DE2922566A1

DE2922566A1 - Druckwandler, insbesondere wirkdruckgeber

Info

Publication number: DE2922566A1
Application number: DE2922566A
Authority: DE
Inventors: Frederick D Ezekiel; Kenneth W Petros
Original assignee: Foxboro Co
Current assignee: Schneider Electric Systems USA Inc
Priority date: 1978-06-05
Filing date: 1979-06-01
Publication date: 1980-01-03
Also published as: IT7949279A0; US4172387A; CA1107982A; FR2428248B1; FR2428248A1; JPS551584A; GB2022841A; NL7903887A; GB2022841B

Description

Henkel, Kern, Feiler Cr Hänzel Patentanwälte Registered Representatives

before the

European Pajprjt ßfflce. ^

The Foxboro Company,

Möhlstra8e37 Foxboro, Mass., V. St .A. D-6000 München 80

TeL: 089/982085-87 Telex: 0529802 hnkl d Telegramme: ellipsoid

1. Juni 1979

10f 3 ,011

Druckwandler, Insbesondere Wirkdruckgeber

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf eine Druckmeßvorrichtung und betrifft Insbesondere eine speziell bei der Industriellen Verfahrensregelung verwendete Vorrichtung zur Messung von Differenz- bzw. Wirkdrücken.

Bei industriellen Verfahrensregelanlagen werden seit Jahren verschiedene Geräte zur Messung von Strömungsmitteldrücken, insbesondere von Wirkdrücken an einer in eine Strömungsmittel-Leitung eingeschalteten Lochplatte, verwendet, um dabei ein Signal zu erzeugen, das eine Funktion der Strömung s- oder Dujtjchsatzmenge des Strömungsmittels ist. Obgleich diese bisherigen Vorrichtungen an sich zufriedenstellend arbeiten, vermögen sie offensichtlich nicht allen Erfordernissen moderner industrieller Verfahrensregelanlagen zu genügen.

Die Zahl der Schutzrechte auf diesem speziellen Fachgebiet ist sehr groß. Die bisherigen Druckgeberbenu'^zten im allgemeinen entweder eine Druckabgleich- oder eine Auslenkmessung (d.h. Bewegungsabgleich) zur Erzeugung eines elektrischen

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Signals, das dem zu messenden Druck proportional ist. Die Erfindung befaßt sich nun mit der zuletzt genannten Kategorie solcher Vorrichtungen.

Eine große Zahl dieser Bewegungsabgleichvorrichtungen wendet kapazitive Techniken zur Messung der relativen Aus-■ > lenkung einer Membran in Abhängigkeit von einem sie beaufschlagenden Druck an. Beispielsweise offenbart'die US-PS ■ 3 618 390 einen mit Strömungsmittel gefüllten Wirkdruckgeber mit trennenden Membranen zur Übertragung des Drucksignals auf eine zwischengefügte Meßmembran. An den gegen- ^: überliegenden Druckkammerwänden sind in der Nähe der Meßmembran kapazitive Platten vorgesehen. Infolgedessen wird ff mittels der Relativausrichtung der Meßmembran in bezug auf die wandseitigen kapazitiven Platten ein dem anliegen- |? den Druck proportionales Ausgangssignal erzeugt. Die •i Genauigkeit, mit welcher diese Kapazitäten gemessen werden, hängt jedoch von der Erregungsfrequenz ab. Sofern keine einwandfreie elektrische Isolierung und zusätzlichenSchaltungen, um das Ausgangssignal von der anliegenden Frequenz "\ unabhängig zu machen, vorgesehen sind, können Druckgeber, ti welche die relative Kapazität messen, auch Ausgangsfehlern p aufgrund externer kapazitiver Ankopplungseffekte unterworfen p sein. Außerdem bieten diese kapazitiven Geräte nicht ohne weiteres die Möglichkeit, die gesamte aktive Elektronik von der Geberposition entfernt anzuordnen. Dies kann sich aber in bestimmten Fällen als wichtig erweisen, z.B. dann, wenn Einstellungen an der elektronischen Wandlerschaltung vorgenommen werden müssen und der Geber selbst nicht ohne weiteres zugänglich ist.

In der US-PS 3 277 719 ist ein Differenz- bzw. Wirkdruckgeber beschrieben, der nach dem Prinzip der variablen Induktivität arbeitet; dies bedeutet, daß Änderungen des

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Wirkdrucks auf die Stellungsänderung eines Ankers bezogen werden, die ihrerseits durch die relativen Induktivitäten zweier externer Spulen abgegriffen wird. Derartige Geräte sind mit demselben Mangel behaftet wie kapazitive Druckgeber, nämlich bezüglich ihrer Abhängigkeit von der Erregungsfrequenz mit davon herrührender Notwendigkeit für zusätzliche Signalaufbereitungsschaltungen zur Gewährleistung von Genauigkeit sowie bezüglich der Unmöglichkeit, die aktiven elektronischen Komponenten in einfacher Weise vom Geber zu trennen.

Andere druckempfindliche Instrumente bzw. Geräte, für welche die US-PS 3 894 435 ein Beispiel darstellt, verwenden piezoelektrische oder ähnliche (mechanische) Spannungs- oder Dehnungsmeßelemente zur Erzeugung von Widerstandsänderungen, die eine Funktion der Belastung oder Spannung in einem durch den einwirkenden Druck ausgelenkten mechanischen Element darstellen. Während nach diesem Meßprinzip arbeitende Druckmeßgeräte die vorher genannten Probleme bezüglich des Frequenzbereichs vermeiden, erfordern sie eine mechanische Beanspruchung durch Biegung oder ähnliche Verformung am Kraftmeßelement zur Lieferung des gewünschten Ausgangssignals. Hierdurch werden häufig Nullabdriftprobleme aufgeworfen, weil diese Beanspruchung zu einer Ermüdung des Kraftmeßelements führen kann; außerdem ist dabei eine Relativbewegung zwischen dem Dehnungsmesser und dem Kraftmeßelement vorhanden, wodurch Nullpunktverlagerungsfehler eingeführt werden. Darüber hinaus erzeugen Dehnungsmesser-Druckgeber (nur) kleine elektrische Ausgangssignale, die zusätzliche Schaltungen für die Verstärkung und anderweitige Signalverarbeitung erforderlich machen.

Obgleich die vorstehend erwähnten Druckgeber bzw. -wandler die für den vorgesehenen Zweck geeigneten Leistungseigenschaften bieten, besteht offensichtlich noch ein Bedarf für einen Druckgeber, der einfach aufgebaut ist, dabei aber mit hoher

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Genauigkeit und Zuverlässigkeit Drücke unter vielfach verschiedenen Bedingungen zu messen vermag.

Aufgabe der Erfindung ist damit die Schaffung einer verbesserten, vergleichsweise billigen Konstruktion für einen Druckgeber oder -wandler mit hoher Meßgenauigkeit und Zuverlässigkeit über einen langen Zeitraum hinweg sowie mit der Fähigkeit, große Ausgangssignale zu liefern, die nur einer minimalen Signalverarbeitung bzw. -aufbereitung bedürfen.

Diese Aufgabe wird durch die in den beigefügten Patentansprüchen gekennzeichneten Merkmale gelöst.

In bevorzugter Ausführungsform weist der erfindungsgemäße Wirkdruckgeber oder -wandler einen fluidumdichten Raum, der durch eine Meßmembran aus einem leitfähigen Material in Hoch- und Niederdruckkammern unterteilt wird, sowie zwei die Druckkammern verschließende Trennmembranen auf. Der gesamte Hohlraum ist mit e.'.nem im wesentlichen inkompressiblen Strömungsmittel bzw. ι ledium gefüllt, welches die an den Trennmembranen ankommender. Drucksignale wiedergabegetreu auf die Meßmembran überträgt. Im Gegensatz zu den bisherigen flüssigkeitsgefüllten Geräten wird jedoch erfindungsgemäß ein Medium verwendet, das elektrisch leitfähig ist, so daß meßbare elektrische Widerstände durch die Flüssigkeit hindurch zwischen der Meßmembran und zwei Elektroden eingeführt werden, die jeweils gegenüber der Membran isoliert sind und von den Wänden des Hohlraums an dessen gegenüberliegenden Seiten getragen werden. Durch die Auslenkung der Meßmembran in Abhängigkeit von den sie beaufschlagenden Mediumdrucksignalen wird also eine entsprechende Änderung des elektrischen Widerstands zwischen der Meßmembran und jeder Elektrode bzw. Klemme hervorgerufen, so daß am Ausgang des Druckgebers ein Signal erscheint, das eine Funktion des angelegten Eingangedrucks ist.

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Aufgrund der Ausnutzung der Leitfähigkeitseigenschaften der Medium- bzw. Flüssigkeitsfüllung zur Erzeugung einer Widerstandsänderung in Abhängigkeit von einer Membranauslenkung benötigt der Wirkdruckgeber keine aktiven Komponenten. Erfindungsgemäß kann daher die das Ausgangssignal messende Elektronik zusammen mit den Meßbereichs- und Nullabgleichschaltungen in vom Druckgeber entfernter Lage (d.h. etwa 1,6 km oder mehr entfernt) angeordnet werden.

Im folgenden ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittdarstellung eines Druckgebers bzw. -wandlers mit Merkmalen nach der Erfindung und

Fig. 2 ein Schaltbild einer Schaltung zur Messung des elektri- I sehen Widerstands als Funktion des angelegten bzw. |

Eingangsdrucks bei der Vorrichtung nach Fig. 1.

Der in Fig. 1 dargestellte Wirkdruckgeber 10 umfaßt ein aus / j rostfreiem Stahl bestehendes Gehäuse 11 aus zwei im wesentlichen symmetrischen Gehäuseteilen 11A und 11B, die mit zentra- _t len Einsätzen 12A bzw. 12B aus einem dielektrischen Material (z.B. Glas) versehen sind. Im Zentrum dieser Einsätze ist ein fluidumdichter Hohlraum 16 festgelegt, der seinerseits durch eine metallene Meßmembran 13 in eine Hochdruckkammer 14 und eine Niederdruckkammer 15 unterteilt ist. Die Innenflächen 41, 42 der dielektrischen Einsätze sind konkav geformt, so daß sie ziemlich genau den äußersten Auslenkpositionen der Meßmembran angepaßt sind. Zwei flexible Trennmembranen 22, 23, die beispielsweise an den Punkten 28 bzw. 31 um den Umfang herum mit dem Gehäuse verschweißt sind, dichten die Innenräume des Gehäuses gegenüber dem Verfahrensmedium ab. Zwischen den Trennmembranen und ihren zugeordneten Stützflächen 22A, 23A befinden sich Trennkammern 27 bzw. 30, die über Durchgänge 26 bzw. mit den Druckkammern 14 bzw. 15 verbunden sind.

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Der Druckwandler wird durch zwei Stirndeckel 32 und 33 vervollständigt, die Einlaßöffnungen 24 bzw. 25 zur An-I legung der beiden Verfahrensdrucksignale an die Trenn- fi membranen aufweisen und mit Hilfe von Schrauben 37 und 4 38 am Gehäuse 11 befestigt sind. Zwischen den Stirndeckeln i{ und dem Gehäuse 11 sind längs des Umfangs der Trennmem-I branen 22 und 23 zwei geeignete Dichtungen 34 bzw. 35 '% angeordnet, um eine Abdichtung für das Verfahrensmedium

gegenüber der Umgebung herzustellen. Beim Bau'des Geräts p wird die Meßmembran 13, wie bei 40 angedeutet, um ihren § Umfang herum an den Gehäuseteilen 11A, 11B angeschweißt.

|| Im Inneren des Druckgebers 10 ist eine hochdruckse it ige I Elektrode 18 auf der konkaven Fläche 41 des dielektrischen I Einsatzes 12A unter Isolierung gegenüber dem Gehäuseteil I 11A ausgebildet. Die elektrische Verbindung zu dieser i; Elektrode erfolgt durch einen Signaldraht 19, der durch ;| einen vorgeformten Durchgang 19A im dielektrischen Ein- ;| satz hindurchgeführt ist. Auf ähnliche Weise ist eine j niederdruckseitige Elektrode 20 an der gegenüberliegenden % Konkavfläche 42 des dielektrischen Einsatzes 12B vorge-I sehen, wobei diese Elektrode sowohl gegenüber dem Gehäuse-) I teil 11B als auch gegenüber der Hochdruck-Elektrode 18 I isoliert ist. Ein Signaldraht 21, der durch einen Durchgang I 21A verläuft, ist an diese zweite Elektrode angeschlossen. Die Meßmembran 13, die am Gehäuse 11 an Masse liegt und dadurch elektrisch von den beiden Elektroden isoliert ist, dient als dritte Klemme in einem elektrischen Netz, dessen Arbeitsweise noch näher erläutert werden wird.

Gemäß einem besonderen Merkmal der Erfindung sind alle inneren Hohlräume des Gehäuses 11, d.h. die Hoch- und Niederdruckkammern 14 bzw. 15, die zugeordneten Durchgänge 26 und 29 sowie die Trennkammern 27 und 30, mit einer ge eigneten, elektrisch leitfähigen Flüssigkeit, wie Propyl-

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alkohol, gefüllt. (Der besseren Übersichtlichkeit halber ist diese Flüssigkeit in der Zeichnung nicht veranschaulicht.) Auf diese Weise werden meßbare elektrische Widerstände zwischen der Meßmembran 13 und den einzelnen Elektroden 18 und 20 durch die leitfähige Flüssigkeit hindurch über die Signaldrähte 19, 21 und eine am Gehäuse 11 befestigte Signalleitung 17 erzeugt.

Die bei den bisherigen Geräten dieser Art verwendeten Füllflüssigkeiten, für welche Silikonöl das am häufigsten anzutreffende Beispiel darstellt, werden allgemein als elektrisch nicht leitfähig angesehen. Tatsächlich verwenden Druckgeber bzw. -wandler, die nach der kapazitiven oder induktiven Meßtechnik arbeiten, speziell Füllflüssigkeiten, die als Isolatoren wirken, um dadurch die Genauigkeit der Ausgangsmessung zu erhalten. Leitfähige Flüssigkeiten, für welche Flüssigkeiten auf Alkoholbasis typische Beispiele darstellen, können als "mittlere" Leiter angesehen werden. Beispielsweise besitzt Propylalkohol, je nach seiner Temperatur, einen spezifischen Widerstand von 8,0 χ 10 bis 20,0 χ 10 Ohm/Zoll. Dies unterscheidet derartige Flüssigkeiten von den sehr guten Leitern, z.B. flüssigem Quecksilber, dessen spezifischer Widerstand 3,7 χ 10 Ohm/Zoll beträgt.

Die Wahl einer geeigneten, leitfähigen Füllflüssigkeit hängt von zahlreichen Faktoren ab, die ihrerseits den vorgesehenen Verwendungszweck des Druckgebers betreffen. Beispielswelse muß die Flüssigkeit in einem weiten Temperaturbereich stabil sein, d.h. sie darf weder bei hohen Temperaturen sieden, noch bei niedriger Temperatur einfrieren. Außerdem sollte diese Flüssigkeit vorzugsweise innerhalb dieses Temperaturbereichs nur minimale Viskositätsänderungen zeigen, um eine zufriedenstellende Ansprechcharakteristik zu gewährleisten.

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Eine weitere wesentliche Überlegung bei der Auswahl der leitfähigen Flüssigkeit liegt in der Vorteilhaftigkeit der Fernverlegung (z.B. etwa 1,6 km oder mehr) der Meß- und Signalverarbeitungselektronik vom Druckgeber. Beispielsweise kann der Gesamtwiderstand zwischen zwei beliebigen Elektroden, zwischen denen sich eine leitfähige Flüssigkeit befindet, angenähert wie folgt ausgedrückt werden: >

(1)

Darin bedeuten: R - Widerstand in Ohm,

r = spezifischer Widerstand der Flüssigkeit in Ohm/Zoll,

L = Abstand zwischen den Elektroden in Zoll bzw. mm, A = Fläche der Elektroden in Quadratzoll bzw. in cm².

Bei der Konstruktion nach Fig. 1 läßt sich ohne weiteres feststellen, daß bei einer vorgegebenen Geometrie der Unterschied in den elektrischen Widerständen zwischen der Meßmembran 13 und jeder Elektrode 18 und 20 bei vorgegebenen Auslenkungen der Meßmembran dem spezifischen Widerstand der Flüssigkeit unmittelbar proportional ist. Wenn der Druckgeber und die zugeordnete Verarbeitungselektronik durch eine große Strecke voneinander getrennt sind, wird vorzugsweise eine Flüssigkeit mit einem hohen spezifischen Widerstand verwendet, um Spannungsabfälle auf der übertragungsleitung möglichst klein zu halten. Für die übertragung eines Signals auf einer Strecke von 1,6 km Über eine 50 Ohm-Leitung sollte der zwischen der Meßmembran und den Elektroden gemessene Widerstand um das 100-fache größer sein als der Leitungswiderstand, um Ausgangsfehler innerhalb annehmbarer Grenzen zu halten. Wenn dagegen die Elektronik in kleiner Entfernung an den Druckgeber angeschlossen ist, kann eine Flüssigkeit mit sehr niedrigem spezifischen Widerstand verwendet werden.

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Im Fall der beschriebenen Ausführungsform beträgt der Abstand zwischen den beiden Elektroden 18 und 20 0,25 mm, und jede Elektrode besitzt eine effektive Oberfläche von 1,94 cm*. Wenn beispielsweise der Innenraum mit Propylalkohol gefüllt ist, der einen spezifischen Widerstand von 8,0 χ 10 Ohm/Zoll besitzt, ergibt sich anhand von Gleichung (1) zwischen den Elektroden durch die Flüssigkeit hindurch ein Widerstand von 260.000 Ohm. Da sich die Meßmembran in ihrem nicht ausgelenkten Zustand auf halber 5trek- \ ke zwischen den Elektroden befindet, wird zwischen der Meßmembran und jeder Elektrode ein "Null"-Widerstand von etwa 130.000 Ohm gemessen.

Im Betrieb wird die Meßmembran 13 ungefähr über die halbe Strecke (d.h. 0,064 mm) zur niederdruckseitigen Elektrode 20 ausgelenkt, wenn der Druckgeber mit dem höchsten Betriebswirkdruck beaufschlagt wird. Hierbei ergibt sich eine Gesamtwiderstandsänderung zwischen der Meßmembran und jeder Elektrode von 130.000 Ohm. Da diese Widerstandsänderung bekanntlich mit der Auslenkung der Membran variiert, gilt die folgende Beziehung:

(R₁ - R₂) «, I (L₁ - L₂) (2)

worin: (R₁ - R₂) » Unterschied im elektrischen Widerstand zwischen

' Meßmembran und jeder Elektrode und (L₁ - L₂) = Unterschied im Abstand zwischen der Meßmembran und jeder Elektrode, entsprechend dem Doppelten der Membranauslenkung.

Der Unterschied im elektrischen Widerstand ist somit eine Funktion der Auslenkung der Meßmembran, die ihrerseits unmittelbar vom anliegenden Druck abhängt.

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Da sich der spezifische Widerstand von Propylalkohol über den Betriebstemperaturbereich des Druckgebers hinweg ändert, werden derartige Änderungen vorteilhaft dadurch kompensiert, daß die Widerstandsunterschiede nach Gleichung (2) zur Summe der Widerstände in Verhältnis gesetzt werden. Eine solche Beziehung wird dadurch erreicht, daß die Signalleitungen 17, 19 und 21 an die Ausgangsklemmen einer Wheatstone-Meßbrücke gemäß Fig. 2 angeschlossen werden. Das Ausgangssignal lJßt sich sodann wie folgt ausdrücken :

(3)

Obgleich sich die Absolutgröße von R₁ und R₂ mit der Temperatur ändert, bleibt das Verhältnis des Unterschieds zur Summe der Widerstände eine Funktion der Membranauslenkung

VOUt .	2	(R₁	-v	2	(L₁	-L₂)
Vin	(R₁	+ R₂)	(L₁	♦ L₂)

weil der Abstand zwischen den beiden Elektroden 18 und 20 (L₁ + L₂) bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung konstant ist. Auf diese Weise bietet das Verhältnis von Ausgangsspannung zu Eingangsspannung an der Meßbrücke ein genaues Maß für die Membranauslenkung (und somit für den Beaufschlagungsdruck) , wobei dieses Maß im wesentlichen unabhängig von temperatürabhängigen Änderungen des spezifischen Widerstands der Flüssigkeit ist. Die Ausgangsspannung kann sodann in an sich bekannter Weise einem Spannungs/Strom-Wandler zugeführt werden, um ein entsprechendes Ausgangssignal von 4 bis 20 mA zu liefern, das mit den meisten Regelgeräten für industrielle Verfahren vereinbar ist.

Vorzugsweise wird die Meßbrücke mit einem Wechselspannung-Eingangssignal konstanter Amplitude erregt. Hierdurch wird

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die Beeinflussung der Elektroden 18 und 20 durch galvanometrische und andere elektrochemische Effekte vermieden, die bei langfristiger Gleichspannungserregung auftreten können. Es hat sich gezeigt, daß sich Propylalkohol bei Erregungsfreguenzen zwischen 1000 Hz und 5 MHz wie ein reiner Widerstand verhält.

Wie vorstehend beschrieben, können somit im Betrieb des Druckgebers große Widerstandsänderungen mitteis ziemlich kleiner Auslenkungen der Membran abgeleitet werden. Hierdurch wird nicht nur die Gesamtauflösung des Geräts verbessert, vielmehr wird auch die Notwendigkeit für alle aktiven oder passiven Komponenten am Druckgeber vermieden, wodurch die entfernte Anordnung der Signalverarbeitungselektronik ermöglicht wird, die häufig den ungünstigen Umgebungseinflüssen am Einbauort des Druckgebers nicht standzuhalten vermag.

Obgleich die Erfindung vorstehend in einem speziellen Aueführungsbeispiel dargestellt und beschrieben ist, sind dem Fachmann selbstverständlich verschiedene Änderungen möglich. Während bei der dargestellten Ausführungsform die Hochdruck- und Niederdruckseite an der rechten bzw. linken Seite des Gehäuses vorgesehen sind, können diese Seiten aufgrund der Symmetrie der Konstruktion ohne weiteres gegeneinander ausgetauscht werden. Während die Erfindung weiterhin in Verbindung mit einem drei Membranen aufweisenden, mit Flüssigkeit gefüllten Wirkdruckgeber beschrieben ist, läßt sich das Erfindungsprinzip selbstverständlich gleichermaßen auf eine zwei Membranen aufweisende, mit Flüssigkeit gefüllte Vorrichtung zur Messung von Absolut- oder Meßdrücken und tatsächlich auf andere Geräte anwenden, die andere druckempfindliche Elemente, wie Balgen und dgl. enthalten.

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Ersichtlicherweise können weiterhin anstelle von Propylalkohol verschiedene andere elektrisch leitende Flüssigkeiten verwendet werden, die - je nach dem vorgesehenen Verwendungszweck - ähnliche Ergebnisse liefern. Beispiele hierfür sind Benzylakohol und eine Lösung aus Tetraäthyl-ammoniumiodid In Propylencarbonat.

Zusammenfassend wird mit der Erfindung also ein mit Flüssigkeit gefüllter Wirkdruckgeber bzw. -wandler geschaffen, der eine metallene Meßmembran in einer Druckkammer und zwei die Druckkammer gegenüber dem Verfahrensmedium abdichtende Trennmembranen aufweist, welche die angelegten Drucksignale auf die Meßmembran übertragen. Die Trennmembranen vermögen eich gegen zugeordnete und angepaßte Stützflächen anzulegen, um die Auslenkung der Meßmembran bei Druckbereichsüberschreitung zu begrenzen. Die Druckammer ist mit einer elektrisch leitenden Flüssigkeit gefüllt, so daß meßbare elektrische Widerstände durch die Flüssigkeit hindurch zwischen 4er Meßmembran und zwei ihr benachbarten, an den gegenüberliegenden Wänden der Druckkammer vorgesehenen Elektroden erzeugt werden. Wenn die Meßmembran in Abhängigkeit von eingeführten Drucksignalen ausgelenkt wird, ändert sich der elektrische Widerstand zwischen der Meßmembran und den jeweiligen Elektroden, so daß ein Ausgangssignal erzeugt wird, das eine Funktion des anliegenden Differenz- bzw. Wirkdruckf darstellt.

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Claims

Patentansprüche

Druckwandler, insbesondere Wirkdruckgeber, zur Lieferung eines elektrischen AusgangsSignaIs als Funktion eines angelegten Drucks, mit einem Gehäuse, einem zusammen mit dem Gehäuse eine Druckkammer festlegenden, druckempfindlichen Element, das mindestens eine auslenkbare Fläche aus einem elektrisch leitfähigen Material aufweist, wobei diese auslenkbare Fläche eine erste, relativ zum Gehäuse bewegbare Elektrode bildet, mit Einlaßmitteln zur Anlegung eines Mediumdrucksignals an die auslenkbare Fläche, deren entsprechende Auslenkung eine Funktion des sie beaufschlagenden Drucks ist, und einer im Bereich der Druckkammer am Gehäuse montierten zweiten Elektrode, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckkammer (14) und zumindest ein Teil der Einlaßmittel (24, 25, 26, 27, 29,30) zwischen erster und zweiter Elektrode (18, 20) mit einer elektrisch leitenden Flüssigkeit gefüllt sind, so daß durch diese Flüssigkeit hindurch ein elektrischer Widerstand zwischen den beiden Elektroden besteht, und

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daß eine Einrichtung (17, 19, 21 und Brückenschaltung nach Fig. 2) zur Messung des elektrischen Widerstands vorgesehen ist, wobei der gemessene Widerstand eine Funktion der Auslenkung der auslenkbaren Fläche und somit des anliegenden Drucks ist.
2. Druckwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Flüssigkeit Propylalkohol ist.
3. Druckwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Flüssigkeit Benzylalkohol ist.
4. Druckwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Flüssigkeit eine Lösung aus Tetraäthyl-Ammoniumiodid in Propylencarbonat ist.
5. Druckwandler nach Anspruch 1, bei welchem die Druckkammer im Gehäuse angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß das druckempfindliche Element eine sich über die Druckkammer erstreckende Membran ist, die eine erste und eine zweite Druckkammer festlegt.
6. Druckwandler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Anlegung von Verfahrensmedium-Drucksignalen an die beiden Druckkammern vorgesehen sind, so daß die Auslenkung der Membran dem Differenz- bzw. Wirkdruck zwischen beiden Druckkammern entspricht.
7. Druckwandler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf gegenüberliegenden Seiten des Gehäuses zwei Trennmembranen montiert sind, welche die Druckkammern vom Verfahrensmedium trennen und die Auslenkung der Membran bei Druckbereichsüberschreitung begrenzen.
8. Druckwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung im wesentlichen unabhängig ist von temperaturbedingten Änderungen des spezifischen Wideretande der Flüssigkeit.

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9. Druckwandler nach Anspruch 1 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung eine an den Druckwandler bzw. Wirkdruckgeber angeschlossene Wheatstone-Meßbrücke aufweist, die ein Verhältnis des Unterschieds im elektrischen Widerstand zwischen der Membran und den Elektroden zur Summe ihrer Widerstände liefert.
10.Druckwandler nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung vom Druckwandler bzw. Wirkdruckgeber entfernt angeordnet ist.
11.Druckwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei auf gegenüberliegenden Seiten des Gehäuses angeordnete, die Druckkammern verschließende Trennmembranen zur übertragung der angelegten Drucksignale auf die (Meß-)-Membran sowie Mittel zur Begrenzung der Auslenkung der (Meß-)Membran bei Druckbereichsüberschreitung vorgesehen sind.

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