DE2529561A1 - Oberflaechenschallwelleneinrichtung - Google Patents

Description

Patentanwälte 8 München 22, steinsdorfstr.10

Dipl.-lng. R. B E ETZ sen. 2Qj5-: 4.42OP(24.421H; Te₁. (089)227201/227244/295910

Dipl.-Ing. K. LAMPRECHT Telegr. Allpatent München Dr.-Ing. R. B E E T Z jr. Telex 52204s

P. Juli 197b

The Secretary of State for Defence Ln Her Britannic Majesty's Government of the United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland

Whitehall, London S.W.I (Großbritannien

Oberfläohenschallwelleneinrichtung

Die Erfindung betrifft eine Oberflächenschallwelleneinrichtung, kurz SAW-Einrichtung genannt.

Eine derartige Einrichtung kann ein piezoelektrisches Substrat mit einem Eingangs- und einem Ausgangs-Interdigital-Wandler auf einer ebenen Fläche des Substrats haben. Die Einspeisung eines elektrischen Signals in den Eingangswandler bewirkt die Abgabe von Oberflächenschallwellen in das Substrat, aus dem sie als ein elektrisches Signal durch den Ausgangswandler empfangen werden. Die Wandler dienen also zum Umsetzen zwischen elektrischer und Schallenergie. Außerdem sind sie oft erforderlich, um die Schallenergie zu verarbeiten, wenn die Schallwelleneinrichtungen als Filter usw. benutzt werden, z.B. zum Amplituden- und Frequenz-Bewerten. Die Wandler sind so aufgebaut, daß sie dieses Gewichten durch Variation in der Fingerlänge und im Fingerabstand im Wandler vornehmen. Allerdings

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führt dieses Gewichten zu Kompromissen in bezug auf die Wandler-Punktion. Daher ist für manche Einrichtungen eine Trennung von Bewertungs- und Wandlungs-Funktion wünschenswert. Eine Möglichkeit dafür ist die Verwendung einer Reflexionsanordnung (RAST) zwischen dem Eingangs- und dem Ausgangswandler. Die Reflexionsanordnung kann dann die Bewertungsfunktion darstellen, während die Wandler eine Wandlungsfunktion erzeugen.

Eine Reflexionsanordnung kann hergestellt werden durch Auftragen zahlreicher leitender reflektierender Streifen in einer Oberflächenschallwellen-Spur, um Oberflächenschallwellen von der einen Spur in eine Spur zu reflektieren. Ein derartiges Vorgehen ergibt jedoch keine Bewertungsfunktion, da eine Variation der Streifenlänge und damit des Reflexionsgrads unerwünschte Brechungseffekte bewirkt. Ein Amplitudenbewerten durch Variation der Dicke, d.h. der Masse, der Streifen ist ungeeignet wegen ihrer Kompliziertheit und Nichtreproduzierbarkelt.

Wahlweise kann eine Reflexionsanordnung durch Bilden einer Folge von reflektierenden Rillen im Substrat mittels Ätzen oder Ionenstrahlbearbeitung erzeugt werden.

Eine Oberflächenschallwelleneinrlchtung kann so aufgebaut werden, daß sie einen Impuls dehnt oder expandiert, d.h. der Ausgangsimpuls viele Male länger als der Eingangsimpuls ist. Ähnlich kann ein Impuls gepreßt bzw. komprimiert werden, d.h. sein Ausgangsimpuls ist viele Male kürzer als der Eingangsimpuls. Ein herkömmliches Merkmal eines derartigen Impulsdehners oder

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-pressers ist, daß die Verzögerungszeit zum Durchlaufen zwischen dem Eingangs- und dem Ausgangs-Wandler von der Frequenz des Signals abhängt. Derartige Impulsdehner oder -presser werden üblicherweise beim "Impulspreß"-Radar benutzt. Eine Form des Impuls-Dehners oder -Pressers ist der Reflexionsanordnung (RAST)-Dehner oder -Presser.

Bei einer bestehenden Einrichtung sind zwei Folgen von Rillen in die Oberseite des Substrats eingeschnitten und so geneigt, daß der erste Satz bzw. die erste Folge die durch den Eingangs-Wandler abgegebenen Schalloberflächenwelle-n um 90 ° und der zweite Satz bzw. die zweite Folge die Oberflächenschallwellen um weitere 90 ° in den Ausgangswandler reflektiert. Die Frequenz der reflektierten Welle ist durch den Abstand zwischen den Rillen bestimmt. Damit erhält durch Variieren des Abstands zwischen den Rillen die Weglänge (und damit die Verzögerungszeit) die gewünschte Frequenzabhängigkeit. Das Amplituden-Bewerten des Frequenzgangs - was zum Kompensieren von Beugung, Schaltungseinflüssen von außen, zum Unterdrücken von Seitenkeulen oder -zipfeln usw. notwendig ist - wird durch Herstellen von Rillen unterschiedlicher Tiefe bewirkt. Eine Möglichkeit des Einschneidens dieser Rillen unterschiedlicher Tiefe besteht in der Verwendung eines Ionenstrahls.

Ein derartiges Verfahren zur Herstellung einer Reflexionsanordnung ist sowohl zeitraubend als auch schwer reproduzierbar, da das Bewerten jeweils einzeln jeder Einrichtung vermittelt werden muß.

Eine Cberflächenschallwelleneinrichtung mit einem Substrat zur Fortpflanzung von Oberflächenschallwellen, mit einem Eingangs-Wandler zur Abgabe von Oberflächenschallwellen in eine Spur ^cT dem Substrat, mit einem Ausgangswandler

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zum Empfang von Oberflächenschallwellen von einer Spur auf dem Substrat, wobei das Substrat piezoelektrische Bereiche mindestens bei den Wandlern hat, und mit einer ersten Reflexionsanordnung ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß die erste Reflexionsanordnung zwei Sätze von verschieden langen Reflexionsstreifen oder -rillen auf der Oberflachenschallwellenspur hat, von denen der eine Satz so geneigt ist, daß einige der Oberflächenschallwellen in der Spur in eine erste Richtung reflektiert werden, während der zweite Satz so geneigt ist, daß.einige der Oberflächenschallwellen auf der Spur in eine andere Richtung reflektiert werden.

Die Einrichtung kann ferner eine zweite Reflexionsanordnung aufweisen, die Reflexionsstreifen oder -rillen zum Reflektieren von Oberflächenschallwellen, die von der ersten Reflexionsanordnung empfangen sind, zu einem der Wandler aufweist.

Die in die zweite Richtung reflektierten Oberflächenschallwellen können durch einen Schallschlucker geschluckt werden oder zu einem weiteren Ausgangswandler geleitet werden.

Das Substrat kann ein piezoelektrisches Material sein. Die Reflexionsstreifen oder -rillen (d.h. die Reflexionselemente) können gleich oder verschieden voneinander beabstandet sein.

Vorteilhafterweise wird ein Signalimpuls durch eine Oberfläehenschallyrellen-Einrichtung gedehnt oder gepreßt, indem Qberfläehenschallwellen, die in ein piezoelektrisches Substrat durch einen Eingangs-Wandler abgegeben werden, durch eine erste und eine zweite Reflexionsanordnung

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reflektiert werden, die beide mehrere Reflexionsstreifen oder -rillen aufweisen, und durch einen Ausgangswandler empfangen werden, wobei mindestens die erste Reflexionsanordnung zwei Sätze von Reflexionsstreifen oder -rillen hat, von denen der eine Satz so geneigt ist, daß die Oberfläohenschallwellen zur zweiten Anordnung reflektiert werden, und der zweite Satz so geneigt ist, daß die Oberflächensehallwellen von der zweiten Anordnung weg reflektiert werden, wobei die Länge der Streifen oder Rillen sich entlang der ersten Anordnung ändert, um das Ausgangssignal der Einrichtung in der Amplitude zu bewerten.

Die erste oder die zweite Anordnung können auf dem Substrat so angeordnet sein, daß sie die Oberflächenschallwellen direkt vom Eingangswandler empfangen. Bei einem Ausführungsbeispiel mit nur einer Reflexionsanordnung empfängt diese die Oberflächensehallwellen direkt von einem Eingangswandler und reflektiert diese direkt zu einem Ausgangswandler.

Das Substrat kann Lithiumniobat oder Quarz sein, während die Wandler und Anordnungen durch auf das Substrat mittels herkömmlicher photolithographischer Techniken aufgedampftem Aluminium gebildet sein können. V/ahlweise kann die Anordnung durch Rillen in der Oberfläche gebildet sein, die aber dann alle dieselbe Tiefe aufweisen.

Die Länge der Reflexionsstreifen in der ersten Reflexionsanordnung kann wie gewünscht variiert werden, um das erforderliche Bewerten des Ausgangssignals zu gewährleisten. Kleinere Unterbrechungen in den Streifen beeinträchtigen nicht wesentlich den Betrieb der Einrichtung. Fehler im Amplitudengang der Einrichtung können durch geeignete Einstellung-der Länge der Streifen in

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Anordnungen korrigiert werden.

Die beiden Anordnungen können aus einer einzigen großen Maske ("Kunstwerk") hergestellt werden, wobei das Bewerten beim Entwurf festgelegt wird, um die gewünschte endgültige Chrom-Maske zu erzeugen.

Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine einfache Oberflächenschallwelleneinrichtung mit amplitudenbewertetem Ausgangssignal;

Fig. 2 einen Impulspresser;

Fig. 3a einen typischen Frequenzgang für die Einrichtung von Fig. 2;

Fig. 3b einen typischen Frequenzgang für eine Einrichtung ähnlich der von Fig. 2, jedoch ohne Amplituden-Bewertung;

Fig. 4 eine Einrichtung mit Amplitudenbewertung, die gemeinsam von zwei Reflexionsanordnungen vorgenommen wird;

Fig. 5 eine Einrichtung mit Reflexionsanordnungen,

die zwei verschiedene Frequenzen auf zwei gesondere Spuren reflektieren; und

Fig. 6 ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel der Einrichtung von Fig. 2.

Fig. 1 zeigt eine Oberflächenschallwelleneinrichtung mit einem piezoelektrischen Substrat 1 wie Lithiumniobat, das auf einer ebenen Fläche einen Eingangs-Wandler 2 trägt, der Oberflächenschallwellen an eine erste Reflexionsanordnung 3 abgibt, wo die Oberflächenschallwellen _Zu einer zwei-

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ten Reflexionsanordnung 4 reflektiert werden, die ihrerseits die Oberflächenschallwellen zu einem Ausgangs-Wandler 5 reflektiert.

Der Eingangs-Wandler 2 und der Ausgangs-Wandler 5 sind herkömmliche kammartige Interdigital-Wandler (vgl. die Zeichnung). Die erste Reflexionsanordnung 3 hat zwei Sätze von gleich beabstandeten leitenden Metallstreifen, nämlich einen ersten Satz 6 und einen zweiten Satz 7; der erste Satz 6 ist untereinander parallel beabstandet und so geneigt, daß Oberflächenschallwellen zur zweiten Reflexionsanordnung 4 reflektiert werden, während der zweite Satz 7 so geneigt ist, daß Oberflächenschallwellen zu einem Schallschlucker 8 reflektiert werden. Die Länge der Streifen 6, 7 bestimmt den Grad der Reflexion, so daß durch Variieren der Streifenlänge entlang der Reflexionsanordnung 3 das Ausgangssignal der Einrichtung amplitudenbewertet wird. Bei Abwesenheit des zweiten Satzes 7 der Reflexionsstreifen bewirkt jedoch das Variieren der Streifenlänge im ersten Satz 6 in der abgebildeten Weise einen Linsen-Effekt, indem die Wellenfront der Oberflächenschallwellen verzerrt wird, was zu einer unannehmbaren Signalverzerrung führt. Diesem Problem wirken die Streifen im zweiten Satz 7 entgegen, der so gegenüber dem Satz 6 angeordnet werden kann, daß die Oberflächenschallwellen-Geschwindigkeit in beiden Sätzen dieselbe ist. Die zweite Reflexionsanordnung 4 hat ebenfalls Reflexionsstreifen 9, die identisch zu denen im ersten Satz in der ersten Reflexionsanordnung 3 beabstandet sind, jedoch die gleiche Länge aufweisen. Typisch hat eine Reflexionsanordnung etwa 100 10000 Reflexionsstreifen, je nach Bedarf, von denen nur einige wenige der Einfachheit halber in Fig. 1 abgebildet sind.

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Wahlweise können die Reflexionsstreifen aus Metall in den Reflexionsanordnungen 3 und 4 durch Reflexionsrillen ersetzt werden, die in die Oberfläche des Substrats eingeschnitten werden.

Um eine Änderung der Oberflächenschallwellengeschwindigkeit in der ersten Reflexionsanordnung zu verhindern, müssen die folgenden Bedingungen erfüllt werden.

Zur Verhinderung des Linsen-Effekts (Brechung) in der ersten Reflexionsanordnung sollten die Geschwindigkeiten der Oberflächenschallwellen, die sich sowohl parallel als auch senkrecht (reflektiert) zu den vom Wandler abgegebenen Wellen ausbreiten, gleich sein, und zwar unabhängig davon, ob im ersten Satz 6 oder im zweiten Satz der Reflexionsstreifen. Zu diesem Zweck sind die Streifen im ersten und im zweiten Satz unter gleichen Winkeln zur Oberflächenschallwellen-Ausbreitungsrichtung vom Eingangs-Wandler angeordnet (der mit einer Symmetrieachse des Substrats 1 zusammenfällt).

Bei der Reflexionsanordnung j5 von Fig. 1 betragen die Winkel der Reflexionsstreifen 45 ° zur Längsachse der Reflexionsanordnung 3 und zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen vom Eingangs-Wandler 2.

Beim Betrieb der Einrichtung gibt der Eingangs-Wandler 2 Oberflächenschallwellen an die erste Reflexionsanordnung 3 ab. Einige Oberfläphenschallwellen werden vom ersten Reflexionsstreifen 6 weg zur zweiten Reflexionsanordnung 4 reflektiert, während andere Oberflächenschallwellen entlang der ersten Reflexionsanordnung 3 sich ausbreiten und von den hinteren Streifen 6 und zur zweiten Reflexionsanordnung 4 reflektiert werden, von wo die Oberfläohenschallwellen sämtlich zum Ausgangswandler 5

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reflektiert werden. Je nach der Reflexionsstelle in der ersten Reflexionsanordnung hat das am Ausgangswandler empfangene Signal eine unterschiedliche Intensität oder Amplitude, d.h. das Signal ist amplitudenbewertet.

Der Abstand der Reflexionsstreifen in den Reflexionsanordnungen 3 und 4 ist gleich, d.h. periodisch, es können jedoch auch unterschiedliche Abstände gewählt werden, um einen großen Frequenzbereich zu reflektieren.

Fig. 2 zeigt eine Impulsdehner-Oberflächenschallwelleneinrichtung mit einem piezoelektrischen Substrat 11, das auf einer ebenen Fläche einen Eingangs-Wandler 12 trägt, der Oberflächenschallwellen zu einer ersten Reflexionsanordnung (RAST) 13 abgibt, wo einige der Oberflächenschallwellen zu einer zweiten Reflexionsanordnung l4 mit Reflexionsstreifen 19 reflektiert werden, die ihrerseits die Oberflächenschallwellen zu einem Ausgangs-Wandler 15 reflektieren. Die beiden Wandler 12 und 15 sind herkömmliche Interdigital- oder Finger-Wandler, wobei der Einfachheit halber nur einige Fingerpaare gezeigt sind. Die erste Reflexionsanordnung 13 hat zwei Sätze von leitenden Metallstreifen, nämlich einen ersten Satz l6 und einen zweiten Satz 17. Der erste Satz l6 ist so geneigt, daß die Oberflächenschallwellen zur zweiten Reflexionsanordnung l4 reflektiert werden, während der zweite Satz 17 so geneigt ist, daß die Oberflächenschallwellen zu einem Schallschlucker 18 reflektiert werden. Der Abstand zwischen den Streifen in den beiden Reflexionsanordnungen 13 und 14 nimmt allmählich von den Wandlern 13 und 14 weg zu.

Da die Frequenz der reflektierten Signale indirekt proportional zum gegenseitigen Abstand der Streifen ist, werden höhere Frequenzen von den Streifen 16 in der Reflexionsanordnung 13 in nächster Nähe des Eingangs-Wandlers

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reflektiert, während niedrigere Frequenzen von den hinteren Streifen weg reflektiert werden (d.h. den vom Eingangs-Wandler 12 am weitesten entfernten).

Beim Betrieb wird ein kurzer Impuls (d.h. ein kurzer Stoß von Frequenzen) dem Eingangs-Wandler 12 zugeführt, der Oberflächenschallwellen an die erste Reflexionsanordnung 15 abgibt. Einige, nämlich höherfrequente Oberflächenschallwellen werden von den vorderen Streifen weg und zur zweiten Reflexionsanordnung l4 reflektiert, während andere, niedrigerfrequente Oberflächenschallwellen entlang der ersten Reflexionsanordnung 13 sich fortpflanzen und von den hinteren Streifen weg und zur zweiten Reflexionsanordnung l4 reflektiert werden. Auf diese Weise laufen einige Qberfläohensohallwellen weiter als andere und erfahren damit eine größere Verzögerung als andere; infolgedessen ist das Ausgangssignal des Ausgangswandlers ein Impuls mit einer Länge, die ein Mehrfaches der Länge des Eingangsimpulses beträgt. Oft sind die Frequenzen des Signals am Anfang oder der Front des Ausgangsimpulses höher als diejenigen am Ende des Ausgangsimpulses, d.h. der Ausgangsimpuls hat eine gewobbelte Frequenz. Eine Impulspressung kann durch Umkehrung des obigen Vorgangs erzielt werden, d.h. durch Zuführen eines bewerteten langen Impulses zum Ausgangswandler 15 und Abnahme eines Ausgangssignals vom Eingangs-Wandler 12.

Fig. 3a zeigt einen typischen Ausgangsfrequenzgang, wenn ein kurzer Impuls der Einrichtung von Fig. 2 zugeführt wird. Fig. 3b zeigt einen Ausgangsfrequenzgang, wenn die erste Reflexionsanordnung aus gleichlangen Reflexionsstreifen besteht, und es ist ein Rechteckprofil ersichtlich. Ein Vergleich der Länge der Reflexionsstrei-

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fen im ersten Satz ΐβ von Fig. 2 mit dem Ausgangsfrequenzgang von Fig. 3& zeigt eine Identität in der Form (nicht im Maßstab). Die kurzen Reflexionsstreifen in der Reflexionsanordnung 13 entsprechen der kleinen Amplitude des Ausgangssignals. Diese Variation des Ausgangsfrequenzgangs wird Amplitudenbewertung genannt und ist wünschenswert für Radar-Zwecke.

Der Abstand der Reflexionsstreifen in den Reflexionsanordnungen 13 und 14 ist hier als variierend gezeigt worden, um eine Frequenzwobbelung innerhalb des Ausgangsimpulses als Antwort auf einen der Einrichtung zugeführten kurzen Impuls zu erzielen. Er kann aber auch gleich sein, um ein Ausgangssignal einer einzigen Frequenz von der Einrichtung zu erhalten.

Fig. 4 zeigt als Blockschaltbild eine Oberflächenschallwellenelnrichtung ^mit zwei bewertenden Reflexionsanordnungen (RAST). Wie vorher trägt ein piezoelektrischer Substrat 21 einen Eingangs-Wandler 22 und einen Ausgangs-Wandler 23, ferner eine erste Reflexionsanordnung 24 und eine zweite Reflexionsanordnung 25* die jeweils einen ersten Satz 26 bzw. 27 und einen zweiten Satz 28 bzw. 29 von Reflexionsstreifen oder -rillen haben; der Übergang zwischen dem ersten und zweiten Streifen ist eine gedachte Bewertungslinie, die durch die Strichpunktlinien 30 bzw. angedeutet ist. Die erste Reflexionsanordnung 24 ist so angeordnet, daß sie einige der Oberflächensehallwellen, die vom Eingangs-Wandler 22 abgegeben werden, zur zweiten Reflexionsanordnung 25 und unerwünschte Oberflächensehallwellen zu einem Schallschlucker 32 reflektiert. Ähnlich ist die zweite Reflexionsanordnung 25 so angeordnet, daß sie einige der Oberflächensohallwellen zum Ausgangswandler und unerwünschte zu einem Schallschlucker 33 reflektiert. Damit wird das Amplitudenbewerten sowohl von der ersten

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als auch von der zweiten Reflexionsanordnung 24 bzw. 25 vorgenommen.

Bei einer abgewandelten Ausführung, die in Strichlinie angedeutet ist, befindet sich der Ausgang zum Wandler 23. unterhalb des Eingangs-Wandlers 22 und die Streifen 27 in der zweiten Reflexionsanordnung 25 sind entsprechend angeordnet. Eine Impulspresser- oder -dehner-Einrichtung kann auf diese Weise geschaffen werden.

Fig. 5 zeigt eine Einrichtung zur gesonderten Reflexion verschiedener Frequenzen. Sie hat ein Substrat 35 mit einem Eingangs-Wandler J>6 und zwei Reflexionsanordnungen 37, 38, die auf einer Oberflächenschallwellen-Spur angeordnet sind. Jede Reflexionsanordnung 37, 38 hat einen ersten Satz 39 bzw. 40 und einen zweiten Satz 4l bzw. 42 von Reflexionsstreifen (nicht gezeigt) wie in den Fig. 1 und 2, wobei der Übergang zwischen den beiden Sätzen durch Strichpunktlinien 43 und 44 angedeutet ist. Die Reflexionsstreifen in der Reflexionsanordnung 37j die am nächsten zum Eingangs-Wandler 36 liegt, sind enger beabstandet als die in der anderen Reflexionsanordnung 38; daher reflektiert die Reflexionsanordnung 37 ein höherfrequentes Signal als die Reflexionsanordnung 38. Im Weg der Oberflächenschallwellen, die von den Reflexionsanordnungen 37 und 38 reflektiert worden sind, befinden sich zwei weitere Reflcxiore anordnungen und 46 ähnlich der Reflexionsanordnung 4 in Fig. 1, wobei jede Oberflächenschallwellen _Zu einem von zwei Ausgangs -Wandlern 47 und 48 reflektieren. Die beiden Ausgangs-Wandler 47 und 48 empfangen Signale unterschiedlicher Frequenz. Die Reflexionsanordnungen können so angeordnet sein, daß die Ausgangswandler 47 und 48 eine einzige, jedoch unterschiedliche Frequenz oder einen Bereich von ver-

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schiedenen Frequenzen empfangen, und zwar mittels geeigneter Beabstandun/r der Reflexionsstreifen innerhalb jeder Reflexionsanordnunp. Die vom zweiten Satz 4l bzw. 4? von Reflexionsstreifen in der ersten bzw. zweiten Reflexionsanordnung 37 und 38 reflektierten Oberflächenschallwellenv/erden von einem Sehallschlucker 49 empfangen.

Fig. 6 zeigt eine Abwandlung des Ausführungsbcispiels der Einrichtung in Fig. 2, wobei gemeinsamen Bestandteilen dieselben Bezugszeichen gegeben sind. Sie hat ein Substrat 11 mit einem Eingangs-Wandler 12, der Oberflächenschallwellen an eine erste Reflexionsanordnung 13 mit einem ersten Satz I6 und einem zweiten Satz 17 von Reflexionsstreifen abgibt, die die Oberflächenschallwellen um 90 ° zu einer zweiten Reflexionsanordnung l4 bzw. einer dritten Reflexionsanordnung 51 reflektieren. Die zweite Reflexionsanordnung 14 reflektiert Oberflächenschallwellen zu einem ersten Ausgangswandler 5, während Streifen 52 in der dritten Reflexionsanordnung 51 Oberflächenschallwellen um 90 ° zu einem zweiten Ausgangswandler 53 reflektieren. Die beiden Ausgangs-Wandler 15 und 53 sind miteinander über einen Schalter 5^ verbunden.

Im Betrieb, wenn der Schalter 54 offen ist, arbeitet die Einrichtung genauso wie die Einrichtung in Fig. 2 mit einem amplitudenbewerteten Ausgangssignal. Wenn der Schalter 54 geschlossen ist, werden alle vom Eingangs-Wandler 12 abgegebenen Oberflächenschallwellen _von den miteinander verbundenen Ausgangs-Wandlern 15 und 53 empfangen, d.h. es findet keine Amplitudenbewertung des Ausgangssignals statt, das daher einen Verlauf ähnlich dem von Fig. 3b hat.

Eine derartige Einrichtung wie in Fig. 6 kann verwendet werden, um eine Seitenkeulen- bzw. -zipfel-Unter-

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drückung ein- und auszuschalten, wenn die Einrichtung bei Impulsradar verwendet wird. Bei geöffnetem Schalter 54 werden die Seitenkeulen auf Kosten einer vergrößerten Impulsbreite unterdrückt. Bei geschlossenem Schalter 5h und damit ohne Amplitudenbewertung steigen die Seitenkeulen an, jedoch auch die Auflösung des Hauptimpulses. Dj es 1st vorteilhaft in Radarsystemen, da mit unterdrückten Seitenkeulen in einem Antennenstrahlungsdiagramm ein Zielobjekt nur innerhalb der Hauptkeule erfaßt und identifiziert werden kann; die Hauptkeule kann dann verengt werden, um die Auflösung zu verbessern, da eine folgende Zunahme der Seitenkeulen unwichtig ist, sobald bekannt ist, daß kein Zielobjekt innerhalb der Seitenkeulen existiert.

In manchen Fällen kann es notwendig sein, die Phase von verschiedenen Frequenzen, die zwischen zwei Reflexionsanordnungen sich ausbreiten, zu ändern, um z.B. Fehler, und Ungenauigkeiten in den Reflexionsanordnungen zu kompensieren. Dies kann erreicht werden durch Aufbringen eines unterschiedlich breiten Materialstreifens, z.B. aus Aluminium, auf einer Oberflächenschallwellen-Spur, um die unter dem Streifen durchlaufenden Oberflächenschallwellen zu verzögern und damit ihre Phase zu ändern; die Größe der Verzögerung bzw. Verlangsamung ist der S tre i fanfare!te proporti onal.

Alle oben angegebenen AusfUhrungsbeispiele können so geschaltet werden, daß die Eingangs - Wandler zu Ausgangs-Wandlern und die Äusgangs-Wandler zu Eingangs-Wandlern wercten*

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Claims (8)

1. Ansprüche

   IJ Oberfläehenschallwelleneinrichtung mit einem Substrat zur Fortpflanzung von Oberflächenschallwellen, mit einem Eingangs-Wandler zur Abgabe von Oberflächenschallwellen an eine Spur auf dem Substrat, mit einem Ausgangs-Wandler zum Empfang reflektierter Oberflächenschallwellen von einer Spur auf dem Substrat und mit einer ersten Reflexionsanordnung zur Reflexion von Oberflächenschallwellen von einer Spur zur anderen,

   dadurch gekennzeichnet,

   daß die Reflexionsanordnung (3, 13, 37, 38) zwei Sätze von unterschiedlich langen Streifen oder Rillen aufweist, von denen ein erster Satz (6, 16, 26, 27, 39, 40) so geneigt ist, daß Oberflächenschallwellen in eine erste Richtung reflektiert werden, während der zweite Satz (7, 17, 28, 29, 41, 42) so geneigt ist, daß Oberflächenschallwellen in eine zweite, andere Richtung reflektiert werden.
2. 2. Oberflächenschallwelleneinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine zweite Reflexionsanordnung (9) zum Empfang von Oberflächenschallwellen vom ersten Satz der Streifen oder Rillen in der ersten Reflexionsanordnung und zu ihrem Richten auf den Ausgangs-Wandler (5).
3. 3. Oberflächenschallwelleneinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine zweite Reflexionsanordnung (27, 29) aus zwei Sätzen von Reflexionsstreifen oder -rillen, von denen der eine Satz (27) so geneigt ist, daß Oberflächenschallwellen von der ersten Reflexionsanordnung empfangen und zum Ausgangs-Wandler gerichtet werden, während der zweite Satz (29) so geneigt ist, daß Oberflä-

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   chenschallwellen in eine andere Richtung gerichtet werden.
4. 4. Oberflächenschallwelleneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionsstreifen oder -rillen (6, 16, 26, 27, 39, ²K), 7, 17, 28, 39, ²H, te)

   voneinander gleich beabstandet sind.
5. 5. Oberflächenschallwelleneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionsstreifen oder -rillen (6, 16, 26, 27, 39, ²K), 7, 17, 28, 29, 4l, te) voneinander unterschiedlich beabstandet sind.
6. 6. Oberflächenschallwelleneinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Eingangs-Wandler (12) und der Ausgangs-Wandler (15) sowie die erste Reflexionsanordnung (13) und die zweite Reflexionsanordnung (14) so angeordnet sind, daß sie einen dem Eingangs-Wandler zugeführten Impuls dehnen.
7. 7. Oberflächenschallwelleneinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei Reflexionsanordnungen (37, 38), die auf einer gemeinsamen Spur angeordnet sind, um Oberflächenschallwellen von den Eingangs-Wandlern (36) zu empfangen und die Wellen zu zwei weiteren Reflexionsanordnungen (45, 46) zu reflektieren, die die Oberfläohenschallwellen zu zwei Ausgangs-Wandlern (47, 48) reflektieren.
8. 8. Oberflächenschallwelleneinrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine dritte Reflexionsanordnung (51) zum Empfang von Oberflächenschallwellen vom zweiten Satz der Reflexionsstreifen oder -rillen (17) in der ersten Reflexionsanordnung (13) und zum Reflektieren dieser Oberflächenschallwellen zu einem zweiten Ausgangs-Wandler (53)

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