DE2546511B2 - Hochleistungs-Gaslaser - Google Patents
Hochleistungs-GaslaserInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Hochleistungs-Gaslaser mit einem optischen Resonator, Einrichtungen
zum Zuführen und Abführen eines stimulierbaren
r> Gases zu bzw. von dem vom optischen Resonator begrenzten Anregungsbereich in offenem Kreislauf, die
eine an ihrem Eingang eine Düse zur Einstellung der Strömungsgeschwindigkeit des Gases aufweisende
Gaskammer und eine sich stromab an die Gaskammer
.ο anschließende, sich quer zum Gasstrom erstreckende
schlitzförmige Zone umfassen, in der sich der vom optischen Resonator begrenzte Anregungsbereich befindet,
wobei sich die optische Achse in Längsrichtung der schlitzförmigen Zone senkrecht zur Richtung des
v, Gasstromes erstreckt, und mit Einrichtungen zum elektrischen Anregen des stimulierbaren Gases in dem
vom optischen Reaktor begrenzten Anregungsbereich.
Ein solcher Gaslaser ist aus der US-PS 3758874
ho bekannt. Bei dem bekannten Gaslaser besteht die
Gaskammer aus einem zylindrischen Rohr, das an seinem Eintrittsende durch eine Bodenplatte mit einer
als Düse dienenden zentralen Bohrung abgeschlossen ist. An diese Bodenplatte ist von außen das das Gas
h-> zuführende Rohr angeflanscht. Am anderen Ende ist
die zylindrische Gaskammer ebenfalls von einer Platte verschlossen, in der sich ein im wesentlichen diametral
zum Rohr angeordneter Schlitz befindet. Dieser
Schlitz definiert den Anregungsbereich, der zugleich innerhalb eines optischen Resonators angeordnet ist.
Der optishe Resonator wird von an den Enden des Schlitzes angeordneten Reflektoren gebildet. Zur
Anregung des Gases im Bereich des Schlitzes dient eine Vielzahl von Nadelelektroden, die innerhalb des
die Gaskammer bildenden Rohres einer Flächenelektrode gegenüberstehen, welche sich über eine der beiden
einander gegenüberstehenden, den Schlitz begrenzenden Wandabschnitte erstreckt- Das zugeführte
Gas steht innerhalb der rohrförmigen Gaskammer unter Überdruck, damit ein Gasaustritt durch den
Schlitz in die Atmosphäre möglich ist.
Der bekannte Laser soll sowohl mit impulsmäßigei
als auch mit kontinuierlicher Anregung betrieben werden können. Zur impulsmäßigen Anregung werden
Impulse benötigt, deren Dauer in der Größenordnung von einigen 10 Mikrosekunden liegt und die eine
sehr hohe Leistung haben. Die Erzeugung der benötigten, sehr großen Impulsleistungen erfordert sehr
umfangreiche und komplizierte Hochspannungseinrichtungen zur Leistungserzeugung und -regelung.
Diese Einrichtungen bestimmen daher in hohem Maße die Gesamtgröße, das Gewicht, die Kompliziertheit
und die Kosten des Lasers.
Bei kontinuierlicher Anregung besteht die Gefahr, daß die gewünschte Glimmentladung zwischen den
Nadelelektroden und der gegenüberstehenden Flächenelektrode in eine Bogenentladung umschlägt. Es
bereitet erhebliche Schwierigkeiten, ein solches Umschlagen der Glimmentladung in eine Bogenentladung
zu verhindern. Die hiermit verknüpften Probleme sind in der US-PS 3758874 selbst ausführlich behandelt.
Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Hochleistungs-Gaslaser der eingangs
beschriebenen Art so zu verbessern, daß er bei einfachem Aufbau ohne Gefahr eines Durchschlages mit
kontinuierlicher Anregung betrieben werden k^nn.
Diese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß die Gaskammer einen dem Querschnitt
der schlitzförmigen Zone angepaßten, langgestreckten Querschnitt aufweist und das stimulierbare Gas
einem sich an die Gaskammer anschließenden, den Anregungsbereich für das Gas enthaltenden Gaskanal
zuführt, daß die Einrichtungen zum Anregen des stimulierbaren Gases zum Einleiten eines Elektronenstrahles
in den Anregungsbereich in einer zur Strömungsrichtung des Gases und zur optischen Achse des
Resonators senkrechten Richtung und zum Anlegen eines elektrischen Gleichfeldes an den Anregungsbereich
parallel zur Richtung des Elektronenstrahles ausgebildet sind, daß zwischen der Gaskammer und
dem Gaskanal und dem Abstand von dem Anregungsbereich weitere Düsen zur Einstellung der Strömungsgeschwindigkeit
des Gases im Gaskanal angeordnet sind, die bewirken, daß das Gas in den Anregungsbereich mit einer bestimmten Unterschallgeschwindigkeit,
bei der bezüglich der otrahlungserzeugung ein maximaler Wirkungsgrad ohne Gefahr
einer Instabilität des Gasflusses erzielt wird, und mit einem nur etwas über dem atmosphären Druck liegenden
Druck eintritt, und daß die Einrichtung zum Abführen des Gases einen an das Ausgangsende des
Gaskanals angeschlossenen, in die Umgebung mündenden Diffusor umfaßt, der eine Verlangsamung und
leichte Kompression des Gases vor dessen Freigabe an die Atmosphäre bewirkt, so daß das Gas den Anregungsbereich
mit einem etwas unter dem Atmosphärendruck liegenden Druck verläßt.
Bei einem solchen Gaslaser können Strömungsverhältnisse geschaffen werden, die in Verbindung mit
der besonderen Art der Anregung unter Verwendung eines Elektronenstrahls dafür Sorge tragen, daß eine
Instabilität des Gasflusses auch im Anregungsbereich, also im Bereich einer Glimmentladung, nicht eintritt
und daher Spannungsüberschläge nicht zu befürchten sind. Der gleichmäßige Gasstrom bietet außerdem
optimale Bedienung für die Stimulierung des kohärenten Lichtes. Daher zeichnet sich der neue Gaslaser
durch optimale Betriebseigenschaften bei einfachstem Aufbau aus.
Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher
beschrieben und erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Hochleistungs-Gaslasers nach der Erfindung,
Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie 2-2 durch den unteren Abschnitt des Gaslasers nach Fig. 1, der die
Gaskammer und die Düsen der Einrichtung zum Zuführen des stimulierbaren Gases umfaßt,
Fig. 3 einen Schnitt längs der Linie 3-3 durch die Anordnung nach Fig. 2,
Fig. 4a und 4b Details der Fig. 2 in vergrößertem Maßstab,
Fi g. 5 einen Schnitt längs der Linie 5-5 durch einen Teil des Gaslasers nach Fig. i, der den Diffusor der
Einrichtung zum Abführen des Gases umfaßt, und
Fig. 6 einen Schnitt längs der Linie 6-6 durch einen Abschnitt des Gaslasers nach Fig. 1, der die Einrichtung
zum elektrischen Anregen des stimulierbaren Gases und den Gaskanal mit dem Anregungsbereich
umfaßt.
Die in Fig. 1 dargestellte Ausfiihrungsform eines Gaslasers weist eine Anzahl Gasleitungen 20 auf, die
dazu dienen, ein stimulierbares Gas mit hohem Druck einer Gaskammer 20 zuzuführen, in der das Gas zu
einem einzigen glatten Strom vereinigt wird. Ein Beispiel für ein spezielles stimulierbares Gas, das in einem
solchen Gaslaser verwendet werden kann, ist eine Mischung von Helium, Stickstoff und Kohlendioxid in
einem Volumenverhäitnis von etwa 8:7:1. Es versteht sich jedoch, daß auch andere Gase und andere
Mischungsverhältnisse benutzt werden können.
Der vereinigte Gasstrom fließt von der Gaskammer 22 durch eine Düsenanordnung in Form einer perforierten
Platte in einen Gaskanal 24. Die von der perforierten Platte gebildete Düsenanordnung wird später
anhand der Fig. 2, 3 und 4b näher erläutert. An dieser Stelle soll die Feststellung genügen, daß durch
die Düsen der perforierten Platte das Lasergas im Bereich der Düsen auf Schallgeschwindigkeit beschleunigt
wird und das Gas unmittelbar hinter der Düse im Gaskanal 24 Überschallgeschwindigkeit erreicht.
Danach wird es durch eine Anzahl von Schockwellen auf Unterschallgeschwindigkeit verzögert. Die resultierende
Unterschallgeschwindigkeit ist durch den Druck in der Gaskammer 22 steuerbar.
Das stimulierbare Gas fließt dann durch einen Anregungsbereich 26, in dem es durch einen elektrischen
Strom in einen Zustand der Besetzungsumkehr angeregt wird, der von einem mittels einer Elektronenkanone
28 erzeugten Elektronenstrom gesteuert wird. Der Strom wird zwischen einer Anode, die an einer
Seite des Anregungsbereiches 26 von dem Folien-
Fenster für die Elektronenkanone 28 gebildet wird, und einer an der entgegengesetzten Seite des Anregungsbereiches
26 angeordneten Kathode erzeugt. Die Elektronen des Elektronenstromes und des Anregungsstromes
fließen in einer Richtung, die zur Strömungsrichtung des Gases senkrecht steht.
Ein optischer Resonator der zwei jenseits entgegengesetzter Enden des Anregungsbereiches 26 angeordnete
Spiegel 32 und 34 umfaßt, ermöglicht die Erzeugung eines Laserstrahles längs einer optischen
Achse 36, die sowohl senkrecht zur Richtung des Gasstromes als auch senkrecht zur Richtung des Elektronenstromes
steht. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, kann es sich bei dem Resonator um einen unstabilen konfokalen
Resonator für nur einen Durchgang handeln, der aus einem größeren konkaven Spiegel 32 und einem
kleineren konvexen Spiegel 34 besteht. Statt dessen können auch andere Resonator-Anordnungen verwendet
werden. Die Spiegel 32 und 34 können auf nicht dargestellten Trägern montiert sein, die in Richtung
der optischen Achse 36 von dem Gaskanal 24 abstehen. Dabei kann der kleinere Spiegel 34 auf
Stützen befestigt sein, die von dem zugeordneten Träger nach innen abstehen. Die Spiegel 32 und 34 sollen
in der Lage sein, der hohen optischen Leistungsdichte standzuhalten, die das Ergebnis eines Betriebes bei
Atmosphärendruck ist. Außerdem sollen die Spiegel 32 und 34 so ausgerichtet sein, daß sie im wesentlichen
eine Korrektur der Änderung der Gasdichte bewirken, die über dem Anregungsbereich vorliegt. Weiterhin
kann außerhalb des Spiegels 34 ein nicht dargestelltes, aerodynamisches Ausgangsfenster vorgesehen
sein, um das Innere des Gassystems von der Atmosphäre der Umgebung zu isolieren, ohne daß das
Austreten des Laser-Ausgangsstrahles behindert wird.
In Strömungsrichtung hinter dem Gaskanal 24 strömt das Gas durch einen Diffusor 38, in dem das
Gas verzögert und komprimiert wird, bevor es in die Atmosphäre der Umgebung ausgestoßen wird. Durch
das Verzögern und Komprimieren wird der Gasdruck am Ausgangsende des Anregungsbereiches 26 während
des Betriebs des Lasers geringfügig unterhalb des Druckes der Umgebungsatmosphäre gehalten.
Der die Gaskammer umfassende Abschnitt der zur Gasführung dienenden Einrichtungen des Gaslasers
nach Fig. 1 ist in den Fig. 2 und 3 näher dargestellt. Wie oben erwähnt wurde, wird das stimulierbare Gas
mit hohem Druck der Gaskammer 22 über eine Anzahl Leitungen 20 zugeführt. Der Zweck der Gaskammer
22 besteht darin, Ungleichförmigkeiten und Turbulenzen im Gasstrom zu glätten, die in den Leitungen
20 entstanden sind, und eine Anzahl Gasströme zu einem einzigen, glatten Strom zu vereinigen. Als zur
Erläuterung dienendes, spezielles Beispiel sei angenommen, daß das stimulierbare Gas der Gaskammer
22 mit einer Förderleistung von etwa 7,25 kg/s zugeführt wird und der Druck innerhalb der Gaskammer
22 auf etwa 10 bar oder mehr gehalten wird. Daher kann, um die strukturelle Festigkeit und Raumbeständigkeit
zu erhöhen, an den Außenflächen der Längswände der Gaskammer 22 eine Anzahl Verstärkungsrippen 39 befestigt werden, die sich parallel zur
Richtung der Achse 36 des Laserstrahles, also senkrecht zur Richtung des Gasstromes erstrecken.
Bei einer bevorzugten Ausfuhrungsform der Erfindung besteht die Gaskammer 22 aus zwei Abschnitten,
nämlich einem unteren Abschnitt 40, der im wesentlichen zur Verteilung des Gases und Dämpfung
von Turbulenzen dient, und einem oberen Abschnitt 42, der im wesentlichen zum Vermischen oder Vereinigen
der Gasströme dient. Beide Abschnitte 40 und 42 der Gaskammer haben den Querschnitt eines langgestreckten
Rechteckes, dessen Abmessungen beispielsweise 12,7 cm X 125 cm betragen können. Eine
Anzahl von Zwischenwänden 44, die sich parallel zur Richtung des Gasstromes erstrecken, teilen den unteren
Abschnitt 40 der Gaskammer in eine Anzahl von Bereichen für die einzelnen Ströme, die von den verschiedenen
Leitungen 20 ausgehen. Die Zwischenwände 44 enden vor dem oberen Ende des unteren
Kammerabschnittes 40, um ein Vermischen der verschiedenen Gasströme zu erlauben, und sind mit spitz
zulaufenden Endabschnitten 46 versehen, um das Glätten und Mischen des Stromes zu erleichtern. Der
obere Abschnitt 42 der Gaskammer ist ebenfalls mit einer Anzahl von Zwischenwänden 48 versehen, die
mit den entsprechenden Zwischenwänden 44 des unteren Abschnittes fluchten. Die Zwischenwände 48
haben abgerundete Endabschnitte 50, die dem unteren Abschnitt 40 der Gaskammer zugewandt sind, und
an ihren entgegengesetzten Enden spitz zulaufende Endabschnitte 52, um das Glätten und Vermischen
des Gasstromes weiter zu fördern.
Die Glättung des Gasstromes in der Gaskammer 22 erfolgt durch eine Anzahl von Hindernissen, die
im Weg des Gasstromes angeordnet sind. Diese Hindernisse sind am Eingangsende der Gaskammer 22
grob und werden in Strömungsrichtung des Gases feiner. Zu diesem Zweck ist eine erste perforierte Platte
54 in dem unteren Abschnitt 40 der Gaskammer in einer zur Richtung des Gasstromes senkrechten
Ebene dicht hinter dem Gaseintrittsbereich angeordnet. Eine zweite perforierte Platte 56 ist mit geringem
Abstand hinter der ersten Platte 54 parallel zu dieser in dem Kammerabschnitt 40 angebracht. Die erste
perforierte Platte 54, deren Porosität größer ist als diejenige der zweiten Platte 56, bildet ein erhebliches
Hindernis, das die Strömungsgeschwindigkeit des Gases reduziert und dadurch den Strom glättet. Die
zweite perforierte Platte 56 glättet den Strom weiter und schützt weitere Hindernisse, die in Stromrichtung
hinter den Platten 54 und 56 angeordnet sind, vor den aus der ersten Platte 54 austretenden Strahlen.
Wie es Fi g. 4 a zeigt, weist die Platte 54 eine Anzahl zylindrischer Bohrungen 58 auf. Die Platte 56 ist in
entsprechender Weise mit einer Anzahl zylindrischer Bohrungen 60 versehen. Die Bohrungen 58 und 60
haben vorzugsweise den gleichen Durchmesser, und es wird die größere Porosität der Platte 54 dadurch
erzielt, daß die Löcher in der Platte 54 dichter angeordnet werden als die Löcher 60 in der Platte 56.
Beispielsweise können die Löcher 58 und 60 jeweils einen Durchmesser von etwa 6 mm aufweisen. Während
jedoch die Mittelpunkte der Löcher 58 an den Ecken eines gleichseitigen Dreieckes mit einer Seitenlänge
von etwa 8 mm angeordnet sind, sind die Mittelpunkte der Bohrungen 60 an den Ecken eines gleichseitigen
Dreieckes mit einer Seitenlänge von etwa 9,5 mm angeordnet. Diese Werte ergeben eine Porosität
von 52 % für die erste Platte 54 und eine Porosität von 43 % für die zweite Platte 56. Es sei darauf hingewiesen,
daß die vorstehend angegebenen speziellen Werte nur zur Erläuterung aufgenommen worden sind
und daß andere Lochgrößen und Porositäten der Platten benutzt werden können.
Eine besonders gute Glättung des Gasstromes kann durch eine Anzahl von Dämpfungsnetzen 62 erzielt
werden, die in dem Abschnitt 40 der Gaskammer parallel relativ dicht hinter der zweiten perforierten Platte
56 angeordnet sind. Die verschiedenen Netze 62 können verschiedene Maschenweite haben, derart, daß
die feineren Netze in Strömungsrichtung hinter den gröberen angeordnet sind. Bei einem speziellen, zur
Erläuterung dienenden Beispiel sind insgesamt vier Netze 62 vorhanden. Die beiden Netze, die der Platte
56 am nächsten sind, bestehen aus Draht von 0,4 mm Stärke und weisen 8 Maschen pro cm auf, was eine
Porosität von 46% ergibt, während die beiden dem anderen Abschnitt 42 der Gaskammer benachbarten
Netze aus Draht von 0,32 mm Durchmesser bestehen und 12 Maschen pro cm aufweisen, woraus sich eine
Porosität von 37% ergibt.
Am Ausgangsende der Druckkammer 22 befindet sich eine perforierte Düsenplatte 70, welches das in
der Gaskammer 22 unter hohem Druck stehende Gas in einen glatten und gleichförmig fließenden Gasstrom
umwandelt, der in dem Anregungsbereich 26 des Lasers mit der gewünschten Unterschallgeschwindigkeit
und mit einem solchen Druck erreicht, daß die gasdynamischen Bedingungen erfüllt sind, die für eine wirksame
stimulierte Emission erforderlich sind. Um einen wirksamen Betrieb bei Atmosphärendruck zu ermöglichen,
müssen die Dimensionen des Anregungsbereiches 26 und die Geschwindigkeit des Gasstromes in
diesem Bereich sorgfältig gewählt werden, damit die hohe optische Verstärkung in dem Anregungsbereich
26 beibehalten wird. Wenn die Gasgeschwindigkeit zu gering ist, wird eine übermäßige Erwärmung eintreten,
welche den Wirkungsgrad der Strahlungserzeugung vermindert. Wenn die Geschwindigkeit des
Gasstromes zu hoch ist, kann in den Anregungsbereich 26 nicht ausreichend Energie eingebracht werden,
ohne eine Unstabilität des Gasstromes zu verursachen. Im einzelnen wurde festgestellt, daß zum
optimalen Betrieb des Lasers nach Fig. 1 bei eingeschaltetem, von der Elektronenkanone 28 erzeugtem
Elektronenstrahl das Gas in den Anregungsbereich 26 mit einer Geschwindigkeit von etwa 0,4 Mach und
mit einem Druck von etwa 1,1 bar eintreten sollte.
Die perforierte Düsenplatte 70 ist in Fig. 4b im einzelnen dargestellt. Die Düsenplatte 70 besteht beispielsweise
aus rostfreiem Stahl und ist mit einer Anzahl gestufter Bohrungen 72 versehen, die vorzugsweise
in Reihen und Spalten angeordnet sind. Jede Bohrung 72 hat einen Abschnitt 74 mit größerem
Durchmesser an ihrem stromaufwärtigen, der Gaskammer zugewandten Ende und einen dazu koaxialen
Abschnitt 76 mit kleinerem Durchmesser an ihrem ätromabwärtigen, dem Gaskanal zugewandten Ende.
Wie dargestellt, erstreckt sich der Abschnitt 74 mit größerem Durchmesser fast über die ganze Länge der
Bohrungen 72. Bei einem zur Erläuterung dienenden speziellen Beispiel hat die Düsenplatte eine Dicke von
38 mm. Die größeren Abschnitte 74 haben einen Durchmesser von etwa 6,3 mm, die kleineren Abschnitte
76 einen Durchmesser von etwa 2,5 mm und es sind die Mitten benachbarter Bohrungen 72 etwa
10 mm voneinander entfernt. Das Ergebnis ist eine Porosität der Düsenplatte 70 von etwa 5 %. Im Betrieb
erreicht das Gas innerhalb der Abschnitte 76 der Bohrungen in der Düsenplatte 70 Schallgeschwindigkeit
(Mach 1). In einem geringen Abstand hinter der Düsenplatte 70 expandiert das durch die Bohrungen 72
strömende Gas als freier Strahl mit Überschallgeschwindigkeit. Der Strom wird dann durch eine Reihe
Stoßwellen auf Unterschallgeschwindigkeit abgebremst, und es verschmelzen die einzelnen Strahlen
zu einem gleichförmigen Strom mit Unterschallgeschwindigkeit.
Im Gegensatz dazu erreicht bei einer üblichen Laval-Düse,
die divergierende Düsenwandungen aufweist, das die Düse durchfließende Gas Überschallgeschwindigkeit
innerhalb der Düse. Die seitliche Ausdehnung des Gases ist durch die Düsenwände begrenzt.
Wenn die Aufweitung der Düse zu stark ist, hat der Gasstrom die Tendenz, sich von den Wandungen
in Form von Wirbeln und Strudeln abzulösen. Dann ist die Möglichkeit zum Erzielen eines glatten,
homogenen Stromes stark gestört, wenn nicht ausgeschlossen. Dagegen expandiert bei Anwendung der
perforierten Düsenplatte 70 der Strom zu Überschallgeschwindigkeit in Form von freien Strahlen hinter
der Düsenplatte. Daher ist die Expansion und die Verdichtung der Strahlen nicht beschränkt und es wird
ein glatter, homogener Strom erzielt.
Ein sich stromab an die Düsenplatte 70 anschließendes Gehäuse 80 bildet einen ersten Abschnitt 82
des Gaskanales 24. Der Gaskanal 24 hat den Querschnitt eines langgestreckten Rechteckes, das schmaler
ist als die Gaskammer 22. Seine Abmessungen können beispielsweise 4,2 cm X 125 cm betragen.
Eine Anzahl von zur Dämpfung von Turbulenzen dienenden Netzen 84 kann in dem Abschnitt 82 des Gaskanals
senkrecht zur Richtung des Gasstromes angeordnet sein, um zu gewährleisten, daß alle
Turbulenzen, die von der Düsenplatte 70 verursacht worden sind, verschwunden sind, bevor das Gas in
den Anregungsbereich 26 eintritt. Bei einem zur Erläuterung dienenden speziellen Beispiel sind insgesamt
vier Netze 84 vorgesehen, von denen jedes aus Draht mit 0,4 mm Stärke besteht und acht Maschen
pro cm aufweist. Die Porosität eines solchen Netzes beträgt 46%. Der Abschnitt 82 des Gaskanals kann
auch einen Kanalhöhen-Reduzierabschnitt zur weiteren Reduzierung von Strömungsgrenzschichten im
Anregungsbereich 26 aufweisen.
Das stimulierende Gas strömt dann durch einen eine Anregungskammer bildenden Abschnitt des
Gaskanales 24, in dem sich der Anregungsbereich 26 befindet, wo das Gas von dem elektrischen Strom angeregt
wird, der seinerseits von dem quer gerichteten Elektronenstrahl ausgelöst wird, der von der Elektronenkanone
28 ausgeht.
Durch den elektrischen Strom wird dem Gasstrom Energie zugeführt, wodurch das Gas zunehmend aufgeheizt
wird. Als Ergebnis davon wird das Gas beschleunigt und es nimmt sein Druck ab, während es
den Anregungsbereich 26 durchströmt. Bei einem speziellen Beispiel, bei dem die obenangegebenen
Konstruktionsparameter verwirklicht wurden, kann das Gas in den Anregungsbereich 26 mit einer Temperatur
von etwa 280 K, einer Geschwindigkeit von etwa 0,4 Mach und einem Druck %'on etwa 1,1 bar
eintreten. Infolge der Wirkung des elektrischen Stromes verläßt das Gas jedoch den Anregungsbereich 26
mit einer Temperatur von etwa 460 K, einer Geschwindigkeit von etwa 0,7 Mach und einem Druck
von etwa 0,8 bar.
Da der statische Druck in einem Unterschallstrahl sich selbst an den Umgebungsdruck am Ausgang des
Strahlkanaies anpaßt, ist hinter dem Anregungsbe-
reich 26 ein Diffusor 38 angeordnet, um den Zustand des Gases so zu beeinflussen, daß die gewünschte
Strömungsgeschwindigkeit und der gewünschte Druck am Ausgangsende des Anregungsbereiches 26 erzielt
werden. Wie Fig. 5 zeigt, ist der Diffusor 38 mit zwei
Seitenwänden 90 und 92 versehen, die nach außen unter einem Winkel Θ in bezug auf die Richtung des
Gasstromes divergieren, so daß sie einen sich erweiternden Kanal bilden, in dem eine Verzögerung und
Kompression des Gases eintritt. Die Seitenwände 90 und 92 des Diffusors sind verstellbar, so daß ein Betrieb
des Diffusors 38 mit verschiedenen Divergenzwinkeln Θ möglich ist. Hierdurch ist es möglich, den
Gasdruck und die Strömungsgeschwindigkeit am Eingang des Diffusors auf einen für den Wirkungsgrad
des Lasers optimalen Wert auch dann einzustellen, wenn der Umgebungsdruck vom Atmosphärendruck
abweicht. Demnach kann ein Betrieb des Lasers mit hohem Wirkungsgrad in einem größeren Bereich des
Umgebungsdruckes erzielt werden.
Die Verstellbarkeit der Seitenwände 90 und 92 des Diffusors kann durch eine Befestigung der Seitenwände
90 und 92 am Boden des Diffusors 38 mittels Gelenkbändern 94 und Verbindung der Seitenwände
mit Längsträgern 96, die am Rahmen des Diffusors angebracht sind, durch Gewindebolzen 97 erfolgen.
Die Gewindebolzen 97 sind in Schwenklagen 98 an den Seitenwänden 90 und 92 befestigt und werden
in der gewünschten Stellung durch Muttern 99 gehalten.
Es wurde festgestellt, daß bei einem Laser, der mit den oben angegebenen Konstruktionsparametern
hergestellt worden ist, der Diffusor 38 optimale Eigenschaften hat, wenn das Verhältnis der Diffusorlänge
L zur Breite W des Einlasses 15 beträgt und wenn, bei einem Umgebungsdruck von 1 bar, ein Divergenzwinkel
Θ von 3,5° verwendet wird. Es sind jedoch auch andere Konstruktionswerte für den Diffusor
möglich. Weiterhin ist es möglich, den Diffusor mit leicht unterschiedlichen Divergenzwinkeln für die
Seitenwände 90 und 92 zu betreiben, auch wenn es allgemein vorzuziehen ist, daß beide Wände 90 und
92 auf den gleichen Divergenzwinkel Θ eingestellt sind.
Der die Anregungskammer mit dem Anregungsbereich 26 enthaltende Abschnitt des Gaskanals 24, in
dem das Gas in einen Zustand der Besetzungsumkehr angeregt wird, ist in Fig. 6 im einzelnen dargestellt.
Dieser Abschnitt des Gaskanals 24 weist zwei miteinander fluchtende Wandungsteile 100 und 102 auf der
Elektronenkanonenseite des Gaskanals und zwei miteinander fluchtende Wandungsteile 104 und 106 auf
der entgegengesetzten Seite auf. Die Wandungsteile 100,102,104 und 106 bestehen aus einem isolierenden
Material, wie beispielsweise Glas oder Keramik. Ein Elektronenstrahlfenster 108 ist zwischen den
Wandungsteilen 100 und 102 auf einem Tragteil 110 an den Anregungsbereich 26 angrenzend derart angeordnet,
daß seine Außenfläche mit der durch die Wandungsteile 100 und 102 gebildeten Kanalwand
fluchtet. Das Elektronenstrahlfenster 108 gestattet den von der Elektronenkanone 28 ausgehenden Elektronen,
mit der gewünschten Geschwindigkeit in den Anregungsbereich 26 einzutreten, während es gleichzeitig
ermöglicht, die erforderliche Druckdifferenz zwischen dem Anregungsbereich 26 und dem Inneren
der Elektronenkanone 28 aufrechtzuerhalten. Außerdem dient das Elektronenstrahlfenster 108 als
Anode für den elektrischen Strom, der in dem Anregungsbereich 26 aufrechterhalten wird.
Zwischen den Wandungsteilen 104 und 106 ist an der zum Elektronenstrahlfenster 28 entgegengesetzten
Seite des Anregungsbereiches 26 eine Kaltkathode 112 angeordnet. Ein Beispiel für eine spezielle
Materialkombination, die für die Kaltkathode 112 geeignet
ist, ist ein Aluminiumträger, der mit entsprechenden Beschichtungen aus Molybdän, B4C und
Al2O3 versehen ist. Es versteht sich jedoch, daß auch
andere Kathodenmaterialien verwendet werden können. Zwischen der Kaltkathode 112 und den Wandungsteilen
104 und 106 sind Isolatoren 114 und 116 angeordnet, welche die sich aus dem Kathodenprofil
ergebenden Hohlräume ausfüllen und dadurch für eine durchgehende, glatte Wand des Gaskanales sorgen.
Hinter der Kaltkathode 112 ist eine isolierende Abdeckung 118 angeordnet. Eine elektrische Verbindung
zur Kaltkathode 112 ist durch einen Stift 120 hergestellt, der die Abdeckung 118 durchdringt und
mit der Kathode 112 in Berührung steht. Der Stift 120 ist seinerseits elektrisch mit dem Anschluß 122
eines Netzgerätes verbunden, daß der Kaltkathode 112 die benötigte Betriebs-Gleichspannung V1. zuführt.
Von den Wandungsteilen 104 und 106 steht eine Anzahl Stützglieder 124 ab, die dem Gaskanal zusätzliche
Festigkeit und Steifigkeit verleihen. Weiterhin sind zwei Wandungsteile 126 und 128 des Gaskanales
vorhanden, die aus isolierendem Material bestehen und sich nach oben an die Wandungsteile 102 und
106 fluchtend anschließen, um den Gaskanal 24 bis zum Bereich des Diffusors 38 zu verlängern. Die
Wandungsteile 126 und 128 haben breite Seitenflächen, die im wesentlichen in die breiten Seitenflächen
der Seitenwände 90 und 92 des Diffusors übergehen.
Wie Fig. 6 zeigt, ist das Tragteil 110 in einem Fortsatz
146 des Gehäuses für die Elektronenkanone 28 angeordnet. Der Gehäusefortsatz 146 ist elektrisch
mit dem Anschluß 148, bei dem es sich beispielsweise auch um Erde handeln kann, eines Netzgerätes verbunden,
das die erforderliche Betriebsgleichspannung Va für die das Elektronenstrahlfenster 108 bildende
Metallfolie liefert. Weiterhin weist der Gehäusefortsatz 146 eine langgestreckte öffnung 150 auf, die im
wesentlichen auf die öffnungen 144 in dem Tragteil 110 ausgerichtet ist und einen Durchlaß für den erzeugten
Elektronenstrahl bildet.
Die Elektronenkanone 28, die an der Oberfläche des Fensterelementes einen gleichförmigen Elektronenstrahl
mit einem Querschnitt von etwa 5 cm X 125 cm und einer Stromdichte von etwa 100 μΑ/cm2 liefert, befindet sich in einem rohrförmigen
äußeren Gehäuse 152, das beispielsweise aus rostfreiem Stahl bestehen kann und an dem Fortsatz
146 befestigt ist. Das Gehäuse 152 weist eine langgestreckte öffnung 154 auf, die mit der öffnung 150
in dem Fortsatz 146 fluchtet, um einen Durchgang für den erzeugten Elektronenstrahl zu bilden. Das Innere
des Gehäuses 152 der Elektronenkanone ist auf den gewünschten Betriebsdruck evakuiert, beispielsweise
auf 6,7 x 10~3 Pa oder weniger. Koaxial in dem
Gehäuse 152 ist beispielsweise mittels einer Anzahl Keramikstützen 158 eine zylindrische innere Kanonenanordnung
156 gehalten. Bei dieser inneren Kanonenanordnung 156 kann es sich beispielsweise um
eine Elektronenkanone vom Pierce-Typ handeln, die eine langgestreckte, indirekt beheizte Kathode 160
aufweist, welche auf die Öffnung 154 der Elektronenkanone ausgerichtet ist. Nahe der Kathode 160 ist eine
Fokussierelektrode 162 vom Pierce-Typ angeordnet, die auf Kathodenpotential gehalten wird. An der Vorderseite
der Kathodenanordnung 156 befindet sich zwischen der Kathode 160 und der öffnung 154 für
den Elektronenstrahl eine zur Strahlverbreiterung dienende Elektrodenanordnung 164, die eine Divergenz-Driftzone
166 für die emittierten Elektronen bildet und bewirkt, daß der das Fensterelement 108
erreichende Elektronenstrahl, dessen gesamte Breite ausleuchtet. Die Elektrodenanordnung 164 ist mit
dem Anschluß 170 eines Netzgerätes verbunden, das eine Betriebs-Gleichspannung V liefert, während die
Kathode 160 mit einem Anschluß 172 des Netzgerätes verbunden ist, der eine Betriebs-Gleichspannung Vk
liefert. Die zur Kathode 160 und zur Elektrodenanordnung 164 führenden Leitungen können zusammen
mit weiteren, nicht dargestellten Leitern für die Kathodenbeheizung durch eine Endwand des Gehäuses
152 hindurch aus dem Gehäuse nach außen herausgeführt sein.
Für den vorstehend beschriebenen Laser können beispielsweise die folgenden Betriebsspannungen
verwendet werden, auch wenn es sich versteht, daß die Anwendung anderer Betriebsspannungen möglich
ist:
= 12 kV
= 0
= 0
= 149,5 kV
= ISOkV.
= ISOkV.
Beim Betrieb des vorstehend beschriebenen Lasers wird zunächst das Gassystem eingeschal tet, so daß das
stimulierbare Gas durch die Gaskammer 22, den Gaskanal 24 und den Diffusor 38 fließt. Dann werden
die Betriebsspannungen Vk und V für die Elektronenkanone
eingeschaltet, so daß die Elektronenkanone 28 einen Elektronenstrahl emittiert, der durch
das Fenstereiement 108 in den Anregungsbereich 26 des Gaskanales eintritt. Dann wird die Betriebsspannung
Vc eingeschaltet, so daß quer zum Anregungsbereich
26 zwischen der von der Folie des Fensterelementes 108 gebildeten Anode und der Kathode 112
ein Strom zu fließen beginnt, der das stimulierbare Gas anregt, so daß der Laser einen Dauerstrich-Ausgangsstrahl
liefert. Nachdem der Laserstrahl die gewünschte Zeit beibehalten worden ist, wird die Versorgungsspannung
V1. abgeschaltet, wodurch das Ausgangssignal des Lasers beendet wird. Danach
werden die Betriebsspannungen V^ und Vk abgeschaltet
und endlich der Gasstrom unterbrochen.
Wie ersichtlich, ist ein Laser nach der Erfindung in der Lage, einen Dauerstrich-Laserstrahl mit hoher
Leistung zu liefern. Dabei weist der Laser zahlreiche Vorteile gegenüber bekannten Lasern mit vergleichbarer
Ausgangsleistung auf.
Die Gaskammer-Düsen-Anordnung transformiert auf einfache und wirksame Weise unter hohem Druck
zugeführtes Gas in einen glatten, gleichförmigen, mit Unterschallgeschwindigkeit fließenden Strom. Hierdurch
wird das Gesamtvolumen des Lasers reduziert, da er aus kompakten, unter hohem Druck stehenden
Speichertanks gespeist werden kann.
Weiterhin bewirkt die für Strömungen mit Schallgeschwindigkeit perforierte Düsenpialte eine gasdynamische
Isolierung zwischen der Gaskammer und dem Anregungsbereich, so daß die Flußleistung des
stimulierbaren Gases unabhängig von dem Energiebetrag ist, der dem Gas durch die elektrische Entladung
zugeführt wird. Hierdurch wird der Betrieb des Lasers vereinfacht, insbesondere während der Übergangszeit
unmittelbar nach Einschalten des Erregungsstromes.
Weiterhin ermöglicht der Auslaß-Diffusor, daß der
statische Druck am Ausgangsende des Anregungsbereiches etwas geringer ist als der Umgebungsdruck.
Hierdurch wird der Wirkungsgrad des Lasers erhöht und eine Unabhängigkeit von den Bedingungen des
Umgebungsdruckes erzielt.
Das Gasführungssystem kann weiterhin mit offenem Kreislauf arbeiten, d. h., daß das stimulierbare
Gas in die umgebende Atmosphäre abgeblasen wird, nachdem es einmal den Anregungsbereich des Lasers
durchlaufen hat. Hierdurch wird die Notwendigkeit für Pumpen, Wärmeaustauscher und andere Einrichtungen
zur Gasumwälzung vermieden.
Weiterhin werden solche Komponenten, wie das Elektronenstrahlfenster, von dem Strom des stimulierbaren
Gases selbst gekühlt, wodurch spezielle Kühleinrichtungen unnötig werden.
Endlich ist es möglich, den erfindungsgemäßen Laser unter Verwendung einfacher Netzgeräte direkt zu
speisen.
Zusammenfassend ist festzustellen, daß durch die Erfindung ein durch elektrische Entladung angeregter
Hochleistungs-Gaslaser geschaffen wird, der kleiner, leichter, weniger kompliziert und wirtschaftlicher ist
sowie in einem größeren Bereich optischer Wellenlängen wirksamer arbeitet als bekannte Laser mit vergleichbarer
Ausgangsleistung.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (11)
1. Hochleistungs-Gaslaser mit einem optischen Resonator, Einrichtungen zum Zuführen und Abführen
eines stimulierbaren Gases zu bzw. von dem vom optischen Resonator begrenzten Anregungsbereich in offenem Kreislauf, die eine an ihrem
Eingang eine Düse zur Einstellung der Strömungsgeschwindigkeit des Gases aufweisende
Gaskammer und eine sich stromab an die Gaskammer anschließende, sich quer zum Gasstrom
erstreckende schlitzförmige Zone umfassen, in der sich der vom optischen Resonator begrenzte Anregungsbereich
befindet, wobei sich die optische Achse in Längsrichtung der schlitzförmigen Zone
senkrecht zur Richtung des Gasstromes erstreckt, und mit Einrichtungen zum elektrischen Anregen
des stimulierbaren Gases in dem vom optischen Resonator begrenzten Anregungsbereich, dadurch
gekennzeichnet, daß die Gaskammer (22) einen dem Querschnitt der schlitzförmigen
Zone angepaßten, langgestreckten Querschnitt aufweist und das stimulierbare Gas einem sich an
die Gaskammer (22) anschließenden, den Anregungsbereich (26) für das Gas enthaltenden Gaskanal
(24) zuführt, daß die Einrichtungen (28, 108,112) zum Anregen des stimulierbaren Gases
zum Einleiten eines Elektronenstrahles in den Anregungsbereich (26) in einer zur Strömungsrichtung des Gases und zur optischen Achse des
Resonators senkrechten Richtung und zum Anlegen eines elektrischen Gleichfeldes an den Anregungsbereich
parallel zur Richtung des Elektronenstrahles ausgebildet sind, daß zwischen der Gaskammer (22) und dem Gaskanal (24) und im
Abstand von dem Anregungsbereich (26) weitere Düsen (72) zur Einstellung der Strömungsgeschwindigkeit
des Gases im Gaskanal angeordnet sind, die bewirken, daß das Gas in den Anregungsbereich mit einer bestimmten Unterschallgeschwindigkeit, bei der bezüglich der Strahlungserzeugung
ein maximaler Wirkungsgrad ohne Gefahr einer Instabilität des Gasflusses erzielt
wird, und mit einem nur etwas über dem Atmosphärendruck liegenden Druck eintritt, und daß
die Einrichtung zum Abführen des Gases einen an das Ausgangsende des Gaskanals (24) angeschlossenen,
in die Umgebung mündenden Diffusor (38) umfaßt, der eine Verlangsamung und leichte Kompression des Gases vor dessen Freigabe
an die Atmosphäre bewirkt, so daß das Gas den Anregungsbereich mit einem etwas unter dem
Atmosphärendruck liegenden Druck verläßt.
2. Hochleistungs-Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das stimulierbare
Gas in den Anregungsbereich (26) mit einem Druck von etwa 1,1 bar eintritt.
3. Hochleistungs-Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das stimulierbare
Gas den Anregungsbereich (26) mit einem Druck von etwa 0,8 bar verläßt.
4. Hochleitungs-Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
das stimulierbare Gas in den Anregungsbereich (26) mit einer Geschwindigkeit von etwa 0,4 Mach
eintritt.
5. Hochleistungs-Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß
das stimulierbare Gas den Anregungsbereich (26) mit einer Geschwindigkeit von etwa 0,7 Mach
verläßt.
*> 6. Hochleistungs-Gaslaser nach einem der Ansprüche
1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das stimulierbare Gas den Anregungsbereich (26) mit
einer Temperatur von etwa 460 K verläßt.
7. Hochleistungs-Gaslaser nach einem der An-H) Sprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das
stimulierbare Gas aus einer Mischung von Helium, Stickstoff und Kohlendioxid in einem Volumenverhältnis
von etwa 8:7:1 besteht.
8. Hochleistungs-Gaslaser nach einem der An- > sprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die
Düsen (72) am Übergang zum Gaskanal (24) von den öffnungen einer perforierten Platte (70) gebildet
werden.
9. Hochleistungs-Gaslaser nach Anspruch 8, .'■ι dadurch gekennzeichnet, daß die Durchlässigkeit
der die weiteren Düsen (72) bildenden Platte (70) für den Gasstrom wesentlich geringer ist als die
Durchlässigkeit der am Eingang der Gaskammer (22) angeordneten, vorzugsweise von perforierten
Platten (54, 56) gebildeten Düsen.
10. Hochleistungs-Gaslaser nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die die weiterer
Düsen (72) bildenden öffnungen der perforierten Platte (70) einen in Strömungsrichtung des
in Gases abnehmenden Querschnitt aufweisen.
11. Hochleistungs-Gaslaser nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die öffnungen als
gestufte zylindrische Bohrungen ausgebildet sind, deren Abschnitte (74) mit dem größeren Durch-
r. messer sich über den größeren Teil der Länge der Bohrungen erstrecken.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/521,715 US3970962A (en) | 1974-11-07 | 1974-11-07 | High power electrically excited flowing gas laser |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2546511A1 DE2546511A1 (de) | 1976-05-13 |
DE2546511B2 true DE2546511B2 (de) | 1980-05-29 |
DE2546511C3 DE2546511C3 (de) | 1981-02-05 |
Family
ID=24077836
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2546511A Expired DE2546511C3 (de) | 1974-11-07 | 1975-10-17 | Hochleistungs-Gaslaser |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3970962A (de) |
JP (1) | JPS5245199B2 (de) |
CA (1) | CA1031853A (de) |
DE (1) | DE2546511C3 (de) |
FR (1) | FR2290771A1 (de) |
GB (1) | GB1485538A (de) |
IL (1) | IL48294A (de) |
IT (1) | IT1052206B (de) |
SE (1) | SE414251B (de) |
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- 1974-11-07 US US05/521,715 patent/US3970962A/en not_active Expired - Lifetime
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- 1975-10-14 IL IL48294A patent/IL48294A/en unknown
- 1975-10-16 GB GB42461/75A patent/GB1485538A/en not_active Expired
- 1975-10-17 DE DE2546511A patent/DE2546511C3/de not_active Expired
- 1975-11-04 SE SE7512333A patent/SE414251B/xx not_active IP Right Cessation
- 1975-11-04 FR FR7533690A patent/FR2290771A1/fr active Granted
- 1975-11-05 IT IT52066/75A patent/IT1052206B/it active
- 1975-11-06 CA CA239,125A patent/CA1031853A/en not_active Expired
- 1975-11-07 JP JP50133136A patent/JPS5245199B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1052206B (it) | 1981-06-20 |
JPS5169997A (de) | 1976-06-17 |
DE2546511A1 (de) | 1976-05-13 |
DE2546511C3 (de) | 1981-02-05 |
SE7512333L (sv) | 1976-05-10 |
JPS5245199B2 (de) | 1977-11-14 |
US3970962A (en) | 1976-07-20 |
GB1485538A (en) | 1977-09-14 |
IL48294A0 (en) | 1976-01-30 |
SE414251B (sv) | 1980-07-14 |
IL48294A (en) | 1977-04-29 |
CA1031853A (en) | 1978-05-23 |
FR2290771B1 (de) | 1978-05-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |