DE2513210C2

DE2513210C2 - Elektrische Bildleseeinrichtung

Info

Publication number: DE2513210C2
Application number: DE2513210A
Authority: DE
Inventors: Alain Gif-Sur-Yvette Bert
Original assignee: Thomson CSF SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1974-03-26
Filing date: 1975-03-25
Publication date: 1983-12-29
Also published as: FR2266395A1; GB1501427A; JPS50131416A; DE2513210A1; US4025954A; FR2266395B1

Description

Die Erfindung betrifft eine elektrische Bildleseein-

richtung der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art

In der Aufnahmetechnik, z. B. der Fernsehaufnahmetechnik, sind verschiedene Systeme bekannt, zu denen die für gewöhnlich verwendete Vidikon-Röhre gehört

Bekanntlich enthält eine solche Röhre insbesondere eine photoleitende Signalplatte, auf die das Bild projiziert wird, und ein Elektronenbündel erlaubt durch punktweises Abtasten der Signalplatte das Lesen des Bildes, d. h. die Umsetzung desselben in ein moduliertes elektrisches Signal. Nachteilig sind bei solchen Systemen eine große Komplexität und ein großer Platzbedarf, die sich insbesondere durch die elektronische Abtastung ergeben. Es sind weiter bereits elektrische 3::dleseeinrichtun gen bekannt (Journal de Physique, Kolloquium C6, Ergänzung zu Nr. 11 -12 Band 33, November-Dezember 1972, S. 231 -234; Applied Physics Letters, Band 23, Nr. 8,15. Oktober 1973, S. 415-416), bei denen in einem System aus einem mit einem piezoelekti ischen Substrat gekoppelten Halbleiter ein akustoelektrisches Feld in dem Halbleiter durch Wechselwirkungen zwischen elastischen Wellen, die sich auf dem piezoelektrischen Substrat ausbreiten, und Ladungsträgern in der benachbarten Halbleiteroberfläche erzeugt wird. Wenn

so ein optisches Muster auf die Halbleiteroberlfäche projiziert wird, wird deren Leitfähigkeit durch optisch erzeugte Ladungsträger geändert und dadurch die erzeugte akustoelektrische Spannung moduliert Die elastischen Wellen werden dabei durch den aus zwei interdigital angeordneten Elektrodenkämmen bestehenden Wandler erzeugt, der mit Abstand von dem Halbleiter auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist. Das Erzeugen von elastischen Wellen und das Modulieren derselben erfolgen also an getrennten Stellen auf dem piezoelektrischen Substrat, so daß auch diese bekannten Bildleseeinrichtungen keinen ausreichend geringen Platzbedarf haben.

Bei einer ähnlichen bekannten Bildleseeinrichtung der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art (Proceedings of the IEEE, 57, 1969, S. 2081 -2082) steht die piezoelektrische Schicht in direktem Kontakt mit der photoleitenden Schicht, so daß die von dem einen Wandler erzeugte elastische Welle durch diesen

Wandler auch moduliert wird. Wegen des erforderli- :hen piezoelektrischen Substrats kann die Bildleseeinrichtung aber nicht in eine Anordnung von integrierten Schaltungen eingefügt werden, da diese ein nichtpiezoelektrisches Substrat, wie beispielsweise Silizium, erfordern.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Bildleseeinrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art einfach und platzsparend und außerdem so auszubilden, daß sie in eine Anordnung von integrierten Schaltungen eingefügt werden kann.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die im kennzeichen des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst

Bei der Bildleseeinriciitung nach der Erfindung hat der Wandler, der außer aus den interdigital angeordneten beiden Elektrodenkämmen aus der piezoelektrischen dünnen Schicht und der photoleitenden Schicht besteht und auf den das zu lesende Bild projiziert wird, eine Doppelfunktion, da er nicht nur elastische Wellen aussendet, sondern diese auch moduliert Der einfachere und weniger Platz beanspruchende Aufbau der Bildleseeinrichtung nach der Erfindung ergibt sich nV.o dadurch, daß das Erzeugen der elastischen Welle und deren Modulation an der gleichen Stelle auf dem Substrat erfolgen, wobei dann die erhaltene modulierte elastische Welle in herkömmlicher Weise durch den anderen Wandler in das elektrische Bildsignal umgesetzt wird. Da bei der Bildleseeinrichtung nach der Erfindung kein piezoelektrisches Substrat erforderlich ist, sondern dieses vielmehr aus Silizium bestehen kann, kann sie ohne weiteres in eine Anordnung von integrierten Schaltungen eingefügt werden.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung bilden den Gegenstand der Unteransprüche.

Mehrere Ausföhrungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen

Die F i g. 1 und 2 Erläuterungsschemata,

die F i g. 3 und 4 im Schnitt bzw. in Draufsicht eine Ausführungjform der Einrichtung nach der Erfindung, F i g. 5 eine Erläuterungskurve, und

die Fig.6 bis 8 weitere Ausführungsformen der Einrichtung nach der Erfindung.

In den verschiedenen Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen.

In den F i g. 1 und 2 sind Schemata dargestellt welche die Wirkungsweise von Ausführungsbeispielen dei Erfindung veranschaulichen. Diese Figuren zeigen im Schnitt: ein Substrat 1, welches aus einem nichtpiezoelektrischen Material besteht auf welches zwei interdigital angeordnete Elektrodenkämme aufgebracht sind, von denen die Zinken 2 dargestellt sind; eine dünne Schicht 3 mit einer Dicke h aus einem piezoelektrischen Material, welches auf das Substrat 1 und die Zinken 2 aufgebracht ist; und in F i g. 2 eine elektrischleitende Schicht 4, welche die Schicht 3 bedeckt.

Wenn man an die Klemmen der Elektrodenkämme in den beiden Fällen (F i g. 1 und 2) eine elektrische Spannung anlegt, werden elastische Oberflächenwellen in herkömmlicher Weise erzeugt, die in der Größenordnung von einer Wellenlänge der elastischen Wellen in das Innere der piezoelektrischen Schicht 3 eindringen und somit zu dem Substrat 1 übertragen werden können. Indessen zeigt die Berechnung und bestätigt die Erfahrung, daß der Wirkungsgrad der Einrichtung, d. h. das Verhältnis von in dem Substrat erzeugter mechanischer Energie zu der e npfangenen elektrischen Energie sich mit der Dicke h der piezoelektrischen Schicht 3 ändert aber in unterschiedlicher Welse je nach dem. ob ¹ die leitende Schicht 4 vorhanden ist oder nicht So ist bei

einer Dicke h in der Nähe von 22 , wobei λ din

Wellenlänge der elastischen Welle ist, der Wirkungsgrad der Einrichtung von Fig. 1 (ohne die Schicht 4) sehr klein, während der Wirkungsgrad der Einrichtung von F i g. 2 (mit der Schicht 4) durch ein Maximum geht

Die Fig.3 und 4 zeigen in Schnittansicht bzw. in Draufsicht ein Ausführungsbeispiel der Bildleseeinrichtung, bei. welcher die oben beschriebene Eigenschah ausgenutzt wird.
Diese Einrichtung besteht hauptsächlich aus: dem nichtpiezoelektrischen Substrat 1, welches beispielsweise aus Glas, aus Saphir oder vorzugsweise aus Silizium besteht; zwei interdigital angeordneten, leitenden Elektrodenkämmen 21 und 22, die auf das Substrat 1 aufgebracht sind; der piezoelektrischen Schicht 3, die auf die vorgenannten Teile aufgebracht ist und beispielsweise aus Zinkoxid oder aber aus Cadmiumsulfid oder Lithiumniobat besteht; um' siner photoleitenden Schicht 40, die auf den Teil ?>er Schicht 3 aufgebracht ist der den auf diese Weise gebildeten elektromechanischen Wandler Γ bedeckt Die Einrichtung enthält außerdem einen auf das Substrat 1 auf get· rächten elektromechanischen Wandler S. Der Wandler S kann, wie als Beispiel in den Fig.3 und 4 dargestellt, ebenfalls aus zwei interdigital angeordneten, leitenden Elektrodenkämmen 23 und 24 gebildet sein, die durch die piezoelektrische Schicht 3 und eine elektrisch leitende Schicht 41, beispielsweise eine metallische Schicht, bedeckt sind. Er kann außerdem durch dieselben Elektrodenkämme 23 und 24 gebildet sein, die aber mit einer dickeren piezoelektrischen Schicht bedeckt sind (üblicherweise in der Größenordnung von-τ·). Zur besseren Übersichtlichkeit der F i g. 4

sind die Schichten 40 und 41 gestrichelt dargestellt und sie haben als Beispiel jeweils eine unterschiedliche Form, wobei die Schicht 41 die Elektrodenkämme 23

und 24 in ihrer Gesamtheit überdeckt Schließlich sind an den Enden der Einrichtung Elemente 50 und 51 vorgesehen, welche die Schallwellen absorbieren, damit die Reflexion dieser Wellen an den Enden der Einrichtung nicht den Betrieb derselben stört

Im Betrieb wird die zu lesende Licht- oder

Bildinformation auf die photoleitende Schicht 40 projiziert, wie durch die Pfeile 6 in F i g. 3 angegeben, wodurch diese Schicht örtlich leitend gemacht wird.

Wenn die Dicke h der Schicht 40 etwa gleich 20 gewählt

wird, verhält sich die Einrichtung in den schwach beleuchteten Zonen w:s die Einrichtung von F i g. 1, d. h.

1er Wirkungsgrad der Erzeugung von elastischen Wellen ist klein, und sie veihält sich in den stark beleuchteten Zonvn wie die Einrichtung von F i g. 2, d. h. der Wirkungsgrad der Erzeugung von elastischen Weilen ist groß. Über die Klemmen A und B wird an die Elektrodenkänirne 21 und 22 eine Potentialdiffereiiz Vab angelegt, deren zeitliche Änderung in Fig.5 angegeben ist: die Potentialdifferenz V^e wird von dem Anfangszeitpunkt an langsam steigend angelegt und bis zu einem Zeitpunkt t\ aufrechterhalten, während das ?m lesende Bild auf die photoleitende Schicht 40 projiziert wird; bis zu diesem Zeitpunkt fi werden statische mechanische Spannungen erzeugt, deren Amplitude somit von der örtlichen Beleuchtung abhängig ist. In

dem Zeitpunkt fi wird die angelegte Potentialdifferenz Vab Null und auf diese Weise wird eine sich in der piezoelektrischen Schicht 3 und dem Substrat 1 ausbreitende elastische Schwingung freigesetzt, die durch die räumliche Verteilung der Lichtenergie amplitudenmoduliert ist und deren Frequenz von der dem Wandler T gegebenen Geometrie abhängig ist. Diese elastische Schwingung wird durch den als Ausgangswandler ausgebildeten Wandler S in ein elektrisches Lesesignal umgesetzt, welches an den Klemmen C und D der Elektrodenkämme 23 und 24 entnommen wird.

Es ist anzumerken, daß die bei der Ausführung der Wandler gewählte Anordnung der Schichten, d. h. die piezoelektrische Schicht 3, weiche die photoleitende i'> Schicht von den Elektrodenkämmen trennt, außerdem den Vorteil hat, daß sie selbst in Anwesenheit von Beleuchtung die Zinken der Elektrodenkämme voneinander isoliert. Das drückt sich bei dieser Einrichtung durch die Tatsache aus, daß die elastische Welle mit größerer Amplitude an den Stellen stärkerer Beleuchtungerhalten wird.

Ihr Vorteil besteht darin, daß es nicht erforderlich ist, diskrete Bauelemente, hauptsächlich Widerstände, jedem der Zinken der Eiektrodenkämme zuzuordnen, um genau eine, zumindest vorübergehende, Relativisolierung zwischen diesen Zinken zu schaffen.

Außerdem ist die dünne piezoelektrische Schicht 3, welche das gesamte Substrat 1 überdeckend dargestellt ist, nur zum Bilden der Wandler Tund 5 erforderlich und sie kann zwischen ihnen unterbrochen sein, wobei die Unterbrechung vorzugsweise ohne scharfe Kante erfolgt, um die Reflexionen der elastischen Wellen zu verringern.

Schließlich ist bei dieser Ausführungsform die « Modulation der elastischen Welle während des Aussendens derselben durch das Lichtbild erfolgt. Es ist. selbstverständlich gleichwertig, in herkömmlicher Weise eine elastische Welle zu erzeugen und sie dann während ihres Empfangs durch einen Wandler zu *o modulieren, der dann dem Wandler T der F i g. 3 und 4 analog ist.

Ein wichtiger Vorteil dieser Einrichtung besteht darin, daß das Zeitintervall O-r, lang sein kann, so daß eine Integration der Einwirkungen des Lichtbildes auf die Photoleitende Schicht 40 und infolgedessen eine große Empfindlichkeit ermöglicht wird.

Eine solche Einrichtung ermöglicht nicht das Lesen eines Bildes in seiner Gesamtheit, sondern ist insbesondere einem Lesesystem angepaßt, bei welchem aufein- so anderfolgende Zeilen gelesen werden; es ist dann erforderlich, ihm ein optisches oder mechanisches System zuzuordnen, mittels welchem der übrige Teil des Bildes abgedeckt werden kann.

Fig.5 zeigt nach dem Zeitpunkt fi zwischen zwei Zeitpunkten ft und h eine Änderung der Potentialdifferenz Vab. die der vorangehenden Änderung zwischen den Zeitpunkten 0 und ti analog ist und das Lesen einer folgenden Zeile durch die Einrichtung darstellt Das Zeitintervall fi — ft ist ausreichend groß gewählt, damit die durch die vorangehende Information erzeugten mechanischen Spannungen nicht das Lesen der folgenden Information stören.

In dem Fall, in welchem eine solche Einrichtung beim Fernsehen verwendet wird, besteht eine nicht darge- — stellte abgewandelte Ausführungsform darin, das Muster des Wandlers T so zu verändern, daß an den Enden jeder Zeile Synchronsignale erhalten werden:

indem beispielsweise eines der Enden der Elektrodenkämme mit einer metallischen Schicht bedeckt wird, deren Breite in Abhängigkeit von der für das Synchronsignal gewünschten Form gewählt wird.

Ein weiterer großer Vorteil der beschriebenen Bildleseeinrichtung besteht darin, daß sie auf einem nichtpiezoelektrischen Substrat I hergestellt wird, was ermöglicht, einerseits sich von einem Teil der den piezoelektrischen Materialien immanenten technologischen Zwänge zu befreien, und andererseits, da das Substrat aus Silizium bestehen kann, die Einrichtung in eine Anordnung von integrierten Schaltungen einzufügen.

In den Figuren sind die Elektrudenkämme 21 und 22 zwischen dem Substrat 1 und der piezoelektrischen Schicht 3 dargestellt, und die leitende Schicht 4 oder 40 ist auf der piezoelektrischen Schicht 3 dargestellt. Eine solche Reihenfolge ist in bezug auf die Positionen der Eiekirodenkämnic und der leitenden Schicht nicht zwingend; diese können vertauscht werden, wobei die Vertauschung zwei Arten von Vorteilen aufweist: einerseits kann das aus Silizium bestehende Substrat 1 auch die Rolle des Photoleiters übernehmen, wodurch die Schicht 40 beseitigt wird, und andererseits wird eine bessere Isolierung zwischen den Zinken der Elektrodenkämm«; 21 und 22 erreicht.

Eine weitere Lösung zum Verbessern dieser Isolierung ze?^jt F i g. 6, in welcher die Wandler T und 5 von dem Substrat 1 durch eine isolierende Schicht 10 getrennt sind, welche in dem Fall, in welchem das Substrat 1 aus Silizium besteht, au» Siliziumoxid besteht. Eine solche Struktur arbeitet wie die in Fig.3 beschriebene und ermöglicht die Verringerung der Verluste, die durch die Einwirkung des zwischen den Zinken der Elektrodenkämme 21 und 22 vorhandenen Feldes auf das Silizium hervorgerufen werden.

Eins weitere Ursache für die Dämpfung der elastischen Welle könne die Reflexionen derselben auf der Höhe der Zinken der Elektrodenkämme sein: es ist dann selbstverständlich möglich, sie durch eine Änderung der Breite dieser Zinken zu kompensieren. Diese Änderung ist experimentell derart realisierbar, daß bei einer gleichmäßigen Beleuchtung das erzielte Lesesignal keine Modulation aufweist

Fig.7 zeigt eine weitere Ausführungsform der Bildleseeinrichtung, bei welcher die piezoelektrischen und photoleitenden Materialien nicht mehr übereinander angeordnet sind. Diese Figur zeigt wieder das nichtpiezoelektrische Substrat 1, auf welchem die Wandler T und 5 mit ihrer piezoelektrischen Schicht angeordnet sind. Das Substrat 1 ist hinter den Wandlern T und 5 verlängert, um die photoleitende Schicht 40 aufzunehmen, die von der Schicht 3 getrennt ist Parallele metallische Streifen 42 bedecken jeweils die Schicht 40, das Substrat 1 zwischen den Schichten 40 und 3 und die Schicht 3. Diese Streifen verfügen im Hinblick auf die Zinken der Eiektrodenkämme über dieselbe Teilung und über dieselbe Breite.

Diese Einrichtung arbeitet analog den vorhergehenden: die Lichtenergie wird einzig und allein auf die photoleitende Schicht 40 projiziert (Pfeile 6), die Schicht 3 ist gegebenenfalls mit einem lichtundurchlässigen Schirm bedeckt und die Leitfähigkeitsänderung der Schicht 40 wird mittels der Streifen 42 zu der Anordnung aus dem Substrat 1 und dem Wandler T übertragea

Diese abgewandelte Ausführungsform der Bildleseeinrichtung hat einen doppelten Vorteil: zu allererst

erfolgt bei ihr die Trennung der Funktionen der Erzeugung der elastischen Welle (Wandler T) und der Modulation dieser Welle (photoleitende Schicht 40), was insbesondere eine bequemere Einwirkung auf die verschiedenen Parameter der Einrichtung ermöglicht; ferner wird bei ihr jede Störung aufgrund des eventuell leicht photoleitenden Charakters des für die piezoelektrische Schicht 3 gewählten Materials, insbesondere Zinkoxid, vermieden. Schließlich ermöglicht sie Informationsverarbeitungen bereits auf der Höhe der Bildaufnahme: zum Beispiel können durch Zusammenschluß von zwei oder mehr Streifen 42 Signale addiert werden.

F i g. 8 zeigt in Draufsicht eine weitere abgewandelte Ausführungsform der Bildleseeinrichtung, welche das Erzielen eines zeitlich gedehnten Lesesignals mit Hilfe einer dispersiven Verzögerungsleitung ermöglicht, d. h. mit einer Verzögerungsleitung, die einem Signal eine von dessen Frequenz abhängige Verzögerung gibt. F i g. 8 zeigt wieder das Substrat I₁ den Wandler T, der von einer photoleitenden Schicht 43 bedeckt ist, die hier die Anordnung der Elektrodenkämme überdeckend dargestellt ist, und den als Ausgangswandler ausgebildeten Wandler 5.

Die Einrichtung enthält außerdem eine dispersive Verzögerungsleitung, welche aus drei Reflektorstrukturen 61,62 und 63 besteht, welche die elastischen Wellen im Verlauf ihrer Ausbreitung in dem Substrat 1 reflektieren. Diese Reflektorstrukturen bestehen in herkömmlicher Weise beispielsweise aus in die Ausbreitungsfläche der Einrichtung eingravierten Rillen, die zueinander parallel und in zunehmenden oder abnehmenden Abständen angeordnet sind. In dem in Fig.8 dargestellten Fall sind z. B. vier dispersive Verzögerungsleitungen in Reihe geschaltet, in denen die höchsten Frequenzen in bezug auf die niedrigsten Frequenzen verzögert werden. Zu diesem Zweck nehmen die Abstände von der Mitte der Einrichtung aus zu den Enden hin ab und die Wandler Tund S erzeugen oder empfangen die elastischen Wellen im wesentlichen in der Mitte der Einrichtung. Die Rillen der verschiedenen Reflektorstrukturen sind außerdem geneigt und derart angeordnet, daß im Betrieb die von dem Wandler

ίο Tausgehenden Schallwellen von der ersten Reflektorstruktur 61 zu der zweiten Reflektorstruktur 62 reflektiert werden, die sie zu der dritten Reflektorstruktur 63 reflektiert, welche sie ihrerseits zu dem Wandler S reflektiert, und daß außerdem die Verzögerungsdiffe-

is renzcn, die jede der Reflektorstrukturen zwischen den elastischen Wellen verschiedener Frequenzen hervorruft, sich addieren: hier legen die Wellen mit hoher Frequenz den längsten Weg zurück, da die am dichtesten benachbarten Rillen, die sie reflektieren, an

μ der Peripherie der Einrichtung angeordnet sind.

Die Einrichtung enthält außerdem an den äußeren Enden jedes Rasters Elemente 50 bis 55, die zur Absorption der elastischen Wellen dienen. Diese weitere abgewandelte Ausführungsform der Bildleseeinrichtung ermöglicht, das Lesesignal zeitlich zu denen, wodurch es insbesondere den Fernsehsystemen angepaßt wird, in welchen die übliche Abtastdauer sehr viel größer ist als die Lesezeit, die bei den vorangehenden Ausführungsformen insbesondere mit

der Länge des Wandlers 7 verknüpft ist. Es ist indessen erforderlich, in diesem Fall der Bildleseeinrichtung ein System zur Demodulation des erhaltenen Lesesignals zuzuordnen, das dann in Form einer Aufeinanderfolge von Signalen mit zunehmenden Frequenzen vorliegt.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Elektrische Bildleseeinrichtung, die ein moduliertes elektrisches Signa! liefert, welches das Bildlesesignal darstellt, mit zwei elektromechanischen Wandlern, die eine elastische Welle in eine elektrische Welle umsetzen können und umgekehrt, deren einer Wandler aus einer piezoelektrischen Schicht, einer mit dieser in Berührung stehenden elektrisch leitenden Streifenstruktur und einer, mit der piezoelektrischen Schicht in elektrischem Kontakt stehenden photoleitenden Schicht besteht, auf die das zu lesende Bild projiziert wird, so daß eine von dem einen Wandler erzeugte elastische Welle gleichzeitig von ihm moduliert wird und in dem anderen Wandler in das elektrische Bildlesesignal umgesetzt wird,dadurch gekennzeichnet, daß ein nichtpiezoelektrisches Substrat (fjf die Wandler tr^jt, die Streifenstruktur als zwei interdigital angeordnete Eiektrodenkämme (21, 22) ausgebildet ist, die piezoelektrische Schicht (3) eine Dicke (h) aufweist, die geringer ist als die Wellenlänge der elastischen Welle und der elektrische Kontakt der photoleitenden Schicht (4,40) mit der piezoelektrischen Schicht (3) einerseits und die Elektrodenkämme (21, 22) andererseits auf einander gegenüberliegenden Oberflächen der piezoelektrischen Schicht (3) aufgebracht sind.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Jie piezoelektrische Schicht (3) eine Dicke von etwa einem Zwanzigstel der Wellenlänge der elastischen Welle hat

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenkämme (21, 22) zwischen der piezoelektrischen Schicht (3) und dem Substrat (1) angeordnet und mit demselben in direkter Berührung sind.

4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Wandler (S) zwei interdigital angeordnete, leitende und mit Klemmen (C, D) versehene Elektrodenkämme (23, 24), einen diese Elektrodenkämme bedeckenden Teil der piezoelektrischen Schicht (3) und eine diesen Teil der piezoelektrischen Schicht bedeckende, elektrisch leitende Schicht (41) aufweist.

5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sich die piezoelektrische Schicht (3) nur auf den Bereich der beiden Wandler (T₁ S) erstreckt.

6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, gekennzeichnet durch eine isolierende Schicht (10), die auf dem Substrat (1) angeordnet ist und auf die die Elektrodenkämme (21, 22; 23, 24) und die piezoelektrische Schicht (3) aufgebracht sind.

7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (1) aus Silizium besteht.

8. Einrichtung nach den Ansprüchen 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die isolierende Schicht (10) aus Siliziumoxid besteht.

9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die photoleitende Schicht (40) und die Elektrodenkämme (21, 22) auf einander gegenüberliegenden Oberflächenseiten der piezoelektrischen Schicht (3) deckungsgleich aufgebracht sind (F ig. 3,6).

10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8,

dadurch gekennzeichnet, daß die photoleitende Schicht (40) auf dem Substrat (1) räumlich getrennt von der piezoelektrischen Schicht (3) angeordnet ist und mit letzterer über leitende Streifen (42) in elektrischem Kontakt ist, die parallel zueinander und zu den Zinken der Elektrodenkämme (21, 22) angeordnet sind und sich über die photoleitende Schicht (40), das Substrat (1) und die piezoelektrische Schicht (3) erstrecken (F i g. 7).

11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die leitenden Streifen (42) und die Elektrodenkämme (21, 22) auf einander gegenüberliegenden Oberflächenseiten der piezoelektrischen Schicht (3) angeordnet sind

IZ Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch eine Dispersion bewirkende Verzögerungsleitung (61, 62, 63), die auf dem Substrat (1) zwischen den beiden Wandlern (T, S) angeordnet ist (F i g. 8).