DE2529735B2 - Korpuskularstrahlmikroskop, insbesondere elektronenmikroskop, mit verstelleinrichtungen zur aenderung der lage des abzubildenden objekts und verfahren zum betrieb - Google Patents

Description

Das Hauptpatent 24 41288 befaßt sich mit einem Korpuskularstrahlmikroskop, insbesondere Elektronenmikroskop, mit Verstelleinrichtungen zur Änderung der Lage des abzubildenden Objekts relativ zur Geräteachse und/oder relativ zur gegenstandsseitigen Fokussierungsebene des Objektivs und/oder zur Änderung der Lage des Objektbildes relativ zur Geräteachse und einer Einrichtung zur Regelung des Zustandes des Objektbildes, deren auf die Verstelleinrichtung(en) einwirkende Stellgröße(n) aus einer Faltung des Ist-Objektbildes mit einem gespeicherten Soll-Objektbild abgeleitet ist (sind).

Der Grundgedanke der Erfindung nach dem Hauptpatent besteht darin, das momentane Objektbild, das sogenannte Ist-Objektbild, mit einem früheren Zustand seiner selbst, dem sogenannten Soll-Objektbild, zu korrelieren. Dabei wird die Operation der Faltung aus Ist-Objekibild und dem gegenüber diesem um 180° um eine Flächennormale gedrehten Soll-Objektbild durchgeführt. Diese Operation bedeutet mathematisch die Berechnung des Integrals P_u.v

mit P,,,,. = l\f(x,y)f'(x+u,y+ v)dxdy

Dabei ist /"das Ist-Objektbild und /'das Soll-Objektbild, während u, vdie Abschnitte der Strecke in Richtung der Koordinatenachsen angibt, um die das Soll-Objekt-

iild gegenüber dem Ist-Objektbild verschoben ist. Dieses Integral ist auch unter der Bezeichnung torrelationsintegral bekannt.

Stimmen Ist- und Soll-Objektbild im wesentlichen iberein, so besitzt das Integral einen maximalen Wert, s Dieser Wert ist das sogenannte Korrelai'onsmaximurn. Bei einem Ausführungsbeispiel der dem Hauptpatent zugrunde liegenden Erfindung ist (sind) die auf die eingangs genannte(n) Verstelleinrichtung(en) einwirkende^) Stellgröße(n) aus dem Korrelalionsmaximum abgeleitet. Dices ist beispielsweise lichtoptisch in einem Punkt eines flächenhaften Detektors gebildet. Das |st-Objektbi!d beleuchtet das als Lichtrelais, /.. B. als Fotoplatte, vorliegende Soll-Objektbild. Ist-Objektbild, Soll-Objektbild und der Detektor sind längs einer optischen Achse mit festen Abständen voneinander angeordnet; die Ebenen der beiden Bilder und des Detek'.ors liegen senkrecht zu dieser Achse.

Liegen die Ursprünge beider Bilder in der optischen Achse, so liegt das Korrelationsmaximum am Durchstoßpunkt der optischen Achse durch die Detektorfläche. Ist nun das Ist-Objektbild senkrecht zur optischen Achse verschoben, so befindet sich auch das Korrelationsmaximum außerhalb der optischen Achse. Die Lage des Korrelationsrnaximums auf dem flächenhaften ^s Detektor ist ein Maß für die Verschiebung des lst-Objektbildes gegenüber dem Soll-Objeklbild.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die auf die genannten Verslelleinrichtungen einwirkenden Vcrstellgrößen direkt aus dem Monuntanwert des genannten Korrelationsintegrals abzuleiten. Die Lösung dieser Aufgabe besteht erfindungsgemäß darin, daß das Ist-Objektbild unmittelbar auf dem Soll-Objektbild abgebildet ist.

Die Erfindung geht dabei von der Tatsache aus, daß nicht nur die Lage des Korrelationsmaximums, sondern auch der Momentanwert des Korrelationsintegrals ein Maß für die Verschiebung des lst-Objektbildes relativ zum Soll-Objektbild ist.

Das Korrelationsintegral aus Ist- und Soll-Objektbild kann in verschiedener Weise berechnet sein. So ist es möglich, ein Strahlungsemittierendes Ist-Objektbild und ein auf ein strahlungsdurchlässiges Substrat aufgebrachtes Soll-Objektbild sowie einen Detektor zur Bestimmung des gesamten, das Soll-Objektbild durchsetzenden Strahlung vorzusehen. Die mit dem Detektor gemessene Strahlungsmenge ist dem Korrelationsintegral direkt proportional.

Der Detektor kann gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung ein flächenhafter Detektor sein, dessen Fläche mindestens gleich der der Bilder ist. Es ist aber auch möglich, einen annähernd punktförmigen Detektor vorzusehen, auf den durch geeignete Mittel die das Soll-Objektbild durchsetzende Strahlung konzentriert ist. «

Das Ist-Objektbild kann auf dem Soll-Objektbild elektronenoptisch abgebildet sein. In diesem Fall kann mit Vorteil eine an sich bekannte elektronenoptische Bildkorrelationsröhre Verwendung finden (vgl. Prospekt der Firma ITT, »See Saw Image Correlation Tubes«, August 1974). Diese Röhre besitzt ein Speichernetz sowie eine Fotokathode. Auf das Netz ist das Soll-Objektbild, auf die Fotokathode das Ist-Objektbild aufgeprägt.

!n dem zuletzt genannten Fall einer elektronenopti- sehen Bildung des Korrelationsintegrals kann es weiter vorteilhaft sein, die elektronenoptische Bildkorrela- tinnsröhre mit Ablenkmitteln in Form von Ablenkspulen oder -platten zur Verschiebung des lst-Objektbildes um definierte Beträge zu verschen. Auf diese Weise ist es möglich, den Maximalwert des Korrelationsintegrals, das erwähnte Korrelationsmaximum, festzustellen.

Man kann /eigen, daß das Korrelationsmaximum dann vorliegt, wenn die willkürliche Verschiebung des Ist-Objektbildes (durch die Ablenkmittel) entgegengesetzt gleich der vorgegebenen Verschiebung des lst-Objektbildes gegenüber dem Soll Obieklbild ist.

Die soeben beschriebene Anordnung mit Bildkorrelationsröhre kann nach dem Prinzip gestaltet werden, das dem obengenannten Ausführungsbeispiel des Hauptpatentes zugrunde liegt. Dazu ist das Ausgangssignal des Detektors, der die gesamte, das Soll-Objektbild durchsetzende Strahlung aufnimmt, als Helltastsignal auf eine Fernsehröhre gegeben, deren Elektronenstrahl entsprechend der willkürlichen Auslenkung des lst-Objektbildes gesteuert ist. Auf dem Fernsehschirm entsteht ein Bild mit einem definierten Helligkcitsmaximunv, dieses Maximum entspricht dem Korrelationsmaximu.n. Durch einen geeigneten Detektor, z. B. eine Detektormatrix lichtempfindlicher Elemente vor dem Fernsehschirm, ist es dann möglich, die Lage dieses Helligkeitsmaximums auf dem Fernsehschirm festzustellen und daraus das Stellsignal abzuleiten.

Eine Alternative zu der soeben genannten Anordnung aus Fernsehröhre und Detektormatrix zur Bestimmung des Maximums des Korrelationsintegrals ist durch eine elektronische Schaltung gegeben, in diese sind als Eingangswerte die Momentanwerte der willkürlichen Verschiebung des Ist-Objeklbildes sowie das Ausgangssignal des Detektors gegeben, der die das Soll-Objektbild durchsetzende Strahlung mißt. Die Ausgangswerte dieser Schaltung sind die Koordinaten, bei denen das Ausgangssignal des Detektors einen maximalen Wert besitzt.

Statt der vorstehend erläuterten elektronenoptischen Abbildung des Ist-Objektbildes auf dem Soll-Objektbild kann diese Abbildung auch auf lichtoptischem Wege vorgenommen werden. In diesem Fall kann das Ist-Objektbild lichtemittierend und das Substrat eine lichtdurchlässige Folie, z. B. eine Fotoplatte, sein. Es ist weiter möglich, das Ist-Objektbild auf dem Bildschirm einer Bildverstärkerröhre zu erzeugen.

Die Bildverstärkerröhre kann ferner mit Mitteln zur Verschiebung des lst-Objektbildes um definierte Beträge versehen sein. Als geeignete Mittel hierzu kommen beispielsweise magnetische Ablenkspulen oder statische Ablenkplatten im Strahlengang der Bildspeicherröhre in Frage. Auch hier ist es möglich, zur Bestimmung des Korrelationsmaximums das Ausgangssignal des Detektors, der die Lichtmenge hinler dem Soll-Objektbild bestimmt, auf eine Fernsehröhre zu geben und diese in der gleichen Weise, wie oben beschrieben, zu steuern.

Der Wert des Korrelationsintegrals kann nach einer vorhergehenden Manipulation der beiden Bilder in besonders einfacher Weise bestimmt werden; diese Manipulation besteht darin, die Helligkeitswerte des !stund des Soll-Objektbildes auf zwei Werte (0, 1) zu reduzieren. In diesem Fall liefern nur die Punkte x,y einen Beitrag zum Korrelationsintegral, in denen die Funktionen f(x.y) (Ist-Objektbild) und f'(x,y) (Soll-Objektbild) den Wen 1 besitzen. Alle anderen Punkte ergeben keinen Beitrag zum Korrelationsintegral. Es ist dann möglich, die Berechnung des Integrals durch eine Summation von Ist- und Soü-Objektbild zu simulieren. Vergleicht man nämlich die bei der Berechnung des Integrals möglichen Werte des

Integranden

O · 0 = 0;0

1 =0; 1 · 0 = 0und 1-1=1

mit dem Ergebnis der Summe der Faktoren f(x,y) und f'(x, y)dcs Integranden

0 + 0 = 0; 0+1 = 1; 1+0=1 und 1 + 1 =2,

so erkennt man, daß dem für die Integration allein maßgebenden Integranden 1 · 1 ein Summenwert (2) entspricht, der sich von den entsprechenden Summenwerten der anderen Werte des Integranden unterscheidet.

Die in der beschriebenen Weise modifizierten Bilder können nun auf einem flächenhaften Detektor zur Deckung gebracht werden. Sieht man beispielsweise als Detektor die lichtempfindliche Fläche einer Bildaufnahmeröhre vor, die nur auf einen Helligkeitswert anspricht, der größer als der maximale Helligkeitswert (1) eines Bildes ist, so kann der Wert des Korrelationsintegrals in besonders einfacher Weise angegebenen werden. Er ist nämlich dem Ausgangssignal der Bildaufnahmeröhre proportional.

Eine Variante der soeben beschriebenen Möglichkeit, das Korrelationsintegral durch eine Summation der beiden Bilder zu bestimmen, läßt sich aus folgender Überlegung ableiten:

Reduziert man die beiden Bilder wieder auf zwei Helligkeitswerte (0, I), dreht sie im Kontrast um und bringt die so modifizierten Bilder auf einem flächenhaften Detektor zur Deckung, so ist das Korrelationsintegral in diesem Fall der Anzahl der Punkte des Detektors direkt proportional, in denen der Helligkeitswert 0 vorliegt. Diese Anzahl ist gleich der Differenz aus der Gesamtzahl der Punkte des Detektors und der Anzahl der Punkte, in denen ein Helligkcitswert von 1 oder 2 gegeben ist.

In diesem Fall kann das Korrelationsintegral mit Hilfe eines Detektors bestimmt werden, der eine Sättigungscharaktcristik aufweist, wobei Sättigung ab einem Helligkeitswert eintritt, der gleich dem maximalen Helligkcitswert (I) eines Bildes ist. Dem Korrelationsintcgral entspricht in diesem Fall der Unterschied zweier Helligkcitswcrte der gesamten Dctektorfliiche. Der eine Wert ist dabei die Helligkeit der Detcktorflächc in dem Fall, daß in allen Punkten eine Helligkeit von 1 oder 2, d. li. Sättigung, vorliegt. Der andere Wert ist der momentane 1 lelligkcitswert der Detcktorflächc.

Als Detektoren mit einer SäUigungscharakteristik der soeben genannten Art können beispielsweise eine Fluoreszenzfolic oder die lichtempfindliche Fläche einer Bildaufnahmeröhre verwendet sein. Die Helligkeit der Fluoreszcn/.folit kann auf verschiedene Weise gemessen werden. So ist es möglich, den Detektor optisch an die Liehteintrittsfläehe einer Bildaufnahmeröhre anzukoppeln, die kein von den beiden Bildern unmittelbar ausgehendes Licht empfängt. Ferner ist es /.. B. möglich, dem Detektor im Strahlengang ein erstes Filter vorangehen und ein /weites Filier nachfolgen zu lassen. Das erste Filter absorbiert dabei das innerhalb des Fliioreszenzberciches der Folie gelegene Licht, während das zweite Filter nur das innerhalb des Fliiorcszcn/bereiehes der Folie gelegene l.ichl durchläßt.

In den Figuren sind Atisfühningsbcispiclc der Erfindung dargestellt,
lis zeigt

Fig. I eine Anordnung zur Korrektur des Bildes eines Elektronenmikroskops, bei der eine elektronenoptische Korrelationsröhre zur Bestimmung des Korrelationsintegrals aus 1st- und Soll-Objektbild vorgesehen ist.

F i g. 2 eine Alternative zu der Anordnung von Fig. 1, s F i g. 3 eine Schaltung zur Bestimmung der Lage des Maximums des Korrelationsintegrals,

F i g. 4 eine Anordnung, bei der das Korrelationsintegral lichtoptisch bestimmt ist,

F i g. 5 eine Anordnung, bei der das Korrelationsintegral über eine Summation des 1st- und des Soll-Objektbildes durchgeführt ist,

Fig.6 eine Skizze zur Verdeutlichung des der Anordnung von F i g. 5 zugrunde liegenden Prinzips, F i g. 7 eine Bildaufnahmeröhre zur Durchführung des anhand von F i g. 5 beschriebenen Verfahrens,

Fig.8 eine Alternative zu der Anordnung nach F i g. 7,

F i g. 9 eine weitere Anordnung zur Durchführung des anhand von F i g. 5 beschriebenen Verfahrens. In F i g. 1 ist ein elektronenoptischer Computer 1 zur Bestimmung der Bilddrif t eines Elektronenmikroskops 2 dargestellt. Das Elektronenmikroskop 2 weist eine Elektronenquelle 3, Kondensorlinsen 4, 5 zur Bestrahlung des zu untersuchenden Objektes 6, eine Objektivlinse 7, eine Zwischenlinse 8 und eine Projektorlinse 9 auf. Diese erzeugt in der Bildebene 10 des Mikroskops 2 ein Bild des Objektes 6. Ein Teil 11 dieses Bildes soll auf einer Fotoplatte 12 aufgenommen werden.

Neben der Fotoplatte 12 ist ein Aui'sichtleuchtschirm 43 angeordnet, auf dem ein weiterer Teil 15 des

Mikroskopbildes erzeugt ist. Das durch einen Pfeil 48 symbolisierte Mikroskopbild 15 ist durch ein Lichtfenstcr 44 des Mikroskops 2 hindurch und über einen Spiegel 45 von einer Linse 46 in einer Ebene P entworfen (Pfeil 48')·

Da bei einer Drift des gesamten in der Bildebene 10

des Mikroskops 2 erzeugten Bildes die beiden Tcilbilder 11, 15 in gleicher Weise verschoben werden, ist es möglich, die Bildruhe des Tcilbildes 11 während der Belichtung der Fotoplatte 12 mittels des Tcilbildes 15 zu bestimmen. Diese Bestimmung erfolgt dadurch, daß das Teilbild 15 mit einem früheren Zustand seiner selbst korreliert wird. Die hierzu vorgesehene Bildung des Korrclationsinlegrals wird mittels der elektroncnoptisehen Bildkorrelationsröhrc /(durchgeführt.

Es sei zunächst der Aufbau und die Wirkungsweise der Bildkorrelalionsröhrc K erläutert. Die Röhre K weist eine Fotokathode 120. ein Beschlcunigungsgittcr 121, ein Kollektorgitter 122, ein Speichernetz 123 und einen Sekundärelektronenvervielfacher 124 auf. Sie ist von einer zylindcrförmigen Fokussierspule 125 umgeben, die die von jedem Punkt der Fotokathode 12t ausgehenden Elektronen auf einem entsprechender Punkt des Speichcrnet/.es 123 fokussieren. SS Die Fotokathode 120 ist in die Ebene /'gelegt. Das au ihr erzeugte Licht-Eingangsbild wird in ein elektronen optisches Bild umgewandelt. Die aus der Fotokathodi 120 austretenden Elektronen werden durch da Beschleunigungsgitter 121 abgesaugt, treten durcl <«> dieses hindurch und laufen achsparallei zum Speicher netz 123, Dieses besieht /.. B. aus einem metallische Tiägeriiel/. (z.B. aus feinstem Draht), auf das ein Schicht hochohmigen Materials aufgebracht ist.

Die elektronenoptische Bildkorrclationsröhre j

'"1 besitzt die Betriebsarten Speichern, Löschen und Lcsei in der ik-iriubsiiii Speichern ist /.wischen der Foto!;; thode 120 und dem Speichernetz 123 eine positiv Spannung in der Grttikiumtniing 500 V gelegt. Von de

Fotoelektronen werden auf der Oberfläche des Speichernetzes 123 Sekundärelektronen erzeugt, die vom Kollektorgitter 122 aufgesaugt werden. Die Oberfläche des Speichernetzes 123 wird dadurch positiv aufgeladen, und zwar örtlich verschieden stark, je nach Anzahl der auftreffenden Fotoelektronen. Das Eingangsbild wird damit auf dem Speicherneiz 123 als Ladungsverteilung abgespeichert.

Diese gespeicherte Information kann wieder gelöscht werden (Betriebsart Löschen), wenn zwischen der Fotokathode 120 und dem Speichergitter 123 eine positive Spannung von einigen Volt (z. B. 10 V) gelegt wird. Die Energie der Fotoelektronen reicht dann nicht aus, um Sekundärelektronen zu erzeugen; die gesamte Oberfläche des Speichernetzes 123 wird gleichmäßig auf das Potential der Fotokathode aufgeladen.

In der Betriebsart Lesen ist zwischen der Fotokathode 120 und dem Speichernetz 123 eine negative Spannung von einigen Volt (z.B. — 5 V) gelegt. Das Speichernetz 123 ist dann für Elektronen teilweise durchlässig, und zwar um so mehr, je positiver seine Oberfläche aufgeladen ist. Das Speichernetz 123 ist also für die Fotoelektronen örtlich verschiedenen transparent, entsprechend der gespeicherten Ladungsverteilung. Die Ladungsverteilung auf der Oberfläche des Speichernetzes 123 ändert sich bei dieser Betriebsart nicht, da die Oberfläche negativ gegenüber der Fotokathode 120 ist und damit keine Fotoelektronen auf ihr landen können.

Mit der Bildkorrelationsröhre K wird nun das Korrelationsintegral aus 1st- und Soll-Objektbild auf folgende Weise berechnet:

Es wird zunächst ein erstes Objektbild, das »Soll-Objcktbild«, auf dem Speichernetz 123 erzeugt; die Röhre K arbeitet dazu nach der Betriebsart Speichern. Danach wird das Objektbild zu einem späteren Zeitpunkt, das »Ist-Objcktbild«, auf die Fotokathode 120 abgebildet. In der Betriebsart Lesen wird die hinter der Fotokathode 120 entstehende Elcktronenvcrteilung magnetisch auf das Speichernetz 123 fokussiert. Da das Speichernetz 123 entsprechend dem gespeicherten Soll-Objektbild für Elektronen örtlich verschieden durchlässig ist, ergibt sich hinler diesem Net/, ein Elektronenfluß, der dem Korrelationsintegral der beiden Bilder entspricht.

Die durch das Speichernetz 123 hindurchtrctcndcn Elektronen werden vom Sekundärelektronenvervielfacher 124 gesammelt und verstärkt. Am Ausgang 129 der Röhre ergibt sich ein Signal, das proportional dem Korrclationsintcgral aus Ist- und Soll-Objektbild ist.

Zur Bestimmung des Maximums des Korrclationsintcgrals und damit der Verschiebung des Ist-Objektivbildes relativ zum Soll-Objcktivbikl sind Zusatzeinrichtungen vorgesehen. Diese bestehen zum einen aus zwei Ablcnkspulcnpnarcn 126, 126', die sattelförmig auf den Hals der Bildkorrclationsröhre K aufgebracht sind und die senkrecht zueinander und senkrecht zur Achse der Röhre wirken; die Ablcnkspulcnpnarc ermöglichen eine Verschiebung des gesamten, durch die Fotokathode 120 in ein clcktroncnoptischcs Bild umgewandelten liingnngsbildcs der Röhre K in zwei zueinander senkrechte Richtungen. Ferner ist eine Fernsehröhre 131 vorgesehen, die stark vereinfacht dargestellt ist. Sie weist eine Elektronenquelle 130, ein Stcucrgittcr 132 sowie senkrecht zueinander wirkende Ablcnkspulenpaarc 133, 133' auf.

Die Ablcnkspulcnpaiirc 126, 126' und 133, 133' sind synchron durch einen Rastergenerator 6'erregt. Dieser besteht aus Sllgczahngcncralorcn 134, 134' zur Horizontal- und Vertikalablenkung des Ist-Objektbildes bzw. des Elektronenstrahls 135 der Fernsehröhre 131. Das Ausgangssignal der Bildkorrelationsröhre K ist auf das Steuergitter 132 der Fernsehröhre 131 gegeben.
s Lenkt man das von der Fotokathode 120 ausgehende Ist-Objektbild gegenüber dem dem Speichergitter 123 aufgeprägten Soll-Objektbild durch den Rastergenerator G aus, so erzeugt der Elektronenstrahl auf dem Schirm 136 der Fernsehröhre 131 ein Bild, das einen

ίο Punkt extremer Helligkeit aufweist. Die Lage dieses Punktes ist ein Maß für die Drift des lst-Objektbildes relativ zum Soll-Objektbild; die Helligkeit des Punktes wiederum entspricht dem Wert des Maximums des Korrelationsintegrals, dem Korrelationsmaximum.

Nimmt man die Steuerung der Ablenkspulen 133,133' der Fernsehröhre 131 in der Weise vor, daß das Korrelationsmaximum bei nicht gedriftetem Ist-Objektbild in der Mitte 190 des Fernsehschirmes 136 liegt, so ist die Abweichung des in der vorbeschriebenen Weise festgestellten Korrelationsmaximums 191 von der Mitte des Fernsehschirmes der Drift des lst-Objektbildes direkt proportional.

Die Bestimmung der Lage des Korrelationsmaximums kann durch einen ortsempfindlichen Flächendeteklor, z. B. durch ein andeutungsweise dargestelltes Detektorflächenmuster lichtelektrischer Elemente (Fotodioden) 25, vorgenommen werden. Die Fotodioden befinden sich in einer Ebene D unmittelbar vor dem Fernsehschirm 136.

Die Fotodioden 25 sind mit Servo-Einrichtungen 26 verbunden, mit denen sich die Drift des Mikroskopbildes korrigieren läßt. Diese Korrektur kann über mit den Servo-Einrichtungen 26 verbundene Verstelleinrichtungcn 27 durch Änderung der Lage des Objektes 6 relativ zur Achse 28 des Mikroskops 2 und/oder relativ zur gcgcnstandsseitigen Fokussierungsebene der Objekliv-Iirisc 7 und/oder durch Änderung der Lage des Objcktbildcs relativ zur Geräteachse 28 vorgenommen werden.

In der Figur ist gezeigt, wie eine Verstelleinrichtung zur Durchführung der zuletzt genannten Änderung beschaffen sein kann. Die Änderung erfolgt durch nicht dargestellte Spannungsqucllen, die von den Scrvo-Einrichtungcn 26 gesteuert sind und die zwei im rechten Winkel zueinander angeordnete Ablenkspulenpaarc 29, 30 entsprechend der erforderlichen Lageänderung des Mikroskopbildcs erregen. Damit ist durch Ablenkung des abbildenden Strahlenbündels eine Fcinvcrschicbung des Bildes zur Korrektur kleiner Driften möglich.

yi In F i g. 1 ist ferner eine Einrichtung 31 zur Änderung der Lage des Objektes 6 relativ zur Mikroskopachsc 2f andeutungsweise dargestellt. Die Einrichtung 31 besteh aus vier Stößeln 32 bis 35, die eine Verschiebung de; Objektes 6 in den beiden zur Gcriitcnchse 2t

ss senkrechten Richtungen ermöglichen. Du es sich be einer derartigen Verschiebung um eine mechanisch» und daher relativ ungenaue Änderung handelt, wird mat in der Regel eine Verschiebung des Objektes 6 nur in !•'alle großer Driften des Mikroskopbildcs vornehmen

Mi kleinere Driften hingegen lassen sich, wie bereit erwähnt, über die Spulcnpuare 29,30 korrigieren.

Eine Lageänderung des Objektes 6 relativ zu gegcnstandüsciligcn Fokussierungsebene des Elcktro nenmikroskops 2 kann entweder durch Änderung de

('s Erregung der Objektivlinse 7 oder durch mechanische Heben oder Senken des Objektes in Richtung de Gcriitcachsc 28 — eine dazu dienende Liftcinrichtun; ist in der Figur nicht dargestellt - ausgeführt werden.

Das in F i g. 1 gezeigte Ausführungsbeispiel kann in verschiedener Weise abgewandelt werden. So ist es beispielsweise möglich, anstelle der Lichtoptik (Teile 44, 45, 46) eine Bildverstärkerröhre zur Erzeugung des Eingangsbildes der Korrelationsröhre K vorzusehen. Dazu kann beispielsweise das Teilbild 15 auf einem Durchsichtleuchtschirm anstelle des Aufsichtsleuchtschirmes 43 erzeugt sein, an den eine Faseroptik 14 angeschlossen ist. Diese überträgt das Teilbild 15 auf die Fotokathode der Bildverstärkerröhre. Diese erzeugt dann das Teilbild 15 auf ihrem Bildschirm, der in der Ebene Pangeordnet ist.

Weiter ist es möglich, anstelle der Lichtoptik eine Bildspeicherröhre vorzusehen, die ein stationäres Bild auf ihrem Leuchtschirm erzeugt. Mit dieser Röhre ist es möglich, das Ist-Objektbild in vorgegebenen zeitlichen Abständen festzuhalten und das Maximum des Korrelationsintegrals aus Soll-Objektbild und dem jeweiligen Ist-Objektbild zu bestimmen. Aus dem Vergleich der Lage der Korrelationsmaxima läßt sich auf die momentane Drift des Mikroskopbildes schließen.

Ein zur Bildung des Korrelationsintegrals geeignetes stationäres Ist-Objektbild läßt sich auch noch auf andere Weise, nämlich aus einem auf einer Fernsehröhre wiedergegebenen Bild erzeugen. Eine hierzu geeignete Anordnung ist in F i g. 2 gezeigt.

Bei der in F i g. 2 gezeigten Anordnung ist das Teilbild 15, wie bereits erwähnt, auf einem Durchsichtleuchtschirm erzeugt, der anstelle des Aufsichtleuchtschirmes 43 vorgesehen ist, und über eine Faseroptik 14 in eine Fernseh-Kamera 16 gegeben (vgl. Fi g. 1). Die Fernseh-Kamcra 16 gibt das Bild 15 auf eine von ihr gesteuerte Fernsehröhre 17 (vgl. Wirklinie W); das auf dem Schirm 21 der Fernsehröhre 17 vorliegende Bild ist durch eine Linse 138 optisch auf die Fotokathode 120 einer Korrelationsröhre K' projiziert. Die Korrelalionsröhre K' ist nun gegenüber der Korrelationsröhre K leicht abgewandelt. Dabei sind Teile gleicher Funktion in beiden Korrclationsröhren mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die Korrelationsröhre K' besitzt zwischen dem Beschlcunigungsgitter 121 und dem Speichernetz 123 ein weiteres Speichernetz 123' und ein vor diesem liegendes weiteres Kollektorgitter 122'. Die Wirkungsweise des Speichernetzes 123' und des Kollektorgittcrs 122' entspricht der des Spcichcrnel/.cs 123 und dea Kollektorgittcrs 122.

Auch hier wird, wie im Falle der Korrelationsröhre K, zunächst das auf dem Fernschschirm 21 wiedergegebc nc Soll-Objektbild (Pfeil 22) dem Speichernetz aufgeprägt. Anschließend daran wird das Ist-Objcktb'ilü (Pfeil 23) über die Fernsehröhre 17 auf die Fotokathode 120 gegeben und auf dem Speichernetz 123' gespeichert. Das Korrelationsintcgral aus dem als elcklroncnoplisches, stationäres Bild vorliegenden Ist-Objeklbild und dem ebenfalls in dieser Form gegebenen Soll-Objektbikl kann nun dadurch erzeugt werden, daß die Fotokathode 120 durch eine nicht dargestellte Lichtquelle fliichcnhaft gleichmäßig beleuchtet und in der KorreUitionsrohrc K" die Betriebsart Lesen (entsprechend der Korrclatiomröhre K) eingestellt wird. Am Ausgang 129 der Korrelalionsröhre K'ergibt sich wieder ein Signal, das dem Korrelationsintegral der beiden Bilder entspricht. Lenkt man nun die durch das Speichergitter 123' durchtretenden Elektronen durch die Ablcnkspulenpaarc 126, 126' entsprechend zur Bildkorrelationsröhrc K aus und verarbeitet das Ausgangssignal der Bildkorrclationsröhrc K' entsprechend dem Ausführungsbeispiel von Fig, I, so kann wieder das KorreliMionsmaximurn

bestimmt werden. .

Das Korrelationsmaximum kann aber auch mit Hilfe einer elektronischen Schaltung gefunden werden. Eine derartige Schaltung ist in F i g. 3 gezeigt. _s Die Schaltung besteht aus Analogspeichern 150,151, 152, einem Operationsverstärker 153 und einem Schwellwertschalter 154, die in der dargestellten Weise geschaltet sind. Das Ausgangssignal der Korrelationsröhre K bzw. K'ist zum einen auf dem Eingang 153' des Operationsverstärkers 153, zum anderen auf den Eingang 150' des Analogspeichers 150 gegeben. Der Ausgang des Analogspeichers 150 ist mit dem zweiten Eingang 153" des Operationsverstärkers 153, die Eingänge 151' und 152' der Analogspeicher 151 und 152 _IS mit den Sägezahngeneratoren 134 und 134' des Rastergenerators G verbunden.

Der Operationsverstärker 153 vergleicht die in Form einer Spannung vorliegende Ausgangsspannung der Korrelationsröhre mit dem im Analogspeicher 150 enthaltenen Spannungswert. 1st die Ausgangsspannung der Korrelationsröhre größer als der gespeicherte Spannungswert, so gibt der Operationsverstärker 153 ein Signal an den Schwellschalter 154 weiter. Dieser schaltet durch und liefert über eine Leitung 155 _2S Speicherbefehle an die Analogspeicher 150,151 und 152. ' Im Speicher 150 wird der aktuelle Wert der Ausgangsspannung der Korrelationsröhre gespeichert; die Speicher 151 und 152 nehmen den Momentanwert der zugeordneten Sägezahngeneratoren 134 bzw. 134' ,o auf. Die im Speicher 150 enthaltene Spannung stellt das Referenzsignal für das nächste ankommende Ausgangssignal der Korrelationsröhre dar.

Am Ende eines Bildzyklus, d.h. nach Ablauf der Eigenzeit des Zeilenvorschubgenerators 134', ist somit die Position A₀, .Vo des Autokorrelationsmaximums in analoger Form in den Speichern 151 und 152 enthalten. Jede Abweichung der Position xo, .VO von der im driflfreien Fall vorliegenden kann über die Verstelleinrichtung 27 entsprechend F i g. 1 korrigiert werden. Durch einen über eine Leitung 156 in den Analogspeicher 150 eingegebenen Löschimpuls kann die Schaltung von F i g. 3 wieder auf ihre Ausgangsposition zurückgestellt werden. Der Löschimpuls annulliert den Inhalt des Speichers 150. Im Anschluß daran kann 4j das Korrelationsmaximum für ein anderes Soll-Objcktbild ausgewertet werden.

Fig.4 zeigt eine Anordnung, bei der das Korrelationsintcgral aus Soll- und Ist-Objektbild auf lichtoptischem Wege bestimmt ist. Sie besteht aus einer ,o Bildverstärkerröhre 140, deren Ausgangsbild über eine andeutungsweise dargestellte Lichloptik (Linse 138') auf eine Ebene Q projiziert ist. In dieser Ebene ist ein Flachendetcktor 142 vorgesehen, der die gesamte in der Ebene Q ankommende Strahlungsnienge bestimmt. Die _5S Bildverstärkerröhre 140 besteht aus einer Fotokathode 143 mit nachgeschaltetem lleschlcunigungsgitier 144, einer Fokussierspule 145 sowie sattelförmig auf den I IaIs der Röhre aufgebrachten Ablenkspulcnpaaren 146, 146'; diese wirken senkrecht zueinander und sind durch isn einen Rastergenerator C gesteuert. Der Generator entspricht dem Rastergenerator von Fig. I. ^11|C Ablenkspulenpaarc 146, 146' ermöglichen eine Verschiebung des der Fotokathode 143 aufgeprllgten und durch diese in ein elektronenoplisches Bild umgewan- t,-y delten Bildes.

Der Fotokathode 143 win) /nnllrhsi das Soll Objoklbild (Pfeil 147) aufgepriigt; die Bildverstärkerröhre erzeigt dieses Bild dann auf ihrem Leuchtschirm

(Pfeil 147'). Durch die Lichtoptik (138') wird das Soll-Objektbild (147') in die Ebene Q übertragen und auf einer in dieser Ebene vorgesehenen Fotoplatte 149 als Positivbild gespeichert (Pfeil 147"). Anschließend daran wird der Fotokathode 143 das Ist-Objektbild (Pfeil 148) als statisches Bild aufgeprägt und analog zum Soll-Objektbild in die Ebene Q übertragen. Das Ist-Objektbild (Pfeil 148") beleuchtet das auf der Fotoplatte 149 gespeicherte Soll-Objektbild 147"; am Ausgang des Detektors 142 entsteht ein Signal, das dem Korrelationsintegral der beiden Bilder proportional ist.

Erregt man nun die Ablenkspulenpaare 146, 146' durch die Sägezahngeneratoren 134, 134' des Rastergenerators G, so wird das lsl-Objektbild 148' auf dem Leuchtschirm 141 der Bildwandlerröhre 140 um definierte Beträge verschoben. Das Korrelationsintegral ergibt sich somit wieder als Funktion der willkürlichen Verschiebung des Ist-Objektbildes relativ zum Soll-Objektbild. Das Ausgangssignal des Detektors 142 kann analog zu den Anordnungen der vorhergehenden Fig. 1, 2 und 3 dazu benutzt werden, das Korrelationsmaximum und damit die vorgegebene Verschiebung (= Drift) des Ist-Objektbildes relativ zum Soll-Objektbild zu bestimmen.

F i g. 5 zeigt eine Anordnung, die die Berechnung des Korrelationsintegrals durch eine Summation ermöglicht. Sie ist schematisch gezeigt. Sie weist zwei Bildvcrstärkerröbren 160,161 auf, wobei auf der Röhre 160 das Ist-Objektbild 148 und auf der Röhre 161 das Soll-Objcktbild 147 erzeugt ist. Durch zwei Linsen 162, 163 sind Ist- und Soll-Objektbild auf einem flächenhaften Detektor 164 zur Deckung gebracht, der die gesamte auftreffende Lichlmcnge bestimmt. Unter bestimmten Voraussetzungen ist das Ausgangssignal des Detektors dem Korrelalionsintcgral proportional. Zur Erläuterung dieser Voraussetzungen sei F i g. 6 betrachtet.

Fig.6 zeigt das Soll-Objektbild 147 und das Ist-Objektbiid 148. Beide Bilder besitzen nur jeweils zwei Helligkcilswcrte 0 (schwarz) und 1 (weiß). Die schwarzen Flächen 165 der beiden Bilder sind schraffiert; die weißen Flächen der beiden Bilder sind mit 166 bezeichnet. Das lst-Objcktbild 148 ist gegenüber dem Soll-Objcktbild 147 um eine Strecke 5/ mit den Koordinaten xn,yo verschoben.

Bringt man nun 1st- und Soll-Objektbild entsprechend F i g. 5 zur Deckung, so entsteht ein Bild 167, das im unteren Teil von Fig.6 wiedergegeben ist. Die schwarzen Flächen 195 dieses Bildes sind wieder einfach schraffiert, während die Flächen 196 mit der maximalen Helligkeit (I) eines Bildes wieder nicht schraffiert sind. Die Flächen 197 mit der Summe (2) eier maximalen Helligkeit (I) der Bilder 147, 148 sind durch eine Kreuzschrnffur hervorgehoben.

Berechnet man das Fallungsintcgral der Bilder 147 und 148, so erkennt man, el κ Ii lediglich die Flüchen der Bilder einen Beitrag zum Integral liefern, die den doppell schraffierten Flllchen 197 des Bildes 167 gleich sind. Nur in diesen Flüchen sind beide Faktoren des Integrnnden von Null verschieden, während sonst mindestens ein Faktor des Integranden Null ist. Der Wert des Korrclniionsintcgrnls ist gleich dem Produkt aus der Größe der doppelt schraffierten Flächen und dem Produkt der Helligkeiten in diesen !lachen. Dieses Ilelligkcitsprodukt ist gleich I ■ I--I.

iicinici'itci üiiifi nun die Heiligkeit des Bildes \k?, ;.·,·. erkennt man, daß die Helligkeit der krcuzschrnfficrten Mlkchcn 197 deutlich von der der übrigen Flüchen abweicht. Diese Helligkeit ist der Helligkeitssumme 1 + 1=2 proportional, während sie in den übrigen Flächen gleich dem Wert 0 (einfach schraffierte Flächen 195) bzw. 1 (nicht schraffierte Flächen 1%) ist. Daraus ergibt sich, daß das Korrelationsintegral der beiden Schwarzweißbilder 147 und 148 auch mit Hilfe des Summenbildes 167 bestimmt werden kann. Das Summenbild 167, das auf dem Detektor 164 von F i g. 5 vorliegt, besitzt in den doppelt schraffierten Flächen 197

ίο eine von der Umgebung abweichende Helligkeit. Spricht der Detektor nun nur auf Helligkeiten an, die der Helligkeit der doppelt schraffierten Flächen gleich sind, so ist damit das Ausgangssignal des Detektors dem Korrelationsintegral aus Ist- und Soll-Objektbild proportional.

Der Detektor muß eine in Fig. 7a gezeigte Charakteristik besitzen. Seine Empfindlichkeit Se besitzt für Helligkeitswcrte von 0 und I den Wert 0, während sie beim Helligkeitswert 2 eine Empfindlichkeit Sc ungleich 0, z.B. 1, aufweist. Der übergang zwischen der Empfindlichkeit 0 und 1 kann stufenförmig (Charakteristik 170a,) bzw. kontinuierlich von 0 auf 1 ansteigend (Charakteristik 170ώ^sein.

Als geeigneter Detektor kommt beispielsweise eine Bildaufnahmeröhre in Frage, die in Fig. 7c gezeigt ist. Die Bildaufnahmeröhre 172 besitzt eine Fotokathode 171, auf die das Summenbild 167 gegeben ist, ein Beschleunigungsgitter 174, sowie einen integrierenden Detektor 173 für die auftreffenden Elektronen. Das Beschleunigungsgitter 174 ist gegenüber der Fotokathode 171 mit einer geeigneten Vorspannung versehen. Diese ist so gewählt, daß nur von den Stellen der Fotokathode Elektronen abgesaugt werden, die mit der doppelten maximalen Helligkeit der Einzelbilder 147

is und 148 beaufschlagt sind.

Eine weitere Möglichkeit, das Korrclationsintcgral von 1st- und Soll-Objektbild aus der Überlagerung beider Bilder zu bestimmen, ist im folgenden beschrieben. Zur Verdeutlichung des Prinzips sei wieder auf Fi g. 6 verwiesen.

Das Korrelationsintegral ist proportional der Größe der doppelt schraffierten Flächen 197 des Summenbildes 167. In diesen Flächen liegt die Helligkeit 2 vor. Kehrt man nun !st- und Soll-Objektbild 147, 148 im

4S Kontrast um, d. h., die schraffierten Flächen 165 besitzen nun die Helligkeit I und die nichtschrafficrten Flächen 166 die I Iclligkeit 0, so weist das Summenbild 167 in den kreuzschraffierten Flächen 197 die Helligkeit 0 auf. In den übrigen Flüchen besitzt sie dagegen den Wert 1

so (nichtschrafficrie Flächen 196) bzw. den Wert 2 (einfach schraffierte Flächen 195). Sieht man nun einen integrierenden Detektor mit einer in l'i g. 7b gezeigten Charakteristik vor, so kann damit das Korrclaiionsintcgrnl bestimmt werden,

s^ Die Charakteristik von I·' i g. 7b stellt eine Sitttigungscharakteristik dar; für den llelligkeilswert 0 liegt die Empfindlichkeit 0 und für die llclligkeitswerie I und 2 eine von 0 verschiedene Empfindlichkeit,/.. B. I, vor.

Die in Fig. 7b gezeigte Charakteristik kann wieder

N) durch die Bildaufnahmeröhre 172 mich F i g. 7c realisiert werden. Dazu muß lediglich das Potential des lleschlcunigungsgillers 174 so gewählt sein, daß von den Stellen der Fotokathode Elektronen abgesaugt werden, im denen eine von 0 verschiedene Helligkeit vorliegt.

(><, Von den Stellen der Fotokathode mit Helligkeit 0 !liiigi^cu Millc-ii keine Elektronen abgcsiiugi werden. Das Potential des Bcschlcimigiingsgitters 174 ist ferner so gewählt, daß von den Stellen der Fotokathode mit

Soll- und Ist-Objektbild, die im

SSes ergib sih dann, wenn in sämtlichen Punkten der Fotokathode 171 ein Helligkeitswert ungleich 0 vorliegt. Das andere Signal ist das Signal, das s.ch be, der Beichtung der Fotokathode 171 mit dem Surnmenb.ld ,o SÄUtr«, umgedrehten Soll- und !st-Ob.ektb.der

te Alternative zu der in F i g. 7c gezeigten Bildaufnahmeröhre 172 mit der Charakter.st.k von F α 7b ist in Fig 8 gezeigt. In dieser Figur ist e.ne B d^ga η hmeröh'e 180⁸ dargestellt, die in ihrem Aufbau der Bildaufnahmeröhre 172 von F ig. 7c entspricht, d,e

aber über den gesamten Helligkeitsbereich des auf ihre Fotokathode 171' auftreffenden Lichtes e.ne lineare Charakteristik besitzt. Zur Bestimmung des Korrelate

SSS aus den im Kontrast umgekehrten Ist- und So! Ob ekiSldern ist der Röhre 180 ein Detektor 18 mit einer Sättigungscharakteristik optisch vorgeschal- et Der Detektor 181 besteht aus einer Fluoreszenzfohe . _{fiher m} eliminiert nun das soeben ^_de Licht. Auf die Fotokathode 17nnfft auf. Am Ausgang der weder

™i_Pn aui Qie Fotokathode 171' auftreffenJen

ist wieae. ei _{wieder )m kontrast}

^ISl" kehrt s n? entsprechend der Anordnung von

η _aaDei an einer Stelle, die außerhalb der Hchtbündel 186, 187 des Ist- und SoIlOb-

Fluorcs/.cn/.bereiches der Folie 182 gelegene L.chl das Erregerlicht (aber nicht

röhre 180.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (15)

Patentansprüche:

1. Korpuskularstrahlmikroskop, insbesondere Elektronenmikroskop, mit Verstelleinrichtungen zur Änderung der Lage des abzubildenden Objekts relativ zur Gerätcaehse und/oder relativ i.ur gegenstandsseitigen Fokussierungsebene des Objektivs und/oder zur Änderung der Lage des Objektbildes relativ zur Geräteachse und einer Einrichtung zur Regelung des Zustandes des Objektbildes, deren auf die Verstelleinrichtung(en) einwirkende Stellgröße(n) aus einer Fallung des Ist-Objektbildes mit einem gespeicherten Soll-Objektbild abgeleitet ist (sind), nach Patent 24 41 288, dadurch gekennzeichnet, daß das Ist-Objektbild unmittelbar auf dem Soll-Objektbild abgebildet ist.

2. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ist-Objektbild (148') strahlungsemittierend ist, daß das Soll-Objektbild (147") auf einem strahlungsdurchlässigen Substrat (123,149) aufgebracht ist und daß ein Detektor (124, 142) zur Bestimmung der gesamten, das Soll-Objektbild durchsetzenden Strahlung vorgesehen ist(Fig. 1,2 ti.4).

3. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (124, 142) ein flächenhafter Detektor ist, dessen Fläche mindestens gleich der der Bilder ist.

4. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine elektronenoptische Bildkorrelationsröhre (K) vorgesehen ist, die ein das Soll-Objektbi.'d aufnehmendes Speichernetz (123) und eine Fotokathode (120) aufweist, der das lst-Objeklbild aufgeprägt ist (Fig. Iu.2).

5. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronenoptische Bildkorrelationsröhre (K) mit Ablenkmitteln (126, 126') zur Verschiebung des Ist-Objektbildes um definierte Beträge versehen ist.

6. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Ist-Objektbild (148') lichtemittierend und das Substrat eine lichtdurchlässige Folie (149) ist (F i g. 4).

7. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Ist-Objektbild (148') auf dem Leuchtschirm (141) einer Bildverstärkerröhre (140) erzeugt ist.

8. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildverstärkerröhre (140) mit Mitteln (146,146') versehen ist, die eine Verschiebung des Ist-Objektbildes (148') um definierte Beträge ermöglicht.

9. Verfahren zur Bestimmung der Faltung aus !stund Soll-Objektbild bei einem Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die HeHigkeitswerte des Ist- und der Soll-Objektivbilder (147, 148) auf zwei Werte (0, 1) reduziert und daß die so modifizierten Bilder auf einem flächenhaften Detektor (164) zur Deckung gebracht werden (F i g. 5).

10. Detektor zur Verwendung bei dem Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß er die lichtempfindliche Fläche (171) einer Bildaufnahmeröhre (172) ist, die nur auf einen Helligkeitswert anspricht, der größer als der maximale Helligkeits-

wert (1) eines Bildes ist (F i g. 7c).

11. Verfahren zur Bestimmung der Faltung aus !stund Soll-Objektbild bei einem Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die HeHigkeitswerte des 1st- und des Soll-Objektbildes auf zwei Werte (0, I) reduziert, daß die Bilder im Kontrast umgekehrt und daß die so modifizierten Bilder auf einem flächenhaften Detektor zur Deckung gebracht werden.

12. Detektor zur Verwendung bei dem Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß er die lichtempfindliche Fläche einer Bildaufnahmeröhre (172) ist, die eine Sättigungscharakteristik aufweist, wobei Sättigung ab einem Helligkeiiswert eintritt, der gleich dem maximalen Helligkeitswert (1) eines Bildes ist.

13. Detektor zur Verwendung bei dem Verfahren nach Anspruch II, dadurch gekennzeichnet, daß er eine Fluoreszenzfolie (182) ist, die eine Sättigungscharakteristik aufweist, wobei Sättigung ab einem Helligkeitswert eintritt, der gleich dem maximalen Helligkeitswert (1) eines Bildes ist (F i g. 8 u. 9).

14. Korpuskularstrahlmikroskop zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 11 mit einem Detektor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (182) optisch an die Lichteintrittsfläche einer Bildaufnahmeröhre (180) angekoppelt ist, die kein von den beiden Bildern unmittelbar ausgehendes Licht empfängt.

15. Korpuskularstrahlmikroskop zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 11 mit einem Detektor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß dem Detektor im Strahlengang ein erstes Filter (183), das innerhalb des Fluoreszenzbereiches der Folie gelegenes Licht absorbiert, vorangeht und ein zweites Filter (184), das nur innerhalb des Fluoreszenzbereiches der Folie gelegenes Licht durchläßt, nachfolgt (F i g. 8).