DE2558041C3 - Verfahren zum Transport von Halbleiterscheiben durch ein Temperaturbehandlungsrohr - Google Patents

Verfahren zum Transport von Halbleiterscheiben durch ein Temperaturbehandlungsrohr

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DE2558041C3 DE19752558041 DE2558041A DE2558041C3 DE 2558041 C3 DE2558041 C3 DE 2558041C3 DE 19752558041 DE19752558041 DE 19752558041 DE 2558041 A DE2558041 A DE 2558041A DE 2558041 C3 DE2558041 C3 DE 2558041C3
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Wilhelm 8012 Ottobrunn Ertl
Helmut Dipl.-Phys. 8014 Neubiberg Gueckel
Fritz Ing.(Grad.) 8000 Muenchen Schneckenaichner
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G33/00—Screw or rotary spiral conveyors
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