DE2537788A1 - Ultraschallwandler - Google Patents

Ultraschallwandler

Info

Publication number
DE2537788A1
DE2537788A1 DE19752537788 DE2537788A DE2537788A1 DE 2537788 A1 DE2537788 A1 DE 2537788A1 DE 19752537788 DE19752537788 DE 19752537788 DE 2537788 A DE2537788 A DE 2537788A DE 2537788 A1 DE2537788 A1 DE 2537788A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sound
layer
ultrasonic transducer
transducer
index
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19752537788
Other languages
English (en)
Other versions
DE2537788C3 (de
DE2537788B2 (de
Inventor
Valentin Dipl Phys Magori
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19752537788 priority Critical patent/DE2537788C3/de
Publication of DE2537788A1 publication Critical patent/DE2537788A1/de
Publication of DE2537788B2 publication Critical patent/DE2537788B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2537788C3 publication Critical patent/DE2537788C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/02Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

  • Ultraschallwandler Die Erfindung betrifft einen Schallwandler, wie er im Oberbegriff des Patentanspruches 1 angegeben ist.
  • Insbesondere betrifft die Erfindung piezoelektrische Ultraschallwandler.
  • Bei Ultraschallwandlern, z.B. piezoelektrischenoder magnetooptischen Wandlern, kommt es aufgrund der sehr unterschiedlichen Wellenwiderstände des Wandlermaterials, z.B. der Keramik, und der Luft zu Schwierigkeiten: Es ergibt sich ein sehr schmalbandiges Resonanzverhalten, die Empfindlichkeit des Wandlers beim Betrieb als Mikrophon ist gering, der Wirkungsgrad ist verhältnismäßig klein.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, diese Schwierigkeiten auszuräumen.
  • Diese Aufgabe wird durch einen Ultraschallwandler gelöst, der entsprechend dem Kennzeichen des Anspruches 1 ausgebildet ist.
  • Bei der Erfindung wird also auf einer Schallabstrahlfläche des Wandlers eine X /4Schicht aufgebracht, d.h. eine Schicht, deren Dicke einem Vier-tel der Wellenlänge des erzeugten Ultraschalls in dieser Schicht entspricht. Diese Schicht besteht aus einem Material, dessen akustische Impedanz (Schallwellenwiderstand) ein Maß besitzt, welches zwischen der Größe des Schallwellenwiderstandes des Wandlermaterials und der Größe des Schallwellenwiderstandes des Mediums, in dem sich der Schall ausbreiten soll-, liegt. Dieses Medium ist im allgemeinen Luft oder Wasser.
  • Im Idealfall, d.h. wenn der Schallwandler nur Schall einer einzigen Frequenz erzeugt, und wenn die Schallabstrahlfläche sehr groß gegenüber der Wellenlänge ist, hat die #/4-Schicht einen Wellenwiderstand von fScs = (çcL XcK)1/2. Dabei bezeichnet Q die Dichte eines Mediums, c die Schallgeschwindigkeit in einem Medium, der Index s bezeichnet die X /4-Schicht, der Index L das Medium, in dem sich der Schall ausbreiten soll, d.h.
  • z.B. Luft oder Wasser, der Index K bezeichnet das Wandlermaterial, z.B. Keramik. Allgemein bezeichnet Qc die akustische Impedanz eines Stoffes.
  • Handelt es sich um einen piezokeramischen Ultraschallwandler, und ist Luft das Ausbreitungsmedium für den erzeugten Schall, so sollte die # /4-Schicht eine akustische Impedanz von ca.
  • 8 . 103 g . cm-2s-1 besitzen.
  • Es ist außerordentlich schwierig, ein für die # /4-Schicht geeignetes Material zu finden. Dieses Material soll eine verhältnismäßig kleine Dichte und eine niedrige Schallgeschwindigkeit aufweisen, dabei soll es mechanisch robust und homogen sein und eine hohe Schwinggüte, d.h. eine gertge Dämpfung aufweisen.
  • Bei einem ersten Ausführungsbeispiel wurden gläserne Hohlkugeln, deren Durchmesser ca. 0,1 mm betrug, mit Polystyrollack vermischt.
  • Nach dem Trocknen des Lackes erhielt man einen Schaumstoff mit einer Porengröße von ca. 0,1 mm und einer Dichte von ca. 0,3 g.cm Dieses Material besaß eine akustische Impedanz von 3,6 . 104 g . cm 2 -? Bei einem anderen Ausführungsbeispiel wurde ein Schaumstoff aus einer Mischung von Polystyrollack mit Hohlkugeln aus Siliziumdioxid, die einen Durchmesser zwischen den Werten 30 um und 125 lum und eine Wandstärke von ca. 2 /Um aufwiesen, Kergestellt.
  • Derartige Hohlkugeln sind unter dem Namen Eccospheres SI der Fa.
  • Emerson & Cumming bekannt. Diese Kugeln bilden ein weißes Pulver mit einer Dichte von ca. 0,18 g . cm 3, die Dichte der Kugelwandungen beträgt im Mittel ca. 0,26 g . cm 3.
  • Ein aus vier Gewichtsteilen Benzol und einem Gewichtsteil Polystyrol bestehender Lack wurde mit zwei Gewichtsteilen dieser Siliziumdioxid-Hohlkugeln verrührt. Dabei wurde darauf geachtet, daß möglichst keine Luftblasen entstehen. Anschließend wurde die entstandene breiige Masse auf dem Boden eines Gefäßes zum Trocknen vergossen. Nach einer Trockenzeit von 2 Tagen erhält man eine Schaumstoffplatte mit einer Dichte von ca. 0,16 g . cm 5.
  • Diese Platte gibt beim Anschlagen mit einem harten Gegenstand einen hellen, fast metallischen Klang von sich. Dieser Schaumstoff weist eine Schallgeschwindigkeit von ca. 1450 m/s auf, damit ergibt sich eine akustische Impedanz von 2.1 . 104 g . cm 2s 1.
  • Die Porengröße des Schaumes ist durch die Siliziumdioxid-Hohlkugeln vorgegeben. Die Dichte des Schaumes ist kleiner als die Dichte des Hohlkugelpulvers. Dies ist dadurch zu erklären, daß beim Verdunsten des Benzols das Polystyrol durch Kappillarkräfte an den Berührungspunkten zwischen den Kugeln kleine Polystyroltröpfchen bildet, der übrige Zwischenraum zwischen den Hohlkugeln bleibt leer. Im Vergleich zur dichtesten Kugelpackung der Siliziumdioxid-Hohlkugeln vergrößert sich damit der Abstand dieser Kugeln untereinander, so daß die Dichte des fertigen Schaumstoffes geringer ist als die Dichte des Hohlkugelpulvers. Dieser Schaumstoff hat sehr günstige akustische Eigenschaften, dafür sind wahrscheinlich die elastischen Eigenschaften der Kohlkugeln verantwortlich.
  • Das beschriebene Mischungsverhältnis für den Schaumstoff aus Siliziumdioxid-Hohlkugeln hat sich als optimal herausgestellt, bei kleinerem Polystyrolanteilleidet die mechanische Stabilität des Schaumstoffes, während eine Steigerung des Polystyrolanteiles um den Faktor 1,5 bereits die akustischen Eigenschaften deutlich verschlechtert, ohne die mechanische Stabilität des Schaumstoffes zu verbessern. Auch der richtige Benzolanteil ist wichtig, zuwenig Benzol ergibt einen zähen Brei, der sich nur schwer verrühren und vergießen läßt. Zuviel Benzol erschwert das Mischen, weil die Siliziumdioxid-Hohlkugeln dann auf dem Benzol-Polystyrol-Gemisch schwimmen, außerdem besitzt eine derartige Mischung -eine lange Trocknungszeit und neigt zu Rißbildung und Schrumpfung.
  • Statt Polystyrol können auch Epoxydharz oder andere organische Harze verwendet werden.
  • Die getrocknete Schaumstoffplatte sollte an keiner Stelle dünner als 5 mm sein. Durch Schneiden und Schleifen werden danach die für den Ultraschallwandler vorgesehenen >/4-Schichten hergestellt.
  • Im folgenden wird die Erfindung anhand der Figuren erläutert.
  • Die Figuren 1 und 4 zeigen Ausführungsbeispiele von erfindungsgemäßen Ultraschallwandlern.
  • Die Figuren 2 und 3 zeigen Richtdiagramme eines herkömmlichen und eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers, wie er in Figur 1 abgebildet ist.
  • Die Figur 1 stellt einen piezokeramischen Ultraschallwandler dar.
  • Dieser besitzt einen piezoelektrischen Keramikkörper 1, der beispielsweise zylindrisch ist und einen Durchmesser von 8,5 mm und eine Länge von 6.9 mm besitzt. Die Piezokeramik ist in der Richtung der Längsachse des Zylinders gepolt. Die Stirnflächen dieses Zylinders sind mit den Elektroden 2 und 3 versehen, die z.B.
  • aus Silber bestehen können und durch Einbrennen hergestellt werden können. An diese Elektroden sind die Anschlußlitzen 20, 30 angelötet, sie können mit einer Wechselspannungsquelle verbunden werden, so daß der Schallwandler Ultraschall schwingungen mit der Frequenz der Wechselspannung ausführt. Zumindest eine der Elektroden ist kappenartig etwas über den Rand der Stirnfläche des Keramikzylinders herumgezogen. Damit ist es möglich, die Anschlußlitze 30 seitlich anzulöten, so daß die Stirnfläche auf dieser Seite des Zylinders vollständig plan ist, wie es zum Aufbringen der X/4-Schicht 31 vorteilhaft ist. Im Bereich einer Schwingungsknotenlinie, die hier mit der Linie Sbezeichnet ist, kann der Ultraschallwandler in eine Halterung (nicht dargestellt) eingespannt werden.
  • Dieser Ultraschallwandler unterscheidet sich also von herkömmlichen Ultraschallwandlern im wesentlichen durch die >/4-Schicht In den Figuren 2 und 3 ist ein Richtdiagramm eines derartigen erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers einem Richtdiagramm eines herkömmlichen Ultraschallwandlers gegenübergestellt. Dargestellt ist der Schalldruck, der vom jeweiligen Wandler erzeugt wird, in Abhängigkeit vom Winkel zwischen der Schallabstrahlrichtung und der Längsachse des Schallwandlers. Die Figuren sind in Polarkoordinaten dargestellt.
  • Ein herkömmlicher Ultraschallwandler erzeugt gemäß Figur 2 zwei zueinander symmetrische Schallkeulen 100, 101. Dabei entspricht die Länge einer Verbindung 2000 des Koordinatensprungs, d.h. des Wandlers 300, mit einem Punkt auf einer Schallkeule dem Maß des Schalldruckes für die Abstrahlrichtung, die im dargestellte-n Fall mit der Längsachse des Wandlers einen Winkel X bildet.
  • In Figur 3 ist ein entsprechendes Diagramm für einen erfindungsgemäßen Ultraschallwandler dargestellt, dabei ist die elektrische Eingangsleistung, die dem Ultraschallwandler zugeführt wird, so eingestellt, daß eine der Keulen 200, 201 die gleiche Form wie z.B. die Keule 100 in Figur 2 besitzt. Die andere Schallkeule 201 ist beim erfindungsgemäßen Ultraschallwandler sehr klein, die auf dieser Seite abgestrahlte Schall energie kann nahezu vernachlässigt werden.
  • Es ist verständlich, daß im dargestellten Fall die dem herkömmlichen Ultraschallwandler zugeführte elektrische Eingangsleistung entsprechend der gesamten, in den zwei gleich großen Schallkeulen abgestrahlten Schall-Leistung wesentlich größer ist als die dem erfindungsgemäßen Schallwandler zugeführte Eingangsleistung. Das Verhältnis der Eingangsleistungen beträgt ungefähr 1:2.
  • uurch die >/4-Schicht auf einer Abstrahlfläche des Wandlers wird also der Vorteil erreicht, daß fast nur von dieser beschichteten Fläche Schall abgestrahlt wird. Dadurch brauchen keine Reflektoren vorgesehen zu werden, mit denen die gesamte abgestrahlte Schallenergie in eine Richtung gelenkt werden kann.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Ultraschallwandler wird vorteilhafterweise der Wirkungsgrad verbessert, da die mechanische Schwingungsamplituden innerhalb der Keramik aufgrund der besseren akustischen Anpassung an die Luft kleiner sind. Die /4-Schicht vermindert drastisch die Schallreflexionen an der Schallabstrahlfläche.
  • Dadurch wird innerhalb des Ultraschallwandlers weniger Schallenergie in Wärme umgewandelt, so daß die abgestrahlte Schallleistung erhöht wird.
  • Bei gleicher elektrischer Eingangsleistung erhöht sich die Schallleistung, die von der Stirnseite mit der #/4-Schicht abgestrahlt wird, um ca. 5,5 db gegenüber einem sonst gleichartigen Schallwandler, der keine /4Schicht aufweist.
  • Die Verbesserung des Wirkungsgrades kann beispielsweise in der folgenden Weise überprüft werden: Um ion Wirkungsgrad nicht direkt messen zu müssen, aies ist meßtechnisch nur schwer möglich, wird als Meßgröße die Übertragungsdämpfung zwischen einem als Sender und einem anderen als Empfänger betriebenen Ultraschallwandler gemessen. Die Ubertragungsdämpfung ist das Verhältnis der an den Sender angelegten elektrischen Eingangsspannung U1 zu der am Empfänger abgegriffenen Ausgangsspannung U2, d.h. der Quotient Ui/U2 Der erfindungsgemäße Ultraschallwandler eignet sich besonders gut für Entfernungsmesser. Dabei wird ein Ultraschallimpuls ausge-.
  • sandt, dieser wird von einem Objekt zum Ultraschallwandler reflektiert, so daß an diesem Ultraschallwandler nach Ablauf der Laufzeit des Ultraschallimpulses (vom Wandler zum Objekt und zurück) ein entsprechendes elektrisches Ausgangssignal abgegriffen werden kann. Bei einem minimalen Objektabstand von ca.
  • 40 cm beträgt die akustische Laufzeit ca. 2,4 ms.
  • Bislang war es schwierig, bei Ultraschallwandlern eine genügend kurze Abklingzeit zu erreichen. Unter Abklingzeit versteht man die Zeitspanne, die ein Ultraschallwandler nach Aussendung eines Schallimpulses braucht, um wieder in den Ruhezustand zu gelangen.
  • Hier wirkt die >/4-Schicht sehr vorteilhaft, da sie wegen der besseren Schallabstrahlung für eine höhere Dämpfung sorgt, so daß die Abklingzeit drastisch vermindert wird. Aufgrund der Erfindung wird also vermieden, daß die Restschwingung des Wandlers mit dem nächstmöglichen Echoimpuls, d.h. mit dem von einem Objekt reflektierten Schallimpuls, interferiert. Das in der Figur 1 dargestellte Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers besaß eine Abklingzeitkonstante von 0,24 ms, d.h. nach einer Zeitspannung von 0,24 ms ist die Amplitude des Schallwandlers auf ihren halben Wert abgesunken.
  • Aufgrund der höheren Dämpfung besitzt der erfindungsgemäße Ultraschallwandler vorteilhafterweise eine größere Bandbreite, d.h.
  • auch bei Frequenzen, die von der .Resonanzfrequenz des Wandlers abweichen, kann noch eine große Schallintensität erzeugt werden bzw. eine Schallintensität in ein elektrisches Ausgangssignal umgewandelt werden.
  • Der in der Figur 1 dargestellte Ultraschallwandler besitzt eine Serienresonanzfrequenz von 190 KHz und eine Parallelresonanzfrequenz von 230 KHz. Aufgrund der höheren Leistungsaufnahme bei dieser Reaonanz wurde der Wandler in Parallelresonanz betrieben. Dabei beziehen sich Parallelresonanz und Serienresonanz auf das Ersatzschaltbild des Wandlers. Bei Parallelresonanz wird die Resonanz einer Kapazität und einer dazu parallel liegenden Induktivität angeregt, bei Serienresonanz die Resonanz einer Kapazität und einer dazu in Reihe liegenden Induktivität.
  • Die in der Figur 1 dargestellte Bauform eines Ultraschallwandlers besitzt den Vorteil, daß der erzeugte Schall gut gebündelt ist.
  • Dies ist insbesondere bei Entfernungsmessern ein Vorteil.
  • Ein anderes vorteilhaftes Beispiel für einen Wandler mit A/4-Schicht ist ein Radialschwinger, wie er in Figur 4 dargestellt ist. Dieser Wandler besitzt einen scheibenförmigen, kreisförmigen Keramikkörper 11, der auf seinen beiden Stirnflächen die Elektroden 12, 13besitzt. Auf einer Elektrode ist eine A/4-Schicht 14 aufgeklebt. Wird an die Elektroden eine Wechselspannung gelegt, so führt der Keramikkörper Radialschwingungen aus, gleichzeitig werden in Dickenrichtung des Keramikkörpers Kontraktionen und Expansionen erzeugt. Durch die >/4-Schicht auf der einen Stirnfläche wird vorteilhafterweise erreicht, daß fast nur von dieser Stirnfläche Schallenergie abgestrahlt wird, nicht aber von der anderen Stirnfläche bzw. vom Körperrand.
  • Eine A/4-Schicht kann auch bei anderen Wandlerkonstruktionen verwendet werden1 z.B. bei einem Biegeschwinger, bei dem eine Keramiklamelle zu Biegeschwingungen erregt wird. In diesem Falle liegt die A l4-Schicht auf einer Seite der Lamelle.
  • Es ist auch möglich, magnetostriktive Ultraschallwandler an einer Schallabstrahlfläche mit einer #/4-Schicht auszurüsten.
  • 4 Patentansprüche 4 Figuren

Claims (4)

  1. P a t e n t a n s p r ü c h e 1. Ultraschallwandler mit einem Körper, der zu Ultraschallschwingungen mit einer Wellenlänge angeregt wird, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß mindestens eine Schallabstrahlfläche eine A/4-Schicht (14, 31) aufweist, deren akustische Impedanz einen Wert hat, der zwischen der akustischen Impedanz des Körpers (1) und der akustischen Impedanz des Schallausbreitungsmediums liegt, wobei X die Wellenlänge des erzeugten Ultraschalls in der /4Schicht ist.
  2. 2. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die akustische Impedanz der/4-Schicht den Wert csPs ~ (CKPKcL? L) / hat, wobei c die Schallgeschwindigkeit und 9 die Dichte bedeutet, und wobei der Index K den Körper, der Index S die 6\/4-Schicht und der Index L das Ausbreitungsmedium bezeichnet.
  3. 3. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die #/4-Schicht aus Siliziumdioxid-Hohlkugeln und Polystyrol besteht.
  4. 4. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, dadurch g e k e n-n -z e i c h n e t , daß die #/4-Schicht aus Siliziumdioxid-Hohlkugeln und Epoxydharz besteht.
    L e e r s e i t e
DE19752537788 1975-08-25 1975-08-25 Ultraschallwandler Expired DE2537788C3 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752537788 DE2537788C3 (de) 1975-08-25 1975-08-25 Ultraschallwandler

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752537788 DE2537788C3 (de) 1975-08-25 1975-08-25 Ultraschallwandler

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2537788A1 true DE2537788A1 (de) 1977-03-10
DE2537788B2 DE2537788B2 (de) 1979-08-09
DE2537788C3 DE2537788C3 (de) 1980-04-10

Family

ID=5954799

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19752537788 Expired DE2537788C3 (de) 1975-08-25 1975-08-25 Ultraschallwandler

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2537788C3 (de)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0005857A1 (de) * 1978-06-01 1979-12-12 Advanced Diagnostic Research Corporation Verfahren zur Übertragung von Ultraschallenergie in oder aus einem Körper und fakussierender Ultraschallwandler
EP0021534A1 (de) * 1979-06-25 1981-01-07 Koninklijke Philips Electronics N.V. Akustischer Wandler
EP0182140A1 (de) * 1984-10-25 1986-05-28 Siemens Aktiengesellschaft Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung
US5254900A (en) * 1989-06-23 1993-10-19 Siemens Aktiengesellschaft Broad beam ultrasonic transducer
EP0884456A2 (de) * 1997-06-13 1998-12-16 Jean-Claude Philippron Schalldämpfer
US7411335B2 (en) 2003-09-25 2008-08-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Sonic or ultrasonic transducer
DE102007047013A1 (de) * 2007-10-01 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Reaktionsharz und Zweikomponentensystem zur Herstellung desselben
DE102007060989A1 (de) 2007-12-14 2009-06-18 Endress + Hauser Flowtec Ag Ultraschallwandler zur Bestimmung und/oder Überwachung eines Durchflusses eines Messmediums durch ein Messrohr
DE19811982C5 (de) * 1998-03-19 2011-02-03 Microsonic Gesellschaft für Mikroelektronik und Ultraschalltechnik mbH Ultraschall-Luftfederanordnung
DE102012000275A1 (de) 2012-01-10 2013-07-11 Nicolay Verwaltung Gmbh Schallwandler, insbesondere Ultraschallwandler, und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102017107331A1 (de) 2017-04-05 2018-10-11 Turck Holding Gmbh Ultraschallsensor

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3401979A1 (de) * 1984-01-20 1985-07-25 Pepperl & Fuchs Gmbh & Co Kg, 6800 Mannheim Ultraschall-wandler
DE3431620A1 (de) * 1984-08-28 1986-03-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Material fuer anpassungskoerper fuer ultraschall-wandler
DE3832947C2 (de) * 1988-09-28 1996-04-11 Siemens Ag Ultraschall-Wandler
DE3842759C2 (de) * 1988-12-19 1997-12-18 Siemens Ag Richtscharfer Ultraschall-Wandler mit gekrümmter Abstrahlfläche
DE3911047A1 (de) * 1989-04-05 1990-10-11 Pepperl & Fuchs Ultraschallwandler
DE9003124U1 (de) * 1990-03-16 1990-06-21 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ultraschall-Wandler mit einer verbesserten Oberfläche seiner Anpaßschicht
DE4230773C2 (de) * 1992-09-15 2000-05-04 Endress Hauser Gmbh Co Ultraschallwandler
DE4325398C1 (de) * 1993-07-29 1994-07-21 Grieshaber Vega Kg Schallwandler mit einer chemisch beständigen Anpaßschicht und Verfahren zur Herstellung einer solchen Anpaßschicht
DE4424194C1 (de) * 1994-07-08 1996-02-08 Sonotec Dr Zur Horst Meyer Und Ultraschallwandler
DE102009022187A1 (de) * 2009-05-20 2010-11-25 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallsensor und/oder Ultraschallwandler in einem geschlossenen Gehäuse und ein Herstellungsverfahren
DE102014110163A1 (de) * 2014-07-18 2016-01-21 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung einer physikalischen oder chemischen Prozessgröße eines Mediums

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0005857A1 (de) * 1978-06-01 1979-12-12 Advanced Diagnostic Research Corporation Verfahren zur Übertragung von Ultraschallenergie in oder aus einem Körper und fakussierender Ultraschallwandler
EP0021534A1 (de) * 1979-06-25 1981-01-07 Koninklijke Philips Electronics N.V. Akustischer Wandler
EP0182140A1 (de) * 1984-10-25 1986-05-28 Siemens Aktiengesellschaft Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung
US5254900A (en) * 1989-06-23 1993-10-19 Siemens Aktiengesellschaft Broad beam ultrasonic transducer
EP0884456A2 (de) * 1997-06-13 1998-12-16 Jean-Claude Philippron Schalldämpfer
EP0884456A3 (de) * 1997-06-13 1999-06-16 Jean-Claude Philippron Schalldämpfer
DE19811982C5 (de) * 1998-03-19 2011-02-03 Microsonic Gesellschaft für Mikroelektronik und Ultraschalltechnik mbH Ultraschall-Luftfederanordnung
US7411335B2 (en) 2003-09-25 2008-08-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Sonic or ultrasonic transducer
DE102007047013A1 (de) * 2007-10-01 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Reaktionsharz und Zweikomponentensystem zur Herstellung desselben
DE102007060989A1 (de) 2007-12-14 2009-06-18 Endress + Hauser Flowtec Ag Ultraschallwandler zur Bestimmung und/oder Überwachung eines Durchflusses eines Messmediums durch ein Messrohr
US20100257940A1 (en) * 2007-12-14 2010-10-14 Endress + Hauser Flowtec Ag Ultrasonic transducer for determining and/or monitoring flow of a measured medium through a measuring tube
US8689639B2 (en) * 2007-12-14 2014-04-08 Endress + Hauser Flowtec Ag Ultrasonic transducer having a matching layer between a piezoelectric element and a coupling element
DE102012000275A1 (de) 2012-01-10 2013-07-11 Nicolay Verwaltung Gmbh Schallwandler, insbesondere Ultraschallwandler, und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102017107331A1 (de) 2017-04-05 2018-10-11 Turck Holding Gmbh Ultraschallsensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE2537788C3 (de) 1980-04-10
DE2537788B2 (de) 1979-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2537788A1 (de) Ultraschallwandler
DE2541492C3 (de) Ultraschallwandler
DE3505872A1 (de) Ultraschallwandler
DE3738515C2 (de)
EP0547060B1 (de) Ultraschallwandler für die laufzeitmessung von ultraschall-impulsen in einem gas
DE2552643C3 (de) Ultraschallwandler
DE4120681A1 (de) Ultraschallwandler
EP0308899A2 (de) Ultraschallwandler mit astigmatischer Sende-/Empfangscharakteristik
DE1487569A1 (de) Ultraschallwandler
DE2148704A1 (de) Schallerzeuger
DE3732412A1 (de) Ultraschallwandler mit astigmatischer sende-/empfangscharakteristik
DE3721209A1 (de) Schall-/ultraschallmessgeraet
DE2415481A1 (de) Ultraschallgenerator
DE2023929A1 (de) Piezoelektrischer Ultraschall-Wandler.
DE3401979C2 (de)
DE1167076B (de) Mechanische Impedanzanpassresonatorvorrichtung
DE60124314T2 (de) Rumpfsonar für seeschiff
DE2109013B2 (de) Elektroakustischer Wandler
DE2744823B2 (de) Sende-Empfangsanordnung für Schalloder Ultraschallwellen für die Abstandsmessung nach dem Echolotprinzip
DE2615973C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verringerung der Echos von außerhalb der Brennlinie liegenden Reflektoren bei einem Echolotverfahren
EP0362478B1 (de) Akustische Verzögerungsleitung
DE3842759C2 (de) Richtscharfer Ultraschall-Wandler mit gekrümmter Abstrahlfläche
WO2002061413A2 (de) Ultraschall-sensor für die prozesssteuerung beim widerstandspunktschweissen
DE2537803A1 (de) Extrem leichter schaumstoff hoher elastizitaet und festigkeit
EP0973150A2 (de) Ultraschallwandler und das Verfahren zu seiner Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee