DE2535561B2

DE2535561B2 - Antriebseinrichtung für den Träger von Strahlumlenkmitteln bzw. des Werkstücks einer Laserbearbeitungsvorrichtung

Info

Publication number: DE2535561B2
Application number: DE2535561A
Authority: DE
Inventors: Victor Andrew Secaucus Firtion; Leif Summit Rongved; Thomas Edward Basking Saunders
Original assignee: Western Electric Co Inc
Current assignee: AT&T Corp
Priority date: 1974-08-09
Filing date: 1975-08-08
Publication date: 1979-06-28
Also published as: GB1495651A; JPS5326114B2; DE2535561C3; CA1048661A; FR2281596A1; NL7509491A; US3925785A; IT1041472B; JPS5141968A; NL163632C; FR2281596B1; NL163632B; DE2535561A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Antriebseinrichtung für den Träger von Strahlumlenkmitteln bzw. eines beschichteten Substrates einer mit Laserstrahlen arbeitenden Vorrichtung zum Erzeugen von Mustern in dem Substrat, beispielsweise durch selektives Verdampfen von Teilen der Beschichtung, bei der der Träger derart bewegt wird, daß der von einer ruhenden Laserstrahlquelle ausgehende Bearbeitungsstrahl das Substrat zeilenweise mit hoher, im wesentlichen gleichbleibender Geschwindigkeit überstreicht.

Die Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen erfordert wiederholte Projektion von Licht durch verschiedene Masken auf eine mit einer lichtempfindlichen Schicht bedeckte Halbleiterscheibe. Nach jeder Belichtung und Entwicklung bildet die Schicht dann eine Maske, welche die selektive Bearbeitung, z. B. Ätzen oder Diffundieren, der Scheibe erlaubt.

Das zu erzeugende Muster kann typischerweise die Zeichnung einer integrierten Schaltung oder einer Vorstufe derselben sein, die nur aus lichtdurchlässigen und lichtundurchlässigen Zonen besteht

In der deutschen Patentanmeldung P 20 04 243.7-53 ist eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Musters ι vorbeschrieben, mit der ein photographischer Film durch einen Laserstrahl zeilenweise belichtet wird Das Muster wird mit Hilfe gespeicherter Digitalinformation geschrieben; d. h. durch Folgen gespeicherter elektrischer Impulse oder »Bits«, die aufeinanderfolgende

in entweder transparente oder undurchlässige Bildpunkte auf einem Maskenmuster repräsentieren. Beispielsweise stellt dabei ein positiver Impuls (ein Eins-Bit) einen transparenten Bildpunkt dar und das Nichtvorhandensein eines solchen impulses (ein Null-Bit) einen undurchlässigen BildpunkL Die gespeicherte Information wird zur Modulation des Laserstrahlenbündels verwendet, welches die photographische Schicht überstreicht.

Das Oberstreichen wird dort durch einen polygonalen Drehspiegel bewirkt, der während seiner Drehung das Bearbeitungsstrahlenbündel so reflektiert, daß es den Film in x-Richtung überstreicht, wobei die photographische Schicht periodisch in der dazu senkrechten K-Richtung schrittweise fortbewegt wird. Da das

>5 Bearbeitur.gsstrahlenbündel von einem einzigen Punkt auf dem sich drehenden Spiegel reflektiert wird, liefert die Spiegelrotation sine ungleichmäßige Strahlwanderungsgeschwindigkeit längs des lichtempfindlichen Mediums. Deshalb ist dort ein spezielles Objektiv vorgesehen, um diese Geschwindigkeit des Lichtstrahlenbündels zu linearisieren. Obwohl Laserstrahlenbündel theoretisch extrem hohe Auflösung ermöglichen, ist diese typischerweise begrenzt durch das Auflösungsvermögen des lichtempfindlichen Mediums und des die

j") Geschwindigkeit linearisierenden Objektives sowie durch die wesentliche Richtungsänderung bei der Schwenkung des Bearbeitungsstrahlenbündels über das lichtempfindliche Medium hinweg. Demgemäß werden mit dieser bekannten Vorrichtung erzeugte Masken typischerweise anfangs so hergestellt, daß sie 35mal größer als die Abmessung des beabsichtigten Musters der integrierten Schaltung sind, photographisch im Verhältnis 10:1 reduziert und anschließend nochmals mit einer sogenannten step-and-repeat-Kamera reduziert, um ein Vielfach-Maskenfeld zu erzeugen, in dem jede Komponente ein Schaltungsmuster der richtigen Größe enthält.

Während das Auflösungsvermögen des lichtempfindlichen Mediums als Materialeigenschaft feststeht und durch entsprechende Wahl des Mediums gesteuert werden kann, werden das Auflösungsvermögen des die Geschwindigkeit linearisierenden Objektives und auch die Abbildungsqualität des Strahlquerschnittes selber entscheidend beeinflußt durch die wesentliche Richtungsänderung des Bearbeitungsstrahlenbündels bei dessen Schwenkung über das Substrat hinweg. Dieser relativ große Schwenkwinkel des Bearbeitungsstrahles wirft schwerwiegende Probleme auf. Es treten nämlich hierbei durch das Objektiv eingeführte Abbildungsfehler, speziell die sphärische Aberration, auf, die der Öffnung des Objektivs eine obere Grenze setzen, weil sphärische Aberrationen mit zunehmender Blendenöffnung stärker werden. Die Beschränkung der Objektivöffnung führt zu einer entsprechenden Beschränkung des Auflösungsvermögens, da in dieses bekannilich der (effektive) Linsendurchmesser eingeht. Dieses bedeutet, daß das Strahlenbündel bisher nicht auf einen so kleinen Bildpunkt fokussiert werden konnte, daß die Energie für

eine Laserbearbeitung ausreichend konzentriert werden konnte. Hinzu kommt noch, daß selbst bei Wahl eines hochkorrigierten Objektives, das größere Blendenöffnung gestatten würde, der von einem koaxialen Strahlenbündel erzeugte Bildpunkt ein anderes Aussehen hat als der von einem schiefen Strahlenbündel erzeugte. Der von einem Strahlungsbündel am Fokussierungsort erzeugte Bildpunkt hat Kreisquerschnitt Dieser Kreisquerschnitt entartet aber für schiefe Lichtstrahlenbündel wegen deren schrägen Einfall auf der Substratoberfläche zu einem elliptischen Querschnitt. Das heißt, die erreichbare Zeichnungsschärfe für das Muster, also wiederum das Auflösungsvermögen, ist über der Substratoberfläche nicht konstant, sondern nimmt nach außen hin ab.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, die angesprochenen Abbildungsfehler des Bearbeitungslaserstrahlenbündels auf der Werkstückfläche zu beseitigen und eine schärfere Fokussierung des Bearbeitungsstrahlenbündels und damit ein größeres Auflösungsvermögen zu ermöglichen, so daß mit Laserstrahlenbearbeitung anstelle photographischer Methoden bei d^r Maskenherstellung gearbeitet werden kann.

Für die Vorrichtung der einleitend beschriebenen Art ist diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Träger zwischen einer ersten und einer zweiten Endstellung auf einer Unterlage mit geringer P~ibung hin- und herbewegbar ist, daß an jeder Endsteimng des Trägers eine Feder zur Abbremsung und Wiederbeschleunigung des Trägers bei dessen Bewegungsumkehr vorgesehen ist und daß an mindestens einer der Federn eine Energiezufuhreinrichtung derart vorgesehen ist, daß dem Träger periodisch und synchron mit seiner Min- und Herbewegung, den Bewegungsablauf gleichbleibend aufrechterhaltend. Energie zugeführt wird.

Dadurch, daß der Strahleinfallswinkel sowohl auf das Objektiv als auch auf die Substratoberfläche konstant bleibt, sind sphärische Aberrationen nicht länger ein ernsthaftes Problem, es können daher höher geöffnete Objektive ebenso verwendet werden, wie dadurch eine größere Energiekonzentration auf einen kleinen Bildpunkt ermöglicht wird. Mit der Erfindung ist deshalb die Möglichkeit eröffnet, eine kleinere Bildpunktgröße und damit ein größeres Auflösungsvermögen zu erhalten, so daß Masken insbesondere für integrierte Schaltungen in der erforderlichen Feinheit mit Laserstrahlen erzeugt werden können.

Im Prinzip wird dieses durch die translatorische Parallelverschiebung des Bearbeitungslaserstrahls längs der Substratfläche anstelle der bisher hierfür vorgesehenen Strahlschwenkung erreicht.

Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Im folgenden ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigt

F i g. 1 eine schematische Darstellung des Ausführungsbeispiels,

F i g. 2 eine schematische Teil-Ansicht der Apparatur nach F i g. 1 und

F i g. 3A und 3B schematische Ansichten, welche die Wirkungen der in der Vorrichtung nach Fig.2 vorgesehenen Schraubenfedern zeigen.

F i g. 1 zeigt eine Apparatur zur Reproduktion des Bildes eines Musters, welches ursprünglich als elektronische Dateninformation in einem Speicher 11 beispielsweise auf Magnetband gespeichert ist. Es sei angenommen, daß das zu erzeugende Muster einer integrierten Schaltung entspricht, die lediglich aus transparenten und undurchlässigen Zonen besteht, und demgemäß durch digitale Dateninformation dargestellt werden kann. Hierbei stellt ein positiver Spannungsimpuls (Eins-Bii) einen zu reproduzierenden transparenten Bildpunkt dar, und das NichtVorhandensein eines Impulses (Null-Bit) einen lichtundurchlässigen Bildpunkt Die Information wird auf der Unterseite eines Substrates 12 reproduziert, indem dieses durch ein von einem Laser 13 erzeugtes und entsprechend moduliertes Lichtstrahlenbündel zeilenweise belichtet wird. Das Substrat ist unterseitig z. B. mit einer Eisenoxid-Schicht beschichtet die durch den modulierten Laser-Bearbeitungsstrahlenbündel 14 selektiv verdampft wird, um so das gewünschte Muster zu schreiben.

Eine Steuerschaltung 15 bewirkt eine periodische Übertragung elektronischer Daten vom Speicher 11 auf einen optischen Modulator 16, in welchem diese Daten eine Intensitätsmodulation des Bearbeitungsstrahlenbündels 14 bewirken. Da die Modulationsinformation digital ist, kann sie einfach dazu verwendet werden, das Strahlenbündel aus- und einzuschalen. Beispielsweise kann ein Eins-Bit bewirken, daß das Strahlenbündel aus der optischen Achse heraus abgelenkt also abgeschaltet wird, während das Null-Bit die Fokussierung des Strahlenbündels auf das Substrat erlaubt oder umgekehrt. Der Modulator 16 kann auch innerhalb der Lasereinheit 13 angeordnet sein. Das modulierte Strahlenbündel wird an einem auf einem Träger 18 unter 45° befestigten Spiegel 17 reflektiert und

jo anschließend durch eine Linse 19 auf das Substrat fokussiert. Wie der Laser und die zugehörigen optischen Komponenten aufzubauen sind, um eine Verdampfung einer Eisenoxidschicht in hoher Auflösung zu erhalten, ist in der Technik bekannt.

Das Überstreichen des Hauptteils der Unterseite des Substrates 12 durch das Laser-Bearbeitungsstrahlenbündel 14 wird dadurch erreicht, daß der Träger 18 in der dargestellten Richtung der *-Richtung, hin- und herbewegt und nach jeder Abtastung in x-Richtung schrittweise in der y-Richtung fortbewegt wird. Der Träger kann in bekannter Weise durch einen Schrittmotor 21 angetrieben werden, der durch die Steuerschaltung 15 gesteuert wird. Das Bearbeitungsstrahlenbündel bearbeitet das Substrat sowohl bei der Vorwärts- als auch bei der Rückwärtsbewegung des Wagens.

Ein Eingangssignal der Steuerschaltung 15 stammt von einem Fotodetektor 22, der ein Signal erzeugt welches die Bewegung des Trägers in x-Richtung anzeigt. Ein Kodierlaser 23 richtet ein Kodierstrahlenbündel 24 in Form eines Flachstrahles auf einen unter 45° am Träger »,8 befestigten Spiegel 25 der das Strahlenbündel durch eine Kodeplatte 26 hindurch :>uf den Fotodetektor 22 reilektiert. Aufbau und Arbeitsweise d^r Kodeplatte 26 und der zugehörigen Vorrichtung können gleich den in der deutschen PaptentanmeWung P 20 04 243.7-53 beschriebenen sein. Hiernach weist die Kodeplatte eine Reihe abwechselnd undurchlässiger und transparenter Zonen auf, die das Kodestrahlenbündel 24 zerhacken, um so eine Impulsfolge zu erzeugen, die zur Steuerschaltung 15 übertragen wird. Die Impulsfolge gibt die momentane Position des Wagens an und wird wiederum zur Steuerung der Mudulation des Laserstrahlenbündels verwendet, um die jeweiligen Bildpunkte an den richtigen Stellen des Substrates richtig zu erzeugen.

Die Vorrichtung zur Steuerung der Hin- und Herbewegung des Trägers 18 in ^-Richtung ist in F i g. 2 gezeigt. Der Träger umfaßt vorzugsweise ein gemcinsa-

mes Gehäuse 31 für die Spiegel 17 und 25 und die Linse 19 der Fig. I. Der Träer ist auf einem Luftlager 32 gelagert, welches ihn zu einer Bewegung längs einer Geraden in x-Richtung zwingt. Da es sich um ein Luftlager handelt, liegt der Träger 18 auf einem Luftkissen und kann sich frei entweder in der positiven oder der negativen Λ-Richtung bewegen. Es besieht keine direkte Berührung mit dem Träger 18 zur Steuerung dessen Bewegung.

An den gegenüberliegenden Enden der Luftlagerung sind zur Bewegungsumkehr des Trägers ein Paar Schraubenfedern 33 und 34 vorgesehen, welche den Träger zwischen sich hin- und herstoßen. Anschlagsflächen 35 und 36 des Trägers sind so ausgelegt, daß sie die Schraubenfedern 33 und 34 mit minimaler Reibung berühren (F i g. 3A und 3B). Die Hin- und I lerbewegung kann dadurch eingeleitet werden, daß der Träger einfach von Hand zu einer der Federn hin ausgeschoben wird.

Wenn auch die Luftlagerung und die Anschlaesflächen 35 und 36 Reibungsverluste während der Hin- und Herbewegung minimal machen, muß dem sch bewegenden Träger 18 zur Aufrechterhaltung seiner Geschwindigkeit periodisch kinetische Energie zugeführt werden. Dieses wird in der Vorrichtung nach Fig. 2 durch Elektromagnete 38 bewirkt, die den Federn zugeordnet sind. Während der Träger eine Feder zusammendrückt, wird deren Elektromagnet betätigt, so daß er die Feder noch etwas weiter zusammendrückt, wodurch der Feder zusätzlich Energie zugeführt wird, mit der der Träger 18 zur gegenüberliegenden Feder abgestoßen wird. Die hinzugefügte Energie ist gleich dem Verlust an kinetischer Energie, der während des vorausgehenden Durchlaufs des Trägers entstanden ist. Der Vorgang ist in Fig. 3A und in F i g. 3B zu dem Zeitpunkt dargestellt, in dem die Feder 33 durch den auftreffenden Träger 18 um die Strecke ν zusammengedrückt ist und der Elektromagnet 38 die Feder um einen geringen zusätzlichen Federweg c/zusammendrückt.

Es ist natürlich wichtig, daß die den Federn durch die Elektromagneten jeweils zugeführten Impulse mit der Hin- und Herbewegung des Trägers 18 synchronisiert sind. Eine solche Synchronisation kann einfach durch Sensoren 39 erzeugt werden, welche die physische Anwesenheit des Trägers 18 feststellen und die Elektromagnete 38 über eine Verzögerungsvorrichtung 40 betätigen. Jeder der Sensoren 39 kann beispielsweise eine Lichtquelle 42 in Verbindung mit einem Fotodetektor 43 und eine am Träger befestigte Maske 44 aufweisen. Wenn die Maske 24 das sich zwischen Quelle 42 und Detektor 43 erstreckende Lichtstrahlenbündel unterbricht, wird ein Betätigungssignal erzeugt. Dieses Signal wird durch die Schaltung 40 um eine Zeitdauer verzögert, die dazu ausreicht, daß der Träger die Feder 33 zusammendrücken kann. Beispielsweise kann die Schaltung 40 so ausgelegt sein, daß sie eine Betätigung des Elektromagneten so lange verzögert, bis die jeweilie Feder maximal zusammengedrückt ist, und zu diesem Zeitpunkt wird dan:: der den zusätzlichen Federweg d (Fig.3B) bewirkende Impuls zugeführt Dieses führt dem Träger 18 die größte kinetische Energie zu; wenn aber eine geringere Energiezufuhr gewünscht ist, kann die Betätigung den Elektromagneten so gewählt werden, daß der zusätzliche Federweg d entweder kurz vor oder vorzugsweise kurz nach dem maximalen Zusammendrücken der Feder erzeugt wird.

Die durch die Schaltung 40 eingeführte Verzögerung kann entweder von dem Zeitpunkt ab gemessen werden.

zu welchem Kontakt zur Feder hergestellt ist, oder von irgendeinem Zeitpunkt vor Herstellung des Kontaktes. Eine dieser Arten kann zum Erhalt einer voraussagbaren gleichförmigen Geschwindigkeit ausgenutzt werden. Die tatsächliche Verzögerung schließt natürlich auch von Natur aus vorhandene Verzögerungen des Fotodetektors und der Elektromagneten ein.

Mit der gezeigten Vorrichtung wird dem Träger nach jedem Durchlauf eine Energie mitgeteilt, die experimentell so bestimmt ist, daß sie ausreichend hohe gleichförmige Geschwindigkeit für den Trägerdurchlauf erzeugt. Obgleich die Trägergeschwindigkeit von Natur aus aufgrund stets vorhandener Verzögerungsvorgänge (Luftwiderstand) streng genommen nicht exakt gleichförmig ist, werden solche Ungleichmäßigkciten zum einen durch das reibungsarme Lagcrungs- und Anschlagsystem und zum anderen dadurch minimal gemacht, daß der Bereich, in welchem der Wagen die Federn berührt, außerhalb des talsächlichen Einwirkungsbereiches des Laserstrahlenbündels liegt.

Der durch die Elektroncnmagneten bewirkte zusätzliche Feder d in (Fig. 3B) ist zu Erläuterungszwecken übertrieben dargestellt. Bei einer guten Luftlagerung und wirkungsvollen Federn ist d im Vergleich zu ν extrem klein. Der zusätzliche Federweg d wird so gewählt, daß die gewünschte Trägergeschwindigkeit ι entsprechend der Formel

d =

(2/e)(/i'm)"

aufrecht erhalten wird. Dabei ist egieich Eins minus dem Rückkehrkoeffizienten der Feder, k die Federkonstante und m die Masse des Wagens. Diese Beziehung kann man aufgrüne¹ folgender Betrachtungen verstehen. Die in Schraubenfeder gespeicherte potentielle Energie fist gegeben durch

K = 1/2Ax²

Dabei bedeutet χ den Federweg, also die Auslenkung der Feder. Die kinetische Energie K des Trägers ist gegeben durch

K = Xßmv¹.

Dabei bedeutet ν die Geschwindigkeit des Trägers. Wenn der Träger am Ende seines Durchlaufs momentan zur Ruhe kommt, ist seine kinetische Energie nahezu vollständig in potentielle Federenergie umgewandelt. Die Gleichungen (2) und (3) ergeben deshalb eine Beziehung zwischen der Trägergeschwindigkeit und der maximalen Auslenkung χ der Feder, nämlich

x = (mlkf^!2c.

Eine geringe Menge an Energie E\ geht jedesmal

verloren, wenn der Träger von der Feder wieder abgestoßen wird. Man kann zeigen, daß dieser Verlust näherungsweise proportional zur kinetischen Energie des Trägers ist und sich im wesentlichen ergibt durch

E₁ =

Der Zweck des Elektromagneten besteht darin, so viel Energie zuzuführen, daß der geringe Energieverlust E\ ausgeglichen wird. Wenn man voraussetzt, daß der

zusätzliche Federweg d zur Zeit der maximalen Federkompression auftritt, kann man zeigen, daß die zugefügte Energie E,gegeben ist durch

E_a = kxd.

(6)

Man kann annehmen, daß die Reibungsverluste der Luft'igerung vernachlässigbar sind. In diesem Fall erreicht der Träger einen Zustand gleichmäßiger Geschwindigkeit, wenn die zugeführte Energie E, gleich dem Energieverlust E\ ist. Dann erhält man aus den Gleichungen (4), (5) und (6) die Beziehung gemäß Gleichung (I). Obwohl sich der Träger vollständig frei bewegt, ist seine Geschwindigkeit demzufolge genau steuerbar.

Man kann zeigen, daß die Zeit T, welche zum vollständigen Zusammendrücken der Feder nach der ersten Berührung verstreicht, gegeben ist durch

T =

(7)

Die Verzögerung der Schaltungen 40 kann so gewählt werden, daß genau die durch die Gleichung (7) gegebene Zeitverzögerung erzeiipi wird. Andererseits kann man bei einem konstanten zusätzlichen Federweg d durch

die Elektromagnete während einer jeden Betätigung die Geschwindigkeit ydes Trägers dadurch reduzieren, daß man eine Zeitverzögerung vorsieht, die etwas von der Zeitverzögerung T abweicht. Deshalb ist die Steuerschaltung 15 in der Darstellung mit der Verzögerungsschaltung 40 verbunden, um eine automatische Geschwindigkeitskorrektur des Trägers 18 zu erzeugen. Je weiter die Betätigung den Elektromagneten von einer Synchronisation mit dem Träger-Umkehrmoment abweicht, umso mehr wird die Trägergeschwindigkeit auf einen niedrigeren stetigen Zustandswert reduziert Da die Steuerschaltung 15, wie bereits erwähnt, Teil eines Computers sein kann, kann dieser ohne weiteres auch für eine Überwachung der Trägergpschwindigkeit und die Durchführung dieser Servomechanismus-Funktion programmiert sein, obwohl dieses nicht wesentlich für das Funktionieren des Systems ist. Man beachte auch, daß die Zeit Tunabhängig von der Trägergeschwindigkeit ist, was bei der Plazierung der Sensoren 39 in Betracht zu ziehen ist.

Weitere Abwandlungen an der beschriebenen Apparatur sind möglich. Beispielsweise könnte das Substrat auf dem Träger 18 befestigt und das Laserstrahlbündel schrittweise periodisch in der ^-Richtung versetzt werden, um die gewünschte x-y-Abtastung zu erhalten.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Antriebseinrichtung für den Träger von Strahlumlenkmitteln bzw. eines beschichteten Substrats einer mit Laserstrahlen arbeitenden Vorrichtung zum Erzeugen von Mustern in dem Substrat, beispielsweise durch selektives Verdampfen von Teilen der Beschichtung, bei der der Träger derart bewegt wird, daß der von einer ruhenden Laserstrahlquelle ausgehende Bearbeitungsstrahl das Substrat zeilenweise mit hoher, im wesentlichen gleichbleibender Geschwindigkeit überstreicht, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (18) zwischen einer ersten und einer zweiten Endstellung auf einer Unterlage mit geringer Reibung hin- und herbewegbar ist, daß an jeder Endstellung des Trägers (18) eine Feder (33 bzw. 34) zur Abbremsung und Wiederbeschleunigung des Trägers (18) bei dessen Be«";gungsumkehr vorgesehen ist und daß an mindestens einer der Federn (33, 34) eine Energiezufuhreinrichtung (38) derart vorgesehen ist, daß dem Träger periodisch und synchron mit seiner Hin- und Herbewegung, den Bewegungsablauf gleichbleibend aufrechterhaltend, Energie zugeführt wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Federn (33, 34) als Schraubenfedern ausgebildet sind, deren Achsen parallel zur Bewegungsrichtung des Trägers (18) verlaufen, und daß die Energiezufuhreinrichtung (38) derart angeordnet ist, daß sie wenigstens eine der Federn (33, 34), währtnd der Träger (18) die Feder (33 bzw. 34) berühre, um einen zusätzlichen Federweg fc/) zusammendrückt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß jede Energiezufuhreinrichtung (38) als Elektromagnet ausgebildet ist, daß eine Abtasteinrichtung (39) für die Position des Trägers (18) vorgesehen ist und daß bei Erreichen einer vorbestimmten Position des Trägers (18) der Elektromagnet (38) abhängig von einem von der Abtasteinrichtung (39) abgegebenen Signal betätigt wird.