DE2637257A1 - Verfahren zur herstellung eines optischen bauelements sowie nach dem verfahren hergestelltes bauelement - Google Patents
Verfahren zur herstellung eines optischen bauelements sowie nach dem verfahren hergestelltes bauelementInfo
- Publication number
- DE2637257A1 DE2637257A1 DE19762637257 DE2637257A DE2637257A1 DE 2637257 A1 DE2637257 A1 DE 2637257A1 DE 19762637257 DE19762637257 DE 19762637257 DE 2637257 A DE2637257 A DE 2637257A DE 2637257 A1 DE2637257 A1 DE 2637257A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- optical
- base part
- layer
- reproduced
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
- B29D11/00413—Production of simple or compound lenses made by moulding between two mould parts which are not in direct contact with one another, e.g. comprising a seal between or on the edges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/56—Coatings, e.g. enameled or galvanised; Releasing, lubricating or separating agents
- B29C33/60—Releasing, lubricating or separating agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/56—Coatings, e.g. enameled or galvanised; Releasing, lubricating or separating agents
Description
[ NAc:-igtrffi
PATENTANWÄLTE ZENZ & HELBER · D 43OG ESSEN 1 - AM RUHRSTEIN 1 · TEL.: (02 01) 4126
ο 133
OLYMPUS OPTICAL CO., LTD., Hatagaya 2-43-2, Shibuya-ku, Tokyo, Japan.
Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauelements sowie nach dem Verfahren hergestelltes Bauelement.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur formentsprechenden
Reproduktion einer gekrümmten optischen Musterfläche einer optischen Form an einem optischen Bauelement und das durch
dieses Verfahren herstellbare Bauelement.
Im Stande der Technik ist das sogenannte "Kopierverfahren"
zur Herstellung oder Reproduktion gekrümmter optischer Flächen an optischen Bauelementen bekannt, beispielsweise
zur Herstellung asphärischer Linsenflächen mit optischen Formen. Hierbei wird so verfahren, daß auf eine zu reproduzierende
Fläche einer optischen Form ein Trennmittel, beispielsweise Silber oder'Silizium durch Dampfbeschichtung
gleichmäßig aufgetragen wird, worauf die optische Form mit einem Basisteil oder einer Halterung eines optischen Bauelements
(üblicherweise einer Linse) dadurch verbunden wird, daß ein Bindemittel, beispielsweise ein Epoxydharz,zwischen
sie gebracht wird. Die optische Form wird von dem Bindemittel nach dessen Aushärtung abgenommen, wodurch eine gekrümmte
7 O 9 8 ü 8 / 1 O 9 1
optische Fläche auf der Oberfläche des Basisteils
der optischen Linse gebildet wird, welche die gleiche Form wie die gekrümmte Oberfläche der optischen Form
hat.
Beim bekannten Kopierverfahren werden warmaushärtende
Harze, beispielsweise Epoxydharze, als Bindemittel verwendet. Da diese Harze durch Auspolymerisation unter 1/äriaeeinfluß
ausgehärtet werden, kann die Aushärtezeit durch Verwendung erhöhter Temperaturen abgekürzt werden. Obwohl
die Erwärmung auf höhere Temperaturen den Aushärtprozeß beschleunigt, bewirkt sie aber merkliche Kontraktionen
des Harzes während des Aushärtprozesses, wodurch die Form der reproduzierten Oberfläche sich in nicht unbeträchtlichem
Maße von der der optischen Form unterscheidet.
Um solche während des Aushärtprozesses auftretenden merklichen Deformationen der reproduzierten Oberfläche zu
verhindern, ist es deshalb erforderlich, das Bindemittel längere Zeitperioden bei Normaltemperatur oder bei lediglich
leicht erhöhter Temperatur auszuhärten. Aus diesem Grund dauert es mehrere Stunden (bis über 10 Stunden) zur
Reproduktion einer gekrümmten optischen Oberfläche einer Linse von einer optischen Form, so daß es unmöglich ist,
derartige optische Bauelemente in großen Mengen herzustellen. Zwar kann die Massenproduktion solcher optischen
Bauelemente durch Anwendung einer großen Anzahl von optischen Formen ermöglicht werden, jedoch ist bereits zur
Herstellung einer einzelnen optischen Form ein langdauerndes Herstellverfahren erforderlich. Die Herstellung
optischer Formen in großer Anzahl ist aber. in erheblichem Maße aufwendig und deshalb unerwünscht. In jedem
Fall ist die Massenproduktion von Linsen mit reproduzierten
Oberflächen praktisch unmöglich.
709808/1091
263725?
Aus der vorstellenden Erläuterung ergeben sich die Nachteile
der bekannten optischen Elemente, beispielsweise von asphärischen Linsen und ihrer Herstellverfahren, die
auf die Tatsache zurückzuführen sind, daß warmaushärtende Harze als Bindemittel verwendet werden.
Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, die Herstellung von optischen Elementen, auf denen eine Schicht
aus polymerisierbarem Material mit einer reproduzierten Oberfläche vorgesehen ist, zu erleichtern und zu beschleunigen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß auf
der Oberfläche eines Basisteils eine Schicht aus photopolymerisierbarem
Material in monomerem Zustand aufgebracht wird, daß dann auf die Oberfläche des photopolymerisierbaren
Materials eine an der zu reproduzierenden Fläche mit einem Trennmittel eingesetzte optische Form aufgesetzt wird, daß
die photopolymerisierbare Schicht hierauf durch Bestrahlung mit Licht polymerisiert wird und daß die optische Form
schließlich an der Trennschicht abgehoben wird.
In einer bevorzugten !Weiterbildung der Erfindung wird dabei
so vorgegangen, daß der Basisteil für das optische Element in eine zylindrische Halterungsvorrichtung eingesetzt wix"d,
worauf das photopolymerisierbare Material untez1 Bildung einer
Schicht auf die Oberfläche des Basisteils aufgegossen wird, und daß die mit dem Trennmittel eingesetzte optische Form
auf die Oberfläche der Schicht aus photopolymerxsierbarem
Material aufgedrückt wird.
Das mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte
optische Bauelement ist also gekennzeichnet durch einen
Basisteil und durch eine auf der Oberfläche des Basisteils gebildete photopolymerxsierte Schicht mit einer einer Musterfläche
entsprechend reproduzierten Oberfläche.
709808/1091
- k - 263725?
Die Erfindung ist in der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung näher erläutert, und zwar
zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung, anhand
deren das bekannte Verfahren zur Reproduktion einer optisch gekrümmten Oberfläche
erläutert wird;
Fig. 2 eine Schnittansicht, die schematisch den Aufbau einer Vorrichtung zur Reproduktion
einer gekrümmten optischen Fläche mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens zeigt;
und
Fig. 3 eine Schnittansicht, die ein Ausführungsbeispiel der Erfindung erläutert.
Im folgenden wird zunächst in Verbindung mit Fig, I das
bekannte Verfahren zur Herstellung optischer Bauelemente beschrieben. Auf der zu reproduzierenden Oberfläche la
einer optischen Form 1 wird ein Trennmittel 2, beispielsweise Silber oder Silizium}in gleichmäßiger Schicht aufgedampft,
worauf die optische Form auf einen Basisteil oder eine Halterung 3 des herzustellenden optischen Elements
(üblicherweise eine Linse) aufgesetzt wird, auf die zuvor
ein Bindemittel k-, beispielsweise ein Epoxydharz, aufgegossen
wurde. Nach der vollständigen Aushärtung des Bindemittels wird die optische Form 1 abgehoben, wodurch auf
der Oberfläche einer auf dem Basisteil 3 angeordneten optischen Linse eine gekrümmte optische Fläche gebildet
wird, welche eine der gekrümmten Oberflachen la der
optischen Form entsprechende Oberfläche hat.
Das erfindungsgemäße Verfahren und das mit dem Verfahren
herstellbare optische Bauelement wird nunmehr in Verbindung mit den verbleibenden Figuren beschrieben. In Figur 2
bezeichnen die Bezugszeichen 1, 2 und 3 eine Form für ein
709808/1091
263725?
•optisches Bauelement, ein Trennmittel und den Basisteil einer optischen Linse. Insoweit entspricht die Vorrichtung der in-Fig. 1 gezeigten bekannten Vorrichtung. Mit
10 ist jedoch ein aus einem photopolymerisierbarem Material
bestehendes Bindemittel bezeichnet und das Bezugszeichen
11 ist einer Halterungsvorrichtung zugeordnet, die zur
gemeinsamen Halterung der Form 1 mit dem Basisteil der optischen Linse dient, und die mit einem dünnen Schlitz
11a für den Austritt überschüssigen Bindemittels versehen ist. Nach dem Einsetzen des Basisteils 3 der optischen
Linse in die in Fig. 2 gezeigte Halterungsvorrichtung,
wobei die zu reproduzierende Oberfläche in der Halterungsvorrichtung 11 nach oben weist, wird ein photopolymerisierbares
Material in der erforderlichen Menge auf die zu reproduzierende Oberfläche aufgegossen. Die Muster- oder
Reproduktionsfläche la der Form 1 wird mit einem Trennmittel
2, beispielsweise Silber, beschichtet und die Form 1 wird dann mit der zu reproduzierenden Fläche la nach unten
soweit in die Halterungsvorrichtung 11 eingeschoben, bis die zu reproduzierende Fläche, beispielsweise an in der
Halterungsvorrichtung 11 vorgesehenen Stufen llb; zur Anlage
kommt. Das polymerisierbare Bindemittel bzw. Material
sollte in solcher Menge in den zwischen der unteren Fläche la der Form und der oberen Fläche 3a des Basisteils gebildeten
Zwischenraum eingegossen sein, so daß ein gewisser Überschuß vorhanden ist, der über den dünnen Schlitz 11a
der HalteMngsvorrichtung 11 abgeführt wird, wobei dann
im erwähnten Zwischenraum lediglich die erforderliche Menge
verbleibt.
Sobald der Basisteil, das Bindemittel und die Form in der beschriebenen Weise zusammengesetzt sind, wird das Bindemittel
10 durch Bestrahlung mit Licht mit ausreichender Strahlungsenergie bestrahlt, und zwar bezogen auf die
7098 08/1091
263725?
Zei clinungsdar s teilung von der Oberseite aus. Die Form 1
und der Basisteil 3 der optischen Linse, die hierbei mit dem Bindemittel 10 zu einer Einheit verbunden werden,
werden aus der Halterungsvorrichtung 11 herausgenommen, worauf die Form 1 von der dampfbeschichteten Oberfläche
des (als Trennmittel benutzten) Silbers abgenommen wird, indem eine äußere Kraft ausgeübt oder plötzlich Kälte
oder ¥änne zur Einwirkung gebracht wird. Wenn Silber als Trennmittel verwendet wird, verbleibt dies auf der Oberfläche
des Bindemittels, kann jedoch entfernt werden, wofür beispielsweise Salpetersäure oder eine Lösung aus
rotem Blutlaugensalz und eine Fixierlösung aufgebracht
werden, durch welche die reproduzierte gekrümmte Oberfläche der optischen Linse freigelegt wird. Als photopolymerisierbare
Bindemittel zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens sind beispielsweise die von der Firma Norland
Product Inc. unter der Bezeichnung NOA-60 und NOA-65
angebotenen Materialien oder die von der Firma Stonehill, Inc. unter der Bezeichnung Photobond 12 und Photobond 32
angebotenen Produkte sowie ähnliche Materialien geeignet, wobei das geeignetste Material im Hinblick auf die geforderte
Schichtdicke, und die Genauigkeit der optisch wirksamen Oberfläche der zu reproduzierenden Linse sowie
die in der Praxis geforderte Aushärtzeit ausgewählt werden kann.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel einer nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten gekrümmten
optischen Fläche beschrieben:
Für die Eigenschaften der gekrümmten optischen Fläche
wurden als Radius der Krümmung rT gemessen von der optischen
Achse der Form 1 aus 11,12 mm und als Radius der Krümmung rTT des Basisteils der optischen Linse 11,069 mm vorgegeben.
Die Form wurde in solcher Lage gehaltert, daß sie den Basisteil der optischen Linse auf einem Kreis berührte,
709808/1 091
dessen Abstand von der optischen Achse 6 mm betrug
(t = 6mm in Fig. 3)» wobei zwischen der Form und dem Basisteil der optischen Linse ein Abstand d von 0,010 mm
verblieb. Nach der Füllung des Zwischenraums zwischen der Form und dem Basisteil der optischen Linse mit einem
photopolymerisierbaren Bindemittel NOA-60 wurde das polymerxsierbare Material zur Aushärtung eine Minute lang
mit einer 500 ¥ Queclcsilberlampe bestrahlt, die etwa
einen Meter von der Form und dem Basisteil entfernt angeordnet war.
Nach der Aushärtung des Bindemittels wurde die Form abgenommen, so daß auf dem auf dem Basisteil der optischen
Linse befindlichen Bindemittel eine gekrümmte Oberfläche gebildet war.
Nach der Herstellung der gekrümmten Oberfläche in dieser Weise entstanden Newton1sehen Ringe, wenn die Oberfläche
der Form in Anlage an die reproduzierte Oberfläche gebracht wurde, wodurch bestätigt wurde, daß die gekrümmte
Oberfläche der Form mit hoher Präzision und in kurzer Zeit auf dem Basisteil der optischen Linse reproduziert worden
war. Ähnliche Ergebnisse wurden bei Verwendung von Photobond 32 als polymerisierbarem Material erhalten. Daraus
ergibt sich, daß das erfindungsgemäße Verfahren die
Reproduktion gekrümmter optischer Flächen in außergewöhnlich kurzer Zeit und mit sehr hoher Präzision ermöglicht,
wie dies anhand des vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiels nachgewiesen wurde, während für die Durchführung
des bekannten Verfahrens unter Verwendung warmaushärtender
Harze zur Reproduktion gekrümmter Flächen erheblich längere Zeitdauern (mehr als 10 Stunden) erforderlich sind.
Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht daher die Massenproduktion von optischen Elementen mit gekrümmten Oberflächen,
was nach dem bisherigen Kopierverfahren nicht möglich war.
709808 /1091 - -
Claims (3)
1. Optisches !Bauelement, gekenn25eich.net durch einen
Basisteil (3) und durch eine auf der Oberfläche des Basisteils (3) gebildete photapolymeriLsierte Schicht
(lO) mit einer einer Must er fläche (la) entsprechend
reproduzierten Oberfläche,
2. Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauelements
mit einer reproduzierten Oberfläche, dadurch gekenn'-zeichnet,
daß auf 4er Oberfläche 'eines Basisteilß eine Schicht aus phqtopolymerisierbarem Material in monomerem
Zustand aufgebracht wird, daß dann: auf die Oberfläche des photopolymerisierbaren Materials eine an der zu
reproduzierenden Fläche mit einem Trennmittel eingesetzte
optische Form aufgesetzt wird, daß die photopolymerisierbare Schicht hierauf durch Bestrahlung mit
Licht polymerisiert wird, und daß die optische Form
schließlich an: der Trennmittelschicht abgehoben wird,
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
der Basisteil für das optische Element in eine zylindrische HalterungsYprrichtung eingesetzt wird, worauf
das photopolymerisierbare Material unter Bildung einer Schicht auf die Oberfläche des Basisteils aufgegossen
wird, und daß die mit dem Trennmittel eingesetzte optische Form auf die Oberfläche der Schicht aus photo-;
polymerisierbarem Material aufgedrückt wird.
709808/1091
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10118375A JPS5225651A (en) | 1975-08-22 | 1975-08-22 | Process for fabricating an optical curved surface using a photopolymer izable adhesive |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2637257A1 true DE2637257A1 (de) | 1977-02-24 |
DE2637257B2 DE2637257B2 (de) | 1978-09-28 |
DE2637257C3 DE2637257C3 (de) | 1979-05-17 |
Family
ID=14293866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19762637257 Expired DE2637257C3 (de) | 1975-08-22 | 1976-08-19 | Optisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5225651A (de) |
DE (1) | DE2637257C3 (de) |
FR (1) | FR2321377A1 (de) |
GB (1) | GB1535986A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3906564A1 (de) * | 1988-03-02 | 1989-10-12 | Pilkington Visioncare Holdings | Verfahren und vorrichtung zum herstellen von gegenstaenden, insbesondere optischen linsen |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS546006A (en) * | 1977-06-16 | 1979-01-17 | Minolta Camera Kk | Method of making composite optical member consisting of glass and organic high molecular material |
FR2477058A1 (fr) * | 1980-02-28 | 1981-09-04 | Medicornea Sa | Procede de fabrication par moulage de lentilles de contact, et lentilles obtenues |
FR2477059A1 (fr) * | 1980-02-28 | 1981-09-04 | Medicornea Sa | Procede de fabrication par moulage de lentilles de contact et lentilles obtenues |
US4376800A (en) | 1981-04-13 | 1983-03-15 | Lu Chen I | Optical lenses prepared from crosslinkable acrylic compositions |
NL8400152A (nl) * | 1984-01-18 | 1984-10-01 | Philips Nv | Werkwijze voor de vervaardiging van een optisch element, inrichting voor toepassing van de werkwijze en optisch element vervaardigd met de werkwijze. |
NL8400868A (nl) * | 1984-03-19 | 1984-10-01 | Philips Nv | Gelaagde optische component. |
JPS62144914A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-29 | Alps Electric Co Ltd | 光学部品の成型装置 |
JPS63124384A (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-27 | 矢崎総業株式会社 | 電線の結合部に保護被覆層を形成する方法 |
JPH04280824A (ja) * | 1991-03-06 | 1992-10-06 | Canon Inc | 光学素子の製造装置 |
GB2343860B (en) * | 1998-11-20 | 2003-08-13 | Univ Nottingham Trent | Method and apparatus for manufacturing conduit articles |
WO2006121102A1 (ja) | 2005-05-13 | 2006-11-16 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 積層光学素子 |
US7599133B2 (en) | 2007-02-23 | 2009-10-06 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Optical part for camera and method of fabricating the same |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1930291A1 (de) * | 1969-06-14 | 1970-12-17 | Rodenstock Optik G | Verfahren zur Herstellung optischer Elemente aus Kunststoff |
US3873191A (en) * | 1969-06-24 | 1975-03-25 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Uniform optical surfaces and elements |
-
1975
- 1975-08-22 JP JP10118375A patent/JPS5225651A/ja active Pending
-
1976
- 1976-08-17 GB GB3427776A patent/GB1535986A/en not_active Expired
- 1976-08-19 DE DE19762637257 patent/DE2637257C3/de not_active Expired
- 1976-08-23 FR FR7625526A patent/FR2321377A1/fr active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3906564A1 (de) * | 1988-03-02 | 1989-10-12 | Pilkington Visioncare Holdings | Verfahren und vorrichtung zum herstellen von gegenstaenden, insbesondere optischen linsen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2321377B1 (de) | 1982-11-19 |
FR2321377A1 (fr) | 1977-03-18 |
DE2637257C3 (de) | 1979-05-17 |
DE2637257B2 (de) | 1978-09-28 |
JPS5225651A (en) | 1977-02-25 |
GB1535986A (en) | 1978-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2827005C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines optischen Kreises aus Polymeren | |
DE2637257A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines optischen bauelements sowie nach dem verfahren hergestelltes bauelement | |
DE2254370A1 (de) | Optisches element | |
DE3602723C2 (de) | ||
DE3138296C2 (de) | ||
DE2809610A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung optischer kunststofflinsen | |
DE2630632A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer lichtleitenden glasfaser | |
DE2818547A1 (de) | Verfahren zur herstellung von optischen verbundelementen aus glas und organischen hochpolymeren materialien | |
DE2249518A1 (de) | Verfahren zur herstellung optischer wellenleiterbauteile | |
DE4017541C2 (de) | ||
DE3939112C2 (de) | ||
EP0445527B1 (de) | Optisches Wellenleiterbauelement und Verfahren zum Herstellen eines optischen Wellenleiterbauelementes | |
EP0043475B1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer integrierten mikrooptischen Vorrichtung zur Verwendung mit Multimode-Lichtfasern | |
DE4440981A1 (de) | Optisches Verbundbauelement vom Reflexionstyp | |
DE4240950C1 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Deckels für eine integriert optische Schaltung und Deckel für eine integriert optische Schaltung | |
DE2432536A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer schleifund polierscheibe | |
DE4200397C1 (de) | ||
DE3011166A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer optischen wellenleiteranordnung | |
DE2627042A1 (de) | Vorrichtung zur verbindung von lichtleitfaserkabeln | |
WO1998043120A1 (de) | Verfahren zur herstellung von lichtführenden strukturen | |
DE2238970A1 (de) | Nicht-sphaerisches lichtdurchlaessiges optisches element | |
DE10233974A1 (de) | Verbindungsteil für optische Fasern, Herstellungsverfahren dafür und optisches Bauteil | |
DE102009019762A1 (de) | Verfahren zum Herstellen von Gegenständen mit einer definiert strukturierten Oberfläche | |
DE60101744T2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines für ein Matrizenherstellungsverfahren geeigneten Substrats und durch das Verfahren erhaltenes Substrat | |
DE2030192A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |