DE3020303A1 - Elastische oberflaechenwellen verarbeitende vorrichtung - Google Patents
Elastische oberflaechenwellen verarbeitende vorrichtungInfo
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Description
- 4 Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine elastische Oberflächenwellen verbeitende
Vorrichtung unter Ausnutzung eines parametrischen Verstärkungseffektes und insbesondere eine Vorrichtung mit
einer Eingangs- und einer Ausgangselektrode, die auf der gleichen Seite wie eine Pumpelektrode nahe beieinander angeordnet
sind, wobei zwischen der Eingangs- und Ausgangselektrode und der Pumpelektrode ein mehrstreifiges Kopplungsglied vorgesehen
ist, um über die Ausgangselektrode ein rückwärtiges von der Pumpelektrode abgegebenes Wellensignal abzugreifen,
was zu einer besseren Trennung des Ausgangssignals von einem Eingangssignal führt.
In der japanischen Patentanmeldung 107271/77 wurde schon eine Vorrichtung der in Rede stehenden Art vorgeschlagen, die
verschiedene Vorteile aufweist und in integrierter Weise gemäss Fig. 1 ausgebildet werden kann. Diese Vorrichtung
erlaubt einen kontinuierlichen Wellenbetrieb und stellt eine Verbesserung hinsichtlich ihres Niederfrequenzverhaltens
dar.
Der Aufbau und das Frequenzverhalten dieser bekannten Vorrichtung werden anhand von Fig. 1 und 2 noch näher beschrieben.
Ziel der Erfindung ist demgegenüber die Schaffung einer elastische Oberflächenwellen verarbeitenden Vorrichtung ohne
die mit der bekannten Vorrichtung verbundenen Probleme.
Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass eine elastische Oberflächenwellen verarbeitende Vorrichtung gleichzeitig eine
weiterleitende Welle (vorwärts gerichtete Welle) und eine rückwärtige Welle erzeugt, wenn an eine Pumpelektrode eine
Pumpenergie in Form einer kontinuierlichen Welle angelegt wird/und dass die rückwärtige Welle ebenso wie die vorwärts
gerichtete Welle einem parametrischen Verstärkungsvorgang
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unterworfen wird. Dabei wurde festgestellt, dass, wenn man
die rückwärtige Welle als Ausgang abgreift, eine Eingangssignalkomponente, die sich direkt,ohne dass sie einem parametrischen
Verstärkungsvorgang unterzogen wird, fortpflanzt, von der Eingangssignalkomponente getrennt werden kann. Zum wirksamen
Ausgeben der rückwärtigen Welle kann eine weitere Elektrode, z.B. in Form eines mehrstreifigen Kopplungs- oder Verbindungsgliedes,
verwendet werden.
Zusammengefasst wird durch die Erfindung eine elastische Oberflächenwellen verarbeitende Vorrichtung mit einer Eingangselektrode, einer Pumpelektrode und einer Ausgangselektrode
geschaffen, die sämtlich auf einem Vorrichtungsgrundkörper angeordnet sind. Die Ausgangselektrode liegt nahe der
Eingangselektrode auf der gleichen Seite des Grundkörpers wie die Pumpelektrode^und zwischen Pumpelektrode und Ein-
und Ausgangselektroden ist ein mehrstreifiges Kopplungsglied vorgesehen, um über die Ausgangselektrode ein rückwärtiges
Wellensignal von der Pumpelektrode auszugeben.
Ausführungen der Erfindung werden nachfolgend unter vorhergehender
Bezugnahme auf eine Vorrichtung bekannten Aufbaues näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer bekannten elastische Oberflächenwellen verarbeitendei Vorrichtung,
Fig. 2 ein Diagramm bezüglich des charakteristischen Verlaufs des Ausgangs der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung
in Abhängigkeit von der Frequenz,
Fig. 3 eine Draufsicht auf eine Ausführungsform einer erfindungsgemäss
aufgebauten elastische Oberflächenwellen verarbeitenden Vorrichtung,
Θ30050/0802
Fig. 4 eine geschnittene Ansicht der in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung längs der Schnittlinie IX-IX in Fig. 3,
Fig. 5 eine geschnittene Ansicht von einer anderen Ausführangsform
von einem bei der Vorrichtung in Fig. verwendbaren Grundkörper,
Fig. 6 Draufsichten zur Erläuterung der Arbeitsweise von u einem bei der Vorrichtung in Fig. 3 verwendeten
mehrstreifigen Kopplungsglied,
Fig. 8 ein Schaubild bezüglich des charakteristischen Verlaufs des Ausgangs der in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung
in Abhängigkeit von der Frequenz,
Fig. 9 eine Draufsicht auf eine andere . Ausführungsform von einer Ein- oder Ausgangselektrode zur alternativen
Verwendung bei der erfindungsgemässen Vorrichtung,
Fig. 10 ein Beispiel von dem charakteristischen Verlauf des Ausgangs in Abhängigkeit von der Frequenz bei
der in Fig. 9 gezeigten Elektrode,
Fig. 11 ein Beispiel des charakteristischen Verlaufs des Ausgangs in Abhängigkeit von der Frequenz von der
Eingangs- und Ausgangselektrode bei der in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung, und
Fig. 12 eine Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäss aufgebauten elastische Oberflächenwellen
verarbeitenden Vorrichtung.
In Fig. 1 betrifft das Bezugszeichen 1 einen Grundkörper der bekannten Vorrichtung, der aus einem Laminat,bestehend aus
einer Halbleiterschicht 1' und einer piezoelektrischen Schicht
!",gebildet ist . Die Bezugszeichen 2 und 3 betreffen eine
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Eingangselektrode bzw. eine Ausgangselektrode, zwischen denen eine Pumpelektrode 4 vorgesehen ist. Das Bezugszeichen 5 ist
eine ohmsche Elektrode, 6 eine Energiequelle zum Anlegen einer Gleichspannung 7 und eine Hochfrequenzenergiequelle zum
Anlegen einer Pumpenergie.
Wie erwähnt, befindet sich bei dieser Anordnung die Pumpelektrode 4 zwischen der Eingangselektrode 2 und der Ausgangselektrode
3 und wird eine Oberflächensxgnalwelle (vorwärts gerichtete
Welle) nach Durchgang und Verstärkung durch die Pumpelektrode
4 über die Ausgangselektrode 3 abgegeben. Die Ausgangswellenform bei dieser Vorrichtung ist in Fig. 2 gezeigt. In Fig. 2
stellt die Frequenz Fp/2 (Fp: Frequenz der Pumpenergie) die Mittenfrequenz eines Ausgangssignales dar. Eine Eingangssignalkomponente
8 mit einer von der Mittenfrequenz Fp/2 abweichenden Frequenz pflanzt sich so wie sie ist,ohne einer parametrischen
Verstärkung unterworfen zu sein, fort und wird von der Ausgangselektrode 3 zusammen mit der parametrische verstärkten
Komponente abgegeben. Aufgrund dieses Umstandes unterscheiden sich der Verstärkungsfaktor G des parametrisch verstärkten
Signals 9 und die Störwirkung R in ihrer Höhe nur wenig voneinander, so dass ein absoluter Wert für den Verstärkungsfaktor
G nicht in ausreichend grossem Umfang erhalten werden kann. Aus diesen Gründen ist die Trennschärfe
oder das Auflösungsvermögen des Ausgangssignals nicht besonders gross, so dass eine Verbesserung in dieser Hinsicht erwünscht
ist.
Fig. 3 und 4 der Zeichnung zeigen eine Ausführungsform einer erfindungsgemässen mit elastischen Oberflächenwellen arbeitenden
Vorrichtung. In der Zeichnung betrifft das Bezugszeichen
5 ein Halbleitersubstrat, z.B. aus Silicium (Si), I eine
piezoelektrische Folie oder Schicht und I' eine Isolierfolie
oder -schicht aus Siliciumdioxid (SiO2) oder dgl. Die piezoelektrische
Schicht besteht aus einem Material, wie Zinkoxid
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(ZnO), Lithiumniobat (LiNbO.,), Aluminiumnitrid (AlN) oder
dgl. Der Grundkörper 11 der Vorrichtung ist ein Laminat,
gebildet aus dem Halbleitersubstrat S, der Isolierschicht I1 und der piezoelektrischen Schicht I. Die Isolierschicht
I" wirkt wie eine stabilisierende Lage für eine Oberfläche des Halbleitersubstrats S.
Eine weitere Bauart des Grundkörpers 11' gemäss Fig. 5 ist
ebenfalls für die Erfindung verwendbar. Der Grundkörper 11' kann ein monolithischer Block aus einem piezoelektrischen
Halbleitermaterial, z.B. Galliumarsenid (GaAs), Kadmiumsulfid (CdS) oder dgl. sein. Wenn der Grundkörper 11' als monolithischer
Block aus einem piezoelektrischen Halbleitermaterial gebildet wird, entfällt das mögliche Problem einer Instabilität aufgrund
von Grenzflächenphänomenen bei einem Laminat aus einer piezoelektrischen Schicht und einer Halbleiterschicht. Ausserdem
vereinfacht sich die Herstellung des Grundkörpers.
ML und M- betreffen eine Eingangs- bzw. eine Ausgangselektrode.
Diese Elektroden M. und M- stellen Umwandler für die elastischen
Oberflächenwellen dar und sind aus kammförmigen Interdigitalelektroden gebildet. Die Ausgangselektrode M2 befindet sich
angrenzend an die Eingangselektrode M- 1 und die Elektroden M-]
und M2 sind auf dem Grundkörper der Vorrichtung auf der gleichen Seite wie eine Pumpelektrode Mg angeordnet. Ein Mehrfachstreifenkopplungsglied
MS ist an einer zwischenliegenden Stelle zwischen den Elektroden M^ und M2 und der Pumpelektrode M3 vorgesehen.
Τ., und T- betreffen die Eingangs- bzw. Ausgangsklemme für
ein elektrisches Signal,und T3 ist die Abzweigklemme der Pumpelektrode
M,. Die Abzweigklemme steht mit einer nicht gezeigten Energiequelle für eine Gleichspannung und einer nicht gezeigten
Hochfrequenzenergiequelle für die Pumpenergie in Verbindung.
Das bei der Erfindung verwendete mehrstreifige Kopplungsglied MS wird nachfolgend anhand von Fig. 6 und 7 beschrieben. Das
Kopplungsglied MS besteht aus einer Vielzahl von Streifen-
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elektroden πι, m, die periodisch auf einem Fortpflanzungsmedium
für elastische Oberflächenwellen (nachfolgend als Oberflächenwellen bezeichnet) in gleichem Abstand voneinander
so angeordnet sind, dass sie senkrecht zur Laufrichtung der Oberflächenwellen liegen. Die Streifenelektroden m, m werden
z.B. durch eine Metallisierungsbehandlung geschaffen, doch können sie auch gleichzeitig mit den anderen Elektroden M.,
M_ und Μ-, durch Fotoätzung oder ein Abtragverfahren gebildet
werden.
Das mehrstreifige Kopplungsglied MS arbeitet in der nachfolgenden
Weise, solang die Anzahl N der Streifenelektroden m, m der Beziehung folgt:
rsin (Θ/2)Ί
L Θ/2 J
sin (Θ/2)Ί -2 2<
L
2K*<* d 1^ θ/2
Darin bedeuten: θ = 2 7ieCd//l
λ : Wellenlänge einer Oberflächenwelle
2
K : Koeffizient für die elektromagnetische
K : Koeffizient für die elektromagnetische
Kopplung des Grundkörpers der Vorrichtung d : periodisches Wiederholungsintervall
zwischen den einzelnen Streifenelektroden oC : effektiver Koeffizient bezüglich des
periodischen Wiederholungsintervalls d
der Elektroden.
Zur Erläuterung der Betriebsweise des mehrstreifigen Kopplungsgliedes MS sei angenommen, dass die Eingangs- und Ausgangsseite
des Kopplungsgliedes MS in vier Zonen A, B, C und D gemäss Fig. 6 und 7 unterteilt sind. Wenn eine Oberflächenwelle
w.| in die Zone A eingegeben wird (die die halbe Breite des
mehrstreifigen Kopplungsgliedes einnimmt),vgl. Fig. 6, wird
die Strahlbreite der Oberflächenwelle w., gegenüber dem Zustand,
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wie er durch die elektromagnetische Kopplung des piezoelektrischen
Materials (Grundkörper der Vorrichtung) geschaffen wurde, verdoppelt, während sich die Welle durch das mehrstreifige
Kopplungsglied MS fortpflanzt. Die Oberflächenwellen w? und
w_ werden an den Zone C bzw. D ausgegeben. Die ausgegebenen
Oberflächenwellen w~ und w., haben gleiche Amplituden, jedoch
hat die Welle w., eine Phasenvoreilung von 90° gegenüber der
Welle W2.
Wenn andererseits zwei Wellen W4 und W5 an den Zonen C und D
gemäss Fig. 7 eingegeben werden und die Welle w,- eine gleiche
Amplitude wie die Welle w. hat und gegenüber letzterer um 90° voreilt, wird nur an der Zone B eine Oberflächenwelle
Wg abgegeben.
Mit dem in der vorbeschriebenen Weise arbeitenden mehrstreifigen
Kopplungsglied ist die Arbeitsweise der erfindungsgemässen Vorrichtung wie folgt.
Wenn ein elektrisches Signal mit einer Frequenz Fs an der Eingangsklemme T., der Vorrichtung gemäss Fig. 3 angelegt wird,
erfährt dieses elektrische Signal an der Eingangselektrode M.] eine Umwandlung in eine Oberflächenwelle W^ mit einer
Frequenz Fs, die sich zum mehrstreifigen Kopplungsglied MS
fortpflanzt. Die Welle w. läuft dann durch das mehrstreifige
Kopplungsglied MS und wird in zwei Oberflächenwellensxgnale W2 und W3 umgesetzt. Die Oberflächenwellen W2 und W3 haben
die gleiche Frequenz Fs und die gleiche Amplitude, doch eilt die Oberflächenwelle w_ der Welle W2 (entsprechend dem in
Fig. 6 gezeigten Fall) um 90° vor. Die Oberflächenwellen W2
und W3 werden an der Pumpelektrode M3 durch eine parametrische
Wechselwirkung mit einem elektrischen Pumpsignal (Frequenz: Fp) verstärkt; das elektrische Pumpsignal liegt an der Pumpelektrode
M3 an. Das verstärkte Oberflächenwellensignal entsteht
in entgegengesetzten Richtungen , d.h. von der Pump-
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elektrode M, bei Betrachtung nach Fig. 3 nach rechts und nach
links. Was die nach links erzeugten Signale, d.h. die nach hinten oder reflektierten Leer- oder Blindwellensignale betrifft,
entstehen die Signale w. und W1- entsprechend den
Oberflächenwellensignalen W2 bzw. W3. Die Blindwellensignale
w. und Wr haben die gleiche Frequenz Fi ( = Fp - Fs) und
die gleiche Amplitude, doch eilt die Blindwelle W5 um 90°
der Blindwelle w« vor.
Wenn die Blindwellen w. und W5 wieder, jedoch in entgegegesetzter
Richtung durch das mehrstreifige Kopplungsglied MS laufen, werden sie in eine Oberflächenwelle Wg umgewandelt.
Die Oberflächenwelle w,- pflanzt sich zur Ausgangselektrode
M2 weiter. Die Frequenz der Oberflächenwelle wß beträgt
Fi (entsprechend dem in Fig. 7 gezeigten Fall). Das Oberflächenwellensignal
w,- wird somit in ein elektrisches Signal (Frequenz: Fi) an der Ausgangselektrode M2 umgewandelt und
an der Ausgangsklemme T2 ausgegeben.
In diesem Zusammenhang sei erwähnt, dass das als Ausgang bei der erfindungsgemässen Vorrichtung abgenommene Signal das
rückwärtige Signal wfi ist, das von den durch die parametrische
Wechselwirkung erzeugten Blindwellen w, und W5 stammt.
Das Frequenzverhalten des Ausgangs des rückwärtigen Ausgangssignals
W, ist in Fig. 8 gezeigt. Der Ausgang der von der Mittenfrequenz abweichenden Komponenten ist extrem niedrig
und vernachlässigbar, da die Komponenten (mit einer Frequenz um die Mittenfrequenz Fp/2), die durch die parametrische
Wechselwirkung an der Pumpelektrode M3 erzeugt werden, als
Hauptausgang abgenommen werden. Eine Eingangssignalkomponente 8, die nicht der parametrischen Verstärkung unterworfen war
und in der in Fig. 2 dargestellten charakteristischen Ausgangskurve zu sehen ist, ist im Ausgangssignal nicht enthalten.
Daher sind die Störeffekte bei der erf indungsgemässen Vorrichtung wesentlich geringer als bei bekannten Vorrichtungen
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und ist die Trennschärfe des gewünschten Signals (Frequenzausgangssignal)
besonders gross. In Fig. 8 ist der Verlauf des Signals 8 in Fig. 2 zum Vergleich ebenfalls eingetragen.
Wenn die Ausgangselektrode zwischen der Eingangs- und der
Pumpelektrode angeordnet wird, d.h. die Eingangs-, Ausgangsund
Pumpelektrode in der genannten Reihenfolge ohne Vorsehen eines mehrstreifigen Kopplungsgliedes bei der erfindungsgemassen
Vorrichtung zur Abnahme des Blindwellensignals als Ausgang hxntereinanderliegen, wird ebenfalls ein Eingangssignal von
der Ausgangselektrode zusammen mit dem Blindsignal· abgenommen. Daher ist es unmöglich, das Blindsignal getrennt vom Eingangssignal
abzugreifen.
Fig. 9 zeigt eine weitere Ausführungsform einer kammförmigen
Elektrode (mit der die Umwandlung in elastische Oberflächenwellen erfolgt), wie sie für die erfindungsgemässe Vorrichtung
verwendet werden kann. Bei dieser Eiektrode M. unterscheiden sich die Abstände d1 zwischen den einzelnen Elektrodenzähnen
voneinander, d.h. die Abstände werden in Fortpflanzungsrichtung
des elastischen Oberflächenwellensignals allmählich kleiner oder grosser, so dass Komponenten mit relativ niedriger
Frequenz an den Stellen mit grösserem Abstand d1 (in Fig. 9
linker Bereich) und Komponenten mit relativ hoher Frequenz an den Stellen mit kleineren Abständen d1 (in Fig. 9 rechter
Bereich) entstehen. Die Elektrode M kann daher insgesamt vorteilhaft als Breitbandwandler verwendet werden.
Fig. 10 zeigt ein Beispiel für das Frequenzverhalten der Elektrode
M4. Bei diesem Beispiel wird die Frequenz eines elektrischen
Pumpsignals in dreifacher Weise gemäss. F.. bis F-, variiert.
Im Vergleich zum Frequenzverhaiten von einer Eiektrode mit
gleichen Abständen gemäss Fig. 11 kann man feststellen, dass die umwandlungsfähige Bandbreite erhebiich vergrössert ist.
Daher lässt sich die kammförmige interdigitaie Elektrode M.
bei der erfindungsgemassen Vorrichtung verwenden, um eine
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Ö300 50/0 802
Oberfläehenwelienvorrichtung mit breitem Band und ausgezeichnetem
Störverhalten zu schaffen.
Fig. 12 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung. Bei dieser Äusführungsform ist ein geeigneter Abstand b zwischen
der Eingangselektrode M1 und der Ausgangselektrode M~ vorgesehen
und unterscheiden sich die Abstände oder Intervalle d, zwischen den einzelnen . Streifenelektroden m des mehrstreifen
Kopplungsgliedes MS' an dessen dem Abstand b zugewandten Bereich von den Abständen oder Intervallen d-j zwischen den
einzelnen . Streifenelektroden m des Kopplungsgliedes MS'"
an den Bereichen a, die der Eingangselektrode M-j bzw. Ausgangseiektrode
M^ entsprechen. Der Abstand d2 ist grosser als d-| .
Der Abstand d~ zwischen den einzelnen Elektroden m an den dem
Abstand b entsprechenden Stellen liegt in einem Bereich, bei dem die Schallgeschwindigkeit der Oberflächenwelle (akustische
Welle) nicht in Phase zu den Eingangs- und Ausgangssignalen liegt, so dass die Streifenelektroden an dieser Stelle nicht als
mehrstreifiges Kopplungsglied wirken. Eine Pumpelektrode ist
InMo1 und M311 unterteilt, so dass der Ausbildung des mehrstreifigen
Kopplungsgliedes MS' Rechnung getragen wird. Bei dieser Ausführungsform
ist daher die direkte Kopplung zwischen der Eingangs- und Ausgangselektrode reduziert, wodurch das Störverhalten
weiter, verbessert werden kann. Da ferner die Strahlen der Oberflächenwelle gezielt nur zu einer gewünschten Stelle fortgepflanzt
werden können, können sie in wirksamer Weise ausgenutzt werden, d.h. unerwünschte übertragungsverluste werden
verringert. In diesem Zusammenhang sei darauf hingewiesen, dass es sich bei den Pumpelektroden M3 1 und M3 11 bei der Ausführung
nach Fig. 12 um eine integrierte Pumpelektrode M3 gemäss Fig.
handeln kann. Ih Fig. 12 tragen Teile oder Bereiche,die gleich
oder ähnlich denjenigen nach Fig. 3 sind, die gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 3.
Obgleich bei den vorausgehenden Beispielen ein mehrstreifiges
Kopplungsglied als Elektrode für die Ausgabe des rückwärtigen
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Wellensignals durch die Ausgangselektrode verwendet wird, kann das Glied auch durch eine andere Einrichtung mit im
wesentlichen der gleichen Funktion ersetzt werden.
Da, wie vorerwähnt, die Eingangs- und Ausgangselektroden erfindungsgemäss
auf der gleichen Seite wie die Pumpelektrode nebeneinander angeordnet sind und das mehrstreifige Kopplungsglied zwischen der Pumpelektrode und den Ein- und Ausgangselektroden
vorgesehen ist, um als Ausgangssignal das rückwärtige
Wellensignal von der Pumpelektrode abzunehmen, kann .das parametrisch verstärkte Signal mit ausgezeichneter Trennschärfe
gegenüber dem Eingangssignal abgenommen und das Störverhalten wesentlich verbessert werden.
Wenn weiter ein geeigneter Raum oder Abstand zwischen der Eingangselektrode und der Ausgangselektrode vorgesehen wird
und die Abstände zwischen den Streifenelektroden des mehrstreifigen
Kopplungsgliedes an der dem besagten Raum entsprechenden Stelle so gewählt werden, dass die Schallgeschwindigkeit
der Oberflächenwelle und die Ein- und Ausgangssignale nicht in Phase liegen, so dass ein wirkungsloser Bereich im mehrstreifigen
Kopplungsglied vorliegt;, lässt sich eine direkte Kopplung zwischen Eingangs- und Ausgangselektrode verringern
und daher das Störverhalten weiter verbessern.
030050/0802
Claims (9)
- Patentanwälte Dipl.-Ing. H. "Svlickmann, Ditl.-Phys. Dr. K. FinckeDipl.-Ing. F. A.Weickmann, Dipl.-Chem. B. Huber Dr. Ing. H. Liska8OOC MÜNCHEN 86, DENPOSTFACH 860 820MDHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 39 21/22Sdt/ht. FP-80-29Clarion Go., Ltd.35-2 Hakusan 5-ch.ome, Bunkyo-kuTokyo, JapanElastische Oberflächenwellen verarbeitende VorrichtungPATENTANSPRÜCHEΜ .J Elastische Oberflächenwellen verarbeitende Vorrichtung mit einer Eingangselektrode, einer Ausgangselektrode und einer Pumpelektrode, die auf einem Vorrichtungsgrundkörper angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet , dass die Ausgangselektrode (M^) nahe bei der Eingangselektrode (M1) auf der gleichen Seite des Grundkörpers (11) wie die Pumpelektrode (M^) angeordnet ist und eine Elektrode (MS) an einer zwischenliegenden Stelle zwischen der Eingangs- und Ausgangselektrode und der Pumpelektrode vorgesehen ist, um durch die Ausgangselektrode ein rückwärtiges Wellensignal von der Pumpelektrode auszugeben.030050/0802ORIGINAL INSPECTED
- 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode zum Ausgeben des rückwärtigen Wellensignals ein mehrstreifiges Kopplungsglied (MS) ist.
- 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl N der Streifenelektroden (m) des Kopplungsgliedes (MS) durch die GleichungIT =sin (θ/2) Ί-22K2<* d L Θ/2 )ausgedrückt ist,worin bedeuten: θ = 2/föi/d//L/L : Wellenlänge einer elastischen OberflächenwelleK : elektromagnetischer Kopplungskoeffizientfür den Vorrichtungsgrundkörper (11) d : periodischer Wiederholungsabstand zwischenden einzelnen Streifenelektroden c6 : Wirkkoeffizient bezüglich des periodischen Wiederholungsabstandes zwischen den Streifenelektroden.
- 4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorrichtungsgrundkörper(11) ein Laminat aus einer Halbleitermaterialschicht und einer piezoelektrischen Materialschicht ist und die Elektroden (M.., Mp, M_, MS) auf einem Oberflächenbereich des piezoelektrischen Materialschicht angeordnet sind.
- 5. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet , dass der Vorrichtungsgrundkörper (11) aus einem piezoelektrischen Halbleitermaterial gebildet ist.§30050/080
- 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingangs- und Ausgangselektrode (M.] , M2) kammförmige Elektroden sind.
- 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen den einzelnen Zähnen der kammförmigen Elektrode in Fortpflanzungsrichtung eines Oberflächenwellensignals unterschiedlich ausgebildet ist.
- 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet , dass zwischen der Eingangselektrode (M-j) und der Ausgangselektrode (M2) ein geeigneter Abstand (b) vorgesehen ist, wobei der Abstand zwischen den einzelnen Streifenelektroden (m) des mehrstreifigen Kopplungsgliedes (MS) an dessen Bereich, der dem Abstand (b) zwischen der Eingangselektrode und der Ausgangselektrode entspricht, von dem Abstand zwischen den einzelnen Streifenelektroden des Kopplungsgliedes an dessen Bereichen abweicht, die der Eingangs- und Ausgangselektrode entsprechen, so dass an dem Bereich,der dem Abstand (b) zwischen der Eingangs- und der Ausgangselektrode entspricht, eine wirkungslose Zone gebildet ist.
- 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , dass die Pumpelektrode (M^) in zwei Elektroden unterteilt ist und die unterteilten beiden Elektroden so angeordnet sind, dass sie der Eingangs- bzw. Ausgangselektrode (M-j M2) entsprechen.Ö30050/0802
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