DE2636999B2 - Verfahren zum berührungslosen Messen der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit eines Plättchens - Google Patents
Verfahren zum berührungslosen Messen der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit eines PlättchensInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Die Möglichkeit, die elektrische Leitfähigkeit dünner flacher Proben (Plättchen) rasch und genau messen zu
können, ist unter vielen Gesichtspunkten der Festkörperbauelementbearbeitung
von kritischer Wichtigkeit. Solche Messungen sind wesentlich bei der Klassifizierung
von Halbleitersubstratmaterialien vor der Verarbeitung, bei der Überwachung von Dotierungsdiffusionen
und der Überwachung von Metalldünnschichtniederschlagen.
Die am verbreitesten angewendete Meßmethode ist die Vierpunktsondenmethode. Diese
Methode hat jedoch mehrere Grenzen. Beispielsweise ist es schwierig, die Ergebnisse einer solchen Messung,
die an Halbleiterproben mit hohem spezifischen Widerstand durchgeführt worden sind, zu interpretie
ren. Zudem verursacht die Sonde am Berührungspunkt eine örtliche Oberflächenbeschädigung. Die Schädlichkeit
einer solchen Oberflächenbeschädigung wirkt sich um so mehr aus, je mehr die Elementengröße
mikrominiaturisierter Schaltungen abnimmt
Es sind verschiedene berührungslose Methoden zum
Es sind verschiedene berührungslose Methoden zum
■-, Messen der elektrischen Leitfähigkeit entwickelt
worden, um zu versuchen, die Beschränkungen der Vierpunktsondenmethode zu vermeiden. Diese Methoden
umfassen generell die Wechselwirkung des zu messenden Musters mit Hochfrequenzerregungen.
κι Beispielsweise Methoden dieser Art umfassen: Messungen der Mikrowellenübertragung durch eine einem
Hohlleiter angeordnete Halbleiterplatte (H. Jacobs et
al., Proceedings of the IRE, 49 [1961], 928); die Reflexion eines HF-Signals an einer mit dem Muster abgeschlos-
·; senen Koaxialleitung (C. A. B r y a η t at al., Reviews of
Scientific Instruments, 36 [19651 S. 1614); eine kapazitive Kopplung und eine induktive Kopplung an
einen Resonanzkreis (N.Nuyamoto et al., Review of Scientific Instruments, 38 [1967], S. 360; J.C. Brice et
2(i al., Journal of Scientific instruments, 38 [1961], S. 307).
Solche Verfahren erzeugen typischerweise nichtlineare Ausgangssignale, die eine Eichung über den Verwendungsbersich
erfordern sowie einen Vergleich der Meßsignale mit der Eichkurve. Außerdem haben solche
2) Messungen typischerweise irgendein relativ schlecht
definiertes Meßvolumen (beispielsweise etwa halbkugelförmig) benutzt, das recht zufriedenstellend sein
kann bei der Messung von Mustern mit gleichförmiger Leitfähigkeit, das jedoch die Komplexität der Analyse
in der Meßergebnisse für nichtgleichförmige Muster
(beispielsweise diffundierte Schichten in Halbleitern) erhöht.
Aus ATM V 3515-1, Oktober 1961, Seiten 225 bis 228,
ist ein Hochfrequenzmeßverfahren zur Ermittlung des
j) Widerstands eines Halbleiterstabes bekannt. Bei dieser
Meßanordnung wird die Meßfrequenz hauptsächlich durch einen Resonanzkreis bestimmt, der durch
induktive oder kapazitive Ankopplung des zu messenden Halbleiterstabes gedämpft wird. Der spezifische
4(! Widerstand wird aus der geeichten Resonanzamplitude
ermittelt, so daß auch hier ein Vergleich mit einer Eichkurve erforderlich ist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zum berührungslosen Messen der spezifi-
4"> sehen elektrischen Leitfähigkeit eines Plättchens verfügbar
zu machen, die einen hochlinearen Zusammenhang zwischen der zu messenden Leitfähigkeit und dem
Meßsignals ermöglicht.
Die Lösung dieser Aufgabe ist im Patentanspruch 1 gekennzeichnet und in den Unteransprüchen vorteilhaft weitergebildet.
Die Lösung dieser Aufgabe ist im Patentanspruch 1 gekennzeichnet und in den Unteransprüchen vorteilhaft weitergebildet.
Die hier angegebene Methode zum berührungslosen Messen der elektrischen Leitfähigkeit dünner flacher
Proben, wie Halbleiterscheiben oder Metalldünnschich-
ίί ten, führt zu einem hochlinearen Ausgangssignal und zu
einer Messung der leitenden Ladungsträger gleichmäßig über die Dicke des Probenmaterials. Dieser hohe
Linearitätsgrad kann zusammen mit der Möglichkeit der Ausgangssignalpegelsteuerung zur Erzeugung der
M) direkten Ablesung der Leitfähigkeit, beispielsweise auf
einem Digitalvoltmeter, verwendet werden. Diese Möglichkeit macht das Verfahren besonders attraktiv
für eine Fertigungsstraßenüberwachung von Diffusionen und Niederschlagen in bzw. auf Substraten bei der
Herstellung elektronischer Bauelemente.
Bei dem hier angegebenen Verfahren wird die Probe in das Magnetfeld des induktiven Elementes eines
Resonanzkreises gebracht und der Treibstrom für den
Resonator wird so eingestellt, daß die Schwingungsamplitude
wieder auf den Wert eingestellt wird, den sie von dem Einbringen der Probe hatte. Wenn die Schwingungsfrequenz
so gewählt wird, daß der Skineffekt vernachlässigbar ist, und wenn der Resonator das
frequenzbestimmende Element der Oszillatorschaltung ist, dann steht die Stromänderung in linearer Beziehung
zur Flächenleitfähigkeit der Probe. Bei einer beispieisweisen Vorrichtung, die zur Erläuterung dieses Meßverfahrens
aufgebaut worden ist, wird eine Rückkopplung zum automatischen Wiedereinstellen der Schwingungsamplitude verwendet. Diese beispielsweise Vorrichtung
war innerhalb etwa 1 % über einen Leitfähigkeitsbereich von 100 zu 1 linear, bei einer Auflösung von etwa einem
Teil in 104. Die Empfindlichkeitsgrenze des Instrumentes
lag bei etwa 10" Ladungsträgern pro cm2.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsformen näher erläutert In der Zeichnung
zeigt
Fig. 1 eine schematische Darstellung der Grundelemente
einer Vorrichtung zur Durchführung des beanspruchten Verfahrens,
Fig. 2 ein Schaltbild eines beispielsweisen Netzwerkes,
das zur Durchführung des beanspruchten Verfahrens entwickelt worden ist,
F i g. 3 eine Seitenschnittansicht eines Beispiels einer Induktivität mit einem Muster,
Fig.4 eine auseinandergezogene Schrägansicht der
mechanischen Teile einer beispielsweisen Vorrichtung, die zur Durchführung des beanspruchten Verfahrens
entwickelt worden ist und
Fig.5 eine Kennlinie der Flächenleitfähigkeit (Ordinate)
in Abhängigkeit vom Ausgangssignal (Abszisse) zur Darstellung der Linearität des erfindungsgemäßen
Verfahrens.
Die Messung der elektrischen Leitfähigkeit (oder des spezifischen Widerstandes) breiter dünner Festkörper
ist unter vielen Gesichtspunkten der Festkörper-Bauelementeherstellung von hoher Wichtigkeit. Beispielsweise
ist es gewöhnlich erforderlich, Halbleitersubstrate vor der Verarbeitung zu klassifizieren, um sicherzustellen,
daß die Leitfähigkeit der Substrate entweder unterhalb eines spezifizierten niedrigen Wertes oder
innerhalb irgendeines schmalen Leitfähigkeitsbereichs liegt. Während der Verarbeitung ist es gewöhnlich
erforderlich, Diffusionsschritte zu überwachen, um festzustellen, wann sich die Leitfähigkeit der diffundierten
Scheiben bis zu irgendeiner Leitfähigkeit innerhalb eines schmalen Bereichs, die zur gewünschten Dotierstoffkonzentration
und Diffusionstiefe in einer Beziehung steht, erhöht oder abgesenkt hat. Viele Diffusionen
läßt man durch mit öffnungen versehene Maskierungsschichten geschehen. In solchen Fällen kann eine
maskenfreie Scheibe für Überwachungszwecke beigegeben werden. Die meisten Herstellungsprozesse für
Festkörperbauelemente umfassen den Niederschlag von Metallschichten für die Herstellung eines elektrischen
Kontaktes zwischen den Bauelementen einer integrierten Schaltung oder zwischen der Schaltung und
einer äußeren Schaltungsanordnung. In solchen Fällen muß die Dicke der Schicht über irgendeiner minimalen
Dicke liegen, um ausreichend Leitfähigkeit zu erzeugen, darf aber nicht unnötig dick sein, um nicht Edelmetalle,
wie Gold und Platin, zu verschwenden. Somit wird die Überwachung der Metallschichtdicken ein wichtiger
Schritt beim Herstellungsprozeß.
Die am weitesten verbreitete Methode zur Durchführung der erforderlichen Leitfähigkeitsmessungen ist die
Vierpunktsondenmethode. Bei Halbleitermaterialien niedriger Leitfähigkeit mit großen Energiebandabständen
sind diese Methoden jedoch übermäßig schwierig, da die Kontakte zwischen der zu messenden Scheibe
und den kontaktherstellenden Elementen der Vierpunktsonde zur Gleichrichtung neigen. Auch finden
irgendwelche Diffusionen durch glasartige Schichten statt, welche die Kontaktierung des darunterliegenden
Halbleiters erschweren. Da die Vierpunktsonde direkt das Material berührt, erzeugt sie örtliche Beschädigung.
Der beschädigte Bereich kann für eine Verwendung, insbesondere für Vorrichtungen mit kleinen Elementabmessungen,
ungeeignet werden. Die vorausgehenden Betrachtungen machen die Entwicklung einer berührungsfreien
Methode besonders wünschenswert.
Die hier beschriebene berührungslose Methode zur Messung der elektrischen Leitfähigkeit leitender Plättchen
erzeugt ein hochlineares Ausgangssignal. Dies ermöglicht beispielsweise eine Einzelpunkteichung und,
bei der Verfügbarkeit einer Signalpegeleinstellung, das direkte Ablesen der Leitfähigkeit von einem Digitalvoltmeter.
Die Meßmethode kann man unter Zuhilfenahme der F i g. 1 verstehen. Diese zeigt ein leitendes Plättchen
11, das mit Hilfe eines Ferritkerns 12 magnetisch an eine
LC-Resonanzoszillatorschaltung 13 angekoppelt ist.
Dieser Parallelresonanzkreis 13 wird von einem HF-Stromgenerator 14 getrieben. Das Arbeiten der
Meßmethode beruht auf der Tatsache, daß eine Wirbelstromabsorption im leitenden Plättchen 11 eine
Erhöhung der Verluste des Resonanzkreises 13 erzeugt. Es wurde folgendes festgestellt: Wenn der Resonanzkreis
13 die Schwingungsfrequenz bestimmt, so daß sich die Frequenz beim Beschicken der Schaltung 13 ändert,
wenn die Schwingungsfrequenz so gewählt ist, daß der Skineffekt im Plättchen vernachlässigbar ist, und wenn
der Stromgenerator 14 so eingestellt wird, daß nach dem Einbringen der Probe oder des Musters die
Schwingungsamplitude wiederhergestellt wird, dann steht die Änderung des vom Stromgenerator 14 in den
Resonanzkreis 13 fließenden Stroms in linearer Beziehung zum Produkt aus der Volumenleitfähigkeit
des leitenden Materials und der Dicke des Materials. Dieses Produkt wird manchmal als die Flächenleitfähigkeit
des Musters bezeichnet und steht im Verhältnis zu dem Produkt aus der Anzahl Ladungsträger im
gemessenen Volumen und der Trägerbeweglichkeit. In demjenigen Frequenzbereich, in welchem der Skineffekt
vernachlässigbar ist, kann das Produkt aus Leitfähigkeit und Dicke verallgemeinert werden zum
Integral aus der Leitfähigkeit über die Dicke, so daß
Daten für nichtgleichförmige Muster leicht analysiert werden können. Die Grundbeziehung, welche den
Meßprozeß beherrscht, ist
(D
In dieser Gleichung ist, wenn man annimmt, daß keine Schaltungsverluste außer jenen im Plättchen auftreten, /
der in den Resonator fließende Schwingfrequenzstrom, K eine Konstante, welche die magnetische Kopplung
zwischen dem Kern der Induktivität und dem Plättchen umfaßt, E die Schwingfrequenzspannung über dem
Resonator, η die Windungszahl der Induktivität, σ die
spezifische elektrische Leitfähigkeit des Plättchenmaterials und t die Dicke des Plättchens. Wenn andere
Schaltungsverluste berücksichtigt -werden, können die Resonatorverluste als ein paralleler Verlustwiderstand
Rp dargestellt werden. Dieser parallele Veriustwider-
stand besteht aus zwei Teilen, nämlich Rt, dem Oszillatorschaltungsverlust selbst, und Rs, dem reflektierten
Verlust aufgrund der Wirbelströme im Plättchen. Diese lassen sich zusammenfügen als
R1, Rt
(2)
Der Stromgenerator 14 wird jedoch nach dem Einbringen des Musters so eingestellt, daß die
Amplitude der Schwingung (d. h. die Spannung über dem Resonanzkreis 13) auf einem konstanten Wert
gehalten wird. Somit gilt
IR1, = const.
(3)
(4)
Ist kein Halbleiterplättchen eingesetzt, nimmt / seinen Minimalwert k an,der /?p=/?7-entspricht.
Folglich ergeben die Gleichungen 2 und 4
Folglich ergeben die Gleichungen 2 und 4
(5)
-pT ist jedoch proportional zur Flächenleitfähigkeit
der Probe und somit ist
(6)
Dies ist das zur Bestimmung der Probenleitfähigkeit σ verwendete Resultat. Bei einer Vorrichtung zur
Durchführung dieses Verfahrens kann eine »Null«- Steuerung vorgesehen werden, um /o beim Nichtvorhandensein
irgendeiner Probe auszubalancieren oder auszutarieren, so daß als Ausgangsgröße nur die
Stromzunahme erscheint. Außerdem ist eine einfache elektronische Methode vorgesehen, um die Abhängigkeit
von der Probendicke t durch Dividieren mit der Dicke zu beseitigen.
F i g. 2 zeigt das Schaltbild einer beispielsweisen Schaltung die zur Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens entwickelt und aufgebaut worden ist. Soweit nichts anderes angegeben ist, handelt es sich um
Widerstände mit Ua Watt und ±5%. Die Dioden sind von Typ 1N4154, die NPN-Transistoren sind vom Typ
2N3904, die PNP-Transistoren vom Typ 2N3906, die FETs vom Typ 2N4393 und die Differenzverstärker sind
Einheiten mit hoher Verstärkung («105 bei Gleichstrom,
Eins bei 1 MHz), die zur Verwendung als Operationsverstärker geeignet sind (Typ 741). In F i g. 2
umfaßt der mit einer gestrichelten Linie 21 umfaßte Block die Resonanzschwingschaltung 22 und die
verschiedenen Transistoren, welche den HF-Stromgenerator bilden. Diese Elemente sind angeordnet zur
Bildung eines in seiner Amplitude steuerbaren Marginaloszillators,
dessen Schwingungsfrequenz durch den Schwingkreis 22 bestimmt ist. Zur Leitfähigkeitsmessung
wird das zu messende Muster magnetisch mit der Spule 23 gekoppelt. Eine Beschreibung der Arbeitsweise
dieser Art Oszillator kann man finden in Journal of Scientific Instruments, 36 (1959), S. 481. Ein Merkmal des
Oszillatoraufbaus gemäß Fig. 2 ist es, daß der auf der
geerdeten Seite des Schwingkreises 22 zu Erde fließende Mittelwertsgleichstrom ein genaues Maß der
Amplitude des Schwingfrequenztreibstroms ist.
Die Schwingungsamplitude des Schwingkreises 22 wird automatisch eingestellt durch eine Rückkopplung
über die Stabilisierungsschaltungsanordnung in Block II, der von einer gestrichelten Linie 24 eingefaßt ist. Der
Schwingpegel am Kollektor eines Transistors 37 wird durch einen durch Transistoren 38 und 39 gebildeten
temperaturkompensierten Spitzenwertgleichrichter abgefühlt, was zu einer entsprechenden negativen
Spannung am Emitter des Transistors 39 führt. Ein Fehlerverstärker 402 tastet dann die Differenz zwischen
dem in einem Widerstand 40 fließenden resultierenden Strom und dem in einem Widerstand 401 fließenden
Bezugsstrom ab. Den Stabilisierungsbezugswert liefert eine 8-Volt-Zenerdiode 26. Die Schwingkreisschwingamplitude
wird dabei über eine Ader 27 abgetastet und die Rückkopplungssteuerung wird über eine Ader 28
vorgenommen. Der durchschnittliche Gleichstrom-Schwingkreisstrom wird auf Ader 29 mit Hilfe eines
Verstärkers 30 gemessen. Die Ausgangsschaltungsanordnung umfaßt ein Verstärkungssteueningspotentiometer
31, einen Bereichsschalter 32 und eine Bereichsüberschreitungsanzeigelampe 33, deren Aufleuchten das
Vorhandensein eines Musters anzeigt, dessen Leitfähigkeit oberhalb des Zwei-Dekaden-Bereichs des Instruments
liegt. Ein Verstärker 34 und eine Präzisionspotentiometer 35 mit zehn Umdrehungen sind so angeordnet,
daß sie vor dem Abnehmen des Leitfähigkeitssignals am Ausgangstor 36 die Teilung durch die Materialdicke
durchführen. Die Verstärkung wird so eingestellt, daß das Potentiometer 35 direkt in herkömmlichen Einheiten
der Musterdicke abgelesen werden kann. Die mit einem Stern versehenen Komponenten haben Werte,
die von der speziellen Wahl einer Eingangsschwingschaltung L\C\ abhängen. Die angegebenen Werte
gelten für ein Instrument mit einer Anzeige von einem Volt pro S-crn-', für eine Schwingung bei etwa 10 MHz,
für die Verwendung eines Spaltes von 0,635 mm zwischen den beiden Hälften der Induktivität 23 und für
zu messende spezifische Musterleitfähigkeit im Bereich von «0,05bis »lOS-cm-·.
Der Aufbau der Induktivität ist in F i g. 3 gezeigt Um eine enge Kopplung zwischen dem HF-Magnetfeld und
dem zu messenden Muster zu erzeugen, wurde für den Induktivitätskernaufbau ein aufgespaltener Ferritbecherkern
41 mit hohem Q mit zwei Windungen in jeder Hälfte gewählt, was zu einer Gesamtinduktivität
von 1 μΗ führt. Die verwendeten Kerne sind gekennzeichnet durch eine Permeabilität von »100 und ein Q
von «100 bei der Schwingfrequenz von 10MHz. Die
Anzahl der Windungen 42 kann auf 20 oder 200 usw. geändert werden, um eine entsprechende 102- und
lO^-Bereichsskaleneinteilung zu erreichen, wie es durch
die -j -Abhängigkeit der Gleichung 1 angedeutet ist
Wenn Q unverändert bleibt, hilft die damit einhergehende Verringerung der Schwingfrequenz zur Erfüllung
des Skineffektkriteriums für die Messung von Musterr 43 mit höherer spezifischer Leitfähigkeit.
Der Induktivitätsaufbau umfaßt außerdem nahtlose Aluminiumbecher 44, die das Störfeld reduzieren unc
den Meßbereich genau und ausschließlich als die Zone
zwischen den sich gegenüberliegenden Flächen dei beiden Kernhälften aufrechterhalten. Eine kapazitive
Kopplung mit dem Muster 43 wird minimal gehalter durch das Einfügen einer elektrostatischen Abschirmung
45 über den sich gegenüberliegenden Flächen dei
Kerne 41. Als Abschirmung wurde ein elektrisch leitendes Papier verwendet. Die mechanische Konstruktion
des Mustermeßkopfes des aufgebauten Instrumentes ist in auseinandergezogener Ansicht in Fig.4
dargestellt Die Becherkerne 41, die Windungen 42 und die Aluminiumbecher 44 sind in Polymethylmethacrylat-Haltern
46 untergebracht. Die Halter 46 sind mittels Bolzen an einer Grundplatte so befestigt, daß
Unterlegscheiben 47 eingefügt werden können, um den Spalt zwischen den Kernen einstellen und an verschie- ι ο
dene Dicken des Musters 43 anpassen zu können. Adern 48 von der Induktivität sind abreschirmt und führen
nach unten in ein Gehäuse 49, das die elektronische Schaltungsanordnung enthält und mit dem Schwingschaltungskondensator
50 verbunden ist Ähnliche Instrumente zur Messung von Halbleiterscheiben mit höherer spezifischer Leitfähigkeit (d. h., im Bereich von
5 S-cm-1 bis 103 S-cm-1) können mit 20 Windungen auf
jeder Seite des Becherkerns aufgebaut werden. Die Arbeitsfrequenz solcher Instrumente liegt bei etwa
106 Hz. Für die Messung von Metallschichten bis zu einer Dicke von 5 μπι erzeugen Becherkerne mit 103
Windungen auf jeder Seite zusammen mit einem Kondensator von 0,01 μΡ eine Instrumentenschwingung
von etwa 104 Hz. Der Widerstand 25 sollte so gewählt
werden, daß er eine Gesamtnullanzeige in der Nähe der Mitte des Nullungspotentiometers 403 ergibt (F i g. 2).
Die Linearität der Meßmethode, wie sie beim vorstehend beschriebenen Instrument angewendet
wird, und die Eignung der Methode zur Messung von Mehrschichtmustern wurde durch folgendes Experiment
gezeigt: Vier Halbleiterscheiben wurden getrennt und dann in verschiedene Kombinationen übereinander
angeordnet gemessen. Die Resultate dieser Messungen sind in F i g. 5 gezeigt. Messungen wie diese haben
gezeigt, daß die Instrumentenkennlinie über den gesamten Bereich bis auf etwa 1% linear ist Die
verschiedenen Pegeleinstellungen wurden verwendet, um ein Signal zu erzeugen, das auf einem Digitalvoltmeter
direkt in S-crn-' angezeigt wird. Die Einheit wurde an einem Punkt geeicht, und zwar mit einem Muster,
dessen spezifische Leitfähigkeit in der Nähe des oberen Endes des Leitfähigkeitsbereiches lag. Die Leistungsgrenzen
des Instrumentes waren gegeben durch langsame Langzeitdriften im Bereich einiger Millivolt
pro Stunde, was wenigen Teilen der 104 Teile des
Vollskalenausgangssignals des Systems von etwa 10 Volt entsprach. Die Anzeigen waren stabil und mit
dieser Genauigkeit reproduzierbar. Eine anschließende Analyse der Schaltung zeigte, daß es möglich ist, diese
Driften dadurch zu reduzieren, daß man bei höheren Oszillatortreibpegeln arbeitet und die Verstärkung am
Ausgang der Schwingschaltung 22 eliminiert (Verstärker 30).
Obwohl die zuvor beschriebene Schaltung einen von einer hochohmigen Quelle betriebenen Parallelresonanzkreis
verwendete, sind äquivalente Verwirklichungen unter Verwendung eines Serienresonanzschwingkreises
möglich.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. Verfahren zum berührungslosen Messen der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit eines Plättchens,
bei dem
a) ein Resonanzkreis mit einem Kondensator und einer Induktivität mittels einer Quelle elektrischer
Energie bei einer Meßfrequenz erregt wird
b) ein Plättchen so in das Magnetfeld der Spule gebracht wird, daß das Magnetfeld längs der
Dicke des Plättchens im wesentlichen gleichförmig ist, und
c) die Meßfrequenz hauptsächlich durch den Resonanzkreis bestimmt und ein Ausgangssignal
abgeleitet wird, das zur elektrischen Leitfähigkeit des Plättchens in Beziehung steht,
dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangssignal abgeleitet wird, indem die Quelle
elektrischer Energie (14) so eingestellt wird, daß über der Induktivität (23) derjenige Wert der
Meßfrequenzspannung wiedereingestellt wird, der von dem Einbringen des Plättchens (43) festgestellt
worden ist, und daß die Zunahme des durch die Induktivität fließenden Meßfrequenzstroms gemessen
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Volumenleitfähigkeit des Plättchenmaterials
ermittelt wird, indem die gemessene Zunahme des Meßfrequenzstroms auf elektronische
Weise durch die Dicke des Plättchens dividiert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Halbleiterplättchen im Leitfähigkeitsbereich
von 0,05 S-crn-' bis 10 S-cm-' unter Verwendung einer Meßfrequenz von etwa 107 Hertz
gemessen werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Halbleiterplättchen im Leitfähigkeitsbereich
von 5S-cm-' bis 1O3S-Cm-' unter
Verwendung einer Meßfrequenz /on etwa 106 Hertz gemessen werden.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Metallschichten bis zu einer Dicke von
5 Mikrometern unter Verwendung einer Meßfrequenz von etwa 104 Hertz gemessen werden.
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