JP3339563B2 - 静電容量式センサ - Google Patents
静電容量式センサInfo
- Publication number
- JP3339563B2 JP3339563B2 JP16042098A JP16042098A JP3339563B2 JP 3339563 B2 JP3339563 B2 JP 3339563B2 JP 16042098 A JP16042098 A JP 16042098A JP 16042098 A JP16042098 A JP 16042098A JP 3339563 B2 JP3339563 B2 JP 3339563B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- capacitance
- electrodes
- edge
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、対向配置された２
個の電極間の静電容量に基づき物理量及び化学量を測定
する静電容量式センサに関し、特に、前記した２個の電
極の位置決めに基づく静電容量の誤差を補償する手段を
備えた静電容量式センサに関する。
個の電極間の静電容量に基づき物理量及び化学量を測定
する静電容量式センサに関し、特に、前記した２個の電
極の位置決めに基づく静電容量の誤差を補償する手段を
備えた静電容量式センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】静電容量を検出することにより、圧力、
温度、湿度、変位、変量、加速度等の各種物理量及び化
学量を測定する装置として、静電容量式センサが知られ
ている。以下、圧力を測定するための圧力センサを例に
とって、従来の静電容量式センサの構成を説明する。
温度、湿度、変位、変量、加速度等の各種物理量及び化
学量を測定する装置として、静電容量式センサが知られ
ている。以下、圧力を測定するための圧力センサを例に
とって、従来の静電容量式センサの構成を説明する。
【０００３】図１３は、従来の静電容量式センサの構成
を示す斜視図である。台座基板１０１のひとつの面に
は、キャビティが形成されている。この台座基板１０１
は、キャビティ周辺のリム部１０１ａで、ダイアフラム
基板１０２と接合されている。これにより、キャビティ
はダイアフラム基板１０２によって閉塞され、容量室１
０３が形成される。容量室１０３の台座基板１０１側に
は固定電極１１０が配置され、ダイアフラム基板１０２
側、すなわちダイアフラム基板の可動部１０２ａには可
動電極１２０が配置されている。各電極１１０及び１２
０はそれぞれ、台座基板１０１の背面に配置された信号
処理部１０４の入力側に接続されている。
を示す斜視図である。台座基板１０１のひとつの面に
は、キャビティが形成されている。この台座基板１０１
は、キャビティ周辺のリム部１０１ａで、ダイアフラム
基板１０２と接合されている。これにより、キャビティ
はダイアフラム基板１０２によって閉塞され、容量室１
０３が形成される。容量室１０３の台座基板１０１側に
は固定電極１１０が配置され、ダイアフラム基板１０２
側、すなわちダイアフラム基板の可動部１０２ａには可
動電極１２０が配置されている。各電極１１０及び１２
０はそれぞれ、台座基板１０１の背面に配置された信号
処理部１０４の入力側に接続されている。
【０００４】ダイアフラム基板１０２に圧力Ｐが加わる
と、この圧力Ｐに応じて可動部１０２ａが変位する。可
動電極１２０は可動部１０２ａと連動して変位するの
で、これにより固定電極１１０と可動電極１２０とのギ
ャップが変化し、二電極１１０，１２０間の容量が変化
する。このときの容量値に基づき信号処理部１０４で圧
力Ｐが検出される。
と、この圧力Ｐに応じて可動部１０２ａが変位する。可
動電極１２０は可動部１０２ａと連動して変位するの
で、これにより固定電極１１０と可動電極１２０とのギ
ャップが変化し、二電極１１０，１２０間の容量が変化
する。このときの容量値に基づき信号処理部１０４で圧
力Ｐが検出される。
【０００５】図１４は、図１３に示した従来の静電容量
式センサのＸIV−ＸIV′線断面を示す断面図である。固
定電極１１０は、電極部１１１と電極引出部１１２とに
よって構成されている。また、容量室１０３の台座基板
１０１側には、固定電極１１０を取り出して図１３に示
した信号処理部１０４に接続するための電極パッド１１
３が形成されている。固定電極１１０の電極引出部１１
２は、電極パッド１１３と接続されている。同様に、可
動電極１２０は、電極部１２１と電極引出部１２２とに
よって構成されており、容量室１０３のダイアフラム基
板１０２側に形成された電極パッド１２３を介して、信
号処理部１０４に接続されている。
式センサのＸIV−ＸIV′線断面を示す断面図である。固
定電極１１０は、電極部１１１と電極引出部１１２とに
よって構成されている。また、容量室１０３の台座基板
１０１側には、固定電極１１０を取り出して図１３に示
した信号処理部１０４に接続するための電極パッド１１
３が形成されている。固定電極１１０の電極引出部１１
２は、電極パッド１１３と接続されている。同様に、可
動電極１２０は、電極部１２１と電極引出部１２２とに
よって構成されており、容量室１０３のダイアフラム基
板１０２側に形成された電極パッド１２３を介して、信
号処理部１０４に接続されている。
【０００６】図１３に示した静電容量式センサの製造工
程では、まず、台座基板１０１のキャビティ内に、公知
の成膜及び写刻技術を用いて固定電極１１０を形成す
る。同様に、ダイアフラム基板１０２の一方の面に、可
動電極１２０を形成する。次に、固定電極１１０が付着
された台座基板１０１と、可動電極１２０が付着された
ダイアフラム基板１０２とを接合する。これにより、固
定電極１１０と可動電極１２０とからなるコンデンサ構
造が形成される。各基板１０１及び１０２を接合すると
き、位置決めが正確であれば、二電極１１０及び１２０
の対向面積が設計どおりになるので、所望の容量値を得
ることができる。
程では、まず、台座基板１０１のキャビティ内に、公知
の成膜及び写刻技術を用いて固定電極１１０を形成す
る。同様に、ダイアフラム基板１０２の一方の面に、可
動電極１２０を形成する。次に、固定電極１１０が付着
された台座基板１０１と、可動電極１２０が付着された
ダイアフラム基板１０２とを接合する。これにより、固
定電極１１０と可動電極１２０とからなるコンデンサ構
造が形成される。各基板１０１及び１０２を接合すると
き、位置決めが正確であれば、二電極１１０及び１２０
の対向面積が設計どおりになるので、所望の容量値を得
ることができる。
【０００７】しかし、現実には、台座基板１０１とダイ
アフラム基板１０２とを設計どおりに組み立てることは
困難であり、各電極１１０及び１２０の間に位置決め誤
差が生じる。このとき、各電極１１０及び１２０の大き
さをまったく同じにすると、位置決め誤差により、二電
極１１０及び１２０の対向面積が大きく変わる。これに
より、所望の容量値が得られず、センサにオフセットが
生じる。このため、図１３に示した静電容量式センサで
は、図１４に示したように、固定電極１１０が全周にわ
たり可動電極１２０よりも小さく形成されている。これ
により、位置決め誤差が生じても、固定電極１１０が可
動電極１２０の対向領域からはみ出ることがないので、
センサに生ずるオフセットを抑制することができる。
アフラム基板１０２とを設計どおりに組み立てることは
困難であり、各電極１１０及び１２０の間に位置決め誤
差が生じる。このとき、各電極１１０及び１２０の大き
さをまったく同じにすると、位置決め誤差により、二電
極１１０及び１２０の対向面積が大きく変わる。これに
より、所望の容量値が得られず、センサにオフセットが
生じる。このため、図１３に示した静電容量式センサで
は、図１４に示したように、固定電極１１０が全周にわ
たり可動電極１２０よりも小さく形成されている。これ
により、位置決め誤差が生じても、固定電極１１０が可
動電極１２０の対向領域からはみ出ることがないので、
センサに生ずるオフセットを抑制することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図１３に示した静電容
量式センサでは、図１４に示すように、電極パッド１１
３が可動電極１２０の対向領域外に形成される。電極パ
ッド１１３を可動電極１２０の対向領域内に形成する
と、圧力Ｐの検出精度が悪くなるとともに、電極取り出
しに不具合を生ずるためである。このため、固定電極１
１０の電極引出部１１２は、可動電極１２０の対向領域
を越えて形成される。
量式センサでは、図１４に示すように、電極パッド１１
３が可動電極１２０の対向領域外に形成される。電極パ
ッド１１３を可動電極１２０の対向領域内に形成する
と、圧力Ｐの検出精度が悪くなるとともに、電極取り出
しに不具合を生ずるためである。このため、固定電極１
１０の電極引出部１１２は、可動電極１２０の対向領域
を越えて形成される。
【０００９】図１５は、位置決め誤差が生じた場合の固
定電極１１０と可動電極１２０との位置関係を示す模式
図である。図１５（ａ）に示すように、固定電極１１０
（すなわち、電極引出部１１２）が矢印ｘ方向にずれる
と、電極引出部１１２の一部１１２ａが可動電極１２０
の対向領域内に入る。逆に、固定電極１１０が矢印−ｘ
方向にずれると、電極引出部１１２の一部１１２ｂが可
動電極１２０の対向領域外にでる。電極引出部１１２も
可動電極１２０と対向する部分で容量が形成される。こ
のため、電極引出部１１２は位置決め誤差によるオフセ
ットの要因となる。
定電極１１０と可動電極１２０との位置関係を示す模式
図である。図１５（ａ）に示すように、固定電極１１０
（すなわち、電極引出部１１２）が矢印ｘ方向にずれる
と、電極引出部１１２の一部１１２ａが可動電極１２０
の対向領域内に入る。逆に、固定電極１１０が矢印−ｘ
方向にずれると、電極引出部１１２の一部１１２ｂが可
動電極１２０の対向領域外にでる。電極引出部１１２も
可動電極１２０と対向する部分で容量が形成される。こ
のため、電極引出部１１２は位置決め誤差によるオフセ
ットの要因となる。
【００１０】ところで、静電容量式センサを小型化する
には、電極１１０，１２０を小さくする必要がある。し
かし、従来の静電容量式センサでは、位置決め誤差が発
生すると、上述したように、電極引出部１１２によって
二電極１１０，１２０間の容量が変化する。このため、
各電極１１０及び１２０を小さくすると、それに応じて
オフセットが大きくなるので、高精度の小型センサを得
られないという問題があった。
には、電極１１０，１２０を小さくする必要がある。し
かし、従来の静電容量式センサでは、位置決め誤差が発
生すると、上述したように、電極引出部１１２によって
二電極１１０，１２０間の容量が変化する。このため、
各電極１１０及び１２０を小さくすると、それに応じて
オフセットが大きくなるので、高精度の小型センサを得
られないという問題があった。
【００１１】本発明はこのような課題を解決するために
なされたものであり、その目的は、静電容量式センサを
小型化するときのオフセットを低減することにある。
なされたものであり、その目的は、静電容量式センサを
小型化するときのオフセットを低減することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、固定電極及び可動電極のそれぞれは、
各電極と平行な方向に生ずる位置決め誤差により、可動
電極及び固定電極との対向面積が増加する部分と減少す
る部分とを備え、増加する部分と減少する部分とが同一
面積であるものである。また、請求項２記載の発明は、
二電極のうちの一方は他方より小さい電極であり、一方
の電極は、直線状の電極引出部と、この電極引出部と異
なる側に配置されかつ電極引出部と同じ幅にかつ平行に
形成された突出部とを含み、さらに、他方の電極は、電
極引出部と交差する第１のエッジ部を含みかつこの第１
のエッジ部から外側に向かって切り欠かれて形成されか
つ第１のエッジ部のみで電極引出部と交差する第１の切
欠部と、突出部と交差する第２のエッジ部を含みかつ第
１の切欠部が切り欠かれた向きと反対向きに第２のエッ
ジ部から切り欠かれて形成されかつ第２のエッジ部のみ
で突出部と交差する第２の切欠部とを有し、第１及び第
２のエッジ部のそれぞれは、平行移動すると重なる形状
をしており、一方の電極は、電極引出部及び突出部のみ
で他方の電極と交差するように配置され、第１及び第２
の切欠部の寸法及び配置並びに突出部の長さは、位置決
め誤差の最大値に基づいて決定され、電極引出部及び突
出部を含む一方の電極と他方の電極との対向する部分で
容量が形成される。また、請求項３記載の発明は、二電
極のうちの一方は他方より小さい電極であり、一方の電
極は、直線状の電極引出部と、この電極引出部と反対側
に形成された第３のエッジ部を含む突出部とを含み、さ
らに、他方の電極は、電極引出部と交差する第１のエッ
ジ部を含みかつこの第１のエッジ部から外側に向かって
切り欠かれて形成されかつ第１のエッジ部のみで電極引
出部と交差する第１の切欠部と、電極引出部と同じ幅に
かつ平行に切り欠かれて形成されるとともに突出部の第
３のエッジ部のみと交差する第３の切欠部とを有し、第
１及び第３のエッジ部のそれぞれは、平行移動すると重
なる形状をしており、一方の電極は、電極引出部及び突
出部のみで他方の電極と交差するように配置され、第１
及び第３の切欠部の寸法及び配置並びに突出部の寸法
は、位置決め誤差の最大値に基づいて決定され、電極引
出部及び突出部を含む一方の電極と他方の電極との対向
する部分で容量が形成される。また、請求項６記載の発
明は、二電極のうちの一方は他方より小さい電極であ
り、一方の電極は、全体として帯状でありかつ直線状の
電極引出部を含み、他方の電極は、電極引出部と平行な
二つのエッジ部を含む切欠部を有し、他方の電極は、二
つのエッジ部のみで一方の電極と交差するように配置さ
れ、切欠部の寸法は、位置決め誤差の最大値に基づいて
決定される。
めに、本発明は、固定電極及び可動電極のそれぞれは、
各電極と平行な方向に生ずる位置決め誤差により、可動
電極及び固定電極との対向面積が増加する部分と減少す
る部分とを備え、増加する部分と減少する部分とが同一
面積であるものである。また、請求項２記載の発明は、
二電極のうちの一方は他方より小さい電極であり、一方
の電極は、直線状の電極引出部と、この電極引出部と異
なる側に配置されかつ電極引出部と同じ幅にかつ平行に
形成された突出部とを含み、さらに、他方の電極は、電
極引出部と交差する第１のエッジ部を含みかつこの第１
のエッジ部から外側に向かって切り欠かれて形成されか
つ第１のエッジ部のみで電極引出部と交差する第１の切
欠部と、突出部と交差する第２のエッジ部を含みかつ第
１の切欠部が切り欠かれた向きと反対向きに第２のエッ
ジ部から切り欠かれて形成されかつ第２のエッジ部のみ
で突出部と交差する第２の切欠部とを有し、第１及び第
２のエッジ部のそれぞれは、平行移動すると重なる形状
をしており、一方の電極は、電極引出部及び突出部のみ
で他方の電極と交差するように配置され、第１及び第２
の切欠部の寸法及び配置並びに突出部の長さは、位置決
め誤差の最大値に基づいて決定され、電極引出部及び突
出部を含む一方の電極と他方の電極との対向する部分で
容量が形成される。また、請求項３記載の発明は、二電
極のうちの一方は他方より小さい電極であり、一方の電
極は、直線状の電極引出部と、この電極引出部と反対側
に形成された第３のエッジ部を含む突出部とを含み、さ
らに、他方の電極は、電極引出部と交差する第１のエッ
ジ部を含みかつこの第１のエッジ部から外側に向かって
切り欠かれて形成されかつ第１のエッジ部のみで電極引
出部と交差する第１の切欠部と、電極引出部と同じ幅に
かつ平行に切り欠かれて形成されるとともに突出部の第
３のエッジ部のみと交差する第３の切欠部とを有し、第
１及び第３のエッジ部のそれぞれは、平行移動すると重
なる形状をしており、一方の電極は、電極引出部及び突
出部のみで他方の電極と交差するように配置され、第１
及び第３の切欠部の寸法及び配置並びに突出部の寸法
は、位置決め誤差の最大値に基づいて決定され、電極引
出部及び突出部を含む一方の電極と他方の電極との対向
する部分で容量が形成される。また、請求項６記載の発
明は、二電極のうちの一方は他方より小さい電極であ
り、一方の電極は、全体として帯状でありかつ直線状の
電極引出部を含み、他方の電極は、電極引出部と平行な
二つのエッジ部を含む切欠部を有し、他方の電極は、二
つのエッジ部のみで一方の電極と交差するように配置さ
れ、切欠部の寸法は、位置決め誤差の最大値に基づいて
決定される。
【００１３】したがって、位置決め誤差に対して、二電
極の対向面積が変化しないので、各電極間の容量も一定
となる。
極の対向面積が変化しないので、各電極間の容量も一定
となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて詳細に説明する。本発明による静電容量
式センサは、従来の静電容量式センサと同様、各種物理
量及び化学量の測定に利用できるが、ここでは本発明が
圧力センサに適用された場合を例にとって説明する。
て図面を用いて詳細に説明する。本発明による静電容量
式センサは、従来の静電容量式センサと同様、各種物理
量及び化学量の測定に利用できるが、ここでは本発明が
圧力センサに適用された場合を例にとって説明する。
【００１５】〔第１の実施の形態〕図１は、本発明によ
る静電容量式センサの第１の実施の形態の構成を示す斜
視図である。図１に示すように、台座基板１のひとつの
面には、キャビティが形成されている。この台座基板１
は、キャビティ周辺のリム部１ａで、ダイアフラム基板
２と接合されている。これにより、キャビティはダイア
フラム基板２によって閉塞され、容量室３が形成され
る。台座基板１及びダイアフラム基板２は、例えばサフ
ァイアガラス等の絶縁部材で形成される。ダイアフラム
基板２の容量室３と接する部分（可動部２ａ）は、加わ
る圧力Ｐに応じて上下に変位するような厚さに形成され
る。
る静電容量式センサの第１の実施の形態の構成を示す斜
視図である。図１に示すように、台座基板１のひとつの
面には、キャビティが形成されている。この台座基板１
は、キャビティ周辺のリム部１ａで、ダイアフラム基板
２と接合されている。これにより、キャビティはダイア
フラム基板２によって閉塞され、容量室３が形成され
る。台座基板１及びダイアフラム基板２は、例えばサフ
ァイアガラス等の絶縁部材で形成される。ダイアフラム
基板２の容量室３と接する部分（可動部２ａ）は、加わ
る圧力Ｐに応じて上下に変位するような厚さに形成され
る。
【００１６】容量室３の台座基板１側には固定電極１０
ａが配置され、ダイアフラム基板２側、すなわちダイア
フラム基板２の可動部２ａには可動電極２０ａが配置さ
れている。固定電極１０ａと可動電極２０ａとは、平行
に、しかも離間して配置されている。固定電極１０ａ及
び可動電極２０ａはそれぞれ、台座基板１の背面に配置
された信号処理部４の入力側に接続されている。
ａが配置され、ダイアフラム基板２側、すなわちダイア
フラム基板２の可動部２ａには可動電極２０ａが配置さ
れている。固定電極１０ａと可動電極２０ａとは、平行
に、しかも離間して配置されている。固定電極１０ａ及
び可動電極２０ａはそれぞれ、台座基板１の背面に配置
された信号処理部４の入力側に接続されている。
【００１７】ダイアフラム基板２に圧力Ｐが加わると、
この圧力Ｐに応じて、ダイアフラム基板２の可動部２ａ
が変位する。可動電極２０ａは可動部２ａと連動して変
位するので、これにより固定電極１０ａと可動電極２０
ａとのギャップが変化し、二電極１０ａ，２０ａ間の容
量が変化する。このときの容量値に基づき信号処理部４
で圧力Ｐが検出される。
この圧力Ｐに応じて、ダイアフラム基板２の可動部２ａ
が変位する。可動電極２０ａは可動部２ａと連動して変
位するので、これにより固定電極１０ａと可動電極２０
ａとのギャップが変化し、二電極１０ａ，２０ａ間の容
量が変化する。このときの容量値に基づき信号処理部４
で圧力Ｐが検出される。
【００１８】なお、図１に示した静電容量式センサで
は、容量室３を形成するために台座基板１にキャビティ
を形成したが、台座基板１及びダイアフラム基板２の少
なくとも一方にキャビティを形成する方法で容量室３を
形成しても、両基板１及び２の間にスペーサを挿む方法
で容量室３を形成してもよい。
は、容量室３を形成するために台座基板１にキャビティ
を形成したが、台座基板１及びダイアフラム基板２の少
なくとも一方にキャビティを形成する方法で容量室３を
形成しても、両基板１及び２の間にスペーサを挿む方法
で容量室３を形成してもよい。
【００１９】図２は、図１に示した静電容量式センサの
II−II′線断面を示す断面図である。固定電極１０ａ
は、電極部１１と、電極引出部１２と、突出部１３とに
よって構成されている。また、可動電極２０ａは、電極
部２１ａと、電極引出部２２とによって構成されてい
る。固定電極１０ａの電極部１１は固定電極１０ａの本
体を形成しており、可動電極２０ａの電極部２１ａは可
動電極２０ａの本体を形成している。各電極部１１及び
２１ａはそれぞれ全体として円形をしている。また、固
定電極１０ａの電極部１１は、可動電極２０ａの電極部
２１ａよりも、全周にわたって小さく形成されている。
II−II′線断面を示す断面図である。固定電極１０ａ
は、電極部１１と、電極引出部１２と、突出部１３とに
よって構成されている。また、可動電極２０ａは、電極
部２１ａと、電極引出部２２とによって構成されてい
る。固定電極１０ａの電極部１１は固定電極１０ａの本
体を形成しており、可動電極２０ａの電極部２１ａは可
動電極２０ａの本体を形成している。各電極部１１及び
２１ａはそれぞれ全体として円形をしている。また、固
定電極１０ａの電極部１１は、可動電極２０ａの電極部
２１ａよりも、全周にわたって小さく形成されている。
【００２０】容量室３の台座基板１側には、固定電極１
０ａを取り出して図１に示した信号処理部４に接続する
ための電極パッド１３が形成されている。この電極パッ
ド１３は、可動電極２０ａの対向領域外に形成されてい
る。固定電極１０ａの電極部１１の電極パッド１３側に
は、電極引出部１２が形成されている。この電極引出部
１２によって、電極部１１は電極パッド１３と接続され
ている。また、固定電極１０ａの電極部１１には、電極
引出部１２と反対側に、突出部１４が形成されている。
０ａを取り出して図１に示した信号処理部４に接続する
ための電極パッド１３が形成されている。この電極パッ
ド１３は、可動電極２０ａの対向領域外に形成されてい
る。固定電極１０ａの電極部１１の電極パッド１３側に
は、電極引出部１２が形成されている。この電極引出部
１２によって、電極部１１は電極パッド１３と接続され
ている。また、固定電極１０ａの電極部１１には、電極
引出部１２と反対側に、突出部１４が形成されている。
【００２１】一方、容量室３のダイアフラム基板２側に
は、可動電極２０ａを取り出して信号処理部４に接続す
るための電極パッド２３が形成されている。可動電極２
０ａの電極部２１ａは、電極引出部２２によって、電極
パッド２３と接続されている。また、可動電極２０ａの
電極部２１ａの周縁部には、２個の切欠部が形成されて
いる。第１の切欠部２４は、固定電極１０ａの電極引出
部１２と対向する部分の一部が切り欠かれることにより
形成され、第２の切欠部２５は、固定電極１０ａの突出
部１４と対向する部分の一部が切り欠かれることにより
形成されている。
は、可動電極２０ａを取り出して信号処理部４に接続す
るための電極パッド２３が形成されている。可動電極２
０ａの電極部２１ａは、電極引出部２２によって、電極
パッド２３と接続されている。また、可動電極２０ａの
電極部２１ａの周縁部には、２個の切欠部が形成されて
いる。第１の切欠部２４は、固定電極１０ａの電極引出
部１２と対向する部分の一部が切り欠かれることにより
形成され、第２の切欠部２５は、固定電極１０ａの突出
部１４と対向する部分の一部が切り欠かれることにより
形成されている。
【００２２】電極引出部１２及び突出部１４を含む固定
電極１０ａと可動電極２０ａとの対向部分で容量が形成
される。
電極１０ａと可動電極２０ａとの対向部分で容量が形成
される。
【００２３】図３は、固定電極１０ａ及び可動電極２０
ａの形状及び寸法を説明するための説明図である。図３
（ａ）は固定電極１０ａを示しており、図３（ｂ）は可
動電極２０ａを示している。また、説明の便宜のため、
図３（ｃ）に示すように、固定電極１０ａの電極引出部
１２と平行な方向をｘ方向とし、これと垂直な方向をｙ
方向と定義する。また、ｘ方向及びｙ方向の位置決め誤
差の最大値が、いずれもδであると仮定する。なお、後
掲する図９及び図１２においても、図３（ｃ）と同様に
ｘ方向及びｙ方向を定義するとともに、ｘ方向及びｙ方
向それぞれの最大位置決め誤差をδと仮定する。
ａの形状及び寸法を説明するための説明図である。図３
（ａ）は固定電極１０ａを示しており、図３（ｂ）は可
動電極２０ａを示している。また、説明の便宜のため、
図３（ｃ）に示すように、固定電極１０ａの電極引出部
１２と平行な方向をｘ方向とし、これと垂直な方向をｙ
方向と定義する。また、ｘ方向及びｙ方向の位置決め誤
差の最大値が、いずれもδであると仮定する。なお、後
掲する図９及び図１２においても、図３（ｃ）と同様に
ｘ方向及びｙ方向を定義するとともに、ｘ方向及びｙ方
向それぞれの最大位置決め誤差をδと仮定する。
【００２４】まず、図３（ａ）を参照して、固定電極１
０ａについて説明する。固定電極１０ａの電極引出部１
２は、直線状に形成されている。この電極引出部１２の
幅をｗとする。また、突出部１４は、電極引出部１２の
延長線上に、直線状に形成されている。突出部１４は、
電極引出部１２と同じ幅ｗに形成される。突出部１４の
長さＬ１については後述する。
０ａについて説明する。固定電極１０ａの電極引出部１
２は、直線状に形成されている。この電極引出部１２の
幅をｗとする。また、突出部１４は、電極引出部１２の
延長線上に、直線状に形成されている。突出部１４は、
電極引出部１２と同じ幅ｗに形成される。突出部１４の
長さＬ１については後述する。
【００２５】次に、図３（ｂ）を参照して、可動電極２
０ａについて説明する。１１′は、固定電極１０ａの電
極部１１の対向領域である。可動電極２０ａの電極部２
１ａに形成された切欠部２４は、エッジ部２４ａ，２４
ｂ，２４ｃを含んでいる。エッジ部２４ａ（第１のエッ
ジ部）は、固定電極１０ａの電極引出部１２と直交する
直線状に形成される。切欠部２４は、エッジ部２４ａか
ら領域１１′と反対側（すなわち、外側）に、電極引出
部１２と平行に切り欠かれている。切欠部２４の幅Ｗ
は、ｗ＋２δ（［固定電極１０ａの電極引出部１２の幅
ｗ］＋［ｙ方向の最大位置決め誤差δ］＋［−ｙ方向の
最大位置決め誤差δ］）以上の値に設定される。
０ａについて説明する。１１′は、固定電極１０ａの電
極部１１の対向領域である。可動電極２０ａの電極部２
１ａに形成された切欠部２４は、エッジ部２４ａ，２４
ｂ，２４ｃを含んでいる。エッジ部２４ａ（第１のエッ
ジ部）は、固定電極１０ａの電極引出部１２と直交する
直線状に形成される。切欠部２４は、エッジ部２４ａか
ら領域１１′と反対側（すなわち、外側）に、電極引出
部１２と平行に切り欠かれている。切欠部２４の幅Ｗ
は、ｗ＋２δ（［固定電極１０ａの電極引出部１２の幅
ｗ］＋［ｙ方向の最大位置決め誤差δ］＋［−ｙ方向の
最大位置決め誤差δ］）以上の値に設定される。
【００２６】同じく切欠部２５は、エッジ部２５ａ，２
５ｂ，２５ｃを含んでいる。エッジ部２５ａ（第２のエ
ッジ部）は、固定電極１０ａの突出部１４と直交する直
線状に形成される。切欠部２５は、エッジ部２５ａから
領域１１′と反対側（すなわち、切欠部２４が切り欠か
れた向きと反対向き）に、突出部１４と平行に切り欠か
れている。切欠部２５の幅Ｗも、ｗ＋２δ以上の値に設
定される。切欠部２４及び２５はそれぞれ、固定電極１
０ａの電極部１１の対向領域１１′と、少なくともｘ方
向の最大位置決め誤差δの距離ｄを隔てて形成される。
ところで、固定電極１０ａの突出部１４の長さＬ１は、
ｄ＋δ以上の値に設定される。
５ｂ，２５ｃを含んでいる。エッジ部２５ａ（第２のエ
ッジ部）は、固定電極１０ａの突出部１４と直交する直
線状に形成される。切欠部２５は、エッジ部２５ａから
領域１１′と反対側（すなわち、切欠部２４が切り欠か
れた向きと反対向き）に、突出部１４と平行に切り欠か
れている。切欠部２５の幅Ｗも、ｗ＋２δ以上の値に設
定される。切欠部２４及び２５はそれぞれ、固定電極１
０ａの電極部１１の対向領域１１′と、少なくともｘ方
向の最大位置決め誤差δの距離ｄを隔てて形成される。
ところで、固定電極１０ａの突出部１４の長さＬ１は、
ｄ＋δ以上の値に設定される。
【００２７】このようにして形成された各電極１０ａ及
び２０ａは、固定電極１０ａの電極引出部１２が可動電
極２０ａのエッジ部２４ａの中点で交差するとともに、
固定電極１０ａの突出部１４が可動電極２０ａのエッジ
部２５ａの中点で交差するように配置される。
び２０ａは、固定電極１０ａの電極引出部１２が可動電
極２０ａのエッジ部２４ａの中点で交差するとともに、
固定電極１０ａの突出部１４が可動電極２０ａのエッジ
部２５ａの中点で交差するように配置される。
【００２８】図４及び図５は、位置決め誤差が生じた場
合の固定電極１０ａと可動電極２０ａとの位置関係を示
す模式図であり、図４は図３（ｃ）に示したｘ方向に位
置決め誤差が生じた場合を示し、図５は同じくｙ方向に
位置決め誤差が生じた場合を示している。
合の固定電極１０ａと可動電極２０ａとの位置関係を示
す模式図であり、図４は図３（ｃ）に示したｘ方向に位
置決め誤差が生じた場合を示し、図５は同じくｙ方向に
位置決め誤差が生じた場合を示している。
【００２９】図４（ａ）に示すように、固定電極１０ａ
に対してｘ方向にδの位置決め誤差が生じた場合、固定
電極１０ａと可動電極２０ａとの対向面積は、電極引出
部１２で増加し、突出部１４で減少する。このとき、固
定電極１０ａの電極部１１が可動電極２０ａの対向領域
外にはみ出ることはない。電極引出部１２と突出部１４
とは同一直線上に形成され、しかも同じ幅ｗを有してい
るので、二電極１０ａ及び２０ａの対向面積の増加量と
減少量とが一致する。したがって、電極引出部１２によ
る対向面積の変化は突出部１４によって補償されるの
で、対向面積は変化しない。
に対してｘ方向にδの位置決め誤差が生じた場合、固定
電極１０ａと可動電極２０ａとの対向面積は、電極引出
部１２で増加し、突出部１４で減少する。このとき、固
定電極１０ａの電極部１１が可動電極２０ａの対向領域
外にはみ出ることはない。電極引出部１２と突出部１４
とは同一直線上に形成され、しかも同じ幅ｗを有してい
るので、二電極１０ａ及び２０ａの対向面積の増加量と
減少量とが一致する。したがって、電極引出部１２によ
る対向面積の変化は突出部１４によって補償されるの
で、対向面積は変化しない。
【００３０】また、図４（ｂ）に示すように、固定電極
１０ａに対して−ｘ方向にδの位置決め誤差が生じた場
合、二電極１０ａ及び２０ａの対向面積は、突出部１４
で増加し、電極引出部１２で減少する。このときも、固
定電極１０ａの電極部１１が可動電極２０ａの対向領域
外にはみ出ることはない。また、突出部１１の先端は、
可動電極２０ａの対向領域外に残るか、少なくともエッ
ジ部２５ａと交差する。このため、二電極１０ａ及び２
０ａの対向面積は変化しない。
１０ａに対して−ｘ方向にδの位置決め誤差が生じた場
合、二電極１０ａ及び２０ａの対向面積は、突出部１４
で増加し、電極引出部１２で減少する。このときも、固
定電極１０ａの電極部１１が可動電極２０ａの対向領域
外にはみ出ることはない。また、突出部１１の先端は、
可動電極２０ａの対向領域外に残るか、少なくともエッ
ジ部２５ａと交差する。このため、二電極１０ａ及び２
０ａの対向面積は変化しない。
【００３１】一方、図５に示すように、固定電極１０ａ
に対してｙ方向にδの位置決め誤差が生じた場合、可動
電極２０ａの各切欠部２４及び２５のエッジ部２４ａ及
び２５ａは平行に形成されているので、二電極１０ａ及
び２０ａの対向面積は変化しない。−ｙ方向にδの位置
決め誤差が生じた場合についても同様である。このよう
に、ｘ方向、ｙ方向及びその組合わせの位置決め誤差に
対して、固定電極１０ａの電極引出部１２による影響が
除去されるので、二電極１０ａ及び２０ａの対向面積が
変化せず、各電極１０ａ，２０ａ間の容量は一定とな
る。
に対してｙ方向にδの位置決め誤差が生じた場合、可動
電極２０ａの各切欠部２４及び２５のエッジ部２４ａ及
び２５ａは平行に形成されているので、二電極１０ａ及
び２０ａの対向面積は変化しない。−ｙ方向にδの位置
決め誤差が生じた場合についても同様である。このよう
に、ｘ方向、ｙ方向及びその組合わせの位置決め誤差に
対して、固定電極１０ａの電極引出部１２による影響が
除去されるので、二電極１０ａ及び２０ａの対向面積が
変化せず、各電極１０ａ，２０ａ間の容量は一定とな
る。
【００３２】なお、可動電極２０ａの電極部２１ａに形
成された切欠部２４は、エッジ部２４ａのみで固定電極
１０ａの電極引出部１２と交差するように形成されれば
よい。したがって、切欠部２４は例えば、エッジ部２４
ｂ及び２４ｃのそれぞれが、エッジ部２４ａと鈍角をな
すような形状であってもよい。切欠部２５についても同
様である。
成された切欠部２４は、エッジ部２４ａのみで固定電極
１０ａの電極引出部１２と交差するように形成されれば
よい。したがって、切欠部２４は例えば、エッジ部２４
ｂ及び２４ｃのそれぞれが、エッジ部２４ａと鈍角をな
すような形状であってもよい。切欠部２５についても同
様である。
【００３３】図６は、図１に示した固定電極１０ａ及び
可動電極２０ａの他の形状及び配置を示す平面図であ
る。図６に示すように、固定電極１０ａの突出部１４
は、電極引出部１２と異なる側に、電極引出部１２と平
行に形成されてもよい。この場合も、可動電極２０ａの
切欠部２５は、エッジ部２５ａのみで固定電極１０ａの
突出部１４と交差するように形成される。
可動電極２０ａの他の形状及び配置を示す平面図であ
る。図６に示すように、固定電極１０ａの突出部１４
は、電極引出部１２と異なる側に、電極引出部１２と平
行に形成されてもよい。この場合も、可動電極２０ａの
切欠部２５は、エッジ部２５ａのみで固定電極１０ａの
突出部１４と交差するように形成される。
【００３４】図７は、図１に示した固定電極１０ａ及び
可動電極２０ａの更に他の形状及び配置を示す平面図で
ある。可動電極２０ａに形成された各切欠部２４及び２
５のエッジ部２４ａ及び２５ａのそれぞれは、平行移動
すると重なる形状であればよい。したがって、図７に示
すように、各エッジ部２４ａ，２５ａが円弧状であって
もよい。ここでいう円弧とは、可動電極２０ａの電極部
２１ａと同心円をなす円の一部の円周のことである。各
エッジ部２４ａ，２５ａを円弧状に形成することによ
り、回転方向の位置決め誤差による二電極１０ａ及び２
０ａの対向面積の変化を抑えることができる。
可動電極２０ａの更に他の形状及び配置を示す平面図で
ある。可動電極２０ａに形成された各切欠部２４及び２
５のエッジ部２４ａ及び２５ａのそれぞれは、平行移動
すると重なる形状であればよい。したがって、図７に示
すように、各エッジ部２４ａ，２５ａが円弧状であって
もよい。ここでいう円弧とは、可動電極２０ａの電極部
２１ａと同心円をなす円の一部の円周のことである。各
エッジ部２４ａ，２５ａを円弧状に形成することによ
り、回転方向の位置決め誤差による二電極１０ａ及び２
０ａの対向面積の変化を抑えることができる。
【００３５】〔第２の実施の形態〕図８は、本発明によ
る静電容量式センサの第２の実施の形態における固定電
極及び可動電極を示す平面図である。図８において、図
１〜図７と同一又は相当部分には同一符号を付し、その
説明を省略する。後掲の図についても同様である。固定
電極１０ｂは、電極部１１と、電極引出部１２と、突出
部１５とによって構成されている。また、可動電極２０
ｂは、電極部２１ｂと、電極引出部２２とによって構成
されている。さらに、可動電極２０ｂの電極部２１ｂに
は、第１の切欠部２４と第３の切欠部２６とが形成され
ている。第３の切欠部２６は、固定電極１０ｂの突出部
１５と対向する部分の一部が切り欠かれることにより形
成されている。
る静電容量式センサの第２の実施の形態における固定電
極及び可動電極を示す平面図である。図８において、図
１〜図７と同一又は相当部分には同一符号を付し、その
説明を省略する。後掲の図についても同様である。固定
電極１０ｂは、電極部１１と、電極引出部１２と、突出
部１５とによって構成されている。また、可動電極２０
ｂは、電極部２１ｂと、電極引出部２２とによって構成
されている。さらに、可動電極２０ｂの電極部２１ｂに
は、第１の切欠部２４と第３の切欠部２６とが形成され
ている。第３の切欠部２６は、固定電極１０ｂの突出部
１５と対向する部分の一部が切り欠かれることにより形
成されている。
【００３６】電極引出部１２及び突出部１５を含む固定
電極１０ｂと可動電極２０ｂとの対向部分で容量が形成
される。
電極１０ｂと可動電極２０ｂとの対向部分で容量が形成
される。
【００３７】図９は、図８に示した固定電極１０ｂ及び
可動電極２０ｂの形状及び寸法を説明するための説明図
であり、図９（ａ）は固定電極１０ｂを示しており、図
９（ｂ）は可動電極２０ｂを示している。まず、可動電
極２０ｂから説明する。図９（ｂ）に示すように、可動
電極２０ｂの電極部２１ｂの切欠部２６は、固定電極１
０ｂの電極引出部１２と平行に、帯状に切り欠かれて形
成される。切欠部２６は、電極引出部１２と同じ幅ｗに
形成される。また、切欠部２６の長さＬ３は、２δ
（［ｘ方向の最大位置決め誤差δ］＋［−ｘ方向の最大
位置決め誤差δ］）以上の値に設定される。
可動電極２０ｂの形状及び寸法を説明するための説明図
であり、図９（ａ）は固定電極１０ｂを示しており、図
９（ｂ）は可動電極２０ｂを示している。まず、可動電
極２０ｂから説明する。図９（ｂ）に示すように、可動
電極２０ｂの電極部２１ｂの切欠部２６は、固定電極１
０ｂの電極引出部１２と平行に、帯状に切り欠かれて形
成される。切欠部２６は、電極引出部１２と同じ幅ｗに
形成される。また、切欠部２６の長さＬ３は、２δ
（［ｘ方向の最大位置決め誤差δ］＋［−ｘ方向の最大
位置決め誤差δ］）以上の値に設定される。
【００３８】次に、固定電極１０ｂについて説明する。
図９（ａ）に示すように、固定電極１０ｂの突出部１５
は全体として矩形状をしており、エッジ部１５ａ，１５
ｂ，１５ｃを含んでいる。エッジ部（第３のエッジ部）
１５ａは、電極引出部１２と反対側のエッジ部であり、
固定電極２０ｂの切欠部２６と直交する直線状に形成さ
れる。エッジ部１５ｂは電極部１１と離れる側のエッジ
部であり、エッジ部１５ｃは電極引出部１２側のエッジ
部である。突出部１５の幅（すなわち、エッジ部１５
ａ，１５ｃの長さ）は、可動電極２０ｂの切欠部２４の
幅Ｗと同じ値に設定される。また、突出部１５の長さ
（すなわち、エッジ部１５ｂの長さ）Ｌ２は、切欠部２
６の長さＬ３以上の値に設定される。
図９（ａ）に示すように、固定電極１０ｂの突出部１５
は全体として矩形状をしており、エッジ部１５ａ，１５
ｂ，１５ｃを含んでいる。エッジ部（第３のエッジ部）
１５ａは、電極引出部１２と反対側のエッジ部であり、
固定電極２０ｂの切欠部２６と直交する直線状に形成さ
れる。エッジ部１５ｂは電極部１１と離れる側のエッジ
部であり、エッジ部１５ｃは電極引出部１２側のエッジ
部である。突出部１５の幅（すなわち、エッジ部１５
ａ，１５ｃの長さ）は、可動電極２０ｂの切欠部２４の
幅Ｗと同じ値に設定される。また、突出部１５の長さ
（すなわち、エッジ部１５ｂの長さ）Ｌ２は、切欠部２
６の長さＬ３以上の値に設定される。
【００３９】ところで、可動電極２０ｂの切欠部２６
は、固定電極１０ｂのエッジ部１５ａと交差し、固定電
極１０ｂの突出部１５とｘ方向にδだけ重なる位置に形
成される。また、図９（ｂ）に示した切欠部２６の場
合、固定電極１０ｂの電極部１１の対向領域１１′と、
少なくともｙ方向の最大位置決め誤差δの距離ｄを隔て
て形成される。
は、固定電極１０ｂのエッジ部１５ａと交差し、固定電
極１０ｂの突出部１５とｘ方向にδだけ重なる位置に形
成される。また、図９（ｂ）に示した切欠部２６の場
合、固定電極１０ｂの電極部１１の対向領域１１′と、
少なくともｙ方向の最大位置決め誤差δの距離ｄを隔て
て形成される。
【００４０】このようにして形成された各電極１０ｂ及
び２０ｂは、固定電極１０ｂの電極引出部１２が可動電
極２０ｂのエッジ部２４ａの中点で交差するとともに、
可動電極２０ｂの切欠部２６が固定電極１０ｂの第３の
エッジ部１５ａの中点で交差するように配置される。
び２０ｂは、固定電極１０ｂの電極引出部１２が可動電
極２０ｂのエッジ部２４ａの中点で交差するとともに、
可動電極２０ｂの切欠部２６が固定電極１０ｂの第３の
エッジ部１５ａの中点で交差するように配置される。
【００４１】このとき、固定電極１０ｂに対して、±ｘ
方向にδの位置決め誤差が生じても、固定電極１０ｂの
突出部１５は、エッジ部１５ａのみで可動電極２０ｂの
切欠部２６と交差する。したがって、固定電極１０ｂの
電極引出部１２と可動電極２０ｂとの対向面積の変化
は、固定電極１０ｂの突出部１５と可動電極２０ｂの切
欠部２６とによって補償されるので、二電極１０ｂ及び
２０ｂの対向面積は変化しない。
方向にδの位置決め誤差が生じても、固定電極１０ｂの
突出部１５は、エッジ部１５ａのみで可動電極２０ｂの
切欠部２６と交差する。したがって、固定電極１０ｂの
電極引出部１２と可動電極２０ｂとの対向面積の変化
は、固定電極１０ｂの突出部１５と可動電極２０ｂの切
欠部２６とによって補償されるので、二電極１０ｂ及び
２０ｂの対向面積は変化しない。
【００４２】また、固定電極１０ｂに対して±ｙ方向に
δの位置決め誤差が生じても、可動電極２０ｂの切欠部
２６が、固定電極１０ｂの突出部１５のエッジ部１５ｂ
側からはみ出ることも、固定電極１０ｂの電極部１１と
対向することもない。したがって、二電極１０ｂ及び２
０ｂの対向面積は変化しない。このように、ｘ方向、ｙ
方向及びその組合わせの位置決め誤差に対して、固定電
極１０ｂの電極引出部１２による影響が除去されるの
で、二電極１０ｂ及び２０ｂの対向面積が変化せず、各
電極１０ｂ及び２０ｂ間の容量は一定となる。
δの位置決め誤差が生じても、可動電極２０ｂの切欠部
２６が、固定電極１０ｂの突出部１５のエッジ部１５ｂ
側からはみ出ることも、固定電極１０ｂの電極部１１と
対向することもない。したがって、二電極１０ｂ及び２
０ｂの対向面積は変化しない。このように、ｘ方向、ｙ
方向及びその組合わせの位置決め誤差に対して、固定電
極１０ｂの電極引出部１２による影響が除去されるの
で、二電極１０ｂ及び２０ｂの対向面積が変化せず、各
電極１０ｂ及び２０ｂ間の容量は一定となる。
【００４３】なお、固定電極１０ｂの突出部１５及び可
動電極２０ｂの切欠部２６は、突出部１５のエッジ部１
５ａ側のみで交差するように形成されればよい。したが
って、突出部１５及び切欠部２６は、例えば固定電極１
０ｂの電極引出部１２に対して反対側に形成されてもよ
い。また、突出部１５のエッジ部１５ａは、可動電極２
０ｂに形成された切欠部２４の第１のエッジ部２４ａ
と、平行移動すると重なる形状をしていればよい。した
がって、各エッジ部１５ａ，２４ａが円弧状であっても
よい。
動電極２０ｂの切欠部２６は、突出部１５のエッジ部１
５ａ側のみで交差するように形成されればよい。したが
って、突出部１５及び切欠部２６は、例えば固定電極１
０ｂの電極引出部１２に対して反対側に形成されてもよ
い。また、突出部１５のエッジ部１５ａは、可動電極２
０ｂに形成された切欠部２４の第１のエッジ部２４ａ
と、平行移動すると重なる形状をしていればよい。した
がって、各エッジ部１５ａ，２４ａが円弧状であっても
よい。
【００４４】〔第３の実施の形態〕図１０は、本発明に
よる静電容量式センサの第３の実施の形態における固定
電極及び可動電極を示す平面図である。固定電極１０ｃ
は、電極部１７と、電極引出部１２とによって構成され
ている。また、可動電極２０ｃは、電極部２７と、電極
引出部２２とによって構成されている。固定電極１０ｃ
は、電極部１７が矩形状に形成され、電極部１７の短辺
のひとつに電極引出部１２が形成されている。可動電極
２０ｃについても同様である。ただし、固定電極１０ｃ
の電極部１７の長辺は、可動電極２０ｃの電極部２７の
短辺よりも、少なくとも２δ長く形成される。可動電極
２０ｃについても同様である。
よる静電容量式センサの第３の実施の形態における固定
電極及び可動電極を示す平面図である。固定電極１０ｃ
は、電極部１７と、電極引出部１２とによって構成され
ている。また、可動電極２０ｃは、電極部２７と、電極
引出部２２とによって構成されている。固定電極１０ｃ
は、電極部１７が矩形状に形成され、電極部１７の短辺
のひとつに電極引出部１２が形成されている。可動電極
２０ｃについても同様である。ただし、固定電極１０ｃ
の電極部１７の長辺は、可動電極２０ｃの電極部２７の
短辺よりも、少なくとも２δ長く形成される。可動電極
２０ｃについても同様である。
【００４５】各電極１０ｃ及び２０ｃは、電極部１７の
長め方向及び短め方向の対称線のそれぞれが、電極部２
７の短め方向及び長め方向の対称線と重なるように配置
される。これにより、ｘ方向、ｙ方向及びその組合わせ
の位置決め誤差に対して、二電極１０ｃ及び２０ｃの対
向面積は変化しない。各電極１０ｃ及び２０ｃの各電極
部１７及び２７の対向部分で容量が形成されるので、位
置決め誤差が発生しても、各電極１０ｃ及び２０ｃ間の
容量は一定となる。なお、容量に対し、各電極部１７及
び２７の対向しない部分による影響も考えられるが、無
視することができる。
長め方向及び短め方向の対称線のそれぞれが、電極部２
７の短め方向及び長め方向の対称線と重なるように配置
される。これにより、ｘ方向、ｙ方向及びその組合わせ
の位置決め誤差に対して、二電極１０ｃ及び２０ｃの対
向面積は変化しない。各電極１０ｃ及び２０ｃの各電極
部１７及び２７の対向部分で容量が形成されるので、位
置決め誤差が発生しても、各電極１０ｃ及び２０ｃ間の
容量は一定となる。なお、容量に対し、各電極部１７及
び２７の対向しない部分による影響も考えられるが、無
視することができる。
【００４６】〔第４の実施の形態〕図１１は、本発明に
よる静電容量式センサの第４の実施の形態における固定
電極及び可動電極の形状及び配置を示す平面図である。
図１１に電極形状等を示した静電容量式センサは、図１
に示した静電容量式センサに、固定電極３０を構成要素
として加えたものである。
よる静電容量式センサの第４の実施の形態における固定
電極及び可動電極の形状及び配置を示す平面図である。
図１１に電極形状等を示した静電容量式センサは、図１
に示した静電容量式センサに、固定電極３０を構成要素
として加えたものである。
【００４７】固定電極１０ａは、その電極部１１が図１
に示した容量室３の台座基板１側中央部に配置され、セ
ンサ電極として作用する。また、固定電極３０は、その
電極部３１が容量室３の台座基板１側周縁部に配置さ
れ、リファレンス電極として作用する。一方、可動電極
２０ｄは、容量室３のダイアフラム基板２側に配置さ
れ、固定電極１０ａ及び３０に対して共通のコモン電極
として作用する。各電極１０ａ，２０ｄ，３０は、各電
極パッド１３，２３，３３を介して、図１に示した信号
処理部４に接続されている。なお、圧力センサの場合、
電極３０，２０ｄ間に生じるリファレンス容量は、電極
１０ａ，２０ｄ間の湿度等が変化した際に、電極１０
ａ，２０ｄ間の誘電率が変化することによる容量値の変
化を補正するために用いられる。
に示した容量室３の台座基板１側中央部に配置され、セ
ンサ電極として作用する。また、固定電極３０は、その
電極部３１が容量室３の台座基板１側周縁部に配置さ
れ、リファレンス電極として作用する。一方、可動電極
２０ｄは、容量室３のダイアフラム基板２側に配置さ
れ、固定電極１０ａ及び３０に対して共通のコモン電極
として作用する。各電極１０ａ，２０ｄ，３０は、各電
極パッド１３，２３，３３を介して、図１に示した信号
処理部４に接続されている。なお、圧力センサの場合、
電極３０，２０ｄ間に生じるリファレンス容量は、電極
１０ａ，２０ｄ間の湿度等が変化した際に、電極１０
ａ，２０ｄ間の誘電率が変化することによる容量値の変
化を補正するために用いられる。
【００４８】図１１に示した固定電極１０ａは、図１に
示した固定電極１０ａと同じものであるから、その説明
は省略する。可動電極２０ｄは、電極部２１ｄと、電極
引出部２２とによって構成されている。また、固定電極
３０は、電極部３１と、電極引出部３２とによって構成
されている。
示した固定電極１０ａと同じものであるから、その説明
は省略する。可動電極２０ｄは、電極部２１ｄと、電極
引出部２２とによって構成されている。また、固定電極
３０は、電極部３１と、電極引出部３２とによって構成
されている。
【００４９】可動電極２０ｄの電極部２１ｄは、全体と
して円形をしている。また、電極部２１ｄの周縁部に
は、第１の切欠部２４と、第２の切欠部２５と、切欠部
２８とが形成されている。切欠部２８は、固定電極３０
の電極引出部３２と対向する部分及びその周辺が切り欠
かれることにより形成されている。固定電極３０の電極
部３１は、円弧を含む帯状（幅ｗ２）に形成されてい
る。ここでいう円弧とは、可動電極２０ｄの電極部２１
ｄと同心円をなす円の一部の円周のことである。固定電
極３０の電極引出部３２は、直線状（幅ｗ１）に形成さ
れている。固定電極３０と可動電極２０ｄとの対向部分
で容量が形成される。
して円形をしている。また、電極部２１ｄの周縁部に
は、第１の切欠部２４と、第２の切欠部２５と、切欠部
２８とが形成されている。切欠部２８は、固定電極３０
の電極引出部３２と対向する部分及びその周辺が切り欠
かれることにより形成されている。固定電極３０の電極
部３１は、円弧を含む帯状（幅ｗ２）に形成されてい
る。ここでいう円弧とは、可動電極２０ｄの電極部２１
ｄと同心円をなす円の一部の円周のことである。固定電
極３０の電極引出部３２は、直線状（幅ｗ１）に形成さ
れている。固定電極３０と可動電極２０ｄとの対向部分
で容量が形成される。
【００５０】図１２は、図１１に示した可動電極２０ｄ
の形状及び寸法を説明するための説明図である。図１２
において、３１′は固定電極３０の電極部３１の対向領
域である。可動電極２０ｄの電極部２１ｄの切欠部２８
は、エッジ部２８ａ，２８ｂ，２８ｃを含んでいる。エ
ッジ部２８ａは、固定電極１０ａの電極部１１の対向領
域１１′と少なくとも距離ｄを隔てて、円弧状に形成さ
れる。ここでいう円弧とは、可動電極２０ｄの電極部２
１ｄと同心円をなす円の一部の円周のことである。
の形状及び寸法を説明するための説明図である。図１２
において、３１′は固定電極３０の電極部３１の対向領
域である。可動電極２０ｄの電極部２１ｄの切欠部２８
は、エッジ部２８ａ，２８ｂ，２８ｃを含んでいる。エ
ッジ部２８ａは、固定電極１０ａの電極部１１の対向領
域１１′と少なくとも距離ｄを隔てて、円弧状に形成さ
れる。ここでいう円弧とは、可動電極２０ｄの電極部２
１ｄと同心円をなす円の一部の円周のことである。
【００５１】切欠部２８は、エッジ部２８ａから対向領
域１１′と反対側に、固定電極３０の電極引出部３２と
平行に、帯状に切り欠かれて形成される。したがって、
切欠部２８のエッジ部２８ｂ及び２８ｃのそれぞれは、
固定電極３０の電極引出部３２と平行に形成される。切
欠部２８は、切欠部２４及び２５と同じ幅Ｗに形成され
る。また、切欠部２８の長さＬ４は、ｗ２＋２δ（［固
定電極３０の電極部３１の幅ｗ２］＋［ｘ方向の最大位
置決め誤差δ］＋［−ｘ方向の最大位置決め誤差δ］）
以上の値に設定される。
域１１′と反対側に、固定電極３０の電極引出部３２と
平行に、帯状に切り欠かれて形成される。したがって、
切欠部２８のエッジ部２８ｂ及び２８ｃのそれぞれは、
固定電極３０の電極引出部３２と平行に形成される。切
欠部２８は、切欠部２４及び２５と同じ幅Ｗに形成され
る。また、切欠部２８の長さＬ４は、ｗ２＋２δ（［固
定電極３０の電極部３１の幅ｗ２］＋［ｘ方向の最大位
置決め誤差δ］＋［−ｘ方向の最大位置決め誤差δ］）
以上の値に設定される。
【００５２】このようにして形成された各電極２０ｄ及
び３０は、固定電極３０の電極引出部３２が可動電極２
０ｄの切欠部２８の対称線と重なるとともに、固定電極
３０の電極部３１が可動電極２０ｄのエッジ部２８ｂ及
び２８ｃそれぞれの中点で交差するように配置される。
び３０は、固定電極３０の電極引出部３２が可動電極２
０ｄの切欠部２８の対称線と重なるとともに、固定電極
３０の電極部３１が可動電極２０ｄのエッジ部２８ｂ及
び２８ｃそれぞれの中点で交差するように配置される。
【００５３】このとき、固定電極３０に対して±ｘ方向
にδの位置決め誤差が生じても、固定電極３０の電極引
出部３２が可動電極２０ｄの電極部２１ｄと対向するこ
とはない。また、二電極２０ｄ及び３０の電極部２１ｄ
及び３１の対向面積は、電極部３１の一方の側で増加
し、他方の側で減少する。このときの対向面積の増加量
と減少量とはほぼ等しい。したがって、二電極２０ｄ及
び３０の対向面積は、ほぼ一定となる。
にδの位置決め誤差が生じても、固定電極３０の電極引
出部３２が可動電極２０ｄの電極部２１ｄと対向するこ
とはない。また、二電極２０ｄ及び３０の電極部２１ｄ
及び３１の対向面積は、電極部３１の一方の側で増加
し、他方の側で減少する。このときの対向面積の増加量
と減少量とはほぼ等しい。したがって、二電極２０ｄ及
び３０の対向面積は、ほぼ一定となる。
【００５４】また、固定電極３０に対して±ｙ方向にδ
の位置決め誤差が生じても、固定電極３０は可動電極２
０ｄとエッジ部２８ｂ及び２８ｃのみで交差する。すな
わち、固定電極３０の電極部３１は、可動電極２０ｄの
電極部２１ｄの周縁からはみ出ることも、可動電極２０
ｄのエッジ部２８ａを越えることもない。したがって、
二電極１０ａ及び２０ｄの対向面積は変化しない。この
ように、ｘ方向、ｙ方向及びその組合わせの位置決め誤
差に対して、各電極２０ｄ及び３０間の容量はほぼ一定
となる。
の位置決め誤差が生じても、固定電極３０は可動電極２
０ｄとエッジ部２８ｂ及び２８ｃのみで交差する。すな
わち、固定電極３０の電極部３１は、可動電極２０ｄの
電極部２１ｄの周縁からはみ出ることも、可動電極２０
ｄのエッジ部２８ａを越えることもない。したがって、
二電極１０ａ及び２０ｄの対向面積は変化しない。この
ように、ｘ方向、ｙ方向及びその組合わせの位置決め誤
差に対して、各電極２０ｄ及び３０間の容量はほぼ一定
となる。
【００５５】なお、図１に示した静電容量式センサで
は、固定電極１０ａの電極部１１が可動電極２０ａの電
極部２１ａよりも小さく形成されるが、固定電極１０ａ
の電極部１１が可動電極２０ａの電極部２１ａよりも大
きく形成される場合には、固定電極１０ａを図３（ｂ）
に示した形状にし、可動電極２０ａを図３（ａ）に示し
た形状にすることによって、図１に示した静電容量式セ
ンサと同じ効果が得られる。図８、図１０及び図１１そ
れぞれに示した静電容量式センサについても同様であ
る。
は、固定電極１０ａの電極部１１が可動電極２０ａの電
極部２１ａよりも小さく形成されるが、固定電極１０ａ
の電極部１１が可動電極２０ａの電極部２１ａよりも大
きく形成される場合には、固定電極１０ａを図３（ｂ）
に示した形状にし、可動電極２０ａを図３（ａ）に示し
た形状にすることによって、図１に示した静電容量式セ
ンサと同じ効果が得られる。図８、図１０及び図１１そ
れぞれに示した静電容量式センサについても同様であ
る。
【００５６】また、図１に示した静電容量式センサの各
電極１０ａ及び２０ａは、二組のコンデンサ構造を有
し、図１に示したダイアフラム基板２に加わる圧力Ｐに
対して、一方のコンデンサ構造における容量が増加し、
他方のコンデンサ構造における容量が減少するように構
成された静電容量式センサにも適用することができる。
図８及び図１０それぞれに示した各電極１０ｂ，１０ｃ
及び２０ｂ，２０ｃについても同様である。ただし、二
組のコンデンサ構造を有する静電容量式センサにおい
て、一方のコンデンサ構造を図１１に示した各電極１０
ａ，２０ｄ，３０によって構成した場合には、他方のコ
ンデンサ構造を図１，図８又は図１０に示した各電極１
０ａ〜１０ｃ，２０ａ〜２０ｃによって構成しなければ
ならない。
電極１０ａ及び２０ａは、二組のコンデンサ構造を有
し、図１に示したダイアフラム基板２に加わる圧力Ｐに
対して、一方のコンデンサ構造における容量が増加し、
他方のコンデンサ構造における容量が減少するように構
成された静電容量式センサにも適用することができる。
図８及び図１０それぞれに示した各電極１０ｂ，１０ｃ
及び２０ｂ，２０ｃについても同様である。ただし、二
組のコンデンサ構造を有する静電容量式センサにおい
て、一方のコンデンサ構造を図１１に示した各電極１０
ａ，２０ｄ，３０によって構成した場合には、他方のコ
ンデンサ構造を図１，図８又は図１０に示した各電極１
０ａ〜１０ｃ，２０ａ〜２０ｃによって構成しなければ
ならない。
【００５７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、固定電
極及び可動電極のそれぞれが、位置決め誤差により対向
面積が増加する部分と、これと同一面積の減少する部分
とを有している。これにより、位置決め誤差が生じて
も、二電極の対向面積が変化せず、各電極間の容量は一
定となる。したがって、静電容量式センサを小型化する
ときのオフセットを低減することができる。
極及び可動電極のそれぞれが、位置決め誤差により対向
面積が増加する部分と、これと同一面積の減少する部分
とを有している。これにより、位置決め誤差が生じて
も、二電極の対向面積が変化せず、各電極間の容量は一
定となる。したがって、静電容量式センサを小型化する
ときのオフセットを低減することができる。
【００５８】また、請求項２記載の発明では、一方の電
極の互いに異なる側に電極引出部と突出部とが形成さ
れ、この電極引出部及び突出部と対向する他方の電極の
一部に第１及び第２の切欠部が形成される。さらに、電
極引出部及び突出部と交差する各切欠部の各エッジ部
は、互いに平行移動すると重なる形状とし、各切欠部及
び突出部の寸法等は、位置決め誤差の最大値に基づいて
決定される。これにより、位置決め誤差が生じても、電
極引出部による二電極の対向面積の増減は、突出部によ
って補償される。したがって、電極引出部のオフセット
に対する影響を抑えることができるので、小型の静電容
量式センサに生ずるオフセットを低減することができ
る。
極の互いに異なる側に電極引出部と突出部とが形成さ
れ、この電極引出部及び突出部と対向する他方の電極の
一部に第１及び第２の切欠部が形成される。さらに、電
極引出部及び突出部と交差する各切欠部の各エッジ部
は、互いに平行移動すると重なる形状とし、各切欠部及
び突出部の寸法等は、位置決め誤差の最大値に基づいて
決定される。これにより、位置決め誤差が生じても、電
極引出部による二電極の対向面積の増減は、突出部によ
って補償される。したがって、電極引出部のオフセット
に対する影響を抑えることができるので、小型の静電容
量式センサに生ずるオフセットを低減することができ
る。
【００５９】また、請求項３記載の発明では、一方の電
極に電極引出部と突出部とが形成され、この電極引出部
及び突出部と対向する他方の電極の一部に第１及び第３
の切欠部が形成される。さらに、電極引出部と交差する
第１の切欠部のエッジ部及び第３の切欠部と交差する突
出部のエッジ部は、互いに平行移動すると重なる形状と
し、各切欠部及び突出部の寸法等は、位置決め誤差の最
大値に基づいて決定される。これにより、請求項２記載
の発明と同様の効果が得られる。また、請求項５記載の
発明では、第１〜第３のエッジ部が円弧状に形成される
ので、回転方向の位置決め誤差に対する二電極の対向面
積の変化を小さくすることができる。これにより、静電
容量式センサに生ずるオフセットを低減することができ
る。
極に電極引出部と突出部とが形成され、この電極引出部
及び突出部と対向する他方の電極の一部に第１及び第３
の切欠部が形成される。さらに、電極引出部と交差する
第１の切欠部のエッジ部及び第３の切欠部と交差する突
出部のエッジ部は、互いに平行移動すると重なる形状と
し、各切欠部及び突出部の寸法等は、位置決め誤差の最
大値に基づいて決定される。これにより、請求項２記載
の発明と同様の効果が得られる。また、請求項５記載の
発明では、第１〜第３のエッジ部が円弧状に形成される
ので、回転方向の位置決め誤差に対する二電極の対向面
積の変化を小さくすることができる。これにより、静電
容量式センサに生ずるオフセットを低減することができ
る。
【００６０】また、請求項６記載の発明では、帯状に形
成された一方の電極に対し、他方の電極に二つのエッジ
部を含む切欠部が形成される。この切欠部の二つのエッ
ジ部は一方の電極の電極引出部と平行に形成され、さら
に切欠部の寸法は位置決め誤差の最大値に基づいて決定
される。これにより、二電極の対向面積は位置決め誤差
によらずほぼ一定となるので、静電容量式センサに生ず
るオフセットを低減することができる。
成された一方の電極に対し、他方の電極に二つのエッジ
部を含む切欠部が形成される。この切欠部の二つのエッ
ジ部は一方の電極の電極引出部と平行に形成され、さら
に切欠部の寸法は位置決め誤差の最大値に基づいて決定
される。これにより、二電極の対向面積は位置決め誤差
によらずほぼ一定となるので、静電容量式センサに生ず
るオフセットを低減することができる。
【図１】 本発明による静電容量式センサの第１の実施
の形態の構成を示す斜視図である。
の形態の構成を示す斜視図である。
【図２】 図１に示した静電容量式センサのII−II′線
断面を示す断面図である。
断面を示す断面図である。
【図３】 固定電極１０ａ及び可動電極２０ａの形状及
び寸法を説明するための説明図である。
び寸法を説明するための説明図である。
【図４】 ｘ方向に位置決め誤差が生じた場合の固定電
極１０ａと可動電極２０ａとの位置関係を示す模式図で
ある。
極１０ａと可動電極２０ａとの位置関係を示す模式図で
ある。
【図５】 ｙ方向に位置決め誤差が生じた場合の固定電
極１０ａと可動電極２０ａとの位置関係を示す模式図で
ある。
極１０ａと可動電極２０ａとの位置関係を示す模式図で
ある。
【図６】 固定電極１０ａ及び可動電極２０ａの他の形
状及び配置を示す平面図である。
状及び配置を示す平面図である。
【図７】 固定電極１０ａ及び可動電極２０ａの更に他
の形状及び配置を示す平面図である。
の形状及び配置を示す平面図である。
【図８】 本発明による静電容量式センサの第２の実施
の形態における固定電極及び可動電極を示す平面図であ
る。
の形態における固定電極及び可動電極を示す平面図であ
る。
【図９】 図８に示した固定電極１０ｂ及び可動電極２
０ｂの形状及び寸法を説明するための説明図である。
０ｂの形状及び寸法を説明するための説明図である。
【図１０】 本発明による静電容量式センサの第３の実
施の形態における固定電極及び可動電極を示す平面図で
ある。
施の形態における固定電極及び可動電極を示す平面図で
ある。
【図１１】 本発明による静電容量式センサの第４の実
施の形態における固定電極及び可動電極の形状及び配置
を示す平面図である。
施の形態における固定電極及び可動電極の形状及び配置
を示す平面図である。
【図１２】 図１１に示した可動電極２０ｄの形状及び
寸法を説明するための説明図である。
寸法を説明するための説明図である。
【図１３】 従来の静電容量式センサの構成を示す斜視
図である。
図である。
【図１４】 従来の静電容量式センサのＸIV−ＸIV′線
断面を示す断面図である。
断面を示す断面図である。
【図１５】 位置決め誤差が生じた場合の固定電極１１
０と可動電極１２０との位置関係を示す模式図である。
０と可動電極１２０との位置関係を示す模式図である。
１…台座基板、１ａ…リム部、２…ダイアフラム基板、
２ａ…可動部、３…容量室、４…信号処理部、１０ａ〜
１０ｃ，３０…固定電極、１１ａ，１１ｂ，１７，２１
ａ，２１ｂ，２１ｄ，２７，３１…電極部、１１′，３
１′…対向領域、１２，２２，３２…電極引出部、１
３，２３，３３…電極パッド、１４，１５…突出部、１
５ａ〜１５ｃ，２４ａ〜２４ｃ，２５ａ〜２５ｃ，２８
ａ〜２８ｃ…エッジ部、２０ａ〜２０ｄ…可動電極、２
４〜２６，２８…切欠部、Ｐ…圧力。
２ａ…可動部、３…容量室、４…信号処理部、１０ａ〜
１０ｃ，３０…固定電極、１１ａ，１１ｂ，１７，２１
ａ，２１ｂ，２１ｄ，２７，３１…電極部、１１′，３
１′…対向領域、１２，２２，３２…電極引出部、１
３，２３，３３…電極パッド、１４，１５…突出部、１
５ａ〜１５ｃ，２４ａ〜２４ｃ，２５ａ〜２５ｃ，２８
ａ〜２８ｃ…エッジ部、２０ａ〜２０ｄ…可動電極、２
４〜２６，２８…切欠部、Ｐ…圧力。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 1/14 G01L 9/12 G01K 7/34 G06F 3/033
Claims (6)
- 【請求項１】 被検出量の変化に応じて変位する可動電
極と、 この可動電極と離間して配置された固定電極とを備え、 前記二電極の対向する部分で容量が形成される静電容量
式センサにおいて、 前記各電極のそれぞれは、前記各電極と平行な方向に生
ずる位置決め誤差により、他の前記電極との対向面積が
増加する部分と減少する部分とを備え、 前記増加する部分と前記減少する部分とが同一面積であ
ることを特徴とする静電容量式センサ。 - 【請求項２】 被検出量の変化に応じて変位する可動電
極と、 この可動電極と離間して配置された固定電極とを備え、 前記二電極のうちの一方は他方より小さい電極であり、 前記二電極の対向する部分で容量が形成される静電容量
式センサにおいて、 前記一方の電極は、直線状の電極引出部と、 この電極引出部と異なる側に配置され、かつ、前記電極
引出部と同じ幅にかつ平行に形成された突出部とを含
み、 さらに、前記他方の電極は、前記電極引出部と交差する
第１のエッジ部を含みかつこの第１のエッジ部から外側
に向かって切り欠かれて形成されかつ前記第１のエッジ
部のみで前記電極引出部と交差する第１の切欠部と、 前記突出部と交差する第２のエッジ部を含みかつ前記第
１の切欠部が切り欠かれた向きと反対向きに前記第２の
エッジ部から切り欠かれて形成されかつ前記第２のエッ
ジ部のみで前記突出部と交差する第２の切欠部とを有
し、 前記第１及び第２のエッジ部のそれぞれは、平行移動す
ると重なる形状をしており、 前記一方の電極は、前記電極引出部及び前記突出部のみ
で前記他方の電極と交差するように配置され、 前記第１及び第２の切欠部の寸法及び配置並びに前記突
出部の長さは、位置決め誤差の最大値に基づいて決定さ
れ、 前記電極引出部及び前記突出部を含む前記一方の電極と
前記他方の電極との対向する部分で容量が形成されるこ
とを特徴とする静電容量式センサ。 - 【請求項３】 被検出量の変化に応じて変位する可動電
極と、 この可動電極と離間して配置された固定電極とを備え、 前記二電極のうちの一方は他方より小さい電極であり、 前記二電極の対向する部分で容量が形成される静電容量
式センサにおいて、 前記一方の電極は、直線状の電極引出部と、 この電極引出部と反対側に形成された第３のエッジ部を
含む突出部とを含み、 さらに、前記他方の電極は、前記電極引出部と交差する
第１のエッジ部を含みかつこの第１のエッジ部から外側
に向かって切り欠かれて形成されかつ前記第１のエッジ
部のみで前記電極引出部と交差する第１の切欠部と、 前記電極引出部と同じ幅にかつ平行に切り欠かれて形成
されるとともに前記突出部の第３のエッジ部のみと交差
する第３の切欠部とを有し、 前記第１及び第３のエッジ部のそれぞれは、平行移動す
ると重なる形状をしており、 前記一方の電極は、前記電極引出部及び前記突出部のみ
で前記他方の電極と交差するように配置され、 前記第１及び第３の切欠部の寸法及び配置並びに前記突
出部の寸法は、位置決め誤差の最大値に基づいて決定さ
れ、 前記電極引出部及び前記突出部を含む前記一方の電極と
前記他方の電極との対向する部分で容量が形成されるこ
とを特徴とする静電容量式センサ。 - 【請求項４】 請求項２又は請求項３において、 前記第１のエッジ部は、前記電極引出部と直交する直線
状に形成されることを特徴とする静電容量式センサ。 - 【請求項５】 請求項２又は請求項３において、 前記第１のエッジ部は、円弧状に形成されることを特徴
とする静電容量式センサ。 - 【請求項６】 被検出量の変化に応じて変位する可動電
極と、 この可動電極と離間して配置された固定電極とを備え、 前記二電極のうちの一方は他方より小さい前記電極であ
り、 前記二電極の対向する部分で容量が形成される静電容量
式センサにおいて、 前記一方の電極は、全体として帯状でありかつ直線状の
電極引出部を含み、 前記他方の電極は、前記電極引出部と平行な二つのエッ
ジ部を含む切欠部を有し、 前記他方の電極は、前記二つのエッジ部のみで前記一方
の電極と交差するように配置され、 前記切欠部の寸法は、位置決め誤差の最大値に基づいて
決定されることを特徴とする静電容量式センサ。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16042098A JP3339563B2 (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 静電容量式センサ |
| EP99923943A EP1004865B1 (en) | 1998-06-09 | 1999-06-08 | Capacitance type sensor |
| DE69941245T DE69941245D1 (de) | 1998-06-09 | 1999-06-08 | Kapazitiver sensor |
| KR1020007001356A KR100349618B1 (ko) | 1998-06-09 | 1999-06-08 | 정전 용량식 센서 |
| US09/485,439 US6411107B1 (en) | 1998-06-09 | 1999-06-08 | Capacitance type sensor |
| CNB998011223A CN1138132C (zh) | 1998-06-09 | 1999-06-08 | 静电电容式传感器 |
| PCT/JP1999/003038 WO1999064833A1 (fr) | 1998-06-09 | 1999-06-08 | Capteur de type capacitif |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16042098A JP3339563B2 (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 静電容量式センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11351978A JPH11351978A (ja) | 1999-12-24 |
| JP3339563B2 true JP3339563B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=15714550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16042098A Expired - Fee Related JP3339563B2 (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 静電容量式センサ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6411107B1 (ja) |
| EP (1) | EP1004865B1 (ja) |
| JP (1) | JP3339563B2 (ja) |
| KR (1) | KR100349618B1 (ja) |
| CN (1) | CN1138132C (ja) |
| DE (1) | DE69941245D1 (ja) |
| WO (1) | WO1999064833A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001356062A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-26 | Yamatake Corp | 容量式圧力センサ |
| US7880481B2 (en) * | 2007-12-19 | 2011-02-01 | Infineon Technologies Ag | Capacitive sensor and measurement system |
| JP5400560B2 (ja) * | 2009-10-16 | 2014-01-29 | アズビル株式会社 | 静電容量型センサ |
| DE102014210122A1 (de) * | 2014-05-27 | 2015-12-03 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids, Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids sowie Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids |
| CN105606269B (zh) * | 2015-09-11 | 2018-04-03 | 东南大学 | 一种具有高线性度的电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN106017718B (zh) * | 2016-07-28 | 2018-04-06 | 国网山西省电力公司忻州供电公司 | 柔性温度传感器 |
| JP2018115873A (ja) * | 2017-01-16 | 2018-07-26 | 凸版印刷株式会社 | センサシート |
| CN107588870A (zh) * | 2017-09-01 | 2018-01-16 | 襄阳臻芯传感科技有限公司 | 一种抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器及其制造方法 |
| JP6981885B2 (ja) * | 2018-01-23 | 2021-12-17 | アズビル株式会社 | 静電容量型圧力センサの異常検知方法および装置 |
| CN112195763B (zh) * | 2020-09-29 | 2021-11-30 | 湖南中大检测技术集团有限公司 | 一种桥梁支座及一种桥梁支座的智能监测方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2978638A (en) * | 1959-01-26 | 1961-04-04 | Sperry Rand Corp | Coercion-free capacitance bridge pick-off |
| JPS496968A (ja) * | 1972-04-06 | 1974-01-22 | ||
| US4064550A (en) | 1976-03-22 | 1977-12-20 | Hewlett-Packard Company | High fidelity pressure transducer |
| US4178621A (en) * | 1978-01-23 | 1979-12-11 | Motorola, Inc. | Electromechanical pressure transducer |
| FI75426C (fi) * | 1984-10-11 | 1988-06-09 | Vaisala Oy | Absoluttryckgivare. |
| US4794321A (en) * | 1987-11-27 | 1988-12-27 | Dotsko Enterprises, Inc. | Variable capacity proximity sensor |
| DE4031791A1 (de) * | 1990-10-08 | 1992-04-09 | Leybold Ag | Sensor fuer ein kapazitaetsmanometer |
| JP2815279B2 (ja) * | 1993-03-30 | 1998-10-27 | 本田技研工業株式会社 | 圧力センサー |
| JP2819995B2 (ja) * | 1993-07-08 | 1998-11-05 | 松下電器産業株式会社 | 静電容量型重量センサ素子およびその製造法 |
| US5424650A (en) * | 1993-09-24 | 1995-06-13 | Rosemont Inc. | Capacitive pressure sensor having circuitry for eliminating stray capacitance |
| JP3135779B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2001-02-19 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置 |
| JP3233791B2 (ja) | 1994-08-25 | 2001-11-26 | 株式会社山武 | 差動容量反転積分器及びこれを用いた静電容量変化量検出装置 |
-
1998
- 1998-06-09 JP JP16042098A patent/JP3339563B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-06-08 DE DE69941245T patent/DE69941245D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-08 WO PCT/JP1999/003038 patent/WO1999064833A1/ja active IP Right Grant
- 1999-06-08 KR KR1020007001356A patent/KR100349618B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-06-08 EP EP99923943A patent/EP1004865B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-08 US US09/485,439 patent/US6411107B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-08 CN CNB998011223A patent/CN1138132C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1999064833A1 (fr) | 1999-12-16 |
| EP1004865A4 (en) | 2008-05-07 |
| US6411107B1 (en) | 2002-06-25 |
| CN1273633A (zh) | 2000-11-15 |
| EP1004865A1 (en) | 2000-05-31 |
| KR20010022756A (ko) | 2001-03-26 |
| DE69941245D1 (de) | 2009-09-24 |
| JPH11351978A (ja) | 1999-12-24 |
| EP1004865B1 (en) | 2009-08-12 |
| CN1138132C (zh) | 2004-02-11 |
| KR100349618B1 (ko) | 2002-08-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3339563B2 (ja) | 静電容量式センサ | |
| EP1840581B1 (en) | Capacitive sensor | |
| EP1342986A2 (en) | Capacitive sensor | |
| JP3258218B2 (ja) | タブレット | |
| JP2586406B2 (ja) | 静電容量型加速度センサ | |
| KR100283011B1 (ko) | 정전용량식 가속도센서 | |
| US11894190B2 (en) | Electrical component | |
| US11467703B2 (en) | Projective capacitive touch panel with suppressed capacitance coupling in corners | |
| JP3968877B2 (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
| JPH07140167A (ja) | 容量型加速度センサ | |
| JP5706774B2 (ja) | 計測システム及び平面ステージ | |
| JP2020119155A (ja) | タッチパネル | |
| JPH04158226A (ja) | 加速度センサー | |
| US6634230B2 (en) | Vibrating gyroscope and electronic unit using the same | |
| JPH0495743A (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| JPS62148801A (ja) | 容量形変位検出器 | |
| JP2021105519A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH0429374Y2 (ja) | ||
| JP2000346867A (ja) | 加速度センサ | |
| JP2626466B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH04172218A (ja) | 回転角センサ | |
| JPH036433A (ja) | 静電容量型圧力変換器 | |
| JP3089900U (ja) | 加速度センサ用トランスデューサ構造体 | |
| JPH08272519A (ja) | 座標位置入力装置 | |
| JP2000266618A (ja) | 静電容量型荷重センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120816 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130816 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130816 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140816 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |