DE2502720C2 - Verfahren zum Eichen eines korpuskularoptischen Gerätes und korpuskularoptisches Gerät zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Eichen eines korpuskularoptischen Gerätes und korpuskularoptisches Gerät zur Durchführung des Verfahrens

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DE2502720C2 DE19752502720 DE2502720A DE2502720C2 DE 2502720 C2 DE2502720 C2 DE 2502720C2 DE 19752502720 DE19752502720 DE 19752502720 DE 2502720 A DE2502720 A DE 2502720A DE 2502720 C2 DE2502720 C2 DE 2502720C2
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Thomson CSF SA
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045—Object or beam position registration

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  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
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