DE2635563A1 - Verfahren und vorrichtung zum automatischen vergleich zweier bilder - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum automatischen vergleich zweier bilder

Info

Publication number
DE2635563A1
DE2635563A1 DE19762635563 DE2635563A DE2635563A1 DE 2635563 A1 DE2635563 A1 DE 2635563A1 DE 19762635563 DE19762635563 DE 19762635563 DE 2635563 A DE2635563 A DE 2635563A DE 2635563 A1 DE2635563 A1 DE 2635563A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cameras
gate
binary
frame
printed circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19762635563
Other languages
English (en)
Inventor
Gilles Billet
Jean Blottiau
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel CIT SA
Original Assignee
Alcatel CIT SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alcatel CIT SA filed Critical Alcatel CIT SA
Publication of DE2635563A1 publication Critical patent/DE2635563A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
    • G01R31/309—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation of printed or hybrid circuits or circuit substrates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Description

Fo 10 095 D
f 6. Äug, 1976
Dipl.-lng. Jürgen WEINMILLER PATENTASSESSOR
SCSPS GmbH
8OOO München 80
Zeppelinstr. 63
COMPAGNIE INDUSTRIELLE DES TELECOMMUNICATIONS
CIT-ALCATEL S.A. 12, rue de la Baume, 75008 PARIS, Frankreich
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUTOMATISCHEN VERGLEICH ZWEIER BILDER
Die Erfindung bezieht sich auf den automatischen Vergleich zweier Bilder, insbesondere zur Qualitätsüberwachung von Druclcschaltungsplatten vor ihrer Bestückung.
Gegenwärtig werden Druckschaltungs- oder Leiterplatten visuell überwacht an einem Arbeitsplatz, an dem die zu überwachende Platte auf einem entlang zweier Koordinatenrichtungen beweg liehen Rahmen liegt. An dem Arbeitsplatz ist weiter ein Projektor mit senkrechter Projektionsachse und ein matter Bildschirm vorgesehen, auf dem das vergrößerte Bild einer Zone der Platte erzeugt wird.
709809/0750
Es ist auch bekannt, an derartigen Überwachungsplätzen zwei Bilder einander zu überlagern, von denen das eine von einer fehlerfreien Vergleichsplatte und das andere von der zu überwachenden Platte stammt. Die Überlagerung wird von Hand justiert.
Derartige Überwachungsverfahren auf visueller Basis sind langsam und für die Bedienungsperson ermüdend. Daher besteht in Verbindung mit dem monotonen Arbeitsablauf die Gefahr, daß fehlerhafte Platten unentdeckt bleiben.
Die Erfindung hat ein Verfahren und eine Vorrichtung zur vollautomatischen Überwachung von Druckschaltungsplatten bzw. allgemein zum vollautomatischen Vergleich zweier Bilder zum Ziel, bei dem die visuelle Kontrolle entfällt und mit hoher Sicherheit und Geschwindigkeit Fehler auf der Druckschaltungsplatte oder allgemein eine mangelnde Übereinstimmung der beiden Bilder durch Angabe der Koordinaten des Fehlerpunktes entdeckt werden.
Dieses Ziel wird durch die in den Hauptansprüchen wiedargegebenen Merkmale erreicht.
Bevorzugte Ausfuhrungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels mit Hilfe von acht Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt in Perspektive die erfindungsgemäße Vorrichtung.
Fig. 2 zeigt Diagramme zur Signalauswertung in der Vorrichtung gemäß Fig. 1.
Fig. 3 zeigt die logische Vergleichsschaltung der Vorrichtung gemäß Fig. 1.
Fig. 4 zeigt die Abtastbewegung in der Vorrichtung gemäß Fig. 1. ./.-
709809/0750
Fig. 5a und Fig. 5b zeigen wie sich die Abtastbewegung gemäß Fig. 4 auf die Flächenabtastung der Platte auswirkt.
Fig. 6 zeigt eine logische Schaltung aus der Vorrichtung gemäß Fig. 1 zur Fehlerauswertung.
Fig. 7 zeigt die logische Struktur aus der Vorrichtung gemäß Fig. 1, durch die die Koordinaten der Fehlerpunkte ermittelt werden.
Fig. 8 zeigt die Anordnung der Lichtquellen und der Kamera bezüglich der zu untersuchenden transparenten Platte.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß Fig. 1 besitzt einen Tisch 1, der von einem Gerüst 2 überspannt wird. Auf diesem Gerüst sind zwei Kameras 3 und 4 parallel zueinander mit vertikaler Achse befestigt. Zwei Seitenarme 5 und 6 geben dem Gerüst 2 den nötigen Halt. Ein Rahmen 7, in dem zwei Fenster 8 und 9 vorgesehen sind, ist auf dem Tisch 1 in seiner horizontalen Ebene entlang zweier Koordinatenachsen verschiebbar angeordnet. Auf den beiden Fenstern 8 und 9 liegt je eine Druckschaltungsplatte 10 und 11; die Fensteröffnungen begrenzen die zu überwachende Fläche der Platten. Der Rahmen 7 wird von einem Spindel-
der
träger 12 gehalten, in einem weiteren Spindelträger 13 gleitet.
Die Drehung einer Spindel 14 wird durch einen Motor bewirkt. Konstante Drehgeschwindigkeit dieser Spindel erzeugt eine Längsbewegung des Rahmens über den Spindelträger 13. Zwei Führungsstangen 16 und 17 sind parallel und auf beiden Seiten der Spindel angeordnet und werden endseitig in Köpfen 18 auf dem Tisch gehalten. Eine weitere Führungsstange 19 durchquert den Spindelträger 13 senkrecht zur Achse der Spindel 14 und ist endseitig in Kopfstücken 20 befestigt, die je auf einer der Führungsstangen 16 bzw. 17 gleiten.
709809/0750 .
Der Spindelträger 13 wird frei von einer weiteren Spindel 21 durchquert, und zwar senkrecht zur Spindel 14. Die Spindel 21 steht mit dem den Rahmen tragenden Spindelträger im Eingriff. Ein elektrischer Schrittschaltmotor, der am Rahmen befestigt ist, treibt die Spindel 21 an. Die beiden Druckschaltungsplatten Io und 11 werden von elektrischen Lampen beleuchtet, die in einem Lampenkasten 23 unter der Tischplatte angeordnet sind. Das Licht gelangt durch zwei öffnungen 24 in der Tischplatte von unten an die Druckschaltungsplatten.
Die beiden Motoren 15 und 22 steuern einen Koordinatenanzeiger 25, der beispielsweise einen Drucker enthält und die Koordinaten der Fehlerpunkte anzeigt, die von den Kameras ermittelt wurden. Auf einem Oszillographen 26 kann man die Kamerasignale beobachten.
Die Druckschaltungsplatten sind auf Mattglasscheiben (in der Figur nicht sichtbar) aufgelegt, wobei Zentrierstifte auf der Mattglasscheibe mit entsprechenden Löchern am Rand der Druckschaltungsplatten für eine genaue Positionierung sorgen. Die Mattglasscheiben können mit Hilfe präziser Stellschrauben wie 27 von Hand so lange verschoben werden, bis auf dem Oszillographen eine genaue Überlagerung von Eichpunkten auf den beiden Platten erkannt worden ist.
Das Grundprinzip des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, mit Hilfe opto-elektronischer Wandler die in der Brennebene der speziell für diesen Zweck entwickelten Kamera die von den erleuchteten Druckschaltungsplatten stammenden Leuchtstärken zu messen. Wenn die Platten transparent sind (beispielsweise aus Epoxyglas) erfolgt die Beleuchtung von unten, ansonsten
709809/0750 *A
per Reflektion. Die opto-elektronischen Wandler können drei Lichtstärken voneinander unterscheiden, je nachdem, ob das Objektiv der Kamera auf eine Metallfläche der Druckschaltung, auf die Platte selbst oder auf Löcher in der Platte gerichtet ist.
Die opto-elektronischen Wandler sind als Blöcke von Fotodioden in integrierter Schalttechnik ausgeführt, wobei die verfügbaren Blöcke 16, 64, 128, 256, 512 oder 1024 Fotodioden auf einer Linie besitzen und jede Fotodiode eine wirksame Fläche von 25 χ 25 Ai m besitzt.
Eine der beiden Kameras wird auf eine Normdruckschaltungsplatte ausgerichtet und die andere auf eine Druckschaltungsplatte, deren Qualität zu überwachen ist, derart, daß in jedem Augenblick die beiden Fotodiodenblöcke die Lichtstärke entsprechender Punkte der beiden Platten analysieren.
Die Fotodioden werden mit einer hohen Frequenz abgetastet (z.B. 1 MHz) und liefern Änalogimpulse,deren Amplitude und Länge von der Leuchtstärke der Plattenzone und der Form der Druckschaltung abhängt. In Fig. 2 ist mit A ein Ausschnitt aus der Normplatte und mit B der entsprechende Ausschnitt aus der zu prüfenden Platte dargestellt. Die auf einer Linie angeordneten Fotodioden der ersten Kamera erstrecken ihre Abtastung entlang der Linie w-z und liefern Analogsignale VDA, die in Fig. 2 unter den Plattenausschnitten dargestellt sind. Entsprechend ergeben die in Linie angeordneten Fotodioden der zweiten Kamera die entlang derselben Achse angeordnet sind, die Analogsignale VDB. Die Amplituden der Analogsignale sind durch zwei Schwellen Vs und VS in drei Amplitudenbereiche eingeteilt. Die Analogsignale liegen
709809/0750 ·/·
unterhalb der unteren Schwelle Vs, wenn ein Auge oder ein Leiterstück der Druckschaltungsplatte abgetastet wird, sie liegen zwischen den beiden Schwellen, wenn allein die Druckschaltungsplatte ohne Kupferbeschichtung abgetastet wird, und sie liegai über der oberen Schwelle VS, wenn das Licht durch ein Anschlußauge der Druckschaltungsplatte, d.h. durch ein Loch unmittelbar auf die Fotozellen fällt.
Der Ausschnitt B enthält einen Druckschaltungsfehler in Form einer äußeren Verbreiterung 30 eines Anschlußauges. Dieser Fehler ergibt einen Unterschied in den beiden Analogsignalen VDA und VDB. Die Analogsignale VDA und VDB, die von den Kameras 3 und 4 geliefert werden, werden gemäß Fig. 3 zwei Spannungskomparatoren ClA und ClB zugeführt, die in den Kameras eingebaut sind. An diese Komparatoren wird die untere Schwelle Vs angelegt,, so daß am Ausgang der Komparatoren eine binäre Spannung erscheint, DIA und DIB, die in Fig. 2 wiedergegeben ist.
Die von den Fotodioden stammenden Signale VDA und VDB sind weiter an Komparatoren C2A und C2B angelegt, die zu einem von der Kamera getrennten Logikbaustein gehören. An diese Komparatoren wird weiter die obere Schwelle VS angelegt, so daß am Ausgang binäre Signale DEA und DEB (siehe Fig. 2) verfügbar sind. Die einer ersten Kamera zugeordneten binären Signalzüge DIA und DEA werden an ein EXKLUSIV-ODER-Gatter PA angelegt, während die binären Signalzüge DIB und DEB der anderen Kamera an ein EXKLUSIV-ODER-Gatter PB angelegt sind. Die Ausgangssignale der beiden Gatter sind mit DA und DB bezeichnet (siehe Fig. 3) und in Fig. wiedergegeben.
709809/0750
Schließlich sind die Ausgänge der beiden Gatter PA und PB über ein weiteres EXKLUSIV-ODER-Gatter PD kombiniert, dessen Ausgang SD im Falle einer Abweichung zwischen den beiden Binär-
Fig.2_
zügen ein Fehlersignal, wie es infzu sehen ist, liefert.
Die Fotodioden, die zu einem Block gehören, werden nacheinander und zyklisch durch die interne Logik der Kamera abgetastet. Da die einander zugeordneten Paare der Fotodioden der beiden Blöcke gleichzeitig gelesen werden müssen, muß die Abtastfrequenz der beiden Blöcke nach Frequenz und Phase übereinstimmen. Da jede Kamera ihre eigene interne Taktsteuerung hat und die Kameras nicht von vorneherein für einen exakt synchronen Betrieb ausgelegt worden sind, werden sie extern synchronisiert. Hierzu dient ein elektronischer Zähler, der ebenso viele Zählschritte aufweistjWde Fotodioden in einem Block angeordnet sind, und von dem Takt einer der Kameras, der Mutterkamera stammt, welche den Taktgeber der anderen Kamera steuert.
Die Abtastung der Oberfläche der Druckschaltungsplatten durch die Fotodioden der beiden Kameras wird durch wechselweise Bewegung des Rahmens in den beiden Koordxnatenrxchtungen wie folgt erreicht.
Der Motor 15 verschiebt den Rahmen mit konstanter Geschwindigkeit und kehrt seine Drehrichtung an jedem Zeilenende um. Dabei wird gleichzeitig ein Querbewegungsschritt ausgeführt, der der größten Länge des Blocks entspricht, so daß eine völlige Abdeckung der abgetasteten Zonen erreicht wird. Die Querbewegung erfolgt durch den Schrittschaltmotor 22. Die Umschaltung der Motoren wird durch Enddetektoren erreicht, die in der Figur nicht dargestellt sind. In Fig. 4 ist die Abtastspur der Kamera gegen-
709809/0750. ./.
über dem Rahmen dargestellt, wobei die Längsbewegung mit dlo und die Querbewegung dia bezeichnet ist. Die in einem gegebenen Augenblick abgetastete Teilfläche entsprechend einem Fotodiodenblock ist mit ba bezeichnet. Die Länge eines Schritts in der Querrichtung dia ist geringfügig kürzer als die Länge der Fotodiodenlinie, während die Länge der Längsbewegung dlo der wirksamen Länge der Druckschaltungsplatten senkrecht zur Längsausrichtung des Fotodiodenblocks gleicht.
Es ist darauf geachtet, daß die Achsen der beiden Fotodiodenblöcke in den beiden Kameras genau auf einer gemeinsamen Linie liegen, die zu einer Achse des Koordinatensystems, in dem der Rahmen beweglich ist, parallel ist.
Die Fotodioden werden mit der Taktfrequenz abgetastet (z.B. 1 MHz) und der Rahmen wird gleichzeitig in Längsrichtung dlo mit konstanter Geschwindigkeit verschoben. Nimmt man 16 Fotodioden für einen Block an, so erfolgt ein Lesezyklus alle 16 Mikrosekunden. Während dieser Zeit lädt sich die Kapazität einer Fotodiode in Abhängigkeit von der Lichtstärke der dieser Fotodiode zugeordneten Elementarzone der Platte auf.
Allgemeiner gesprochen wird eine Fotodiode nach einer Minimalzeit T = t.n abgetastet, wobei t die Lesedauer einer Fotodiode und η die Anzahl der Fotodioden eines Blocks bildet. Nimmt man eine konstante Geschwindigkeit vth für die Längsgeschwindigkeit dlo an, dann werden die Elementarzonen nacheinander in Serie abgetastet, so daß benachbarte Elementarzonen in Längsrichtung um einen Abstand d gegeneinander verschoben sind. Ein und dieselbe Fotodiode tastet nacheinander zwei Elementarzonen ab, die um den Abstand D gegeneinander verschoben sind (Fig. 5a). h ist in der Figur als die Höhe einer Elementarzone, z.B. die Elementarzone ze
709809/0750
bezeichnet, die von einer Fotodiode zu einem gegebenen Zeitpunkt abgetastet wird. H ist die Höhe einer Blockzeile, die während eines Lesezyklus abgetastet wird. Mit K ist die Breite der vom Block abgetasteten Zone ba bezeichnet.
Aus Fig. 5a erkennt man, daß bei einer Abtastgeschwindigkeit vth ein Informationsverlust in dem gestreift dargestellten Bereich zu verzeichnen ist, da dieser Bereich während der Zeit von der Fotodiode überstrichen wird, während der sie nicht abgetastet wird.
Um eine völlige Überdeckung der Druckschaltplatten zu erreichen, muß d gleich h sein, d.h. die wirkliche Geschwindigkeit vpt muß nach folgender Formel gewählt werden :
= =
nt T
Bei Beachtung dieser Formel berühren sich die Elementarzonen, wie es in Fig. 5b dargestellt ist.
Die logischen Schaltkreise des Koordinatenanzeigers sind in Fig. 6 dargestellt, wobei die Komparatoren C2A und C2B sowie die Gatter PA, PB aus Figur 3 nochmals aufgeführt sind, da sie in der Praxis mit dem Koordinatenanzeiger baulich vereinigt sind. Die binären Signale DEA am Ausgang des Komparators C2A werden einem Eingang des EXKLUSIV-ODER-Gatters PA über ein NICHT-UND-Gatter PSA und eine Kippstufe BA zugeführt.
Die Binärsignale DIA, die aus der Kameraelektronik stammen, werden dem zweiten Eingang des Gatters PA zugeführt, dessen Ausgang mit dem ersten Eingang des EXKLUSIV-ODER-Gatters PD verbunden ist. Die Binärsignale DEB des Komparators C2B werden dem ODER-Gatter PB über ein NICHT-UND-Gatter PSB und eine Kippstufe BB zugeführt. Die von der Kameraelektronik stammenden Signale DIB werden unmittelbar desß zweiten Eingang des Gatters PB
709809/0750
zugeführt, dessen Ausgang DB mit dem zweiten Eingang des Gatters PD verbunden ist.
Die NICHT-UND-Gatter PSA und PSB haben drei Eingänge, wobei der zweite Eingang dieser beiden Gatter gemeinsam mit einem Synchronisationssignal VAL beaufschlagt wird, während der dritte Eingang beider Tore mit einem Taktsignal el beschickt wird. Die Binärsignale DEA und DEB werden durch die Tore PSA und PSB in eine Folge von Binärimpulsen umgewandelt, deren Frequenz gleich der Taktfrequenz ist und die binär in den Kippstufen BA und BB mit Taktfrequenz invertiert werden.
Mit jedem Taktimpuls erscheint also an den Ausgängen SA und SB der Kippstufen DA und DB ein Bruchstück des Signals DEA bzw. DEB mit der Impulsbreite des Taktsignals.
Bei jedem Taktimpuls wird die logische Exklusivsumme des Signals DIA und des augenblicklichen Zustandssignals DEA entsprechend der Länge der Taktimpulse gebildet und gleichzeitig die logische Exklusivsumme des Signals DIB und des augenblicklichen Zustande des Signals DEB gebildet, so daß die Gatter PA und PB je ein Binärsignal liefern. Das Gatter PD liefert schließlich einen Zustand Null, solange die Form des Kupferbelags auf der Druckschaltungsplatte beider Platten gleich ist.
Wenn dagegen die Gatter PA und PB Signale unterschiedlicher Binärwertigkeit liefern, dann erscheint am Ausgang des Gatters PD ein Zustand 1, der einem Fehler entspricht.
Während eines ersten Lesezyklus der Fotodioden werden die von dem Gatter PD gelieferten Binärsignale in einem Schieberegister RDl gespeichert und während eines zweiten Zyklus werden diese Signale in einem zweiten Schieberegister RD2 gespeichert.
709803/0750 ./,
Die beiden Register sind in Serie angeordnet und haben je soviele Zellen, wie Fotodioden in einem Block vorhanden sind. Der Schiebetakt dieser Register entspricht dem allgemeinen Takt el, und zwar unter Berücksichtigung des Synchronisationssignals VAL. Diese letztgenannten Signale werden einem UND-Gatter Pl zugeführt, dessen Ausgang mit den Verschiebeeingängen Hl und H2 der beiden Register verbunden ist. Die drei Eingänge eines weiteren UND-Tors P2 sind einerseits mit dem Ausgang SD des Gatters PD und andererseits mit den Ausgängen der beiden Register derart verbunden, daß dieses Gatter nur geöffnet ist, wenn ein Fehler (Zustand 1) von ein und derselben Fotodiode während dreier aufeinanderfolgender Lesezyklen festgestellt worden ist.
Der Ausgang des Gatters P2 ist einerseits an die Wechseleingänge J und K einer Kippstufe Bl und andererseits an die Rückstelleingänge dieser Kippstufe sowie einer weiteren Kippstufe B2 gleichen Typs angeschlossen. Der Ausgang Q der Kippstufe Bl ist an die Wechseleingänge J und K der Kippstufe B2 angeschlossen und an einen ersten Eingang eines NICHT-UND-Tores P3, dessen zweiter Eingang an den Ausgang Q der Kippstufe B2 angeschlossen ist. Der Ausgang des Gatters P3 führt an den Eingang eines NICHT-UND-Gatters P4, dessen Ausgang an den Setz-, eingang J einer Kippstufe B3 angeschlossen ist. Der komplementäre Ausgang Q dieser Kippstufe führt zu einem zweiten Eingang des Gatters P4, während der normale Ausgang Q an einen Ausgang ED führt, an dem die Fehlersignale abnehmbar sind.
Der Eingang el der Schaltung, der die Taktimpulse führt, ist mit den Takteingängen der Kippstufen Bl, B2 und B3 verbunden.
Wenn kein Fehler festgestellt wird, dann bleibt das Gatter P2 gesperrt und hält die Kippstufen Bl und B2 im Zustand
709809/0750-
1O' über deren Rücksetzeingänge R. Das Gatter P3, dessen beide Eingänge den ZustandO*aufweisen, liefert am Ausgang einen Zustand 1. Die Kippstufe B3 war vorher durch eine von außen kommende Steuerung über einen Eingang RZ,der zum Rücksetzeingang R dieser Kippstufe führt, auf*O**gestellt worden. Der komplementäre Ausgang Q dieser Kippstufe hält das Tor P4 im Zustand "θ1* und signalisiert diesen Zustand an den Ausgang ED.
Wenn dagegen hintereinander drei Fehler an derselben Stelle aufgetreten sind, dann liefert das Gatter P2 einen Zustand"l" und setzt mit der unmittelbar darauffolgenden Vorderflanke des nächsten Taktimpulses die Kippstufe Bl in den Zustand 1. Mit dem übernächsten Taktimpuls gelangt die Kippstufe Bl wieder in den Zustand'o* während die Kippstufe B2 unverändert auf"θ*bleibt und das Gatter P3 gesperrt bleibt.
Mit dem nun folgenden Taktimpuls gelangt die Kippstufe Bl wieder in den Zustand 1 und kippt die nachfolgende Kippstufe B2 um. Das Gatter P3, dessen beide Eingänge'l sind liefert einen Zustand'fO? und das Gatter P4 einen Zustand"lT
Die Kippstufe B3, · deren Setzeingang J 1 zeigt, kippt in den Zustand"l1* und liefert ein Fehlersignal an den Ausgang ED der Schaltungsanordnung.
Der Komplementärausgang dieser Kippstufe zeigt den Zustand o"und bestätigt damit den Ausgangszustand 1 des Gatters P4.
Der Ausgang ED dieser Schaltungsanordnung ist an Vielfachtorschaltungen CPl und CP2 in Fig. 7 angeschlossen.
Die Quer- und Längsverschiebung des Rahmens 7 wird von elektronischen Kodiergeräten LX und LY verschlüsselt. Diese Geräte
709809/07 5 0 ./.
übermitteln in Binärkode die Koordinaten an Register Rl und R2 und zwar über die Vielfachtorschaltungen, die nur geöffnet werden,
ff "
wenn ein 1-Signal am Anschluß ED vorliegt.
Die Register Rl und R2 behalten die Koordinaten der Fehlerpunkte solange gespeichert, bis sie durch eine Anzeigeeinheit UE (Drucker, Magnetband, usw.) registriert worden sind. Nach der Registrierung löscht die Anzeigeeinheit die Inhalte der Register Rl und R2 über einen Rücksetzbefehl,der den Rücksetzeingängen RZl und RZ2 dieser Register zugeführt wird.
Die die Zeichnung der Druckschaltungen überwachende Kamera kann vorteilhafterweise ein Mittel zur unmittelbaren Kennzeichnung der fehlerhaften Stelle aufweisen, und zwar mit Hilfe eines Tintentropfens, der in unmittelbarer Nähe des Fehlers auf die Platte aufgetragen wird. Diese Maßnahme wird durch das am Anschluß ED vorhandene Fehlersignal gesteuert.
Jede transparente Druckschaltungsplatte,wie beispielsweise die Platte 11,wird von drei Lichtquellen erhellt, von denen eine, S3, in der Achse der Kamera, und die beiden anderen, Sl und S2, zu beiden Seiten davon angeordnet sind, wie es Fig. 8 zeigt. Lichtreflektoren RFl, RF2 und RF3 hinter den Lichtquellen vermögen die Lichtstrahlen auf die gerade überwachte Zone der Druckschaltungsplatte zu konzentrieren. Die Lichtstärke der Quelle S3, die in der Achse der Kamera liegt, wird vorzugsweise geringer gewählt als die der beiden anderen Quellen, um eine Übersättigung der Fotodioden bei einem direkten Lichtauffall durch ein Loch in der Druckschaltungsplatte zu vermeiden.
Im dargestellten Beispiel sind die Kameras ortsfest montiert und die Druckschaltungsplatten werden auf einem entlang von Koordinatenachsen beweglichen Rahmen montiert, jedoch läge
709809/0750
im Rahmen der Erfindung auch eine Vorrichtung mit ortsfestem Rahmen und beweglichen Kameras.
709809/0750

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE
    Verfahren zum automatischen Vergleich zweier Bilder, insbesondere einer Normdruckschaltungsplatte mit einer gerade gefertigten Druckschaltungsplatte, mit Hilfe von zwei Kameras, von denen je eine auf eines der beiden erleuchteten Bilder gerichtet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Kameras opto-elektronische Wandler aufweisen und daß.. Translationsmittel die parallele Abtastung gleicher Zonen der beiden Bilder ermöglichen, wobei von den Kameras gelieferte Analogsignale in Binärsignale umgewandelt und zur Erarbeitung eines Fehlersignals miteinander verglichen werden.
    2 - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilder Druckschaltungsplatten sind und auf einem gemeinsamen Rahmen senkrecht zur Abtastrichtung der Kameras angeordnet sind, derart, daß die Objektive dieser Kameras je eine gleichartige Zone der beiden Druckschaltungsplatten abtasten, wobei die beiden Kameras ortsfest angeordnet sind und der Rahmen in seiner Ebene entlang zweier rechtwinkliger Koordinaten beweglich ist, und in einer der beiden Richtungen mit konstanter Geschwindigkeit von einem Endpunkt zum entgegengesetzten verschoben wird, während am Endpunkt eine"QuerverSchiebung des Rahmens erfolgt, deren Wegstrecke von der Abmessung des Kamerafeldes und der Vergrößerung ihres Objektivs abhängt.
    3 - Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kameras Analogsignale liefern, die von einer sequentiellen und zyklischen Abtastung der Wandler stammen und in der Kamera aufgrund eines Vergleichs mit einer unteren Schwellwertspannung in "interne' Binärzüge"
    709809/0750 .
    -ie- 2 6 3 b 5 6 3
    umgewandelt werden, wobei der Binärzustand 1 einer unbeschichteten oder gar perforierten Zone der Platte entspricht und der Zustand 0 einer mit Kupferbeschichtung versehenen Zone, und daß die Analogsignale weiter außerhalb der Kamera mit einer oberen Schwelle verglichen werden und dadurch in "externe Binärzüge" verwandelt werden, daß zwei EXKLUSIV-ODER-Gatter die exklusive Summe der internen und externen Binärzüge jeder Kamera und ein drittes EXKLUSIV-ODER-Gatter die exklusive Summe der resultierenden Binärzüge derart erzeugen, daß der endgültige Binärzug ein logisches SignaI1O1OdBr11I11 aufweist, je nachdem, ob zwischen dem Druckschaltungsbild der beiden Druckschaltungsplatten Übereinstimmung oder eine Abweichung besteht.
    4 - Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die sequentielle und zyklische Abtastung der in Reihe angeordneten Wandler jedes Wandlerblocks der beiden Kameras synchron mit hoher Frequenz erfolgt, wobei die Abtastfrequenz und die konstante Vorschubgeschwindigkeit des Rahmens so gewählt sind, daß die abgetasteten Zonen der Druckschaltungsplatten etwa aneinander liegen.
    5 - Verfahren nach Anspruch 3, dadurch geken n— zeichnet, daß der endgültige Binärzug, der eine mangelnde Übereinstimmung angibt, auf zwei Vielfachtorschaltungen einwirkt, deren Eingänge je von einem Kodiergerät für die Stellung des Rahmens gemäß der beiden Koordinatenachsen gespeist werden, wobei diese Vielfachtorschaltungen bei Auftreten eines Fehlers die binären Koordinaten der Lage des Rahmens in zwei Zwischenregister übertragen und wobei das Fehlersignal auch gegebenenfalls Mittel
    709809/0750 -/·
    zur direkten Markierung des Fehlers auf der Druckschaltungsplatte aufweist.
    6 - Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Tisch (1) aufweist, der einen entlang zweier Koordinatenachsen in seiner Ebene verschiebbaren Rahmen (7) mit zwei Fenstern (8 und 9) trägt, auf die ein Normbild und ein zu prüfendes Bild nebeneinander aufgelegt werden, und daß zwei mit Fotodioden ausgestattete Kameras senkrecht zur Fensterebene ausgerichtet sind, wobei der Tisch zwei öffnungen (24) in Flucht zu den Achsen der beiden Kameras aufweist, durch die Licht von unten auf die transparenten Bilder geworfen wird, und daß die Ausgänge der Fotodioden zu logischen Schaltkreisen führen, durch die eine synchrone Verarbeitung der von den beiden Kameras
    wird^ stammenden Signale zu einem binären Signalzug ermöglich^ Dei dem einer der Binärzustände einen Fehler in der überexnstimmung der beiden Bilder anzeigt.
    7 - Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen von einem Spindelträger (12) getragen wird, der in einem weiteren Spindelträger (13) gleitet, wobei letzterer in Längsrichtung auf einer Spindel (14) sitzt, die von einem Motor (15) mit konstanter Geschwindigkeit und Richtungsumkehr angetrieben wird, daß der zweite Spindelträger (13)' bei seiner Verschiebung durch eine Führungsstange (19) getragen wird, die seitlich den Spindelträger durchdringt, daß die freien Enden der Trägerstange je in einem Kopfstück (20) gehalten werden, das auf einer weiteren Führungsstange (16) gleitet, dessen Enden in Köpfen (18) auf dem Tisch (1) befestigt
    709809/0750 ./.
    sind, daß der Spindelträger (12) mit einer Spindel (21) zusammenwirkt, die parallel zur Führungsstange (19) angeordnet ist, und von einem Schrittschaltmotor (22), der am Rahmen seitlich befestigt ist, angetrieben wird, wobei Endschalter das Ende der Bewegung des Rahmens in einer Richtung mit konstanter Geschwindigkeit erkennen und die Drehrichtung des Motors mit konstanter Geschwindigkeit (15) umkehren, sowie den Schrittschaltmotor für einen Schritt einschalten.
    8 - Vorrichtung nach Anspruch 6, mit zwei Kameras, die
    je einen internen Taktgeber besitzen, dadurch gekenn-
    der anderen Kamera zeichnet, daß eine der Kamerasfden Takt ihres Taktgebers über ein elektronisches Synchronisationssystem mit Hilfe eines Synchronisationssignals aufprägt, das durch Auszählen einer der Anzahl der Fotodioden eines Wandlers entsprechenden Anzahl von Taktimpulsen entsteht, wobei dieses Synchronisationssignal in die beiden Kameras eingeführt wird.
    9 - Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß logische Schaltkreise zur synchronen Behandlung der Analogsignale der beiden Kameras zwei Spannungskomparatoren (C2A, C2B) aufweisen, an die die analogen Signale angelegt werden und die durch Vergleich mit einer oberen Schwelle externe Binärzüge (DEA, DEB) erzeugen, welche je einer Kippstufe (BA, BB) über je ein NICHT-UND-Gatter (PSA, PSB) zugeführt werden, wobei diese Gatter während eines Lesezyklus der Fotodioden für die Binärzüge durchlässig sind und wobei Taktsignale sowohl diesen Gattern als auch dem jeweils zweiten Eingang (E2) der Kippstufen zugeführt werden, derart, daß die externen Binärzüge der Kameras am Ausgang der Kippstufen auf den Rhythmus dieser Taktimpulse synchronisiert sind.
    709809/0750
    10 - Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch, gekennzeichnet, daß die Ausgänge der Kippstufen (BA, BB) je auf ein EXKLUSIV-ODER-Gatter (PA, PB) führen, denen andererseits die internen Binärzüge (DIA, DIB) der zugeordneten Kamera zugeführt werden, und daß die Ausgänge dieser Gatter (PA, PB) in einem weiteren EXKLUSIV-ODER-Gatter (PD) derart vereinigt sind, daß im Fall mangelnder tibereinstimmung der von den beiden ersten EXKLUSIV-ODER-Gattern (PA, PB) gelieferten Signale das dritte Gatter ein 1-Signal liefert, das einen Fehler in einem der Bilder anzeigt.
    11 - Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß logische Schaltkreise zur Wiederholung des Fehlersignals vor seiner endgültigen Registrierung vorgesehen sind, wobei diese Schaltkreise mindestens zwei Schieberegister (RDl, RD2) aufweisen, die in Serie miteinander verbunden sind und deren Kapazität je der Anzahl der Fotodioden einer Kamera entspricht, wobei die Dateneingänge des ersten Registers (RDl) an den Ausgang des dritten EXKLUSIV-ODER-Gatters (PD) angeschlossen sind,und die Takteingänge beider Register die Taktsignale über ein erstes UND-Gatter empfangen, das vom Synchronisationssignal gesteuert wird, und wobei Dateneingang und Datenausgang der beiden Register an ein weiteres UND-Tor (P2) derart angeschlossen sind, daß das Fehlersignal in den Registern während zweier Lesezyklen der Fotodioden gespeichert wird und das UND-Gatter (P2) * geöffnet wird, wenn der Fehler noch während eines dritten Lesezyklus an derselben Stelle vorhanden ist.
    χ χ
    709809/0750
DE19762635563 1975-08-13 1976-08-06 Verfahren und vorrichtung zum automatischen vergleich zweier bilder Withdrawn DE2635563A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7525234A FR2321229A1 (fr) 1975-08-13 1975-08-13 Procede et appareillage pour controle automatique de graphisme

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2635563A1 true DE2635563A1 (de) 1977-03-03

Family

ID=9159057

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762635563 Withdrawn DE2635563A1 (de) 1975-08-13 1976-08-06 Verfahren und vorrichtung zum automatischen vergleich zweier bilder

Country Status (11)

Country Link
US (1) US4185298A (de)
JP (1) JPS5223365A (de)
BE (1) BE844695A (de)
CH (1) CH609820A5 (de)
DE (1) DE2635563A1 (de)
FR (1) FR2321229A1 (de)
GB (1) GB1515206A (de)
IE (1) IE43287B1 (de)
IT (1) IT1067798B (de)
NL (1) NL7609069A (de)
SE (1) SE412470B (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0070017A1 (de) * 1981-07-14 1983-01-19 Hitachi, Ltd. Mustererkennungssystem
DE3151265A1 (de) * 1981-12-24 1983-07-14 Bayerische Motoren Werke AG, 8000 München Pruefverfahren fuer eine schraubenverbindung und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
EP2622328B1 (de) 2010-09-27 2019-08-07 Viprotron GmbH Verfahren und vorrichtung zur anzeige von automatisiert ermittelten fehlerstellen

Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2420796A1 (fr) * 1978-03-24 1979-10-19 Thomson Csf Systeme de controle d'un dessin inscrit sur un support plan
US4498779A (en) * 1979-01-10 1985-02-12 Rca Corporation Automatic stripe width reader
JPS55132904A (en) * 1979-04-05 1980-10-16 Fuji Electric Co Ltd Shape inspection system
JPS55142254A (en) * 1979-04-25 1980-11-06 Hitachi Ltd Inspecting method for pattern of printed wiring board
DE2934038C2 (de) * 1979-08-23 1982-02-25 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Rißfortschritts-Meßeinrichtung
DE2950003C2 (de) * 1979-12-12 1983-08-11 Windmöller & Hölscher, 4540 Lengerich Verfahren zur Regelung der Foliendicke an einer Blasfolien-Extruderanlage
EP0054596B1 (de) * 1980-12-18 1985-05-29 International Business Machines Corporation Verfahren für die Inspektion und die automatische Sortierung von Objekten, die Konfigurationen mit dimensionellen Toleranzen aufweisen und platzabhängige Kriterien für die Verwerfung, Anlage und Schaltung dafür
EP0054598B1 (de) * 1980-12-18 1985-04-03 International Business Machines Corporation Verfahren zum Untersuchen und automatischen Sortieren von Objekten bestimmter Gestalt mit festen dimensionalen Toleranzen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
FR2500925A1 (fr) * 1981-03-02 1982-09-03 Atelier Outillage Orleanais Sa Procede pour controler des percages pratiques dans une piece, notamment une carte a circuits imprimes, et appareil pour la mise en oeuvre de ce procede
US4910401A (en) * 1982-01-20 1990-03-20 The Boeing Company LWIR sensor system with improved clutter rejection
US4500202A (en) * 1982-05-24 1985-02-19 Itek Corporation Printed circuit board defect detection of detecting maximum line width violations
JPS5987607U (ja) * 1982-12-03 1984-06-13 日立電子エンジニアリング株式会社 相互比較方式パタ−ン検査機の位置合せ装置
US4538909A (en) * 1983-05-24 1985-09-03 Automation Engineering, Inc. Circuit board inspection apparatus and method
US4578810A (en) * 1983-08-08 1986-03-25 Itek Corporation System for printed circuit board defect detection
US4556903A (en) * 1983-12-20 1985-12-03 At&T Technologies, Inc. Inspection scanning system
US4600951A (en) * 1983-12-20 1986-07-15 At&T Technologies, Inc. Scanning sample, signal generation, data digitizing and retiming system
US4618938A (en) * 1984-02-22 1986-10-21 Kla Instruments Corporation Method and apparatus for automatic wafer inspection
US4556317A (en) * 1984-02-22 1985-12-03 Kla Instruments Corporation X-Y Stage for a patterned wafer automatic inspection system
JPS60263807A (ja) * 1984-06-12 1985-12-27 Dainippon Screen Mfg Co Ltd プリント配線板のパタ−ン欠陥検査装置
US4648053A (en) * 1984-10-30 1987-03-03 Kollmorgen Technologies, Corp. High speed optical inspection system
JPS61213612A (ja) * 1985-03-19 1986-09-22 Hitachi Ltd プリント基板のパタ−ン検査装置
US4881269A (en) * 1985-07-29 1989-11-14 French Limited Company - Centaure Robotique Automatic method of optically scanning a two-dimensional scene line-by-line and of electronically inspecting patterns therein by "shape-tracking"
JPS62244611A (ja) * 1986-04-18 1987-10-26 Toshiba Mach Co Ltd プラスチツク筒状物成形用プラグ装置
US4905261A (en) * 1989-01-23 1990-02-27 Zane Machine Co. Defrosting grid system testing apparatus
US5125035A (en) * 1989-12-18 1992-06-23 Chromalloy Gas Turbine Corporation Five axis generated hole inspection system
FR2669180A1 (fr) * 1990-11-12 1992-05-15 Axis Vision Sarl Machine d'inspection de composants assembles sur une carte electronique.
JP2500961B2 (ja) * 1990-11-27 1996-05-29 大日本スクリーン製造株式会社 プリント基板の座残り検査方法
US5164785A (en) * 1991-02-08 1992-11-17 Hopkins Manufacturing Corporation Headlight aiming apparatus and display
US5335091A (en) * 1991-12-31 1994-08-02 Eastman Kodak Company Apparatus for mechanically dithering a CCD array
US5331393A (en) * 1992-12-11 1994-07-19 Hopkins Manufacturing Corporation Method and apparatus for locating a specific location on a vehicle headlamp
US5392360A (en) * 1993-04-28 1995-02-21 International Business Machines Corporation Method and apparatus for inspection of matched substrate heatsink and hat assemblies
US5485265A (en) * 1994-09-02 1996-01-16 Hopkins Manufacturing Corporation Vehicle headlight aiming apparatus
EP0718624A3 (de) * 1994-12-19 1997-07-30 At & T Corp Vorrichtung und Verfahren zur Beleuchtung durchsichtiger und halbtransparenter Materialien
US5831669A (en) * 1996-07-09 1998-11-03 Ericsson Inc Facility monitoring system with image memory and correlation
WO1998015919A1 (fr) * 1996-10-09 1998-04-16 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Procede et appareil de detection de defauts de raies sur des documents imprimes
US6158119A (en) * 1997-07-14 2000-12-12 Motorola, Inc. Circuit board panel test strip and associated method of assembly
US6173071B1 (en) * 1997-12-16 2001-01-09 Harold Wasserman Apparatus and method for processing video data in automatic optical inspection
JPH11271959A (ja) * 1998-03-24 1999-10-08 Oki Electric Ind Co Ltd フォトマスク並びにその良否判定方法及び装置
US6324298B1 (en) * 1998-07-15 2001-11-27 August Technology Corp. Automated wafer defect inspection system and a process of performing such inspection
IL133313A (en) * 1999-12-05 2004-12-15 Orbotech Ltd Adaptive tolerance reference inspection system
US7034930B1 (en) * 2000-08-08 2006-04-25 Advanced Micro Devices, Inc. System and method for defect identification and location using an optical indicia device
US7522745B2 (en) * 2000-08-31 2009-04-21 Grasso Donald P Sensor and imaging system
US7562350B2 (en) * 2000-12-15 2009-07-14 Ricoh Company, Ltd. Processing system and method using recomposable software
AU2003270386A1 (en) * 2002-09-06 2004-03-29 Rytec Corporation Signal intensity range transformation apparatus and method
US7233871B2 (en) * 2003-03-10 2007-06-19 Landrex Technologies Co., Ltd. Inspection window guard banding
US7504965B1 (en) 2005-08-05 2009-03-17 Elsag North America, Llc Portable covert license plate reader
US7869645B2 (en) * 2008-07-22 2011-01-11 Seiko Epson Corporation Image capture and calibratiion
US8090184B2 (en) * 2008-07-23 2012-01-03 Seiko Epson Corporation Fault detection of a printed dot-pattern bitmap
US8269836B2 (en) * 2008-07-24 2012-09-18 Seiko Epson Corporation Image capture, alignment, and registration
KR101251372B1 (ko) * 2008-10-13 2013-04-05 주식회사 고영테크놀러지 3차원형상 측정방법
TWI387721B (zh) * 2008-11-21 2013-03-01 Ind Tech Res Inst 三維形貌檢測裝置
USRE43925E1 (en) * 2008-11-21 2013-01-15 Industrial Technology Research Institute Three dimensional profile inspecting apparatus
US9355444B2 (en) * 2012-09-28 2016-05-31 Skyworks Solutions, Inc. Systems and methods for processing packaged radio-frequency modules identified as being potentially defective
CN103149150B (zh) * 2013-01-31 2015-07-01 厦门大学 一种悬挂式检测台
CN103487442A (zh) * 2013-09-25 2014-01-01 华南理工大学 一种新型挠性电路板缺陷检测装置及方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3339076A (en) * 1964-01-13 1967-08-29 Univ Minnesota Dual differential densitometer
NL7409850A (nl) * 1974-07-22 1976-01-26 Philips Nv Werkwijze en inrichting voor het testen van een tweedimensionaal patroon.

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0070017A1 (de) * 1981-07-14 1983-01-19 Hitachi, Ltd. Mustererkennungssystem
DE3151265A1 (de) * 1981-12-24 1983-07-14 Bayerische Motoren Werke AG, 8000 München Pruefverfahren fuer eine schraubenverbindung und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
EP2622328B1 (de) 2010-09-27 2019-08-07 Viprotron GmbH Verfahren und vorrichtung zur anzeige von automatisiert ermittelten fehlerstellen

Also Published As

Publication number Publication date
US4185298A (en) 1980-01-22
SE7608971L (sv) 1977-02-14
BE844695A (fr) 1977-01-31
FR2321229B1 (de) 1980-02-08
IE43287B1 (en) 1981-01-28
SE412470B (sv) 1980-03-03
NL7609069A (nl) 1977-02-15
JPS5223365A (en) 1977-02-22
FR2321229A1 (fr) 1977-03-11
GB1515206A (en) 1978-06-21
CH609820A5 (de) 1979-03-15
IT1067798B (it) 1985-03-16
IE43287L (en) 1977-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2635563A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum automatischen vergleich zweier bilder
DE2952106C2 (de) Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
EP0228500B2 (de) Verfahren und Einrichtung zur berührungslosen Vermessung des Radprofils der Räder von Eisenbahnradsätzen
DE3104972C2 (de) Lichtelektrische inkrementale Positioniereinrichtung
DE2802417C2 (de)
DE2265346A1 (de) System zum ausrichten erster und zweiter, relativ zueinander bewegbarer objekte
DE2431206A1 (de) Vorrichtung zum optischen lesen einer beugungsspur
DE2330415A1 (de) Verfahren zum beruehrungslosen messen eines bewegten gegenstandes und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE2653590C3 (de) Vorrichtung zum Ermitteln von Fehlern in flächenhaften Mustern, insbesondere in Photomasken
EP0061021A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung von Fehlern von Glasgegenständen
DE2441351C2 (de) Selbstprüfende Fehlerprüfschaltung
DE60012672T2 (de) Prüfvorrichtung mit Laserstrahl
DE3113166C2 (de) Vorrichtung zum elektro-optischen Ablesen eines Schriftstückes oder dergl.
DE2333698B1 (de) Digitaler Positionsgeber
DE3202807C2 (de) Phasensynchronisierungsvorrichtung in einem Spektralanalysegerät
DE4119109A1 (de) Verfahren zum testen von displaybausteinen und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens
DE4024499C1 (de)
CH683109A5 (de) Messeinrichtung für Geleisebaumaschinen.
DE2944588C2 (de) Lichtgitter
DE2849749A1 (de) Verfahren zum betreiben von elektrooptischen wandlern und anordnung hierzu
EP0072386A1 (de) Impulsgeber zum Erzeugen von elektronischen Impulsfolgen
DE3048444C2 (de) Abtastverfahren und Schaltungsanordnung einer Wärmebildkamera
DE2126774A1 (de) Einrichtung und Verfahren zum Bestimmen der Größe von Verschiebebewegungen unter Verwendung von Interferenz streifen
DE2811127C3 (de) Einrichtung zum Prüfen der Güte von gedruckten Spulen
DE2755576C2 (de) Prüfeinrichtung für eine bestückte Leiterplatte

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee