DE2627441C2 - Fühler zur Feststellung von kondensierter Feuchtigkeit - Google Patents
Fühler zur Feststellung von kondensierter FeuchtigkeitInfo
- Publication number
- DE2627441C2 DE2627441C2 DE2627441A DE2627441A DE2627441C2 DE 2627441 C2 DE2627441 C2 DE 2627441C2 DE 2627441 A DE2627441 A DE 2627441A DE 2627441 A DE2627441 A DE 2627441A DE 2627441 C2 DE2627441 C2 DE 2627441C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sensor
- electrodes
- glass plate
- layer
- orthophosphate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Fühler zur Feststellung von kondensierter Feuchtigkeit mit einem
Elektrodenpaar auf einem isolierenden Substrat und einer den Spalt zwischen den Elektroden vollständig
oder teilweise bedeckenden Schicht aus Orthophosphat.
Ein derartiger Feuchtigkeitsfühler ist aus der DE-OS 14 63 103 bereits bekannt. Dabei besteht die zwischen
dem Elektrodenpaar ausgebildete Schicht aus Lithium-Orthophosphat oder einer anderen Lithiumverbindung.
Ein solcher Fühler kann beispielsweise zur Steuerung einer elektrischen Heizvorrichtung verwendet werden,
mit der eine Glasplatte zur Verhinderung einer Trübung durch Eis, Rauhreif oder auf der Glasplatte niedergeschlagener
Feuchtigkeit erhitzt wird. Derartige Antibeschlagglasplatten werden immer nur dann automatisch
erhitzt, wenn sich Feuchtigkeit auf der Glasplatte niederschlägt. Dabei tritt zwischen dem Elektrodenpaar
des Fühlers eine Änderung des Stroms oder der Impedanz auf. Diese Strom- oder Impedanzänderung
wird zur Steuerung der elektrischen Heizvorrichtung verwendet.
Bei Einsatz einer Schicht aus Lithium-Orthophosphat gemäß DE-OS 14 63 103 zeigt der Fühler jedoch schon
nach relativ kurzer Betriebszeit eine erhebliche Verschlechterung seines Betriebsverhaltens. Nachteiligerweise
ändert sich die bei Feuchtigkeitskondensation zwischen den Elektroden festgestellte Impedanz im
Laufe der Zeit, so daß nach einer gewissen Zeit die erforderliche Betätigung eines Relais nicht mehr
gewährleistet ist und des öfteren unterbleibt.
Es ist somit Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Fühler zur Feststellung von kondensierter
Feuchtigkeit zu schaffen, welcher auch nach sehr langer Betriebszeit ein vollständig stabiles Betriebsverhalten
zeigt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Fühler zur Feststellung von Feuchtigkeit der eingangs
genannten Art gelöst, der dadurch gekennzeichnet ist, daß die Schicht im wesentlichen aus Zink-Orthophosphat
besteht.
Das für die Schicht verwendete Zink-Orthophosphat ist chemisch stabil und weist eine große Haftfähigkeit
auf dem isolierenden Substrat auf. Es löst sich in einem sehr geringen Ausmaß in der kondensierten Feuchtigkeit
auf. Das sich dabei einstellende Gleichgewicht wird stets erreicht und aufrechterhalten, so daß eine
konstante Anzahl von Ladungsträgern und damit eine konstante Impedanz erhalten wird. Aufgrund der
ι geringen Löslichkeit sind die Verluste an Zink-Orthophosphat
gering, so daß die Impedanz über einen langen Zeitraum hinweg innerhalb eines gewünschten Bereichs
gehalten wird. Der Fühler mit einer Schicht aus Zink-Phosphat ist somit auch nach langer Betriebszeit
ι ti praktisch vollständig stabil.
Weiterbildungen und die Verwendung der Erfindung sind in weiteren Ansprüchen dargelegt
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
π F i g. 1 eine Draufsicht eines Ausführungsbeispiels des
Feuchtigkeitsfühlers;
F i g. 2 eine Draufsicht eines zweiten Ausführungsbeispiels des Feuchtigkeitsfühlers und
F i g. 3 eine graphische Darstellung der Abhängigkeit
2(i der Impedanz im feuchten Zustand von der Anzahl der
Testzyklen bei Durchführung eines Langzeittests mit Trocken-Naß-Zyklen.
In den Fig. 1 und 2 bezeichnet das Bezugszeichen 1 eine Anode und das Bezugszeichen 2 eine Kathode. Die
r> Anode 1 und die Kathode 2 liegen einander gegenüber auf einem isolierenden Substrat 3. Der Spalt (d)
zwischen den beiden Elektroden hat eine Spaltweite im Bereich von 0,1 bis 10,0 mm und vorzugsweise von 0,1
bis 3 mm (0,4 mm in den Zeichnungen). Die Länge (I)
j(i einer jeden Elektrode beträgt vorzugsweise 1 bis
100 cm (4 cm in den Zeichnungen). Die Breite eines jeden Elektrodenstreifens beträgt vorzugsweise 0,4 bis
3 mm (1 mm in den Zeichnungen). Der Raum zwischen der Anode 1 und der Kathode 2 ist vollständig oder
j> teilweise mit einer Schicht 4 aus Zink-Orthophosphat
beschichtet.
Die Elektroden auf dem isolierenden Substrat bestehen aus einem leitfähigen Material mit einer
großen chemischen Beständigkeit. Dabei kommt ein
4(i leitfähiges Metalloxid, wie RUO2, In2U3, SnÜ2, V2Os oder
TI2O3 oder ein leitfähiges Metall, welches nicht leicht wandert, wie Au, Pd, Pt oder AI in Frage. Das leitfähige
Metalloxid oder das leitfähige Metall wird mit einer Glasfritte, einem Träger, einem Binder und gegebenen-
4-i falls anderen Zusatzstoffen vermischt und geknetet und
die erhaltene Paste wird in dem gewünschten Muster des Elektrodenpaars auf das isolierende Substrat
aufgedruckt, z. B. durch Siebdruck oder durch ein anderes Druckverfahren. Die gedruckte Masse wird
sodann getrocknet und gesintert, wobei die Elektroden des Fühlers erhalten werden. Man kann die Elektroden
aus leitfähigem Metall oder aus leitfähigem Metalloxid auch durch verschiedenste andere Verfahren aufbringen,
z. B. durch Vakuumaufdampfverfahren, durch Sputterverfahren oder nach dem CLD-Verfahren.
Bei dem Fühler zur Feststellung von kondensierter Feuchtigkeit werden die Elektroden derart angeordnet,
daß zwischen ihnen ein zweckentsprechender Spalt verbleibt. Die Elektroden können auch mehrere
bo alternierend angeordnete Äste haben, z. B. einige
wenige Äste bis 10 Äste und mehr.
Im Bereich zwischen den Elektroden wird eine Beschichtung mit Zink-Orthophosphat vorgenommen.
Wenn nun Feuchtigkeit in dem Spalt zwischen den Elektroden niedergeschlagen wird, so löst sich das
Orthophosphat zu einer sehr geringen Menge in der kondensierten Feuchtigkeit auf und dissoziert unter
Bildung von Z+ + und PO4 als Ladungsträger. Wenn
der Fühler in den trockenen Zustand übergeht, werden
die Ionen wieder zu Zink-Orthophosphat vereinigt.
Zn3(PO4J2 ^= 3 Zn - + + 2 PO4 - - -
Dieser Gleichgewichtszustand wird stets aufrechterhalten.
Das Zink-Orthophosphat ist chemisch stabil und wird während der Herstellung der Beschichtung nicht
zersetzt. Es hat ein ausgezeichnetes Membranbildungsvermögen
bei der Beschichtung. Somit eignet sich dieses Orthophosphat optimal für die Ausbildung einer
empfindlichen Zone des Feuchtigkeitsfühlers. Das Orthophosphat glasiert, wenn es bei hoher Temperatur
membranförmig abgeschieden wird und es bildet somit eine stabile dauerhafte Schicht.
Zink-Orthophosphat weist in Wasser eine äußerst geringe Löslichkeit auf, und zwar ist die Löslichkeit
(g/100 g H2O bei Zimmertemperatur) kleiner als IxIO"6. Somit ist das Ausmaß des Ionenverlustes
gering und es wird eine konstante Ionenkonzentration (ohne lonenverzehr) aufrechterhalten. Es ist daher
während einer langen Zeit eine konstante Impedanz gewährleistet.
Das Zink-Orthophosphat wird in Form einer Schicht aufgetragen, welche eine Dicke von 10 μΐη bis 500 μιη
und vorzugsweise eine Dicke von 50 μιη bis 100 μηι
aufweist. Dabei bedeckt die Schicht mindestens teilweise den Raum zwischen den sich gegenüberliegenden
Elektroden. Das Zink-Orthophosphat kann nach verschiedensten Verfahren aufgetragen werden. Es
kommt beispielsweise ein Plasmaflammensprühverfahren,
ein Sinterverfahren, ein Vakuumabscheidungsverfahren oder ein Sputterverfahren in Frage. Es ist
bevorzugt, die Schicht bei hoher Temperatur auszubilden, z. B. nach dem Plasmaflammsprühverfahren oder
dem Sinterverfahren, da in diesem Falle die Zink-Orthophosphatschicht in glasierter Form anfällt.
Gegebenenf?lls kann das Zink-Orthophosphat mit einer anderen Komponente für die Bildung der Schicht
vermischt werden. Es ist ferner möglich, ein Gemisch von Zink-Orthophosphat mit anderen Orthophosphaten
aufzutragen, die in Wasser eine Löslichkeit von weniger als 0,1 g/100 g H2O aufweisen. Typische, für diesen
Zweck geeignete Orthophosphate sind im folgenden zusammengestellt:
Verbindung | Löslichkeit |
(g/100 g H2O bei Zimmertemperatur) | |
Pb3(PO4), | 1,4 X 10 ■■ |
Li3PO4 | 3.4 X 10 ~: |
Mn3(PO4), | <1 X 10"Λ |
Ca3(POj)2 | 2,5 X 10" |
Mg3(PO4), | 2 X 10 " |
Fe1(PO4), | <1 X 10'"" |
Als isolierendes Substrat dient eine Glasplatte, eine Aluminiumöxidplatte, eine kristallisierte Glasplatte
oder eine hitzebeständige Kunststoffplatte. Wenn eine Glasplatte verwendet wird, so ist es bevorzugt, eine
Glasplatte mit einem geringen Alkaligehalt oder ohne Alkaligehalt zu verwenden, bei der keine Alkaliionen
von der kondensierten Feuchtigkeit herausgelöst werden.
Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und eines Vergleichsbeispiels
näher erläutert
Es wird eine leitfähige Masse hergestellt, indem man
100 Gew.-Teile RuO2-Pulver, 61 Gew.-Teile Glasfrittenpulver
und 16 Gew.-Teile eines Trägers vermischt und knetet und durch Siebdruck in dem in F i g. 2 gezeigten
Muster auf eine Glasplatte druckt Die bedruckte
κι Glasplatte wird auf etwa 6500C erhitzt, um die leitfähige
Masse zu sintern. Man erhält eine Glasplatte mit vier Elektroden.
Dann wird ein Pulver von Zn3(PO4)2 durch Plasmaflammensprühen
auf das Glassubstrat mit dem Elektro-
i) denpaar aufgetragen, wobei eine Schicht mit einer
Dkke von 50 μίτι bis 100 μπι gemäß Fig. 2 erhalten
wird. Es werden nun Langzeitversuche mit Trocken-Naß-Zyklen durchgeführt, und die Änderung der
Impedanz im nassen Zustand wird gegen die Anzahl der Zyklen aufgetragen. Die Ergebnisse sind in F i g. 3
gezeigt.
Vergleichsbeispiel
Durch Vermischen und Kneten von 100 Gewichtstei-
2") len RuOi-Pulver, 61 Gewichtsteilen Glasfrittenpulver
i'nd 16 Gewichtsteilen einer Trägerflüssigkeit wird eine
leitfähige Masse hergestellt. Diese Masse wird auf eine Glasplatte nach dem Siebdruckverfahren aufgedruckt,
und zwar mit dem Muster gemäß F i g. 2. Die bedruckte
hi Glasplatte wird auf etwa 605°C erhitzt, um die leitfähige
Masse zu sintern. Man erhält eine Glasplatte mit vier Elektroden. Danach wird pulverförmiges L13PO4 mit
Hilfe des Plasmafiammensprühverfahrens auf ein Glassubstrat mit einem Paar Elektroden aufgesprüht, so
Γ) daß eine Schicht mit einer Dicke von 50 μιη bis 100 μηι
gemäß F i g. 2 gebildet wird. Mit dem erhaltenen Fühler werden mehrere Langzeittests mit einer Vielzahl von
Trocken-Naß-Zyklen durchgeführt. Dabei wird die Änderung de:· Impedanz unter nassen Bedingungen in
jo Abhängigkeit von der Anzahl der Testzyklen untersucht.
Die Ergebnisse sind in der F i g. 3 dargestellt.
Langzeitversuch mit Trocken-Naß-Zyklen
Der jeweilige Fühler wird auf einer Antibeschlagglasplatte ausgebildet, welche durch Aufdrucken von
elektrischer. Heizelementstreifen hergestellt wurde. Die mit dem Fühier ausgerüstete Antibeschlagglasplatte
wird an einer Wandung einer luftdichten Kammer angeordnet. Die Außenfläche der Glasplatte wird
sodann mit Wasser besprüht, um die Außenfläche abzukühlen. Hierdurch kommt es zu Niederschlag und
Feuchtigkeit an der Innenfläche der Glasplatte, so daß der Fühler naß wird. Sobald die Impedanz des Fühlers
0,5 ΜΩ im nassen Zustand erreicht, wird das Besprühen der Glasplatte mit Wasser durch den Befehl einer
Steuereinrichtung unterbrochen, und es wird Strom durch das elektrische Heizelement geschickt, um die
Oberfläche der Glasplatte zi1 erhitzen. Hierbei verschwindet
der Beschlag und der Fühler nimmt wieder seinen trockenen Zustand an. Sobald die Impedanz des
Fühlers 1 ΜΩ erreicht, wird der durch das elektrische Heizelement fließende Strom abgeschaltet und das
Besprühen der Glasplatte mit Wasser beginnt wieder. Auf diese Weise werden die Naß-Trocken-Zyklen
wiederholt. Die Impedanz wird mit einem Testgerät gemessen.
In der F i g. 3 ist das Verhalten eines solchen Fühlers
[ZnJ(PO4):] sowie des Vergleichsfühlers (Li5PO4) dargestellt.
Ev zeigt sich, daß das Betriebsverhalten des Vergleichsfühlers sich rasch verschlechtert, während
der erfindungsgemäße Fühler gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung überraschenderweise ein
gleichbleibend gutes Betriebverhalten zeigt. Der Vergleichsfühler erzeugt nach längerer Betriebszeil Schaltsignale
auch dann, wenn keine ausreichende Feuchtigkeit vorliegt.
llici/ii 2 Blatt
Claims (4)
1. Fühler zur Feststellung von kondensierter Feuchtigkeit mit einem Elektrodenpaar auf einem
isolierenden Substrat und einer den Spalt zwischen den Elektroden vollständig oder teilweise bedeckenden
Schicht aus Orthophosphat, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (4) im wesentlichen
aus Zink-Orthophosphat besteht.
2. Fühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich noch andere Orthophosphate
zugemischt sind.
3. Fühler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (4) aus Zink-Orthophosphat
eine Dicke von 10 μΐη bis 500 μίτι aufweist.
4. Verwendung des Fühlers nach einem der verangehenden Ansprüche zur Steuerung eines
elektrischen Heizelementes einer Antibeschlagglasplatte.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50074365A JPS51151176A (en) | 1975-06-20 | 1975-06-20 | Dew condensation sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2627441A1 DE2627441A1 (de) | 1976-12-30 |
DE2627441C2 true DE2627441C2 (de) | 1982-04-01 |
Family
ID=13545044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2627441A Expired DE2627441C2 (de) | 1975-06-20 | 1976-06-18 | Fühler zur Feststellung von kondensierter Feuchtigkeit |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4052691A (de) |
JP (1) | JPS51151176A (de) |
DE (1) | DE2627441C2 (de) |
FR (1) | FR2315091A1 (de) |
GB (1) | GB1504654A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3246412A1 (de) * | 1982-12-15 | 1984-06-20 | Preh, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt | Fluessigkeitsempfindliches element |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53122490A (en) * | 1977-04-01 | 1978-10-25 | Asahi Glass Co Ltd | Dewwfall sensor |
US4227411A (en) * | 1979-09-24 | 1980-10-14 | Rca Corporation | Relative humidity measurement |
GB2064126A (en) * | 1979-11-22 | 1981-06-10 | Philips Electronic Associated | Method of making humidity sensors |
EP0045950B1 (de) | 1980-08-08 | 1985-12-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Feuchtigkeitsempfindlicher Stoff |
JPS5897801A (ja) * | 1981-12-07 | 1983-06-10 | 株式会社豊田中央研究所 | 感湿素子 |
JPS58141501A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-08-22 | 株式会社デンソー | 感湿素子 |
US4456902A (en) * | 1982-03-30 | 1984-06-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Gas and humidity sensing element |
JPS5999703A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-08 | 株式会社東芝 | 感湿素子 |
JPS59155102A (ja) * | 1983-02-24 | 1984-09-04 | 株式会社東芝 | 感湿素子 |
JPS59137555U (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-13 | 株式会社潤工社 | 蒸溜水の漏洩検知素子 |
DE3504155C1 (de) * | 1985-02-07 | 1986-07-10 | Hölter, Heinz, Dipl.-Ing., 4390 Gladbeck | Sensor zur Ermittlung der Kondensation von Wasserdampf auf einer freien Oberfläche |
JPS6221052A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Tokyo Kosumosu Denki Kk | 結露センサ |
EP0311939A3 (de) * | 1987-10-12 | 1990-10-17 | Nihon Parkerizing Co., Ltd. | Feuchtigkeitsfühler |
US4831493A (en) * | 1987-12-28 | 1989-05-16 | Ppg Industries, Inc. | Windshield moisture sensor |
EP0580869A4 (de) * | 1992-02-14 | 1995-01-18 | Seiko Epson Corp | Feuchtigkeitssensor und seine herstellung. |
US5778689A (en) * | 1997-05-19 | 1998-07-14 | Beatenbough; Bryan | System for maintaining refrigeration doors free of frost and condensation |
US7340907B2 (en) * | 2004-05-10 | 2008-03-11 | Computer Process Controls, Inc. | Anti-condensation control system |
US9222686B2 (en) * | 2008-01-24 | 2015-12-29 | Sadeq Ahmed Al-Qassem | Apparatus for removing water vapor from an enclosure |
US9277641B2 (en) | 2013-04-04 | 2016-03-01 | Qualcomm Incorporated | Routing and shielding of signal lines to improve isolation |
US20180266976A1 (en) * | 2017-03-18 | 2018-09-20 | Anushka Naiknaware | Nanoparticle based Moisture Sensor |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE534288A (de) * | 1953-12-24 | |||
US3255324A (en) * | 1962-05-28 | 1966-06-07 | Energy Conversion Devices Inc | Moisture responsive resistance device |
US3868492A (en) * | 1972-05-18 | 1975-02-25 | Tarka Controls Ltd | Heated windows in road vehicles |
-
1975
- 1975-06-20 JP JP50074365A patent/JPS51151176A/ja active Granted
-
1976
- 1976-05-10 GB GB19172/76A patent/GB1504654A/en not_active Expired
- 1976-05-14 US US05/686,293 patent/US4052691A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-05-31 FR FR7616385A patent/FR2315091A1/fr active Granted
- 1976-06-18 DE DE2627441A patent/DE2627441C2/de not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3246412A1 (de) * | 1982-12-15 | 1984-06-20 | Preh, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt | Fluessigkeitsempfindliches element |
EP0111733A2 (de) * | 1982-12-15 | 1984-06-27 | PREH, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. GmbH & Co. | Flüssigkeitsempfindliches Element |
EP0111733A3 (en) * | 1982-12-15 | 1985-04-10 | Preh, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. Gmbh & Co. | Liquid sensitive element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS51151176A (en) | 1976-12-25 |
DE2627441A1 (de) | 1976-12-30 |
JPS5549705B2 (de) | 1980-12-13 |
FR2315091B1 (de) | 1981-10-09 |
GB1504654A (en) | 1978-03-22 |
FR2315091A1 (fr) | 1977-01-14 |
US4052691A (en) | 1977-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2627441C2 (de) | Fühler zur Feststellung von kondensierter Feuchtigkeit | |
DE2603542C3 (de) | Feuchteabhängiger keramischer Widerstand | |
DE3517589C2 (de) | ||
EP0043001B1 (de) | Feuchtigkeitsfühler und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE2904069C2 (de) | ||
DE2647396C2 (de) | Gasentladungs-Anzeigevorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE3930000A1 (de) | Varistor in schichtbauweise | |
DE2641577C3 (de) | Feuchteabhängiges Keramikwiderstandselement auf Metalloxidbasis | |
DE2521365C2 (de) | Sonde zum Detektieren mindestens eines Bestandteiles eines gasförmigen Gemisches | |
DE3824706A1 (de) | Aus einer keramischen farbschicht und einer leitfaehigen schicht gebildete schichtstruktur | |
DE1465702A1 (de) | Verfahren zur Haltbarmachung eines schwer schmelzbaren duennschichtigen Metallwiderstandes | |
DE2521366C2 (de) | Sonde zum selektiven Detektieren mindestens eines Bestandteils mit polaren Molekülen eines gasförmigen Gemisches | |
WO2016142080A1 (de) | Herstellungsverfahren für einen gassensor und entsprechender gassensor | |
EP0146720B1 (de) | Verfahren zur Messung des elektrischen Widerstandes von unter dem Einfluss eines Plasmas hergestellten, dünnen, metallischen Schichten während ihrer Herstellung | |
DE112019005010T5 (de) | Sensorelement | |
DE2803921B2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Platingruppenmetallschicht auf einen Sauerstoffionen leitenden festen Elektrolyten | |
DE19605097A1 (de) | Eingekapseltes Kontaktmaterial und Herstellungsverfahren für dieses und Herstellungsverfahren und Verwendungsverfahren für einen eingekapselten Kontakt | |
DE2805228B2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Keramikbauteils | |
DE19732601C2 (de) | Katalytisches Schichtsystem | |
DE102015223950A1 (de) | Substrat für eine Sensoranordnung für ein Widerstandsthermometer, Sensoranordnung, Widerstandsthermometer und Verfahren zur Herstellung eines solchen Substrats | |
DE102015223951B4 (de) | Substrat für eine Sensoranordnung für ein Widerstandsthermometer, Sensoranordnung und Widerstandsthermometer | |
DE1615030B2 (de) | Aus einer isolierunterlage mit hierauf aufgebrachten duennen tantal film aufgebaute duennfilmschaltung | |
DE3440351A1 (de) | Feuchtigkeitssensor und verfahren zu dessen herstellung | |
DE2032639A1 (de) | Verfahren zum Niederschlagen einer dünnen gut haftenden Goldschicht und mit derartigen Schichten überzogene Gegenstande | |
DE2828332B2 (de) | Eleklrochrome Schicht mit erhöhter Kristallisationsbeständigkeit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
8125 | Change of the main classification | ||
D2 | Grant after examination | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |