DE2706505A1

DE2706505A1 - Druckmesswandler

Info

Publication number: DE2706505A1
Application number: DE19772706505
Authority: DE
Inventors: J Fleming Dias; Henry E Karrer; Alto Calif Palo; Alexander Tykulsky
Original assignee: Hewlett Packard Co
Current assignee: HP Inc
Priority date: 1976-03-22
Filing date: 1977-02-16
Publication date: 1977-10-06
Also published as: JPS52114386A; US4129242A; CA1073237A; DE2706505C2; US4064550A; GB1569941A; GB1569942A; JPS5821689B2

Description

Int. Az.: Case 1052 9. Februar 1977 Hewlett-Packard Company DRUCKMESSWANDLER

In der medizinisch-physiologischen Praxis ist der Blutdruck die am häufigsten gemessene Größe. Es gibt blutige und unblutige Verfahren zum Messen des Blutdrucks. Die bekannteste unblutige Methode (Riva-Rocci-Methode) benutzt eine Manschette und ein Sphygmo-Manometer zum Feststellen des maximalen und minimalen Druckes, welche üblicherweise als systolischer und diastolischer Druck bezeichnet werden. Die Interpretation des Verschwindens und Wiedererscheinens der Korotkow-Geräusche zum Schätzen des systolischen und diastolisehen Druckes ist sehr subjektiv, so daß verbesserte Verfahren erforderlich sind, um mehr Information aus den Druckschwankungen zu erhalten.

Blutige Methoden liefern mehr Information, erfordern jedoch eine Punktion des Blutgefäßes. Bei Benutzung dieses Verfahrens wird der Druckwandler in das Blutgefäß eingeführt, oder er befindet sich außerhalb des Blutgefäßes und ist mit diesem über eine Röhre verbunden. Für eine sehr genaue Erfassung des Druckimpulses sollte der Meßwandler so nah wie möglich an der Punktionsstelle angeordnet sein, wobei eine möglichst kurze Röhre verwendet werden sollte. Daher muß der Meßwandler klein sein, eine steife Membrane haben und robust konstruiert sein.

Für die Blutdruckmessung geeignete Meßwandler sind üblicherweise so aufgebaut, daß sie den Druck, d.h. die Kraft pro Flächeneinheit in eine dazu proportionale Auslenkung umwandeln. Diese Auslenkung kann wiederum dazu benutzt

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werden, eine Induktivität, eine Kapazität oder einen Widerstand zu verändern. Induktive und Widerstands-Meßwandler sind relativ instabil in Bezug auf Temperaturschwankungen. Außerdem ist der induktive Typ empfindlich gegen Erschütterungen. Die bekannten kapazitiven Meßwandler sind im allgemeinen schwierig herzustellen, jedoch sehr robust und zuverlässig.

Der im Anspruch 1 gekennzeichneten Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kapazitiven Druckmeßwandler zu schaffen, der robust und zuverlässig ist und zugleich einfach herzustellen ist.

Der erfindungsgemäße kapazitive Meßwandler ist sehr stabil. Eine erfindungsgemäße Ausflihrungsform wird aus geschmolzenem Quarz hergestellt und weist eine Membran und einen Körper auf, welche sehr flach sind. Der Körper des Meßwandlers hat eine durch Ionenbearbeitung hergestellte Ausnehmung. Unter Benutzung bekannter Dünnfilm-Beschichtungsverfahren werden auf die Membran und den Körper geeignete Elektroden aufgebracht. Auf die Peripherie dieser Teile wird außerdem im Vakuum eine eutektische Lötlegierung aufgebracht. Unter Benutzung verbesserter Lötverfahren werden diese Teile zusammengelötet und bilden einen Meßfühler-Kondensator. Die Kapazität dieses Kondensators ändert sich als Funktion des der Membran zugeführten Druckes. Der Körper ist mit einer geeigneten Entlüftung versehen, so daß der Blutdruck relativ zum atmosphärischen Druck gemessen wird (d.h. überdruck statt absoluter Druck).

Gemäß einer anderen Ausführungsform enthält die Membran eine zweite elektrisch isolierte Ringelektrode, so daß ein Referenzkondensator mit der gemeinsamen Elektrode des Körpers gebildet wird. Die Kapazität des Referenzkondensators ändert sich sehr wenig, wenn die Membran ausgelenkt wird, und sein Temperaturko-

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effizient ist dem Temperaturkoeffizienten des Meßfühlerkondensators weitgehend angepaßt. Der Meßfühlerkondensator und der Referenzkondensator sind mit einer geeigneten Schaltung verbunden, die ein elektrisches Signal erzeugt, welches entsprechend den Änderungen des Meßfühlerkondensators sein Wert ändert, so daß eine Anzeige des Druckes mit wesentlich verbesserter Linearität und Temperaturstabilität gegenüber dem Stand der Technik erfolgt.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der zugehörigen Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigen

Figur 1 einen Querschnitt eines eingekapselten kapazitiven Blutdruck-Meßwandlers gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung; Figur 2 eine Explosionszeichnung des Blutdruck-Meßwandlers

gemäß Figur 1;
Figur 3a-d Bogenstücke der Peripherie der Membran des Meßwandlers gemäß Figur 1 mit verschiedenen Mustern einer in Segmente aufgeteilten Lötlegierungsleiste;

Figur 4 einen Querschnitt durch den Meßwandler gemäß Figur 1, der die Membran im ausgelenkten Zustand zeigt;

Figur 5 eine Explosionszeichnung einer weiteren Ausführungsform des Meßwandlers gemäß Figur 1;

Figur 6 einen Querschnitt des Meßwandlers gemäß Figur 5 mit einer anderen Lot- und Zusammenbau-Konfiguration;

Figur 7a eine Explosionszeichnung einer weiteren Ausführungsform des Meßwandlers gemäß Figur 1;

Figur 7b eine graphische Darstellung des elektrischen Ausgangssignals des Meßwandlers gemäß Figur 7a in Abhängigkeit vom Druck; und

Figur 8 eine Draufsicht auf einen Referenzkondensator mit ineinandergreifenden Fingern.

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Wie in Figuren 1 und 2 dargestellt ist, ist in einem Gehäuse 10 ein Meßwandler 11 angeordnet. Das Gehäuse 10 weist eine Basis 12 auf, die eine Entlüftung 121 und einen entfernbaren Deckel 14 mit Einlassen 141 und 142 besitzt. Der Meßwandler 11 enthält einen Körper 114, welcher mit einer Elektrode 115 aus Chrom und Gold versehen ist, welche in eine geätzte Ausnehmung 116 eingelagert ist. Durch den Körper 114 führt eine Entlüftungsöffnung 117. Auf einer Membran llO befindet sich eine Elektrode 112. Die Membran 110 und der Körper 114 bestehen aus geschmolzenem Quarz. Es können selbstverständlich auch andere Materialien mit ähnlichen physikalischen Eigenschaften benutzt werden. Längs des Randes sowohl des Körpers 114 als auch der Membran 110 verläuft eine Leiste 113 aus Lötlegierung. Das Wesen der Leiste 113 ist weiter unten erläutert. Ein zwischen Deckel 14 und Membran gebildeter Hohlraum 101 ist durch eine nachgiebige Membran Io2 abgeschlossen, die ein Dielektrikum 104 ^und eine Dichtung 103 bedeckt, so daß eine Salzlösung eingeschlossen wird. Die Salzlösung wird über den Zugang 141 zugeführt. Der Eingang 142 nimmt die Druckschwankungen über einen Katheter auf, welche dann über die Salzlösung, die Membran 102 und das

Dielektrikum 104 auf die Membran 110 übertragen werden.

Membran 110 und der Körper 114 werden durch Ionen-Bearbeitung, Sprüh/Ätztechniken o.a. gebildet. Dadurch wird es möglich, sehr flache Ausnehmungen (z.B. die Ausnehmung 116) in das Quarzmaterial zu ätzen, so daß sehr schmale Spalten zwischen zwei darauf aufgebrachten Elektroden gebildet werden. Dadurch sind Quarzkondensatoren mit großen Anfangskapazitäten herstellbar. Bekannte Kondensatoren waren auf Werte in der Größenordnung von 1 bis 10 pF beschränkt, während nunmehr Kapazitäten von etwa 200 pF möglich sind.

Die Verfügbarkeit von Quarzkondensatoren mit großen Kapazitätswerten ist wichtig, da die Effekte der

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Streukapazitäten auf die Arbeitsweise eines kapazitiven Wandlers dadurch minimiert werden. Die geätzten Oberflächen sind für alle praktischen Zwecke genauso gut wie die ursprüngliche polierte Oberfläche des Quarzes. Dadurch wird es möglich, DUnnfilmelektroden hoher Qualität direkt auf die geätzte Oberfläche aufzubringen.

Die Leiste 113 besteht aus einer eutektischen Legierung aus Zinn und Gold und dient dazu, Membran 110 und Körper 114 miteinander zu verlöten. Diese Metalle sind als dünne Filme mittels geeigneter Edelstahlmasken auf den geschmolzenen Quarz aufgebracht. Das Löten erfolgt im Vakuum, indem auf die Peripherie der Membran 10, nachdem diese auf den Körper 114 aufgesetzt ist, Kraft ausgeübt wird und die Teile gleichzeitig auf ungefähr 20O⁰C für ungefähr 55 Minuten aufgeheizt werden, nach welcher Zeit die Temperatur allmählich auf 26O⁰C für weitere 45 Minuten erhöht wird. Der zusammengesetzte Meßwandler wird dann ellmählich abgekühlt. Die während des Lötens aufgebrachte Kraft übt ein Biegemoment auf die Membran 110 aus, was die Gefahr minimiert, daß die Elektroden des Meßwandlers kurzgeschlossen werden. Es ergibt sich also eine kapazitive Kopplung zwischen den Elektroden 112 und 115.

Die Lötlegierung ist typischerweise auf eine kontinuierliehe Leiste gegebener Breite und Dicke um die Peripherie der zusammenzusetzenden Teile herum aufgebracht. Solch eine Lötleiste kann jedoch infolge Temperaturkoeffizient-Fehlanpassung zu übermäßigen Spannungen im Quarzmaterial während des Lötprozesses führen. Durch solche übermäßigen Spannungen werden die Teile oft zerbrochen oder zumindest deformiert, insbesondere die Membran 110. Eine Deformation der Membran 110 führt wiederum zu einer ndcht linearen Betriebsweise des Druckanzeigers, was weiter unten erläutert wird. Um solche Spannungen zu minimieren, wird die Lötlegierungsleiste

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in einem Segmentmuster aufgebracht, welches ein im wesentlichen gleichförmiges Anklemmen der Membran 110 auf den Körper 114 zurFolge hat. In den Figuren 3a bis 3d sind verschiedene Segmentmuster für die Leiste 113 dargestellt.

Eine Reduzierung der thermischen Spannungen wirkt auf andere temperaturempfindliche Parameter wie die thermische NuI!verschiebung und der Temperaturkoeffizient der Empfindlichkeit. Hinzu kommt,daß eine segmentartige Verlötung einer breiten Verlötung durchaus äquivalent ist, da nach dem Zusammensetzen die Membran 110 und der Körper 114 einen homogenen Quarzwandler annähern. Eine breite Lötleiste ist erforderlich, um einen Bereich zu schaffen, auf dem das Gehäuse des Meßwandlers ruhen kann, ohne daß die thermische NuI1 verschiebung wesentlich beeinflußtwird. Außerdem verringert die Segmentierung die Möglichkeit, daß das Lötmetall in benachbarte Bereiche während des Lötens fließen kann. Obwohl zwischen den Teilen einzelne voneinander abgegrenzte Verbindungsstellen entstehen, ergibt sich eine gleichförmige Festigkeit längs der Peripherie des Meßwandlers.

Gemäß Figur 4 ist die Kapazität dieses Kondensators gegeben durch

Dabei sind A die Fläche der kleinsten Elektrode und t der Abstand zwischen den Elektroden.

Im Idealfall ist die Elektrodenbewegung in Abhängigkeit vom Druck linear. Der Elektrodenabstand beträgt demnach

t = t₀ - K₂P (2)

Dabei ist t_Q der Abstand zwischen den Elektroden ohne Druckbeaufschlagung.

Aus (1) und (2) ergibt sich

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K₁A C = ¹

V^K2^P

oder

P = t

Da C₅ = C<.q, wenn P = O, und wenn außerdem eine Signalverarbeitungs-Elektronik vorhanden ist, ergibt sich eine Ausgangsspannung der Form

D.h., e ist ein Konstante multipliziert mit dem zugeführten Druck P.

Ob die Ausgangsspannung e sich linear mit B ändert, hängt davon ab, ob der Kondensator ideal ist, d.h. ob seine Elektroden bei zugeführten Druck parallel bleiben.

Wie in Figur 4 dargestellt ist wird erfindungs-gemäß ein idealer Kondensator mit parallelen Platten dadurch angenähert, daß die Membran festgeklemmt ist. In Figur 4 ist die Membran 110 auch im ausgelenkten Zustand (gestrichelte Linien) dargestellt. Der Elektrodenabstand hängt von der Auslenkung der eingeklemmten Membran ab, jedoch ist der Abstand nicht in einfacher Weise vom anliegenden Druck abhängig, was auf der Deformation der Elektrodenebene beruht. Während die Auslegung selbst nicht gleichförmig über den Durchmesser der Membranelektrode 112 ist, ist sie jedoch eine vorhersehbare Funktion des Druckes und hängt von den elastischen Eigenschaften des Membranmaterials,

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Hf*.

dem Membrandurchmesser und der Membrandicke, sowie der Qualität der Membranbefestigung ab.

Da der Abstand der ausgelenkten Elektroden nicht konstant ist, ergibt sich die Gesamtkapazität, die einem gegebenen Druck entspricht unter Benutzung der Gleichung (1) durch Integration der infinitesemalen Kapazitäten von r = 0 bis r = b. Es ergibt sich der folgende funktionale Zusammenhang für die Kapazität in Abhängigkeit vom Druck:

Γ? K. P - K fT - K .

b c d

Dabei sind K,, K., K und K. Funktionen der Spaltbreite, a b c ο

der Dicke und des Durchmessers der Membrane 110, ihrer elastischen Eigenschaften und der Größe der Elektroden. Im Grenzfall entsprechend der Regel von 1'Hospital reduziert sich dieser nicht-linearer Ausdruck auf die Gleichung (1), wenn sich P dem Wert 0 nähert, und die Betriebsweise des Meßwandlers gemäß Figur 2 wird mathematisch durch die Gleichung (1) approximiert.

Eine verbesserte Linearität läßt sich erreichen durch Benutzung einer ringförmigen Elektrode 501 auf einer Membran 50, wie in Figuren 5A und 5B dargestellt ist. Aus der bekannten Theorie der eingeklemmten Membrane mit einem Radius a ergibt sich, daß beim Momenten-Nul1 kreis (Radius 0,63a) die Krümmung der ausgelenkten Membran ihr Vorzeichen wechselt, wie in Figur 5A dargestellt ist.

Wenn sich die ringförmige Elektrode 501 im wesentlichen auf dem Momenten-Nul1 kreis der Membran befindet, werden die Kapazitätsänderungen, die sich aus der Deformation der Elektrodenfläche ergeben, reduziert, und das Verhalten des Meßwandlers wird mehr linear und proportional zu jr (d.h. die Kapazität ändert sich im wesentlichen als Funktion der vertikalen Auslenkung δ). Die Empfindlichkeit dieses Meßwandlers ist jedoch geringer als die des

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oben beschriebenen, da die Auslenkung bei gleichem Druck in der Nähe des festgeklemmten Randes sehr klein ist.

Wie oben festgestellt wurde, ist die Nichtlinearität bei gleichen Kapazitäten geringer bei Benutzung einer Ringelektrode. In Anwendungsfällen wie der Phonokardiographie bei der eine naturgetreue Reproduktion der Herzgeräusche notwendig ist, ist die Linearität des Meßwandlers sehr wesentlich.

Figur 5b zeigt eine weitere Möglichkeit für eine Wandlerkonstruktion. Durch die Ionenbearbeitung oder Aufdampfen/ Ätzen wurden Böcke 505, 506, 507, 525, 526 und 527 erzeugt. Die Höhe der Böcke ist gleich dem Spalt des kapazitiven Meßwandlers. Oberall um diese Böcke herum ist Lötlegierung 528 aufgebracht. Wenn Membran 50 und Körper 52 miteinander verlötet werden, berühren die Böcke den gegenüberliegenden Teil, und die Membran 50 wird gleichmäßig längs der Peripherie befestigt und vom Körper um die Höhe der Böcke separiert.

Figur 6 zeigt eine weitere Möglichkeit für eine Meßwandlerkonstruktion. Hier ist längs der Peripherie des Körpers 60 ein Kanal 62 eingeätzt, in welchem sich eine Lötleiste 64 befindet. Die Membran 66 trägt eine dazu passende Lötleiste. Wenn die Membran 66 wie oben beschrieben mit dem Körper 60 gelötet wird, sitzt die Membran 66 flach auf den Seiten des Kanals 62 auf und die Lötleisten verschmelzen miteinander und bilden die erforderliche Verbindung. Der Vorteil dieser Konstruktion besteht darin, daß der Meßwandler im wesentlichen immun gegen äußere Kräfte an den Punkten "a" und "b" ist, wodurch die Unbeeinflußbarkeit des Meßwandlerbetriebs bewahrt wird.

Solche Kräfte könnten von einem Meßwandlergehäuse herrühren, wie es z.B. in Figur 1 dargestellt ist.

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In vielen Druckmeßsystemen, in denen ein kapazitiver Meßwandler benutzt wird, wird ein Festkondensator, der unabhängig vom Druck ist, als Referenz benutzt. Ein solcher Referenzkondensator kann sich außerhalb des Meßwandlers befinden, jedoch sollte sein Temperaturkoeffizient zu dem des Meßfühler-Kondensators passen, wenn er sich in derselben Umgebung befindet. Externe Kondensatoren mit Temperaturkoeffizienten in der Größe von 10 ppm/°C sind nicht ohne weiteres verfügbar, und sie sind nicht klein.

Der in Figur 7A dargestellte kapazitive Meßwandler enthält einen Meßfühler-Kondensator entsprechend der Konfiguration in Figur 2 und außerdem (entsprechend der Tatsache, daß die Auslenkung der Membran in der Nähe ihres eingeklemmten Randes sehr klein ist ) einen Referenzkondensator entsprechend der Konfiguration der Figur 5B, jedoch näher am eingeklemmten Rand. Der Meßfühler-Kondensator weist eine Elektrode 703 auf einerMembran 70 und eine gemeinsame Elektrode 710 auf einem Körper 71 auf, während der Referenzkondensator aus einer Elektrode 701 auf der Membran 70 und der gemeinsamen Elektrode 710 besteht.

Die Kapazität dieses Referenzkondensators ändert sich ein wenig mit den Druckänderungen, jedoch ist diese Änderung nicht groß genug, um die Linearität wesentlich zu beeinträchtigen. Darüber hinaus hat dieser Referenzkondensator einen Temperaturkoeffizienten der dem des Meßfühler-Kondensators sehr nahekommt. Der Referenzkondensator hat außerdem eine zweckmäßige Größe und Konfiguration.

Es ist zu beachten, daß die Empfindlichkeit der aus Meßfähler-und Referenzkondensator gebildeten Schaltung vom Verhältnis derer beider Kapazitätswerte abhängt beim dargestellten Schema behalten die beiden Kondensatoren im wesentlichen immer das gleiche Verhältnis, unddieses

Verhältnis ist unabhängig von der Ausnehmung, die in

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den Körper des Meßwandlers eingeätzt ist.

Gemessene Daten eines Meßwandlers mit einem kreisförmigen Referenzkondensator sind in Figur 7b dargestellt, in welcher das elektrische Ausgangssignal einer geeigneten Auswerteschaltung als Funktion des Druckers aufgetragen ist. Zum Vergleich ist die Kurve aufgetragen, die der Benutzung eines externen Referenzkondensators entspricht. Während die Linearität nicht beeinträchtigt ist, ist die Empfindlichkeit geringfügig kleiner, da sich anders als beim Ausführungsbeispiel der Referenzkondensator mit dem Druck ändert.

Wenn es wünschenswert ist, einen vom Druck unabhängigen Referenzkondensator zu verwenden, kann das in Figur 8 dargestellte Schema benutzt werden. Hier ist auf dem Körper 8o ein planarer Referenzkondensator 801 gebildet, der als Kondensatorplatten ineinandergreifende Finger aufweist.

Die gemeinsame Elektrode 802 befindet sich in der Mitte des Körpers 80, ähnlich wie bei den vorbeschriebenen Konfigurationen. Um eine Kapazität von 50 pF zu erhalten, sind einige hundert Finger von 2,5 mm Länge erforderlich. Die Kapazität zwischen den ineinandergreifenden Finger ist eine Funktion der Länge der Finger, der Elektrizitätskonstante E_r des Basismaterials, des Verhältnisses

der Fingerbreite zum Abstand zwischen ihnen und der Gesamtzahl N der Finger. In erster Annäherung ergibt sich für den Fall, daß die Fingerbreite gleich deren Abstand ist, die Kapazität durch

C ü 4.5 L (1 + E_r) (N - 1)

Diese Finger können unter Benutzung konventioneller

photolithographischer- und Dünnfilm-Verfahren gebildet werden. Da der Kondensator auf der Oberfläche des Körpers gebildet wird, ist er vom Druck unabhängig. In Figur 8

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sind mit 803 die Referenzelektrode und mit 804 die Meßfühler-Elektrode (auf der Membran) dargestellt.

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Claims

Hewlett-Packard Company PATENTANSPRÜCHE •Ο

1. 'Druckmeßwandler, gekennzeichnet durch

einen Quarzkörper (114; 52; 60; 80) mit einer längs dessen Peripherie verlaufenden Leiste (113; 528; 64) aus einer Lötlegierung und mit einer Körperelektrode (115; 710;

802) aus elektrisch leitendem Material; einer Quarzmembran (110; 50; 66) mit einer längs der Peripherie verlaufenden Leiste (113; 528; 64) aus einer Lötlegierung zum Anlöten an die entsprechende Leiste des Quarzkörpers; einer Meßfühlerelektrode (112; 501; 703; 804) aus elektrisch leitendem Material auf der Quarzmembran in kapazitiver Kopplung mit der Körperelektrode, so daß ein Meßfühler-Kondensator entsteht, wobei die Quarzmembran durch die Druckschwankungen ausgelenkt wird und die Kapazität des Meßfühler-Kondensators im wesentlichen proportional zu den Druckschwankungen ändert.

2. Druckmeßwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Körperelektrode sich in einer flachen Vertiefung im Quarzkörper befindet.

3. Druckmeßwandler nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet, daß die Meßfühlerelektrode kreisförmig ist und sich im Momenten-Nul1kreis der Quarzmembran befindet.

4. Druckmeßwandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gea kennzeichnet, daß jede Leiste aus eutektischer Lötlegierung als Segmentmuster ausgebildet ist.

5. Druckmeßwanlder nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran eine kreisförmige Elektrode mit einem Innendurchmesser aufweist, der größer als der Durchmesser der Meßfühlerelektrode ist, daß die kreisförmige Elektrode in der Nähe der Peripherie

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der Membran angeordnet und kapazitiv mit der Körperelektrode gekoppelt ist, so daß ein Referenzkondensator gebildet wird, dessen Kapazität bei Druckänderungen im wesentlichen unverändert bleibt.

6. Druckmeßwandler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßfühler- und der Referenzkondensator im wesentlichen den gleichen Temperaturkoeffizienten haben.

7. Druckmeßwandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper einen planeren Referenzkondensator aufweist, der in der Nähe der Peripherie der Membran angeordnet ist und durch ineinandergreifende Dünnfilm-Finger als Kondensatorelektroden gebildet wird.

8. Druckmeßwandler nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Böcken längs der Peripherie der Membran und des Körpers angeordnet ist und derAbstand zwischen beiden durch die Höhe dieser Böcke bestimmt wird.

9· Druckmeßwandler nach Anspruch 1, dadurch g e k e η nzeichnet, daß die MeßfUhlerelektrode kreisförmig ist.

10. Druckmeßwandler nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfühlerelektrode im wesent- liehen auf dem Momenten-Nul1 kreis der Membran angeordnet ist.

11. Druckmeßwandler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßfühler- und der planare Referenzkondensator im wesentlichen den gleichen Temperatürkoeffizienten haben.

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12. Verfahren zum Verlöten einer Membran und eines Körpers eines kapazitiven Quarz-Druckmeßwandlers, dadurch gekennzeichnet, daß längs der Peripherie einer Oberfläche des Körpers eine Leiste aus eutektischer Lötlegierung aufgebaut wird; daß längs der Peripherie einer Oberfläche der Membran eine Leiste aus eutektischer Lötlegierung aufgebracht wird;

daß die beiden Leisten erhitzt werden, nachdem Membran und Körper zusammengesetzt wurden; daß auf die Peripherie der Anordnung eine Kraft ausgeübt wird, daß die Anordnung für weniger als eine Stunde auf ungefähr 200⁰C aufgeheizt wird, daß die Temperatur für eine weitere Zeitspanne von weniger als einer Stunde allmählich auf 260⁰C erhöht wird; und daß die Anordnung allmählich auf Raumtemperatur abgekühlt wird.

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