DE2502974B2 - Abnehmertaster aus einem diamantkern und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Abnehmertaster aus einem diamantkern und verfahren zu seiner herstellung

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DE2502974B2 DE19752502974 DE2502974A DE2502974B2 DE 2502974 B2 DE2502974 B2 DE 2502974B2 DE 19752502974 DE19752502974 DE 19752502974 DE 2502974 A DE2502974 A DE 2502974A DE 2502974 B2 DE2502974 B2 DE 2502974B2
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Description

Die Erfindung betrifft einen Abnehmertaster aus einem Diamantkern mit einer Bindeschicht und einer darauf aufgebrachten, elektrisch leitenden Schicht einer Titanlegierung und ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen A'onehmertasters.
In der DT-OS 20 61 ö78 wird ein Aufdampfverfahren beschrieben, bei dem im Hochvakuum ein Diamantkern mit einer Zwischenschicht aus Chrom bedampft wird, wobei der Diamantkern auf eine Temperatur von 3500C vorgeheizt wird. Anschließend wird eine Titan-Carbidschicht von bis zu 2 μπι aufgedampft. Ferner ist ein Verfahren zur Herstellung einer Klebeschicht auf Oberflächen mit hoher chemischer Stabilität in einer inerten Atmosphäre bekanntgeworden (DT-OS 46 786). Die zu verbindenden Oberflächen bestehen aus Metall bzw. Keramik.
Diamanten mit einem leitenden Überzug werden in großem Maße zur Herstellung von Abnehmertastern für Videoplatten-Wiedergabesysteme verwendet. Die leitende Schicht haftet jedoch schlecht an dem Diamanten weger der hohen chemischen Stabilität der Diamantenoberfläche. Zahlreiche Versuche wurden durchgeführt, um die Haftkraft der leitenden Schicht an der Diamantenoberfläche zu erhöhen. Z. B. wurde der Diamant mit einer unregelmäßigen Oberfläche versehen, um die Haftfähigkeit zu erhöhen. Diese Diamant-Abnehmertaster haben jedoch Nachteile, wie etwa die Ungleichförmigkeit des leitenden Überzugs der Oberfläche.
Aufgabe der Erfindung ist daher die Schaffung eines Abnehmertasters der eingangs genannten Art, der den hohen Anforderungen genügt, die an Abnehmertastern für Videoplatten-Wiedergabesysteme gestellt werden.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die Titanlegierung aus einer Titan-Palladium-Legierung, Titan-Mangan-Legierung, Titan-Nickel-Legierung, Titan-Aluminium-Kupfer-Legierung, Titan-Aluminium-Zinn-Legierung, Titan- Aluminium-Mofybdän-Legierung, Titan-Aluminium-Vanadium-Legierung, Titan-Aluminium-Eisen-Legierung, Titan- Aluminium-Chrom-Molybdän-Legierung, Titan-Aluminium-Molybdän-Vanadium-Legierung oder Titan-Aluminium-Chrom-Vanadium-Legierung besteht.
Ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Abnehmertasters, bei dem eine Schicht einer Titanlegierung in einer nichtoxidierenden Atmosphäre auf eine Oberfläche eines erwärmten Diamantkerns aufgedampft wird, ist dadurch gekennzeichnet, daß der Diamantkern in einer nitrierenden Atmosphäre auf eine Temperatur im Bereich von 700 bis 13000C erwärmt wird und daß die Titanlegierung eine Titan-Palladium-Legierung, Titan-Mangan-Legierung, Titan-Nickel-Legierung, Titan-Aluminium-Kupfer-Legierung, Titan-Aluminium-Zinn-Legierung, Titan-Aluminium-Molybdän-Legierung, Titan-Aluminium-Vanadium-Legierung, Titan-Aluminium-Eisen-Legierung, Titan- Aluminium-Chrom-Molybdän-Legierung, Titan-Aluminium-Molybdän-Vanadium-Legierung oder Titan-Aluminium-Chrom-Vanadium-Legierung ist.
Bevorzugte Verfahrensweisen sind in den Unteransprüchen herausgestellt.
Durch die Erfindung wird erreicht, daß die leitende Schicht an ihrer äußeren Oberfläche glatt ist und fest am Diamantkern haftet, so daß eine hohe Abriebfestigkeit gegeben ist.
An Hand der beigefügten Zeichnungen werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung näher erläutert. In den Zeichnungen ist die
F i g. 1 eine Querschnittansicht eines Diamanten mit einem leitenden Überzug,
F i g. 2 eine Querschnittsansicht eines Abnehmertasters für ein Videoplatten-Wiedergabesystem veränderlicher Kapazität, der aus einem Diamanten mit einem leitenden Überzug hergestellt ist, und
F i g. 3 eine Querschnittsansicht eines Abnehmertasters für ein Videoplatten-Wiedergabesystem mit piezoelektrischem Wandler, der aus einem Diamanten mit einem leitenden Überzug hergestellt ist.
F i g. 1 zeigt einen Diamanten mit einer glatten Oberfläche, der einen leitenden Überzug, eine leitende Schicht 1 und eine Klebeschicht 2 zwischen der leitenden Schicht und einer Oberfläche eines Diamanten 3 aufweist. Es wurde festgestellt; daß die leitende Schicht fest an der Diamantenoberfiäche haften kann, wenn die leitende Schicht aus einer Titanlegierung besteht und die Klebeschicht aus einer festen Lösung der leitenden Titanlegierungsschicht und der Diaman-
ten-Oberflächenschicht hergestellt ist. Reines Titan (Reinheit·. 99,9%) und Titanlegierungen können als leitende Schicht verwendet werden. So werden Legierungen aus Titan-Palladium, Tiian-Mangan, Titan-Nickel, Titan-Aluminium-Kupfer, Titan-Aluminium-Zinn, Titan-Aluminium-Molybdän, Titan-Aluminium-Vanadium, Titan-Aluminium-Eisen, Titan-Aluminium-Chrom-Molybdän, Titan-Aluminium-Chrom-Eisen, Titan-Aiuminium-Molybdän-Vanadium und Titan-Aluminium-Chrom-Vanadium verwendet.
Harte Titan-Legierungen wie Titan-Aluminium-Chrom-Eisen (Aluminium 5%, Chrom 2% und Eisen 1%) und eine Titan-Aluminium-Chrom-Molybdän-Legierung (Aluminium 5%, Chrom 2% und Molybdän 1 %) sind zur Herstellung der leitenden Schicht brauchbar, wenn eine hohe Abnutzungsfestigkeit des leitenden Überzuges gefordert wird.
Unter Berücksichtigung der mechanischen und der elektrischen Eigenschaften des erhaltenen Abnehmertasters liegt die Dicke der leitenden Schicht vorzugsweise im Bereich von 0,05 bis 1 μΐη und die der Klebeschicht vorzugsweise zwischen 0,01 und 0,1 μηι. Die Haftfestigkeit der leitenden Schicht auf dem Diamanten liegt weit über 5 kp/mm2.
Der oben beschriebene leitende Überzug wird durch Ablagern einer Titan- oder Titanlegieningsschicht durch kathodisches Aufsprühen von einer Elektrode aus Titan oder der Titanlegierung in einer inerten Atmosphäre, wie einer Argongasatmosphäre von i0~2 bis 10-' Torr, oder durch Vakuumablagerung von Titan oder Titanlegierung mit anschließender Wärmebehandlung in einer nichtoxidierenden Atmosphäre, wie einer Argongasatmosphäre, oder im Vakuum hergestellt.
Es wurde festgestellt, daß der Diamant mit einem leitenden Überzug auch hergestellt werden kann, indem eine Mehrfachschicht, die aus Titan und Fremdmetall besteht, auf der Diamantoberfläche abgelagert wird, mit anschließender Erwärmung des Diamanten in einer nichtoxidierenden Atmosphäre. Die Wärmebehandlung kann auch in einer reduzierenden Atmosphäre durchgeführt werden, wie in einem Argon-Wasserstoff-Gasgemisch. Für die Wärmebehandlung steht auch eine nitrierende Atmosphäre zur Verfugung. Die nitrierende Atmosphäre bildet das Nitrid der Titan- oder Titanlegierungsschicht mit hoher mechanischer Festigkeit auf der Oberfläche des leitenden Überzugs. Die Temperatur der Wärmebehandlung liegt vorzugsweise zwischen 700 und 13000C. Unter 7000C ist die Haftfestigkeit des leitenden Überzuges auf der Diamantenoberfläche klein wegen des Fehlens der Klebeschicht Oberhalb 13000C kann die Diamantenoberfläche durch restliche oxidierende Gase geätzt werden.
Es wurde gefunden, daß ein Diamant-Abnehmertaster für ein Videcplatten-Wiedergabesystem mit Kapazitätsänderung aus einem länglichen Diamantstab mit glatter Oberfläche hergestellt werden kann, der einen leitenden Überzug trägt, wie er oben beschrieben wurde. Die F i g. 2 zeigt einen Abnehmertaster für ein Videoplatten-Wiedergabesystem mit einem länglichen Stab 3 aus einem Diamanten mit glatter Oberfläche, einer leitenden Schicht 1 mit hoher Abnutzungsfestigkeit aus Titan oder Titanlegierung wie Titan-Nicke! und einer Klebeschicht 2 aus einer festen Lösung der leitenden Schicht und der Diamantenoberflächenschicht. Um bessere Eigenschaften des Abnehmertasters zu erhalten, liegt die Dicke der leitenden Schicht vorzugsweise zwischen 0,05 und 0,3 μιη, und die der Klebeschicht vorzugsweise zwischen 0,01 und 0,05 um Der Abnehmertaster kann in einer Nut der Aufzeichnungsplatte 4 laufen, die eine leitende Oberfläche 5 und einen dielektrischen Überzug 6 über der leitenden Oberfläche aufweist, und erzeugt kapazitive Änderungen zwischen sich selbst und der leitenden Oberfläche der Aufzeichnungsplatte, wenn eine Relativbewegung zwischen ihm und der Aufzeichnungsplatte stattfindet. Der Diamantstab ist so geformt, daß sich eine Kante des leitenden Elements nahe am dielektrischen Überzug befindet, wenn er die Nut der Platte berührt.
Diese Abnehmertaster können z. B. hergestellt
werden, indem die Titanlegierungsschicht, etwa eine Titan-Nickel-Schicht von 0,1 μιη Dicke, mittels einer
Vakuumaufdampfung abgelagert wird und anschließend im Vakuum 1 Stunde lang auf 9000C erwärmt wird.
Es wurde ebenfalls festgestellt, daß ein Diamant-Abnehmertaster für ein Videoplatten-Wiedergabesystem mit piezoelektrischem Wandler mit langer Lebensdauer aus einem Diamanten hergestellt werden kann, der einen leitenden Überzug aufweist, wie er oben beschrieben wurde.
Der in F i g. 3 gezeigte Abnehmertaster für ein Videoplatten-Wiedergabesystem mit piezoelektrischem Wandler umfaßt eine Diamantenspitze 3 mit einer glatten Oberfläche, eine leitende Schicht 1 über der äußeren Oberfläche der Diamantenspitze mit einer hohen Abnutzungsfestigkeit, bestehend aus Titan oder einer Titanlegierung wie Titan-Nickel, und einer Klebeschicht 2 aus einer festen Lösung der leitenden Schicht und der Oberflächenschicht des Diamanten. Die Dicke der leitenden Schicht liegt vorzugsweise zwischen 0,1 und 1,0 μΐπ, und die der Klebeschicht vorzugsweise zwischen 0,01 und 0,05 μιη. Die Diamantenspitze ist auf dem piezoelektrischen Element 7 befestigt und läuft auf einer Aufzeichnungsplatte 8, um Spannungsänderungen an dem piezoelektrischen Element zu erzeugen, wenn eine Relativbewegung zwischen der Diamantenspitze und der Aufzeichnungsplatte stattfindet. Die Diamantenspitze hat die Form eines Schlittens.
Die leitende Schicht über der Diamantenoberfläche dient als Wärmeabführungsschicht und verringert die Reibung und die Tasterabnutzung. Dadurch wird die Lebensdauer des Tasters verlängert.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

  1. Patentansprüche:
    J. Abnehmertaster aus einem Diamantkern mit einer Bindeschicht und einer darauf aufgebrachten, elektrisch leitenden Schicht einer Titanlegierung, dadurch gekennzeichnet, daß die Titanlegierung aus einer Titan-Palladium-Legierung, Titan-Mangan-Legierung, Titan-Nickel-Legierung, Titan-Aluminium-Kupfer-Legierung, Titan-Aluminium-Zinn-Legierung, Titan-Aluminium-Molybdän-Legierung, Titan-Aluminium-Vanadium-Legierung, Titan-Aluminium-Eisen-Legierung, Titan-Aluminium-Chrom-Molybdän-Legierung, Titan- Aluminium-Molybdän-Vanadium-Legierung oder Titan-Aluminium-Chrom-Vanadium-Legierung besteht. '5
  2. 2. Verfahren zur Herstellung eines Abnehmeltasters nach Anspruch 1, bei dem eine Schicht einer Titanlegierung in einer nichtoxidierenden Atmosphäre auf eine Oberfläche eines erwärmten Diamantkerns aufgedampft wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Diamantkern in einer nitrierenden Atmosphäre aflf eine Temperatur im Bereich von 700 bis 1300° C erwärmt wird und daß die Titanlegierung eine Titan-Palladium-Legierung, Titan-Mangan-Legierung, Titan-Nickel-Legierung, Titan-Aluminium-Kupfer-Legierung, Titan-Aluminium-Zinn-Legierung, Titan-Aluminium-Molybdän-Legierung, Titan-Aluminium-Vanadium-Legierung, Titan-Aluminium-Eisen-Legierung, Titan-Aluminium-Chrom-Molybdän-Legierung, Titan-Aluminium-Molybdän-Vanadium-Legierung oder Titan-Aluminium-Chrom-Vanadium-Legierung ist.
  3. 3. Verfahren zur Herstellung eines Abnehmertasters nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrfachschicht aus Titan und Fremdmetall auf dem Diamantkern abgelagert und anschließend der Diamant in einer nitrierencien Atmosphäre erwärmt wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Fremdmetall Palladium, Mangan, Nickel, Aluminium, Kupfer, Zinn, Molybdän, Chrom und/oder Vanadium ist.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Erwärmen in einem Temperaturbereich von 700 bis 1300° C durchgeführt wird.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6051166B2 (ja) * 1977-03-28 1985-11-12 日本ビクター株式会社 静電容量型記録媒体
US4315358A (en) 1980-04-21 1982-02-16 Rca Corporation Method for the manufacture of capacitive pickup styli
US4827466A (en) * 1984-04-02 1989-05-02 Victor Company Of Japan, Ltd. Information signal recording medium electrostatic capacitance type
JPS6362863A (ja) * 1986-09-02 1988-03-19 Seikosha Co Ltd 金色を呈する物品
FR2731233B1 (fr) * 1995-03-03 1997-04-25 Kodak Pathe Systeme multicouche comprenant une couche de diamant, une interphase et un support metallique et procede pour obtenir ces couches
US6152977A (en) * 1998-11-30 2000-11-28 General Electric Company Surface functionalized diamond crystals and methods for producing same

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