahlungsabsorption und Durchlässigkeits-(Transmissions)-Chrakteristika, die von denen eines anderen Filterelementsatzes verschieden sind, aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die ebene Anordnung von Filterelementsätzen eine transparente polymere Farbstoff-Empfangsschicht aufweist, in der die Filterelemente liegen, wobei die Filterelemente durch mindestens einen Wärme-übertragbaren, bei Einwirkung von Wärme-diffundierbarem Farbstoff begrenzt sind, der Strahlung mindestens eines Teiles des Spektrums absorbiert und Strahlung mindestens eines anderen Teiles des Spektrums durchläßt.2. Farbbild-Abtasteinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ebene Anordnung von Filterelementsätzen 3 Filterelementsätze aufweist, die Licht einer verschiedenen Primärfarbe durchlasseh.809815/0832ORIGINAL INSPECTED3. Farbhild-Abtastanordnun4 nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einige der Photosensoren mindestens eine Dimension von weniger als 100 Mikrometer aufweisen.4. Farbl) ild-Abtastanordnun^ nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einige der Photosensoren einen Strahlungsabtastbereich von weniger als etwa 10 cm aufweisen.5. Farhbi ^!-Abtastanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein jedes der Filterelemente mindestens eine Dimension aufweist, die geringer als etwa 100 Mikrometer ist.6. Farbbild-Abtastvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Farbstoff-Fmpfangsschicht einen aromatischen Polyester mit wiederkehrenden Π inheiter, die sich von Diolen und Carbonsäuren und/oder Dicarbonsäuren ableiten, enthält, oder aus einem solchen aufgebaut ist, wobei ^iIt, daß mindestens 30 Mol-i der wiederkehrenden Einheiten einen gesättigten gem-bivalenten Rest mit einer Tesjittipten nolycyclischen dreidimensionalen Struktur mit einem gesättigten bicyclischen Kohlenwasserstoff res t mit einer Brückenbindiing aufweisen.7. Farbbild-Abtastanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Farbstoff-F.mpfan^sschicht einen Polyester enthält oder aus einem Polyester aufgebaut ist, der besteht aus: PoIy^?,4'-isopropylidendiphenylen-co-4,4'-hexahydro-4,7-methanoindan-5-ylidendinhenylen (Mol-Verhältnis 50:50) terephthalat-co-isophthalat (MoI-Verhältnis 50:50)7; Po Iy(4,4'-hexahydro-4,7-methano indan-5-yIidendiphenylentercphtlialat) ; Poly/? ,4 '- ( 2-norbornyIiden)diphenylencarbonat7 oder Poly (4 , 4 ' -fiexahydro-4 , 7-methanolndan-5-yliden-diphenylencarbonat)..'!. Farbbi ld-Abtastanordnun«; nach Ansprüchen 1 bis 7 mit einer ebenen Anordnung von Ilalbleiter-Photosensoren vom Ladungs-handling-Typ, von denen ein jeder einen gegenüber Strahlungsenergie empfindliche) Abtastbereich und mindestens eine Dimension, die kleiner als 10041 5/0832Mikrometer ist, aufweist, sowie mit einer darüber befindlichen ebenen Anordnung von Strahlung abfangenden Filterelementsätzen in Mikroausrichtung (oder in Feinausrichtung) mit den Abtastbereichen der Photosensoren, bei der ein Filterelementsatz eine gerneinsane Strahlungsabsorption und Durchlässigkeitscharakteristika, die von denen eines anderen Filterelementsatzes verschieden sind, aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die ebene Anordnung von Filterelementen erzeugt wurde durch:A. Auftragen einer Photoresistschicht auf eine transparente, polymere Farbstoff-Empfangsschicht;B. Belichten der Photoresistschicht mit einer Vorlage, die einen Filterelementsatz darstellt und Entwickeln der Photoresistschicht unter Erzeugung von Fensterbezirken in der Photoresistschicht entsprechend der Vorlage;C. Einführen eines Wärme-übertragbaren Farbstoffes in die Farbstoff-Empfangsschicht durch die Fensterbezirke durch Erhitzen und Diffusion unter Erzeugung von gefärbten oder farbigen Filterelementen entsprechend der Vorlage;D. Entfernung der übrigen Anteile der Photoresistschicht unter Erzeugung eines ersten Satzes von farbigen Filterelementen in ebener Anordnung in der Farbstoff-Empfangsschicht undE. mindestens einmaliges Wiederholen der Stufen A bis D unter Erzeugung eines weiteren Satzes von farbigen Filterelementen in der Farbstoff-Empfangsschicht und unter Erzeugung eines zusammengesetzten Mosaiks, wobei eine jede Wiederholung der Verfahrensstufen zu einem zusätzlichen Satz von farbigen oder gefärbten Filterelementen in Mosaikanordnung bezüglich der zunächst erzeugten Sätze führt, wobei ein Satz eine gemeinsame Strahlungsabsorption und Durchlässigkeitscharaktefistika aufweist, die von denen eines anderen Filterelementsatzes verschieden sind.»815/08329. Farbbild-Ahtastanordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Erhitzungs- und Diffusionsstufen bei einer Temperatur durchgeführt werden, die unterhalb der Tg-Temperatur des Polymeren liegt, jedoch oberhalb der Tg-Temperatur des Polymeren und des Farbstoffes.10. Verfahren zur Herstellung einer Farbbild-Abtastanordnung mit einer ebenen Anordnung von Halbleiter-Photosensoren vom Ladungs-handling-Typ, von denen jeder einen Abtastbereich mit mindestens einer Dimension begrenzt, die geringer ist als etwa 100 Mikrometer sowie mit einer ebenen Anordnung von Strahlung abfangenden Filterelementsätzen in Mikroausrichtung mit den Abtastbereichen der Photosensoren, nach Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß manA. auf eine transparente, polymere Farbstoff-Empfangsschicht eine Photoresistschicht aufträgt;TC. die Photoresistschicht einer Vorlage exponiert, die einen FiI-terelemontsatz darstellt und die Photoresistschicht unter Ausbildung von Fensterbereichen in der Photoresistschicht, entsprechend der Vorlage entwickelt;C. durch Erhitzen und Diffundieren einen Wärme-Übertragbaren Farbstoff durch die Fensterbereiche in die Farbstoff-Empfangsschicht unter Ausbildung von gefärbten Filterelementen entsprechend der Vorlage einführt;D. die übrigen Anteile der Photoresistschicht unter Erzeugung eines ersten Satzes von farbigen oder gefärbten Filterelementen in ebener Anordnung in der Farbstoff-Empfangsschicht entfernt;E. di^Verfahrensstufen A bis D mindestens einmal unter Erzeugung eines weiteren Satzes von farbigen oder gefärbten Filterelementen in der Farbstoff-Empfangsschicht in einer Zwischenlage bezüglich des ersten Satzes wiederholt, wobei eine jede Wiederholung der Verfahrensstufen zu einem zusätzlichen Satz von farbigen oder gefärbten Filterelementen in einer Zwischenlage be-609815/0832züglich der zuerst hergestellten Sätze steht, bei der ein Filterelementsatz eine gemeinsec Strahlungsabsorption und Ourchlässigkeitscharakteristika, die von denen eines anderen Filterelementsatzes verschieden sind, aufweist undF. Auflegen der Filterelemente auf die Anordnung von Photosensoren in Mikroausrichtung mit den Abtastbereichen der Photosensoren.11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Empfangsschicht mit oder aus einem aromatischen Polyester verwendet, der aus wiederkehrenden Einheiten aus mindestens einem Diol und einer Carbonsäure und/oder Dicarbonsäure aufgebaut ist und zu mindestes 30 Mol-% aus wiederkehrenden Einheiten besteht, die einen gesättigten gem-bivalenten Rest aufweisen mit einer gesättigten polycyclischen drei-dimensionalen Struktur mit einem gesättigten bicyclischen Kohlenwasserstoffringglied mit Brückenbindung.12. Verfahren nach Ansprüchen 10 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Farbstoff-Empfangsschicht mit oder aus einem Polyester verwendet, von dem mindestens 30 Mol-"« der wiederkehrenden Einheiten bestehen aus durch Kondensation anfallenden Einheiten aus einer Carbonsäure oder einer Dicarbonsäure und einem aromatischen Diol der folgenden Formel:I10-AR-X-AR-0Moder aus durch Kondensation erhaltenen Einheiten aus einem Oiol und einer aromatischen Dicarbonsüure der folgenden allgemeinen Formel:HOOC-AR-X-AR-COnn,worin bedeuten:AR einen aromatischen Rest undX einen gesättigten gem-bivalenten Rest mit einer gesättigten polycyclischen drei-dimensionalen Struktur mit einem gesättigten bicyclischen Kohlenwasserstoffringglied mit Brückenbindung.
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CA (1) | CA1078052A (de) |
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- 1977-09-09 CA CA286,449A patent/CA1078052A/en not_active Expired
- 1977-10-06 NL NL7710966A patent/NL7710966A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-10-07 FR FR7730189A patent/FR2367391A1/fr active Granted
- 1977-10-07 DE DE2745288A patent/DE2745288C3/de not_active Expired
- 1977-10-08 JP JP12135677A patent/JPS5347282A/ja active Granted
- 1977-10-10 GB GB42114/77A patent/GB1577680A/en not_active Expired
- 1977-10-10 BE BE181599A patent/BE859551A/xx unknown
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