JP2018115873A - センサシート - Google Patents
センサシート Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018115873A JP2018115873A JP2017005101A JP2017005101A JP2018115873A JP 2018115873 A JP2018115873 A JP 2018115873A JP 2017005101 A JP2017005101 A JP 2017005101A JP 2017005101 A JP2017005101 A JP 2017005101A JP 2018115873 A JP2018115873 A JP 2018115873A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- sensor sheet
- electrodes
- resin layer
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
【課題】電極が微細化しても、電極を測定に十分な精度で対向させることができ、せん断方向の対向電極の変化を捉えやすいセンサシートを提供する。【解決手段】センサシートは、基材と、第一電極と、樹脂層と、第二電極と、前記第一電極からの電気信号の読み取りができる第一リードと、第二電極へ電気信号を入力できる第二リードとを備え、樹脂層の形状の変化を電気信号として第一電極から読み取って、少なくとも、せん断応力として検知するセンサを含むセンサシートであって、第一電極と第二電極との少なくとも一方が、所定の基準線に対して非対称な形状である。【選択図】図4
Description
本発明は、せん断応力を検知するセンサシートに関する。
2つの電極を対向させ、その間に導電層や樹脂層を挟みこんだ構造とし、導電層や樹脂層が力により変形することで変化する電極間の物理量を、圧力やせん断応力(ずり応力)としてセンシングするセンサシートが知られている。
特許文献1では、対向する2つの電極と、電極間に設けた導電層とを備え、力の入力で導電層が変形することにより電極間抵抗値が変化することを利用した抵抗式感圧センサが開示されている。
また、特許文献2では2枚の矩形の平行板電極間に、導電性・可撓性を持つゴム板を挟み込んだ構成とし、物体がゴム板に接触して電極が接触面に平行(せん断方向)に動いた際に、ゴム板が受けるせん断応力を検知できる触覚センサが開示されている。
こういった触覚センサは、電極や樹脂の選択によっては、生体内のモニタリングなどに応用できる可能性がある。生体内のセンシングなどでは、センササイズが小さくなると、センサの埋め込みなどで被測定対象にかかる負担を少なくすることができる。また、一定面積あたりの力の測定精度を上げるためには、センシング部分を小型化し、高集積とすることが有効である。このような理由から、センサに使用する電極の微細化が求められている。
特許文献2のような矩形電極を用いたセンサでは、電極同士を設計通りの位置に対向して配置する必要があるが、電極を微細化すると設計通りの矩形電極の配置が困難となる。
図8は、特許文献2で開示されている対向電極である矩形電極17、18と、これらにより挟まれた板状の磁性ゴム体19とを含むセンサの一部を示す平面図(a)及び正面図(b)である。図8の(a)に示すように、このセンサでは、矩形電極17と矩形電極18との一部が、平面視において、重なるように積層されている。
このセンサでは、2つの矩形電極17、18を単純に、平行に重ねただけのため、貼り合わせの精度は、電極を微細化し高集積を狙うほど厳しくなる。貼り合わせ精度が悪くなると、矩形電極17と矩形電極18とが、平面視において、重ならない状態で積層されてしまう恐れがある。その場合は想定する力のレンジでは変化を捉えられないことが考えられる。
また、矩形電極17、18を貼り合わせる時に、矩形電極17、18が平行ではなくねじれた状態で貼り合わせられることも考えられる。この場合はせん断力によって矩形電極17、18同士がずれても、電極間の電気抵抗値は変化しないため、せん断応力を測定できない。
本発明はこの問題に鑑みてなされたものであり、電極が微細化しても、電極を測定に十分な精度で対向させることができ、せん断方向の対向電極の変化を捉えやすいセンサシートを提供することを目的とする。
上記課題を解決するための本発明の一局面は、基材と、第一電極と、樹脂層と、第二電極と、第一電極からの電気信号の読み取りができる第一リードと、第二電極へ電気信号を入力できる第二リードとを備え、樹脂層の形状の変化を電気信号として第一電極から読み取って、少なくとも、せん断応力として検知するセンサを含むセンサシートであって、第一電極と第二電極との少なくとも一方が、所定の基準線に対して非対称な形状である、センサシートである。
また、センサシートは、第一電極及び第二電極は各々樹脂層との接触面積が0.5mm2以上1.5mm2以下であってもよい。また、第一リード及び第二リードの線幅が10μm以上50μm以下であってもよい。また、樹脂層厚みが10μm以上50μm以下であってもよい。
本発明によれば、電極が微細化しても、電極を測定に十分な精度で対向させることができ、せん断方向の対向電極の変化を捉えやすいセンサシートを提供することができる。
以下、本発明の一実施形態について説明する。
図1は本発明の一実施形態に係るセンサシート200に用いる対向電極のうちの第一電極100を表した平面図である。第一電極100は、図示しない基材上に形成される3つの小電極1、2、3と、それらをつなぐリード4とを含んでいる。
第一電極100の小電極1は、対向電極として積層後、接触圧力を測定するための電極であり、方形状をしている。
小電極2及び3は対向電極として積層後、図1の紙面上下及び左右方向の各せん断応力を測定するための電極であり、長方形の形状をしている。小電極2が、図1の紙面左右方向のせん断応力を、小電極3が紙面上下方向のせん断応力を、それぞれ測定する役割を持っている。リード4は各電極で得られた電気信号を読み取るためのものである。なお本発明の例ではリード4は小電極1、2、3すべてに接続されているが、これは本例に限らずセンシングするための回路によって自由に取り回しを変えることが出来る。なおリード4は高集積化のため、その幅を10μm以上50μm以下とする。10μm未満だとセンサを曲げたときに断線が生じる恐れがあるし、50μmより大きくすると、リード部がしめる割合が多くなり、高集積化できない。これは後述の第二電極101におけるリード8でも同様である。
図1では小電極2、3内部にスリットが設けられているが、これは小電極2、3の形成方式によって入れてもよいし入れなくてもよい。またスリットの幅も特に制限はない。
図2は本発明の一実施形態に係るセンサシート200に用いる対向電極のうちの第二電極101を表した平面図である。第二電極101は、後述する樹脂層9上に形成される第一電極と同様に3個の小電極5、6、7を備えており、各小電極5、6、7からリード8が伸びている。小電極5は第一電極100と対向して接触圧力を測定するための電極である。小電極5は積層したときに、小電極1からはみ出さない程度に小電極1より小さく形成されている。これにより、小電極1と小電極5との間でせん断力によってずれが生じても対向する部分の重なり面積が変わらず、抵抗値変化が生じないため、純粋に接触圧力のみを取り出すことが出来る。また、リード8は小電極5、6、7のそれぞれに電気信号を入力する。
小電極6及び7はそれぞれ、図2の紙面左右方向と紙面上下方向のせん断応力を測定するための電極である。小電極6は第一電極100の小電極2と、小電極7は第一電極20の小電極7とそれぞれ対向させる。
小電極6及び7は正方形や長方形ではなく、図2に示すように三角形を二つ並べた形状である。形状については後述する。
図3は本発明の一実施形態に係るセンサシート200に用いる樹脂層9の平面図である。樹脂層9は、対向電極間に積層され、押圧力またはせん断力によって変形し、力が入力されている間はその状態を保持し、力がなくなると元の形状に戻る性質を持っていることが必要である。また、樹脂層9の力による変形を捕らえやすくするために、樹脂層9の厚みは10μm以上50μm以下とする。10μmよりも薄いと、力による変形がおこりづらくなる。また、50μmよりも厚くするとが割れたり、層自体が硬くなりセンサ全体としてのフレキシビリティを損なったりするため好ましくない。
第一電極100及び第二電極101の形成は、印刷法によって行う。印刷法は特に限定されず、スクリーン印刷やオフセット印刷等公知の印刷法を用いることが出来るが、小さな電極サイズでも印刷が可能という点で、グラビアオフセット印刷を用いることが望ましい
第一電極100及び第二電極101の印刷に用いるインキは、導電性があるものが求められる。数マイクロメートルから数十ナノメートルの貴金属粉末を熱硬化性樹脂に混合したペーストを用いるのが一般的であるが、カーボンやアルミなどでもかまわないし、合金や混合物であってもよい。
第一電極100及び第二電極101を印刷する基材は、可撓性を有するものであればよく、PETやPEN、ポリイミドなどのプラスチックフィルムや、紙でもよく、印刷用のインキの乾燥条件やセンサとしての用途に合わせて適宜選択できる。また、基材を用いずに、樹脂層9に直接印刷してもかまわない。その際は基材に第一電極100及び第二電極101を印刷したときと比べて、センサシート200を薄型化できる。
樹脂層9の形成は印刷法やスピンコートなどの塗布法によって行うことができる。ただし、第一電極100及び第二電極101の上への積層や、パターニング、厚く塗ることも考えると印刷法が好ましく、さらに好ましい方法はスクリーン印刷である。
樹脂層9を構成する材料は、例えば、検出方式によって選択することができる。今回のように対向する2つの電極とその間に樹脂層9を挟む構成の場合、対向電極間の抵抗値変化を検出する方式と、対向電極間の静電容量の変化を検出する方式の2つがある。対向電極間の電気抵抗値の変化を検出する方式を取る場合は、対向電極よりも抵抗が高く、かかる力によって変形することで自身の抵抗値が低下する材料を用いる。そのような材料としては、ポリエチレンジオキシチオフェン、ポリアニリン、ポリピロールなどの導電性高分子や、グラファイトやカーボンナノチューブを用いたカーボンペースト、基材を用いずにセンサを作製する場合は導電ゴムなどが好適に用いられる。もちろん特許文献2に記載の磁性体ゴムを用いてもかまわない。また、この場合、想定する力の大きさに応じて樹脂層9は材質と抵抗値を選ぶべきである。想定する力が大きい場合はカーボンなど抵抗値の低い材料を選び、想定する力が小さい場合は抵抗値の高い導電性高分子を選ぶとよい。
また、対向電極間の静電容量の変化を検出する場合は、可撓性をもち、かつ絶縁体であることが求められ、天然ゴム、IR、BR、ポリウレタンゴム、シリコーンゴム等の反発弾性が高く圧縮永久歪の少ない材質が使用できる。さらに誘電率を上げるために、チタン酸バリウムなどを添加して用いてもかまわない
図4は本発明の第一電極100、樹脂層9、第二電極101を積層したセンサシート200の積層工程の一例を示す平面図である。図4の(a)が基材(不図示)の上に第一電極100を印刷し、次いでその上から樹脂層9を印刷したときの平面図である。さらにその上から第二電極101を印刷したときの平面図が図4の(b)である。センサシート200はこのように基材上に第一電極100、樹脂層9、第二電極101の順に積層することによって形成される。センサシート200では第一電極100から先に形成しているが、電極形成の順番に制限はない。
センサシート200において、第一電極100及び第二電極101の各々が樹脂層9と接する接触面積は、0.5mm2以上1.5mm2以下であることが好ましい。接触面積が0.5mm2より小さい値であるとセンサシートとして機能しなくなり、接触面積が1.5mm2より大きい値であるとセンサシートの小型化を達成することが困難となる。
また、図示しないが、第一電極100、第二電極101、樹脂層9それぞれの形成時には、他層との見当合わせのためのマークを別途形成してもよい。
次に、センサシート200で用いられる力測定の仕組みと対向電極の関係についてより詳しく説明する。
図5は、センサシートによる接触圧力センシング(測定方法)のイメージ図である。センサシート200では、上下の第一電極100及び第二電極101が樹脂層9を介して積層されている。図5の(a)は第二電極101を指10でさわり、第一電極100側に押圧14で押す時を示している。押圧14をかけると、図5の(b)のように樹脂層9が変形し第一電極100と第二電極101との距離が減少する。センサシート200は、このときの第一電極100と第二電極101との間の電位や抵抗値、静電容量の変化を接触圧力として出力する。
図6は、センサシートによるせん断応力センシング(測定方法)のイメージである。図6の(a)は、図5と同様に上下の第一電極100及び第二電極101が樹脂層9を介して積層されたセンサシート200に、指10が第二電極101に対し紙面左に向かってせん断力15を与えたときを示す。このとき樹脂層9の第一電極100と第二電極101とにはさまれた部分を、ハッチングで示した重なり部分16とする。せん断力15によって第二電極101に樹脂層9の変形を伴ってずれ(変位)が生じ、図6の(b)のようになる。このとき図6の(a)の状態と比べて第一電極100と第二電極101との重なり部分16のせん断力15がかけられた方向における幅(図6の紙面左右方向における幅)が減少することで、第一電極100と第二電極101との間の静電容量が減少する。あるいは第一電極100と第二電極101との間の距離が広がるため変形前と比べて電極間の電気抵抗値が増加する。あるいは第一電極100と第二電極101との間に流れる電流量が減少する。センサシート200は、これらの値の変化をせん断応力値として出力する。このため、力の印加前後で第一電極100と第二電極101との重なり部分16の変化量(変形量)が大きいほどせん断応力も大きい。
このようにしてせん断応力が測定されるセンサシート200においては、第一電極100と第二電極101とは重なり部分16の変形が捕らえやすい形状、すなわち、第二電極101の変位に対する重なり部分16の変形量が大きい形状にすべきである。また、第一電極100と第二電極101との形状は対向電極のずれが起こっても重なり部分16がなくならない形状にすべきである。
図7は本発明のセンサシート200に用いるせん断応力測定用の小電極3と7とが積層された状態の平面図である(間の樹脂層は省略)。図7の下の図において、小電極3と7とにより測定されるせん断応力の方向は紙面上下方向である。センサシート200では、せん断応力測定用の小電極3、7のうちの少なくとも一方である小電極7を所定の基準線N−N’において非対称な形状としている。図7の下の図に示すように、基準線N−N’は、例えば、測定するせん断応力の方向(図7の紙面上下方向)における小電極7の高さの略中央において、測定するせん断応力の方向に対して直交する方向に延びる線とすることができる。図2に示すように、小電極6の形状についても同様に設定される。
小電極をこのような形状とすることで先行文献における以下の問題点が解決される。
センサシート200は、せん断応力を測定する2つの矩形電極を平行に積層した構造ではないため、積層精度に余裕ができる。これにより積層時に平行ずれやねじれによるずれが起こっても、2つの電極が重なりなく完全に離れてしまうことがない。したがって、センサシート200は、電極を測定に十分な精度で対向させることができる。
また、センサシート200は、せん断応力を測定する2つの電極の少なくとも一方を矩形電極ではなく、所定の基準線に対して非対称な形状に形成している。このため、所定の基準線に対して直交する方向へのせん断力による重なり部分16の変形量を、両方の小電極矩形状にした場合と比べて、大きくすることができる。したがって、矩形状電極の交差では捉えられなかった微小なせん断力で発生する電極間の抵抗値等の変化を、捉えることが出来る。したがって、センサシート200は、せん断方向の対向電極の変化を捉えやすい。
基材として125μmのポリイミドフィルム(東レ:カプトン500V)を準備し、図1に示す第一電極100をグラビアオフセット印刷で作製した。このとき第一電極の全体の大きさは7.5mm×7.5mmであり、配線部分は幅30μmで形成した。また、第一電極の厚みは3μmとした。
次いで、第一電極100上に信越ポリマー製の導電性高分子AS−D06をスピンコートにより塗布し樹脂層9とした。このとき樹脂層9の厚みは10μmだった。
グラビアオフセット印刷を用いて、樹脂層9上に図2に示す第二電極101を形成し、センサシートとした。配線幅や電極厚みは第一電極100と同等とした。
このセンサシートをテスターにつなぎ、第一電極100と第二電極101との間に5Vの直流電圧をかけた状態で第二電極101上から指で押したり、なでたりすると流れる電流値の変化がみられたことにより、センサシートとしての動作を確認した。
基材として125μmのポリイミドフィルム(東レ:カプトン500V)を準備し、図1に示す第一電極100をグラビアオフセット印刷で作製した。このとき第一電極の全体の大きさは7.5mm×7.5mmであり、配線部分は幅30μmで形成した。また、第一電極の厚みは3μmとした。
次いで、第一電極100上に東レ・ダウコーニングのSILPOTをスピンコートにより塗布し、加硫剤を混ぜて硬化させ樹脂層9とした。樹脂層9の厚みは50μmとした。
樹脂層9の上にグラビアオフセット印刷で第二電極101を印刷した。配線幅や電極厚みは第一電極100と同等とした。
このセンサシートをLCRメーターにつなぎ、第一電極100と第二電極101間に5Vの交流電圧をかけた状態で、第二電極101上から指で押したり、なでたりすると、静電容量値の変化が見られたことにより、センサシートとしての動作を確認した。
以上の結果から、本発明に係るセンサシートにより、圧力及びせん断応力が測定できることが確認できた。
本発明は、せん断応力を測定するセンサに適用できる。
1 第一電極の圧力感知部(小電極)
2、3 第一電極のせん断力感知部(小電極)
4 第一電極のリード(第一リード)
5 第二電極の圧力感知部
6、7 第二電極の紙面横方向せん断力感知部(小電極)
8 第二電極のリード(第二リード)
9 樹脂層
14 押圧
15 せん断力
16 上下電極の重なり部分
17、18 せん断力感知用矩形電極(従来技術)
19 磁性ゴム体
100 第一電極
101 第二電極
200 センサシート
2、3 第一電極のせん断力感知部(小電極)
4 第一電極のリード(第一リード)
5 第二電極の圧力感知部
6、7 第二電極の紙面横方向せん断力感知部(小電極)
8 第二電極のリード(第二リード)
9 樹脂層
14 押圧
15 せん断力
16 上下電極の重なり部分
17、18 せん断力感知用矩形電極(従来技術)
19 磁性ゴム体
100 第一電極
101 第二電極
200 センサシート
Claims (4)
- 基材と、第一電極と、樹脂層と、第二電極と、前記第一電極からの電気信号の読み取りができる第一リードと、前記第二電極へ電気信号を入力できる第二リードとを備え、
前記樹脂層の形状の変化を電気信号として前記第一電極から読み取って、少なくとも、せん断応力として検知するセンサを含むセンサシートであって、
前記第一電極と前記第二電極との少なくとも一方が、所定の基準線に対して非対称な形状である、センサシート。 - 前記第一電極及び前記第二電極は各々前記樹脂層との接触面積が0.5mm2以上1.5mm2以下である、請求項1に記載のセンサシート。
- 前記第一リード及び前記第二リードの線幅が10μm以上50μm以下である、請求項1または請求項2に記載のセンサシート。
- 前記樹脂層の厚みが10μm以上50μm以下である、請求項1から請求項3の何れかに記載のセンサシート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017005101A JP2018115873A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | センサシート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017005101A JP2018115873A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | センサシート |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018115873A true JP2018115873A (ja) | 2018-07-26 |
Family
ID=62985298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017005101A Pending JP2018115873A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | センサシート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018115873A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020016550A (ja) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 凸版印刷株式会社 | センサシート及びその製造方法 |
JP2020016549A (ja) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 凸版印刷株式会社 | 触覚センサ及びその製造方法 |
WO2020080127A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | ソニー株式会社 | センサ、積層型センサよび電子機器 |
JP2020148561A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 凸版印刷株式会社 | センサシート |
WO2021039600A1 (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | 国立大学法人弘前大学 | 触覚センサ素子、触覚センサ、3軸触覚センサおよび触覚センサ素子の製造方法 |
WO2021075356A1 (ja) * | 2019-10-15 | 2021-04-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 荷重センサ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06341805A (ja) * | 1993-06-02 | 1994-12-13 | S K S Kk | 静電容量式リニアスケール |
JPH11351978A (ja) * | 1998-06-09 | 1999-12-24 | Yamatake Corp | 静電容量式センサ |
WO2009096419A1 (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Kuraray Co., Ltd. | 可撓性を有する変形センサ |
US20120118066A1 (en) * | 2010-11-12 | 2012-05-17 | Majidi Carmel S | Stretchable two-dimensional pressure sensor |
JP2014115282A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-26 | Samsung Electronics Co Ltd | 触覚センサ |
JP2016201091A (ja) * | 2015-04-13 | 2016-12-01 | 株式会社 ハイディープHiDeep Inc. | 圧力検出モジュール及びこれを含むスマートフォン |
-
2017
- 2017-01-16 JP JP2017005101A patent/JP2018115873A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06341805A (ja) * | 1993-06-02 | 1994-12-13 | S K S Kk | 静電容量式リニアスケール |
JPH11351978A (ja) * | 1998-06-09 | 1999-12-24 | Yamatake Corp | 静電容量式センサ |
WO2009096419A1 (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Kuraray Co., Ltd. | 可撓性を有する変形センサ |
US20120118066A1 (en) * | 2010-11-12 | 2012-05-17 | Majidi Carmel S | Stretchable two-dimensional pressure sensor |
JP2014115282A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-26 | Samsung Electronics Co Ltd | 触覚センサ |
JP2016201091A (ja) * | 2015-04-13 | 2016-12-01 | 株式会社 ハイディープHiDeep Inc. | 圧力検出モジュール及びこれを含むスマートフォン |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020016550A (ja) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 凸版印刷株式会社 | センサシート及びその製造方法 |
JP2020016549A (ja) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 凸版印刷株式会社 | 触覚センサ及びその製造方法 |
JP7083110B2 (ja) | 2018-07-25 | 2022-06-10 | 凸版印刷株式会社 | 触覚センサ及びその製造方法 |
JP7083111B2 (ja) | 2018-07-25 | 2022-06-10 | 凸版印刷株式会社 | センサシート及びその製造方法 |
JPWO2020080127A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2021-09-09 | ソニーグループ株式会社 | センサ、積層型センサよび電子機器 |
WO2020080127A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | ソニー株式会社 | センサ、積層型センサよび電子機器 |
JP7355029B2 (ja) | 2018-10-19 | 2023-10-03 | ソニーグループ株式会社 | センサ、積層型センサよび電子機器 |
US11885695B2 (en) | 2018-10-19 | 2024-01-30 | Sony Corporation | Sensor, stack-type sensor, and electronic device |
JP2020148561A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 凸版印刷株式会社 | センサシート |
WO2021039600A1 (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | 国立大学法人弘前大学 | 触覚センサ素子、触覚センサ、3軸触覚センサおよび触覚センサ素子の製造方法 |
JP7466214B2 (ja) | 2019-08-28 | 2024-04-12 | 国立大学法人弘前大学 | 触覚センサ素子、触覚センサ、3軸触覚センサおよび触覚センサ素子の製造方法 |
WO2021075356A1 (ja) * | 2019-10-15 | 2021-04-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 荷重センサ |
CN114502936A (zh) * | 2019-10-15 | 2022-05-13 | 松下知识产权经营株式会社 | 载荷传感器 |
CN114502936B (zh) * | 2019-10-15 | 2024-04-26 | 松下知识产权经营株式会社 | 载荷传感器 |
JP7493166B2 (ja) | 2019-10-15 | 2024-05-31 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 荷重センサ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2018115873A (ja) | センサシート | |
JP6562357B2 (ja) | 感圧センサ | |
KR102297892B1 (ko) | 터치 패널, 터치 패널의 가압 위치 검출 방법 | |
JP2017062161A (ja) | 感圧素子および圧力センサ | |
KR102180901B1 (ko) | 용이한 압력 분포 확인 구조를 갖는 압저항형 압력센서 | |
EP2924406B1 (en) | Load sensor | |
JP2023051944A (ja) | 静電容量型検知センサ、静電容量型検知センサモジュールおよび静電容量型検知センサを用いた状態判定方法 | |
JP6257088B2 (ja) | 静電容量式3次元センサ及びその製造方法 | |
KR20170126302A (ko) | 압력 센서 소자 및 압력 센서 소자 제조 방법 | |
CN104380232A (zh) | 电阻膜式触摸面板以及触摸面板装置 | |
JP7083110B2 (ja) | 触覚センサ及びその製造方法 | |
US20230008926A1 (en) | Sensor | |
JP7331557B2 (ja) | 触覚センサ | |
JP6489710B2 (ja) | 静電容量式3次元センサ | |
EP3739315A1 (en) | A capacitive touch and pressure sensor | |
JP7083111B2 (ja) | センサシート及びその製造方法 | |
JP7466214B2 (ja) | 触覚センサ素子、触覚センサ、3軸触覚センサおよび触覚センサ素子の製造方法 | |
JP2019086448A (ja) | センサシート | |
JP2024065854A (ja) | 触覚センサ | |
JP2020148561A (ja) | センサシート | |
JP6781564B2 (ja) | 感圧スイッチ | |
CN207352589U (zh) | 压力感应传感器、触摸显示屏组件和电子装置 | |
JP2024065855A (ja) | 触覚センサ | |
JP2016218560A (ja) | 静電容量式3次元センサ及びその製造方法 | |
JP2014017132A (ja) | 静電容量型二段スイッチ用スイッチ部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200710 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200818 |