DE2633409A1 - Vorrichtung zur erzeugung korrespondierender bruchflaechen - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung korrespondierender bruchflaechen

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DE2633409A1 DE19762633409 DE2633409A DE2633409A1 DE 2633409 A1 DE2633409 A1 DE 2633409A1 DE 19762633409 DE19762633409 DE 19762633409 DE 2633409 A DE2633409 A DE 2633409A DE 2633409 A1 DE2633409 A1 DE 2633409A1
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Walter Dr Umrath
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold Heraeus GmbH
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

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