DE2701294A1 - Piezoelektrischer resonator - Google Patents

Piezoelektrischer resonator

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DE2701294A1 DE19772701294 DE2701294A DE2701294A1 DE 2701294 A1 DE2701294 A1 DE 2701294A1 DE 19772701294 DE19772701294 DE 19772701294 DE 2701294 A DE2701294 A DE 2701294A DE 2701294 A1 DE2701294 A1 DE 2701294A1
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Description

ΠΑ/Π-1071
Dr. JOCHEN PAGENBERG Rechtsanwalt
8000 München Galileiplatz 1
Driorität:
16. Januar 1976 Schwei ζ Nr. 486/76
CENTRE ELECTRONIQUE HORLOGER S.A. rue A.-L. Breguet Neuchatel, Schweiz
PIEZOELEKTRISCHER RESONATOR
Die vorliegende Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Resonator mit mindestens einem Quarzkristallstab, der die Form eines rechteckigen Parallelepipeds besitzt und Drillungsschwingungen um seine Längsachse ausführt.
Es sind bereits Resonatoren dieses Types bekannt, beispielsweise aus den Arbeiten von E.Giebe und E. Blechschmidt, veröffentlicht in der Zeitschrift "Hochfrequenztechnik und Akustik", Band 56, Sept, 1940, Nr. 3, Seiten 65-87, unter dem Titel "Über Drillungsschwingungen von Quarzstäben und ihre Benützung für Frequenznormale". Die darin beschriebenen Resonatoren weisen Quarzstäbe auf, deren Länge in Richtung der elektrischen Achse X verläuft
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und deren beide Querabmessungen in Richtung der mechanischen Achse Y bzw. der optischen Achse Z verlaufen. Es handelt sich daher um Stäbe, die in Bezug auf die kristallographischen Achsen nicht rotiert sind. Die Optimisierung ihrer thermischen Eigenschaften, d.h. das zum Verschwindenbringen der Temperaturkoeffizienten erster Ordnung der Frequenz wird durch eine geeignete Wahl des Verhältnisses der Querabmessungen erhalten, wobei insbesondere das Verhältnis Dicke/Breite nahezu eins beträgt.
Diese bekannten Resonatoren weisen den Nachteil auf, dass ihre thermischen Eigenschaften in sehr kritischer Weise vom Verhältnis Breite/Dicke abhängen. Ihre Serienfertigung ist daher schwierig. Ferner ist ihr Temperaturkoeffizient zweiter Ordnung der Frequenz relativ gross. Schliesslich sind auch die Resonanzfrequenzen dieser Resonatoren relativ hoch im Vergleich zu ihrem Platzbedarf, was in verschiedenen Anwendungsgebieten, insbesondere in der Uhrentechnik, unerwünscht ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, die genannten Nachteile zu vermeiden und einen Resonator der eingangsjgenannten Art zu schaffen, bei dem eine einzige mechanische Beanspruchung vorherrscht, dessen Resonanzfrequenz trotz seines geringen Platzbedarfes relativ niedrig liegt, dessen Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Frequenz verschwindet und dessen Temperaturkoeffizient zweiter Ordnung der Frequenz so klein wie möglich wird.
Dies wird erfindungsgemäss dadurch erreicht, dass der Quarzstab vom DT- oder CT-Schnitt ist und dass die in Richtung der elektrischen Achse X des Kristalls verlaufende Länge L des Stabes, dessen in Richtung der Z'-Achse verlaufende Breite b und dessen in Richtung der Y'-Achse verlaufende Dicke h durch die Beziehungen
1 < I < 10 , b < L
verknüpft sind.
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In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemässen Resonators, genügt das Verhältnis der Breite zur Dicke des Stabes der Beziehung
1,5 < £ < 5.
Ein solches Verhältnis ergibt ein Optimum zwischen einerseits einer ziemlich starken piezoelektrischen Kopplung auf Grund der angegebenen oberen Grenze, und andererseits, auf Grund der angegebenen unteren Grenze, einer nicht zu hohen Resonanzfrequenz bei gegebenem Volumen sowie einer nicht allzu kritischen Abhängigkeit der thermischen Eigenschaften von dem Verhältnis Breite/Dicke.
DT- und CT-Schnitte werden üblicherweise für Schwingquarze verwendet, die Flächenscherungsschwingungen ausführen. Sie entsprechen einer Drehung der Y1- und Z'-Richtungen des Stabes jeweils gegenüber der mechanischen Achse Y bzw. der optischen Achse Z um die elektrische Achse X des Quarzkristalls derart, dass der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Frequenz verschwindet. Je nach den Verfassern einschlägiger Arbeiten weist der entsprechende Drehungswinkel, bei dem diese Bedingung erfüllt ist, verschiedene,leicht voneinander abweichende Werte auf, und zwar entspricht der DT-Schnitt einem engen Winkelbereich um -52° und der CT-Schnitt einem solchen um 38 .
Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemässen Resonators wird ein Stab vom DT-Schnitt verwendet, wodurch ein besonders niedriger Temperaturkoeffizient zweiter Ordnung der Frequenz erzielt wird.
Im Zusammenhang mit den obigen Erklärungen ist zu bemerken, dass die üblicherweise für Flächenscherungsschwinger verwendeten DT- und CT-Schnitte nicht genau dieselben sind, die das beste Temperaturverhalten bei Drehungsschwingungen aufweisen und zwar infolge von Effekten zweiter Ordnung.
Die beigefügten Zeichnungen zeigen verschiedene Ausführungsbeispiele des erfindungsgemässen Resonators.
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Die Figuren IA und IB zeigen die Draufsicht,respektive die Unteransicht eines stabförmigen Resonators, der Drillungsschwingungen um seine X-Achse ausführt.
Fig. IC veranschaulicht die Parameter des Quarzschnittes.
Fig. 2 zeigt einen ähnlichen Resonator wie die Figuren IA und IB, bei dem die Elektroden symmetrisch angeordnet sind.
Die Figuren 3A und 3B zeigen die Draufsicht, respektive die ünteransicht eines Resonators in Form einer Drillungsschwingungen ausfuhrenden Stimmgabel, welche zwei Quarzstäbe aufweist, wie sie im Resonator der Figuren IA und IB verwendet werden.
Fig. 4 zeigt eine ähnliche Stimmgabel wie die Figuren 3A und 3B,
wobei die Elektroden jedoch symmetrisch angeordnet sind.
Fig. 5 schliesslich zeigt eine ähnliche Stimmgabel wie die Figuren 3A und 3B und 4, bei der die Elektroden einen Dreipol bilden.
Der in den Figuren IA und IB dargestellte Resonator weist einen Quarzstab 1 vom DT-Schnitt in Form eines rechtwinkeligen Parallelepipeds auf. Seine Länge L verläuft in Richtung der Längsachse X, seine Breite beträgt b und seine Dicke h. Die Figur IA zeigt die Oberseite des Stabes, die auf dem grössten Teil ihrer Oberfläche metallisiert ist. Diese Fläche ist mit einer in zwei Zonen 2, 2' unterteilten Elektrode versehen, wobei zwischen diesen Zonen ein metallisierter Querstreifen 3 angeordnet ist. Dieser letztere verbindet Elektroden 4 und 5, welche die kleinen Längsflächen des Stabes 1 zum Grossteil bedecken. Die Unterseite des Stabes 1 trägt entsprechend Fig. IB eine Elektrode 6, die mit den Zonen 2, 2' der Oberseite mittels seitlichen Streifen 7, 7', 7" und 7"'verbunden ist. Zwei Anschlussdrähte und 9 sind vorzugsweise senkrecht auf die grossen Flächen des Stabes 1 gelötet und zwar jeweils etwa in der Mitte des Querstreifens 3 und der f le W* «-ode .
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Fig. 1 C zeigt den Verlauf der Hauptrichtungen des Quarzstabes gegenüber den kristallographischen Achsen des Kristalls, aus dem er geschnitten wurde. X, Y und Z sind jeweils die elektrische, mechanische und optische Achse des Kristalls. Die Hauptrichtungen X, Y1 und Z1 des Stabes sind jeweils parallel zu seiner Länge L, seiner Dicke h und seiner Breite b. Y1 und Z1 entstehen durch Drehung der Achsen Y und Z um die X-Achse, wobei der Drehungswinkel als Schnittwinkel φ bezeichnet wird. Beim DT-Schnitt liegt φ zwischen -51 und -57 , während beim CT-Schnitt φ zwischen 33° und 39 beträgt (sh. auch den Artikel"Standards on Piezoelectric Crystals 1949" in Proc. of the IRE, vol. 37, Nr. 12, Dez. 1949 , S. 1378-1395).
Fig. 2 zeigt eine Variante des Resonators von Fig. IA, IB bei der ein zu 1 analoger Quarzstab 21 verwendet wird. Die grosse obere und die grosse untere Fläche tragen jeweils Elektroden 22 bzw. 23, die untereinander mittels metallisierter Querstreifen 24, 24' verbunden sind. Die kleinen Längsflächen sind ebenfalls grösstenteils metallisiert zur Bildung von Elektroden 25 und 26 , die untereinander durch einen metallisierten Streifen 27 verbunden sind, wobei dieser letztere an einem Ende der die Elektrode 22 tragenden Fläche angebracht ist. Ein zu 27 analoger Streifen 27' kann am Ende der die Elektrode 23 tragenden Fläche angebracht sein. Eine solche Anordnung ist im Hinblick auf die Symmetrie der Metallisierung der beiden grossen Flächen des Stabes besonders vorteilhaft. Eine einzige Maske kann in diesem Fall für beide Flächen verwendet werden.
Anschlussdrähte 28 und 29 sind tangential an der Elektrode 22 bzw. am Querstreifeh 27 befestigt, z.B. angelötet. Dadurch sind die Befestigungspunkte praktisch keinerlei Beanspruchung unterworfen, wenn der Resonator Drillungsschwingungen um seine Längsachse ausführt. Dagegen werden die Drähte selbst durch Drehung beansprucht. Es ist zu bemerken, dass im Beispiel der Figuren IA, IB der umgekehrte Zustand herrscht, d.h. die Lötstellen werden relativ stark beansprucht, während die Verbindungsdrähte keinerlei Drehung erfahren.
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Ein Resonator dieses Typs mit den folgenden Abmessungen L=5,60 mm b=l,00 mm, h=0#24 mm, schwingt beispielsweise mit einer Resonanzfrequenz von 131,07
gut verwendbar ist.
frequenz von 131,072 kHz oder 2 Hz, die in der Uhrentechnik
Ein stabförmiger Drillungsschwingungen ausführender Resonator weist eine gewisse Ähnlichkeit mit einem stabförmigen Biegungsschwinger auf. In beiden Fällen ist die Teilchenbewegung transversal gerichtet, d.h. senkrecht zur Fortpflanzungsrichtung der Welle, und die Frequenz ist relativ niedrig infolge eines starken Rotationseffektes. Diese Analogie erstreckt sich auch auf die in beiden Fällen gegebene Möglichkeit , zwei stabförmige Teile zur Bildung eines stimmgabelförmigen Schwingers zu kombinieren. Eine solche Ausführung des Resonators als "Drillungsstimmgabel" besitzt den Vorteil, eine Befestigung durch Einbettung in einen festen Trägerteil zu erlauben, der praktisch schwingungsfrei ist. Es brauchen daher keine dünnen Haltedrähte verwendet werden, wodurch sich die Herstellung vereinfacht und die mechanische Widerstandsfähigkeit gegenüber Stössen erhöht. Beispiele solcher Stimmgabelresonatoren werden nachstehend beschrieben.
Der in den Figuren 3A und 3B dargestellte Schwingquarz 31 weist zwei in Längsrichtung parallel nebeneinander angeordnete Stäbe 32 und 33 auf, die an einem Ende in einen gemeinsamen Basisteil 34 übergehen. Die beiden grossen Flächen des Stabes 32 sind jeweils mit Elektroden 35 bzw. 36 versehen, die untereinander mittels eines an einem Ende der kleinen Längsfläche 38 des Schwingquarzes 31 angeordneten metallisierten Streifens 37 verbunden sind. In analoger Weise sind die beiden grossen Flächen des Stabes 33 mit Elektroden 39 und 40 versehen, die miteinander mittels eines an einem Ende der kleinen Längsfläche 42 des Schwingquarzes 31 angeordneten metallisierten Streifens 41 verbunden sind.
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Die kleinen Längsflächen 38 und 42 sind ferner auf dem grössten Teil ihrer Oberfläche zur Bildung eines weiteren Elektrodenpaares metallisiert. Die Elektrode der Fläche 38 ist elektrisch mit einem metallisierten Längsstreifen 43 verbunden, der die Elektrode 39 des Stabes 33 verlängert, während die Elektrode der Fläche 42 mit einem die Elektrode 35 des Stabes 32 verlängernden Längsstreifen 44 verbunden ist. Die Elektrodenpaare 35, 36 einerseits und 39, 40 andererseits sind somit jeweils mit den Elektroden 42 bzw. 38 der kleinen Längsflächen des Schwingquarzes mittels äusserer Verbindungen, wie sie schematisch in Fig. 3A eingezeichnet sind, verbunden, wodurch ein zweipoliger Resonator gebildet wird.
Fig. 4 zeigt eine andere Ausführungsform des erfindungsgemassen Resonators mit einem Schwingquarz 51 von gleicher Form und von gleichem Schnitt wie der Schwingquarz 31 der Figuren 3A und 3B. Die beiden in Längsrichtung parallel angeordneten Stäbe sind mit 52 und 53, ihr gemeinsamer Basisteil mit 54 bezeichnet. Die grossen Parallelflächen des Stabes 52 tragen Elektroden 55 und 55' von gleicher Form, welche symmetrisch in Bezug auf die zu den grossen Flächen parallele Mittelebene des Stabes 52 angeordnet sind und untereinander mit Hilfe von metallisierten Streifen 56 und 56* verbunden sind, welche jeweils die Elektroden 55 und 55' in Längsrichtung bis zum freien Ende des Basisteils 54 verlängern und auf der freien Querfläche des Basisteils 54 zusammengeführt sind. In analoger Weise tragen die grossen Parallelflächen des Stabes 53 Elektroden 57 bzw. 57', die untereinander mit Hilfe diese Elektroden bis zum freien Ende des Basisteils 54 verlängernden und auf der Querfläche des Basisteils zusammentreffenden metallisierten Streifen 58 und 58' verbunden sind. Ferner sind die kleinen Längsflächen des Schwingquarzes 51 auf ihrer ganzen Oberfläche metallisiert und bilden damit jeweils Elektroden 59 bzw. 60, während die kleinen Längsflächen der Stäbe 52 und 53, die untereinander und zu den kleinen Längsflächen des Schwingquarzes 51 parallel sind, mit Elektroden 61 bzw. 62 versehen sind, welche diese Flächen ganz bedecken. Die Elektroden 59 und 61 sind untereinander durch
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eine Metallisierung 63, welche die Querfläche des Stabes 52 bedeckt, verbunden. In analoger Weise sind die Elektroden 60 und 62 untereinander durch eine die Querfläche des Stabes 5 3 bedeckende Metallisierung 64 verbunden.
Ferner is tdie Elektrode 60 mit den Elektroden 55 und 55' über die Längsstreifen 56 und 56' sowie eine äussere Verbindung verbunden. Die Elektrode 59 ist in analoger Weise mittels Elektroden 57 und 57* über die Längsstreifen 58 und 58' sowie eine äussere Verbindung verbunden.
Die Ausführungsform nach Figur 4 weist symmetrische Metallisierungen auf den grossen Flächen des Schwingquarzes auf, während die Metallisierung der Seitenflächen jeweils die ganze Fläche umfasst. Dies bedeutet einen wesentlichen Vorteil bei der Herstellung dieser Metallisierungen in einer Serienfabrikation.
Fig. 5 zeigt eine Ausführungsform des Stimmgabelresonators, die besonders im Hinblick auf die elektrischen Eigenschaften vorteilhaft ist. Ein zu denjenigen der Figuren 3A, 3B und 4 analoger Schwingquarz 71 weist zwei Längsstäbe 72, 73 und einen gemeinsamen Basisteil 74 auf. Die Metallisierung der kleinen Flächen des Quarzes 71 und der Stäbe 72 und 73 ist analog der Metallisierung der entsprechenden Flächen im Beispiel von Figur 4. Die grossen Flächen der Stäbe 72 und 73 tragen in Bezug auf die zwei Symmetrieebenen des Schwingquarzes symmetrische Elektroden 75, 75' und 76, 76', die untereinander durch entsprechende metallisierte Teile 77 bzw. 77" auf den grossen Flächen des Basisteils 74 verbunden sind. Die Elektroden der grossen Flächen des Schwingquarzes sind durch eine äussere Verbindung 78 mit der Masse verbunden und die auf den kleinen Flächen jedes der beiden Stäbe gebildeten Elektroden sind jeweils mit Verbindungsdrähten 79,bzw. 80 versehen, welche zwei weitere Pole des Resonators bilden, wodurch dieser einen Dreipol darstellt.
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Die Anordnung der Elektroden gemäss Fig. 5 erlaubt es,die statische Kapazität des Resonators auf ein Minimum zu reduzieren, da die an Masse liegenden Elektroden der grossen Stabflächen eine Abschirmung ergeben. Es lässt sich daher ein optimales Verhältnis zwischen der dynamischen und der statischen Kapazität des Resonators erzielen, was ein Maximum der piezoelektrischen Kopplung bedeutet. Das Verhältnis zwischen diesen Kapazitäten liegt bei einer Stimmgabel gemäss den Figuren 3A, 3B und 4 etwa
-3 -4
zwischen 10 und 10 , während es bei einer Stimmgabel vom
-2 -3 Typ der Fig. 5 zwischen 10 und 10 liegt.
Ein praktisches Beispiel veranschaulicht die Vorteile des erfindungsgemassen stimmgabelformigen Schwingquarzes im Vergleich zu den üblicherweise in der Uhrentechnik verwendeten, als Biegeschwinger ausgeführten Quarzen. Bei einem erfindungsgemassen Schwingquarz/dessen beide Stäbe einen Querschnitt von 0,5 mm χ 0,12 mm und eine Länge von 2,6 mm aufweisen und die in 0,2 mm Abstand voneinander angeordnet sind, wobei ihr Basisteil eine Länge von 2 bis 2,5 mm aufweist, besitzt eine Resonanzfrequenz von 131,072 kHz, d.h. die in der Uhrentechnik besonders günstige Frequenz von 2 Hz.
Im Vergleich zu einem Biegeschwinger verbessert sich der quadratische Temperaturkoeffizient beim vorliegenden, Drillungsschwingungen ausführenden Quarz vom DT-Schnitt um einen Faktor 2 bis 3.
Im Vergleich zu Schwingquarzen vom DT-Schnitt,die Flächenscherungsschwingungen ausführen, ist das thermische Verhalten ähnlich. Dagegen ergibt sich beim vorliegenden Resonator eine Verbesserung im Hinblick auf einen der folgenden Gesichtspunkte : Bei gleichem Platzbedarf erhält man eine 3-mal niedrigere Frequenz ; bei gleicher Oberfläche erhält man eine 6- bis 8-mal niedrigere Frequenz ; bei gleicher Frequenz ist die grösste Abmessung des Quarzes 3-mal kleiner und die Fläche 40-bis 60-mal kleiner.
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Was die Anordnung der Elektroden betrifft, wäre die Ideallösung in Bezug auf die piezoelektrische Kopplung eine Metallisierung auf allen vier Stabflächen. Um die Herstellung zu vereinfachen, kann man auf die Metallisierung einer der kleinen Flächen der Stäbe verzichten und, insbesondere im Fall der Stimmgabeln, die kleinen Stabflächen, die einander gegenüber liegen (Fig. 3A, 3B), nicht metallisieren. Um bei einem stabförmigen Schwingquarz die Metallisierung zu vereinfachen, kommt eine Metallisierung der grossen Flächen allein in Frage, wobei die Wände des Resonatorgehäuses als Elektroden der kleinen Seitenflächen des Quarzes dienen. Aus elektrischen Gründen müssen dann jedoch die Wände in möglichst geringem Abstand von den Seitenflächen des Quarzstabes angeordnet sein. Diese Bedingung kann eine Serienherstellung erschweren. Andererseits erlaubt eine solche Lösung die Metallisierung ganzer Quarzplatten, die daraufhin, d.h. nach dieser Aufbringung der Elektroden, zerschnitten werden, wobei die so erhaltenen Stäbe gebrauchsfertig sind und keine weiteren Arbeitsgänge zur Metallisierung erfordern.
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Claims (7)

  1. Patentansprüche j
    Piezoelektrischer Resonator mit mindestens einem Quarzkristallstab, der die Form eines rechteckigen Parallelepipeds besitzt und Drillungsschwingungen um seine Längsachse ausführt, dadurch gekennzeichnet, dass der Quarzstab vom DT- oder CT-Schnitt ist und dass die in Richtung der elektrischen Achse X des Kristalls verlaufende Länge L des Stabes, dessen in Richtung der Z'-Achse verlaufende Breite b und dessen in Richtung der Y'-Achse verlaufende Dicke h durch die Beziehung
    1 < r < 10 , b<L
    verknüpft sind.
  2. 2. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Quarzstab vom DT-Schnitt ist und einen von den Y,Y'-Achsen einerseits und den Z,Z'-Achsen andererseits gebildeten Schnitt winkel φ von -51° bis -57° aufweist.
  3. 3. Resonator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Breite zur Dicke des Stabes der Beziehung
    genügt.
  4. 4. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass er zwei stabförmige Teile aufweist, die parallel in Längsrichtung nebeneinanderliegend angeordnet und durch einen gemeinsamen Basisteil verbunden sind, so dass der Resonator die Form einer Stimmgabel erhält.
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    ORlGtNAL INSPECTED
    χ»»
  5. 5. Resonator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden stabförmigen Teile mit je einer ersten Elektrode versehen sind, die mindestens annähernd je eine der grossen Flächen der stabförmigen Teile bedecken, wobei diese Elektroden mittels je eines metallisierten Streifens, der auf der kleinen angrenzenden Längsfläche des entsprechenden stabförmigen Teiles angeordnet ist, mit je einer zweiten Elektrode verbunden sind, die jeweils mindestens annähernd die andere, zur erstgenannten parallele grosse Fläche der stabförmigen Teile bedecken, und die genannten ersten Elektroden der beiden Stäbe in Längsrichtung durch einen metallisierten Streifen bis zum Rand des gemeinsamen Basisteil verlängert sind, und dass die genannten kleinen Längsflächen der stabförmigen Teile mit je einer Elektrode versehen sind, die mit demjenigen der metallisierten Verlängerungsstreifen verbunden sind, der die erste Elektrode der grossen Fläche des jeweils anderen stabförmigen Teiles verlängert.
  6. 6. Resonator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die stabförmigen Teile auf jeder ihrer grossen Flächen mit je einer Elektrode versehen sind, welche die entsprechende Fläche zumindest grössenteils bedeckt, wobei die Elektroden der grossen Flächen jedes stabförmigen Teiles miteinander durch metallisierte Längsstreifen verbunden sind, welche diese Elektroden bis zum Rand des Basisteils verlängern, dass jede der kleinen Längsflächen der stabförmigen Teile eine Elektrode trägt, die mit derjenigen Elektrode verbunden ist, welche die zur ersteren parallele Längsfläche desselben stabförmigen Teiles bedeckt, wobei diese Verbindung vorzugsweise mit Hilfe eines metallisierten Streifens auf der Querfläche des stabförmigen Teils erfolgt, und dass die Elektroden, die die kleinen Längsflächen eines stabförmigen Teils bedecken, mit den Elektroden der grossen FLächen des jeweils anderen stabförmigen Teils verbunden sind.
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    27Ü1294
  7. 7. Resonator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die stab- formigen Teile auf jeder ihrer grossen Flächen je eine Elektrode aufweisen, die zumindest den grössten Teil dieser Flächen bedeckt, wobei alle diese Elektroden untereinander durch zwei metallisierte Längsstreifen verbunden sind, welche diese Elektroden jeweils bis zum Rand des Basisteils verlängern, und wobei diese Elektroden geerdet sind, und dass jede der kleinen Längsflächen der stabförmigen Teile eine Elektrode aufweist, die mit der Elektrode verbunden ist, welche die parallele Fläche desselben stabförmigen Teiles bedeckt, wobei diese Verbindung vorzugsweise mittels eines metallisierten Streifens auf der Querfläche des entsprechenden stabförmigen Teils erfolgt.
    709B29/0779
DE2701294A 1976-01-16 1977-01-13 Piezoelektrischer Resonator Expired DE2701294C3 (de)

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US4297610A (en) * 1974-02-04 1981-10-27 Kunimoto Ito Small piezoelectric tuning fork

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