DE2606395B2 - Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken GlimmentladungInfo
- Publication number
- DE2606395B2 DE2606395B2 DE2606395A DE2606395A DE2606395B2 DE 2606395 B2 DE2606395 B2 DE 2606395B2 DE 2606395 A DE2606395 A DE 2606395A DE 2606395 A DE2606395 A DE 2606395A DE 2606395 B2 DE2606395 B2 DE 2606395B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- potential
- operating
- current
- threshold value
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02H—EMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
- H02H1/00—Details of emergency protective circuit arrangements
- H02H1/0007—Details of emergency protective circuit arrangements concerning the detecting means
- H02H1/0015—Using arc detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02H—EMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
- H02H3/00—Emergency protective circuit arrangements for automatic disconnection directly responsive to an undesired change from normal electric working condition with or without subsequent reconnection ; integrated protection
- H02H3/08—Emergency protective circuit arrangements for automatic disconnection directly responsive to an undesired change from normal electric working condition with or without subsequent reconnection ; integrated protection responsive to excess current
- H02H3/10—Emergency protective circuit arrangements for automatic disconnection directly responsive to an undesired change from normal electric working condition with or without subsequent reconnection ; integrated protection responsive to excess current additionally responsive to some other abnormal electrical conditions
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B7/00—Heating by electric discharge
- H05B7/16—Heating by glow discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02H—EMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
- H02H7/00—Emergency protective circuit arrangements specially adapted for specific types of electric machines or apparatus or for sectionalised protection of cable or line systems, and effecting automatic switching in the event of an undesired change from normal working conditions
- H02H7/003—Emergency protective circuit arrangements specially adapted for specific types of electric machines or apparatus or for sectionalised protection of cable or line systems, and effecting automatic switching in the event of an undesired change from normal working conditions for electrostatic apparatus
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Discharge Heating (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Vorrichtung
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 3 zur Durchführung des Verfahrens.
Ein Verfahren und eine Vorrichtung dieser Art sind aus der DE-AS 12 75 228 bekannt, wonach ein
Abschalten des Betriebsstroms beim Auftreten von Lichtbögen od. dgl. durch einen sogenannten Schnellschalter
vorgenommen wird, der jedoch nach kurzer Zeit, in der ein aufgetretener Lichtbogen normalerweise
gelöscht ist, den Betriebsstrom wieder einschaltet. Tritt jedoch ein galvanischer Kurzschluß auf, indem etwa ein
mit dem negativen Pol der Spannungsquelle verbundenes Werkstück mit der mit dem positiven Pol
verbundenen Wandung des Rezipienten in Berührung gerät, ein galvanischer Kurzschluß in der Durchführung
zum Rezipienten vorhanden ist oder die kathodisch geschaltete Innenelektrode an der Anode anliegt, so
fällt die Spannung auch dann entsprechend ab, so daß der Schnellschalter anspricht. Beim erneuten Zuschalten
lü durch den Schnellschalter kann aber wiederum nicht die
Betriebsspannung erreicht werden, so daß laufend ab- und zugeschaltet wird, wodurch zwar der Glimmentladungsprozeß
nicht weitergeführt wird, jedoch auch von außen nicht erkennbar ist, weshalb dies geschieht und
daß der Prozeß nicht funktioniert.
Ein ähnliches Verfahren und eine entsprechende Vorrichtung sind aus der CH-PS 3 43 554 bekannt,
wobei ebenfalls ein auftretender Lichtbogen durch kurzzeitiges Ab- und Zuschalten des Betriebsstroms
gelöscht werden soll, wobei das erneute Zuschalten über ein Zeitglied vorgenommen wird. Auch hierbei ist das
Erkennen eines galvanischen Kurzschlusses nicht möglich.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Schalteinrichtung gemäß den
Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 3 zu schaffen, die die Erkennung eines galvanischen Kurzschlusses ermöglichen.
Diese Aufgabe wird entsprechend den kennzeichnen-
Diese Aufgabe wird entsprechend den kennzeichnen-
JO den Teilen der Ansprüche 1 und 3 gelöst.
Zur reinen Kurzschlußerkennung genügt es, wenn das Abschaltsignal dann erzeugt wird, wenn i/o kleiner als
die Lichtbogenbrennspannung t//.ist.
Wenn zusätzlich bei der Überwachung des elektrisehen
Verhaltens dei· stromstarken Glimmentladung ein
Steuersignal zum gegebenenfalls kurzzeitigen Herabsetzen oder Abschalten des Betriebsstroms //s, für die
Glimmentladung im Spannungs-Strom-Kennlinienfeld in das Gebiet unstabiler Entladungen abgleitet, ist es
■in zweckmäßig, wenn das Abschaltsignal erzeugt wird,
wenn i/o zwischen der Glimmentladungsspannung Uci
und der Lichtbogenspannung i/z. liegt.
Dieses Verfahren ist besonders zweckmäßig in dem Fall, daß keine zweite Sicherung zusätzlich zu einem
Schnellschalter vorgesehen ist, und zwar für den Fall, daß der Schnellschalter aus irgendeinem Grunde
ausfällt. Letzteres ist besonders kritisch bei stromgeregelten Anlagen zur stromstarken Glimmentladung, da
bei Ausfallen des Schnellschalters automatisch versucht wird, den Strom zu stabilisieren, so daß ein stehender
Lichtbogen im Rezipienten ausgebildet wird, wenn kein Kurzschluß vorhanden ist. Das gänzliche Abschalten
des Speisestroms erfolgt somit nach der vorgegebenen Zeitdauer, die in der Größenordnung von 1 bis 2
M Sekunden gewählt werden kann, sowohl beim Auftreten
eines Kurzschlusses als auch bei Auftreten eines Lichtbogens und gleichzeitigem Ausfallen des Schnellschalters.
Bei der Schalteinrichtung kann die Speicherschaltung
hU insbesondere aus einem Maximalwertspeicher mit
parallelgeschaltetem Entladewiderstand bestehen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der in den Abbildungen dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispielen näher erläutert
''■"> Fig. 1 zeigt schematisch das Schaltbild einer
Schalteinrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform zum Abschalten der stromstarken Glimmentladung bei
Auftreten eines Kurzschlusses.
Fig. 2 zeigt das Schaltbild eines Schaltungsteils für
eine zweite Ausführungsform einer Schalteinrichtung zum Abschalten der stromstarken Glimmentladung bei
Auftreten eines Kurzschlusses sowie bei Ausbildung eines stehenden Lichtbogens.
Fig.3 zeigt schematisch den zeitlichen Verlauf der
Betriebsspannung und des Betriebsstroms bei Ausfall eines Schnellschalters zur Überwachung der Glimmentladung.
F i g. 4 zeigt den Spannungsverlauf am Maximalwertspeicher bei arbeitendem Schnellschalter und Auftreten
eines Kurzschlusses.
Die in Fig. 1 dargestellte Schalteinrichtung weist eine Schaltung 40 zum Liefern eines Abschaltsignals auf,
die im wesentlichen aus einem Komparator 41 gebildet wird, an dessen Eingänge die Betriebsspannung LZ11, und
eine Vergleichsspannung i/o angelegt ist, die kleiner als
die Lichtbogenspannung ist. Der Ausgang des Komparators 41 ist mit einem Eingang eines UND-Gatters 42
verbunden. An die Eingänge eines weiteren Komparators 33 ist eine dem Betriebsstrom /,„ proportionale
Spannung und ein Vergleichswert k angelegt. Der Komparator 33 liefert einen Ausgang entsprechend
dem Vergleich von Betriebsstrom /„, und k, der auf den
anderen Eingang des UND-Gatters 42 gegeben wird. Der Ausgang des UND-Gatters 42 liefert das
Abschaltsignal, wenn [/«,kleiner als Ua und l;si größer als
/o ist, d. h. ein Kurzschluß vorliegt, wobei Uo kleiner als die Lichtbogenspannung L^ ist.
Dieses Signal kann gleichzeitig zum Betätigen einer nicht gezeigten Kurzschlußanzeige-Einrichtung dienen.
Bei Verwendung eines Schnellschalters für das Erfassen von bei der Glimmentladung auftretenden
Entladungsstörungen wie Lichtbogen muß die in F i g. 1 dargestellte Schalteinrichtung zum Erfassen eines
Kurzschlusses mindestens so schnell arbeiten wie der Schnellschalter, damit dieser nicht schon abgeschaltet
hat, bevor der Kurzschluß erfaßt wird.
Die in Fig.2 dargestellte Schaltung zeigt einen Maximalwertspeicher 49, der einen Komparator 50
aufweist, an dessen einen Eingang die Betriebsspannung Uist angelegt ist. Der Ausgang des Komparators 50 ist
über eine Diode 51 mit dem anderen Eingang des Komparators verbunden, der mit einem geerdeten
Kondensator 52 verbunden ist, der von dem Komparator 50 entsprechend dem Maximalwert der Betriebsspannung
Uist aufgeladen wird. Der Kondensator 52 kann sich aufgrund der Diode 51 nur über einen dem
Maximalwertspeicher 49 parallelgeschalteten Entladewiderstand 53 entladen, wobei das aus dem Kondensator
52 und dem Widerstand 53 gebildete flC-Glied die Zeitkonstante des Maximalwertspeichers 49 bestimmt.
Der Maximalwertspeicher 49 mit dem paiallelgeschalteten
Entladewiderstand 53 ist beispielsweise vor den Eingang des Komparators 41 zu schalten, an dem
U/s, angelegt ist. Hierdurch können kleinste Störungen
ausgeschaltet und Kurzschlußvortäuschungen vermieden wurden. Außerdem stellt die Schalteinrichtung dann
zusätzlich zu ihrer Funktion als Kurzschlußerfassungseinrichtung eine Sicherheitseinrichtung für den Fall dar,
daß der Schnellschalter zur Überwachung von Entladungsstörungen wie Lichtbogen ausfallen sollte.
lu Bei dem in Fig. 3 gezeigten Diagramm sind
schematisch die Betriebsspannungen £/,« und der
Betriebsstrom /,«dargestellt. Bis zum Zeitpunkt ίκ ist die
Betriebsspannung Ui5, gleich der Spannung UCi der
Glimmentladung. Im Zeitpunkt i< tritt ein Kurzschluß
auf, der bewirkt, daß Uis, auf einen Wert unterhalb des
Schwellwertes Uo absinkt. Uo ist hierbei größer als die Lichtbogenspannung Ul und kleiner als die Glimmentladungsspannung
Uci- Der Betriebsstrom /,«, der bis zu
dem Zeitpunkt f* gleich dem Glimmentladungsstrom la
ίο ist, steigt aufgrund des auftretenden Kurzschlusses im
Zeitpunkt ίκ stark an und übersteigt den Schwellwert /o.
Die Spannung Umax des Maximalwertspeichers hat im
Zeitpunkt tu den Wert UK, und fällt vom Zeitpunkt ίκ
exponentiell ab. Wenn die Spannung Umax des Maximalwertspeichers
im Zeitpunkt to den Wert Uo unterschreitet, wird das Abschaltsignal zum gänzlichen Abschalten
der Glimmentladungsanlage erzeugt, da in diesem Fall auch Α« größer als /o ist
Wird der Betriebsstrom nur kurzzeitig durch Schalten
Wird der Betriebsstrom nur kurzzeitig durch Schalten
ίο des Schnellschalter etwa bei Auftreten eines Lichtbogens
im Rezipienten an den Zeitpunkten fi, t2
unterbrochen, so kann sich der Kondensator 52 aufgrund des parallelgeschalteten Widerstandes 53 und
einer entsprechend groß gewählten Zeitkonstanten für dieses /?C-Glied nur geringfügig entladen (vgl. F i g. 4),
so daß der Komparator 54 sein Ausgangssignal nicht ändert. Existiert dagegen längere Zeit eine Betriebsspannung
Uist, die kleiner als Uo ist, so findet der
Kondensator 52 Zeit, sich über den Widerstand 53 zu
■in entladen, so daß sich das Ausgangssignal des Komparators
54 entsprechend ändert. Ein eventuelles weiteres Zuschalten zu den Zeitpunkten h, U und Abschalten zu
den Zeitpurkten fs, U, durch den Schnellschalter
beeinträchtigt das Entladen des Kondensators 52 und damit das Erzeugen des Abschaltsignals nicht, da die
Betriebsspannung £/,« aufgrund des Kurzschlusses nicht
hochgeregelt werden kann.
Sowohl im Falle eines Kurzschlusses als auch im Falle der Ausbildung eines stehenden Lichtbogens im
Rezipienten ist U51 kleiner als i/o, so daß beim Ausfall
des Schnellschalters die Schalteinrichtung auch als zusätzliche Sicherheitsschaltung zu einem üblichen
Schnellschalter dient.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Verfahren zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung in
einem Rezipienten für metallurgische Behandlungen, wie Nitrierhärten od. dgl., bei dem eine dem
Betriebsstrom durch den Rezipienten und eine des an ihm liegenden Betriebspotentials proportionale
Größe einer Bewertungsschaltung zugeführt werden, in der ein Steuersignal zum kurzzeitigen
Abschalten des Betriebspotentials erzeugt wird, wenn der Betriebsstrom //«größer als ein vorgebbarer
Stromschwellwert k und das Betriebspotential U/st kleiner als ein vorgebbarer Potentialschwellwert
i/o ist, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer zwischen den Abgriff des Betriebspotentiais
Uis, und die Bewertungsschaltung (40) gelegten
Speicherschaltung (49) das Potential ihres mit der Bewertungsschaltung (40) verbundenen Anschlusses
beim Absinken des Betriebspotentials t/,s, unter den
Potentialschwellwert U0 mit einer vorgebbaren Zeitkonstante auf einen Wert, der kleiner als der
Potentialschwellwert Uo ist, abgesenkt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Potentialschwellwert Uo zwischen
den Wert der Glimmentladungsspannung Uoi und den der Lichtbogenbrennspannung £4 gelegt wird.
3. Schalteinrichtung zur Überwachung der elektrischen Glimmentladung in einem Rezipienten für die
metallurgische Behandlung von Werkstücken in einer Gasatmosphäre mit einer Bewertungsschaltung
enthaltend jeweils einen Stromkomparator und einen Spannungskomparator zum Erzeugen eines
Steuersignals zum kurzzeitigen Abschalten des Betriebspotentials, wenn der Betriebsstrom /,>,
größer als ein einstellbarer vorgebbarer Stromschwellwert /o und das Betriebspotential i/,« kleiner
als ein vorgebbarer Potentialschwellwert i/o ist zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder
2, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingänge von Strom- und Spannungskomparatur (33, 41) jeweils
einen Anschluß für die Betriebsgröße i/,s,, /,·Ι() und
den jeweiligen Schwellwert (Uo, h) enthalten und ihre Ausgänge am Eingang eines UND-Gatters (42)
liegen, dessen Ausgang das Steuersignal liefert, und vor dem Anschluß für die Betriebsgröße U,si des
Spannungskomparators (41) eine mit einer vorgebbaren Zeitkonstante entladbare Speicherschaltung
(42) gelegt ist.
4. Schalteinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherschaltung aus
einem Maximalwertspeicher (49) mit parallelgeschaltetem Entladewiderstand (53) besteht.
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2606395A DE2606395C3 (de) | 1976-02-18 | 1976-02-18 | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung |
CH86377A CH611750A5 (de) | 1976-02-18 | 1977-01-25 | |
FR7703789A FR2342000A1 (fr) | 1976-02-18 | 1977-02-10 | Procede et dispositif pour controler le comportement electrique d'une decharge luminescente de forte intensite |
BR7700947A BR7700947A (pt) | 1976-02-18 | 1977-02-16 | Processo e dispositivo para o controle do comportamento eletrico de uma descarga luminosa em efluvios,de corrente de forte intensidade |
CA271,942A CA1093435A (en) | 1976-02-18 | 1977-02-16 | Metallurgical treatment using a glow discharge |
US05/769,163 US4193070A (en) | 1976-02-18 | 1977-02-16 | Method and arrangement for controlling the electrical relationships of a current-intensive glow discharge |
IT20418/77A IT1077259B (it) | 1976-02-18 | 1977-02-18 | Procedimento e dispositivo per la sorveglianza del comportamento elettrico di una scarica luminescente a correnti intense |
GB6842/77A GB1575447A (en) | 1976-02-18 | 1977-02-18 | Metallurgical treatment using a glow discharge |
JP1706377A JPS5299935A (en) | 1976-02-18 | 1977-02-18 | Method of monitoring electric characteristics of large current density glow discharge and apparatus therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2606395A DE2606395C3 (de) | 1976-02-18 | 1976-02-18 | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2606395A1 DE2606395A1 (de) | 1977-08-25 |
DE2606395B2 true DE2606395B2 (de) | 1978-05-18 |
DE2606395C3 DE2606395C3 (de) | 1979-01-18 |
Family
ID=5970147
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2606395A Expired DE2606395C3 (de) | 1976-02-18 | 1976-02-18 | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4193070A (de) |
JP (1) | JPS5299935A (de) |
BR (1) | BR7700947A (de) |
CA (1) | CA1093435A (de) |
CH (1) | CH611750A5 (de) |
DE (1) | DE2606395C3 (de) |
FR (1) | FR2342000A1 (de) |
GB (1) | GB1575447A (de) |
IT (1) | IT1077259B (de) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2620164C2 (de) * | 1976-05-07 | 1978-07-06 | Ionit Anstalt Bernhard Berghaus, Vaduz | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen |
FR2442568A2 (fr) * | 1978-11-27 | 1980-06-20 | Bourboulon Henri | Circuit d'alimentation protecteur pour lampes a decharge |
FR2497038A1 (fr) * | 1980-12-19 | 1982-06-25 | Frager Jean | Generateur de courant asservi en puissance, notamment pour processus de decharge dans une atmosphere rarefiee |
BG41744A1 (en) * | 1984-11-26 | 1987-08-14 | Savov | Method for control of chimico= thermic processing of work- pieces with glowing dicharge in medium of processing gas and device for implementing this method |
US4853046A (en) * | 1987-09-04 | 1989-08-01 | Surface Combustion, Inc. | Ion carburizing |
US5127967A (en) * | 1987-09-04 | 1992-07-07 | Surface Combustion, Inc. | Ion carburizing |
US5241152A (en) * | 1990-03-23 | 1993-08-31 | Anderson Glen L | Circuit for detecting and diverting an electrical arc in a glow discharge apparatus |
DE4326100B4 (de) * | 1993-08-04 | 2006-03-23 | Unaxis Deutschland Holding Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten in einer Vakuumkammer, mit einer Einrichtung zur Erkennung und Unterdrückung von unerwünschten Lichtbögen |
US7981257B2 (en) * | 2002-04-12 | 2011-07-19 | Schneider Electric USA, Inc. | Current-based method and apparatus for detecting and classifying arcs |
US7988833B2 (en) * | 2002-04-12 | 2011-08-02 | Schneider Electric USA, Inc. | System and method for detecting non-cathode arcing in a plasma generation apparatus |
CN101473403B (zh) | 2006-03-17 | 2012-02-08 | 施耐德自动化公司 | 用于检测和分类发弧的基于电流的方法和设备 |
US20090308734A1 (en) * | 2008-06-17 | 2009-12-17 | Schneider Automation Inc. | Apparatus and Method for Wafer Level Arc Detection |
US9745660B2 (en) | 2014-05-02 | 2017-08-29 | Reno Technologies, Inc. | Method for controlling a plasma chamber |
US10431428B2 (en) | 2014-01-10 | 2019-10-01 | Reno Technologies, Inc. | System for providing variable capacitance |
DE102014213744A1 (de) * | 2014-07-15 | 2016-01-21 | Primetals Technologies Germany Gmbh | Elektrischer Lichtbogenofen mit einer Sicherheitsvorrichtung und Verfahren zur Sicherung von Peripheriegeräten an elektrischen Lichtbogenöfen |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3564528A (en) * | 1966-08-22 | 1971-02-16 | Ex Cell O Corp | Electronic control circuit |
DE1275228B (de) * | 1966-11-08 | 1968-08-14 | Berghaus Elektrophysik Anst | Verfahren zur UEberwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung fuer metallurgische Verfahren und Einrichtung dazu |
US3681662A (en) * | 1970-10-23 | 1972-08-01 | Berghaus Elektrophysik Anst | Method of monitoring the electrical behavior of a high-intensity glow discharge for metallurgical processes |
JPS4986926A (de) * | 1972-12-25 | 1974-08-20 | ||
US4034269A (en) * | 1975-12-12 | 1977-07-05 | General Electric Company | Protective relay circuits |
-
1976
- 1976-02-18 DE DE2606395A patent/DE2606395C3/de not_active Expired
-
1977
- 1977-01-25 CH CH86377A patent/CH611750A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-02-10 FR FR7703789A patent/FR2342000A1/fr active Granted
- 1977-02-16 US US05/769,163 patent/US4193070A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-02-16 BR BR7700947A patent/BR7700947A/pt unknown
- 1977-02-16 CA CA271,942A patent/CA1093435A/en not_active Expired
- 1977-02-18 IT IT20418/77A patent/IT1077259B/it active
- 1977-02-18 GB GB6842/77A patent/GB1575447A/en not_active Expired
- 1977-02-18 JP JP1706377A patent/JPS5299935A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1077259B (it) | 1985-05-04 |
FR2342000A1 (fr) | 1977-09-16 |
DE2606395A1 (de) | 1977-08-25 |
BR7700947A (pt) | 1977-10-18 |
CA1093435A (en) | 1981-01-13 |
JPS5622948B2 (de) | 1981-05-28 |
JPS5299935A (en) | 1977-08-22 |
FR2342000B1 (de) | 1980-04-18 |
GB1575447A (en) | 1980-09-24 |
CH611750A5 (de) | 1979-06-15 |
US4193070A (en) | 1980-03-11 |
DE2606395C3 (de) | 1979-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2606395C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung | |
DE102014105719B4 (de) | Schaltungsvorrichtung mit einer Thyristorschaltung sowie ein Verfahren zum Prüfen der Thyristorschaltung | |
DE4129557C2 (de) | Stromversorgungsschaltung für eine Gasentladungslampe in einem Fahrzeug | |
DE69208611T2 (de) | Drahtschneidefunkenerosionsmaschine | |
DE1934140C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Elektroentladungsbearbeitung | |
DE19644858C2 (de) | Energiespeicherschutzvorrichtung für ein Fahrzeuginsassenschutzsystem | |
DE3530580C2 (de) | Verfahren zum Steuern einer Funkenerosionsmaschine | |
DE4025698C2 (de) | ||
EP3361588B1 (de) | Verfahren zum betreiben eines elektronischen schutzschalters und elektronischer schutzschalter | |
DE2716343C2 (de) | Schaltungsanordnung zum Abschalten einer Funkenerosionsmaschine | |
DE3323609C2 (de) | ||
EP1928009A1 (de) | Bogenentladungs-Erkennungseinrichtung, Plasma-Leistungsversorgung und Verfahren zum Erkennen von Bogenentladungen | |
DE2457304A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung eines bearbeitungsvorgangs mittels funkenerosion | |
DE2256649A1 (de) | Vorrichtung zum rechtzeitigen detektieren von flammenboegen | |
CH664314A5 (de) | Funkenerosionseinrichtung. | |
CH661228A5 (de) | Funkenerosionsmaschine mit einer elektrode zum bearbeiten eines werkstueckes. | |
DE112017005583B4 (de) | Stromversorgungs-Steuervorrichtung für eine Funkenerosionsmaschine | |
EP1343359B1 (de) | EOL-Erkennung mit integrierter Wendelabfrage | |
EP0547417A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Wiederzünden eines Lichtbogens bei einem Schutzgasschweissverfahren | |
DE1590995B2 (de) | Schaltungsanordnung zur Anodisierung eines Dünnschichtwiderstandes | |
DE102006043900B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Plasmaanlage | |
EP4012926A1 (de) | Gleichstromschalter | |
DE4013044A1 (de) | Elektroerosives bearbeitungsverfahren | |
DE2711057A1 (de) | Elektronisches blitzgeraet | |
EP3906132B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum schweissen mit einer nichtabschmelzenden elektrode |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
EGA | New person/name/address of the applicant | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |