DE2443608A1

DE2443608A1 - Akustische oberflaechenwellenanordnung

Info

Publication number: DE2443608A1
Application number: DE2443608A
Authority: DE
Inventors: Richard Frank Mitchell; Richard Stevens
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1973-09-17
Filing date: 1974-09-12
Publication date: 1975-03-20
Also published as: BE819969A; US3955159A; GB1413916A; FR2244302A1; SE392375B; JPS5057747A; ES430055A1; IT1020800B; SE7411541L; FR2244302B1

Description

Dr. If-erfccrt Sl-Ji»J» . . PHB 32371

Anmelder: N. V. Philips' Gioeilampenfabrlekeo 29. 7.

AkteNo.jPHB-32.371

Anmeldung vom: 11. Sept. 1974

"Akustische Oberflächenwellenanordnung" .

Die Erfindung bezieht sich auf eine akustische Oberflächenwellenanordnung.

Durch die Anwendung akustischer Oberflächenwellen konnten Anordnungen, wie frequenzselektive Filter, hergestellt werden, die klein_s gedrängt und ausserdem mit Techniken zur Herstellung integrierter Schaltungen kompatibel sind hergestellt werden können. Bei derartigen Anordnungen können Schwierigkeiten, z.B. in bezug auf den Umfang und die Herstellungskosten, die sich beim Anbringen von Induktoren ergebenj vermieden werden.

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Ein akustisches Oberflächenwellenfilter wird gewöhnlich durch eine dünne Scheibe aus piezoelektrischem Material gebildet, wobei auf einer Oberfläche dieser Scheibe ein Sende- und ein Empfangswandler angebracht sind, die eine akustische Oberflächenwelle aussenden bzw. empfangen, die sich über die Oberfläche fortpflanzt. Jeder Wandler¹ enthält normalerweise eine interdigitale Matrix streifenförmiger Elektroden, welche Matrizen z.B. durch einen photolithographischen Vorgang aus einer Schicht aus einem geeigneten Metall gebildet werden, die auf der Oberfläche der Scheibe abgelagert wird.

Der Frequenzbereich des Filters wird durch

die Anzahl, den gegenseitigen Abstand und die dimensiona-.Ie Konfiguration der jeden Wandler bildenden Elektroden bestimmt. Zur Erleichterung der Berechnungen wird ein mathematisches Modell der Matrix in Betracht gezogen, bei dem jede Elektrode als eine gesonderte akustische OberflächenwGllenquelle betrachtet wird, wobei sich die mit diesem Modell erzielten Ergebnisse im allgemeinen in der Praxis beim Entwerfen als befriedigend erwiesen haben. Durch Anwendung von Techniken der Fourier-Synthese 'und der Rechenanlagenoptimierung auf diesem mathematischen Modell kann eine geeignete relative Verteilung des Umfangs und des gegenseitigen Abstandes'derartiger Quellen in den Sende- und Empfangswandlermatrizen bestimmt wer-

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den, wodurch, eine gute Annäherung einer gewünschten Bandresonanzkurve erhalten werden kann.

Der gegenseitige Abstand der Sende- und Empfangswandler in der Fortpflanzungsrxchtung der akustischen Oberflächenwellen führt eine Verzögerung in den Signalweg ein; bei vielen Anwendungen ist jedoch eine derartige Verzögerung nicht wichtig oder kann berücksichtigt werden.. Diese Verzögerung ist z.B. im Falle eines Zwischenfrequenzfilters für einen Fernsehempfänger, weil das ganze empfangene Signal die gleiche Verzögerung erhält, einfach einer Verschiebung der Empfangsantenne weiter von dem Sender äquivalent. Auch kann diese Eigenschaft der Anordnung zum Erhalten der gewünschten Verzögerung benutzt werden.

Ein Problem der obenbeschriebenen Anordnungen besteht dariri, dass neben einem gewünschten von der von einem Wandler zu dem anderen laufenden Oberflächenwelle· erzeugten Signal auch unerwünschte Signale auftreten, die von akustischen Oberflächenwellen erzeugt werden, die vom Rande der Scheibe hinter dem Sendewandler und dem Empfangswandler reflektiert werden. Diese reflektierten akustischen Oberflächenwellen ereeugen Streusignale im Ausgang des Emptfangswandlers, die auf einen annehmbaren Pegel herabgesetzt Airerden müssen, damit sie. die Yirkung der Anordnung nicht beeinträchtigen. Ein bekanntes Verfahren zur Herabsetzung dieser Streusignale

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besteht darin, dass die reflektierten Wellen dadurch unterdrückt werden, dass ein absorbierendes Material, vie schwarzes Wachs, an den Rändern der Scheibe angebracht wird. Diese Technik ist jedoch umständlich und bildet einen zusätzlichen Schritt in der Herstellung der Anordnung, wodurch die Kosten erhöht werden.

Die Erfindung bezweckt, Mittel zu schaffen, durch die das Problem der an den Enden reflektierten akustischen Oberflächenwellen verringert wii^d, ohne dass die Nachteile auftreten, die dem bekannten Verfahren inhärent sind, bei dem ein absorbierendes Material an den Rändern der Scheibe angebracht wird.

Nach der Erfindung ist eine akustische Oberflächenwellenanordnung mit einer Scheibe aus piezoelektrischem Material, auf einer deren Oberflachen ein Sendewandler und ein Empfangswandler gebildet werden, die je mindestens eine interdigitale Elektrodenraatrix enthalten, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandler oder zusätzliche Mittel derart auf der genannten Oberfläche angeordnet sind, dass beim Betrieb akustische Ober- flächenwellen, die von den Enden der Scheibe reflektiert werden, am Ernpfangswandler über einen oder mehrere Teile seiner Öffnung zu .„Oberflächenwellen über den verbleibenden Teil seiner Öffnung gegenphasig sind, damit das Signal im Ausgang des Empfangswandlers infolge der van den Enden reflektierten Wellen erheblich herabge-

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setzt wird.

Eine erste bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemässen Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Sendewandler in der Mitte seiner Öffnung in der Fortpflanzungsrichtung der Oberflächenwellen gegenseitig versetzt ist, so dass beim Betrieb akustische Oberflächenwellen mit einer Phasenverschiebung von 90° in zwei Kanälen emittiert werden, und dass der Empfangswandler in der Mitte seiner öffnung gegenseitig versetzt ist, derart, dass direkt vom .Sendewandler herrührende akustische Oberflächenwellen mit gleicher Pha.se in den beiden Kanälen empfangen werden, während an den Enden der Scheibe reflcktiei"te' akustische Oberflächenwellen mit entgegengesetzten Phasen in den beiden Kanälen empfangen werden.

Dabei kann der Sendewandler eine einzige interdigital e Elektrodenmatrix enthalten, deren Finger in der !Mitte der öffnung des Sendewandlers versetzt sind oder kann eine doppelt ausgeführte Elektrodenmatrix enthalten,wobei jeder Abschnitt dieses Wandlers annähernd die Hälfte der öffnung des.Sendewandlers beansprucht und die Finger der beiden Abschnitte gegeneinander versetzt sind.

Eine zweite bevorzugte Ausführuiigsforra der

Erfindungsgemässen Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass hinter dem Sendewandler eine oder mehrere Metallschichten angebracht sind, die die Kä.lfte der öffnung

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des Empfangswandlers beanspruchen und die je die Geschwindigkeit akustischer Oberflächenwellen, die unter ihr passieren, um einen Betrag ändern können, der einer Phasenänderung von 90° äquivalent ist, wodurch beim Betrieb akustische Obei-flächemvellen, die an dem Ende der Scheibe hinter dem Sendewandler reflektiert werden und zweimal unter eine genannten Metallschicht passiert sind, am Empfangswandler zu akustischen Oberflächenwellen gegenphasig sind, die ari dem Ende der Scheibe hinter dem Sendewandler reflektiert werden und nicht unter einer genannten Metallschicht passiert sind, und dass auch zusätzliche Mittel auf der Oberfläche der Scheibe angebracht sind, wodurch beim Betrieb akustische Oberflächenwellen, die an dem Ende der Scheibe hinter dem Empfangswandler reflektiert werden, über einen oder¹ mehreren Teile seiner öffnung zu denen über den verbleibenden Teil seiner öffnung gegenphasig sind.

Eine sehr einfache Realisierung dieser Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass Endeelektroden des Sendewandlers derart verlängert werden, dass sie die Hälfte der öffnung des Empfangswandlers beanspruchen, wobei jede verlängerte Endeelektrode die Geschwindigkeit akustischer Oberflächenwellen, die unter ihr passieren, um einen Betrag ändern kann, der einer Phasenänderung von 90° äquivalent ist, wodurch beim Betrieb akustische Obqrflächenwellen, die an dem Ende

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der Scheibe hinter dem Empfahgswandler reflektiert verden und zweimal unter einer verlängerten Endeelektrode passiert sind, am Einpfangswandler zu akusti sehen Oberflächenwellen gegenp'hasig sind, die an dem Ende der Scheibe hinter dem Sendewandler reflektiert werden und nicht, unter einer verlängerten Endelektrode passiert sind, und dass auch zusätzliche Mittel auf der Oberfläche der Scheibe angebracht sind, wodurch beim Betrieb akustische Oberflächenwellen, die an dem Ende der Scheibe hinter dem Empfangswandler reflektiert werden, über einen oder mehrere Teile seiner Öffnung zu denen über den verbleibenden Teil seiner öffnung gegenphasig sind.

Einige Ausführungsformen der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen;

Figuren 1, 2, 3 uiid h schematisch eine Draufsicht auf eine erste, eine zweite, eine dritte bzw. eine vierte Ausführungsform eines akustischen Oberflächenwel-

lenfilters nach der Erfindung·

In Fig. 1 sind auf der oberen Fläche einer Scheibe 1 aus piezoelektrischem Material ein Sendewandler 2 und ein Empfangs wandler 3 angebracht. Die "Wandler enthalten Matrizen interdigitaler Elektroden, die auf der Oberfläche des -Körpers 1 auf geeignete Weise dürfen einen photolithographischen Vorgang aus einer aufgedampften Metallschicht gebildet werden.

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Der Sendewandler 2 ist eine einfach ausgeführte interdigitale Elektrodenmatrix, mit deren Hilfe akustische Oberflächenwellen parallel zu der Fortpflanzungsrichtung

4 akustischer Oberflächenwellen auf den Empfangswandler gerichtet werden können. Der Empfangswandler 3 ist ebenfalls eine einfach ausgeführte interdigitale Elektrodenmatrix, mit deren Hilfe die akustische Oberflächenwellen empfangen werden können, die vom Wandler 2 emittiert werden. Jede der Matrizen 2 -bzw. 3 kann derart eingerichtet sein, dass die äquivalente Quellenintensität in der Lage jeder Streifenelektrode oder jedes Fingers

5 durch die Einstellung des Ausmasses der Überlappung zwischen diesem Finger und den beiden benachbarten Fingern entgegengesetzter Polarität vorher bestimmt wird.

Parallele leitende'Streifen 6,7 verbinden Enden von Fingern 5 der gleichen Polar.ität miteinander und führen zu Eingangsklemmen 8 bzw. 9 des Sendewandlers 2. Parallele Streifen 10,11 verbinden Enden von Fingern 5 der gleichen Polarität miteinander und führen zu Ausgangsklemmen 12 bzw. 13 des Empfangswandlers 3·

Die Begrenzungen der Umhüllenden der Überlappungen zwischen den Fingern definieren die akustische öffnung der Wandler 2 und 3· Auf beiden Wandlern 2 und 3 sind die Finger 5 in der Mitte der öffnung derart gegeneinznder versetzt, dass zwei Kanäle A und

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B definiert werden. Die Fingerteile im Kanal A sind in der Fartpflanzungsrichtung ^f der akustischer- Oberflächenvrellen bei der ßrundbetriebsfrequenz der Anordnung über eine Yiertel-wellenlänge (^ /k) dieser Oberflächenwellen zu dem linken Ende L der Scheibe in beziig auf die Lagen der Fingerteile im Kanal B verschoben»

Beim Betrieb erzeugt der Sendewandler 2 akustische Oberflächenwelle«, die zu dem Empfangswandler 3 in der Fortpflanzungsrichtung h wandern. Infolge der gegenseitigen Versetzung d&T^ Finger· in der Mitte der öffnung des Wandlers 2 eilen die in dieser Richtung ±m Kanal A ■wandernden Wellen gegenüber denen im Kanal B um /t/4. nach·» aber infolge der entsprechenden gegenseitigen Zersetzung der Finger in der Mitte der öffnung des Eiiipfang-swaadlers 3 werden die Wellen in beiden Kanälen in Phase am Bmrpfangswandler 3 empfangen und tritt im gexrfinschten Signal kein Verlust auf. Der Send expandier 2 erzeugt auch unerwünschte akustische Oberflächemcellen„ die zvi dem linken. Ende L· der Scheibe 1 icartdern, das senk— recikt ssxiT der Fortpflanzungsriclitung ^l steht; an diesen!: Ende werden sie reflektiert: mud vraneiern dann zu dean Eirspfangsieandler 3- Am Ende L der Scheibe eilen diese unerwünschtem TsTeIlen ins Kanal A ura /L /h gegenüber· den UMeTTTHHschfcert Kellen ins- Kanal B vor, was auch nach Reflexion zutrifft, Bie gegenseitige Versetzung der Finger JBepfaragsiiraifudtlei" 3 führt; eine weitere ¥ergrössernng

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von /L/h des Phasenunterschiedes zwischen diesen unerwünschten !fellen in den beiden Kanälen herbei, die also voiQ Enapfangswandler 3 mit einer Phasenverschiebung von I8ö°' empfangen werden und sich daher neutralisieren, sodass Iceiiie Streusignale erzeugt werden. Ein Teil der vom Sendewandler 2 erzeugten Wellen in Richtung auf dem Empfangswandler 3 wandert durch das rechte Ende R der Scheibe 1i„ das senkrecht auf der Fortpflanzungsrichtung h stellt} an diesem Ende' werden sie reflektiert und wandern dann als unerwünschte Oberflächenwellen zu dem Erapfan-gs wandler 3. -Am Ende R der Scheibe eilen diese unerwünschten ¥ellen im Kanal Λ um /t/h gegenüber den unerwünschten Wellen im Kanal. B nach, was auch nach Reflexion zutrifft. Die gegenseitige Versetzung der Finger ißt Eiiipfangswandler 3 vergrössert den Phasenunterschied um einen weiteren Betrag von A-/h, so dass diese unerwün 8 eis teil Wellen in den beiden Kanälen am Etnpf angswandler 3 zueinander gegenphasig sind und keine Streusignale erzeugt werden.

Es ist einleuchtend, dass.eine vollständige KeHtralisierong der an den Enden reflektierten ¥ellen, wie oben atm Hand der Fig. 1 beschrieben ist» davon ab— hängt, ob die Bedingungen in den beiden Kanälen einander gemam gleich sind» was. u.a. eine "vollkommene Ausrichtung der Wandler 2 und 3 in bezug auf vollkommen gerade linder L· und R .der Scheibe bedeutet, welche Rän—

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der zu der Fortpf lanzungsrichtung senkrecht sind. In der Praxis wird wenigstens eine erhebliche Herabsetzung der Streusignale im Empfangswandlerausgang infolge dieser unerwünschten an den Enden reflektierten akustischen Oberflächenwellen erhalten.

Eine andere bekannte Abwandlung der üblichen

einfach ausgeführten "einen akustischen Oberflächenwellen- ' wandler bildenden Elektrodenmatrix, bei.der eine niedrige Ein- oder Ausgangsimpedanz zur Anpassung an die Schaltung, in der das akustische Oberflächenwellenfilter aufgenommen ist, erforderlich ist, ist der durch eine doppelt ausgeführte Elektrodenmatrix gebildete Wandler. Für eine gegebene gesamte akustische öffnung hat-ein doppelt ausgeführter Wandler, dessen beide Abschnitte in Reihe geschaltet sind, eine Kapazität gleich einem Viertel der Kapazität eines einfach ausgeführten Wandlers.

Fig. 2 zeigt eine Anordnung, die sich darin von der nach Fig. 1 unterscheidet, dass die Wandler und 3 beide doppelt ausgeführte interdigitale Elektrodenmatrizen statt der einfach ausgeführten Elektrodenmatrizen nach Fig. 1 enthalten. Der Sendewandler 2 und der Empfangswandler 3 enthalten zwei interdigitale Elektrodenmatrizen 21,22 bzw. 31,32, die sich in den benachbarten Kanälen A und B befinden. Die Finger 51 der Matrizen 21 und 31 sind in der gleichen Richtung .um eine Viertelwellenlänge gegen die entsprechenden

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Finger 52 der Matrizen 22 und 32 verschoben. Beim Betrieb gelangen die akustischen Oberfläclienwellen, die von dem Sendemrandler 2 erzeugt und von den Enden L und R der Scheibe 1 reflektiert werden, an den Empfangswandler 3 mit entgegengesetzten Phasen in den beiden Kanälen A und B. Die gegenseitige Verschiebung um eine Viertelwellenlänge hat somit den gleichen Effekt wie bei der Anordnung nach Fig. 1. '

Fig. 3 zeigt ein akustisches Oberflächenwellenfilter mit einem Sendewandler 2 und einem Empfangswandler 3> die je eine übliche einfach ausgeführte, interdigitale Elektrodenmatrix enthalten. Die Oberfläche der Scheibe 1 hinter dem Wandler 2, d.h. zwischen dem Wandler 2 und dem linken Ende L der Scheibe, ist mit einem metallisierten Teil 14 versehen, der sich über die Hälfte der akustiächen Öffnung der Wandler 2 und 3, d.h. über den Kanal A, erstreckt.

Es ist bekannt, dass die Geschwindigkeit akustischen Oberflächenwellen durch Wanderung unterhalb einer metallisierten Oberfläche auf einem piezoelektrischen Material beeinflusst wird. Wenn die Kopplungskonstante für akustische Oberflächenwellen für das besondere Material der'Scheibe 1 und die Dicke und die mechanischen Eigenschaften der Metall-schicht bekannt sind, können daraus die Geschwindigkeitsänderung und somit die Phasenänderung bei einer besonderen Grund-

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frequenz einer akustischen Oberflächenwelle infolge ihrer Wanderung unterhalb- einer metallisierten Oberfläche einer vorgegebenen Länge in der Bahn der Welle berechnet werden. Die Länge des metallisierten Teiles

14 wird dementsprechend derart gewählt, dass nach der Wanderung unterhalb dieses Teiles die Geschwindigkeit von Oberflächenwellen im Kanal A um einen Betrag geändert wird, der einer Phasenänderung von 90° in bezug .auf Oberflächenwellen im Kanal B äquivalent ist.

Beim Betrieb erzeugt der Sendewandler 2 unerwünschte akustische Oberflächenwellen, die zu dem linken Ende L der Scheibe wander-η, an dem sie reflektiert werden, wonach sie zu dem Empfangswandler 3 wandern. Diese unex*wünschtenWellen im Kanal A passieren zweimal unterhalb des metallisierten Teiles 14 und erfahren jedes Mal eine Phasenänderung im gleichen Sinne von 90°. Die unerwünschten Wellen in den Kanälen A und B werden somit von dem Wandler 3 mit einer Phasenverschiebung von 18O° empfangen und neutralisieren sich derart, dass kein Streusignal erzeugt wird.

Ein dem Teil 14 ähnlicher metallisierter Teil

15 ist im Kanal A hinter dem Empfangswandler 3» d.h. zwischen dem Wandler 3 und dem rechten Ende R der Scheibe 1, angeordnet. Ein .Teil der vom Sendewandler 2 in Richtung auf den Empfangswandlex" 3 emittierten akustischen Oberflächenwellen durchläuft das rechte

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Ende R der Scheibe'1, an dem sie reflektiert werden, wonach sie als unerwünschte Oberflächenwellen zu dem Empfangswandler 3 wandern. Diese unerwünschten Wellen im Kanal A passieren zweimal unterhalb des metallisierten Teiles 15 und weisen also eine Phasenverschiebung von 18O° in bezug auf die unerwünschten "Wellen im Kanal B am Empfangswandler 3 auf und neutralisieren sich.

Statt durch die Anordnung eines einzigen

metallisierten Oberflächente'iles hinter jedem Wandler, wie in Fig. 3» kann derselbe Effekt dadurch erzielt werden, dass zwei oder mehr metallisierte Teile hinter einem Wandler* oder den beiden Wandlern angeordnet werden.' Die Summe der Breiten der zwei oder mehr metallisierten Teile muss jedenfalls derartig sein, dass die Hälfte der akustischen öffnung der Wandler bedeckt wird, so dass die an den Enden reflektierten Wellen über diese Hälfte zu den an den Enden reflektierten Wellen über die andere Hälfte der öffnung des Empfangswandler 3 gegenphasig sind.

Fig. h zeigt eine Anordnung, die eine Abwandlung von der nach Fig. 3 ist. Die Endteile 8, 9> 12 und 13 der Fig. 3 sind vergrössert und bilden die Endteile 81, 91, 121 und 131. Die Teile 81 und 9Λ weisen die gleiche Länge in der Bahn der akustischen Oberflächenwellen vie die Teile 1-1 der Anordnung nach Fig. 3 auf, wodurch eine Phaseimacheilung von 18O° nach zweimaligem

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Passieren unter diesen Teilen erhalten wird, wobei diese Teile zusammen die Hälfte der akustischen Öffnung der " Wandler bedecken. Die verbleibende Hälfte der akustischen Öffnung definiert hier einen Kanal C. Die Teile 121 und 131 erfüllen ebenfalls die gleiche Funktion wie der Teil 15 der Anordnung nach Fig. 3· Die vergrosserten Teile 81, 91» 121 und 131 neutralisieren nicht nur unerwünschte an den Enden reflektierte akustische Oberflächenwellen, sondern lassen sich auch vorteilhaft für Anschlusszwecke verwenden.

Die Anwendung metallisierter Teile zur Einführung einer Pliasennacheilung beschränkt sich selbstverständlich nicht auf die einfach ausgeführten Wandler, wie in den Figuren 3 und h.

Es ist einleuchtend, dass ein grosser Vorteil aller oben an Hand der Figuren 1 bis h beschriebener Anordnungen darin besteht, dass die Mittel zur Neutralisierung unerwünschter an den Enden reflektierter akustischer Oberflächenwelle, egal ob sie durch die Anordnung der Finger der Wandler oder durch die zusätzlichen metallisierten Teile gebildet werden, in'den gleichen Herstellungsschritten mit den Sende- und Empfangswandlern erhalten werden können.

Der oben angewandte Ausdruck "akustische Oberflächenwellen" bezieht sich auf Rayleigh-Wellen, die üblicherweise in dem Typ der Anordnung verwendet werden,

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bei dem die Erfindung anwendbar ist, sowie auf die Bleustein-Gulyaev-Vellen.

Es dürfte einleuchten, dass, weil die Teilchenbewegung der Bleustein-Gulyaev-Yellen keine Komponente ausserhalb der Oberfläche aufweist, das bekannte Verfahren zur Unterdrückung von Rayleigh-Vellen und -Reflexionen durch ein absorbierendes Material nicht zur Unterdrückung der Bleustein-Gulyaev-Wellen und-Reflexioneri verwendet werden kann. Die obenbeschriebenen erfindungsgemässen Anordnungen können jedoch wohl zur Unterdrückung von Bleustein-Gulyaev-Wellen und -Reflexionen verwendet werden und ermöglichen auf diese Weise die Herstellung zweckmässigex Anordnungen, bei denen die Kristallorientation und der gegenseitige Abstand der Finger der Wandler derart gewählt werden, dass sie diesen Wellen angepasst sind.

Ein Sendewandler eines akustischen Oberflächenwellenfilters kann beim Betrieb auch kleine Amplitudenmas senwellen emittieren, die auch an den Enden der Scheibe reflektiert und vom Empfangswarfdler aufgenommen werden. Die oben an Hand der Figuren 1 und 2 beschriebenen Anordnungen unterdrücken auch diese an den Enden reflektierten Massenwellen, obwohl dies für die oben an Hand der Figuren 3 und k beschriebenen Anordnungen nicht der Fall ist.

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Claims

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Patentansprüche:

1 J Akustische Oberflächenwellenanordnung mit einer Scheibe aus piezoelektrischem Material, auf deren einer Oberfläche ein Sendewandler und ein Empfangswandler angebracht sind, die je mindestens eine interdigitale Elektrodenmatrix enthalten, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandler oder zusätzliche Mittel auf der genannten Oberfläche derart angeordnet sind, dass beim Betrieb akustische Oberflächenwellen, die 'an den Enden der Scheibe reflektiert werden, am Empfangswandler über einen oder mehrere Teile seiner öffnung zu denen über den verbleibenden Teil seiner Öffnung gegenphasig sind, damit das Signal im Empfangswandlerausgang infolge der an den Enden reflektierten Wellen betx-ächtlich herabgesetzt wird.
2. Akustische Oberfläeheiiwellenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Sendewandler in der Mitte seiner öffnung in der Fortpflanzungsrichtung der Oberflächenwellen gegenseitig versetzt ist, so.dass beim Betrieb akustische Oberflächenwellen mit einer Phasenverschiebung von 90° in zwei Kanälen emittiert werden, und dass der Empfangswandler in der Mitte seiner öffnung gegenseitig versetzt ist, derart, dass direkt vom SendewandJ.er herrührende akustische Obex-» flächenwellen mit gleicher Phase in den beiden Kanälen empfangen werden, während an den Enden der Scheibe re-

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flektiei"te akustische Oberflächenwellen mit entgegengesetzten Phasen in den beiden Kanälen emofangen werden.
3· Akustische Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Sendewandler eine einfach ausgeführte interdigitale Elektrodenmatrix enthält, deren Finger in der Mitte der öffnung des Sendewandlers versetzt sind.
4. Akustische Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet', dass der Sendewandler eine doppelt ausgeführte Elektrodenmatrix enthäl.t, wobei jeder Abschnitt dieses Wandlers annähernd die Hälfte der öffnung des Sendewandlers beansprucht und die Finger der beiden Abschnitte gegeneinander versetzt sind.

5· Akustische Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass hinter dem Sendewandler eine oder mehrere Metallschichten angebracht sind, die die Hälfte der öffnung des Empfangswandlers beanspruchen und die je die Geschwindigkeit akustischer Oberflächenwellen, die unter ihr passieren, um einen Betrag ändern können, der einer Phasenänderung von 90° äquivalent ist, wodurch beim Betrieb akustische Oberflächenwellen, die ^ an dem Ende der Scheibe hinter dem Sendewandler reflektiert werden und zweimal unter einer genannten Metallschicht passiert sind, am Empfangswandler zu akustischen Oberflächenwellen gegen-:

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phasig sind, die an dem Ende der Scheibe hinter dem Sendewandler reflektiert werden und nicht unter einer genannten Metallschicht passiert sind, und dass auch zusätzliche Mittel auf der Oberfläche der Scheibe angebracht sind, wodurch beim Betrieb akustische Oberflächenwellen, die an dem Ende der Scheibe hinter dem Empfangswandler reflektiert werden, über einen öder mehrere Teile seiner Öffnung zu denen über den verbleibenden Teil seiner Öffnung gegenphasig sind. 6. Akustische Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Endeelektroden des Sendewandlers derart verlängert werden, dass sie die Hälfte der öffnung des Empfangswandlers beanspruchen, wobei jede ,verlängerte Endelektrode die Geschwindigkeit .akustischer Oberflächenwellen, die unter ihr passieren, um einen Betrag ändern kann, der einer Phasenänderung von 90° äquivalent ist, wodurch beim Betrieb akustische Ob'erif lächenweilen, die an dem Ende der Scheibe hinter ' dem Empfangswandler reflektiert werden und zweimal unter einer verlängerten Endelektrode passiert sind, am Empfangswandler zu akustischen Oberflächenwellen gegenphasig sind, die an dem Ende der Scheibe hinter dem Sendewandler reflektiert werden und nicht unter einer verlängerten Endelektfode passiert sind; und dass auch zusätzliche Mittel, auf der Oberfläche der Scheibe angebi*acht sind, wodurch beim Betrieb akustische Ober-

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flächenwellen, die an dem Ende der Scheibe hinter dem Empfangswandler reflektiert werden, über einen oder mehrere Teile seiner öffnung zu denen über den verbleibenden Teil seiner· öffnung gegenphasig sind.

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