DE2723916A1

DE2723916A1 - Werkzeugmaschine

Info

Publication number: DE2723916A1
Application number: DE19772723916
Authority: DE
Inventors: Shigeo Kato; Osamu Morita; Sakae Saito
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1976-05-28
Filing date: 1977-05-26
Publication date: 1977-12-01
Also published as: US4099348A; JPS5652698B2; GB1560314A; JPS52144877A

Description

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Werkzeugmaschine zum sehr genauen Bearbeiten eines Werkstückes mit einer Schleifscheibe oder einem spanabhebenden Werkzeug, beispielsweise eine Oberflächen-Schleifmaschine, eine Rundschleifmaschine usw.

Bei der maschinellen Bearbeitung oder bei der Herstellung von Werkstücken muss die Oberfläche eines Werkstückes nach dem Herstellungsvorgang einen Arbeitsschritt unterzogen werden, bei dem die Oberfläche des Werkstückes hochglanzpoliert wird. Bei diesem Bearbeitungsvorgang ist es unbedingt erforderlich, dan Werkstück mit einem sich drehenden Werkzeug, beispielsweise einer Schleifscheibe, einem spanabhebenden Werkzeug, oder einem Entgratungswerkzeug zu bearbeiten, welches selbst schwingungs- und vibrationsfrei ist.

Bei den herkömmlichen Werkzeugmaschinen für die Oberflächenbearbeitung, beispielsweise bei herkömmlichen Oberflächen-Schleifmaschinen war es bis jetzt nicht möglich, die Schleifscheibenspindel in Drehung zu versetzen, ohne dass Schwingungen und Vibrationen auftraten. Dies ist deshalb der Fall, weil ein Motor, der eine Arbeitsspindel, beispielsweise eine Schleifscheibenspindel oder eine Antriebsscheibe oder ein Antriebsrad zur Kraftübertragung antreibt, dem Schleifgerät oder einem die Arbeitsspindel halternden Spindelschlitten oder Spindelgleitglied Schwingungen und Vibrationen überträgt und daher treten auch Schwingungen und Vibrationen an der Arbeitsspindel bzw. der Schleifscheibenspindel auf. Die herkömmliche Werkzeugmaschine wird nachfolgend anhand von Fig. 1 erläutert, die einen Teilquerschnitt durch eine herkömmliche Schleifmaschine wiedergibt. Ein Bearbeitungswerkzeug, in diesem Falle eine Schleifscheibe 101 ist am einen Ende einer Arbeitsspindel bzw. Schleifscheibenspindel 102 und eine Riemenscheibe 103 ist am anderen Ende der Arbeite- bzw. Schleifscheibenspindel 102

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Die Schleifscheibenspindel 102 liegt in einem Lager 105i das seinerseits in einem Lagergehäuse 104 untergebracht ist. Das Lagergehäuse 104 ist am Spindelschlitten bzw. am Spindelgleitglied 106 befestigt und wird von einer Säule 108 bei seiner Bewegung geführt. Die Säule 108 steht auf einem Bett oder Ge stell 107- Ein Support oder Schlitten 109 und ein Tisch 110 befinden sich auf dem Bett 107 und der Support 109 und der Tisch 110 werden in senkrechter Richtung zur Verschiebungsrichtung des Lagergehäuses 104 verschoben. Das Werkstück ist auf dem Tisch 110 befestigt und wird dann mit der Schleifscheibe 101 bearbeitet.

Ein Motor 112, der die Schleifscheibe dreht, ist über eine Gummidämpfung 113 auf der Erde 126 oder auf dem Bett 107 befe stigt. Die Motorkraft kann von der Motorantriebcscheibe 114 auf einen ersten Riemen 115 übertragen werden, der eine erste Riemenscheibe 116 dreht. Die erste Riemenscheibe 116 dreht sich um eine erste starre, sich in ihrer Lage nicht verändernde Welle 117, die am Bett 10^ befestigt ist. In entsprechender Weise ist die zweite, festliegende Welle 118 am Spindelschlitten bzw. am Spindelgleitstück 106 befestigt, und um diese Welle 118 herum dreht sich eine dritte Riemenscheibe II9. Zwischen der Spindel-Antriebsscheibe 103 und der dritten Riemenscheibe 119 wird die Kraft über einen vierten Riemen 120 übertragen. Die erste festliegende Welle 17 bzw. die zweite festliegende Welle 118 sind mit zwei Armen 121 versehen, die um die erste festliegende Welle 117 und die zweite festliegende Welle 118 herum drehbar sind. An einer Stelle, an der die beiden Armpaare 121 nebeneinander liegen, ist eine in ihrer Lage veränderliche Welle 122 vorgesehen. Um die in ihrer Lage veränderliche Welle 122 herum dreht sich ei ne zweite Riemenscheibe 123· Ein zweiter Riemen 124 verbindet die erste Riemenscheibe 116 mit der zweiten Riemenscheibe 123i und ein dritter Riemen 125 verbindet die zweite Riemenscheibe 123 mit der dritten Riemenscheibe 119. Über den ersten, zweiten, dritten und vierten Verbindungsriemen wird die vom Motor 112 erzeugte Kraft der Schleifscheibenspindel 102 übertragen.

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Bei einer derartigen, herkömmlichen Flächenschleifmaschine wurde in Betracht gezogen, dass die vom Motor erzeugten Schwingungen und Vibrationen nicht zur Schleifscheiben- bzw. Werkzeugspindel gelangen. Im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung wurde jedoch festgestellt, dass die Vibrationen und Schwingungen über und von völlig unerwarteten Stellen und Teilen auf die Werkzeugspitze gelangen. Die erste Riemenscheibe, die eine Kraftübertragung vom ersten Riemen auf den zweiten Riemen durchführt, kann sich um die erste in ihrer Lage festliegenden Welle drehen. Da die erste, in ihrer Lage festliegende Welle am Bett befestigt ist, werden die Rotationsschwingungen und -vibrationen der ersten Riemenscheibe von der ersten festliegenden Welle auf das Bett und dann weiter über die Säule und den Spindel schlitten auf die Werkzeugspindel übertragen; und auch die Rotationsschwingungen der dritten Riemenscheibe gelangen von der zweiten festliegenden Welle über den Spindelschlitten zur Werkzeugspindel.

Bei der herkömmlichen Oberflächen-Schleifmaschine ist daher ein Teil des Verbindungsmechanismus (oder des Gelenkmechanismus), der den zweiten und dritten Riemen spannt, mit dem Bett und dem Spindelschlitten der Werkzeugmaschine selbst verbunden bzw. am Bett und dem Spindelschlitten der Werkzeugmaschine selbst befestigt, so dass die bei der Kraftübertragung auftretenden Schwingungen und Vibrationen zur Werkzeugspindel gelangen. Daher ist es unmöglich, das Werkstück mit hoher Präzision und Genauigkeit zu bearbeiten.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Werkzeugmaschine zu schaffen, mit der das Werkstück mit hoher Genauigkeit und Präzision bearbeitet werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss durch die in Anspruch 1 angegebene Werkzeugmaschine gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

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Bei der erfindungsgemässen Werkzeugmaschine sind die starren Maschinenteile wie etwa der Motor, die Riemenscheiben usw. zur Kraftübertragung auf die Arbeitsspindel nicht an der Werkzeugmaschine selbst befestigt, sondern nur ein letzter Verbindungsriemen von mehreren Kraftübertragungn-Verbindungsriemen steht mit dor Arbeitsspindel in Verbindung. Auf Grund dieser erfindungsgemässen Anordnung kann die Ausbreitung der von Kraftübertragungsmechanismus herrührenden Schwingungen und Vibrationen erheblich verringert werden.

Die Erfindung schafft also eine Werkzeugmaschine für eine hochgenaue,sehr präzise Bearbeitung eines Werkstücks mit einer Schleifscheibe oder einem Schneidwerkzeug bzw. einem spanabhebenden Werkzeug oder einem Entgratungswerkzeug. Die erfindungsgemässe Werkzeugmaschine besitzt eine Bearbeitungseinrichtung zum Bearbeiten eines Werkstückes mit einer an der Arbeitsspindel befestigten Schleifscheibe, wobei das Arbeitsstück' auf einem Tisch der Bearbeitungseinrichtung befestigt ist, einen die Arbeitsspindel drehenden-Antriebsmotor, der schwingungs- bzw. vibrationsmässig von der Arbeitseinrichtung isoliert ist, einer Kraftübertragungseinrichtung, die die Motorkraft auf die Arbeitsspindel überträgt, einen flexiblen Gelenkmechanismus aufweist, bei dem mehrere Verbindungsriemen über Riemenscheiben in Reihe hintereinander verbunden sind und zwischen dem Motor und der Antriebseinrichtung angeordnet ist, wobei sie gegenüber der Bearbeitungseinrichtung hinsichtlich von Vibrationen und Schwingungen isoliert ist.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen seitlichen Teilquerschnitt einer herkömmlichen Werkzeugmaschine,

Fig. 2 einen seitlichen Teilquerschnitt einer erfindungsgemässen Werkzeugmaschine,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemässen Kraftübertragungseinrichtung von hinten,

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Fig. 4 eine schematische Seitenansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der erfindungsgemässen Kraftübertragungseinrichtung,

Fig. 5 eine perspektivische Darstellung einer dritten Ausführungsform der erfindungsgemässen Kraftübertragungseinrichtung von hinten,

Fig. 6 ein Diagramm, welches die Eigenschaften und Kennwerte einer erfindungsgemäss ausgebildeten Werkzeugmaschine wiedergibt.

Fig. 2 zeigt einen Teilquerschnitt durch die erfindungsgeirsässe Werkzeugmaschine. Auf einer Seite einer Scheibenspindel 202 ist eine das Werkzeug darstellende Schleifscheibe 201 befestigt und am anderen Ende der Scheibenspindel 202 ist eine Riemenscheibe 203 angebracht. Die Scheibenspindel 202 liegt in einem Lager 205» welches in einem Lagergehäuse 204 angeordnet ist. Das Lagergehäuse 204 ist an einem Gleitstück 206 befestigt, welches nach oben und nach unten verschoben werden kann und durch eine Säule 208 dabei geführt wird. Die Säule 208 steht auf einem Bett 207· Ein Support bzw. ein Schlitten 209 und ein Tisch 210 befinden sich auf dem Bett 207. Das Werkstück wird auf dem Tisch 210 befestigt und mit der Schleifscheibe 201 bearbeitet. Eine derartige Ausbildung einer Werkzeugmaschine ist allgemein üblich.

Ein Motor 212, der die Schleifscheibe 201 antreibt, ist über Gummidämpfer 213 auf der Grundplatte 214 befestigt. Die Grundplatte 214 ist selbst nicht an der Werkzeugmaschine, sondern auf dem Boden 231 befestigt. Auf der Grundplatte 214 steht ein stabiles, festes Gestell 215. In dem starren Gestell 215 ist eine festliegende Welle 216 befestigt. Eine erste Riemenscheibe 217 dreht sich um die festliegende Welle 216. Die Motordrehung wird von einer Motor-Antriebsscheibe 218 auf einen ersten Riemen (oder einen Verbindungsriemen) 219 und dann über eine erste Riemenscheibe 217 auf einen zweiten Riemen 220 übertragen. Zwei Arme 221, die sich um die festliegende Welle drehen können, sind auf der festliegenden Welle angebracht. Am anderen Ende

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der Arme 221 ist eine erste drehbare Welle 222 und eine zweite Eiemenscheibe 223 angebracht, die um die erste drehbare Welle 222 herum drehbar ist. Auf der ersten drehbaren Welle 222 sind zwei Arme 224 angebracht, die sich um die drehbare Welle 222 herum drehen können, und am anderen Ende der beiden Arme 224 befindet sich ei ne zweite drehbare Welle 225 und eine dritte Riemenscheibe 226, die sich um die zweite drehbare Welle 225 drehen kann. Die dritte Riemenscheibe 226 kann durch die zweite Riemenscheibe 223 und den dritten Riemen 227 gedreht werden. Die besagten vier Arme 221, 224 bilden also einen flexiblen Verbindungs- bzw. Gelenkmechanismus, so dass die dritte Riemen scheibe 226 nach oben und unten frei verschiebbar ist. Da dieser Gelenkmechanismus auch nach rechts und links (in Fig. 2 bezüglich der Zeichenebene nach vorn und nach hinten) beweglich ist, ist die dritte Riemenscheibe 226, die einen weiteren Riemen, d. h. im vorliegenden Fall einen vierten Riemen 229 antreibt, über ein Sperrglied 22B aus elastischem Material, beispielsweise aus Gummi oder einem ähnlichen Werkstoff, mit dem Spindelgleitstück 206 verbunden, an dem die Arbeitsspindel 202 angeordnet ist.

Die vom Motor 212 und drei Riemenscheiben ausgehenden Schwin gungen und Vibrationen pflanzen sich bis zur dritten Riemen scheibe 226 fort. Das Sperrglied bzw. das Dämpfungsglied 228 ist jedoch aus elastischem Material hergestellt, so dass die Schwingungen und Vibrationen an der dritten Riemenscheibe 226 nicht über das Sperrglied 228 auf die Werkzeugmaschine selbst, oder genauer gesagt, auf die Arbeitsspindel (oder die Scheiben spindel) 202 übertragen werden. Die Kraftübertragung von der dritten Riemenscheibe 226 zur Werkzeugmaschine selbst wird also mit dem vierten Riemen 229 vorgenommen, und da der Riemen aus sehr elastischem Material besteht, können die an die dritte Riemenscheibe 226 gelangenden Schwingungen und Vibrationen vollständig mit dem vierten Riemen 229 unterbunden werden und gelangen nicht über den vierten Riemen 229 zur Arbeitsspindel 202. Daher wird nur die Drehkraft von der dritten Riemenscheibe

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226 über den vierten Riemen 229 an die Arbeitsspindel 202 übertragen .

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung des Kraftübertragungssystems der erfindungsgemäcsen Werkzeugmaschine von hinten. Die in Fig. 3 verwendeten Bezugszeichen entsprechen denen von Fig. 2. Vier Arme 221, 224 bilden, wie Fig. 2 und 3 zeigen, den flexiblen Gelenkmechanismus. Jedoch tritt bei diesem Gelenkmechanismus ein Drehmoment im Uhrzeigersinn auf, so dass das Ende des Gelenkraechanismus, d. h. der Bereit, an dem die dritte Riemenscheibe 226 angebracht ist, nach rechts verschoben wird. Saher ist es erforderlich, ein Gegengewicht 230 auf der gegenüberliegenden Seite der Arme 224· anzubringen, um dadurch die Drehmomente im Uhrzeigersinn und im Gegenuhrzeigersinn auszugleichen.

Fig. 4 zeigt eine weitere Ausführungsform der Kraftübertragungseinrichtungen in einer schematischen Seitenansicht. Weitere Arme 3311 332 sind symmetrisch zu den Armen 321, 32'+ angeordnet, die den jeweiligen Armen 221, 224 von Fig. 3 entsprechen. Die anderen Arme 331» 332 sind zwischen einem starren Gestell 315 und einer zweiten drehbaren Welle 325 angebracht. Bei dieser Ausführungsform ist daher das in Fig. 3 dargestellte Gegengewicht nicht erforderlich. In Fig. 4 entsprechen die Bezugszahlen 3O3, 312, 320, 322, 327 und 329 den Bezugszahlen 203, 212, 22O₁ 222, 227 bzw.229 von Fig. 3.

Fig. 5 zeigt in perspektivischer Darstellung eine weitere Ausführungsform der Kraftübertragungseinrichtungen von hinten Bei dieser Ausführungsform wird ein Verbindungsriemen weniger benötigt als bei der in Fig. 3 dargestellten Ausführungsform. Das heisst, bei der in Fig. 5 dargestellten Ausführungsform sind der Verbindungsriemen 227, die Arme 224, die drehbare Welle 225 und die Riemenscheibe 226, wie sie bei Fig. 3 verwendet werden, nicht erforderlich. Daher kann die vorliegende Erfindung sogar auch dann angewandt werden, wenn nur eine einzige

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drehbare Welle vorhanden ist. Die Bezugszahlen 401 bis 412 bis 423, ^29 bzw. 4?O entsprechen den Bezugszahlen 201 bis 204, 212 bis 223, 229 bzw. 230 von Fig. J>. In diesem Falle ist ein Gegengewicht 430 an den Armen 421 angebracht und übt auf den letzten Riemen, d. h. auf den dritten Riemen 429> eine Zugkraft aus.

Wie aus der Erläuterung der vorliegenden Erfindung deutlich wird, sind der Motor und die Riemenscheiben, die Vibrationen und Schwingungen erzeugen, vollständig von der Werkzeugmaschine selbst getrennt und isoliert, die Antriebskraft wird über die Gelenkverbindung bzw. Gelenkbewegung in die Nähe der Arbeitsspindel übertragen und schliesslich ist dann nur noch der letzte Riemen mit der Arbeitsspindel der Werkzeugmaschine selbst verbunden, so dass die Werkzeugmaschine so betrieben werden kann, dass die Arbeitsspindel ruhig und ohne Schwingungen und Vibrationen gedreht wird und daher praktisch keine Schwingungen und Vibrationen an der Arbeitsspindel auftreten.

Erfindungsgemäss kann das Werkstück mit hohe Präzision bearbeitet werden, und man erhält Werkstücke mit einer hochglanzpolierten Fläche, die eine Flächenrauhigkeit von nur 0,02 um aufweist. Dagegen ist die Oberflächenrauhigkeit des Werkstücks bei den herkömmlichen, in Fig. 1 dargestellten Oberflächen-Schleifgerät mindestens 0,1 um.

Fig. 6 zeigt Kurvenverläufe gemäss der vorliegenden Erfindung. In diesem Diagramm ist auf der Abszisse die Drehzahl (Umdrehungen/Minute) der Arbeitsspindel und auf der Ordinate die Schwingungen bzw. Vibrationen (in um) der Arbeitsspindel aufgetragen. Bei einer Drehzahl von 2000 U/Min., die als eine übliche Drehzahl bei Oberflächen-Schleifmaschinen anzusehen ist, sind die Spindelschwingungen und -vibrationen bei der erfindungsgemässen Werkzeugmaschine sehr gering, d. h. nur 0,1 /um , wogegen bei den herkömmlichen Oberflächen-Schleifmaschinen bei Drehzahlen von 2000 U/Min, die Spindel schwingungen und -vibrationen 1,8/um betragen. Mit den erfindungsgemässen Massnahmen kann

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also die Arbeitsspindel praktisch vollständig gegenüber den vom Motor und den Riemenscheiben herrührenden Schwingungen und Vibrationen isoliert werden.

Bei der Werkzeugmaschine, bei der die Arbeitsspindel nach oben und unten verschoben werden kann, hängt der Gelenkmechanismus an der Riemenscheibe der Arbeitsspindel und daher zieht das Gewicht des Gelenkmechanismus an der Riemenscheibe. Daher kann der Dämpfungsfaktor der Drehkraft relativ gross gemacht werden, wenn die Werkzeugmaschine ausgeschaltet wird und sich nicht mehr dreht. Dadurch kann die Zeit, in der die Arbeitsspindel zur Ruhe kommt, verkürzt werden. Das Werkstück kann daher sofort ausgetauscht werden, so dass die Wirtschaftlichkeit und der Wirkungsgrad der Maschine grosser ist.

Die vorliegende Erfindung v/eist also zahlreiche Vorteile auf.

Die zuvor erläuterten Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung betragen Oberflächen-Schleifmaschinen, bei denen als Werkzeug ein Schleifwerkzeug auf der Arbeitsspindel angebracht ist, die sich nach oben und unten verschieben lässt. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf Oberflächen-Schleifmaschinen beschränkt. Das heisst, die vorliegende Erfindung kann auch bei Zylinderschleifmaschinen, bei denen das Werkzeug nach rechts und links verschoben wird, und bei einer Werkzeugmaschine Anwendung finden, bei denen das Werkzeug eine Fräse oder ein entsprechendes Werkzeug ist.

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Claims

SCHIFF ν. FÜNER STREHL SCHÜBEL-HOPF EBBINGHAUS FINCK

MARIAHILFPLATZ 2 A 3, MÜNCHEN 90 272391 6

POSTADRESSE! POSTFACH 95 O1 6O, D-800O MÖNCHEN 95

HITACHI, LTD.

DA-5455 26. Mai 1977

Werkzeugmaschine

Patentansprüche

M.l Werkzeugmaschine zum Bearbeiten eines Werkstücks mit hoher Präzision mittels eines sich drehenden Werkzeugs, gekennzeichnet durch eine Bearbeitungseinrichtung (231) zum Bearbeiten des Werkstücks (211) mit einem sich drehenden, an einer Arbeitsspindel (202; 332; 402) angebrachten Werkzeug (301; 401), wobei das Werkstück (211) auf einem Tisch (210) der Bearbeitungseinrichtung (231) befestigt ist, einen Antrieb (212; 312; 412), der die Arbeitsspindel (202; 302; 402) dreht und vibrationsmässig von der Bearbeitungseinrichtung (231) isoliert ist, sowie eine Kraftübertragungseinrichtung (218-229; 318-329; 418-429), die die vom Antrieb (212; 312; 412) erzeugte Kraft der Arbeitsspindel (202; 302; 402) überträgt, den Antrieb (212; 312; 412) und die Bearbeitungseinrichtung (231) verbindet und an keiner Stelle mit der Bearbeitungseinrichtung (231) starr verbunden ist, wodurch die Arbeitsspindel (202;

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ORIGINAL IN3PECTED

302; 402) vollständig gegenüber den Vibrationen isoliert ist, die der Antrieb (212; 312; 412) und die Kraftübertragungseinrichtung3t:(218-229; 318-329; 418-429) erzeugt.
2. Werkzeugmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kraftübertragungseinrichtung (218-229; 318-329; 418-429) einen flexiblen Verbindungsmechanismus (219-229; 319-329; 419-429) aufweist, in dem mehrere Verbindungsriemen (219, 220, 227, 229; 319, 320, 327, 329; 419, 420 , 429) in einer Reihe hintereinander und flexibel über Riemenscheiben (117, 223, 226; 317, 323, 326; 417, 423, verbunden sind, nur ein letzter Verbindungsriemen (229; 329; 429) der Verbindungsriemen (219, 220, 227, 229; 319, 320, 327, 329; 419, 420, 429) mit der Arbeitsspindel (202; 302; 402) und der erste Verbindungsriemen (219; 319; 419) mit dem Antrieb (212; 312; 412) in Verbindung steht.
3· Werkzeugmaschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der flexible Verbindungsmechanismus (219-229; 319-329; 419-429) wenigstens drei Verbindungsriemen (219, 220, 227, 229; 319, 320, 327, 329; 419, 420, 427) aufweist, von denen wenigstens ein Zwischen-Verbindungsriemen (220, 227; 329, 327; 420) von zwei Armen (212, 224; 321, 324; 421) gehalten wird.
4. Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Riemenscheiben (217, 223, 226; 317, 323, 326; 417, 423) wenigstens eine Riemenscheibe (223, 226; 323, 326; 423) aufweist, die sich wenigstens um eine bewegliche Welle (222, 225; 322, 325; 422) dreht·
5· Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Welle (216; 316; 416), die über den ersten Verbindungsriemen (219; 319; 419) mit dem

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Antrieb (212; 312; 4-12) verbunden ist, an einem starren Rahmen (215; 315» 4-15) befestigt ist, der auf einer nicht mit der Bearbeitungseinrichtung (231) in Verbindung stehenden Grundplatte (214; 314; 414) befestigt ist.
6. Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der flexible Verbindungsmechanismus (219-229; 319-329; 419-429) ein Gegengewicht (230; 430) zum Ausgleichen und zum Herbeiführen einer Spannung umfasst, die am letzten Verbindungsriemen (229; 429) angreift.
7. Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb (212; 312; 412) einen Motor umfasst, der über eine zur Absorption von Vibrationen vorgesehene Dämpfungseinrichtung (213; 313; 413) auf einer Grundplatte (214; 314; 414) befestigt ist, die nicht mit der Bearbeitungseinrichtung (231) in Verbindung steht.
8. Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 7» dadurch gekennzeichnet, dass die flexible Verbindungseinrichtung (219-229; 319-329; 419-429) ein flexibles Dämpfungsglied (228) aufweist, das eine Schwingung des flexiblen Verbindungsmechanismus (219-229; 319-329; 419-429) verhindert.
9· Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der flexible Verbindungsmechanismus (319-329) vier Verbindungsriemen (319, 320, 327, 329) aufweist und symmetrisch zu den Armen (321, 324) der zwei Zwischen-Verbindungsriemen (322, 327) weitere Arme (331, 332) vorgesehen sind (Fig. 4).
10. Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das sich drehende Werkzeug (201) eine Schleifscheibe ist.

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11. Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9» dadurch gekennzeichnet, dass das sich drehende Werkzeug (201) ein spanabhebendes Werkzeug ist.
12. Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9» dadurch gekennzeichnet, dass die Bearbeitungseinrichtung (231) ein Oberflächen-Schleifgerät ist.
13. Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9» dadurch gekennzeichnet, dass die Bearbeitungseinrichtung (231) ein Rundschleifgerät ist.

14-, Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 13» dadurch gekennzeichnet, dass die Dämpfun-gseinrichtung (213) aus Gummi besteht.

15· Werkzeugmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das flexible Dämpfungsglied (228) aus Gummi besteht.

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