DE2602730A1 - Mikroskopobjektiv - Google Patents

Description

260273Q

PATENTANWÄLTE ZENZ & HELBER · D 4300 ESSEN 1 · AM RUHRSTEIN 1 · TEL.: (02 01) 4126 Seite - 1 - 0

Olympus Optical Co., Ltd. Hatagaya 2-43-2, Shibuya-ku, Tokyo-to, Japan

Mikroskopobj ektiv

Die Erfindung bezieht sich auf ein Mikroskopobjektiv mit einer Korrekturvorrichtung.

Bei der Herstellung eines Mikroskopobjektivs erfolgt die Einstellung des Objektivs allgemein unter Verwendung eines Deckglases bestimmter Dicke, die in JIS (in der Bundesrepublik Deutschland DIN 58884 und in U.S.A. durch ASTM Designation E211-65T) normiert ist. Am meisten benutzt wird das Deckglas, das in JIS R 3702, Nr. Is normiert ist und einen Normwert von 0,17 mm Dicke hat. Wenn im Zuge der Herstellung ein Mikroskopobjektiv eingestellt wird, das mit einem Deckglas der Dicke entsprechend JIS R 3702, Nr. Is verwendet werden soll, so wird ein Deckglas mit der genauen Dicke von 0,17 mm zur Einstellung benutzt. Andererseits ist die Dicke der Deckgläser nicht immer genau 0,17 mm, sondern es ist mit einem Dickenfehler innerhalb bestimmter Toleranzen zu rechnen. Nach der JIS Norm liegt der zulässige Dickenbereich dieses Deckglases für JIS R 3702, Nr. Is beispielsweise zwischen 0,15 mm und 0,18 mm. Bei der Verwendung eines Mikroskopobjektivs ist das Deckglas in der Praxis häufig von dem zur Einstellung im Zuge der Herstellung verwendeten speziellen Deckglas verschieden. Im Hinblick auf die Tatsache, daß die in der Praxis verwendeten einzelnen Deckgläser nicht unbeträchtliche Fehler in ihrer Istdicke haben, muß der Benutzer ein Objekt unter Ver-

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• λ.

wendung eines Deckglases beobachten, dessen Dicke von dem bei der Einstellung im Zuge der Herstellung verwendeten Deckglas abweicht. Hierdurch werden Aberrationen bzw. Abweichungen, insbesondere sphärische Aberrationen verstärkt, wodurch die tatsächliche Arbeitsweise bzw. Präzision des Mikroskopobjektivs gegenüber den konstruktiven Werten zurückbleibt. Bei der praktischen Benutzung von Mikroskopobjektiven wird das verschlechterte Bild jedoch gelassen, da die Bildverschlechterung infolge der Dickenabweichung des Deckglases nicht so stark ist und keinen wesentlichen Einfluß auf das Beobachtungsergebnis hat. Zudem kann das Objektiv nicht ohne weiteres auf Änderungen in der Deckglasdicke nachjustiert werden.

In jüngster Zeit wird jedoch eine genauere Beobachtung und Messung auf dem Gebiet der Medizin, insbesondere bei wissenschaftlichen Untersuchungen im Medizinalbereich und im industriellen Bereich im zunehmenden Maße erforderlich· Dementsprechend wird auch eine geringfügigere Bildverschlechterung als erheblicher Mangel angesehen.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Mikroskopobjektiv mit einer Korrekturvorrichtung auszustatten, die Bildfehler aufgrund von Dickendifferenzen der Deckgläser gegenüber der Solldicke in einfacher Weise zu beseitigen bzw. korrigieren vermag.

Erfindungsgeraäß wird zur Lösung dieser Aufgabe vorgeschlagen, daß eine Frontlinsengruppe an der Objektseite und eine hintere Linsengruppe an der Abbildungsseite eines bestimmten Luftspaltes angeordnet sind und daß die Korrekturvorrichtung so ausgebildet ist, daß der bestimmte Luftspalt durch Verschiebung der hinteren Linsengruppe gegenüber der Frontlinsengruppe zur Korrektur von Aberrationen, die durch Abweichungen der Istdicke des Deckglases voijöessen Solldicke hervorgerufen sind, veränderlich ist.

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In Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Frontlinsengruppe und die hintere Linsengruppe jeweils in einem Zylinder gehaltert sind, von denen der der hinteren Linse zugeordnete Zylinder zur Änderung des Luftspalts gegenüber dem die Frontlinsengruppe halternden Zylinder verschieblich ist, und daß erste und zweite Korrekturzylinder vorgesehen sind, wobei die Anordnung so getroffen ist, daß der erste Korrekturzylinder zur Bewegung des zweiten Korrekturzylinders drehbar ist und durch die Bewegung des zweiten Korrekturzylinders der Luftspalt unter Verschiebung des die hintere Linsengruppe halternden Zylinders variierbar ist.

Wie zuvor erwähnt, werden erfindungsgemäß solche Abbildungsbzw. Bildfehler, die durch Abweichung der Istdicke des Deckglases von der Soll- bzw. normierten Dicke von beispielsweise 0,17 mm hervorgerufen werden, durch Einstellung eines bestimmten Luftspalts zwischen das Mikroskopobjektiv bildenden Linsenkomponenten vermieden bzw. korrigiert. Hierbei wird die Größe des gewählten Luftspaltes proportional zur Differenz zwischen der Solldicke und der Istdicke des Deckglases verändert, wenn die Istdicke von der Solldicke (beispielsweise 0,17 mm) des Deckglases abweicht. Die erfindungsgemäß vorgesehene Korrekturvorrichtung des Mikroskopobjektivs ermöglicht es daher, ein ebenso präzises und scharfes Bild durch das Mikroskopobjektiv zu entwerfen, wie dasjenige, das bei der Einstellung des Mikroskopobjektivs im Zuge der Herstellung gewonnen wird. Der veränderliche Luftspalt kann je nach der Zahl der das Linsensystem bildenden Linsenkoiaponenten unter verschiedenen Luftspalten gewählt werden. Wenn jedoch der zur Korrektur von Aberrationen erforderliche Änderungsbereich des Luftspalts sehr groß ist, so wird auch der Bewegungshub der Linsen zur Änderung des Luftspalts groß, wodurch der Mechanismus zur Bewegung der Linse entsprechend kompliziert wird. Wenn das Maß der Linsenbewegung bzw. -verschiebung groß ist, so hat eine durch die Bewegung der Linse hervorgerufene Fehlausrichtung der Linsen einen starken Ein-

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•Υ.

fluß auf die Güte der Abbildung bzw. des Bildes. Die Linsenbewegung wird aus diesem Grunde möglichst gering gehalten.

Aus dem zuvor genannten Grund wird der veränderliche Luftspalt vorzugsweise so gewählt, daß er der Bedingung i fjj/fj ! i ⁸J hierbei stellt ί_χ die Brennweite der objektseitig vom Luftspalt angeordneten Frontlinsengruppe und f__ die Brennweite der auf der Abbildungsseite angeordneten hinteren Linsengruppe dar. Wenn der zu variierende Luftspalt entsprechend der vorgenannten Bedingung gewählt wird, wird das Maß der Linsenbewegung nicht zu groß, so daß das obengenannte Problem nicht auftreten wird. Wenn andererseits der veränderliche Luftspalt die obengenannte Bedingung nicht erfüllt, so kann der für die Korrektur erforderliche Variationsbereich des Luftspalts unerwünscht hohe Werte annehmen. Außerdem soll der variierbare Luftspalt vorzugsweise so gewählt werden, daß mit seiner Hilfe insbesondere eine sphärische Aberration infolge Dickenfehler des Deckglases korrigiert werden kann, ohne bei der zu diesem Zweck durchgeführten Luftspaltänderung die anderen Aberrationen zu verstärken.

Im folgenden werden Beispiele der Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigen:

F₁ ig. 1 und 2 jeweils Schnittansichten des Mikroskopobjektivs; und

Fig. 3 und 4 jeweils Schnittansichten der Linsenhalterung des Mikroskopobjektivs nach der Erfindung.

Bevorzugte Beispiele von numerischen Werten des hier behandelten Mikroskopobjektivs sind nachstehend angegeben:

Beispiel	1	£	= 1,0 ,	ß -	-60	ni;:	Q	»	N.A. =	0f95
	« -O	f7729			V/
T1	dl	= 0-5860						77250
	) = "°	,5966	09	83		7	Ü2 "/■■'
	d2	- 0,0172

= 49,6

r3 =	-8:	7677	=1,0686	f =	= 1,0 ,	V"	1,43389
	d3	= 0,4137	3354	-°i	.2981
r4 =		1717	= 0,1724	dl	= 0.6627
	d4	= 0,1551	2347		r5202
r5 =	-49	,3888	= 0,5171	d2	= 0,0143	■ n3 =	1,74
	d5	= 0,1724	4450 -	"3I	,4209
r6 =	1,7615	= 0f0689	d3	= 0,0974	n4 =	1,43389
	d6	1689 ( = 0,1724	12	,6485
r7 =	-h	2289
	d7	= 0,7584/		■ - ·-·-■
r8 =	"j	8456	n5 =	1,618
	d8	Beispiel 2
r9 =
	d9	ri =	n6 =	1,64
rio =	dic
rn =	= 1,	r2 =	n7 =	1,48656
	dll
ri2:	=8,	r3 =
	3 = -40,0	, ■ ]
r4 =
nl =	1;48656
n2 =	1,61340

= 95.2

31,7

v, - 95_f2

= 63,4

v, = 60,2

= 84,5

0_;85

84,5

43₇8

83 1/07 42

d. = 0.4941 4 '

= -0.9157

= 1,43389

d = 0,0938 τ₆ = 8,0760 ·

d_£ = 0,3563 ο '

r_y = -1.8770

d = 0j0238 r₈ = 2.8432

d_o = 0,1924 r_g = 1,2000

d = 0_;5226

^rio - ⁹»¹¹¹⁹

d₁₀ = 3,0879

-21,0727 d = 0,3563

-3,9309

^d12 ⁼ °;⁰⁴?⁹

r_u = -21,0727

_r = _·* Q3O9 12 ^J/^yju;;

r = -82,7506

= 0_/2375

r, = 1,5637

= 0_;7126

r₁₅ = -1,8929

d₁₅ = 0,2375

^ - -⁵;⁷¹⁷³ ■

1,43389

1,61340

1,43389

= 1,43389

= 1,62041

= 1,43389

n₁₀ = 1,48749

95,2

= 43,8

= 95,2

95,2

= 6O₇ 3

= 95,2

io

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Im Vorstehenden bedeuten: r^, r~ ·-· jeweils Krümmungsradien der entsprechenden Linsenflächen; d^, dp, ... jeweils Dicken der entsprechenden Linsen und Luftspalte zwischen den entsprechenden Linsen; n^, n„ ... jeweils Brechungsindizes der entsprechenden Linsen; und V^, V₂> ··· jeweils Abbezahlen der entsprechenden Linsen.

Bei den obigen Beispielen hat das Linsensystem gemäß Beispiel 1 die in Fig. 1 gezeigte Linsenkonfiguration, d.h. eine Fünfkomponenten-Konfiguration mit sieben Linsen. Durch Dickenfehler des Deckglases hervorgerufene Aberrationen werden durch Änderung des Luftspalts d₄ zwischen den zweiten und dritten Linsenkomponenten zur Gewinnung eines günstigen Bildes bzw. einer günstigen Abbildung variiert. Die Beziehung zwischen der Dicke des Deckglases und dem Luftspalt d^ zur Vornahme dieser Korrektur ist nachfolgend angegeben:

Dicke des Deckglases d₄

0,14 . 0,2172

0,15 0,1965

0,16 0,1758

0,17 0,1551

0,18 0,1344

0,19 0,1137

Bei dem zuvor angegebenen ,Beispiel 1 sind die Brennweiten f., = 0,929 (Front1insengruppe) und f__ = 3,61 (hintere Linsengruppe), wobei die ersten und zweiten Linsenkomponenten auf der Objektseite des Luftspalts d₄ die Frontlinsengruppe und die dritten, vierten und fünften Linsenkomponenten auf der Abbildungsseite des Luftspalts d. die hinteren Linsengruppe bilden. Daher wird das Verhältnis /f^/f^./ * 3,88. Wenn andererseits der Luftspalt d₇ zwischen den dritten und vierten Linsenkomponenten als veränderlicher Luftspalt gewählt wird, ist das Verhältnis zwischen den Brennweiten der aus den ersten bis dritten Linsenkomponenten bestehenden Frontlinsengruppe

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und der aus der vierten und fünften Linsenkomponente bestehenden hinteren Linsengruppe gleich 12. Aus dem oben angegebenen Grunde ist es daher nicht so günstig, den Luftspalt άη zu variieren. Ähnliches gilt für den Fall, daß der Luftspalt d_g zwischen den vierten und fünften Linsenkomponenten als variabler Luftspalt gewählt wird. Wenn der Luftspalt d« zwischen den ersten und zweiten Linsenkomponenten als variabler Luftspalt gewählt wird, so ist das Verhältnis der Brennweiten der aus der ersten Linsenkomponente bestehenden Gruppe und der aus der zweiten bis fünften Linsenkoraponente bestehenden hinteren Linsengruppe gleich 1,48. Der Änderungsbereich des Luftspalts ist in diesem Falle nicht groß, so daß keinⁿgünstiger Einfluß unter diesem Gesichtspunkt zu erwarten ist.

Bei Mikroskopobjektiven hat jedoch die Exzentrizität zwischen den ersten und zweiten Linsenkomponenten extrem starken Einfluß auf die Arbeitsleistung des Objektivs. Unter diesem Gesichtspunkt ist der Luftspalt zwischen den ersten beiden Linsenkomponenten als variierbarer Luftspalt ungünstig.

Beispiel 2 hat die in Fig. 2 dargestellte Linsenkonfiguration, d.h. eine sechskomponentige, aus zehn Linsen bestehende Konfiguration. Aberrationen infolge Dickenfehler des Deckglases werden durch Variation des Luftspalts d,- zwischen der zweiten und dritten Linsenkomponente zur Erzielung eines günstigen und scharfen Bildes korrigieret. Die Beziehung zwischen der Dicke des Deckglases und dem zur Korrektur erforderlichen Luftspalt d₅ ist nachfolgend angegeben:

Dicke des Deckglases dg

0,14 0,1727

0,15 0,1463

0,16 - 0,1203

0,17 0,0938

0,18 0,0675

0,19 0,0413

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- 3F -

Bei dem Beispiel 2 ist die Brennweite der auf der Objektseite des/Variablen Luftspalts d₅ gelegenen Frontlinsengruppe f = 1*87, und die Brennweite der vom Luftspalt d,-abbildungsseitig gelegenen hinteren Linsengruppe ist f— = 3,328; das Brennweitenverhältnis ist also / f-^/f-l = 1,78. Ebenso wie beim Beispiel 1 ist es auch beim Beispiel 2 nicht vorteilhaft, eine Luftspaltvariation an einer anderen Stelle vorzunehmen· Wenn beispielsweise der Luftspalt d^_Q als veränderlicher Luftspalt genommen würde, so wäre das Brennweitenverhältnis der die ersten bis vierten Linsenkomponenten enthaltenden Front1insengruppe und der die fünften und sechsten Linsenkomponenten enthaltenden hinteren Linsengruppe gleich 47. Auch bei Wahl anderer Luftspalte wäre das Verhältnis groß, mit Ausnahme des Luftspalts dp· Wie im Falle des Beispiels 1 ist jedoch auch die Wahl des Luftspalts dp als variabler Luftspalt unvorteilhaft«

Wie oben erläutert wurde, kann eine befriedigende und günstige Beobachtung nicht vorgenommen werden, wenn die Istdicke des verwendeten Deckglases von der Normdicke verschieden ist· Mit Hilfe des beschriebenen Mikroskopobjektivs ist es jedoch möglich, eine sehr günstige Beobachtung durch Variation eines bestimmten Luftspalts zwischen den Linsen um einen vorgegebenen Betrag zu erreichen·

Im folgenden wird die Korrektur- und Stellvorrichtung nach der Erfindung beschrieben. Fig. 3 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der Korrekturvorrichtung, bei dem ein Linsensystem verwendet wird, das von den oben beschriebenen beiden Beispielen etwas abweicht. Das Linsensystem gemäß Fig. 3 weist die Linsenkomponenten L^, Lp, L₃, L, und L₅ auf und ist so angeordnet, daß es durch Änderung des Luftspalts zwischen der zweiten Linsenkomponente Lp und der dritten Linsenkomponente L₃ Aberrationen zu korrigieren vermag. Die beiden ersten Linsenkomponenten L^ und L₂ stellen daher die Frontlinsengruppe dar, während die drei letzten Linsenkompo-

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nenten L₃, L₄ und L₅ die hintere Linsengruppe bilden. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ist ein Innenzylinder 1 vorgesehen, in dem ein Längsschlitz la (mit einem zur optischen Achse des Objektivs parallelen Verlauf) ausgebildet ist. Ein Zylinder 2 zur Halterung der Frontlinsengruppe ist in den Innenzylinder 1 eingepaßt und weist einen Schlitz 2a sowie eine Nut 2b auf, die in Längsrichtung (parallel zur optischen Achse des Objektivs) verlaufen. Ein Trägerring 3 für die erste Linsenkomponente L^ und ein Trägerring 4 für die zweite Linsenkomponente L₂ sind jeweils durch mit Außengewinde versehene Halteringe 5 und 5' in dem der Frontlinsengruppe zugeordneten Zylinder 2 befestigt. Ein die hintere Linsengruppe halternder Zylinder 6 ist in den der Frontlinsengruppe zugeordneten Zylinder 2 eingepaßt. An dem der hinteren Linsengruppe zugeordneten Trägerzylinder 6 sind ein die dritte Linsenkomponente Lo umschließender Trägerring 7, ein die vierte Linsenkomponente L₄ umschließender Trägerring 8 und ein die fünfte Linsenkomponente L^ umschließender Trägerring 9 durch einen in den Zylinder 6 eingeschraubten Haltering 10 befestigt. Ein erster Korrekturzylinder 11 weist einen Längsschlitz 11a auf und ist so auf die Außenfläche des Innenzylinders 1 aufgesteckt, daß der Schlitz 11a genau über dem im Innenzylinder 1 ausgebildeten Schlitz la liegt. Ein zweiter Korrekturzylinder bzw. -ring 12 ist auf den ersten Korrekturzylinder bzw. -ring 11 aufgeschraubt. Ein Führungszapfen 13 ist an dem der hinteren Linsengruppe zugeordneten Trägerzylinder 6 befestigt und greift in den Schlitz la des Innenzylinders 1, den Schlitz 2a des der Frontlinsengruppe zugeordneten Trägerzylinders 2 und in den Schlitz 11a des ersten Korrekturrings 11 ein. Ein Außenzylinder 14 ist auf dem Innenzylinder 1 angebracht, und ein Anschlagsring 15 ist mittels einer Schraube 16 am Innenzylinder 1 befestigt. Eine Sperrschraube 17 ist in den Innenzylinder 1 eingeschraubt, wobei das freie Ende der Sperrschraube in die Nut 2b des der Frontlinsengruppe zugeordneten Zylinders 2 eingreift. Zwischen dem Haltering 10 und einem Endring 19 ist eine Andruckfeder

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angeordnet. Eine Pufferfeder 20 ist zwischen dem Innenzylinder

1 und dem der vorderen Linsengruppe zugeordneten Haltezylinder

2 eingespannt.

Im folgenden wird die Funktionsweise der dem beschriebenen Mikroskopobjektiv zugeordneten Korrekturvorrichtung beschrieben« Der Haltezylinder 6 für die hintere Linsengruppe wird unter Einfluß der Feder 18 ständig nach unten, in Fig. 3 also nach links vorgespannt. Der an dem Haltezylinder 6 befestigte Führungszapfen 13 ist also in derselben Richtung vorgespannt und wird ständig mit einem Ende (linkes Ende in Fig. 3) des Schlitzes lla im ersten Korrekturring 11 in Anlage gehalten. Daher kann der der hinteren Linsengruppe zugeordnete Haltezylinder 6 nicht weiter nach unten (in Fig. 3 nach links) bewegt werden als in Fig. 3 gezeigt ist, und er ist in dieser Stellung festgelegt, bei der zwischen dem der Frontlinsengruppe zugeordneten Haltezylinder 2 und dem der hinteren Linsengruppe zugeordneten Haltezylinder 6 ein vorgegebener Zwischenraum besteht. Wenn der zweite Korrekturring 12 entweder im Uhrzeigersinn oder im Gegenuhrzeigersinn gedreht wird, bewegt sich der erste Korrekturring 11 parallel zur optischen Achse des Objektivs. Wenn sich der erste Korrekturring 11 verschiebt, wird auch der Führungszapfen 13 entlang dem Schlitz verschoben. Demgemäß bewegt sich auch der der hinteren Linsengruppe zugeordnete Haltezylinder 6 in Richtung parallel zur optischen Achse des Objektivs, und der Luftspalt zwischen den vorderen und hinteren Linsengruppen wird verändert. Auf die zuvor beschriebene Weise ist es möglich, durch Dickenabweichungen des Deckglases hervorgerufene Aberrationen bzw. Abweichungen zu korrigieren und ein ausgezeichnetes Bild und eine scharfe Abbildung zu gewinnen.

Fig. 4 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäß vorgesehenen Korrekturvorrichtung. Die Funktionen der meisten bei dem zweiten Ausführungsbeispiel verwendeten Bauteile entsprachen denjenigen der Bauteile des ersten Bau-

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elements, jedoch ist ihr konstruktiver Aufbau teilweise abgewandelt, um die andere Linsenkonfiguration des Objektivs (das Linsensystem gemäß Beispiel 1) zu berücksichtigen. Die Erläuterung der einzelnen Bauteile kann hier fortgelassen werden. Der Unterschied des zweiten Ausführungsbeispiels gegenüber demjenigen nach Fig. 3 besteht in folgendem: Bei dem ersten Ausführungsbeispiel ist der der Frontlinsengruppe zugeordnete Haltezylinder 2 in dem Innenzylinder 1 eingepaßt, und der der hinteren Linsengruppe zugeordnete Haltezylinder 6 ist in den der Frontlinsengruppe zugeordneten Zylinder 2 eingepaßt. Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel sind sowohl der die Frontlinsengruppe halternde Zylinder 2 als auch der die hintere Linsengruppe halternde Zylinder 6 in dem Innenzylinder 1 tandemartig eingefügt. Anstelle der bei dem ersten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 vorgesehenen Anordnung der Pufferfeder 20 zwischen dem Innenzylinder 1 und dem Haltezylinder 2 für die Front1insengruppe ist ein gestufter Abschnitt 6a an der Außenfläche des der hinteren Linsengruppe zugeordneten Zylinders 6 bei dem zweiten Ausführungsbeispiel ausgebildet, und die Feder 20 ist zwischen dem der vorderen Linsengruppe zugeordneten Haltezylinder 2 und dem gestuften Abschnitt 6a des der hinteren Linsengruppe zugeordneten Zylinders 6 angeordnet.

Außerdem weist der Innenzylinder 1 bei dem zweiten Ausführungsbeispiel an seinem Vorderende (linken Ende in Fig. 4) eine nach innen vorspringende Stufe Ib auf. Beim Zusammenbau werden der der Frontlinsengruppe zugeordnete Haltezylinder 2, der der hinteren Linsengruppe zugeordnete Haltezylinder usw. von dem rechten Ende in Fig. 4 aus in den Innenzylinder eingesetzt. Dabei werden die erste Linsenkomponente L^ und die zweite Linsenkoraponente Lp unter Verwendung von im Zylinder 2 ausgebildeten, in der Zeichnung nicht gezeigten Zentrierlöchern ausgerichtet, und danach wird der Außenzylinder 14 montiert. Dem Gegenüber werden bei dem ersten Ausführungsbeispiel die entsprechenden Bauteile von dem in der

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Zeichnung gezeigten linken Ende in den Innenzylinder 1 eingefügt, da dieser keinen Innenbund bzw. keine nach innen weisende Stufe am vorderen Ende aufweist. Die Positionierung der entsprechenden Bauteile erfolgt vorzugsweise durch die Anbringung des Außenzylinders 14. In diesem Falle ist es unmöglich, die erste Linsenkomponente L^ usw. vorher auszurichten. Um dieses Problem zu lösen, muß eine vorhergehende Einstellung z.B. durch Ausrichtung unter Verwendung einer Halterung vorgenommen werden, die in der Form dem Außenzylinder 14 vollständig entspricht und Zentrierlöcher aufweist. Sodann wird die Halterung durch den Außenzylinder 14 ersetzt, damit das Objektiv in geeigneter Weise zusammengebaut werden kann.

Mit Hilfe der zuvor beschriebenen Korrekturvorrichtung kann das Mikroskopobjektiv einfach durch Änderung des bestimmten Luftspaltes zwischen den Linsen so eingestellt werden, daß eine ausgezeichnete Abbildung gewonnen wird. Zur Änderung des Luftspalts wird der erste Korrekturring entlang der optischen Achse des Objektivs durch Drehung des zweiten Korrekturrings verschoben, wobei die in dem Haltezylinder 6 befestigten Linsen der hinteren Linsengruppe zusammen mit dem Haltezylinder 6 entlang der optischen Achse verschoben werden. Wenn daher wegen eines Dickenfehlers des Deckglases eine günstige Abbildung bzw. ein scharfes Bild aufgrund der konstruktiven Daten des Objektivs nicht gewonnen werden kann, so gelingt es aufgrund der Erfindung, das Objektiv in einfacher Weise so einzustellen, daß sich die gewünschte genaue und günstige Abbildung ergibt. Bei Aufbau der Korrekturvorrichtung entsprechend dem ersten Ausführungsbeispiel kann der Abschnitt, durch den die den beiden Linsengruppen zugeordneten Zylinder zusammengepaßt werden, lang gemacht werden. Auf diese Weise ist es möglich, eine durch Exzentrizität zwischen den Linsen bei der Verschiebung des Zylinders 6 hervorgerufene Fehlausrichtung der Linsen zu minimalisieren, so daß die Arbeitsleistung des Linsensystems unbeeinträchtigt bleibt. Bei Ausbildung der Korrekturvorrichtung entsprechend dem zweiten Ausführungsbei-

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spiel wird eine besondere Halterung für die Ausrichtung des Linsensystems überflüssig, so daß das Objektiv beim Zusammenbau besonders einfach einzustellen ist.

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Claims (7)

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   Ansprüche

   Mikroskopobjektiv mit Korrekturvorrichtung, dadurch gekennzeichnet , daß eine Frontlinsengruppe (L.,, L₂) an der Objektseite und eine hintere Linsengruppe (L₃, L₄, L₅) an der Abbildungsseite eines bestimmten Luftspaltes (d₄ Fig. 1; d₅ - Fig. 2) angeordnet sind und daß die Korrekturvorrichtung so ausgebildet ist, daß der bestimmte Luftspalt durch Verschiebung der hiriteren Linsengruppe gegenüber der Frontlinsengruppe zur Korrektur von Aberrationen, die durch Abweichungen der Istdicke des Deckglases von dessen Solldicke hervorgerufen sind, veränderlich ist.
2. 2. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Frontlinsengruppe (L.., L₃) und die hintere Linsengruppe (L,, L₄, L₅) so ausgebildet sind, daß die Brennweite f__ der hinteren Linsengruppe zur Brennweite f_ der Frontlinsengruppe in dem folgenden Verhältnis steht:
3. 3. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Frontlinsengruppe erste und zweite Linsenglieder (L^, L₂) und die hintere Linsengruppe dritte, vierte und fünf-fee Linsenglieder (L₃, L₄, L₅) aufweisen, wobei die ersten und zweiten Linsenglieder jeweils durch eine positive Meniskuslinse, das dritte Linsenglied durch eine verkittete positive Doppellinse, das vierte Linsenglied durch eine positive Linse und das fünfte Linsenglied durch eine verkittete positive

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   ~ 16

   Doppellinse gebildet sind, und daß das Mikroskopobjektiv die folgenden numerischen Werte hat:

   C = 1,0 , ^ri = -0,7729 Cl₁ = 0_r5860 T₂ = -0,5966 d₂ = 0,0172 ^r3 = -8.7677 d₃ = 0.4137 ^r4 = -1,1717 d₄ = 0,1551 ^r5 = -49,3888 d = 0,1724 ^r6 = 1,7615 d, = 1,0686
   D ' ^r7 = -1.3354 d_? = 0,1724 r₈ = 73,2347 d₈ = 0,5171 ^r9 = -4,4450 d₉ = 0,0689 ^rio = 6 j 1689 d_l0 = 0,1724 ^rn = I₁2289 ^dll ⁼ °'^{7584 r}l2 = 8,8456

   β = -60.0 , N.A. = 0.95

   = 1,77250

   n₂ = I,43389

   η - Ij74

   n_A = 1,43389

   n₅ = 1,618

   1,64

   = 49.6

   = 95.2

   V, = 31.7

   = 95_f2

   V₅ = 63,4

   60,2

   n_y = 1,48656 v_? = 84,5

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4. 4. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Frontlinsengruppe erste und zweite Linsenglieder (L₁-, Lp) und die hintere Linsengruppe dritte, vierte, fünfte und sechste Linsenglieder (L₃, L₄, L₅, L_g) aufweisen, wobei das erste Linsenglied durch eine positive Meniskuslinse, das zweite Linsenglied durch eine verkittete positive Doppellinse, das dritte Linsenglied durch eine positive Linse, das vierte Linsenglied durch eine verkittete positive Doppellinse, das fünfte Linsenglied durch eine positive Linße und das sechste Linsenglied durch eine verkittete Tripletelinse gebildet sind, und daß das Mikroskopobjektiv die folgenden numerischen Werte hat:

   f = 1,0 , 3 = -40,0 , ' N.A. = 0_;85 r = -0,2981

   Ci₁ = 0.6627 1I₁ = l_y 48656 ^r2 = -0,5202 d₂ = 0,0143 r₃ = -3,4209 d₃ = 0,0974 n₂ = 1,61340 ^r4 = 12,6485

   V = 84,5

   43,8

   609831/0742

   = 1,2000

   r₁₀ = 9,1119

   = 3,0879

   - 18 -

   d. = 0,4941

   4 .

   r₅ = -0.9157

   = 0,0938

   η = 1,43389 V = 95,2

   τ, = 8.0760 ο '

   d. = 0.3563

   ο '

   r₇ = -1.8770

   d_? = OjO238 r_o = 2.8432

   n. = 1,43389
   4 '

   = 95_;2

   d₈ = 0.1924 u = 1,61340

   43,8

   = 0,5226 n_c = 1,43389

   95,2

   r. =-21,0727 d = 0,3563 n_y « 1,43389

   95,2

   ^r12 = -3_;9309 n_Q = 1,62041 V₈ = 60,3 ^d12 ⁼ °;^{0499 r}l3 = -82,7506 n₉ = 1,43389 ' V₉ - 95,2 d₁₃ = 0,2375 ^r14 = 1,5637 n₁₀ = 1,48749 V₁₀ = 70,1 d.. = 0,7126
   14 ' ^r15 = -1,8929 d₁₅ = 0,2375 ^r16 = -5,7173

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5. 5. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrekturvorrichtung einen Innenzylinder (1) mit einem parallel zur optischen Achse des Mikroskopobjektivs angeordneten Schlitz (la), einen die Frontlinsengruppe halternden, im Innenzylinder angeordneten Haltezylinder (2), einen die hintere Linsengruppe halternden Zylinder (6), der relativ zu dem die Frontlinsengruppe halternden Zylinder im Innenzylinder entlang der optischen Achse des Mikroskopobjektivs verschieblich angeordnet ist, einen ersten Korrekturring (11) mit einem parallel zur optischen Achse des Mikroskopobjektivs verlaufenden Schlitz (lla), der außen von dem im Innenzylinder ausgebildeten Schlitz (la) angeordnet ist, einen auf den ersten Korrekturring aufgeschraubten zweiten Korrekturring

   (12) und einen an dem die hintere Linsengruppe halternden Zylinder befestigten und in die im Innenzylinder und im ersten Korrekturring ausgebildeten Schlitze (la, lla) eingreifenden Führungszapfen (13) aufweist, wobei die Anordnung so getroffen ist, daß der vorgegebene Luftspalt durch eine über eine Verschiebung des ersten Korrekturrings (Ιΐψ¹ des Führungszapfens

   (13) in eine Verschiebung des die hintere Linsengruppe halternden Zylinders (6) entlang der optischen Achse des Mikroskopobjektivs umgesetzte Drehbewegung des zweiten Korrekturrings (12) veränderbar ist.
6. 6. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der die hintere Linsengruppe halternde Zylinder (6) in den die Frontlinsengruppe halternden Zylinder (2) eingepaßt ist.
7. 7. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der die Front 1 insengriippe halternde Zylinder (2) und der die hintere Linsengruppe halternde Zylinder (6) im Innenzylinder (1) tandemartig angeordnet sind.

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