JPH06341805A - 静電容量式リニアスケール - Google Patents
静電容量式リニアスケールInfo
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- JPH06341805A JPH06341805A JP15457593A JP15457593A JPH06341805A JP H06341805 A JPH06341805 A JP H06341805A JP 15457593 A JP15457593 A JP 15457593A JP 15457593 A JP15457593 A JP 15457593A JP H06341805 A JPH06341805 A JP H06341805A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＬＶＤＴの約２分の１の長さにコンパクト化
でき、またプリント基板上のパターン形成などにより高
精度なリニアスケールを安価に提供することを目的とす
る。 【構成】 電源供給用電極Ｓ3、Ｓ4と移動電極１０間の
静電容量により測定用電圧を印加することにより移動電
極１０に電線等による接続を不要とする。具体的には、
位置検出用電極Ｓ1、Ｓ2に対し移動電極１０を平行移動
し該電極間の静電容量の変化に基づき位置検出を行なう
構成において、移動電極１０への測定用電圧を、電源供
給用電極Ｓ3、Ｓ4と移動電極１０間の静電容量により得
ることを特徴とする。
でき、またプリント基板上のパターン形成などにより高
精度なリニアスケールを安価に提供することを目的とす
る。 【構成】 電源供給用電極Ｓ3、Ｓ4と移動電極１０間の
静電容量により測定用電圧を印加することにより移動電
極１０に電線等による接続を不要とする。具体的には、
位置検出用電極Ｓ1、Ｓ2に対し移動電極１０を平行移動
し該電極間の静電容量の変化に基づき位置検出を行なう
構成において、移動電極１０への測定用電圧を、電源供
給用電極Ｓ3、Ｓ4と移動電極１０間の静電容量により得
ることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アブソリュート方式に
よるリニアスケールに関し、特には測定因子として静電
容量を利用したリニアスケールに関する。
よるリニアスケールに関し、特には測定因子として静電
容量を利用したリニアスケールに関する。
【０００２】
【従来の技術】直線上の物体の移動量または距離を測定
するリニアスケールとして、差動トランス方式（アブソ
リュート）、モアレ稿を利用する方式（インクリメンタ
ル）など種々実用に供されている。
するリニアスケールとして、差動トランス方式（アブソ
リュート）、モアレ稿を利用する方式（インクリメンタ
ル）など種々実用に供されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これらスケールの内、
差動トランス方式を利用したスケール（ＬＶＤＴ）は、
その使用の簡便さから有用であるが、その一般的構成と
しては、装置自体が測定すべき範囲（距離）の２倍強の
長さを必要とするためにコンパクト化が図れないといっ
た問題を有している。また更にＬＶＤＴの場合、特に測
定範囲が５０mmを越えるようなものの場合、精密な巻線
を要求されるために製造が簡易ではなく低コスト化への
障害となっている。
差動トランス方式を利用したスケール（ＬＶＤＴ）は、
その使用の簡便さから有用であるが、その一般的構成と
しては、装置自体が測定すべき範囲（距離）の２倍強の
長さを必要とするためにコンパクト化が図れないといっ
た問題を有している。また更にＬＶＤＴの場合、特に測
定範囲が５０mmを越えるようなものの場合、精密な巻線
を要求されるために製造が簡易ではなく低コスト化への
障害となっている。
【０００４】本発明は、これら問題点に鑑みてなされた
もので、同一の測定範囲に関して、ＬＶＤＴの約２分の
１の長さにコンパクト化でき、またプリント基板上のパ
ターン形成などにより高精度なスケールを安価に提供す
ることを課題とする。
もので、同一の測定範囲に関して、ＬＶＤＴの約２分の
１の長さにコンパクト化でき、またプリント基板上のパ
ターン形成などにより高精度なスケールを安価に提供す
ることを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によるリニアスケールは、基本的に、電源供
給用電極と移動電極間の静電容量により測定用電圧を印
加することにより移動電極に電線等による接続を不要と
する。
め、本発明によるリニアスケールは、基本的に、電源供
給用電極と移動電極間の静電容量により測定用電圧を印
加することにより移動電極に電線等による接続を不要と
する。
【０００６】かかる基本に基づき、本発明によるリニア
スケールは、所定電圧を印加され且つ一様幅で延在する
電源供給用電極と、該電極の延在方向に向かって漸次面
積を小とする検出用電極とを並設して設け、これら電源
供給用電極ならびに検出用電極を横切るように移動電極
を前記延在方向に移動可能に設け、該移動電極の移動位
置により変化する前記検出用電極からの出力により前記
移動電極の所在位置または変位量を測定することを特徴
とする。
スケールは、所定電圧を印加され且つ一様幅で延在する
電源供給用電極と、該電極の延在方向に向かって漸次面
積を小とする検出用電極とを並設して設け、これら電源
供給用電極ならびに検出用電極を横切るように移動電極
を前記延在方向に移動可能に設け、該移動電極の移動位
置により変化する前記検出用電極からの出力により前記
移動電極の所在位置または変位量を測定することを特徴
とする。
【０００７】移動電極は、変位量を大きく取るために形
状を反比した１対の電極としても良く、この場合、リニ
アスケールは、所定電圧を印加され且つ一様幅で延在す
る電源供給用電極と、該電極の延在方向に向かって漸次
面積を小とする第１の検出用電極と、前記方向に向かっ
て漸次面積を大とする第２の検出用電極とをそれぞれ絶
縁を保って並設し、これら電源供給用電極ならびに第１
および第２の検出用電極を横切るように移動電極をこれ
らに対し所定距離を隔てて且つ前記延在方向に移動可能
に設け、該移動電極の移動位置により変化する前記第１
および第２の検出用電極からの出力を演算することによ
り前記移動電極の所在位置または変位量を測定すること
を特徴とする。
状を反比した１対の電極としても良く、この場合、リニ
アスケールは、所定電圧を印加され且つ一様幅で延在す
る電源供給用電極と、該電極の延在方向に向かって漸次
面積を小とする第１の検出用電極と、前記方向に向かっ
て漸次面積を大とする第２の検出用電極とをそれぞれ絶
縁を保って並設し、これら電源供給用電極ならびに第１
および第２の検出用電極を横切るように移動電極をこれ
らに対し所定距離を隔てて且つ前記延在方向に移動可能
に設け、該移動電極の移動位置により変化する前記第１
および第２の検出用電極からの出力を演算することによ
り前記移動電極の所在位置または変位量を測定すること
を特徴とする。
【０００８】また特には、前記電源供給用電源および／
または前記第１および第２の検出用電極をプリント基板
上に形成してなる。
または前記第１および第２の検出用電極をプリント基板
上に形成してなる。
【０００９】
【作用】このような手段によって、測定用電圧は電源供
給用電極と移動電極間の静電容量により与えられる。ま
た、後者の構成においては、移動電極第１および第２の
検出用電極に対面する移動電極の長手方向位置に従い、
移動電極が対向する第１および第２の検出用電極の部分
の面積割合が変化する。この面積割合の変化は第１およ
び第２の検出用電極と移動電極間のそれぞれの静電容量
の変化として現れるため、これに基づき変化する第１お
よび第２の検出用電極からの電流出力を演算することに
より移動電極の所在位置またはその変位量を測定する。
給用電極と移動電極間の静電容量により与えられる。ま
た、後者の構成においては、移動電極第１および第２の
検出用電極に対面する移動電極の長手方向位置に従い、
移動電極が対向する第１および第２の検出用電極の部分
の面積割合が変化する。この面積割合の変化は第１およ
び第２の検出用電極と移動電極間のそれぞれの静電容量
の変化として現れるため、これに基づき変化する第１お
よび第２の検出用電極からの電流出力を演算することに
より移動電極の所在位置またはその変位量を測定する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面を参照と
して説明する。以下の例においては第１および第２の一
対の検出用電極を用い、その出力変位量を増加させた構
成を示すが、これに限定されず、唯一の検出用電極を用
いることも可能である。
して説明する。以下の例においては第１および第２の一
対の検出用電極を用い、その出力変位量を増加させた構
成を示すが、これに限定されず、唯一の検出用電極を用
いることも可能である。
【００１０】図１は、本発明による固定電極１の電極パ
ターンの一例を示す。図において、Ｓ1、Ｓ2は電源供給
用電極、Ｓ3、Ｓ4は第１および第２の検出用電極、
Ｓ5、Ｓ6は第１および第２の検出用電極Ｓ3およびＳ4用
の絶縁ガードリングをそれぞれ示す。電源供給用電極Ｓ
1およびＳ2、並びに第１および第２の検出用電極Ｓ3お
よびＳ4は金属箔等の薄厚の適当な導電体よりなり、平
面または円周面等の同一面上に形成されている。これら
電極は、例えばプリント基板等の電気絶縁板２上に蒸
着、エッチングあるいは接着等により形成することがで
きる。
ターンの一例を示す。図において、Ｓ1、Ｓ2は電源供給
用電極、Ｓ3、Ｓ4は第１および第２の検出用電極、
Ｓ5、Ｓ6は第１および第２の検出用電極Ｓ3およびＳ4用
の絶縁ガードリングをそれぞれ示す。電源供給用電極Ｓ
1およびＳ2、並びに第１および第２の検出用電極Ｓ3お
よびＳ4は金属箔等の薄厚の適当な導電体よりなり、平
面または円周面等の同一面上に形成されている。これら
電極は、例えばプリント基板等の電気絶縁板２上に蒸
着、エッチングあるいは接着等により形成することがで
きる。
【００１１】図示のように電源供給用電極Ｓ1およびＳ2
はそれぞれ一定幅ｗ1、ｗ2の帯状電極で、所定距離ｗ0
を離てて同一面上で互いに平行に伸びるように形成され
ている。電源供給用電極Ｓ1と第２の電極Ｓ2との間に
は、第１の検出用電極Ｓ3と第２の検出用電極Ｓ4がそれ
ぞれ隣合う電極（Ｓ1乃至ｓ4）とは電気的に絶縁されて
（または電気絶縁距離を隔てて）並設されている。第１
および第２の検出用電極Ｓ3およびＳ4は、電源供給用電
極Ｓ1およびＳ2の伸びる方向に向かって漸次面積を小と
し、または大とするように互いに反比する面積形状より
なる。図示例では検出用電極Ｓ3とＳ4は同一の略三角形
状よりなり、その配置向きを上下逆さにすることにより
反比した形状を構成する。上記したように、検出用電極
Ｓ3とＳ4の周囲にはガードリングＳ5、Ｓ6が設けられて
おり、隣合う電極との浮遊容量による干渉を最小として
いる。
はそれぞれ一定幅ｗ1、ｗ2の帯状電極で、所定距離ｗ0
を離てて同一面上で互いに平行に伸びるように形成され
ている。電源供給用電極Ｓ1と第２の電極Ｓ2との間に
は、第１の検出用電極Ｓ3と第２の検出用電極Ｓ4がそれ
ぞれ隣合う電極（Ｓ1乃至ｓ4）とは電気的に絶縁されて
（または電気絶縁距離を隔てて）並設されている。第１
および第２の検出用電極Ｓ3およびＳ4は、電源供給用電
極Ｓ1およびＳ2の伸びる方向に向かって漸次面積を小と
し、または大とするように互いに反比する面積形状より
なる。図示例では検出用電極Ｓ3とＳ4は同一の略三角形
状よりなり、その配置向きを上下逆さにすることにより
反比した形状を構成する。上記したように、検出用電極
Ｓ3とＳ4の周囲にはガードリングＳ5、Ｓ6が設けられて
おり、隣合う電極との浮遊容量による干渉を最小として
いる。
【００１２】一方、図２乃至図４に示すように、電極Ｓ
1乃至Ｓ4をほぼ直角に横切るように移動電極１０が設け
られる。移動電極１０は、図３に示されるように、電気
絶縁体からなるベース１１と、電極１２（例えば、金属
箔などにより作られる）とを少なくとも有する積層体か
らなり、場合により（電極Ｓ1乃至Ｓ4との離間を確実と
するために）電極１２側に電気絶縁体からなる保護層１
３を有しても良い。移動電極１０は、その長手方向に亙
って一様な幅ｗ10を有し、その電極１２側（保護層１３
がある場合には保護層１３）が電源供給用電極Ｓ1、Ｓ2
ならびに第１および第２の検出用電極Ｓ3およびＳ4と所
定の距離ｄを隔てて平行して面するように配置されてい
る。図示していないが移動電極１０は上記距離関係を保
った状態で電源供給用電極Ｓ1、Ｓ2の長手方向に平行移
動可能に構成されている。
1乃至Ｓ4をほぼ直角に横切るように移動電極１０が設け
られる。移動電極１０は、図３に示されるように、電気
絶縁体からなるベース１１と、電極１２（例えば、金属
箔などにより作られる）とを少なくとも有する積層体か
らなり、場合により（電極Ｓ1乃至Ｓ4との離間を確実と
するために）電極１２側に電気絶縁体からなる保護層１
３を有しても良い。移動電極１０は、その長手方向に亙
って一様な幅ｗ10を有し、その電極１２側（保護層１３
がある場合には保護層１３）が電源供給用電極Ｓ1、Ｓ2
ならびに第１および第２の検出用電極Ｓ3およびＳ4と所
定の距離ｄを隔てて平行して面するように配置されてい
る。図示していないが移動電極１０は上記距離関係を保
った状態で電源供給用電極Ｓ1、Ｓ2の長手方向に平行移
動可能に構成されている。
【００１３】このような構成において、本発明によるス
ケールの測定原理について説明する。図２において、移
動電極１０とそれに対向する電極Ｓ1乃至Ｓ4との間の夫
々には、静電容量Ｃ1、Ｃ2、Ｃ3およびＣ4が構成され
る。知られる様に、対向する電極間の静電容量Ｃは、電
極間の距離ｄおよび対向する電極部の面積Ａに関して次
式で示される。 Ｃ＝ε・Ａ／ｄ …（１） ここで、電源供給用電極Ｓ1、Ｓ2と対向するＣ1、Ｃ2、
に関しては、移動電極１０の位置に無関係に面積Ａは一
定であるため、ｄが一定距離に保たれるならば、一定の
値をもつ。一方、Ｃ3、Ｃ4に関する対向電極の面積
Ａ2、Ａ3は、図２に従いそれぞれ次式で示される。 Ａ3＝ｔａｎθ・ｘ・Ｗ10 …（２） Ａ4＝ｔａｎθ・（Ｌ−ｘ）・Ｗ10 …（３） Ｃ3＝ε・Ａ3／ｄ …（４） Ｃ4＝ε・Ａ4／ｄ …（５） ここで、図４に示すように回路構成し、電源供給用電極
Ｓ1、Ｓ2に印加する交流電圧の周波数をｆ、電圧値をｅ
0、Ｃ3、Ｃ4に加わる電圧をｅ1とし（図５参照）、第１
および第２の検出用電極Ｓ3，Ｓ4からの電流値ｉ1，ｉ2
につき、次の演算を行う。 （ｉ1−ｉ2）／（ｉ1＋ｉ2） ＝［２πｆ・ε・ｅ1・１／ｄ・（Ａ3−Ａ4）］／ ［２πｆ・ε・ｅ1・１／ｄ（Ａ3＋Ａ4）］ ＝（Ａ3−Ａ4）／（Ａ3＋Ａ4） …（６） （６）式に（２）、（３）式を代入し整理すると、 ｅout＝（ｉ1−ｉ2）／（ｉ1＋ｉ2） ＝（Ａ3−Ａ4）／（Ａ3＋Ａ4） ＝（２ｘ−Ｌ）／Ｌ …（７）
ケールの測定原理について説明する。図２において、移
動電極１０とそれに対向する電極Ｓ1乃至Ｓ4との間の夫
々には、静電容量Ｃ1、Ｃ2、Ｃ3およびＣ4が構成され
る。知られる様に、対向する電極間の静電容量Ｃは、電
極間の距離ｄおよび対向する電極部の面積Ａに関して次
式で示される。 Ｃ＝ε・Ａ／ｄ …（１） ここで、電源供給用電極Ｓ1、Ｓ2と対向するＣ1、Ｃ2、
に関しては、移動電極１０の位置に無関係に面積Ａは一
定であるため、ｄが一定距離に保たれるならば、一定の
値をもつ。一方、Ｃ3、Ｃ4に関する対向電極の面積
Ａ2、Ａ3は、図２に従いそれぞれ次式で示される。 Ａ3＝ｔａｎθ・ｘ・Ｗ10 …（２） Ａ4＝ｔａｎθ・（Ｌ−ｘ）・Ｗ10 …（３） Ｃ3＝ε・Ａ3／ｄ …（４） Ｃ4＝ε・Ａ4／ｄ …（５） ここで、図４に示すように回路構成し、電源供給用電極
Ｓ1、Ｓ2に印加する交流電圧の周波数をｆ、電圧値をｅ
0、Ｃ3、Ｃ4に加わる電圧をｅ1とし（図５参照）、第１
および第２の検出用電極Ｓ3，Ｓ4からの電流値ｉ1，ｉ2
につき、次の演算を行う。 （ｉ1−ｉ2）／（ｉ1＋ｉ2） ＝［２πｆ・ε・ｅ1・１／ｄ・（Ａ3−Ａ4）］／ ［２πｆ・ε・ｅ1・１／ｄ（Ａ3＋Ａ4）］ ＝（Ａ3−Ａ4）／（Ａ3＋Ａ4） …（６） （６）式に（２）、（３）式を代入し整理すると、 ｅout＝（ｉ1−ｉ2）／（ｉ1＋ｉ2） ＝（Ａ3−Ａ4）／（Ａ3＋Ａ4） ＝（２ｘ−Ｌ）／Ｌ …（７）
【００１４】上記の演算に従い、出力ｅoutは可動電極
の変位量Ｘのみの一次関数となり誘電率、電源の周波数
電圧などの影響を全てキャンセルでき、極めて安定度の
高いリニアスケールを実現できる。かかる出力ｅoutは
適当なディスプレイによって表示され、または次工程の
適当な処理回路へと送られる。なお、図４の回路におい
て符号２０は演算回路を示し、その好適な一例を図６に
示す。
の変位量Ｘのみの一次関数となり誘電率、電源の周波数
電圧などの影響を全てキャンセルでき、極めて安定度の
高いリニアスケールを実現できる。かかる出力ｅoutは
適当なディスプレイによって表示され、または次工程の
適当な処理回路へと送られる。なお、図４の回路におい
て符号２０は演算回路を示し、その好適な一例を図６に
示す。
【００１５】上記例においては、電源供給用電極および
検出用電極を平面上に形成したが、図７に示すように第
１乃至第４の電極のパターンを例えばフレキシブル基板
で作成し中空円筒６０に納め、その円筒６０内にその母
線７０に従って移動可能に円筒状の移動電極５０を形成
することにより円筒式のスケールを実現できる。
検出用電極を平面上に形成したが、図７に示すように第
１乃至第４の電極のパターンを例えばフレキシブル基板
で作成し中空円筒６０に納め、その円筒６０内にその母
線７０に従って移動可能に円筒状の移動電極５０を形成
することにより円筒式のスケールを実現できる。
【００１６】図８は、本発明によるスケールの別の実施
例を示し、図２の例と同じ作用をなす部分は同じ符号に
より示されている。この例では所定電圧を印加された短
冊状の電源供給用電極Ｓ1に対面して、第１および第２
の検出用電極Ｓ3およびＳ4を電気絶縁性シールド８０を
介して設けられている。図２の例と同様に、第１および
第２の検出用電極Ｓ3およびＳ4は一方向に向かってその
面積が小となりまたは大となるように互いに反比した面
積形状を有し且つ互いに電気的に絶縁されている。かか
る電極Ｓ1、Ｓ3、Ｓ4の外周を横切るように、移動電極
１０が検出用電極の長手方向、即ち図で見て上下方向に
移動可能に設けられている。移動電極１０は図（ｂ）に
示す用にコ字状の絶縁体１１２の内面に導電性電極１２
を設けた構成よりなり、電極１２が電極Ｓ1、Ｓ3、Ｓ4
と所定の距離ｄを保つように配置されている。このよう
な配置から電極Ｓ3、Ｓ4から出力される電流値は上記し
たような演算回路により測定値が演算される。
例を示し、図２の例と同じ作用をなす部分は同じ符号に
より示されている。この例では所定電圧を印加された短
冊状の電源供給用電極Ｓ1に対面して、第１および第２
の検出用電極Ｓ3およびＳ4を電気絶縁性シールド８０を
介して設けられている。図２の例と同様に、第１および
第２の検出用電極Ｓ3およびＳ4は一方向に向かってその
面積が小となりまたは大となるように互いに反比した面
積形状を有し且つ互いに電気的に絶縁されている。かか
る電極Ｓ1、Ｓ3、Ｓ4の外周を横切るように、移動電極
１０が検出用電極の長手方向、即ち図で見て上下方向に
移動可能に設けられている。移動電極１０は図（ｂ）に
示す用にコ字状の絶縁体１１２の内面に導電性電極１２
を設けた構成よりなり、電極１２が電極Ｓ1、Ｓ3、Ｓ4
と所定の距離ｄを保つように配置されている。このよう
な配置から電極Ｓ3、Ｓ4から出力される電流値は上記し
たような演算回路により測定値が演算される。
【００１７】図９は更に別の実施例を示し、この例では
電源供給用電極Ｓ1と検出用電極Ｓ3、Ｓ4とは離間して
配置されており、これら電極Ｓ1とＳ3、Ｓ4との間に角
棒上の移動電極１０が電極Ｓ1、Ｓ3、Ｓ4とはそれぞれ
所定距離ｄを保って且つ図で見て上下方向に移動可能に
設けられている。符号１１は電極１２を保持する絶縁体
である。かかる構成においても上記したような測定を行
なうことができる。
電源供給用電極Ｓ1と検出用電極Ｓ3、Ｓ4とは離間して
配置されており、これら電極Ｓ1とＳ3、Ｓ4との間に角
棒上の移動電極１０が電極Ｓ1、Ｓ3、Ｓ4とはそれぞれ
所定距離ｄを保って且つ図で見て上下方向に移動可能に
設けられている。符号１１は電極１２を保持する絶縁体
である。かかる構成においても上記したような測定を行
なうことができる。
【発明の効果】以上、本発明によれば、電気的出力特性
など差動トランス方式（ＬＶＤＴ）と同様に使用でき、
コンパクトで且つ製造が容易である高精度のスケールが
提供される。
など差動トランス方式（ＬＶＤＴ）と同様に使用でき、
コンパクトで且つ製造が容易である高精度のスケールが
提供される。
【図１】 本発明によるスケールの固定電極のパターン
例を示す図。
例を示す図。
【図２】 図１の固定電極と移動電極との配置関係を示
す図。
す図。
【図３】 本発明によるスケールの移動電極の一例を示
す図。
す図。
【図４】 本発明によるスケールの電気回路構成の一例
を示す図。
を示す図。
【図５】 図４の構成の等価図。
【図６】 第１、第２の検出用電極の出力の演算回路の
一例を示す図。
一例を示す図。
【図７】 本発明によるスケールの円筒タイプを示す
図。
図。
【図８】 本発明によるスケールの別の例を示す図。
【図９】 本発明によるスケールの更に別の例を示す
図。
図。
１ 固定電極 Ｓ1 電源供給用電極 Ｓ2 電源供給用電極 Ｓ3 第１の検出用電極 Ｓ4 第２の検出用電極 １０ 移動電極
Claims (5)
- 【請求項１】 電源供給用電極と移動電極間の静電容量
により測定用電圧を印加することにより移動電極に電線
等による接続を不要にしたことを特徴とする靜電容量式
リニアスケール。 - 【請求項２】 位置検出用電極に対し移動電極を平行移
動し該電極間の静電容量の変化に基づき位置検出を行な
う靜電容量式リニアスケールにおいて、移動電極への測
定用電圧を、電源供給用電極と移動電極間の静電容量に
より得ることを特徴とする静電容量式リニアスケール。 - 【請求項３】 所定電圧を印加され且つ一様幅で延在す
る電源供給用電極と、該電極の延在方向に向かって漸次
面積を小とする検出用電極とを並設して設け、これら電
源供給用電極ならびに検出用電極を横切るように移動電
極を前記延在方向に移動可能に設け、該移動電極の移動
位置により変化する前記検出用電極からの出力により前
記移動電極の所在位置または変位量を測定することを特
徴とする静電容量式リニアスケール。 - 【請求項４】 所定電圧を印加され且つ一様幅で延在す
る電源供給用電極と、該電極の延在方向に向かって漸次
面積を小とする第１の検出用電極と、前記方向に向かっ
て漸次面積を大とする第２の検出用電極とをそれぞれ絶
縁を保って並設し、これら電源供給用電極ならびに第１
および第２の検出用電極を横切るように移動電極をこれ
らに対し所定距離を隔てて且つ前記延在方向に移動可能
に設け、該移動電極の移動位置により変化する前記第１
および第２の検出用電極からの出力を演算することによ
り前記移動電極の所在位置または変位量を測定すること
を特徴とする静電容量式リニアスケール。 - 【請求項５】 前記電源供給用電源および／または前記
検出用電極をプリント基板上に形成したことを特徴とす
る請求項３または４記載の静電容量式リニアスケール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15457593A JPH06341805A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 静電容量式リニアスケール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15457593A JPH06341805A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 静電容量式リニアスケール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06341805A true JPH06341805A (ja) | 1994-12-13 |
Family
ID=15587227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15457593A Pending JPH06341805A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 静電容量式リニアスケール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06341805A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009282031A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Postech Academy-Industry Foundation | 機械的ガイドを有する面積変化型静電容量式センサ |
| JP2014531661A (ja) * | 2011-09-23 | 2014-11-27 | マイクロチップ テクノロジー ジャーマニー ツー ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 位置検出のための電極構成および位置検出のための方法 |
| JP2018115873A (ja) * | 2017-01-16 | 2018-07-26 | 凸版印刷株式会社 | センサシート |
| KR20200123994A (ko) * | 2019-04-23 | 2020-11-02 | 권준모 | 감지장치 |
| KR20200123996A (ko) * | 2019-04-23 | 2020-11-02 | 권준모 | 체형 변화 관리 시스템 |
-
1993
- 1993-06-02 JP JP15457593A patent/JPH06341805A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009282031A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Postech Academy-Industry Foundation | 機械的ガイドを有する面積変化型静電容量式センサ |
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| US9958532B2 (en) | 2011-09-23 | 2018-05-01 | Microchip Technology Germany Ii Gmbh & Co. Kg | Electrode configuration for position detection and method for position detection |
| JP2018115873A (ja) * | 2017-01-16 | 2018-07-26 | 凸版印刷株式会社 | センサシート |
| KR20200123994A (ko) * | 2019-04-23 | 2020-11-02 | 권준모 | 감지장치 |
| KR20200123996A (ko) * | 2019-04-23 | 2020-11-02 | 권준모 | 체형 변화 관리 시스템 |
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