DE2453227C2 - Verfahren zur metallisierung von keramischen oder glaesernen traegerkoerpern - Google Patents
Verfahren zur metallisierung von keramischen oder glaesernen traegerkoerpernInfo
- Publication number
- DE2453227C2 DE2453227C2 DE19742453227 DE2453227A DE2453227C2 DE 2453227 C2 DE2453227 C2 DE 2453227C2 DE 19742453227 DE19742453227 DE 19742453227 DE 2453227 A DE2453227 A DE 2453227A DE 2453227 C2 DE2453227 C2 DE 2453227C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- silica
- layer
- ceramic
- support bodies
- metal deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/18—Pretreatment of the material to be coated
- C23C18/1851—Pretreatment of the material to be coated of surfaces of non-metallic or semiconducting in organic material
- C23C18/1872—Pretreatment of the material to be coated of surfaces of non-metallic or semiconducting in organic material by chemical pretreatment
- C23C18/1886—Multistep pretreatment
- C23C18/1893—Multistep pretreatment with use of organic or inorganic compounds other than metals, first
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3607—Coatings of the type glass/inorganic compound/metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3642—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating containing a metal layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3697—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one metallic layer at least being obtained by electroless plating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1633—Process of electroless plating
- C23C18/1646—Characteristics of the product obtained
- C23C18/165—Multilayered product
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1633—Process of electroless plating
- C23C18/1689—After-treatment
- C23C18/1692—Heat-treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/389—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of a coupling agent, e.g. silane
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/40—Coatings comprising at least one inhomogeneous layer
- C03C2217/425—Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a porous layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/18—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft em Verfahren zur Metallisierung von kermaischen oder gläsernen Trägerkörpern
durch stromlose Metallabscheidung in einem Vormetallisierungsbad, wobei zur Erhöhung der
Haftfestigkeit des Metalls auf den Trägerkörpefh vor
oder während der stromlosen Metallabscheidung auf die Trägerkörper oder nach der stromlosen Metallabscheidung
auf die dünne, noch nicht völlig geschlossene Metallschicht eine Kieselsaureschicht abgelagert
wird oder die genannten Ablagerungsvorgänge kombiniert und die Trägerkorper abschließend erhitzt
werden, nach Patent 2004133.
In der Elektrotechnik werden beispielsweise bei der Herstellung von Dünn- oder Dickfilmschaltungen bevorzugt
keramische Materialien, wie etwa hochreine Aluminiumoxid-Keramik sowie Quarz oder Borosilicatgläser
als Trägerwerkstoffe verwendet. Diese Materialien werden hierzu im Hochvakuum durch Bedampfen
mit Metallen beschichtet und dann durch Fotoätzverfahren weiterbehandelt. Nachteilig bei diesem
Verfahren ist jedoch die geringe Haftfähigkeit deraufgebrachten Schichten, insbesondere bei Oberflächen
mit geringer Rauhigkeit, was wiederum eine mangelnde Widerstandsfähigkeit der Schichten gegenüber
mechanischer Beanspruchung zur Folge hat.
Das Hauptpatent beschäftigt sich daher mit der Aufgabe, ein Verfahren zum stromlosen Aufbringen
von Metallschichten auf solche Trägermateriaiien anzugeben, durch welches die Haftfestigkeit der Schichten
auf den Trägerkörpern erhöht werden kann. Zur Erreichung dieses Zieles wird gemäß dem Hauptpatent
vorgeschlagen, die Metallabscheidung mit der Abscheidung einer Kieselsaureschicht zu kombinieren,
was beispielsweise gleichzeitig oder in zeitlich aufeinanderfolgenden Verfahrensschritten geschehen
kann, und die Trägerkorper anschließend zu erhitzen. Zur Ablagerung der Kieselsaureschicht wird hierzu
eine wäßrige Alkaiisilicat-Lösung, z.B. Natronwasserglas-Lösung, verwendet.
Obgleich mit Hilfe solcher wäßriger Alakisilicat-Lösungen die Haftfestigkeit metallischer Schichten
auf bestimmten Trägerkörpern zum Teil wesentlich erhöht werden kann, gibt es dennoch Trägermaterialien,
bei denen die hierdurch erzielten Hafteigeuschaften noch nicht optimal sind.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren gemäß dem Hauptpatent anzugeben, mit
dessen Hilfe auch bei Trägerkörpern insbesondere mit
glatter Oberfläche die Haftfähigkeit noch weiter gesteigert werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch geig löst, daß die Kieselsäureschicht durch Hydrolyse von
Kieselsäureestern oder Halogensilanen oder Siliciumhalogeniden oder organischen Siliciumverbindungen
oder aus einer feindispersen Lösung oder einer Suspension oder einem Sol oder einem Gel von Kieseiao
säure abgelagert wird.
An Stelle der wäßrigen Lösungen können demnach
zur Erzeugung der Kieselsäureschicht auch Lösungen mit nichtwäßrigen Lösungsmitteln und/oder Gemische
von Wasser mit anderen Losungsmitteln bea5
nutzt werden, in denen Kieselsäure und/oder deren Salze gelöst sind. Darüber hinaus ist es auch möglich.
Lösungen anderer Siliciumverbindungen in Wasser und/oder nichtwäßrigen Lösungsmitteln oder Losungsmittelgemischen
an Stelle der Kieselsäure oder ihrer Salze anzuwenden, falls diese Siliciumverbindungen
auf einer feuchten, mit abdorbiertem Wasser bedeckten Trägeroberfläche und/oder während eines
Spül vorgangs in Wasser oder wasserhaltigen Lösungsmitteln und/oder beim Einbringen in das wäßrige
Vormetallisierungsbad zu Kieselsäure hydrolysiert werden. Außerdem kann an Stelle einer echten Losungeine
kolloidale Lösung, eine Suspension, ein Sol oder ein Gel der Kieselsäure oder von Siliciumdioxid
verwendet werden. Solche Dispersionen können beispielsweise durch Ansäuern einer Silicatlösung, durch
Hydrolyse eines Kieselsäureesters, von Siliciumtetrachlorid und von siliciumorganischen Verbindungen,
wie etwa Silane, Siloxane oder Halogensilane oder durch Dispergieren handelsüblicher pyrogener
Kieselsäuren erzeugt werden. Letztere werden vorzugsweise durch Flammenhydrolyse von Siliciumtetrachlorid
bei 1100° C hergestellt und besitzen eine Netzstruktur mit Hohlräumen. Je nach Einstellung
können pyrogene Kieselsäuren hydrophob oder hydrophil sein, so daß sie sowohl in wäßrigen als auch
in nichtwaßrigen Medien eingesetzt werden können. Durch die letztgenannten Verfahren, insbesondere
durch Ablagerung aus einer Suspension, wird eine poröse Kieselsaureschicht gebildet, die eine relativ große
Oberfläche aufweist. Die darauf aufzubringende Metallschicht kann auf diese Weise noch intensiver in der
Kieselsaureschicht verankert werden, so daß hierdurch noch eine weitere Steigerung der Haftfähigkeit
der Metallschicht möglich ist.
6„ Folgende Beispiele sollen die erfindungsgemäße
Erzeugung der Kieselsaureschicht vor und/oder während und/oder nach der stromlosen Metallisierung
verdeutlichen.
Ein gereinigtes Aluminiumoxid-Substrat wird vor der Sensibilisierung in salzsaurer wäßriger Zinn(II)-
chloridlötung in eine Lösung eines Pentakieselsäureathylesters
in einem alkalischen Wasser/Alkohol-Gemisch getaucht:
Pentakieselsäureäthylester
Monoäthanolamin
Äthylalkohol mit 15% Wasser
Monoäthanolamin
Äthylalkohol mit 15% Wasser
1000 ml
200 ml
Dabei überzieht sich die Al,O3-Keramik mit einem
Film des in der Lösung bereits vorhydrolysierten Kieselsäureesters,
der beim Eintauchen der Keramik in die saizsaure Sensibilisierungslösung rasch vollständig
hydrolysiert. Dieser Vorgang dauert bei Raumtemperatur 8 bis 10 Minuten. Daran schließen sich dann
die weiteren Verfahrensschritte, wie etwa Sensibilisierung, Aktivierung, stromlose Metallabscheidung,
Erhitzung des Trägerkörpers und gegebenenfalls galvanische Metallisierung an.
Die Sensibilisierungs- und/oder Aktivierungslösung und/oder das chemische, reduktive Vormetallisierungsbad
und/oder das Spülmittel vor und/oder zwischen und/oder nach den einzelnen Verfahrensschritten und/oder ein anderes Medium in einem separaten
Verfahrensschritt enthält 0,4 Gesichtsprozenl handelsübliche pyrogene Kieselsäure mit einer BET-Oberfläche
von 80 nr/g, einem Al,O3-Gehalt von
etwa 1 % und einer Pirmärteilchengröße von 30 nm.
Beim Tauchen der Keramik in eine solche Dispersion lagert sich wasserhaltige Kieselsäure auf der Oberfläche
ab. Die Tauchzeit benötigt nur wenige Minuten, beispielsweise 5 Min. beim Sensibilisierungs- und Aktivierungsbad
mit 4% Kieselsäure vom Schüttgewicht 60 g/l und bei Raumtemperatur. Die weiteren Verfahrensschritte
entsprechen denjenigen in Beispiel 1.
Claims (2)
1. Verfahren zur Metallisierung von keramischen oder gläsernen Trägerkörpern durch stromlose
Metallabscheidung in einem Vormetallisierungsbad, wobei zur Erhöhung der Haftfestigkeit
des Metalls auf den Trägerkörpern vor oder während der stromlosen Metallabscheidung auf die
Trkgerkörpcr oder nach der stromlosen Metallabscheidung
auf die dünne, noch nicht völlig geschlossene Metallschicht eine Kieselsäureschicht
abgelagert wird oder die genannten Ablagerungsvorgänge kombiniert und die Trägerkörper abschließend
erhitzt werden, nach Patent 2004 133, dadurch gekennzeichnet, daß die Kieselsäureschicht
durch Hydrolyse von Kieselsäureestern oder HaJogensüanert oder Siliciumhalogeniden
oder organischen Siliciumverbindungen oder aus einer feindispersen Lösung oder einer Suspension
oder einem Sol oder einem Gel von Kieselsäure abgelagert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet,
daß die Kieselsäuresehicht porös ausgebildet wird
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19742453227 DE2453227C2 (de) | 1974-11-09 | 1974-11-09 | Verfahren zur metallisierung von keramischen oder glaesernen traegerkoerpern |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19742453227 DE2453227C2 (de) | 1974-11-09 | 1974-11-09 | Verfahren zur metallisierung von keramischen oder glaesernen traegerkoerpern |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2453227B1 DE2453227B1 (de) | 1976-02-26 |
DE2453227C2 true DE2453227C2 (de) | 1976-10-28 |
Family
ID=5930440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19742453227 Expired DE2453227C2 (de) | 1974-11-09 | 1974-11-09 | Verfahren zur metallisierung von keramischen oder glaesernen traegerkoerpern |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2453227C2 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3204425A1 (de) * | 1982-02-09 | 1983-08-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur herstellung freitragender metallgitterstrukturen |
EP0133916B1 (de) * | 1983-08-08 | 1988-11-23 | International Business Machines Corporation | Verfahren zur Herstellung eines dünnen isolierenden Überzugs auf einem Substrat |
JPH01500913A (ja) * | 1986-09-30 | 1989-03-30 | マクダーミッド,インコーポレーテッド | 非導電性基体の金属化のための方法 |
-
1974
- 1974-11-09 DE DE19742453227 patent/DE2453227C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2453227B1 (de) | 1976-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3300589C2 (de) | ||
EP0897898B1 (de) | Verfahren zur Abscheidung optischer Schichten | |
DE102004051846B4 (de) | Bauteil mit einer Reflektorschicht sowie Verfahren für seine Herstellung | |
AT207058B (de) | Verfahren zur Herstellung eines leitfähigen, nichtmetallischen Überzuges auf einem nichtleitenden Gegenstand | |
DE10209949A1 (de) | Glaskörper mit poröser Beschichtung | |
DE102005020168A1 (de) | Entspiegelungsschicht und Verfahren zu deren Aufbringung | |
DE2338079A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer als fluessige silikatquelle dienenden loesung | |
DE3701654A1 (de) | Verfahren zur behandlung anorganischer ueberzuege | |
DE3841255C2 (de) | ||
EP0210437B1 (de) | Verfahren zur chemischen Metallisierung eines elektrisch schlecht leitenden Trägerkörpers aus einem anorganischen Material | |
EP0022280B1 (de) | Verfahren zum Ätzen von Silizium-Substraten | |
DE69636224T2 (de) | Adhäsion von metall auf glass | |
DE2453227C2 (de) | Verfahren zur metallisierung von keramischen oder glaesernen traegerkoerpern | |
DE1066267B (de) | ||
AT398753B (de) | Pyrolytisch beschichtetes flachglas und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2453192C3 (de) | Verfahren zur Verbesserung der Haftfestigkeit von Metallschichten auf elektrisch nicht leitenden Trägerkörpern | |
DE19828231A1 (de) | Verfahren zur Abscheidung optischer Schichten | |
DE1544281C3 (de) | Verfahren zum Dotieren von Silicium- Halbleitermaterial | |
EP1381711B1 (de) | Verfahren zum veredeln von metallischen oberflächen zur vermeidung von thermischen anlauf-farben | |
DE102005025796A1 (de) | Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus glasigem oder keramischem Werkstoff mittels einer Verbindungsmasse, SiO2-haltiges Fügemittel zur Durchführung des Verfahrens sowie nach dem Verfahren erhaltener Bauteilverbund | |
DE102005000865A1 (de) | Verfahren zum Niedertemperatur-Zusammenfügen von Körpern und verfahrensgemäß hergestellte Erzeugnisse | |
DE19614676C2 (de) | Verfahren zur Veredelung von SiC-Heizstäben | |
DE102015203307B3 (de) | Verfahren zur Herstellung optisch wirksamer Elemente | |
DE2262021C2 (de) | Verfahren zur Dotierung von Halbleitersilicium | |
EP1407487B1 (de) | Sollösung zur herstellung von glasbeschichtungen für elektrisch leitende, zum anodischen bonden einsetzbare materialien |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: SCHERING AG, 1000 BERLIN UND 4709 BERGKAMEN, DE |