DE2633038A1 - Elektrolumineszierende vorrichtung - Google Patents

Elektrolumineszierende vorrichtung

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DE2633038A1 DE19762633038 DE2633038A DE2633038A1 DE 2633038 A1 DE2633038 A1 DE 2633038A1 DE 19762633038 DE19762633038 DE 19762633038 DE 2633038 A DE2633038 A DE 2633038A DE 2633038 A1 DE2633038 A1 DE 2633038A1
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electroluminescent
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DE19762633038
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Raymond Ellis
Aron Vecht
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Phosphor Products Co Ltd
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/26Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode

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  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Description

  • Elektrolumineszierende Vorrichtung Die Erfindung betrifft eine elektrolumineszierende Vorrichtung, bestehend aus einem transparenten Substrat und einer auf dem Substrat angeordneten transparenten Elektrode, die eine Oberfläche aufweist, auf welcher eine Schicht eines elektrolumineszierenden Materials angeordnet ist, welches elektrischen Strom zu leiten vermag.
  • Derartige Vorrichtungen werden so hergestellt, daß auf der Oberfläche eines transparenten Substrats, beispielsweise einer Glasplatte, eine transparente Schicht eines elektrisch leitenden Materials, wie beispielsweise Zinnoxid, aufgebracht wird. Die unerwünschten Bereiche dieser Schicht werden sodann beseitigt, so daß sich eine Elektrode der gewünschten Form ergibt, welche Bereiche aufweist, die späterhin Licht aussenden sollen. An einer Kante des Substrats ist ein leitfähiger Streifen angeordnet, von welchem geeignete Verbindungen zu den vorgenannten Bereichen der Elektrode führen. Auf die Oberfläche der Elektrode wird sodann eine elektrolumineszierende Schicht aufgebracht, und zwar in Form einer Farbe, welche aus einem elektrolumineszierenden Puder und einem damit vermischten geeigneten Binder besteht.
  • Nachdem diese Farbe getrocknet ist, wird eine elektrisch leitende Schicht, beispielsweise aus Aluminium aufgebracht, welche die andere Elektrode der Vorrichtung bildet. Zum Zwecke des Schutzes wird die Vorrichtung sodann eingekapselt.
  • In diesem Zustand ist es noch nicht möglich, daß die Vorrichtung Licht aussendet. Zuvor muß nämlich ein Schritt ausgeführt werden, damit sich die geeignete Struktur der elektrolumineszierenden Schicht ausbildet. Um dies zu erreichen, wird ein Gleichstrom angelegt, wobei die transparente Elektrode als positive Elektrode angeschlossen wird. Dies bewirkt, daß der Widerstand spezieller Teile der elektrolumineszierenden Schicht anwächst, der Stromdurchgang sich vermindert und Licht von diesen Bereichen emittiert wird.
  • Das Anlegen einer geeigneten relativ geringen Spannung an die Elektroden bewirkt sodann, daß unmittelbar Licht emittiert wird.
  • Die Funktion und der Aufbau elektrolumineszierender Schichten, das Verfahren zur Bildung elektrolumineszierender Schichten und der Betrieb elektrolumineszierender Vorrichtungen wurde in zahlreichen Schriften beschrieben. Zwei derartige Schriften sind der Artikel "Direct-Current Electroluminescence in Zinc Sulphide: State of the Act" in IEEE, Band 61, Nr. 7, 3uli 1973, Seiten 902 bis 907 und ein Artikel "Materials control and d.c. electroluminescence in ZnS: Mn, Cu, C1 powder phosphors" in Brit. 3. Appl. Phys.
  • (J. Phys.D), 1969, Serie 2, Band 2, Seiten 953 bis 966.
  • Typische Formierströme liegen im Bereich von lOOmA/cm2 mit Spannungen in der Größenordnung von 15 bis 80 V, abhängig von der Konstruktion und der Form der Schichten der Vorrichtung und insbesondere von der Form der transparenten Elektrode. Beispielsweise sind höhere Formierspannungen notwendig, wenn die transparente Elektrode relativ lange Zuführungen aufweist, welche den leitfähigen Streifen mit den Bereichen der Elektrode verbinden, welche späterhin Licht aussenden sollen. Unter diesen Umständen besteht die Gefahr, daß die Verbindungsleiter sich so erwärmen, daß ein Überhitzen und/oder Brechen des Substrats eintritt, insbesondere wenn die Licht emittierenden Bereiche relativ groß sind. Es kann weiterhin ein Verbrennen der transparenten Elektrode und der elektrolumineszierenden Schicht auftreten.
  • Es besteht daher die Aufgabe, die elektrolumineszierende Vorrichtung so auszubilden, daß für die Formierung relativ wenig Energie, insbesondere wesentlich geringere Formierströme benötigt werden.
  • Gelöst wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Anspruches 1.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen entnehmbar.
  • Es hat sich gezeigt, daß durch die Verwendung so gekennzeichneter Oberflächenbereiche weniger elektrische Energie benötigt wird, um das elektrolumineszierende Material zu formieren, wodurch die Gefahr der Beschädigung des Substrats, des elektrolumineszierenden Materials und der transparenten Elektrode während des Formierprozesses vermindert wird.
  • Vorzugsweise besteht der Oberflächenbereich mindestens teilweise aus einem Halbleiter- oder Isoliermaterial. Dieser Oberflächenbereich weist Eigenschaften auf, welcher im wesentlichen das Durchdringen von Unreinheiten durch diesen Bereich hindurch verhindert.
  • Drei Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 einen Schnitt durch eine erste Ausführungsform einer elektrolumineszierenden Vorrichtung; Fig. 2 Teilschnitte zur Erläuterung verschiedener und 3 Konstruktionen dieser ersten Ausführungsform; Fig. 4 einen Schnitt durch eine weitere Ausführungsform einer elektrolumineszierenden Vorrichtung; Fig. 5 einen Teilschnitt bei der Ausführungsform nach Fig. 4 und Fig. 6 eine schematische Darstellung des Herstellverfahrens bei einer dritten Ausführungsform.
  • Bei der Ausführungsform nach Fig. 1 weist die mit Gleichstrom betriebene elektrolumineszierende Vorrichtung ein transparentes Substrat 10 aus Glas oder einem Polymer-Material auf, auf deren einen Oberfläche eine transparente elektrisch leitende Schicht 11, welche die positive Elektrode der Vorrichtung bildet, aufgebracht ist. Die Schicht; 11 kann beispielsweise aus Zinnoxid, dotiert m Antimon, Indiumoxid, Titandioxid, Kadmiumoxid, dotiert mit Zinn, zinnsaurem Kadmiumsalz oder Wismutoxid beschichtet mit Gold bestehen. Die Zinnoxidschicht 11 wird mittels eines bekannten Prozesses aufgebracht, wie beispielsweise mittels Verdampfen, Aufsprühen, oder mittels eines chemischen Dampfniederschlags, Alternativ hierzu kann die Schicht elektrolytisch aufgebracht werden durch Anodisieren einer auf dem Substrat 10 aufgebrachten Metallschicht, Die unerwünschten Bereiche der Schicht 11 werden sodann mittels eines bekannten Atzverfahrens entfernt, so daß Bereiche gebildet werden, an denen die elektrolumineszierende Vorrichtung Licht emittieren soll. Ein oder mehrere Leiterstreifen nahe den Kanten des Substrats sind mit diesen Elektrodenbereichen über geeignete Verbindungsleiterstreifen verbunden.
  • Damit der Formierprozeß weniger elektrische Energie benötigt, wird auf der exponierten Oberfläche der Elektrodenschicht 11 mittels eines Verdampfungsverfahrens eine kontinuierliche Schicht 12 aus Kupfersulfid aufgebracht. Die Dicke dieser Schicht 12 ist geringer als 5 Mikron und liegt vorzugsweise in der Größenordnung von 1 Mikron.
  • Zur Bildung der Schicht 12 können verschiedene andere Halbleiter- oder Isoliermaterialien verwendet werden. Beispielsweise kann diese Schicht aus Zinksulfid, Kupferoxid, Zinkoxid, Kupferselenit, Zinkselenit, Aluminiumoxid, Siliciummonoxid oder Ytrium-Sauerstoff-Sulfid bestehen. Die Schicht 12 weist vorzugsweise einen Arbeitsbereich zwischen 2ev und 6ev auf.
  • Die Schicht 12 ist bedeckt durch eine elektrolumineszierende Schicht 13, bestehend aus einer puderförmigen Phosphormischung mit einer Dicke in der Größenordnung zwischen 30 bis 50 Mikron. Diese Mischung besteht aus Phosphorteilchen, welche mit Kupfer überzogen sind und die mit einem Bindemittel vermischt sind. Diese Mischung wird in der gewünschten Dicke als Schicht 12 aufgetragen und sodann getrocknet.
  • Ist die Trocknung abgeschlossen, dann wird ein elektrisch leitfähiges Material, wie beispielsweise Aluminium oder Kupfer auf die äußere Oberfläche der elektrolumineszierenden Schicht 13 aufgebracht und zwar als Schicht 14, welche die andere Elektrode der elektrolumineszierenden Vorrichtung bildet.
  • Wie der Fig. 1 zu entnehmen ist, erstrecken sich das Substrat 10, die Elektrode 11 und die Schicht 12 über die elektrolumineszierende Schicht 13 und die Elektrode 14 hinaus, d. h. letztere sind stufenförmig auf der Oberfläche der Schicht 12 angeordnet. Die elektrolumineszierende Schicht 13 und die Elektrode 14 werden abgedeckt durch eine Glasplatte 16, welche von Streifen 17 aus Butylgummi gehalten wird, wobei letztere auf der Schicht 12 befestigt sind, so daß sich ein geschlossener Raum ergibt, in welchem die elektrolumineszierende Schicht 13 und die Elektrode 14 angeordnet sind. Im geschlossenen Raum befindet sich ein Dessikant und die äußeren Oberflächen der Platte 16 und der Streifen 17 sind abgedeckt durch eine Schicht 18 eines geeigneten einkapselnden Materials.
  • In diesem Zustand emittiert die elektrolumineszierende Vorrichtung kein Licht, wenn eine Gleichspannung an die Elektroden 11 und 14 angelegt wird. Es ist zuerst notwendig, die elektrolumineszierende Schicht 13 zu formieren. Zu diesem Zweck wird eine Gleichspannung an die Vorrichtung angelegt, wobei die Schicht 11 als positive Elektrode und die Schicht 14 als negative Elektrode dient, damit die gewünschte Struktur der elektrolumineszierenden Schicht 14 entstaht.
  • Hierbei wird der Widerstand der elektrolumineszierenden Schicht 14 erhöht, wodurch der Stromfluß durch die Schicht 14 vermindert wird und wodurch Licht von den Bereichen der Schicht 14 emittiert wird, welche durch die Schicht 11 definiert sind. Wird sodann eine geeignete relativ geringe Gleichspannung als kontinuierliche oder pulsierende Spannung angelegt, erfolgt unmittelbar eine Lichtaussendung.
  • Wird die Spannung in pulsierender Form angelegt, weist sie vorzugsweise ein Impuls-Pausenverhältnis in der Größenordnung von 1:200 auf bei einer Frequenz in der Größenordnung von 125 kHz.
  • Es wurde gefunden, daß durch die Verwendung einer Schicht 12 zwischen der Elektrodenschicht 11 und der elektrolumineszierenden Schicht 13 die elektrische Energie verringert wird, die notwendig ist, um die elektrolumineszierende Schicht zu formieren. Diese Schicht 12 stellt eine zusätzliche Schicht der Elektrode dar. Hierdurch wird die Gefahr einer Überhitzung und Beschädigung des Substrats 10 und der Schichten 11 und 13 während des Formierprozesses wesentlich vermindert.
  • Es wurde gefunden, daß dieser Effekt aufgrund der Tatsache auftritt, daß die Halbleiter- oder Isolierschicht 12 dazu neigt, den Oberflächenbereich der Elektrode 11 zu modifizieren und den Stromfluß in der Oberfläche der Elektrodensohicht 11 auf diskrete Bereiche begrenzt. Diese Bereiche sind sehr klein mit einer maximalen Querschnittsabmessung in der Größenordnung von einigen Mikron, jedoch können die se Bereiche sogar kleiner als 1/10 Mikron sein.
  • Die dem Substrat 10 entgegengesetzte Oberfläche der Elektrode 11 ist wellig ausgebildet mit Spitzen, welche sich in Richtung der elektrolumineszierenden Schicht 13 erstrecken, wobei die kontinuierliche Schicht 12 zwei verschiedene Formen aufweisen kann, wie dies den Fig. 2 und 3 entnehmbar ist. Bei Fig. 2 bedeckt die kontinuierliche Schicht 12 lediglich die kleinen Spitzen der welligen Oberfläche der Elektrode 11, so daß die größeren Spitzen 20 der Elektrode 11 durch diese Schicht 12 hindurchgehen und sich in das elektrolumineszierende Material hinein erstrecken und dort elektrischen Kontakt herstellen. Bei dieser Ausführungsform ist der Stromfluß begrenzt auf diese Spitzen 20. Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 bedeckt die Schicht 12 die Elektrode 11 vollständig, wobei der Stromfluß begrenzt ist auf diskrete Bereiche, welche gebildet werden durch die dünnen Widerstandsbereiche der Schicht 12 zwischen der elektrolumineszierenden Schicht 13 und den hohen Spitzen 20 der Schicht 11. In diesen Bereichen herrscht ein hohes elektrisches Feld.
  • Die Schicht 12 hat den weiteren Vorteil, daß die Lebensdauer der elektrolumineszierenden Vorrichtung erhöht wird, da eine Diffusion von Unreinheiten des Substrats 10 und der Elektrode 11 in die elektrolumineszierende Schicht 13 verhindert wird.
  • Obwohl das Halbleiter- oder Isoliermaterial der Schicht 12 verschiedene Formen aufweisen kann, so sollte doch dieses Material eine Metallchalcogenidverbindung sein, deren Metall unterschiedlich ist zum Metall der Elektrode 11 und das mit dem elektrolumineszierenden Metall verträglich ist.
  • Vorzugsweise besteht das Material der Schicht 12 aus einer Metallchalcogenidverbindung der Sauerstoff, Schwefel und Selen enthaltenden Gruppe.
  • Obwohl im vorigen Ausführungsbeispiel die Halbleiter- oder Isolierschicht 12 getrennt von der Schicht 11 gebildet wurde, ist es selbstverständlich, daß die beiden Schichten 11 und 12 integral miteinander sein können. Beispielsweise kann die transparente Elektrode 11 auf dem Substrat 10 aufgebracht werden, die sodann so behandelt wird, daß sich die Eigenschaften der Oberfläche der Schicht 11 verändern, so daß die Oberfläche der Schicht 11 die Eigenschaften oder Charakteristika der Schicht 12 aufweisen.
  • Alternativ hierzu kann die Schicht 11 gebildet werden in zwei voneinander getrennten Schritten, das heißt in einem ersten Schritt des Aufbringens des ersten Teils der Schicht 11 auf dem Substrat, wobei diese Schicht 11 die notwendigen Eigenschaften einer transparenten Elektrode aufweist, und in einem zweiten Schritt, bei welchem der andere Teil der Schicht 11 gebildet wird unter den notwendigen Bedingungen, so daß die Oberfläche der Schicht 11, welche in letzterem Schritt erzeugt wird, die Eigenschaften oder Charakteristika aufweist, welche die zuvor beschriebene getrennte Schicht 12 besitzt, In einer zweiten Form der elektrolumineszierenden Vorrichtung wird auf das Glassubstrat 10 eine Schicht 11 aus mit Antimon dotiertem Zinnoxid aufgebracht. Eine Schicht aus Aluminium wird sodann in die Oberfläche der Schicht 11 eingedampft. Dies ist in Fig. 4 gezeigt, wo die Aluminiumschicht mit 21 bezeichnet ist. Die Schicht 21 wird sodann entfernt, indem die Vorrichtung in eine Lösung aus Zinndichlorid eingetaucht wird. Während der Beseitigung der Aluminiumschicht 21 bildet sich eine Isolierschicht aus Aluminiumoxid auf der Oberfläche des Zinnoxids. Diese Isolierschicht ist in Fig. 5 mit 22 bezeichnet. Sie bedeckt die gesamte Elektrode 11 mit einer konstanten Dicke.
  • In einer dritten Ausführungsform besteht die elektrolumineszierende Vorrichtung aus einer Schicht 11 aus Zinnoxid, dotiert mit Antimon, welche auf das Glassubstrat 10 aufgebracht ist, wobei die so gebildete Vorrichtung in einen Elektrolyten 23 eingetaucht wird, wie dies in Fig. 6 gezeichnet ist. Der Elektrolyt besteht aus geringfügig angesäuertem destillierten Wasser. Die Zinnoxidschicht 11 wird an eine negative Elektrode einer Stromquelle angeschlossen, deren positive Elektrode mit der Elektrode 24 verbunden ist, welche ebenfalls in den Elektrolyten eintaucht, so daß ein elektrolytischer Strom von der Elektrode 24 zu der Schicht 11 fließt. Die Elektrode 24 besteht aus einem inertem Material, wie beispielsweise Graphit, Platin oder Zinnoxid.
  • Es wurde gefunden, daß sowohl bei der Beseitigung der Aluminiumschicht 21 als auch bei der Elektrolytbehandlung nach Fig. 6 diskrete Teile der Zinnoxidschicht 11 nahe der Oberfläche bezüglich des Zinngehalts reduziert werden, so daß diese diskreten Bereiche entstehen, auf die der Stromfluß während der Formierung im wesentlichen begrenzt ist. Bei den beiden letztgenannten Herstellverfahren wird weiterhin das Verhältnis des dotierten Antimon an der Oberfläche der Schicht 11 verändert zur Bildung einer Isolieroberfläche an der Schicht 11, die verhindert, daß Unreinheiten vom Substrat 10 und der Schicht 11 in die elektrolumineszierende Schicht 13 wandern. Bei der zweiten Ausführungsform ist dieses Wandern der Unreinheiten weiterhin verhindert durch die Isolierschicht 22 aus Aluminiumoxid.
  • Sind bei der zweiten und dritten Ausführungsform die zuvor erwähnten Verfahrensschritte beendet, dann wird die elektrolumineszierende Schicht 13 und die Leiterschicht 14 aufgebracht.
  • Die Bereiche der elektrolumineszierenden Vorrichtung, welche Licht ausstrahlen sollen, werden simultan oder aufeinanderfolgend erregt. Im ersteren Fall sind die Bereiche der Schicht 11, welche diese Bereiche definieren, über Verbindungsleiter mit einem Leiterstreifen an einer Kante des Substrats 10- verbunden.
  • Im letzteren Fall sind die Verbindungsleiterstreifen mit einzelnen Kontaktstellen am Rand des Substrats verbunden.
  • Es ist jedoch auch möglich, daß die Verbindungsleiterstreifen in einzelnen Gruppen mit einzelnen Leiterstreifen bzw.
  • Kontaktstellen verbunden sind, so daß Gruppen von Bereichen erregt werden können.

Claims (25)

  1. Ansprüche
    l.}Elektrolumineszierende Vorrichtung, bestehend aus einem transparenten Substrat und einer auf dem Substrat angeordneten transparenten Elektrode, die eine Oberfläche aufweist, auf welcher eine Schicht eines elektrolumineszierenden Materials angeordnet ist, welches elektrischen Strom zu leiten vermag, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Elektrodenoberfläche (11 und 12, oder 11) Eigenschaften aufweist, durch die der Stromfluß auf diskrete Bereiche der Oberfläche beschränkt ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Oberfläche zumindest teilweise aus einem Halbleiter- oder einem Isoliermaterial besteht.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Oberfläche im wesentlichen das Eindringen von Unreinheiten in das elektrolumineszierende Material verhindert.
  4. .4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche, 1 bis 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Elektrode (11 und 12) aus einer ersten Schicht (11) eines elektrisch leitenden Materials auf dem Substrat (10) und einer zweiten Schicht (12) eines Halbleiter- oder Isoliermaterials besteht.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die diskreten Bereiche aus Öffnungen in der zweiten Schicht (12) bestehen.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß Teile der ersten Schicht (11) durch diese Öffnungen hindurchgehen.
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) die erste Schicht (11) völlig bedeckt.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) eine Arbeitsfunktion von im wesentlichen zwischen 2ev und 6ev aufweist.
  9. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) Kupfersulfid aufweist.
  10. 10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) Zinksulfid aufweist.
  11. 11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) Kupferoxid aufweist.
  12. 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) Zinkoxid aufweist.
  13. 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) Kupferselenit aufweist.
  14. 14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) Zinkselenit aufweist.
  15. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h ne t , daß die zweite Schicht (12) Aluminiumoxid aufweist.
  16. 16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) Siliciummonoxid aufweist.
  17. 17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) Ytrium-Sauerstoff-Sulfid aufweist.
  18. 18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 17, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) eine Dicke von weniger als 5 Mikron aufweist.
  19. 19. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Elektrode (11) aus einem Metalloxid besteht und die diskreten Bereiche im wesentlichen aus dem reinen Metall des Oxids bestehen.
  20. 20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß das Metalloxid dotiert ist und der Grad der Dotierung an der Ob-erfläche der Elektrode (11) unterschiedlich ist zur übrigen Dotierung der Elektrode.
  21. 21. Vorrichtung nach Anspruch 19 oder 20, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Oberfläche der Elektrode mit einer Schicht eines Isoliermaterials (22) bedeckt ist.
  22. 22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch g e k e n n z e i c h n e t . daß die Elektrode (11) durch eine transparente Schicht (11) eines Metalloxids auf dem Substrat (10) gebildet wird, hierauf eine Metallschicht (21) aufgebracht wird, welche sodann auf chemischem Wege beseitigt wird.
  23. d3. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß das Metalloxid Zinnoxid ist und diese Metallschicht (21) aus Aluminium besteht.
  24. 24. Vorrichtung nach Anspruch 19 oder 20, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß das Substrat (10) mit der Metalloxidschicht (11) in einen Elektrolyt (23) eingetaucht wird und der Strom im Elektrolyten von einer positiven Elektrode (24) zur Metalloxidschicht (11) wandert.
  25. 25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die zweite Schicht (12) aus einer Metallchalcogenidverbindung besteht, deren Metall unterschiedlich ist zu dem Metall der ersten Schicht (11) und diese Verbindung verträglich ist mit dem elektrolumineszierenden Material.
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