DE2457431A1 - Ionisationsvakuummeter - Google Patents

Ionisationsvakuummeter

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DE2457431A1
DE2457431A1 DE19742457431 DE2457431A DE2457431A1 DE 2457431 A1 DE2457431 A1 DE 2457431A1 DE 19742457431 DE19742457431 DE 19742457431 DE 2457431 A DE2457431 A DE 2457431A DE 2457431 A1 DE2457431 A1 DE 2457431A1
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DE
Germany
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anode
ion trap
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vacuum meter
ionization vacuum
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DE19742457431
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English (en)
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Hinrich Dipl Phys Dr Henning
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold Heraeus GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00Vacuum gauges
    • G01L21/30Vacuum gauges by making use of ionisation effects

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Ionisationsvakuummeter Die Erfindung bezieht sich auf ein Ionisationsvakuummeter mit einer zylinderförmigen, von einer Wendel oder einem zylindrischen Gitter gebildeten Anode, einer außerhalb der Anode angeordneten Kathode und einem innerhalb der Anode untergebrachten Ionenfänger (Bayard-Alpert-Prinzip)O Bei bekannten Ionisations-Vakuummetern dieser Gattnng liegt der Ionenfänger in der Achse der zylinderförmigen Anode Ebenfalls innerhalb des Anodengitters kann eine Modulator-Elektrode angeordnet sein, üblicherweise exzentrisch und dicht am Anodengitter. Sie dient zur Bestimmung des Röntgeneffektes Die im Innenraum des Anodengitters durch Stöße mit den Elektronen gebildeten ionisierten Gasteilchen wandern durch die zwischen Gitter und Ionenfänger liegende Spannung auf den Ionenfänger. Der zwischen Anodenfänger und Ionenfänger fließende Ionenstrom ist ein Maß für die Teilchendichte im Vakuum und damit im allgemeinen auch für den Druck Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Ionisationsvakuummeter der eingangs genannten Art zu schaffen, das im Vergleich mit den vorbekannten Ionisationsvakuummetern dieser Art wesentlich empfindlicher ist.
  • Die Lösung dieser Aufgabe beruht auf der Erkenntnis, daß sich bei den bekannten Innisations-Vakuummetern in Trioden-Bauweise wegen des rotationssymmetrischen Feldes innerhalb der Anode um den Ionenfänger eine positive Raumladung aufbaut, die den Ionenfänger gegen den äußeren Anodenraum abschirmt Die Raumladung entsteht, wenn die Ionen in dem zentralsymmetrischen elektrischen Feld zwischen Anode und Ionenfänger auf langen Bahnen um den Ionenfänger kreisen. Der Ionenfänger besteht üblicherweise aus meinem möglichst dünnen Draht, damit seine Oberfläche zur Vermeidung des Röntgeneffektes klein ist Desnalb können die Ionen bereits bei einer kleinen azimutalen Geschwindigkeitskomponente viele Male umlaufen, bevor sie auf den Ionenfänger auftreffen. Die Abschirmung des elektrischen Feldes im äußeren Anoden-Gitterraum bewirkt eine Verminder-;ng der Empfindlichkeit.
  • Erfindungsgemäß wird deshalb vorgeschlagen, bei einem nach dem Trioden-Prinzip arbeitenden Ionisations-Vakuummeter Mittel vorzusehen,die die Ausbildung eines zentralsymmetrischen Feldes mit logarithmischer Potentialverteilung zwischen Anode und Ionenfänger stören.Dadurch wird gleichzeitig die Ausbildung einer positiven Raumladung verhindert, was eine Empfindlichkeits-Verbesserung von mindestens 50 % zur Folge hat.
  • Eine Möglichketi, den Aufbau des logarithmischen Feldes zu verhindern, besteht darin, dem Ionenfänger eine von der bisher üblichen geraden und achsenparallelen Form abweichende Form zu geben, z.B. dadurch, daß der Ionenfänger eine oder mehrere Krümmungen aufweist.Dazu kann der Ionenfänger z,B, S- oder Z-formig ausgebildet sein oder eine Windung aufweisen Eine weitere Möglichkeit besteht darin, den Ionenfänger als zwei zueinander und zur Achse des Anodengitters parallel angeordnete dünne Stäbe oder Drähte auszubilden, wodurch ebenfalls der Aufbau eines rotationssymmetrischen Feldes gestört wird Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren la bis le und 2 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen: Figur la ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung mit einem eine Krümmung aufweisenden lonenfänger; Figuren lb bis e: weitere mögliche Ausführungsformen für den Ionenfänger nach Figur la und Figur 2 ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung mit einem aus zwei parallel angeordneten Elektroden bestehenden Ionenfänger zur Verhinderung des Aufbaues eines rotationssymmetrischen Feldes.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 sind die Elemente des erfindungsgemäßen Ionisationsvakuummeters auf einen Flansch 1 montiert, mit dessen Hilfe das System vakuumdicht an einen nicht dargestellten Rezipienten, in dem der Druck gemessen werden soll, angeschlossen werden kann Durch den Flansch 1 sind die der Spannungszuführung und der Halterung der Elemente dienenden Stifte 2 bis 6 vakuumdicht und elektrisch isoliert hindurchgeführt. Die Stifte 2 und 3 dienen der Spannungsversorgung der Kathode 7. Diese ist als feiner Metallfaden ausgebildet, welcher durch die Öse eines isoliert am Flansch 1 befestigten Trägers 9 geführt ist. Die Stifte 4 und 6 tragen die wendelförmige Anode 10. Im Zentrum der Anode 10 ist der vom Stift 5 gehalterte Ionenfänger 11 angeordnet, derzur Verhinderung des Aufbaus eines rotationssymmetrischen Feldes innerhalb der Anode 10 die von der Windung 12 gebildete Krümmung aufweist.
  • In den Figuren 1bis le sind weitere Ionenfänger 13, 14, 15 und 16 dargestellt, welche unterschiedlich ausgebildete, zoBo S-.oder Z-förmige Krümmungen aufweisen. Statt des Ionenfängers 11 in Figur la können auch diese Ionenfänger 13 bis 16 innerhalb der Anode 10 untergebracht sein Das Ausführungsbeispiel nach Figur 2 entspricht im wesentlichen dem Ausführungsbeispiel nach Figur 1a Der in Figur 2 dargestellte Ionenfänger ist jedoch stimmgabelförmig ausgebildet, d.h., er weist zwei zueinander und zur Achse der Anode parallel angeordnete dünne Stäbe oder Drähte 17 und 18 auf, wodurch der Aufbau eines rotationssymmetrischen Feldes gestört wird. Der Abstand der beiden Drähte voneinander soll zwischen dem 0,05 fachen und dem 0,5 fachen des Durchmessers vom Anodengitter betragen, vorzugsweise das O,lfache bis 0,25fache dieses Durchmessers. Zwar wird der Röntgeneffekt durch die größere Oberfläche des erfindungsgemäß ausgebildeten Ionenfängers proportional dazu wachsen Dies ist jedoch ohne Bedeutung, wenn die Empfindlichkeitssteigerung überproportional ist, d.h. wenn der Ionenstromanteil stärker steigt als der durch den Röntgeneffekt hervorgerufene Anteil.

Claims (6)

  1. A N 5 P R Ü C f E
    Ionisationsvakuummeter mit einer zylinderförmigen, von einer Wendel oder einem zylindrischen Gitter gebildeten Anode, einer außerhalb der Anode angeordneten Kathode und einem innerhalb der Anode untergebrachten Ionenfänger, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (11, 13 bis 16 oder 17, 18) vorgesehen sind, die den Aufbau eines zentralsymmetrischen Feldes mit logarithmischer Potentialverteilung zwischen Anode (10) und Ionenfänger stören.
  2. 2. Iönisationsvakuummeter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionenfänger (11, 13 bis 16) eine oder mehrere Krümmungen aufweist.
  3. 3. Ionisationsvakuummeter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionenfänger eine S- oder Z-Form aufweist.
  4. 4. Ionisationsvakuummeter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionenfänger (11) eine Windung(12) aufweist.
  5. 5. Ionisationsvakuummeter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionenfänger zwei zueinander und zur Achse der Anode parallele Drähte (17,18) aufweist.
  6. 6. Ionisationsvakuummeter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der beiden Drähte (17,18) das 0,o5fache bis 0,Sfache des Durchmessers der Anode (10) beträgt.
    Leerseite
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19907994A1 (de) * 1999-02-25 2000-09-07 Luebken Franz Josef Ionisationsmanometer-Ultrahochvakuummeßröhre

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19907994A1 (de) * 1999-02-25 2000-09-07 Luebken Franz Josef Ionisationsmanometer-Ultrahochvakuummeßröhre
DE19907994C2 (de) * 1999-02-25 2001-01-18 Luebken Franz Josef Ionisationsmanometer-Ultrahochvakuummeßröhre

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