DE2726773C3 - Verfahren zur Herstellung eines Sockels für ein Halbleiterbauelementgehäuse - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Sockels für ein HalbleiterbauelementgehäuseInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sockels für ein Halbleiterbauelementgehäuse 4<>
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein solches Verfahren ist aus der DE-OS 25 29 789 bekanntgeworden. Dort wird nach dem Auflöten des
Stahlringes auf der oberen Fläche des Formstückes in einem ersten Fließpreßvorgang gleichzeitig die Ausneh- «
mung in der oberen Fläche des Formstückes und der Befestigungszapfen gebildet. Der aufgelötete Stahlring
kann hierbei so verformt werden, daß er die Seitenwandung der Ausnehmung bildet. Danach wird
das an seinem unteren Ende aufgeweitete Stahlrohr in so
die Ausnehmung eingesetzt In dem zweiten Fließpreßvorgang wird der Sockel so verformt, daß das Stahlrohr
mit dem unteren Teil seiner Außenwandung fest an den Seitenwänden der Ausnehmung zum Anliegen kommt
Weiterhin wird bei diesem zweiten Fließpreßvorgang der Schweißvorsprung auf der oberen Fläche der
Stahlringscheibe gebildet. Durch das Kaltverformen bei diesem Fließpreßvorgang wird auch der Befestigungszapfen in seinem oberen, dem Formstück zugewandten
Teil verformt. Die zwei Fließpreßvorgänge werden in zwei verschiedenen Gesenken durchgeführt. Dadurch,
daß der Befestigungszapfen bereits beim ersten Fließpreßvorgang gebildet wird, muß die entsprechende
Ausnehmung des Gesenkes für den zweiten Fließpreßvorgang einen etwas größeren Innendurchmesser 6$
aufweisen als der Außendurchmesser des Befestigungszapfens, damit dieser eingesetzt werden kann. Durch
das Verformen des Sockels während des zweiten Fließpreßvorganges erfolgt auch teilweise eine Verformung
des Befestigungszapfens, der sich in seinem oberen Teil auf den Innendurchmesser des zweiten
Gesenkes aufweitet Hierdurch entsteht eine Stufe an dem Außendurchmesser des Befestigungszapfens, deren
Länge gleich der zusätzlichen Längenausdehnung des Befestigungszapfens während des zweiten Fließpreßvorganges
ist Wenn auf den Befestigungszapfen nachträglich ein Gewinde aufgeschnitten werden soll, so
muß diese Stufe vorher entfernt werden, was einen zusätzlichen Arbeitsschritt bedeutet
Ein weiteres Problem während des zweiten Fließpreßvorganges wird durch das hierbei benötigte Gleitbzw.
Schmiermittel hervorgerufen, das in den Zwischenraum zwischen den Innendurchmesser der Ausnehmung
und den Außendurchmesser des Stahlrohres gelangt Dieses Gleit- bzw. Schmiermittel sickert bei weiteren
Warmbehandlungsvorgängen aus dem Zwischenraum heraus, wobei ein wirksames Entfernen dieses Gleitbzw.
Schmiermittels nur durch eine Warmbehandlung in Schutzgasatmosphäre und anschließendem Versiegeln
des Sockels erfolgen kann. Dies stellt einen aufwendigen und teuren Verfahrensschritt dar.
Der obengenannte Zwischenraum zwischen Stahlrohr und Ausnehmung bringt auch Probleme hinsichtlich
einer Spaltkorrosion mit sich sowie bei einer späteren Aufbringung eines Überzugs, beispielsweise in
einem Galvanisierprozeß, bei dem Elektrolyt in diesen Zwischenraum eindringen und später wieder ausfließen
kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, das obenangegebene Verfahren dahingehend zu verbessern,
daß ein hinsichtlich Maßhaltigkeit des Befestigungszapfens und Dichtigkeit zwischen Formstück und Stahlring
verbesserter Sockel für Halbleiterbauelementgehäuse geschaffen wird.
Die Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst
Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
Durch das Auflöten des Stahlrohres wird der Zwischenraum zwischen Stahlrohr und Ausnehmung
vollständig abgedichtet, so daß die oben geschilderten Probleme nicht mehr auftreten. Dadurch daß der
Befestigungszapfen in dem zweiten Fließpreßvorgang gebildet wird, kann das Gesenk für den ersten
Fließpreßvorgang vereinfacht werden und es wird die Maßhaltigkeit des Befestigungszapfens verbessert was
das spätere Gewindeschneiden vereinfacht
Im folgenden wird ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel im Zusammenhang mit den Figuren
erläutert. Es zeigt
F i g. 1 eine perspektivische Ansicht eines erfindungsgemäß hergestellten Sockels;
F i g. 2 eine teils Schnitt- teils Aufrißansicht der für die Herstellung des Sockels erforderlichen Teile;
F i g. 3 eine Ansicht nach dem Hartlöten, wobei eine Vertiefung in der oberen Oberfläche des Formstückes
als Paßfläche zur Anbringung des Stahlrohres dient;
Fig.4 eine Ansicht nach dem ersten Fließpreßvorgang
zur Veranschaulichung der gebildeten Ausnehmung und des Schweißvorsprungs an der Stahlringscheibe;
F i g. 5 eine Ansicht des Sockels nach dem zweiten Fließpreßvorgang zum Bilden des nach unten abstehenden
Befestigungszapfens und
Fig.6 eine weitere Ausführungsform eines Formstückes
mit einem Sockel anstelle einer Vertiefung zur
Anbringung des Stahlrohres.
In den zwei bevorzugte erfindungsgemäße Ausführungsformen
zeigenden Zeichnungsfiguren weist der Sockel 10 ein sechskantiges Formstück 11 aus Kupfer
oder einer Kupferzirkonlegierung mit einer flachen mittigen Vertiefung 12 auf. Ein Silberhartlotring 15 wird
auf die Außenumfangskante der Ausnehmung 12 angebracht, während eine Stahlringscheibe 16 obenauf
angeordnet wird. Ein weiterer Hartlotring 17 wird in die Vertiefung 12 gebracht und ein Stahlrohr wird obenauf
angefügt
Nach dtuaem Vorgang wird unter Erhitzung die
Stahlringscheibe 16 auf der oberen Fläche des Sockels 10 hartaufgelötet und ebenso das Stahlrohr 20 innerhalb
der Ringscheibe 16 durch Hartlöten befestigt und in der Vertiefung 12 gemäß F i g. 3 angeordnet Das Stahlrohr
20 sitzt mit seinem Außendurchmesser genau in der außendurchmessermäßig mit diesem übereinstimmenden
Vertiefung 12, die das Stahlrohr zum Formstück während des Hartlötvorganges ausgerichtet hält
Hierdurch sind das Stahlrohr 20 und die Stahlringscheibe 16 in der richtigen Lage mit der oberen Fläche des
Formstückes 11 dauerhaft und innig verbunden.
Im nachfolgenden Arbeitsschritt wird durch Fließpressen unter Anwendung von Druck das Formstück 11
unter Bildung einer tieferen Ausnehmung 12a sowie eines Schweißvorsprungs 25 in Form einer erhabenen
Rippe auf der oberen Oberfläche der Ringscheibe 16 kaltverformt Dadurch wird der Kupferwerkstoff sowie
die Ringscheibe und das Stahlrohr, die beim Hartlötvorgang bis zu einem gewissen Ausmaß ausgeglüht worden
sind, kaltverfestigt
F i g. 5 zeigt das Ergebnis eines weiteren Fließpreßvorgnnges,
bei dem am Formstück ein nach unten abstehender Befestigungszapfen 30 gebildet sowie der
Schweißvorsprung 25 fertiggestellt wird. Der zweite
ίο Fließpreß Vorgang bewirkt eine gewünschte weitere
Kaltverfestigung der Teile des Socke's.
Gemäß Fig.6 wird das Formstück 11 anstelle mit
einer Vertiefung 12 wie bei den ansonsten in etwa entsprechenden F i g. 3 und 4 mit einer mittig angeord-5
neten Sockelerhöhung 35 versehen, wobei die Stahlringscheibe 16 und das Stahlrohr 20 in eine vorbestimmte
Stellung in bezug auf den Innendurchmesser des Stahlrohres 20 gebracht werden
Die weitere Kaltbearbeitung bzw. Kaltverformung durch Fließpressen erfolgt dabei im wesentlichen wie oben unter Bezugnahme auf die Fig.4 und 5 beschrieben. Die Sockelerhöhung 35 wird einem Fließpressen unterworfen, so daß eine Ausnehmung in der oberen Fläche des Formstücks 11 gebildet wird, wonach der Sockel in jeder Hinsicht dieselbe Gestalt wie der unter Bezugnahme auf Fig.5 beschriebene aufweist.
Die weitere Kaltbearbeitung bzw. Kaltverformung durch Fließpressen erfolgt dabei im wesentlichen wie oben unter Bezugnahme auf die Fig.4 und 5 beschrieben. Die Sockelerhöhung 35 wird einem Fließpressen unterworfen, so daß eine Ausnehmung in der oberen Fläche des Formstücks 11 gebildet wird, wonach der Sockel in jeder Hinsicht dieselbe Gestalt wie der unter Bezugnahme auf Fig.5 beschriebene aufweist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Verfahren zur Herstellung eines Sockels für ein Halbleiterbauelementgehäuse, bei dem ein Formstück
aus Kupfer hoher Leitfähigkeit gebildet, eine Stahlringscheibe auf der oberen, dem darauf zu
befestigenden Halbleiterelement zugewandten Fläche des Formstücks hartaufgelötet, ein Stahlrohr
innerhalb der Stahlringscheibe auf der oberen Fläche des Formstücks befestigt und das Formstück
in zwei Fließpreßvorgängen kaltverformt wird, um eine Ausnehmung in der oberen Fläche des
Formstücks, einen Schweißvorsprung auf der oberen Fläche der Stahlringscheibe und einen nach unten
abstehenden Befestigungszapfen zu bilden, da- is
durch gekennzeichnet, daß das Stahlrohr auf der oberen Fläche hartaufgelötet wird, daß die,
einen zum Innendurchmesser des Stahlrohrs gleichen Durchmesser aufweisends Ausnehmung und
der Schweißvorsprung gleichzeitig im ersten Fließpreßvorgang gebildet werden und daß der Befestigungszapfen
im daran anschließenden zweiten Fließpreßvorgang gebildet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beim Bilden des Formstückes auf der
oberen Fläche des Formstückes eine Vertiefung gebildet wird, wobei die Ausnehmung dem Außendurchmesser
des Stahlrohres angepaßt ist
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beim Bilden des Formstückes eine
mittig angeordnete Sockelerhöhung auf der oberen Fläche des Formstückes gebildet wird, wobei der
Durchmesser des Sockels dem Innendurchmesser des Stahlrohres angepaßt ist.
35
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