DE2558041B2 - - Google Patents

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DE2558041B2
DE2558041B2 DE19752558041 DE2558041A DE2558041B2 DE 2558041 B2 DE2558041 B2 DE 2558041B2 DE 19752558041 DE19752558041 DE 19752558041 DE 2558041 A DE2558041 A DE 2558041A DE 2558041 B2 DE2558041 B2 DE 2558041B2
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DE
Germany
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semiconductor wafers
tube
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pipe
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DE19752558041
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DE2558041C3 (de
DE2558041A1 (de
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Wilhelm 8012 Ottobrunn Ertl
Helmut Dipl.-Phys. 8014 Neubiberg Gueckel
Fritz Ing.(Grad.) 8000 Muenchen Schneckenaichner
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G33/00—Screw or rotary spiral conveyors
    • B65G33/02—Screw or rotary spiral conveyors for articles
    • B65G33/06—Screw or rotary spiral conveyors for articles conveyed and guided by parallel screws

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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IT30618/76A IT1067293B (it) 1975-12-22 1976-12-20 Procedimento per il trattamento termico di dischi di materiale semiconduttore
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