DE2558041B2 - - Google Patents

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DE2558041B2
DE2558041B2 DE19752558041 DE2558041A DE2558041B2 DE 2558041 B2 DE2558041 B2 DE 2558041B2 DE 19752558041 DE19752558041 DE 19752558041 DE 2558041 A DE2558041 A DE 2558041A DE 2558041 B2 DE2558041 B2 DE 2558041B2
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DE
Germany
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semiconductor wafers
tube
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pipe
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DE19752558041
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DE2558041A1 (de
DE2558041C3 (de
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Wilhelm 8012 Ottobrunn Ertl
Helmut Dipl.-Phys. 8014 Neubiberg Gueckel
Fritz Ing.(Grad.) 8000 Muenchen Schneckenaichner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
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Siemens AG
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G33/00—Screw or rotary spiral conveyors
    • B65G33/02—Screw or rotary spiral conveyors for articles
    • B65G33/06—Screw or rotary spiral conveyors for articles conveyed and guided by parallel screws

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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JP51151879A JPS5277674A (en) 1975-12-22 1976-12-17 Method of heat treatment for semiconductor board
IT30618/76A IT1067293B (it) 1975-12-22 1976-12-20 Procedimento per il trattamento termico di dischi di materiale semiconduttore
FR7638503A FR2336796A1 (fr) 1975-12-22 1976-12-21 Procede pour le traitement thermique de disques semi-conducteurs

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